KR20080002314A - Adhesive substrate and fabricating for the flexible display device method using the same - Google Patents
Adhesive substrate and fabricating for the flexible display device method using the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR20080002314A KR20080002314A KR1020060061070A KR20060061070A KR20080002314A KR 20080002314 A KR20080002314 A KR 20080002314A KR 1020060061070 A KR1020060061070 A KR 1020060061070A KR 20060061070 A KR20060061070 A KR 20060061070A KR 20080002314 A KR20080002314 A KR 20080002314A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- flexible substrate
- adhesive
- shape
- pressure
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133305—Flexible substrates, e.g. plastics, organic film
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2202/00—Materials and properties
- G02F2202/28—Adhesive materials or arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
도 1a는 종래의 점착반송기판을 도시한 평면도. Figure 1a is a plan view showing a conventional adhesive transfer substrate.
도 1b는 도 1a의 A'영역의 확대사시도이다. FIG. 1B is an enlarged perspective view of region A ′ of FIG. 1A.
도 2a는 도 1b의 가상의 단위길이로 섹터를 나누어 외부(약액)에 노출되는 변영역과 모서리영역의 표면적을 도시한 도면. FIG. 2A is a view showing surface areas of edge regions and edge regions exposed to the outside (chemical liquid) by dividing sectors by the virtual unit length of FIG. 1B; FIG.
도 2b는 종래의 점착반송기판에 약액이 접촉되는 현상을 도시한 평면도. Figure 2b is a plan view showing a phenomenon in which the chemical liquid is in contact with the conventional adhesive transfer substrate.
도 3a는 도 2b의 I-I' 와 II-II'에 따른 단면도. 3A is a cross-sectional view taken along line II ′ and II-II ′ of FIG. 2B;
도 3b는 종래의 탈착불량이 발생한 점착반송기판의 평면도. Figure 3b is a plan view of a pressure-sensitive adhesive transfer substrate having a conventional detachment failure.
도 4a는 본 발명에 따른 점착반송기판을 도시한 평면도. Figure 4a is a plan view showing a pressure-sensitive adhesive transfer substrate according to the present invention.
도 4b는 도 4a의 A영역을 확대한 사시도. 4B is an enlarged perspective view of region A of FIG. 4A.
도 4c는 본 발명에 따른 모서리영역의 단위길이에 따른 표면적을 도시한 도면. Figure 4c is a view showing the surface area according to the unit length of the corner area according to the present invention.
도 5a는 본 발명에 따른 점착반송기판에 접촉되는 약액을 도시한 평면도. Figure 5a is a plan view showing a chemical liquid in contact with the adhesive carrier substrate according to the present invention.
도 5b는 도 5a의 III-III'에 따른 단면도. FIG. 5B is a sectional view taken along line III-III ′ of FIG. 5A;
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 모서리영역 형상의 다른 실시예를 도시한 도면. 6a and 6b show another embodiment of the shape of the corner region according to the present invention.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명에 따른 점착반송기판 제조 및 상기 점착반송기판을 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법을 개략적으로 도시한 도면. 7A to 7E schematically illustrate a method of manufacturing an adhesive carrier substrate and a method of manufacturing a flexible display device using the adhesive carrier substrate according to the present invention.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Description of the reference numerals for the main parts of the drawings>
1 : 점착반송기판 10 : 플렉서블기판 1: Adhesive Carrying Board 10: Flexible Board
20 : 기재기판 30 : 점착제 20: substrate substrate 30: adhesive
100 : 약액 100: chemical
본 발명은 플렉서블 표시장치를 제조할 수 있는 점착반송기판 및 이를 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive substrate for manufacturing a flexible display device and a method of manufacturing a flexible display device using the same.
현대의 정보화사회에서는 영상 산업에 있어 대형화 평면화 그리고 여러가지 기능을 포함하는 디스플레이를 요구하고 있다. 또한 언제든지 자유로이 정보를 기록, 교환하는 것이 요구되어 휴대하기 편리하고 가벼운 디스플레이를 요구하고 있다. In the modern information society, the image industry demands large-sized flattening and displays with various functions. In addition, there is a demand for freely recording and exchanging information at any time, requiring a portable and lightweight display.
기존의 평판디스플레이에 사용되는 유리기판은 소정의 두께로 형성되며, 유리의 특성상 깨지기 쉬운 단점이 있다. 그래서 이동성 디스플레이나 대형의 디스플레이에 적용되는 경우 추가의 보호창을 요구하게 된다. 또한 유리기판은 휘어지기 어려운 단점이 있다. The glass substrate used in the conventional flat panel display is formed to a predetermined thickness and has a disadvantage of being fragile due to the nature of the glass. Thus, when applied to a mobile display or a large display, an additional protective window is required. In addition, glass substrates have a disadvantage of being difficult to bend.
따라서 상기 유리기판의 휘어지기 어려운 단점을 극복하는 플렉서블기판은 깨지지 않으며 휘어지는 특성을 갖고 있다. 따라서 상기의 특성을 갖는 기판으로 초경량이면서 휴대하기 편리한 유연한 플렉서블 표시장치에 대한 기술 개발이 진행되고 있다. Therefore, the flexible substrate, which overcomes the disadvantages of the glass substrate, is difficult to bend and has a bending characteristic. Accordingly, the development of a technology for a flexible flexible display device which is ultra-light and easy to carry with a substrate having the above characteristics is in progress.
상기 플렉서블 표시장치를 구현하기 위해서는 플라스틱 또는 메탈포일(metal foil)과 같은 플렉서블 기판을 사용하게 된다. 그런데 상기 플렉서블 기판은 기존 디스플레이의 하드한 형상의 유리기판과 다른 특성인 유연성 때문에 기존의 공정에 대한 적합성을 만족시키기 어려울 수 있다. In order to implement the flexible display device, a flexible substrate such as plastic or metal foil is used. However, the flexible substrate may be difficult to satisfy suitability for the existing process because of flexibility, which is different from that of the hard shape glass substrate of the existing display.
즉, 상기 유연한 특성은 패턴(적층 구조를 갖는 박막트랜지스터, 복수의 라인 등)을 상기 플렉서블기판 상에 형성하는데 상기 패턴을 정렬하는데 어려움이 발생할 수 있기 때문이다.That is, the flexible characteristic is because it may be difficult to align the pattern to form a pattern (a thin film transistor having a laminated structure, a plurality of lines, etc.) on the flexible substrate.
따라서 상기 플렉서블 기판을 유리기판과 같은 하드한 형상에 점착시켜서 반송 및 공정을 진행할 수 있는 반송기술 등이 제시되고 있다. Therefore, a conveying technique for adhering the flexible substrate to a hard shape such as a glass substrate and carrying out a process and the like has been proposed.
도 1a는 종래의 점착반송기판을 도시한 평면도이고, 도 1b는 도 1a의 A'영역의 확대사시도이다. 1A is a plan view illustrating a conventional adhesive transfer substrate, and FIG. 1B is an enlarged perspective view of region A ′ of FIG. 1A.
