KR20070115471A

KR20070115471A - Filter interface module

Info

Publication number: KR20070115471A
Application number: KR1020060049967A
Authority: KR
Inventors: 문경록; 최형석; 안요한; 윤태식; 류주아
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2006-06-02
Filing date: 2006-06-02
Publication date: 2007-12-06

Abstract

A filter interface module is provided to restrain a FOUP(Front-Opening-Unified-Pod) leak and to secure reliability of a FOUP inner contamination monitoring by using the filter and a groove for air tight. In a filter interface module combined with a filter(100). A ring-shaped body has a space to which air in the wafer storing apparatus passes via the filter. A groove(230) is formed on the body to implement an air-tight coupling with the filter. A part of the filter is inserted into the groove. The filter is provided with a vertical wall(110) contacting to an upper surface of the body.

Description

Filter Interface Modules {FILTER INTERFACE MODULE}

도 1은 종래 기술에 따른 풉 브리딩 필터와 조합된 풉 인터페이스 모듈을 도시한 평면도.1 is a plan view of a pull interface module in combination with a pull breathing filter according to the prior art;

도 2는 종래 기술에 따른 풉 인터페이스 모듈을 도시한 사시도.Figure 2 is a perspective view of the pull interface module according to the prior art.

도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 풉 브리딩 필터와 조합된 풉 인터페이스 모듈을 도시한 사시도.3 and 4 are perspective views showing a pull interface module combined with a pull breathing filter according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 풉 브리딩 필터와 조합된 풉 인터페이스 모듈을 도시한 정면도.5 is a front view showing a pull interface module combined with a pull breathing filter according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 풉 인터페이스 모듈을 도시한 사시도.6 is a perspective view showing a pull interface module according to an embodiment of the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

100; 풉 브리딩 필터 110; 세로벽100; Loose breathing filter 110; Vertical wall

110a; 세로벽의 밑면 200; 풉 인터페이스 모듈110a; Bottom of vertical wall 200; Unpack interface module

210; 본체 220; 상면210; Main body 220; Top

230; 홈230; home

본 발명은 필터 인터페이스 모듈에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 풉 누설을 최소화할 수 있는 풉 브리딩 필터의 인터페이스 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a filter interface module, and more particularly, to an interface module of a pull breathing filter capable of minimizing a leak leakage.

반도체 산업에 있어서 대기상의 오염 물질을 샘플링하여 인라인 모니터링 시스템(In-Line Monitoring System)을 통해 분석, 제어 시스템화 하여 팹(FAB) 내부의 청정도를 엄격하게 관리하고 있다. 반도체 소자의 디자인 룰(Design Rule)이 축소됨에 따라 상대적으로 많은 관심을 갖지 못했던 프로세스 진행 전후의 내부 오염 거동, 풉 세정 효과 검증 등 풉 내부 오염의 모니터링의 필요성이 증가하고 있다. 그래서, 풉 내부오염 모니터링 설비를 통해 풉 내부의 오염을 측정한다. In the semiconductor industry, air pollutants are sampled and analyzed and controlled through an in-line monitoring system to strictly control cleanliness inside the fab. As the design rules of semiconductor devices are reduced, the need for monitoring the internal contamination of the pool, such as internal contamination behavior before and after the process progressing and verifying the effect of cleaning the cleaning, has increased. The contamination inside the pool is then measured using a pool internal pollution monitoring facility.

풉 내부오염 모니터링 설비는 풉의 브리딩 필터(Breathing Filter)를 통해 내부의 에어를 흡입하여 오염을 측정하는 설비이다. 측정 결과, 풉의 도어, 탑 플랜지, 핸들, 브리딩 필터에서 누설(Leak)로 인해 외부의 에어가 샘플링되는 현상이 발생한다. 이중에서, 도어, 탑 플랜지, 핸들에서의 누설은 측정 결과에 미미한 영향을 미치나, 브리딩 필터에서의 누설은 그 영향을 배제할 수 없을 정도로 지대하다.The internal pollution monitoring facility of the pool is a facility that measures the contamination by sucking the air inside through the breathing filter of the pool. As a result of the measurement, leakage occurs in the door, the top flange, the handle and the breathing filter of the pull. Of these, leakage from doors, top flanges and handles has a minor effect on measurement results, but leakage from breathing filters is so large that the effects cannot be ruled out.

