KR20070109392A - Test apparatus of optical element for diffraction grating - Google Patents

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Abstract

A test apparatus of an optical element for a diffraction grating is provided to perform various data detection for an optical element stably and accurately by checking a defect in the diffraction grating plane of the optical element before applying the optical element to an optical device. A test apparatus of an optical element for a diffraction grating includes a light source(20), a first lens(30), a second lens(40), a light receiving element(50), and a control unit(60). The first lens inputs light to a predetermined region of the optical element by collecting the light from the light source. The second lens inputs light to the light receiving element by collecting diffraction/interference light from a diffraction grating plane(11) of the optical element. The control unit determines the defect of the optical element using an optical signal checked by the light receiving element.

Description

회절 격자용 광학소자의 검사장치{Test apparatus of optical element for diffraction grating}Testing apparatus of optical element for diffraction gratings

도 1은 본 발명에 따른 회절 격자용 광학소자의 검사장치를 도시한 측면도,1 is a side view showing an inspection apparatus of an optical element for a diffraction grating according to the present invention;

도 2는 본 발명에 따른 이동수단을 예시한 측면도,2 is a side view illustrating a moving means according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 작동 상태를 도시한 평면도.3 is a plan view showing an operating state according to the present invention;

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 광학소자10: optical element

11 : 회절격자면11: diffraction grating plane

20 : 광원20: light source

30 : 제1 렌즈30: first lens

40 : 제2 렌즈40: second lens

50 : 수광소자50: light receiving element

60 : 제어부60: control unit

본 발명은 회절 격자용 광학소자의 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 회절 격자용 광학소자를 수평 방향으로 직선 이동이 가능하도록 하면서 회절 간섭되는 광의 세기를 체크하여 불량 여부를 판단할 수 있도록 하는 회절 격자용 광학소자의 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for inspecting a diffraction grating optical element, and more particularly, it is possible to linearly move the diffraction grating optical element in a horizontal direction while checking the intensity of diffracted light to determine whether there is a defect. An inspection apparatus for an optical element for diffraction gratings.

일반적으로 회절 격자용 광학소자는 소정의 파형 범위로부터 양호한 파장을 선택적으로 추출하기 위한 파장분산소자로서 광측정 기구에 널리 사용되는 부품이다. In general, an optical element for diffraction grating is a component widely used in optical measuring instruments as a wavelength dispersion element for selectively extracting a good wavelength from a predetermined waveform range.

회절 격자용 광학소자는 파장, 입사각 그리고 입사광의 편광으로 인해 크게 영향을 받는 회절효율을 가지고 있으므로 그 형상 또한 매우 다양하다. Optical elements for diffraction gratings have various diffraction efficiencies that are greatly influenced by wavelengths, angles of incidence, and polarization of incident light.

이런 광학소자 중 일면에 요철이 다양한 각도와 간격으로 형성되도록 하여 회절격자면을 이루도록 하는 구성이 대부분이며, 이때의 회절격자면은 평판의 형상으로 형성되기도 하고, 이와는 달리 콘케이브 형상으로 형성되기도 한다.Most of the optical devices are configured to form a diffraction grating surface by having irregularities formed at various angles and intervals, and the diffraction grating surface may be formed in the shape of a flat plate, or may be formed in a concave shape. .

또한 광학소자는 판면에 형성되는 회절격자면에서의 회절격자간 간격과 각 회절격자의 경사 각도를 각기 상이하게 형성함으로써 적용하게 되는 분야를 매우 다양하게 할 수가 있다.In addition, the optical element can be applied to a wide variety of fields by forming different intervals between the diffraction gratings and the inclination angles of the diffraction gratings on the diffraction grating plane formed on the plate surface.

한편 광학소자에서 가장 중요한 부위인 회절격자면이 제조 공정에서 또는 운송 과정에서 손상되거나 훼손되는 사례가 많다.On the other hand, the diffraction grating plane, which is the most important part of the optical element, is often damaged or damaged in the manufacturing process or transportation process.

또한 광학소자는 광학기기에 적용하기에 앞서 그 불량 여부를 검사하는 별도의 장비가 아직은 구비되어 있지 않아 필드에서 직접 광학기기에 장착한 상태에서 검사를 하거나 바로 공정을 수행하도록 하고 있다.In addition, the optical device is not yet equipped with a separate device for checking whether the defect before applying to the optical device is to perform the inspection or immediately performing the process in the state directly mounted on the optical device.

하지만 광학기기에 장착하여 불량 여부를 체크하게 되면 광학기기의 공정 수행을 지체시키게 될 뿐만 아니라 만약 불량의 광학소자를 찾았을 때는 다시 광학기기의 가동을 중단시킨 상태에서 광학소자를 교체시켜야만 하므로 공정 수행 효율이 대폭적으로 저하되는 매우 비경제적인 문제를 초래하게 된다.However, if it is installed on the optical device and checks for defects, it not only delays the performance of the optical device, but also if the defective optical device is found, the optical device must be replaced while the optical device is stopped again. This leads to a very uneconomical problem that the efficiency is drastically reduced.