도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 점착반송기판(501)은 기재기판(520) 상에 점착제(530)를 마련하고 상기 점착제(530)에 플렉서블기판(510)을 점착시켜 형성할 수 있다. As illustrated in FIGS. 1A and 1B, the
상기 기재기판(520)은 유리기판 등과 같이 하드(hard)한 형상으로 형성되어 있다. 상기 기재기판(520)은 플렉서블기판(510)의 유연특성으로 인해 상기 플렉서 블기판(510)만으로 반송 및 공정을 실시하는데는 어려움이 발생할 수 있다. The
그래서 상기 기재기판(520) 상에 상기 플렉서블기판(510)을 점착시켜 플렉서블기판(510)의 형상을 유지시키게 된다. 이에 따라 플렉서블기판(510)의 반송의 용이함과 공정의 안전성을 확보할 수 있게 된다. Thus, the
상기 점착제(530)는 상기 기재기판(520)과 플렉서블기판(510) 사이에 형성된다. 상기 점착제(530)는 기재기판(520)과 점착되면서 상기 플렉서블기판(510)을 상기 기재기판(520)에 점착할 수 있는 중간재 역할을 한다. 즉, 상기 점착제(530)는 상기 기재기판(520)의 평판형상을 따라 플렉서블기판(510)의 형상을 유지할 수 있게 해준다.The
상기 플렉서블기판(510)은 유연성을 갖는 기판이다. 상기 플렉서블기판(510) 상에는 복수의 패턴 등을 형성할 수 있다. 여기서 상기 플렉서블기판(510)은 추후에 상기 기재기판(520)에서 탈착시켜고 여타의 공정을 통해서 플렉서블 표시장치를 형성할 수 있다. The
이와 같이, 상기 플렉서블기판(510)을 기재기판(520) 상에 점착시켜 점착반송기판(501)을 형성할 수 있다. 상기 점착반송기판(501)을 이용하여 상기 플렉서블기판(510)의 반송 및 세정공정, 패턴형성공정 등을 실시할 수 있게 된다. 여기서 상기 복수의 공정에서는 복수의 약액을 사용하게 된다. As such, the
여기서 도 1b를 참조하여 설명하면, 상기 플렉서블기판(510)과 점착제(530)를 가상의 길이 단위길이(L')로 균등하게 나누어 변영역(b')과 모서리영역(a')으로 정의한다. 즉, 사각형상의 플렉서블기판(510)과 점착제(530)는 4개의 변(邊)영 역(b')으로 형성되고, 두변이 합쳐지는 영역을 모서리영역(a')으로 구분된다. Referring to FIG. 1B, the
여기서 상기 플렉서블기판(510) 및 상기 점착제(530)는 사각형상으로 소정의 두께를 갖는 형상으로 마련되어 있다. 따라서 상기 플렉서기판(510)과 상기 점착제(530)의 두께면은 외부 즉, 상기 약액 등에 노출되는 영역이 될 수 있다. Here, the
도 2a는 도 1b의 가상의 단위길이로 섹터를 나누어 외부(약액)에 노출되는 변영역과 모서리영역의 표면적을 도시한 도면이고, 도 2b는 종래의 점착반송기판에 약액이 접촉되는 현상을 도시한 평면도이다. 여기서 도 1b를 참조하여, 상기 변영역(a')과 상기 모서리영역(b')을 단위길이(L')로 나눈 표면적을 도시한다. FIG. 2A is a view showing surface areas of edge regions and edge regions exposed to the outside (chemical liquid) by dividing sectors by virtual unit lengths of FIG. 1B, and FIG. 2B illustrates a phenomenon in which chemical liquid contacts a conventional adhesive carrier substrate. One floor plan. 1B, the surface area obtained by dividing the side area a 'and the edge area b' by the unit length L 'is illustrated.
도 2a에 도시된 바와 같이, 점착반송기판(501)에는 기재기판(520) 상에 플렉서블기판(510)이 중간재인 점착제(530)에 의해서 점착되어 있다. As shown in FIG. 2A, a
여기서 상기 점착반송기판(501) 상에 형성된 점착제(530)와 기재기판(520)의 측면을 살펴보면 4개의 변(邊)영역(b')과, 상기 변영역(b')이 합쳐지는 영역을 모서리영역(a')으로 구분된다. Here, the side surfaces of the pressure-
따라서 상기 변영역(b')의 두께면은 외부(약액)에 노출되는 면적이 한쪽의 변에 해당된다. 그리고 모서리영역(a')에서는 어느 두 변이 합쳐지는 영역이기 때문에 두 방향의 두께면이 외부(약액)에 노출될 수 있는 영역이 된다. Therefore, the thickness surface of the side region b 'corresponds to one side of an area exposed to the outside (chemical solution). In the corner region a ', since the two sides are joined together, the thickness faces in two directions may be exposed to the outside (chemical solution).
즉, 상기 변영역(b')은 상기 플렉서블기판(510) 및 점착제(530)의 두께면을 따라 한쪽에 형성된 단위길이(L')를 갖는 표면적이 약액(600)에 노출되는 표면적에 해당된다. 그리고 상기 모서리영역(a')은 상기 점착제(530)와 상기 플렉서블기판(510)이 노출되는 단위길이(L')가 두 방향이므로 두개의 단위길이(2L')에 해당하 는 표면적을 갖는다. That is, the edge area b 'corresponds to a surface area where the surface area having a unit length L' formed at one side along the thickness surfaces of the
따라서 모서리영역(a')은 변영역(b')보다 높은 표면적을 갖는다. 다시말해 상기 변영역(b')은 외부(약액)에 노출되는 영역이 한변의 두께면에 해당하는 반면 상기 모서리영역(a')은 상기 외부(약액)에 노출되는 영역이 두변의 두께면에 해당하게 되어 노출 표면적이 높게 형성된다. Therefore, the edge area a 'has a higher surface area than the edge area b'. In other words, the edge area b 'corresponds to a thickness side of one side while the area exposed to the outside (chemical solution) corresponds to the thickness side of the two sides. This results in a high exposure surface area.
도 2b에 도시된 점착반송기판 상에 접촉되는 약액과 같이, 상기 점착반송기판(501)에는 복수의 공정에서 제공되는 약액이 상기 점착반송기판(501)의 측부에 약액(600)이 접촉될 수 있다. Like the chemical liquid in contact with the adhesive carrier substrate illustrated in FIG. 2B, the chemical liquid provided in a plurality of processes may be in contact with the
상기 점착반송기판(501)은 상기 기재기판(520) 상에 마련된 플렉서블기판(510)을 세척하는 세정공정, 상기 플렉서블기판(510) 상에 패턴 등을 형성하는 공정 등 다양한 공정을 수행하기 위해서 생산시스템 장비 등으로 상기 플렉서블기판(510)을 반송할 수 있게 한다. The
여기서 상기 세정공정, 패턴형성공정 등은 복수의 약액(600)을 사용하게 된다. 예를 들면 상기 플렉서블기판(510) 상에 패턴을 형성하기 위해서는 금속막을 형성하고 금속막의 패턴을 형성하기 위해서 감광성막을 도포하고 노광하여 감광패턴을 형성할 수 있다. 그리고 상기 금속막을 식각하게 된다. 이에 따라 상기 금속막이 소정의 형상을 갖도록 할 수 있다. In this case, the cleaning process, the pattern forming process, and the like use a plurality of
이와 같이 패턴을 형성하는 과정에서 감광성막을 제거하는 약액, 금속막을 시각하는 식각액, 감광패턴을 제거하는 약액 등을 사용할 수 있다. In the process of forming the pattern, a chemical liquid for removing the photosensitive film, an etching liquid for viewing the metal film, and a chemical liquid for removing the photosensitive pattern may be used.
그런데 상기 약액(600)은 액상이기 때문에 액체의 유동성과 액체의 특성인 높은 내부에너지를 갖게 된다. However, since the
상기 약액(600)은 상기 액체의 특성 때문에 약액(600)의 표면에 있는 액체분자들이 에너지를 낮추어 안정화(stable)되려는 경향이 있다. 이 때문에 상기 약액(600)은 플렉서블기판(510)의 표면에 접촉하려고 한다. The
여기서 상기 기재기판(520)의 상부에는 상기 플렉서블기판(510)의 점착시키기 위해 마련된 중간재인 점착제(530)가 마련되어 있다. 따라서 상기 점착제(530) 또한 상기 약액(600)에 노출될 수 있다. In this case, an adhesive 530, which is an intermediate material provided to adhere the
또한 상기 약액(600)은 유동성을 갖기 액체이기 때문에 상기 플렉서블기판(510)의 측부의 두께면에 접촉을 하여 표면자유에너지(surface free energy, 이하 표면에너지)를 낮추어 안정화되는 경향이 있다. In addition, since the
따라서, 상기 모서리영역(a')의 높은 표면적 때문에 상기 약액(600)은 모서리영역으로 접촉량이 증가할 수 있다. 다시 말해서 상기 약액(600)에 노출되는 모서리영역(a')은 변영역(b')보다 표면적이 크기 때문에 액체인 상기 약액(600)은 표면에너지를 낮추려고 상기 모서리영역(a')에서 접촉량이 증가하게 된다. Therefore, due to the high surface area of the corner region a ', the amount of contact of the
도 3a는 도 2b의 I-I' 와 II-II'에 따른 단면도이고, 도 3b는 종래의 탈착불량이 발생한 점착반송기판의 평면도이다. 여기서 도 3a는 변영역(b')과 모서리영역(a')의 표면적에 따른 약액(600)의 접촉량을 도시한 단면도이다. FIG. 3A is a cross-sectional view taken along line II ′ and II-II ′ of FIG. 2B, and FIG. 3B is a plan view of a pressure-sensitive adhesive carrier substrate having a conventional detachment defect. 3A is a cross-sectional view showing the contact amount of the
도 3a의 도시된 I-I'에 따른 단면도와 같이, 상기 변영역(b')에서는 한쪽의 변이 노출됨에 따라 상기 단위길이(L')에 형성되는 표면적으로 상기 플렉서블기판(510)과 점착제(530)가 상기 약액(600)에 노출될 수 있다. As shown in the cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 3A, the
그리고 상기 표면적은 해당면적에 상응하는 표면에너지를 갖는다. 여기서 상기 약액(600)은 액체이기 때문에 액체표면의 분자가 에너지를 낮추기 위해서 외부의 표면에 접촉하려고 한다. The surface area has a surface energy corresponding to the corresponding area. Here, since the
따라서 액체표면의 분자는 상기 표면적에 해당하는 표면에너지만큼 접촉하여 에너지를 낮추려는 경향이 있다. 그래서 열역학적으로 안정화되려고 한다. Therefore, molecules on the liquid surface tend to lower energy by contacting the surface energy corresponding to the surface area. So it tries to stabilize thermodynamically.