이러한 브리딩 필터에서의 누설은 풉의 브리딩 필터의 구조를 반영하지 못한 풉 내부오염 모니터링 설비의 풉 인터페이스 모듈 구조에 있다고 믿어지고 있다. 특히, 도 1에 나타내듯이, 풉 브리딩 필터(10)와 풉 인터페이스 모듈(20)이 조합되는 부분(A)은 다른 곳에 비해 상대적으로 외부 에어의 침입이 더 심하다. 이러한 원인은 후술한 바와 같이 풉 브리딩 필터(10)와 풉 인터페이스 모듈(20)간의 구조적인 차이에 의한다.It is believed that the leakage in the breathing filter is in the structure of the pool interface module of the pool internal contamination monitoring facility, which does not reflect the structure of the pool breathing filter. In particular, as shown in FIG. 1, the portion A in which the pull breathing filter 10 and the pull interface module 20 are combined has a relatively greater intrusion of external air than in other places. This cause is due to the structural difference between the pull breathing filter 10 and the pull interface module 20 as described below.

풉 인터페이스 모듈(20)은, 도 2에 나타내듯이, 대체로 원형의 본체(21)와 평평한 윗면(22)으로 구성된다. 그런데, 세로벽을 내부에 가진 풉 브리딩 필터(10)가 풉 인터페이스 모듈(20)에 조합되면, 세로벽과 윗면(22) 사이에 외부 에어가 침입할 수 있는 공간을 만들어 줄 여지가 있다. 그렇기 때문에, 상술한 바와 같이 풉 누설이 발생하는 것이다. 그러므로, 풉 브리딩 필터의 구조와 부합하도록 인터페이스 모듈의 구조를 개선시켜 풉 누설의 최소화를 통한 풉 내부오염 모니터링의 신뢰성을 제고시킬 필요성이 있는 것이다.As shown in FIG. 2, the pull interface module 20 is composed of a generally circular body 21 and a flat top surface 22. However, when the loose breathing filter 10 having the vertical wall therein is combined with the loose interface module 20, there is room for creating a space through which the outside air can enter between the vertical wall and the upper surface 22. Therefore, loose leak occurs as mentioned above. Therefore, there is a need to improve the reliability of pool internal contamination monitoring by minimizing pool leakage by improving the interface module structure to match the structure of the pool breathing filter.

본 발명은 상술한 종래 기술에서의 요구 내지는 필요에 부응하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 풉 누설을 최소화하여 풉 내부오염 모니터링의 신뢰성을 제고할 수 있는 풉 브리딩 필터와 조합되는 필터 인터페이스 모듈을 제공함에 있다.The present invention has been made in order to meet the requirements and needs of the prior art described above, an object of the present invention is to minimize the leak leakage filter interface module combined with a pull breathing filter that can improve the reliability of the monitoring of pollutant contamination inside the pool In providing.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 필터 인터페이스 모듈은 풉 브리딩 필터의 구조와 부합하도록 그 구조를 개선시켜 외부 에어가 흡입되지 않도록 한 것을 특징으로 한다.The filter interface module according to the present invention for achieving the above object is characterized in that the structure is improved so as to match the structure of the pull breathing filter so that the outside air is not sucked.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 필터 인터페이스 모듈은, 필터에 조합되는 필터 인터페이스 모듈에 있어서, 상기 인터페이스 모듈은 상기 필터와 밀폐성있는 조합이 구현되기에 적합한 홈을 포함하는 것을 특징으로 한다.A filter interface module according to an embodiment of the present invention capable of implementing the above features may include a filter interface module coupled to a filter, wherein the interface module includes a groove suitable for implementing a sealable combination with the filter. do.