또한 광학소자의 불량이 체크되지 않게 되면 이에 따른 광학기기에서의 공정 오류를 유발하게 되므로 치명적인 손실을 발생하는 문제가 있다.In addition, when the defect of the optical device is not checked, it causes a process error in the optical device, thereby causing a fatal loss.

따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 회절격자면을 갖는 광학소자를 광학기기에 적용하기 전에 불량 여부를 체크하여 미리 선별할 수 있도록 하는 회절 격자용 광학소자의 검사장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been invented to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to check a defect before applying an optical element having a diffraction grating plane to an optical device, so that a diffraction grating can be selected in advance. The present invention provides an inspection apparatus for optical elements.

또한 본 발명의 다른 목적은 다양한 용도의 광학소자에 대해서도 회절격자면의 검사가 가능토록 하는 회절 격자용 광학소자의 검사장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide an apparatus for inspecting an optical element for diffraction grating, which enables inspection of the diffraction grating plane even for optical elements of various uses.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 광학소자에 조사할 빛을 발생시키는 광원과; 상기 광원으로부터의 빛을 집광하여 상기 광학소자의 일정 영역에 입사시키는 제1 렌즈와; 상기 광학소자의 회절격자면으로부터 회절 및 간섭되는 빛 을 집광하는 제2 렌즈와; 상기 제2 렌즈를 통해 출력되는 광을 체크하는 수광소자와; 상기 수광소자에 의해 체크되는 광신호에 의해 광학소자의 불량 여부를 체크하는 제어부로서 이루어지는 구성이다.In order to achieve the above object, the present invention includes a light source for generating light to be irradiated to the optical element; A first lens for collecting light from the light source and incident the light into a predetermined region of the optical device; A second lens for collecting light diffracted and interfered from the diffraction grating plane of the optical element; A light receiving element that checks light output through the second lens; It is a structure comprised as a control part which checks whether an optical element is defective by the optical signal checked by the said light receiving element.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 회절 격자용 광학소자의 검사장치를 도시한 측면도로서, 본 발명에서의 가장 특징적인 구성은 광원(20)과 제1,2 렌즈(30,40)과 수광소자(50) 및 제어부(60)로서 이루어지는 구성이다.1 is a side view showing an inspection apparatus of an optical element for diffraction grating according to the present invention, the most characteristic configuration of the present invention is the light source 20, the first and second lenses (30, 40) and the light receiving element (50) ) And the control unit 60.

즉 광원(20)은 빛을 발생시키기 위해 구비되는 구성으로서, 광원(20)으로는 레이저 다이오드나 LED 및 램프 등을 사용하며, 이런 광원(20)은 다양한 칼라로도 적용이 가능하다.That is, the light source 20 is configured to generate light, and the light source 20 uses a laser diode, an LED, a lamp, or the like. The light source 20 may be applied in various colors.

특히 레이저 다이오드는 특정 파장의 광원으로 주로 사용하는 것인 바 이 레이저 다이오드의 적용에 의해 수광 소자의 방향을 변화시키므로서 회절 격자를 검사하도록 하는 것이 보다 바람직하다.In particular, the laser diode is mainly used as a light source of a specific wavelength, it is more preferable to inspect the diffraction grating by changing the direction of the light receiving element by the application of this laser diode.

제1 렌즈(30)는 광원(20)으로부터 조사되는 빛을 모아 광학소자(10)의 회전격자면(11)에 입사되도록 하는 집광 렌즈이다.The first lens 30 is a condensing lens that collects the light emitted from the light source 20 to be incident on the rotating grid surface 11 of the optical element 10.

제1 렌즈(30)는 광학소자(10)의 회절격자면(11)에 일정 범위로 빛이 조사되도록 한다.The first lens 30 allows light to be irradiated to the diffraction grating plane 11 of the optical device 10 in a predetermined range.

제2 렌즈(40)는 광학소자(10)의 회절격자면(11)으로부터 회절되어 간섭되는 빛을 다시 모아지게 하는 구성이다. 즉 광학소자(10)로부터 회절되어 간섭을 이룬 광이 모여지도록 하며, 이러한 제2 렌즈(40)와 수광 소자(50)는 같은 중심축을 가지면서 각도 조정이 가능하게 구비한다.The second lens 40 is configured to collect light that is diffracted from the diffraction grating plane 11 of the optical element 10 and interferes again. That is, the light diffracted from the optical element 10 to cause interference is collected, and the second lens 40 and the light receiving element 50 have the same central axis and are provided with an angle adjustment.

수광소자(50)는 제2 렌즈(40)에 의해서 집광되는 광을 수광하도록 하는 디텍팅 수단이다.The light receiving element 50 is a detecting means for receiving the light collected by the second lens 40.

수광소자(50)로는 포토다이오드를 사용할 수도 있고, 광학소자(10)의 사용 용도에 따라서 그 외의 다양한 수광용 디텍터를 선택적으로 사용할 수도 있다.As the light receiving element 50, a photodiode may be used, and various other light detectors may be selectively used according to the use purpose of the optical element 10.