한편, 도 3a의 II-II' 에 따른 단면도에 도시된 바와 같이, 모서리영역(a')에서 점착제(530)와 플렉서블기판(510)에 약액의 접촉량을 도시한 단면도이다. Meanwhile, as shown in the cross-sectional view taken along line II-II 'of FIG. 3A, a cross-sectional view showing the amount of contact of the chemical liquid with the adhesive 530 and the
모서리영역(a')에 도시된 바와 같이, 상기 모서리영역(a')은 단위길이(L')로 나누어진 상태에서 상기 약액(600)에 노출되는 면적을 살펴보면, 상기 약액(600)에 노출되는 면적이 두변에 형성된다. 즉, 상기 모서리영역(a')은 두변이 합쳐지는 영역으로 약액(600)에 노출되는 영역이 변영역보다 단위길이(L')가 두배에 해당하게 된다. 따라서, 상기 모서리영역(a')은 단위길이(L')에 두배인 2L'에 해당하는 표면적을 갖는다. As shown in the corner region a ', the edge region a' is exposed to the
따라서 상기 약액(600)은 상기 a', b'의 표면적에 접촉하려는 경향때문에 상기 모서리영역(a')에서는 변영역(b')보다 복수량의 약액(600)이 접촉할 수 있게 된다. Therefore, the
그래서 복수 량의 상기 약액(600)이 접촉하는 모서리영역(a')에서는 상기 플렉서블기판(510)과 점착제(530)가 점착되는 점착계면까지 약액(600)이 형성될 수 있다. 따라서 상기 약액(600)이 상기 점착제(530)와 상기 플렉서블기판(510)이 점착된 계면영역(P')으로 침투되는 문제점이 발생할 수 있다.Thus, the
이와 같이, 상기 점착반송기판(501)으로 플렉서블기판(510)에 세정공정, 패턴형성공정을 실시하는 과정에서 사용되는 약액(600)이 플렉서블기판(510) 및 점착제(530)의 모서리영역(a')에 복수의 량이 접촉할 수 있게 된다. As described above, the
이에 따라, 상기 점착반송기판(501)의 모서리영역(a')에 형성된 점착제(530)와 플렉서블기판(510)의 점착된 계면영역에 상기 약액(600)이 침투되는 문제점이 발생할 수 있게 된다. Accordingly, a problem may occur that the
따라서 상기 약액(600)의 침투에 의해서 모서리영역에서 상기 점착제(530)에서 상기 플레서블기판(510)이 탈착되는 문제점이 발생할 수 있다. Therefore, the penetration of the
도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 점착반송기판(501)에 형성된 점착제(530)와 플렉서블기판(510)의 모서리영역에서 접촉된 복수의 약액(600)에 의해서 상기 점착제(530)와 플렉서블기판(510)의 점착계면에 약액(600)이 침투되는 문제점이 발생할 수 있다. 이에 따라 상기 점착제(530)에서 상기 플렉서블기판(510)이 탈착될 수 있다.As shown in FIG. 3B, the pressure-
상기 플렉서블기판(510)이 상기 점착제(530)에서 탈착됨에 따라 상기 플렉서블기판(510)의 유연특성 때문에 모서리영역에서 플렉서블기판(510)이 벤딩되는 문제점이 발생할 수 있게 된다. As the
이와 같이, 상기 플렉서블기판(510)이 점착제(530)에서 탈착되어 벤딩됨에 따라 상기 점착반송기판(501)의 반송에 문제점이 발생할 수 있고, 상기 벤딩된 플렉서블기판(510) 상태로 복수의 공정을 실시하게 되면 공정장비의 셋업(setup)에 트러블(trouble)이 발생되는 문제점이 발생할 수 있다. As described above, as the
본 발명은 상기 플렉서블기판과 상기 점착제의 모서리영역 형상을 변경하여 상기 점착제와 상기 플렉서블기판의 계면영역에 약액이 침투하는 것을 저감시킴으로써 상기 플렉서블기판이 상기 점착제에서 탈착되는 것을 방지할 수 있는 점착반송기판을 제공하는데 그 목적이 있다. According to an embodiment of the present invention, an adhesive carrier substrate may be prevented from being detached from the adhesive by changing the shape of the edge region of the flexible substrate and the adhesive to reduce the penetration of the chemical solution into the interface region of the adhesive and the flexible substrate. The purpose is to provide.
그리고 상기 플렉서블기판이 상기 점착제에서 탈착되는 것을 방지하여 상기 플렉서블기판이 벤딩되는 것을 방지하고, 상기 플렉서블 표시장치 제조공정의 안전성을 확보할 수 있는 플렉서블 표시장치 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다. Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a flexible display device capable of preventing the flexible substrate from being detached from the pressure-sensitive adhesive to prevent the flexible substrate from being bent and to secure the safety of the flexible display device manufacturing process.
상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 점착반송기판은 기재기판과; 상기 기재기판에 형성되며, 모서리영역의 표면적을 저감하는 형상으로 형성된 플렉서블기판과; 상기 기재기판 상에 상기 플렉서블기판을 점착시키며, 모서리영역의 표면적을 저감하는 형상으로 형성된 점착제를 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the adhesive transport substrate according to the present invention is a substrate substrate; A flexible substrate formed on the substrate and formed in a shape to reduce the surface area of the edge region; And a pressure-sensitive adhesive formed on the substrate to adhere the flexible substrate and to reduce the surface area of the edge region.
그리고 상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 라운딩된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 한다. And the shape of the edge region of the flexible substrate and the pressure-sensitive adhesive is characterized in that it is formed in a rounded shape.
그리고 상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 상기 플렉서블기판의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상으로 형성하는 것을 특징으로 한다.In addition, the shape of the edge region of the flexible substrate and the pressure-sensitive adhesive is characterized in that the edge region parallel to the diagonal direction of the flexible substrate is formed in each cut shape.
여기서 상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역에 형성되는 표면적을 저감하는 형상은 표면에너지를 낮춰 약액이 집중되는 것을 최소화시키는 것을 특징으로 한다. Here, the shape of reducing the surface area formed in the edge region of the flexible substrate and the pressure-sensitive adhesive is characterized in that to minimize the concentration of the chemical liquid by lowering the surface energy.
상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 제조방법은 기재기판 상에 점착제를 점착시키는 단계와, 상기 점착제 상에 플렉서블기판을 점착시키는 단계와, 상기 플렉서블기판 및 점착제의 모서리영역을 표면적이 저감하는 형상으로 절단하여 점착반송기판을 형성하는 단계와; 상기 점착반송기판을 생산시스템으로 이동시키는 단계와; 상기 점착반송기판 상에 패턴제조를 포함하는 제조공정을 위한 복수의 약액이 제공되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, a method of manufacturing a flexible display device according to the present invention includes the steps of adhering an adhesive on a substrate, adhering a flexible substrate on the adhesive, and a corner region of the flexible substrate and the adhesive. Cutting into a shape in which the surface area is reduced to form an adhesive transport substrate; Moving the adhesive carrier substrate to a production system; It characterized in that it comprises a step of providing a plurality of chemical liquids for the manufacturing process including the pattern production on the adhesive carrier substrate.
이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 점착반송기판 및 이를 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법을 다음의 실시예를 통하여 자세히 설명하도록 하며, 당업자는 본 발명의 교시를 사용하여 다른 많은 실시형태를 구현할 수 있고 본 발명의 점착반송기판 및 이를 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법은 예시적인 목적이며 다음 실시형태로 제한되지 않음을 명시한다. Hereinafter, the adhesive transport substrate of the present invention and a method of manufacturing a flexible display device using the same according to the accompanying drawings will be described in detail with reference to the following examples, and those skilled in the art can implement many other embodiments using the teachings of the present invention. The present invention is directed to an adhesive transfer substrate and a method of manufacturing a flexible display device using the same, which are intended to be illustrative and not limited to the following embodiments.
