KR20070118461A

KR20070118461A - Probe device

Info

Publication number: KR20070118461A
Application number: KR1020060052627A
Authority: KR
Inventors: 김현규
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2006-06-12
Filing date: 2006-06-12
Publication date: 2007-12-17

Abstract

A common probe device is provided to test a common probe device commonly in a visual testing process and a gross testing process testing a display defect of a liquid crystal display panel without using two probe devices. A common probe device(130) includes a plurality of probes. The probe includes a probe body and a first input terminal. The first input terminal is diverged from a first end portion of the probe body. The first input terminal is electrically connected to a visual tester(110) in a visual testing process to allow a first testing signal to be applied from the visual tester. A second input terminal is diverged from the first end portion of the probe body, and separated from the first input terminal with a predetermined distance. The second input terminal is electrically connected to a gross tester(120) in a gross testing process to allow a second testing signal to be applied from the gross tester.

Description

Common Probe Device {PROBE DEVICE}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널의 검사 장치를 나타낸 블록도이다.1 is a block diagram illustrating an inspection apparatus for a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 비쥬얼 검사 단계에서의 액정표시패널의 구조를 나타낸 평면도이다.2 is a plan view illustrating the structure of a liquid crystal display panel in a visual inspection step.

도 3은 그로스 검사 단계에서의 액정표시패널의 구조를 나타낸 평면도이다.3 is a plan view illustrating the structure of a liquid crystal display panel in a gross inspection step.

도 4는 도 1에 도시된 공용 프로브 장치를 나타낸 사시도이다.4 is a perspective view illustrating the common probe device of FIG. 1.

도 5는 도 4에 도시된 프로브의 평면도이다.FIG. 5 is a plan view of the probe shown in FIG. 4. FIG.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 -- 검사장치 110 -- 비쥬얼 검사기100-Inspector 110-Visual Inspector

120 -- 그로스 검사기 130 -- 공용 프로브 장치120-Gross Inspector 130-Common Probe Unit

131 -- 케이스 132 -- 프로브131-Case 132-Probe

200 -- 액정표시패널 210 -- 어레이 기판200-LCD panel 210-Array board

220 -- 컬러필터기판 230 -- 게이트 구동회로220-Color filter substrate 230-Gate driving circuit

본 발명은 공용 프로브 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공정을 단순화 하여 생산성을 향상시킬 수 있는 공용 프로브 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a common probe device, and more particularly to a common probe device that can improve the productivity by simplifying the process.

일반적으로 액정표시장치는 어레이 기판, 어레이 기판과 마주하는 컬러필터기판 및 어레이 기판과 컬러필터기판과의 사이에 개재된 액정층으로 이루어져 영상을 표시하는 액정표시패널을 포함한다.In general, a liquid crystal display includes a liquid crystal display panel configured to display an image including an array substrate, a color filter substrate facing the array substrate, and a liquid crystal layer interposed between the array substrate and the color filter substrate.

액정표시패널에는 어레이 기판에 데이터 신호를 출력하는 데이터 구동회로 및 게이트 신호를 출력하는 게이트 구동회로가 칩 형태로 실장된다. 게이트 구동회로는 칩 형태가 아닌 박막 공정을 통해서 어레이 기판 상에 형성될 수도 있다.In the liquid crystal display panel, a data driving circuit for outputting a data signal to the array substrate and a gate driving circuit for outputting a gate signal are mounted in chip form. The gate driving circuit may be formed on the array substrate through a thin film process rather than a chip form.

액정표시패널이 완성되면, 액정표시패널의 표시불량을 검사하는 비쥬얼 검사 및 데이터 구동칩을 액정표시패널 상에 실장하기 이전에 액정표시패널이 정상적으로 구동하는가를 검사하는 그로스 검사가 이루어진다.When the liquid crystal display panel is completed, a visual inspection for inspecting a display defect of the liquid crystal display panel and a gross inspection for inspecting whether the liquid crystal display panel operates normally before mounting the data driving chip on the liquid crystal display panel are performed.

특히, 비쥬얼 검사는 데이터 라인들 또는 게이트 라인들이 쇼팅바에 의해서 전기적으로 연결된 상태에서 이루어지고, 그로스 검사는 쇼팅바를 데이터 라인들 또는 게이트 라인들 단위로 분리시키는 트리밍 공정 이후에 이루어진다.In particular, the visual inspection is performed while the data lines or gate lines are electrically connected by the shorting bar, and the gross inspection is performed after the trimming process of separating the shorting bar into data lines or gate lines.

