KR20070110810A - 마이크로렌즈 어레이 장치의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 기판 상에 제1 포토레지스트 패턴을 형성하고, 상기 제1 포토레지스트 패턴을 플로우시켜서 제1 렌즈 패턴을 형성하는 단계;상기 제1 렌즈 패턴 상에 제1 보호막을 증착하는 단계;상기 제1 보호막을 포함하는 상기 기판 상에 상기 제1렌즈 패턴에 의해서 형성된 상기 기판 상의 요철이 전사되는 제1 구조체를 형성하는 단계;상기 결과물에서 상기 기판, 상기 제1 렌즈 패턴 및 제1 보호막을 제거하여 상기 제1 구조체를 남기는 단계;상기 제1 구조체의 표면에 제2 보호막을 증착하고, 상기 제2 보호막의 표면에 형성된 요철이 전사되는 제2 구조체를 상기 제1 구조체 상에 형성하는 단계;상기 결과물에서 상기 제1 구조체를 제거하여 제1 마이크로렌즈 패턴이 형성된 상기 제2 구조체를 남기는 단계;상기 제1 마이크로렌즈 패턴 상에 제2 포토레지스트 패턴을 정렬하여 형성하고, 상기 제2 포토레지스트 패턴을 플로우시켜서 제2 렌즈 패턴을 형성하는 단계;상기 제2 렌즈 패턴 상에 제3 보호막을 증착하는 단계;상기 제2 렌즈 패턴 및 상기 제1 마이크로렌즈 패턴을 포함하는 상기 제2 구조체 상의 요철이 전사되는 제3 구조체를 형성하는 단계;상기 결과물에서 상기 제2 구조체 및 제2 렌즈 패턴을 제거하여 제3 구조체를 남기는 단계; 및상기 제3 구조체를 금형으로 이용하여 마이크로렌즈 어레이 장치를 제작하는 단계를 포함하는 마이크로렌즈 어레이 장치의 제조 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 포토레지스트 패턴 및 상기 제2 포토레지스트 패턴은 리소그래피 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 어레이 장치의 제조 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 포토레지스트 패턴 및 상기 제2 포토레지스트 패턴은 열처리로 플로우시켜서 각각으로 제1 렌즈 패턴 및 제2 렌즈 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 어레이 장치의 제조 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 보호막, 제2 보호막 및 제3 보호막은 진공 증착 방법에 의해서 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 어레이 장치의 제조 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 구조체, 제2 구조체 및 제3 구조체는 전기 도금 방법에 의해서 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 어레이 장치의 제조 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 구조체를 남기는 단계에서 상기 제1 구조체 상의 잔류물은 테트라메틸 암모늄 하이드록사이드(TMAH)를 사용하여 제거되는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 어레이 장치의 제조 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제2 구조체를 남기는 단계 후에 상기 제2 구조체의 표면에 제4 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 어레이 장치의 제조 방법.
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