상기 플렉서블 표시장치는 유연한 형태의 화면을 구비할 수 있으며 궁극적으로는 구부리거나 둘둘 말수 있는 표시장치를 가르킨다. 즉, 다양한 구동모드를 플렉서블기판에 구현하는 것을 말한다. The flexible display device may have a flexible screen and ultimately indicate a display device that can be bent or rolled up. That is, various driving modes are implemented in the flexible substrate.
여기서 상기 플렉서블기판이 표시장치의 기판으로 사용되기 위해서는 기존의 표시장치에서 요구되는 특성을 만족시키는 것이 바람직하다. 따라서, 기존에 사용하는 유리기판의 특성에 상응하는 특성을 만족시키면서 기존 표시장치의 제조공정 에 대한 적합성을 만족시켜 기존 공장의 인프라(infra)를 활용할 수 있는 것이 바람직하다. In this case, in order to use the flexible substrate as a substrate of the display device, it is desirable to satisfy the characteristics required in the existing display device. Therefore, it is desirable to be able to utilize the infrastructure of the existing factory by satisfying the properties corresponding to the characteristics of the glass substrate used in the existing and the suitability for the manufacturing process of the existing display device.
도 4a내지 도 4c는 본 발명에 따른 점착반송기판을 도시한 도면이다. Figures 4a to 4c is a view showing a pressure-sensitive adhesive transfer substrate according to the present invention.
여기서 도 4a는 본 발명에 따른 점착반송기판을 도시한 평면도이고, 도 4b는 도 4a의 A영역을 확대한 사시도이다. 그리고 도 4c는 본 발명에 따른 모서리영역의 단위길이에 따른 표면적을 도시한 도면이다. 4A is a plan view of the adhesive transfer substrate according to the present invention, and FIG. 4B is an enlarged perspective view of region A of FIG. 4A. 4c is a view showing the surface area according to the unit length of the corner region according to the present invention.
도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 점착반송기판(1)은 기재기판(20) 상에 유연성을 갖는 플렉서블기판(10)이 점착되어 있다. As shown in FIGS. 4A and 4B, the
상기 플렉서블기판(10)은 플라스틱, 또는 메탈 포일 등의 유연성을 갖는 기판이다. 상기 플렉서블기판(10)은 깨지지 않으며 휘어지는 특성을 갖고 있다. 따라서 상기의 특성을 갖는 기판으로 초경량이면서 휴대하기 편리한 유연한 플렉서블 표시장치를 형성할 수 있다. The
상기 플렉서블기판(10)은 유연성을 갖는 기판으로 추후에 패턴 등이 형성되는 기판이다. 그런데 상기 플렉서블기판(10)은 유연성을 갖기 때문에 상기 플렉서블기판(10) 상에 패턴을 형성하는 공정 등을 실시하게 되면 상기 유연특성 때문에 적층구조를 갖는 스위칭소자 등을 형성하는데 정렬 등의 어려움이 발생할 수 있다. The
따라서 상기 플렉서블기판(10)의 정렬, 반송 등의 공정을 용이하게 실시하기 위해서 상기 플렉서블기판(10)이 소정의 형상을 유지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. Therefore, in order to easily perform a process such as aligning and conveying the
그래서 유리기판, 석영기판 등의 하드한 형상을 갖는 형상유지기판으로 기재 기판(20)을 마련할 수 있다. 상기 기재기판(20)은 플렉서블기판(10)의 형상을 유지할 수 있는 기판이다. Thus, the
이와 같이, 상기 기재기판(20) 상에 상기 플렉서블기판(10)을 점착시켜 플렉서블기판(10)의 형상을 유지시키게 된다. 이에 따라 플렉서블기판(10)의 반송의 용이함과 공정의 안전성을 확보할 수 있게 된다. As such, the
상기 기재기판(20)과 상기 플렉서블기판(10) 사이에는 점착제(30)를 마련할 수 있다. An adhesive 30 may be provided between the
상기 점착제(30)는 상기 기재기판(20) 상에 상기 플렉서블기판(10)이 점착되도록 할 수 있는 중간재 역할을 한다. 여기서 상기 점착제(30)는 기재기판(20)과 점착되는 방향에는 강한 점착력이 형성되고 상기 플렉서블기판(10)과 상기 점착제(30) 사이에는 약한 점착력이 형성되도록 형성할 있다. The pressure-
상기 점착제(30)는 접착제의 일종으로 상기 접착제는 고체화하여 접착시키는데에 비하여 점착제(30) 자신은 유동성을 갖을 수 있다. 여기서 상기 점착제(30)의 자체는 탈착약액 등에 영향을 잘 받지 않는 성질을 갖고 있지만 점착경계면에 탈착시킬 수 있는 탈착약액이 제공되면 피착물과 박리되는 현상이 발생할 수 있다. The pressure-
여기서 상기 플레서블기판(10) 및 점착제(30)의 각 모서리영역(a)은 라운딩된 형상, 상기 플렉서블기판(10)의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상 등으로 마련할 수 있다. 라운딩된 형상의 모서리를 갖는 플렉서블기판(10)은 추후에 실시되는 패턴공정 등의 제조공정에서 사용되는 약액 등 액체의 침투를 저감할 수 있다. In this case, each of the edge regions a of the
다시 말해, 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 모서리영역을 상기 라운딩된 형상, 또는 상기 플렉서블기판(10)의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상으로 형성하여 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 모서리영역의 표면적을 줄일 수 있게 된다. 즉, 상기 약액 등의 액체에 노출되는 표면적을 저감할 수 있게 된다. In other words, the edge regions of the
상기 표면적은 표면자유에너지(Surface free energy, 이하 표면에너지)를 저감시켜 상기 표면적에 접촉할 수 있는 약액 등 액체의 접촉량을 저감할 수 있게 된다. 따라서 상기 약액 등의 액체가 상기 플렉서블기판(10)의 두께면에 접촉(또는 침투)하게 됨에 따라 발생되는 플렉서블기판(10)의 벤딩현상 등의 문제점을 저감할 수 있게 된다. 상기 플렉서블기판(10)의 모서리영역(a)의 형상 및 상기 액체의 침투에 관련된 문제점 등은 추후에 도 5a, 도 5b에서 상세히 설명한다. The surface area may reduce surface free energy (hereinafter, referred to as surface energy) to reduce a contact amount of a liquid such as a chemical liquid that may contact the surface area. Therefore, problems such as bending of the
이와 같이, 점착반송기판(1)은 상기 기재기판(20) 상에 점착시켜 상기 플렉서블기판(10)을 용이하게 반송시킬 수 있게 된다. 또한, 상기 플렉서블기판(10)이 소정의 형상을 유지할 수 있게 됨에 따라 플렉서블기판(10) 상에 패턴을 형성하는 제조공정을 용이하게 실시할 수 있게 된다. As such, the
여기서 상기 플렉서블기판(10)의 모서리영역(a)의 형상을 라운딩된 형상, 상기 플렉서블기판(10)의 대각방향으로 평행한 모서리영역(a)이 각각 절단된 형상 등으로 형성함으로써 패턴제조공정 등의 약액 등 액체가 제공되는 공정에서 플렉서블기판(10)이 탈착되어 휘는 벤딩불량 등을 방지할 수 있어 공정의 안정성을 확보할 수 있게 된다. In this case, the shape of the edge region a of the
도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)는 설명의 편의를 위해 단위길이(L)로 가로/세로 방향으로 나눈다. As shown in FIG. 4B, the
상기 가상의 단위길이(L)로 나누어져 형성된 상기 섹터는 모서리영역의 a섹터, 변영역의 b섹터, 플렉서블기판(10)으로 가려지는 c섹터로 분류한다. The sector formed by dividing the virtual unit length L is classified into a sector of a corner area, b sector of a side area, and c sector covered by the
상기 c섹터는 상기 플렉서블기판(10)으로 인해 상기 점착제(30)가 약액(100)에 노출되지 않는 영역이다. The c sector is an area in which the pressure-
상기 b섹터는 상기 점착제(30)의 변(邊, the side)영역을 표시한다. 여기서 상기 점착제(30)는 소정의 두께로 형성되어 있기 때문에 상기 변영역(b)의 점착제(30)는 한쪽의 측면이 외부로 노출된다. 그래서 상기 변영역의 상기 점착제(30) 및 플렉서블기판(10)의 두께면을 따라 상기 약액 등의 액체가 접촉될 수 있다.The b sector indicates the side region of the pressure-
상기 a섹터는 상기 점착제(30) 및 플렉서블기판(10)의 모서리영역(a)을 표시한다. 상기 모서리영역(a)은 두변이 합쳐지는 영역으로 상기 약액에 노출되는 영역이 상기 변영역의 b섹터보다 노출면적이 크게 형성될 수 있다. The sector a indicates the corner area a of the adhesive 30 and the
도 4c에 도시된 단위길이에 따른 표면적과 같이, 모서리영역(a)에는 플렉서블기판(10)과 점착제(30)가 노출표면적을 저감하는 형상으로 형성되어 있다. 여기서 실시예로 상기 모서리영역(a)은 라운딩된 형상으로 형성되어 있는 것을 설명한다. Like the surface area according to the unit length shown in FIG. 4C, the
상기 모서리영역(a)이 라운딩된 형상으로 형성됨에 따라 상기 모서리영역(a)은 외부(약액)에 노출되는 표면적이 저감할 수 있게 된다. 여기서 상기 표면적과 표면에너지의 관계를 설명하기 위해 추후 상기 점착반송기판에 제공되는 약액을 실 시예로 설명한다. As the corner region a is formed in a rounded shape, the surface area exposed to the outside (chemical liquid) can be reduced. Here, in order to explain the relationship between the surface area and the surface energy, the chemical solution provided to the adhesive transport substrate will be described in an embodiment.