본 실시예에 있어서, 상기 필터는 그 내부에 세로벽을 포함하고, 상기 세로벽은 상기 홈으로 삽입된다. 상기 홈은 상기 세로벽의 삽입을 인도하는 경사진 측면을 포함한다. 상기 홈은 상기 세로벽의 밑면과 접촉하는 제1면과 상기 세로벽의 삽입을 인도하는 제2면을 포함한다. 상기 제2면은 상기 제1면의 양측으로 오르막 형태로 경사져 있다.In the present embodiment, the filter includes a vertical wall therein, the vertical wall is inserted into the groove. The groove includes an inclined side that guides the insertion of the vertical wall. The groove includes a first surface in contact with the bottom surface of the vertical wall and a second surface guiding insertion of the vertical wall. The second surface is inclined in an uphill direction to both sides of the first surface.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 변경 실시예에 따른 필터 인터페이스 모듈은, 웨이퍼 저장장치에 구비된 필터와, 상기 웨이퍼 저장장치의 내부오염을 모니터링하는 설비에 구비되어 상기 필터와 조합되는 필터 인터페이스 모듈에 있어서, 상기 웨이퍼 저장장치 내부의 에어가 상기 필터를 경유하여 통과하는 공간이 형성된 고리 모양의 본체와, 상기 본체에 형성되어 상기 필터와의 밀폐성있는 조합이 구현되도록 상기 필터의 일부분이 삽입되는 홈을 포함하는 것을 특징으로 한다.Filter interface module according to an embodiment of the present invention that can implement the feature, the filter interface module provided in the wafer storage device, and the facility installed to monitor the internal contamination of the wafer storage device is combined with the filter In the wafer storage device, the annular body formed with a space through which the air passes through the filter and the groove is formed in the body is inserted into a portion of the filter so that the sealing combination with the filter is implemented Characterized in that it comprises a.

본 변경 실시예에 있어서, 상기 필터는 상기 본체의 상면과 접촉하는 세로벽이 형성되고, 상기 홈은 상기 본체의 상면의 일부분이 제거되어 상기 세로벽이 삽입되기에 적합한 "∨"자 형태로 구성된다.In the present exemplary embodiment, the filter has a vertical wall formed in contact with the upper surface of the main body, and the groove has a shape of a “∨” shape suitable for inserting the vertical wall by removing a portion of the upper surface of the main body. do.

본 발명에 의하면, 필터 인터페이스 모듈은 풉 브리딩 필터의 구조에 맞게 그 구조가 개선되므로써 풉 누설이 최소화 내지는 억제되고, 풉 내부오염 모니터링의 신뢰성이 확보된다.According to the present invention, the filter interface module is improved in accordance with the structure of the pull breathing filter, thereby minimizing or suppressing the leak leakage and ensuring the reliability of the monitoring of the internal pollution of the pool.

이하, 본 발명에 따른 필터 인터페이스 모듈을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a filter interface module according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명과 종래 기술과 비교한 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명은 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명은 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.Advantages over the present invention and prior art will become apparent through the description and claims with reference to the accompanying drawings. In particular, the present invention is well pointed out and claimed in the claims. However, the present invention may be best understood by reference to the following detailed description in conjunction with the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements throughout the various drawings.

(실시예)(Example)