또한, 비쥬얼 검사단계에서는 쇼팅바로부터 연장된 검사 패드에 검사신호가 인가되지만, 그로스 검사단계에서는 데이터 라인들 또는 게이트 라인들로부터 연장된 데이터 패드 또는 게이트 패드에 검사신호가 인가된다. 따라서, 비쥬얼 검사단계에서 검사패드에 검사신호를 인가하는 비쥬얼 검사용 프로브 장치와 그로스 검사단계에서 데이터 패드 또는 게이트 패드에 검사신호를 인가하는 그로스 검사용 프로브 장치가 별도로 필요하다. 또한, 비쥬얼 검사용 프로브 장치를 이용하면, 그로스 검사 이후에 비쥬얼 검사를 수행하기는 사실상 불가능하다.In addition, the test signal is applied to the test pad extending from the shorting bar in the visual inspection step, but the test signal is applied to the data pad or gate pad extending from the data lines or gate lines in the gross inspection step. Therefore, a visual inspection probe device for applying a test signal to a test pad in a visual test step and a gross test probe device for applying a test signal to a data pad or a gate pad in a gross test step are separately required. In addition, with the probe device for visual inspection, it is virtually impossible to perform the visual inspection after the gross inspection.

따라서, 종래의 액정표시패널의 검사과정에 따르면 2개의 프로브 장치가 이용됨에 따른 비용 증가 및 공정 시간의 증가로 인해서 액정표시패널의 생산성이 저하될 뿐만 아니라, 비쥬얼 검사가 수행될 수 있는 단계가 제한되므로 검사 효율성이 저하된다.Therefore, according to the inspection process of the conventional liquid crystal display panel, not only the productivity of the liquid crystal display panel is lowered due to the increase in cost and the increase in the process time due to the use of two probe devices, but also the step in which the visual inspection can be performed is limited. This reduces inspection efficiency.

따라서, 본 발명의 목적은 공정을 단순화하여 생산성을 향상시키기 위한 공용 프로브 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a common probe device for simplifying the process to improve productivity.

본 발명에 따른 공용 프로브 장치는 표시패널에 제1 검사신호를 제공하는 비쥬얼(visual) 검사기 및 상기 표시패널에 제2 검사신호를 제공하는 그로스(gross) 검사기를 상기 표시패널에 구비된 제1 및 제2 검사패드에 각각 전기적으로 연결시킨다. 상기 공용 프로브 장치는 다수의 프로브를 구비하고, 각 프로브는 프로브 몸체, 제1 입력단자, 제2 입력단자 및 출력단자를 포함한다.The common probe device according to the present invention includes a visual inspector for providing a first inspection signal to a display panel and a gross inspector for providing a second inspection signal to the display panel. Each of the second test pads is electrically connected to each other. The common probe apparatus includes a plurality of probes, each probe including a probe body, a first input terminal, a second input terminal, and an output terminal.

상기 제1 입력단자는 상기 프로브 몸체의 제1 단부로부터 분기되고, 비쥬얼 검사단계에서 상기 비쥬얼 검사기에 전기적으로 연결되어 상기 제1 검사신호를 입력받는다. 상기 제2 입력단자는 상기 프로브 몸체의 제1 단부로부터 분기되고, 상기 제1 입력단자와 소정의 간격으로 이격되며, 상기 비쥬얼 검사 이후에 이루어지는 그로스 검사단계에서 상기 그로스 검사기에 전기적으로 연결되어 상기 제2 검사신호를 입력받는다. 상기 출력단자는 상기 프로브 몸체의 제1 단부와 반대하는 제2 단부로부터 분기되고, 상기 비쥬얼 검사단계에서 상기 제1 검사패드에 전기적으로 연결되어 상기 표시패널에 상기 제1 검사신호를 인가하고, 상기 그로스 검사단계에서 상기 제2 검사패드에 전기적으로 연결되어 상기 표시패널에 상기 제2 검사신호를 인가한다.The first input terminal is branched from the first end of the probe body and electrically connected to the visual inspector in the visual inspection step to receive the first inspection signal. The second input terminal is branched from the first end of the probe body, spaced apart from the first input terminal at a predetermined interval, and electrically connected to the gross tester in the gross test step performed after the visual inspection. 2 Receive the test signal. The output terminal is branched from a second end opposite to the first end of the probe body, electrically connected to the first test pad in the visual inspection step to apply the first inspection signal to the display panel, and the gross In the inspecting step, the second test signal is electrically connected to the second test pad.

