KR20080001543A - 액정 표시패널용 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

액정 표시패널의 이물 불량 및 러빙계 배향 불량을 함께 관찰할 수 있는 액정 표시패널용 검사 장치가 제공된다. 합착 목시 검사를 위한 액정 표시패널용 검사 장치는, 베이스 기판 상에 배열되어 광을 제공하는 백라이트용 램프; 램프 상부에 형성되어 광을 확산시키는 아크릴 확산판; 및 확산판 상부에 부착되어 확산된 광을 편광시키며, TN(Twisted Nematic) 편광판 및 IPS(In-Plain Switching) 편광판이 일정 영역 분할 배치된 하부 편광판을 포함한다.
액정 표시패널, 합착, 목시 검사기, TN 편광판, IPS 편광판

Description

액정 표시패널용 검사 장치 {TEST APPARATUS FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}
도 1은 종래의 기술에 따른 TN 편광판을 나타내는 도면이다.
도 2는 일반적인 합착 목시 검사기를 나타내는 도면이다.
도 3은 일반적인 합착 목시 검사기의 검사 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 아크릴 확산판에 하부 편광판을 부착한 후 백라이트용 램프를 점등한 것을 예시하는 사진이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 합착 목시 검사기를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 TN 편광판 및 IPS 편광판이 일정 영역 분할 배치된 하부 편광판을 나타내는 도면이다.
<도면부호의 간단한 설명>
110: 베이스 기판 120: 백라이트용 램프
130: 강화 유리 140: 아크릴 확산판
150: 하부 편광판 151: TN 편광판
152: IPS 편광판
본 발명은 액정 표시패널용 검사 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 액정 표시패널에 있어서, 합착 글래스 기판을 외관 검사하는 합착 목시 검사기용 편광판에 관한 것이다.
일반적으로 박막트랜지스터를 채택하는 액정 모듈의 제조 공정은 박막트랜지스터(TFT) 공정, 셀(Cell) 공정, 모듈(Module) 공정으로 구분할 수 있다.
TFT 공정은 유리 기판 위에 박막트랜지스터를 반복하여 배열하는 공정이다. 구체적으로, 진공실 내부에 증착에 필요한 가스를 주입하여 압력과 기판 온도가 설정되면, RF(Radio Frequency) 전력을 이용하여 주입된 가스를 플라즈마 상태로 분해하여 글래스 기판 상에 증착하는 화학기상 증착(PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 과정, RF 전력이나 DC 전력에 의해 형성된 플라즈마 내에서 높은 에너지를 갖고 있는 기체 이온이 타겟 표면과 충돌하여 증착하고자 하는 타겟 입자들이 튀어나와 기판에 증착되는 스퍼터링(Sputtering) 과정, 감광제(PR: Photo resist)가 빛을 받으면 화학 반응을 일으켜서 성질이 변화하는 원리를 이용하여 얻고자 하는 패턴의 마스크를 사용하여 빛을 선택적으로 PR에 조사함으로써 마스크의 패턴과 동일한 패턴을 형성시키는 현상(Photolithography) 과정, 기체 플라즈마로부터 만들어진 원자나 자유기(radical)와 같은 반응성 물질과 기판에 증착된 물질이 반응하여 휘발성 물질로 변하는 현상을 이용한 식각(Etch) 과정으로 이루어진다.
또한, 셀 공정은 TFT 하부 기판과 컬러필터가 형성된 상부 기판에 배향막을 형성하는 배향막 도포 과정, 배향막에 액정이 양호하게 정렬할 수 있도록 하는 러빙(rubbing) 과정, 스페이서(spacer)를 산포하는 스페이서 과정, 그리고 상부 기판과 하부 기판을 합착한 후에 모세관 현상을 이용하여 액정을 내부에 주입한 후, 주입구를 봉지하는 액정주입 과정으로 이루어진다.
또한, 모듈 공정은 최종적으로 사용자에게 전해지는 제품 품질을 결정하는 단계로서, 완성된 패널에 편광판을 부착하고 드라이버 IC를 실장한 후, PCB(Printed Circuit Board)를 조립하여 최종적으로 백라이트 유닛(Backlight unit)과 기구물을 조립하는 공정이다.
한편, 전술한 셀 공정에서는 시일제(Sealant) 도포 및 액정 적하 후에 액정 셀을 만들기 위해 박막트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판의 합착 공정을 진행하며, 이후 원장 글래스 기판에서 외관 검사를 실시하여, 액정 배향의 불균일 및 이물 등에 의한 결함을 검출하여 제거하고 있다.
상기 외관 검사의 한 방법으로서 목시(目視) 검사 방식이 있는데, 목시 검사 방식은 글라스 서포트 유닛 상에 검사 대상물인 액정 셀을 올려놓고, 글라스 기판의 저면에 배치된 백라이트를 이용하여 글라스 기판 측으로 검사용 광을 주사함으로써 글라스 기판을 투과하는 검사용 광의 균일도를 파악하는 방식으로 이루어진다.
이때, 백라이트와 셀 사이에는 하부 편광판이 배치되며, 즉, 백라이트 상에 셀 상태의 액정 셀을 올려놓은 후, 다시 액정 셀에 빛을 편광시키는 하부 편광판을 부착한 후, 작업자가 수조작하여 하부 편광판을 회전시키면서 목시 검사로 결함을 검출하였다.
그러나 종래 기술에 따른 목시 검사의 경우, 외관에서 관찰하려는 불량에 따라 TN(Twisted Nematic) 편광판, IPS(In-Plain Switching) 편광판을 각각 하부 편광판으로 사용하고 있는데, 글래스 기판의 크기가 대형화됨에 따라 목시 검사용 하부 편광판의 크기 및 무게가 증가하여 다루기가 어렵고, 또한 하부 편광판 모델을 교체하는데 시간 및 인원이 많이 소요된다는 문제점이 있다.
도 1은 종래의 기술에 따른 TN 편광판을 나타내는 도면으로서, 하부 편광판(1) 전체에 TN 편광판을 배치하거나, 또는 IPS 편광판만을 배치하였다. 이때, TN 편광판만을 배치할 경우, 러빙계 불량, 즉 배향 불량을 검출하기 어렵고, IPS 편광판 부착시에는 이물 검사가 불가능하다는 문제점이 있다. 또한, 스토커(Stocker) 공간이 협소하여 검사 대기중인 글래스 기판 관리가 어렵다는 문제점이 있다. 