여기서 라운딩된 모서리영역(a)을 상기 라운딩된 형상을 원형으로 정의하여 설명하면 길이 공식에 따라 2Rπ(여기서 π는 3.14로 정의함)이다. 그리고 여기서 상기 모서리영역(a)는 원 형상의 1/4에 해당함으로 노출길이는 (1/4)*2*"L"*π가 된다. 즉, 상기 노출길이 (L/2)*π에 해당하는 노출표면적이 발생하게 된다. Here, when the rounded corner region a is defined by defining the rounded shape as a circle, it is 2Rπ (where π is defined as 3.14) according to the length formula. In this case, the edge area a corresponds to 1/4 of a circular shape, and thus the exposure length is (1/4) * 2 * "L" * π. That is, an exposure surface area corresponding to the exposure length (L / 2) * π is generated.
그래서 상기 모서리영역(a)에는 노출되는 "L" 해당하는 길이에 노출표면적은 평형상태가 되기 위해서 노출길이 "(L/2)*π"의 노출표면적에 해당하는 에너지만큼 접촉할 수 있다. 따라서 노출길이 "(L/2)*π"에 해당하는 노출표면적에 상기 약액이 접촉할 수 있게 된다. 즉, 상기 점착제(30) 및 플레서블기판(10)의 두께면에 접촉할 수 있게 된다. Thus, the edge area a may be in contact with the exposed surface area of the exposure length “(L / 2) * π” in order to be in equilibrium with the exposed surface area corresponding to the exposed length “L”. Therefore, the chemical liquid can be brought into contact with the exposed surface area corresponding to the exposure length "(L / 2) * π". That is, the adhesive 30 and the
여기서 종래의 도 2a와 비교하여 설명하면, 상기 종래의 단위길이 "L'"와 "L"을 동일길이로 정의하면 종래의 모서리영역(a)에서는 노출길이 2L을 갖는 노출표면적이 형성되는 반면, 본 발명에서 모서리영역(a)은 노출길이 "(L/2)*π"(즉, 1.57L)를 갖는 노출표면적이 형성될 수 있다. 2A, when the conventional unit lengths "L '" and "L" are defined as the same length, an exposed surface area having an exposure length of 2L is formed in the conventional edge region a. In the present invention, the edge area a may have an exposed surface area having an exposure length of "(L / 2) * π" (that is, 1.57L).
이와 같이, 상기 모서리영역(a)의 형상을 변경함으로써 노출표면적을 저감시킬 수 있게 된다. 즉, 상기 약액(100)의 접촉 표면적을 저감할 수 있게 된다. 따라서 상기 본 발명에 따른 모서리영역(a)의 라운딩된 형상에 따라 상기 모서리영역(a)에서는 노출표면적을 저감할 수 있게 된다. In this way, the exposed surface area can be reduced by changing the shape of the corner region a. That is, the contact surface area of the
따라서, 상기 모서리영역(a)에서 저감되는 노출표면적에 의해서 추후에 실시되는 공정 등에서 제공되는 약액 등 액체의 접촉량을 저감시킬 수 있게 된다. Therefore, the amount of contact of the liquid such as the chemical liquid provided in a later process or the like can be reduced by the exposed surface area reduced in the corner region a.
도 5a는 본 발명에 따른 점착반송기판에 접촉되는 약액을 도시한 평면도이고, 도 5b는 도 5a의 III-III'에 따른 단면도이다. 여기서 상기 플렉서블기판(10)의 두께 및 상기 점착제(30)의 두께는 소정의 균일한 두께로 형성된 것으로 설명한다. Figure 5a is a plan view showing a chemical liquid in contact with the adhesive carrier substrate according to the present invention, Figure 5b is a cross-sectional view taken along III-III 'of Figure 5a. Herein, the thickness of the
도 5a에 도시된 바와 같이, 상기 점착반송기판(1)은 상기 플렉서블기판(10)에 상기 패턴형성공정 등을 실시하면서 다양한 약액(100)을 사용하게 된다. 여기서 상기 약액(100)은 상기 플렉서블기판(10) 평면 상에 제공되어 패턴형성공정을 실시하게 된다. 그런데 상기 약액(100)은 액체상태이기 때문에 유동하여 상기 플렉서블기판(10)의 측부면에 접촉할 수 있게 된다. As illustrated in FIG. 5A, the
여기서 상기 라운딩된 모서리영역은 "a"로 정의하고, 상기 변영역은 "b"영역으로 정의한다. 그리고 상기 변영역(b)의 안쪽에 형성되어 상기 플렉서블기판(10)의 면으로 가려져 상기 점착제(30)가 노출되지 않는 영역을 "c"영역으로 정의한다. The rounded corner region is defined as "a", and the edge region is defined as "b" region. In addition, a region formed inside the side region b and covered by the surface of the
여기서 상기 플렉서블기판(10) 및 상기 점착제(30)는 소정의 두께로 형성되어 있다. 따라서 상기 두께면은 외부에 노출되는 영역이 된다. Here, the
즉, 상기 모서리영역(a) 및 상기 변영역(b)은 외부에 노출되는 영역이 된다.That is, the edge area a and the side area b are areas exposed to the outside.
그래서 본 발명에서는 상기 a섹터에서 상기 약액(100)에 노출되는 표면적을 저감할 수 있도록 상기 모서리영역의 형상을 라운딩된 형상, 상기 플렉서블기판의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상으로 형성할 수 있다. Therefore, in the present invention, the rounded shape of the corner region and the diagonally parallel corner regions of the flexible substrate are cut out so as to reduce the surface area exposed to the
여기서 상기 약액(100)에 노출되는 표면적은 상기 약액(100)이 접촉할 수 있는 표면에너지를 제공하여 상기 표면적이 크게 형성될수록 상기 약액(100)이 접촉 할 수 있는 접촉량이 증가하게 된다. Here, the surface area exposed to the
따라서 상기 약액(100)의 접촉량에 의해서 점착제(30)에서 상기 플렉서블기판(10)이 탈착되는 등의 문제점이 발생할 수 있기 때문에 상기 노출 표면적을 최소화시키는 것이 바람직하다. Therefore, the exposed surface area may be minimized because problems such as detachment of the
즉, 상기 약액(100)은 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 측부에 접촉하면서 기재기판(20)과 상기 플렉서블기판(10) 사이에 형성된 점착제(30)를 식각시키거나 상기 플렉서블기판(10)과 점착제(30)의 계면에 침투하여 점착제(30)에서 상기 플렉서블기판(10)을 탈착시키는 문제점을 야기시킬 수도 있다. That is, the
특히, 상기 약액(100)은 변영역(b)보다 모서리영역(a)에 많은 양이 접촉할 수 있게 된다. 즉, 상기 약액(100)은 액체이기 때문에 표면에너지에 따라 접촉량이 형성될 수 있다. 상기 표면에너지는 액체의 내부에 있는 액체분자를 표면에 이동시켜 단위 표면적을 형성하는데 필요한 에너지이다. In particular, the
상기 표면에너지는 액체(즉, 약액(100))의 내부분자(100b)는 이웃하는 분자와 일정한 결합력을 유지하며 그 상태가 균형을 이루어 안정화(stable)된 상태이다. 반면, 상기 액체의 표면은 불균형상태를 이루어 액체내부방향으로 액체분자의 결합력이 형성된다. The surface energy is a state in which the
따라서 액체표면의 분자(100a)는 내부의 액체분자(100b)에 비하여 큰 에너지 상태를 가지고 있어 가능한 액체표면의 분자(100a)의 수를 최소화하여 안정화상태(stable state)가 되려는 경향이 있다. Therefore, the
다시 말해, 상기 액체표면의 분자(100a)는 외부의 표면과 결합하여 평행상 태(equilibrium state)를 이루어 안정화되려는 경향이 있다. 이는 가장 안전한 전자 궤도 상에 필요한 전자궤도를 완전히 채우는 것이 가장 안전한 상태인 것과 같이 분위기만 형성되면 불안정한 상태를 채우려는 것과 같은 원리이다. In other words, the
그래서 본 발명에서는 상기 모서리영역(a)의 형상을 라운딩된 형상으로 변경하여 노출표면적을 저감하여 상기 액체표면의 분자(100a)의 접촉량을 저감할 수 있다. Thus, in the present invention, the contact area of the
상기 노출표면적은 도 4c에서 설명하였으므로 생략한다. Since the exposed surface area has been described with reference to FIG. 4C, it is omitted.