이러한 공용 프로브 장치에 따르면, 표시패널의 검사 공정에서 필요한 전체 프로브 장치의 개수를 감소시킬 수 있어 생산성이 향상되고, 표시패널의 비쥬얼 검사를 트리밍 공정 또는 그로스 검사공정 이후에 수행할 수 있으므로, 표시패널의 검사 공정에 대한 효율성이 향상된다.According to the common probe device, the number of total probe devices required in the display panel inspection process can be reduced, thereby improving productivity, and the visual inspection of the display panel can be performed after the trimming process or the gross inspection process. The efficiency of the inspection process is improved.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널의 검사 장치를 나타낸 블록도이다. 도 2는 비쥬얼 검사 단계에서의 액정표시패널의 구조를 나타낸 평면도이며, 도 3은 그로스 검사 단계에서의 액정표시패널의 구조를 나타낸 평면도이다.1 is a block diagram illustrating an inspection apparatus for a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention. 2 is a plan view showing the structure of the liquid crystal display panel in the visual inspection step, Figure 3 is a plan view showing the structure of the liquid crystal display panel in the gross inspection step.

도 1을 참조하면, 액정표시패널의 검사장치(100)는 검사기(125) 및 공용 프로브 장치(130)를 포함하고, 상기 검사기(125)는 비쥬얼 검사를 위한 제1 검사신호를 출력하는 비쥬얼(visual) 검사기(110) 및 그로스 검사를 위한 제2 검사신호를 출력하는 그로스(gross) 검사기(120)로 이루어진다.Referring to FIG. 1, an inspection apparatus 100 of a liquid crystal display panel includes an inspector 125 and a common probe apparatus 130, and the inspector 125 may visually output a first inspection signal for visual inspection. visual) a checker 110 and a gross checker 120 for outputting a second check signal for the gross check.

상기 공용 프로브 장치(130)는 액정표시패널(200)의 비쥬얼 검사단계에서 상기 비쥬얼 검사기(110)로부터 상기 제1 검사신호(IS1)를 입력받아 상기 액정표시패널(200)로 제공한다. 상기 비쥬얼 검사단계에서 상기 액정표시패널(200)은 상기 제1 검사신호(IS1)에 응답하여 영상을 표시하고, 검사자는 표시된 영상을 검사하여 상기 액정표시패널(200)의 표시 불량을 검사한다.The common probe device 130 receives the first test signal IS1 from the visual tester 110 in the visual test step of the liquid crystal display panel 200 and provides the first test signal IS1 to the liquid crystal display panel 200. In the visual inspection step, the liquid crystal display panel 200 displays an image in response to the first inspection signal IS1, and the inspector inspects the displayed image to inspect display defects of the liquid crystal display panel 200.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 비쥬얼 검사단계에서 상기 액정표시패널(200)은 어레이 기판(210), 상기 어레이 기판(210)과 마주하는 컬러필터기판(220) 및 상기 어레이 기판(210)과 상기 컬러필터기판(220)과의 사이에 개재된 액정층(미도시)으로 이루어진다. 상기 액정표시패널(200)은 영상이 표시되는 표시영역(DA), 상기 표시영역(DA)에 인접한 제1 및 제2 주변영역(PA1, PA2)으로 구분된다. 상기 표시영역(DA)에 대응하여 상기 어레이 기판(210) 상에는 다수의 게이트 라인(GL1 ~ GLn), 다수의 데이터 라인(DL1 ~ DLm, 여기서, m은 짝수임), 다수의 박막 트랜지스터(211) 및 다수의 화소전극(212)이 구비된다.As shown in FIG. 2, in the visual inspection, the liquid crystal display panel 200 includes an array substrate 210, a color filter substrate 220 facing the array substrate 210, and an array substrate 210. It is made of a liquid crystal layer (not shown) interposed between the color filter substrate 220. The liquid crystal display panel 200 is divided into a display area DA in which an image is displayed and first and second peripheral areas PA1 and PA2 adjacent to the display area DA. A plurality of gate lines GL1 to GLn, a plurality of data lines DL1 to DLm, where m is even, and a plurality of thin film transistors 211 on the array substrate 210 corresponding to the display area DA. And a plurality of pixel electrodes 212.