도 3 내지 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 풉 브리딩 필터와 조합된 필터 인터페이스 모듈을 도시한 사시도 및 정면도이다. 도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 풉 인터페이스 모듈(200;FOUP Interface Module)은 웨이퍼 저장장치인 풉(FOU0)의 내부오염 모니터링 설비의 일부분으로서 풉 브리딩 필터(100;FOUP Breathing Filter)와 조합되는 필터 인터페이스 모듈이다. 풉 내부오염 모니터링 설비는 풉 인터페이스 모듈(200)에 풉 브리딩 필터(100)를 조합하고, 풉 브리딩 필터(100)를 통해 풉(FOUP) 내부의 에어를 흡입하여 오염을 측정한다. 이때, 풉 인터페이스 모듈(200)과 풉 브리딩 필터(200)는 외부 에어가 침입되지 않도록 밀폐성이 높도록 조합되어야 하는 것이 바람직하다. 외부 에어가 침입되면 풉 내부오염의 측정의 신뢰성이 떨어지기 때문이다.3 to 5 are perspective and front views illustrating a filter interface module combined with a pull breathing filter according to an embodiment of the present invention. 3 to 5, a pull interface module 200 according to an embodiment of the present invention is a pull breathing filter 100 as part of an internal contamination monitoring facility of a pull FOU0, which is a wafer storage device. Filter interface module combined with Breathing Filter. The pool internal pollution monitoring facility combines the pool breathing filter 100 with the pool interface module 200 and inhales the air inside the pool through the pool breathing filter 100 to measure contamination. At this time, it is preferable that the pull interface module 200 and the pull breathing filter 200 are combined to have high sealing property so that external air does not enter. If outside air invades, the reliability of the measurement of pool internal contamination will be low.

외부 에어의 침입을 억제하기 위하여 풉 인터페이스 모듈(200)의 구조는 풉 브리딩 필터(100)와 고밀폐성의 조합이 되기에 적합한 구조이다. 예를 들어, 풉 브리딩 필터(100)의 내부 외측에 세로벽(110)이 있는 경우가 있을 수 있다. 이러한 경우, 풉 인터페이스 모듈(200)에는 세로벽(110)이 조합되기에 적합한 "∨" 형상의 홈(230)이 마련된다. 세로벽(110)이 홈(230)에 삽입되는 방식으로 풉 브리딩 필터(100)가 풉 인터페이스 모듈(200)에 조합된다. In order to suppress the intrusion of external air, the structure of the pull interface module 200 is a structure suitable to be a combination of the pull breathing filter 100 and a high sealing property. For example, there may be a case in which the vertical wall 110 is located inside and outside the loose breathing filter 100. In this case, the pull interface module 200 is provided with a groove 230 having a “∨” shape suitable for combining the vertical walls 110. The pull breathing filter 100 is combined with the pull interface module 200 in such a manner that the vertical wall 110 is inserted into the groove 230.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 풉 인터페이스 모듈을 도시한 사시도이다. 도 6을 참조하면, 풉 인터페이스 모듈(200)의 본체(210)는 중합체 재질의 고리 모양의 원통형 외관을 지닌다. 본체(210)의 내부 공간(240)은 풉(FOUP) 내부에서 흡입되어 풉 브리딩 필터(100)를 통해 통과하는 에어의 경로를 제공한다. 여기서의 에어에는 각종의 오염물질, 가령 에칭 공정 진행후 잔존하는 HCl/HBr 가스 등이 포함될 수 있다. 본체(210)의 상면은 평평한 면(220)과 "∨" 형상의 홈(230)으로 구성된다. 홈(230)의 수는 세로벽(110)의 수와 동일하게, 가령 세로벽(110)이 네 개이면 홈(230) 역시 네 개가 마련된다. 홈(230)의 하부에는 세로벽(110)의 밑면(232)과 접하는 면(232)이 마련되고, 면(232)의 양측으로는 오르막 경사의 측면(234)이 마련된다. 경사진 측면(234)은 풉 브리딩 필터(100)가 풉 인터페이스 모듈(200)에 조합되는 경우 세로벽(110)의 삽입을 안내한다.6 is a perspective view showing a pull interface module according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 6, the body 210 of the pull interface module 200 has an annular cylindrical appearance made of a polymer material. The internal space 240 of the body 210 provides a path of air that is sucked inside the FOUP and passes through the pull breathing filter 100. The air here may include various contaminants such as HCl / HBr gas remaining after the etching process is performed. The upper surface of the body 210 is composed of a flat surface 220 and the groove 230 of the "∨" shape. The number of the grooves 230 is the same as the number of the vertical walls 110. For example, if the vertical walls 110 are four, the four grooves 230 are also provided. The lower surface of the groove 230 is provided with a surface 232 in contact with the bottom surface 232 of the vertical wall 110, the side surface 234 of the uphill slope is provided on both sides of the surface 232. The inclined side surface 234 guides the insertion of the vertical wall 110 when the pull breathing filter 100 is combined with the pull interface module 200.