도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 점착반송기판(1)에 마련되는 점착제(30)와 플렉서블기판(30)은 측부가 상기 약액(100)에 노출됨에 따라 모서리영역(a)의 형상에 의해서 형성되는 표면적에 따라 상기 약액(100)이 접촉량이 상이하게 형성될 수 있다. As shown in FIG. 5B, the pressure-
상기 모서리영역(a)이 라운딩된 형상으로 형성됨에 따라 상기 모서리영역(a)은 외부(약액)에 노출되는 표면적이 저감할 수 있게 된다. 여기서 상기 표면적과 표면에너지의 관계를 설명하기 위해 상기 점착반송기판(1)에 제공되는 약액(100)을 실시예로 설명한다. As the corner region a is formed in a rounded shape, the surface area exposed to the outside (chemical liquid) can be reduced. Here, in order to explain the relationship between the surface area and the surface energy, the
여기서 상기 액체인 약액(100)의 표면분자는 표면에너지를 낮추어 평형상태(equilibrium state)가 되어 안전화상태(stable state)가 되려고 한다. 즉, 상기 액체표면의 분자는 외부의 표면과 결합하여 평행상태를 이루어 안정화되려고 한다. 여기서 상기 평형상태는 "0"으로 정의한다. In this case, the surface molecules of the
여기서 도 4c에 설명한 바와 같이, 라운딩된 모서리영역(a)은 상기 노출길이 (L/2)*π에 해당하는 길이를 갖는 노출 표면적이 발생하게 된다. Here, as described with reference to FIG. 4C, the rounded corner region a generates an exposed surface area having a length corresponding to the exposure length L / 2 * π.
그래서 상기 모서리영역(a)에는 노출되는 단위길이(L) 해당하는 표면적에 약액(100)은 평형상태가 되기 위해서 노출길이 "(L/2)*π"에 해당하는 노출표면적 만큼 상기 약액(100)이 접촉할 수 있다. 따라서 상기 약액(100)은 노출길이 "L/2*π"에 해당하는 노출표면적에 상기 점착제(30) 및 플레서블기판(10)의 두께면에 접촉할 수 있게 된다. Thus, the
이와 같이, 상기 모서리영역(a)의 형상을 변경함으로써 노출표면적을 저감시킬 수 있게 된다. 즉, 상기 약액(100)의 접촉 표면적을 저감할 수 있게 된다. In this way, the exposed surface area can be reduced by changing the shape of the corner region a. That is, the contact surface area of the
따라서 상기 본 발명에 따른 모서리영역(a)의 라운딩된 형상에 따라 상기 모서리영역(a)에 상기 약액(100)이 접촉되는 량을 저감할 수 있게 된다. 도 3a를 참조하여 설명하면, 본 발명의 노출표면적을 저감함으로써 상기 두께면에 접촉되는 약액(100)의 접촉량을 저감할 수 있게 된다. 즉, 상기 점착제(30)와 상기 플렉서블기판(10)의 점착계면에 침투할 수 있는 상기 약액(100)의 량이 저감될 수 있다. Therefore, according to the rounded shape of the corner region (a) according to the present invention, it is possible to reduce the amount of contact with the
이와 같이, 상기 약액(100)의 접촉표면적을 저감시킴에 따라 상기 모서리영역(a)에 약액(100)이 접촉량을 저감하여 상기 점착제(30)와 상기 플렉서블기판(10)의 점착계면으로 상기 약액(100)이 침투되는 방지할 수 있게 된다. As described above, as the contact surface area of the
따라서 상기 약액(100)이 점착계면으로 침투되어 상기 점착제(30)로부터 상기 플렉서블기판(10)이 탈착되는 문제점을 방지할 수 있게 된다. Therefore, the
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 모서리영역 형상의 다른 실시예를 도시한 도면이다. 6a and 6b are views showing another embodiment of the shape of the corner region according to the present invention.
상기 점착반송기판(1)은 기재기판(20) 상에 플렉서블기판(10)이 점착제(30)에 의해서 점착되어 있다. 상기 점착반송기판(1)은 상기 플렉서블기판(10) 상에 패턴을 형성하는 공정 등 복수의 공정을 거치게 된다. In the
여기서 상기 공정은 복수의 약액(100)을 사용하게 되고 상기 약액(100)은 액상이기 때문에 상기 플렉서블기판(10)과 점착제(30)의 측부를 따라 접촉할 수 있게 된다. Since the process uses a plurality of
그런데 액상인 약액(100)은 표면자유에너지에 따라 표면적이 높은 영역에 접촉하려는 경향이 있다. 여기서 액체로 형성된 약액(100)은 표면자유에너지에 따라 상기 약액(100)표면의 분자가 외부의 표면과 결합하여 평행상태(equilibrium state)를 이루어 안정화되려는 경향이 발생할 수 있다. However, the
그래서 표면적이 높게 형성되는 상기 모서리영역(a)에 플렉서블기판(10)의 대각방향으로 절단된 형상으로 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)를 형성하여 표면적을 최소화할 수 있다. Thus, the
여기서 본 발명의 대각방향으로 절단된 형상의 길이는 피타고라스 정리에 따라 (2)1/2L에 해당할 수 있다. 상기 (2)1/2는 1.4로 정의한다. 즉, 1.4L의 길이를 갖는 표면적이 형성될 수 있다. Here, the length of the diagonally cut shape of the present invention may correspond to (2) 1/2 L according to the Pythagorean theorem. (2) 1/2 is defined as 1.4. That is, a surface area having a length of 1.4L can be formed.
이와 같이, 상기 모서리영역(a)의 표면적을 저감함으로써 상기 약액(100)이 접촉할 수 있는 표면적이 저감될 수 있다. 따라서 상기 점착제(30)와 플렉서블기판(10)의 표면적을 저감함에 따라 상기 모서리영역(a)에 약액(100)의 접촉량이 저 감되어 상기 점착제(30)와 플렉서블기판(10)의 점착계면에 상기 약액(100)이 침투되는 현상을 최소화할 수 있다. As such, by reducing the surface area of the corner region a, the surface area that the
따라서 상기 플렉서블기판(10)이 점착제(30)에서 탈착되는 현상을 방지할 수 있게 된다. Therefore, it is possible to prevent the
도 7a 내지 도 7e는 본 발명에 따른 점착반송기판 제조 및 상기 점착반송기판을 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법을 개략적으로 도시한 도면이다. 7A to 7E schematically illustrate a method of manufacturing an adhesive carrier substrate and a method of manufacturing a flexible display device using the adhesive carrier substrate.
도 7a에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블기판은 깨지지 않으며 휘어지는 특성을 갖고 있다. 따라서 상기의 특성을 갖는 기판으로 초경량이면서 휴대하기 편리한 유연한 플렉서블 표시장치를 형성할 수 있다. As shown in FIG. 7A, the flexible substrate is not broken and has a bending characteristic. Accordingly, it is possible to form a flexible flexible display device that is extremely lightweight and convenient to carry with a substrate having the above characteristics.