상기 제1 주변영역(PA1)은 상기 다수의 데이터 라인(DL1 ~ DLm)의 일단부에 인접하는 영역으로, 상기 제1 주변영역(PA1)에는 상기 다수의 데이터 라인(DL1 ~ DLm)을 서로 전기적으로 연결시키기 위한 쇼팅바가 구비된다. 구체적으로, 상기 쇼팅바는 상기 다수의 데이터 라인(DL1 ~ DLm) 중 홀수번째 데이터 라인들(DL1,..., DLm-1)을 서로 전기적으로 연결시키기 위한 제1 쇼팅바(SB1) 및 상기 다수의 데이터 라인(DL1 ~ DLm) 중 짝수번째 데이터 라인들(DL2,...,DLm)을 서로 전기적으로 연결시키기 위한 제2 쇼팅바(SB2)를 포함한다. 상기 제1 주변영역(PA1)에는 상기 제1 쇼팅바(SB1)로부터 연장되어 상기 공용 프로브 장치(130)로부터 상기 제1 검사신호(IS1)를 입력받는 제1 검사패드(IP1) 및 상기 제2 쇼팅바(SB2)로부터 연장되어 상기 공용 프로브 장치(130)로부터 상기 제1 검사신호(IS1)를 입력받는 제2 검사패드(IP2)가 더 구비된다.The first peripheral area PA1 is an area adjacent to one end of the plurality of data lines DL1 to DLm, and the plurality of data lines DL1 to DLm are electrically connected to the first peripheral area PA1. Shorting bar is provided for connecting to. In detail, the shorting bar may include a first shorting bar SB1 and an electrical connection between odd-numbered data lines DL1,..., And DLm-1 of the plurality of data lines DL1 through DLm. The second shorting bar SB2 may be configured to electrically connect the even-numbered data lines DL2,..., DLm among the plurality of data lines DL1 to DLm. The first test pad IP1 and the second test pad that extend from the first shorting bar SB1 to receive the first test signal IS1 from the common probe device 130 in the first peripheral area PA1. A second test pad IP2 is further provided to extend from the shorting bar SB2 to receive the first test signal IS1 from the common probe device 130.

또한, 상기 제1 주변영역(PA1)은 상기 다수의 데이터 라인(DL1 ~ DLm)에 데이터 신호를 인가하기 위한 데이터 구동칩(미도시)이 실장되는 칩 실장영역(CA)이 구비된다. 상기 칩 실장영역(CA)에는 다수의 데이터 라인(DL1 ~ DLm)의 일단부로부터 연장되고, 상기 데이터 구동칩에 구비된 범프(미도시)와 전기적으로 접속되는 다수의 패드(DP1 ~ DPm)가 구비된다.In addition, the first peripheral area PA1 includes a chip mounting area CA in which a data driving chip (not shown) for applying data signals to the plurality of data lines DL1 to DLm is mounted. In the chip mounting area CA, a plurality of pads DP1 to DPm extending from one end of the plurality of data lines DL1 to DLm and electrically connected to bumps (not shown) provided in the data driving chip are provided. It is provided.

한편, 상기 제2 주변영역(PA2)은 상기 다수의 게이트 라인(GL1 ~ GLn)의 일단부에 인접하는 영역으로, 상기 제2 주변영역(PA2)에는 상기 다수의 게이트 라인(GL1 ~ GLn)에 게이트 신호를 인가하기 위한 게이트 구동회로(230)가 구비된다. 상기 게이트 구동회로(230)는 상기 표시영역(DA)에 상기 다수의 박막 트랜지스터(211)를 형성하는 박막 공정과 동일한 공정을 통해서 동시에 상기 제2 주변영역(PA2)에 형성된다. 상기 제2 주변영역(PA2)에는 상기 게이트 구동회로(230)를 구동하기 위한 각종 제어신호를 외부로부터 입력받아 제공하기 위한 다수의 제어신호라인들(CL)이 구비된다. 또한, 상기 제2 주변영역(PA2)에는 상기 다수의 제어신호라인(CDL)을 연결하는 제3 쇼팅바(SB3) 및 상기 제3 쇼팅바(SB3)로부터 연장된 제3 검사패드(IP3)가 더 구비된다.The second peripheral area PA2 is an area adjacent to one end of the plurality of gate lines GL1 to GLn, and the second peripheral area PA2 is disposed on the plurality of gate lines GL1 to GLn in the second peripheral area PA2. A gate driving circuit 230 for applying a gate signal is provided. The gate driving circuit 230 is simultaneously formed in the second peripheral area PA2 through the same process as the thin film process of forming the plurality of thin film transistors 211 in the display area DA. The second peripheral area PA2 includes a plurality of control signal lines CL for receiving and providing various control signals for driving the gate driving circuit 230 from the outside. In addition, a third shorting bar SB3 connecting the plurality of control signal lines CDL and a third test pad IP3 extending from the third shorting bar SB3 are disposed in the second peripheral area PA2. It is further provided.