또한, 장비가 대형화됨에 따라 전체 글래스 기판 검사 불가능하고, 검사 시간(Tact Time: T/T)이 늘어난다는 문제점이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 액정 표시패널의 이물 불량 및 러빙계 배향 불량을 함께 관찰할 수 있는 액정 표시패널용 검사 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 러빙계 배향 불량을 사전에 검출함으로써 대형 불량으로 야기되는 것을 사전에 방지할 수 있는 액정 표시패널 용 검사 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 액정 표시패널용 검사 장치는, 합착 목시 검사를 위한 액정 표시패널용 검사 장치에 있어서, 베이스 기판 상에 배열되어 광을 제공하는 백라이트용 램프; 상기 램프 상부에 형성되어 상기 광을 확산시키는 아크릴 확산판; 및 상기 확산판 상부에 부착되어 상기 확산된 광을 편광시키며, TN(Twisted Nematic) 편광판 및 IPS(In-Plain Switching) 편광판이 일정 영역 분할 배치된 하부 편광판을 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 TN 편광판의 분할 영역은 상기 IPS 편광판의 분할 영역보다 큰 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 IPS 편광판은 러빙 방향에 따라 글래스 기판이 장방향으로 배치된 경우와 단방향으로 배치된 경우에 대해 각각 배치가 달라지는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 하부 편광판을 고정시키며, 상기 램프로부터 제공된 광이 새지 않도록 방지하는 마스크 지그(Mask Zig)를 추가로 포함할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있을 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것으로, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정 표시패널용 검사 장치를 상세히 설명한다.
도 2는 일반적인 합착 목시 검사기를 나타내는 도면이고, 도 3은 일반적인 합착 목시 검사기의 검사 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 2에 도시된 합착 목시 검사기(10)는, 원장 글래스 기판을 셀 단위로 절단(Cutting)하기 전에 원장의 합착한 글래스 기판을 외관 검사하는 장비로서, 사전에 불량을 검출함으로써, 불량 대량 발생을 사전에 막기 위해 사용된다.
상기 합착 목시 검사기는는 글래스 기판의 전수 검사를 실시하게 되며, 이때, 검사 정보는 검사기 내의 PC 상에 직접 입력하도록 되어 있다. 또한, 글래스 기판의 크기가 대형화됨에 따라 발판인 리프터(Lifter)가 형성되어 있다.
도 3을 참조하면, 일반적인 합착 목시 검사기는 베이스 기판(11) 상에 백라이트용 램프(12) 배치되고, 그 상부에 강화유리(13)가 형성되어 있다. 상기 강화 유리(13) 상에는 아크릴 확산판(14)이 형성되고, 하부 편광판(15)이 상기 아크릴 확산판(14)에 부착된다.
따라서, 상기 하부 편광판(15) 상에 검사 대상물인 원장 글래스 기판을 올려 놓고, 검사자가 작은 편광 유리를 손에 들고 돌리면서 원장 글래스 기판의 외관 검사를 실시하게 된다.
한편, 도 4는 일반적인 아크릴 확산판에 하부 편광판을 부착한 후 백라이트용 램프를 점등한 것을 예시하는 사진이다.
도시된 바와 같이, 상기 합착 목시 검사기에서, 투명한 아크릴 확산판에 하부 편광판을 부착한 후 원장 글래스 기판을 올려놓고 상기 백라이트용 램프를 점등시키게 된다. 이때, 차광막을 설치하여 검사하게 되며, 또한, 마스크 지그(Mask Zig)를 사용하여 풀 블랙(Full Black) 및 그레이(Gray)로 천천히 바꿔가면서 검사할 수 있다. 이후, 외관 검사를 위해 검사자는 편광 유리를 손에 들고 돌리면서 원장 글래스 기판의 외관 검사를 실시하게 된다.
한편, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 합착 목시 검사기를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 합착 목시 검사기는, 베이스 기판(110), 백라이트용 램프(120), 아크릴 확산판(130), 강화 유리(140) 및 하부 편광판(150)을 포함하며, 이때, 상기 하부 편광판(150)은 일정 영역 분할되어 TN 편광판(151) 및 IPS 편광판(152)이 함께 배치되어 있다.
먼저, 백라이트용 램프(120)는 베이스 기판(110) 상에 배열되어 광을 제공하게 된다.
상기 아크릴 확산판(140)은 상기 램프(110) 상부에 형성되어 상기 광을 확산시키는 역할을 한다. 여기서, 상기 백라이트용 램프(120)를 보호하고, 상기 아크릴 확산판(140)을 지지하기 위해서 강화 유리(130)가 형성되어 있다.
상기 하부 편광판(150)은 상기 확산판(140) 상부에 부착되어 상기 확산된 광을 편광시키며, 일정 영역 분할되어 TN 편광판(151) 및 IPS 편광판(152)이 함께 배치되어 있다. 이때, 상기 TN 편광판의 분할 영역은 상기 IPS 편광판의 분할 영역보다 크게 형성된다.
또한, 마스크 지그(Mask Zig)를 추가로 포함함으로써, 상기 하부 편광판을 고정시키며, 상기 램프로부터 제공된 광이 새지 않도록 방지할 수 있다.
한편, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 TN 편광판 및 IPS 편광판이 일정 영역 분할 배치된 하부 편광판을 나타내는 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 TN 편광판(151) 및 IPS 편광판(152)이 일정 영역 분할 배치된 하부 편광판(150)은, TN 모드에서 관찰할 수 있는 불량과 IPS 모드에서 관찰할 수 있는 불량 모두를 관찰할 수 있도록 혼용된 배치를 가질 수 있는 것을 나타낸다. 예를 들면, 러빙 방향에 따라 글래스 기판이 장방향으로 배치된 경우와 단방향으로 배치된 경우에 대해 IPS 편광판의 배치가 달라지게 된다.
결국, 본 발명의 실시예는, 원장 글래스 기판의 여러 패널 중에서 하나의 패널에 이물 또는 배향 불량 등의 불량이 발생하면, 원장 글래스 기판 전체에 불량을 야기시키기 때문에, 원장 글래스 기판 중 그 일부만 검사하여도 불량을 검출할 수 있게 된다. 이로 인해 러빙 세로선, 전면 세로선, 바둑판얼룩, 러빙가로선과 같은 러빙계 배향 불량을 사전에 검출함으로써 대형 불량으로 야기되는 것을 사전에 방지하게 된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야만 한다.
본 발명에 따르면, TN 편광판과 IPS 편광판을 적절한 배합하여 사용함으로써, 배향계 불량 및 이물 불량 검사가 동시에 가능하다. 또한, 편광판용 마스크 지그를 이용하여 검사 환경을 개선할 수 있다. 또한, 대기중인 검사 대상물인 글래스 기판이 감소하기 때문에, 액정 패널 제조 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. 또한, 러빙계 배향 불량을 사전에 검출함으로써 대형 불량으로 야기되는 것을 사전에 방지할 수 있다.