상기 플렉서블기판은 유연성을 갖고 있기 때문에 소정의 형상을 지속적으로 유지하는데 어려움이 발생할 수 있다. 또한 상기 플렉서블기판은 유연하기 때문에 반송할 때 플렉서블기판을 반송하는데 어려움이 발생할 수 있다. 게다가 상기 플렉서블기판에는 적층구조를 갖는 상기 스위칭소자 등을 형성할 때 상기 플렉서블기판을 정렬시켜야 하는데 상기 플렉서블기판의 유연특성 때문에 오정렬이 발생할 수 있다. Since the flexible substrate has flexibility, it may be difficult to continuously maintain a predetermined shape. In addition, since the flexible substrate is flexible, it may be difficult to convey the flexible substrate when it is transported. In addition, the flexible substrate should be aligned when the switching element having the stacked structure is formed, but misalignment may occur due to the flexible characteristics of the flexible substrate.
그래서 소정의 형상을 갖는 상기 기재기판(20)을 마련하고, 상기 기재기판(20) 상에 점착제(30)를 점착시킨다. Thus, the
상기 기재기판(20)은 상기 플렉서블기판 상에 패턴형성하는 제조공정, 반송 등을 실시하는데 있어 유연성을 갖는 상기 플렉서블기판이 소정의 형상을 유지할 수 있도록 한다. 따라서 상기 플렉서블기판의 정렬, 반송 등의 공정을 용이하게 실 시할 수 있게 된다. The
상기 점착제(30)는 접착제의 일종으로 상기 접착제는 고체화하여 접착시키는데에 비하여 점착제(30) 자신은 유동성을 갖고 있다. 여기서 상기 점착제(30)의 자체는 탈착 약액 등에 영향을 잘 받지 않는 성질을 갖고 있지만 점착경계면에 탈착시킬 수 있는 액체 등이 제공되면 박리가 일어날 수 있다. The pressure-
그리고 상기 점착제(30)의 표면에는 이형지가 마련된다. 이와 같이, 상기 점착제(30)에는 이형지가 코팅되어 있다. 상기 이형코팅이란 점착물질의 이형을 위하여 종이와 같이 기재에 박막의 경화필름을 형성시키는 것이다. 그리고 상기 이형지는 상기 점착제(30)의 한쪽이나 양면에 코팅되어 상기 점착제(30)를 사용하기 전까지 보호할 수 있다. 상기 이형지는 상기 점착제(30)를 보호하고, 그 외에도 공정상 또는 그 사이에 다양한 요구에 부응하여야 하므로, 적정한 이형력, 점착제(30) 장기보존성, 내커링성, 적당한 기계적 강도 등의 특성으로 상기 점착제(30)의 형상을 유지하도록 할 수 있다. And a release paper is provided on the surface of the adhesive 30. As such, the adhesive 30 is coated with a release paper. The release coating is to form a cured film of a thin film on a substrate such as paper for release of the adhesive material. And the release paper is coated on one or both sides of the pressure-
여기서 상기 점착제(30)의 양면에 이형지가 마련된다. 상기 점착제(30)를 롤링하여 상기 점착제(30)를 라미네이팅(laminating)공정을 할 수 있다. 이와 같이, 상기 라미네이팅 공정을 실시하여 상기 점착제(30)가 상기 기재기판(20)과의 점착력을 향상시킬 수 있게 된다. 또한 상기 점착제(30)가 상기 기재기판(20) 상에 박편(thin)이 되도록하고, 고루게 점착력(밀착성(anchorage))을 갖도록 할 수 있다. Here, release paper is provided on both sides of the pressure-
도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 점착제(30)의 상부 이형지를 박리하고 박리된 점착제(30)의 상부에 플렉서블 표시장치를 형성할 수 있는 플렉서블기판(10)을 점착시키게 된다. 여기서 상기 플렉서블기판(10)도 또한 라미네이팅 공정을 실시할 수 있다. As shown in FIG. 7B, the upper release paper of the adhesive 30 is peeled off, and the
이는 상기 플렉서블기판(10)의 특성인 유연성 때문에 상기 플렉서블기판(10)이 점착제(30) 상에 박편(thin) 형상으로 미형성되는 것을 방지할 수 있게 된다. This may prevent the
그리고 상기 점착제(30)는 양면은 서로 상이한 점착력으로 마련할 수 있다. 이와 같이, 상기 점착력이 상이한 양면 점착제(30)가 마련되는 이유는 상기 기재기판(20)과 점착하는 계면은 제조공정 탈착방지하기 위해 강한 점착력으로 형성되고, 상기 플렉서블기판(100과 점착되는 계면은 상기 플렉서블기판(10) 상에 형성되는 패턴 등의 제조공정이 완료되면 상기 점착제(30)에서 상기 플렉서블기판(10)을 탈착시켜 플렉서블 표시장치를 형성하여야 하기 때문이다. And both sides of the pressure-
도 7c에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블기판(10)과 점착제(30)의 모서리영역을 표면적이 저감하도록 커팅할 수 있다. 상기 모서리영역의 형상은 라운딩된 형상, 상기 플렉서블기판(10)의 대각방향으로 절단된 형상으로 커팅하여 외부에 노출되는 표면적을 저감할 수 있다. As shown in FIG. 7C, the edge regions of the
여기서 상기 모서리영역의 형상은 도 5a 및 도 5b, 도 6a 및 6b을 인용하여 설명하면 상기 모서리영역의 커팅된 형상은 모서리영역의 표면적을 저감하여 추후에 실시되는 플렉서블기판(10)의 패턴형성공정에서 사용되는 약액 등 액체의 접촉량을 저감할 수 있게 된다. Here, the shape of the corner region is described with reference to FIGS. 5A and 5B, FIGS. 6A and 6B. The cut shape of the corner region reduces the surface area of the corner region, and the pattern forming process of the
따라서 상기 모서리영역(a)에 상기 약액(100)의 접촉량을 저감함에 따라 상기 모리서리영역의 점착제(30)가 상기 약액(100)에 식각되거나, 상기 플렉서블기 판(10)과 상기 점착제(30)가 점착된 계면에 침투하여 상기 플렉서블기판(10)이 상기 점착제(30)에서 탈착되는 문제점을 최소화할 수 있게 된다. Therefore, as the amount of contact of the
이와 같이, 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 모서리영역(a)을 커팅하여 본 발명에 따른 점착반송기판(1)을 형성할 수 있게 된다. As such, the edge region a of the
도 7d에 도시된 바와 같이, 상기 본 발명에 따른 점착반송기판(1)을 세정공정, 패턴을 형성하는 공정 등의 생산시스템 장비(200)로 이동시킨다.As shown in FIG. 7D, the
상기 생산시스템(200)은 상기 플렉서블기판(10)을 세척할 수도 있고, 상기 플렉서블기판(10) 상에 패턴을 형성할 수도 있다. The
여기서 상기 플렉서블기판(10)에 패턴 형성공정을 간단히 설명하면, 증착공정 등으로 도전성물질을 플렉서블기판(10)에 증착시켜 상기 도전성막을 형성하고 상기 도전성막의 형상을 형성할 수 있도록 감광성막 등을 형성한다.Here, the pattern forming process on the
상기 감광성막에 노광을 실시하고 상기 감광성막을 경화/미경화로 분류된 상기 감광성막을 제거하는 약액 등을 사용하여 감광패턴을 형성할 수 있게 된다. 그리고 상기 도전성물질을 상기 감광패턴을 보호막으로 사용하여 도전성막의 형상을 형성할 수 있도록 식각액을 사용한다. 그리고 상기 감광패턴을 스트립하는 약액 등을 사용하여 상기 감광패턴을 제거하게 된다. The photosensitive pattern may be formed by exposing the photosensitive film and using a chemical liquid for removing the photosensitive film classified as curing / uncuring the photosensitive film. An etchant is used to form the shape of the conductive film using the conductive material as the protective film. Then, the photosensitive pattern is removed using a chemical solution for stripping the photosensitive pattern.
상기 제조공정을 반복적으로 실시하여 상기 플렉서블기판(10) 상에 스위칭소자 등의 패턴을 형성하여 플렉서블 표시장치를 형성할 수 있게 된다. By repeatedly performing the manufacturing process, a pattern such as a switching device may be formed on the
그런데 상기 공정에서 복수의 약액 등이 사용된다. 감광패턴 약액, 식각액, 스트립약액 등 복수의 약액 등이 사용되고 게다가 상기 공정은 반복적으로 실시하 게 된다. By the way, a some chemical liquid etc. are used in the said process. A plurality of chemical liquids such as a photosensitive pattern chemical, an etching liquid, and a strip chemical are used, and the above process is repeatedly performed.