상기 비쥬얼 검사단계에서 상기 공용 프로브 장치(130)는 상기 제1 내지 제3 검사패드(IP1 ~ IP3)에 전기적으로 연결되어 상기 비쥬얼 검사기(110)로부터 제공된 상기 제1 검사신호(IS1)를 상기 제1 내지 제3 검사패드(IP1 ~ IP3)로 인가한다. 여기서, 상기 제1 검사신호(IS1)는 상기 액정표시패널(200)에 구비된 다수의 화소를 모두 턴-온시키기 위한 신호이다. 따라서, 상기 액정표시패널(200)이 상기 제1 검사신호(IS1)에 응답하여 구동되면, 상기 액정표시패널(200)의 화면에는 영상이 표시되고, 검사자는 상기 액정표시패널(200)에 표시된 영상을 관찰하여 상기 액정표시패널(200)의 표시불량을 검출한다.In the visual inspection step, the common probe device 130 is electrically connected to the first to third test pads IP1 to IP3 to receive the first test signal IS1 provided from the visual tester 110. It is applied to the first to third test pads (IP1 to IP3). The first test signal IS1 is a signal for turning on a plurality of pixels included in the liquid crystal display panel 200. Therefore, when the liquid crystal display panel 200 is driven in response to the first inspection signal IS1, an image is displayed on the screen of the liquid crystal display panel 200, and the inspector is displayed on the liquid crystal display panel 200. An image is observed to detect a display defect of the liquid crystal display panel 200.

한편, 상기 공용 프로브 장치(130)는 상기 액정표시패널(200)의 그로스 검사단계에서 상기 그로스 검사기(120)로부터 상기 제2 검사신호(IS2)를 입력받아 상기 액정표시패널(200)로 제공한다. 일반적으로, 상기 그로스 검사는 상기 데이터 구동칩이 실장되기 이전에 이루어지지만, 상기 데이터 구동칩이 실장되었을 때와 동일한 상황에서 상기 액정표시패널(200)을 검사하는 것이다. 즉, 상기 그로스 검사기(120)에 구비된 테스터용 데이터 구동칩(미도시)로부터 출력된 상기 제2 검사신호(IS2)는 상기 공용 프로브 장치(130)를 통해 상기 액정표시패널(200)에 구비된 상기 다수의 데이터 패드(DP1 ~ DPm)로 인가된다.Meanwhile, the common probe device 130 receives the second test signal IS2 from the gross tester 120 in the gross test step of the liquid crystal display panel 200 and provides it to the liquid crystal display panel 200. . In general, the gross inspection is performed before the data driving chip is mounted. However, the gross inspection is performed to inspect the liquid crystal display panel 200 in the same situation as when the data driving chip is mounted. That is, the second test signal IS2 output from the tester data driving chip (not shown) included in the gross tester 120 is provided to the liquid crystal display panel 200 through the common probe device 130. To the plurality of data pads DP1 to DPm.

상기 그로스 검사를 수행하기 이전에 도 2에 도시된 액정표시패널(200)에서 상기 제1 및 제2 쇼팅바(SB1, SB2)를 데이터 라인 단위로 전기적으로 분리시키고, 상기 제3 쇼팅바(SB3)를 제어신호라인 단위로 전기적으로 분리시키는 트리밍(trimming) 공정이 수행된다. 본 발명의 일 예로, 상기 트리밍 공정은 상기 제1 내지 제3 쇼팅바(SB1 ~ SB3)에 레이저를 조사하여 전기적으로 분리시키는 방식으로 이루어진다.Before the gross inspection is performed, the first and second shorting bars SB1 and SB2 are electrically separated by data lines in the liquid crystal display panel 200 shown in FIG. 2, and the third shorting bar SB3. ) Is trimmed by electrically separating the control signal lines. In one embodiment of the present invention, the trimming process is performed in a manner of electrically separating the first to third shorting bars SB1 to SB3 by irradiating a laser.

이로써, 도 3에 도시된 바와 같이 다수의 데이터 라인(DL1 ~ DLm)이 서로 전기적으로 분리되고, 상기 다수의 제어신호라인(CL)이 서로 전기적으로 분리되어 있는 액정표시패널(201)이 완성된다.As a result, as shown in FIG. 3, the liquid crystal display panel 201 in which the plurality of data lines DL1 to DLm are electrically separated from each other and the plurality of control signal lines CL are electrically separated from each other is completed. .