상술한 바와 같이, 풉 인터페이스 모듈(200)에는 풉 브리딩 필터(100)의 세로벽(110)이 삽입되기에 적합한 홈(230)이 마련되어 있어서, 풉 인터페이스 모듈(200)과 풉 브리딩 필터(100)와의 고밀폐성 조합이 가능하게 된다. 고밀폐성 조합에 의해 외부 에어의 침입이 방지되므로 풉 누설이 최소화되어 풉 내부오염의 측정에 있어서 신뢰성이 강화되고, 내부오염의 정도 및 거동을 확인할 수 있다.As described above, the pull interface module 200 is provided with a groove 230 suitable for inserting the vertical wall 110 of the pull breathing filter 100, so that the pull interface module 200 and the pull breathing filter 100 are provided. Highly sealed combination with High airtight combination prevents the intrusion of external air, minimizing the leak leakage and enhancing reliability in measuring the internal pollution of the pool, and confirming the degree and behavior of the internal pollution.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The foregoing detailed description illustrates the present invention. In addition, the foregoing description merely shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. And, it is possible to change or modify within the scope of the concept of the invention disclosed in this specification, the scope equivalent to the written description, and / or the skill or knowledge in the art. The above-described embodiments are for explaining the best state in carrying out the present invention, the use of other inventions such as the present invention in other state known in the art, and the specific fields of application and uses of the present invention. Various changes are also possible. Accordingly, the detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed to include other embodiments.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 풉 인터페이스 모듈은 풉 브리딩 필터의 구조에 맞게 그 구조가 개선되므로써 풉 누설이 최소화 내지는 억제된다. 따라서, 풉 내부오염 모니터링의 신뢰성이 확보되고, 오염 농도 및 거동을 확인할 수 있는 효과가 있다. 그리고, 공정 진행 전후 풉 내부오염 모니터링으로써 오염 거동에 의한 결함 규명을 용이하게 할 수 있는 효과가 있다. 이에 더하여, 풉 세정 전후 평가를 통해 세정효과를 파악할 수 있는 효과가 있다. As described in detail above, according to the present invention, the pull interface module is improved in conformity with the structure of the pull breathing filter, thereby minimizing or suppressing the leak leakage. Therefore, the reliability of the monitoring of the internal pollution of the pool is secured, and the pollution concentration and behavior can be confirmed. In addition, there is an effect of facilitating the identification of defects due to contamination behavior by monitoring the internal contamination of the pool before and after the process. In addition, there is an effect that can grasp the cleaning effect through the evaluation before and after the pool cleaning.

Claims

In the filter interface module combined with the filter,

And the interface module includes a groove suitable for implementing a hermetic combination with the filter.

The method of claim 1,

And the filter includes a vertical wall therein, wherein the vertical wall is inserted into the groove.

The method of claim 2,

And said groove comprises an inclined side which guides the insertion of said vertical wall.

The method of claim 2,

The groove comprises a first surface in contact with the bottom surface of the vertical wall and a second surface for guiding the insertion of the vertical wall.

The method of claim 4, wherein

The second surface is a filter interface module, characterized in that the inclined in the form of uphill to both sides of the first surface.

In the filter provided in the wafer storage device, and the filter interface module provided in the facility for monitoring the internal contamination of the wafer storage device is combined with the filter,

An annular body having a space in which air in the wafer storage device passes through the filter; And

A groove formed in the body and into which a portion of the filter is inserted so as to realize a hermetic combination with the filter;

Filter interface module comprising a.

The method of claim 6,

The filter has a vertical wall is formed in contact with the upper surface of the main body, the groove is a filter interface module characterized in that the portion is formed of a "∨" shape suitable for insertion of the vertical wall by removing a portion of the upper surface of the main body .