Claims (4)

  1. 합착 목시 검사를 위한 액정 표시패널용 검사 장치에 있어서,
    베이스 기판 상에 배열되어 광을 제공하는 백라이트용 램프;
    상기 램프 상부에 형성되어 상기 광을 확산시키는 아크릴 확산판; 및
    상기 확산판 상부에 부착되어 상기 확산된 광을 편광시키며, TN(Twisted Nematic) 편광판 및 IPS(In-Plain Switching) 편광판이 일정 영역 분할 배치된 하부 편광판
    을 포함하는 액정 표시패널용 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 TN 편광판의 분할 영역은 상기 IPS 편광판의 분할 영역보다 큰 것을 특징으로 하는 액정 표시패널용 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 IPS 편광판은 러빙 방향에 따라 글래스 기판이 장방향으로 배치된 경우와 단방향으로 배치된 경우에 대해 각각 배치가 달라지는 것을 특징으로 하는 액정 표시패널용 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하부 편광판을 고정시키며, 상기 램프로부터 제공된 광이 새지 않도록 방지하는 마스크 지그(Mask Zig)를 추가로 포함하는 액정 표시패널용 검사 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08292406A (ja) * 1995-04-24 1996-11-05 Advantest Corp Ｌｃｄパネル検査装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8830461B2 (en) 2012-12-17 2014-09-09 Samsung Display Co., Ltd. Inspection apparatus for display substrate
KR102613398B1 (ko) * 2022-09-22 2023-12-13 주식회사 씨인사이드 광학 필름 접착 검사 장치

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