이후, 상기 그로스 검사단계에서 상기 프로브 장치(130)는 상기 다수의 데이터 패드(DP1 ~ DP3)에 전기적으로 연결되어 상기 그로스 검사기(120)로부터 제공된 상기 제2 검사신호(IS2)를 상기 다수의 데이터 패드(DP1 ~ DPm)로 인가한다. 따라서, 상기 액정표시패널(201)에 상기 데이터 구동칩이 실장되기 이전에 상기 액정표시패널(201)에 상기 데이터 구동칩이 실장된 경우와 동일한 조건에서 상기 액정표시패널(201)을 최종적으로 검사할 수 있다.Thereafter, in the gross test step, the probe device 130 is electrically connected to the plurality of data pads DP1 to DP3 to receive the second test signal IS2 provided from the gross tester 120. It is applied to the pads DP1 to DPm. Therefore, the liquid crystal display panel 201 is finally inspected under the same conditions as when the data driving chip is mounted on the liquid crystal display panel 201 before the data driving chip is mounted on the liquid crystal display panel 201. can do.

상술한 바와 같이, 상기 검사장치(100)는 상기 비쥬얼 검사단계 및 상기 그로스 검사단계에서 모두 사용할 수 있는 하나의 공용 프로브 장치(130)를 구비한다. 따라서, 상기 검사장치(100)에 필요한 프로브 장치의 개수를 감소시킬 수 있고, 하나의 공용 프로브 장치(130)를 사용함으로써 공정 시간이 단축되어 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, the inspection device 100 includes one common probe device 130 that can be used in both the visual inspection step and the gross inspection step. Therefore, the number of probe apparatuses required for the inspection apparatus 100 can be reduced, and the process time can be shortened by using one common probe apparatus 130 to improve productivity.

또한, 상기 공용 프로브 장치(130)는 상기 비쥬얼 검사 및 그로스 검사단계에서 공용할 수 있으므로, 상기 비쥬얼 검사는 상기 트리밍 공정 또는 그로스 검사공정 이후에도 이루어질 수 있다. 따라서, 상기 액정표시패널(200)의 검사 공정 순서에 대한 제약이 제거됨으로써, 상기 액정표시패널(200)의 검사 공정에 대한 효율성 및 정확성을 향상시킬 수 있다.In addition, since the common probe device 130 may be shared in the visual inspection and the gross inspection step, the visual inspection may be performed after the trimming process or the gross inspection process. Therefore, the restriction on the inspection process sequence of the liquid crystal display panel 200 is removed, thereby improving efficiency and accuracy of the inspection process of the liquid crystal display panel 200.

이후, 도 4 및 도 5를 참조하여 도 1에 도시된 상기 공용 프로브 장치(130)에 대해서 구체적으로 설명하기로 한다.Hereinafter, the common probe device 130 illustrated in FIG. 1 will be described in detail with reference to FIGS. 4 and 5.

도 4는 도 1에 도시된 공용 프로브 장치를 나타낸 사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 프로브의 평면도이다.4 is a perspective view illustrating the common probe device illustrated in FIG. 1, and FIG. 5 is a plan view of the probe illustrated in FIG. 4.

도 4 및 도 5를 참조하면, 공용 프로브 장치(130)는 케이스(131) 및 상기 케이스(131)에 구비된 다수의 프로브(132)로 이루어진다. 상기 다수의 프로브(132) 각각은 프로브 몸체(132a), 제1 입력단자(132b), 제2 입력단자(132c) 및 출력단자(132d)를 포함한다. 본 발명의 일 예로, 상기 공용 프로브 장치(130)에 구비된 다수의 프로브(130)의 전체 개수는 다수의 데이터 패드(DP1 ~ DPm, 도 3에 도시됨)의 전체 개수보다 크거나 같다.4 and 5, the common probe device 130 includes a case 131 and a plurality of probes 132 provided in the case 131. Each of the plurality of probes 132 includes a probe body 132a, a first input terminal 132b, a second input terminal 132c, and an output terminal 132d. As an example of the present invention, the total number of probes 130 provided in the common probe device 130 is greater than or equal to the total number of data pads DP1 to DPm (shown in FIG. 3).

상기 프로브 몸체(132a)는 소정의 방향으로 연장되어 막대 형상으로 이루어지고, 상기 제1 입력단자(132b)는 상기 프로브 몸체(132a)의 일단부로부터 절곡되어 연장된다. 상기 제2 입력단자(132c)는 상기 제1 입력단자(132b)와 소정의 간격으로 이격된 위치에서 상기 프로브 몸체(132a)로부터 절곡되어 연장된다. 상기 출력단자(132d)는 상기 프로브 몸체(132a)의 다른 일단부로부터 절곡되어 연장된다. 본 발명의 일 예로, 상기 출력단자(132d)는 상기 제1 및 제2 입력단자(132b, 132c)가 연장된 방향과 반대하는 방향으로 연장된다. The probe body 132a extends in a predetermined direction to form a rod shape, and the first input terminal 132b is bent and extended from one end of the probe body 132a. The second input terminal 132c is bent and extended from the probe body 132a at a position spaced apart from the first input terminal 132b at a predetermined interval. The output terminal 132d is bent and extended from the other end of the probe body 132a. As an example of the present invention, the output terminal 132d extends in a direction opposite to the direction in which the first and second input terminals 132b and 132c extend.