따라서 상기 약액은 상기 점착제(30)의 측부에 접촉되어 점착제(30)와 상기 플렉서블기판(10)의 접촉면에 침투할 수 있게 된다. 상기 침투된 약액은 점착제(30)에서 플렉서블기판(10)을 탈착시키는 문제점을 발생시키고 상기 플렉서블기판(10)의 모서리영역(a) 등이 벤딩되는 문제점을 야기할 수 있다. Therefore, the chemical liquid is in contact with the side of the pressure-
그래서 상기 약액 등의 접촉량이 증가하는 모서리영역(a)의 형상을 라운딩된 형상, 대각방향으로 절단한 형상 등으로 형성하여 상기 약액 등에 노출되는 표면적을 저감시킬 수 있게 된다. Thus, the shape of the corner region a in which the contact amount of the chemical liquid is increased to a rounded shape, a shape cut diagonally, and the like can reduce the surface area exposed to the chemical liquid.
도 7e에 도시된 바와 같이, 상기 점착반송기판(1) 상에는 생산시스템의 제조장치에서 제공되는 약액(100)이 상기 점착제(30)의 측부에 접촉될 수 있다.As illustrated in FIG. 7E, the
여기서 상기 점착반송기판(1)의 제공되는 약액(100)은 액체이기 때문에 플렉서블기판(10)면에 따라 유동하여 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 측부에 접촉될 수 있다. 이와 같이, 접촉되는 약액(100)은 점착제(30)의 측부에 접촉되어 상기 플렉서블기판(10)과 상기 점착제(30)의 경계면에 침투될 수 있다. In this case, since the
특히 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 모서리영역(a)에서 상기 약액(100)의 접촉량이 증가할 수 있다. 상기 모서리영역의 약액(100) 접촉량이 증가하는 이유는 상기 도 5a 및 도 5b에서 설명했기 때문에 생략한다. In particular, the contact amount of the
이와 같이, 모서리영역(a)에서 약액(100)의 접촉량으로 인해 상기 점착제(30)에서 상기 플렉서블기판(10)이 탈착되는 문제점이 발생할 수 있다. 게다가 상기 플렉서블기판(10)의 일부영역 탈착으로 상기 플렉서블기판(10)의 벤딩을 야기 할 수 있고 상기 벤딩에 의해서 공정장비와 점착반송기판(1)은 트러블이 발생할 수 있다. As such, the
그러나 상기 점착제(30) 및 상기 플렉서블기판(10)의 모서리영역(a)을 라운딩된 형상, 상기 플렉서블기판의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상 등으로 표면적이 저감하는 형상으로 형성함에 따라 상기 약액(100)의 접촉량을 저감할 수 있게 된다.However, the edge area (a) of the adhesive 30 and the
이와 같이, 상기 점착반송기판(1)의 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 형상을 변경하여 상기 모서리영역(a)에 상기 약액(100)의 접촉량을 저감할 수 있게 된다. 따라서 상기 플렉서블기판(10)이 상기 점착제(30)에서 탈착되는 문제점을 해소할 수 있게 된다. As such, the shapes of the
그리고 상기 플렉서블기판(10)이 상기 점착제(30)에서 탈착되는 것을 방지하여 상기 플렉서블기판(10)이 벤딩되는 것을 방지할 수 있는 점착반송기판(1)을 형성할 수 있고, 상기 점착반송기판(1)을 이용한 상기 점착반송방법으로 상기 플렉서블 표시장치 제조공정의 안전성을 확보할 수 있게 된다. In addition, the
상술한 바와 같이, 본 발명의 점착반송기판은 플렉서블기판 및 점착제의 형상을 변경하여 상기 모서리영역에 약액 등 액체의 접촉량을 저감할 수 있게 된다. 따라서 상기 플렉서블기판이 상기 점착제에서 탈착되는 문제점을 해소할 수 있게 된다. As described above, the pressure-sensitive adhesive transfer substrate of the present invention can change the shape of the flexible substrate and the pressure-sensitive adhesive to reduce the amount of contact of the liquid and the like liquid to the corner area. Therefore, it is possible to solve the problem that the flexible substrate is detached from the pressure-sensitive adhesive.
그리고 상기 플렉서블기판이 상기 점착제에서 일부분이 탈착되는 것을 방지하여 상기 플렉서블기판이 벤딩되는 것을 방지할 수 있는 점착반송기판을 형성할 수 있고, 상기 점착반송기판을 이용하여 상기 플렉서블 표시장치 제조공정의 안전성을 확보할 수 있게 된다. In addition, the flexible substrate may form a pressure-sensitive adhesive substrate that can prevent a part of the adhesive from being detached and prevent the flexible substrate from being bent, and safety of the flexible display device manufacturing process using the pressure-sensitive adhesive substrate. Can be secured.
Claims (19)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060061070A KR20080002314A (en) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | Adhesive substrate and fabricating for the flexible display device method using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060061070A KR20080002314A (en) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | Adhesive substrate and fabricating for the flexible display device method using the same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080002314A true KR20080002314A (en) | 2008-01-04 |
Family
ID=39214121
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060061070A KR20080002314A (en) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | Adhesive substrate and fabricating for the flexible display device method using the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20080002314A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101452288B1 (en) * | 2012-11-19 | 2014-10-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | Display device |
KR20150083152A (en) * | 2014-01-08 | 2015-07-17 | 주식회사 루멘스 | Etching apparatus for edge of substrate |
KR20180024819A (en) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Display device having an adhesive layer between a lower substrate and an upper substrate |
KR20190136182A (en) * | 2018-05-30 | 2019-12-10 | 주성엔지니어링(주) | carrier substrate and manufacturing method for organic electronic device using the same |
CN113934311A (en) * | 2020-06-29 | 2022-01-14 | 瀚宇彩晶股份有限公司 | Flexible panel and manufacturing method thereof |
-
2006
- 2006-06-30 KR KR1020060061070A patent/KR20080002314A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101452288B1 (en) * | 2012-11-19 | 2014-10-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | Display device |
KR20150083152A (en) * | 2014-01-08 | 2015-07-17 | 주식회사 루멘스 | Etching apparatus for edge of substrate |
KR20180024819A (en) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Display device having an adhesive layer between a lower substrate and an upper substrate |
KR20190136182A (en) * | 2018-05-30 | 2019-12-10 | 주성엔지니어링(주) | carrier substrate and manufacturing method for organic electronic device using the same |
CN113934311A (en) * | 2020-06-29 | 2022-01-14 | 瀚宇彩晶股份有限公司 | Flexible panel and manufacturing method thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20080001744A (en) | Adhesive substrate and fabricating for flexible display device method using the same | |
JP5029523B2 (en) | GLASS LAMINATE, PANEL FOR DISPLAY DEVICE WITH SUPPORT, PANEL FOR DISPLAY DEVICE, DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF | |
JP6099322B2 (en) | Substrate tray and flexible electronic device manufacturing method | |
TWI356658B (en) | Members for circuit board, method and device for m | |
KR20080002314A (en) | Adhesive substrate and fabricating for the flexible display device method using the same | |
TWI377880B (en) | Fabrication methods for flexible electronic devices | |
CN101726905B (en) | Method for manufacturing flat panel display equipment | |
KR20070103162A (en) | Carrier substrate, method for forming the same and method for fabricating of flexible display using the same | |
KR101279257B1 (en) | Substrate for Flexible Display | |
JPWO2012090787A1 (en) | Manufacturing method of laminate | |
JP2004091291A5 (en) | ||
KR101309397B1 (en) | Substrate for Flexible Display | |
WO2023178725A1 (en) | Manufacturing method for display panel and display panel | |
JP2004225077A (en) | Method for manufacturing mask for vapor deposition and mask for vapor deposition | |
JP2002265040A (en) | Base board carrying tool and method of manufacturing liquid crystal display element by using the tool | |
JP4006970B2 (en) | Method for manufacturing double-sided circuit board | |
JP2003273493A (en) | Manufacturing method for circuit board and member for circuit board | |
KR102268164B1 (en) | Apparatus and method of manufacturing a flexible device | |
JP3463634B2 (en) | Manufacturing method of carrier tape | |
CN1731573A (en) | Wafer carrier | |
JP2019075486A (en) | Tape base material for wiring board, and manufacturing method of tape base material for wiring board | |
JP2005116857A (en) | Method for manufacturing circuit board and circuit board member | |
KR101794550B1 (en) | Support substrate and method of manufacturing the same and method of manufacturing substrate for display device by using it | |
JP2008227209A (en) | Method of manufacturing member for circuit board | |
JP2790512B2 (en) | Manufacturing method of flexible circuit board |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WITN | Withdrawal due to no request for examination |