상기 제1 입력단자(132b)는 비쥬얼 검사단계에서 비쥬얼 검사기(110, 도 1에 도시됨)에 전기적으로 연결되어 제1 검사신호(IS1, 도 1에 도시됨)를 입력받는다. 상기 제2 입력단자(132c)는 상기 비쥬얼 검사 이후에 이루어지는 그로스 검사단계에서 그로스 검사기(120, 도 1에 도시됨)에 전기적으로 연결되어 제2 검사신호(IS2, 도 2에 도시됨)를 입력받는다.The first input terminal 132b is electrically connected to the visual inspector 110 (shown in FIG. 1) and receives a first inspection signal IS1 (shown in FIG. 1) in the visual inspection step. The second input terminal 132c is electrically connected to the gross tester 120 (shown in FIG. 1) in the gross test step performed after the visual inspection to input a second test signal IS2 (shown in FIG. 2). Receive.

한편, 상기 출력단자(132d)는 상기 비쥬얼 검사단계에서 제1 내지 제3 검사패드(IP1 ~ IP3, 도 2에 도시됨)에 전기적으로 연결되어 상기 제1 검사신호(IS1)를 상기 액정표시패널(200)로 인가한다. 또한, 상기 출력단자(132d)는 상기 그로스 검사단계에서 다수의 데이터 패드(DP1 ~ DPm, 도 2에 도시됨)에 전기적으로 연결되어 상기 제2 검사신호(IS2)를 상기 액정표시패널(200)로 인가한다.On the other hand, the output terminal 132d is electrically connected to first to third test pads IP1 to IP3 (shown in FIG. 2) in the visual test step, so that the first test signal IS1 is connected to the liquid crystal display panel. (200). In addition, the output terminal 132d is electrically connected to a plurality of data pads DP1 to DPm (shown in FIG. 2) in the gross inspection step so that the second test signal IS2 is connected to the liquid crystal display panel 200. Is applied.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 다수의 데이터 패드(DP1 ~ DPm)는 상기 어레이 기판(210)의 칩 실장영역(CA)내에 구비되어 데이터 구동칩에 구비된 범프와 접속되어야 하므로, 그 폭이 제한된다. 그러나, 상기 제1 내지 제3 검사패드(IP1 ~ IP3)는 비쥬얼 검사를 위하여 만들어진 패드이므로, 상기 다수의 데이터 패드(DP1 ~ DPm)보다 충분히 확장시킬 수 있다. 따라서, 상기 제1 내지 제3 검사패드(IP1 ~ IP3)는 상기 다수의 데이터 패드(DP1 ~ DPm)보다 큰 폭을 갖도록 형성된다.As illustrated in FIG. 3, the plurality of data pads DP1 to DPm should be provided in the chip mounting area CA of the array substrate 210 to be connected to bumps provided in the data driving chip. Limited. However, since the first to third test pads IP1 to IP3 are pads made for visual inspection, the first to third test pads IP1 to IP3 can be sufficiently expanded than the plurality of data pads DP1 to DPm. Therefore, the first to third test pads IP1 to IP3 are formed to have a larger width than the plurality of data pads DP1 to DPm.

이때, 상기 다수의 프로브(132)는 상기 제1 내지 제3 검사패드(IP1 ~ IP3)에 전기적으로 접속되어야 할 뿐만 아니라, 상기 다수의 데이터 패드(DP1 ~ DPm)에 일대일 대응하도록 전기적으로 연결된다. 따라서, 상기 출력단자(132d)는 상기 다수의 데이터 패드(DP1 ~ DPm) 각각의 폭보다 작거나 같은 폭을 갖는 것이 바람직하다.In this case, the plurality of probes 132 may be electrically connected to the first to third test pads IP1 to IP3 and electrically connected to the plurality of data pads DP1 to DPm in a one-to-one correspondence. . Therefore, the output terminal 132d preferably has a width smaller than or equal to the width of each of the plurality of data pads DP1 to DPm.

상기 다수의 프로브(132)의 출력단자들(132d)이 상기 다수의 데이터 패드(DP1 ~ DPm)에 전기적으로 접속된 상태에서 상기 제1 입력단자(132b)에 상기 액정표시패널(200)의 비쥬얼 검사를 위한 제1 검사신호(IS1)가 인가될 수 있다. 이로써, 상기 액정표시패널(200)의 트리밍 공정에 의해서 상기 제1 및 제2 쇼팅바(SB1, SB2, 도 2에 도시됨)가 데이터 라인 단위로 분리된 이후에도 상기 액정표시패 널(200)의 비쥬얼 검사가 다시 이루어질 수 있다. 따라서, 비쥬얼 검사가 이루어지는 순서에 대한 제약이 제거되어 상기 검사장치(100, 도 1에 도시됨)의 검사 효율성을 향상시킬 수 있다.The visual of the liquid crystal display panel 200 is connected to the first input terminal 132b while the output terminals 132d of the plurality of probes 132 are electrically connected to the plurality of data pads DP1 to DPm. The first test signal IS1 for the test may be applied. Accordingly, even after the first and second shorting bars SB1 and SB2 (shown in FIG. 2) are separated by data lines by the trimming process of the liquid crystal display panel 200, the liquid crystal display panel 200 may be separated. Visual inspection can be done again. Therefore, the restriction on the order in which the visual inspection is performed can be removed, thereby improving the inspection efficiency of the inspection apparatus 100 (shown in FIG. 1).

이와 같은 공용 프로브 장치에 따르면, 비쥬얼 검사단계 및 그로스 검사단계에서 공용할 수 있으므로, 액정표시패널의 검사장치에 필요한 프로브 장치의 개수를 감소시킬 수 있고, 액정표시패널의 검사 공정 시간을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.According to such a common probe device, since it can be shared in the visual inspection step and the gross inspection step, the number of probe devices required for the inspection device of the liquid crystal display panel can be reduced, and the inspection process time of the liquid crystal display panel can be shortened to improve productivity. Can improve.

또한, 상기한 바와 같이 공용 프로브 장치를 이용함으로써, 액정표시패널의 비쥬얼 검사를 트리밍 공정 또는 그로스 검사공정 이후에도 수행할 수 있으므로, 상기 액정표시패널의 검사 공정 순서에 대한 제약이 제거되고, 그 결과 상기 액정표시패널의 검사 공정에 대한 효율성 및 정확성을 향상시킬 수 있다.In addition, by using the common probe device as described above, since the visual inspection of the liquid crystal display panel can be performed after the trimming process or the gross inspection process, the restriction on the procedure of the inspection process of the liquid crystal display panel is removed, and as a result, The efficiency and accuracy of the inspection process of the liquid crystal display panel can be improved.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described with reference to the embodiments above, those skilled in the art will understand that the present invention can be variously modified and changed without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. Could be.

Claims

A visual inspector for providing a first inspection signal to the display panel and a gross inspector for providing a second inspection signal to the display panel are electrically connected to the first and second inspection pads provided in the display panel, respectively. In the common probe device you connect,

The common probe device has a plurality of probes,

Each probe,

Probe body;

A first input terminal branched from a first end of the probe body and electrically connected to the visual inspector to receive the first inspection signal in a visual inspection step;

Branched from a first end of the probe body, spaced apart from the first input terminal at a predetermined interval, and electrically connected to the gross tester in order to receive the second test signal in a gross test step performed after the visual test. A second input terminal; And

Branched from a second end opposite to the first end of the probe body, electrically connected to the first test pad in the visual test step, and applying the first test signal to the display panel; And an output terminal electrically connected to the second test pad to apply the second test signal to the display panel.

The display panel of claim 1, wherein the display panel includes a plurality of signal lines, a plurality of pads extending from the plurality of signal lines, a shorting bar electrically connecting the plurality of signal lines, and a test pad extending from the shorting bar. and,

And the output terminal is electrically connected to the test pad in the visual test step to apply the first test signal to the test pad.

The method of claim 2, wherein a trimming process of separating the shorting bar in units of the signal lines after the visual inspection is performed to electrically separate the signal lines.

And the gross inspection is performed after the trimming process.

The method of claim 3, wherein the plurality of probes are made of the same number as the plurality of pads,

And the plurality of probes provide the second test signal to the plurality of pads in the gross test step.

The common probe apparatus of claim 4, wherein an output terminal of each of the plurality of probes has a width smaller than or equal to a width of each of the plurality of pads.

The display apparatus of claim 4, wherein a visual retest of the display panel is performed after the trimming process.

And the plurality of probes provide the first test signal to the plurality of pads in the visual retesting step.