제어부(60)는 수광소자(50)에서 디텍팅된 광신호를 체크하여 광학소자(10)의 불량 여부를 알 수 있도록 하는 구성이다.The controller 60 is configured to check whether the optical device 10 is defective by checking the optical signal detected by the light receiving device 50.

이런 제어부(60)는 오실로스코프 등을 이용하여 가시적으로 불량 여부를 확인할 수 있도록 모니터링되도록 하며, 모니터링된 출력값을 보고 직접 엔지니어가 불량 여부를 판단할 수도 있으나 소프트웨어적으로 입력된 기준값과의 비교에 의해 자동으로 불량 여부를 판단하여 램프나 버저와 같은 경광 수단을 작동시켜 불량 여부를 판정하게 할 수도 있다.The control unit 60 is monitored so as to visually check whether there is a defect using an oscilloscope or the like, and the engineer may directly determine whether or not by looking at the monitored output value, but automatically by comparing with the reference value input by software By judging whether or not the defective by operating a light means such as a lamp or a buzzer may be determined whether or not defective.

한편 상기의 구성에서 광학소자(10)는 X축과 Y축으로 이동 가능하게 구비되는 스테이지(70)에 안치되고, 스테이지(70)는 저부에서 이동수단에 의해서 X축과 Y축으로의 이동이 가능하도록 한다.On the other hand, in the above configuration, the optical element 10 is placed in the stage 70 which is provided to be movable in the X axis and the Y axis, and the stage 70 is moved from the bottom to the X axis and the Y axis by the moving means. Make it possible.

특히 광학소자(10)는 광원(20)으로부터 조사되는 광이 광학소자(10)의 전영역을 스캔할 수 있도록 제어부(60)에 의해서 서로 직교하는 X축과 Y축으로 슬라이드 이동되게 할 수도 있다.In particular, the optical device 10 may allow the light irradiated from the light source 20 to be slid by the control unit 60 to the X and Y axes orthogonal to each other so as to scan the entire area of the optical device 10. .

이동수단은 스테이지(70)를 일방향으로 슬라이드 이동시키는 제1 구동부(81) 와 이 제1 구동부(81)를 지지하는 서포트 플레이트(71)를 그와 직교되는 방향으로 슬라이드 이동시키는 제2 구동부(82)로서 구비되도록 한다.The moving means includes a first driver 81 for sliding the stage 70 in one direction and a second driver 82 for sliding the support plate 71 for supporting the first driver 81 in a direction orthogonal thereto. ) To be provided.

이동수단의 제1 구동부(81)와 제2 구동부(82)에는 각각 도 2에 예시한 바와 같이 상부와 하부에서 스테이지(70) 또는 서포트 플레이트(71)를 서로 직교하는 방향으로 슬라이드 이동이 가능하도록 하는 가이드 레일(72)(73)을 구비하도록 하며, 이때의 스테이지(70)와 서포트 플레이트(71)는 수동으로 이동시킬 수도 있으나 모터 등과 같은 별도의 구동수단에 의해서 필요한 만큼 자동으로 이동되는 구성으로 구비되게 할 수도 있다.As shown in FIG. 2, the first driving unit 81 and the second driving unit 82 of the moving unit can slide the stage 70 or the support plate 71 in a direction perpendicular to each other, as shown in FIG. 2. Guide rails 72 and 73 are provided, and the stage 70 and the support plate 71 may be moved manually, but are automatically moved as necessary by a separate driving means such as a motor. It may be provided.

또한 발광 구성 요소인 광원(20)과 제1 렌즈(30) 그리고 수광 구성 요소인 제2 렌즈(40)와 수광소자(50)는 상호 일정한 거리를 두고 서로 일체로 연결되도록 하며, 이중 제2 렌즈(40)와 수광소자(50)는 분광 회절 각도의 조절이 가능하도록 구비되도록 하는 것이 가장 바람직하다.In addition, the light source 20 and the first lens 30, which are light emitting components, and the second lens 40 and the light receiving element 50, which are light receiving components, are integrally connected to each other at a predetermined distance from each other, and the second second lens 40 and the light receiving element 50 is most preferably provided to enable the adjustment of the spectral diffraction angle.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 검사하는 방법에 대해 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.Referring to the test method according to the invention configured in this way in more detail as follows.

도 3은 본 발명에 따른 작동 상태를 도시한 평면도이다.3 is a plan view showing an operating state according to the present invention.

우선 검사하고자 하는 광학소자(10)를 본 발명의 스테이지(70) 또는 별도의 클램핑 안치 구조에 안치시킨다.First, the optical element 10 to be inspected is placed in the stage 70 or a separate clamping settle structure of the present invention.

이렇게 안치된 광학소자(10)의 상부에는 일측으로 발광 구성 요소인 광원(20)과 제1 렌즈(30)가 구비되고, 그와 대응되는 타측에는 수광 구성 요소인 제2 렌즈(40)와 수광소자(50)가 구비되어 있게 된다.The light source 20 and the first lens 30, which are light emitting components, are disposed on one side of the optical element 10 placed in this manner, and the second lens 40 and the light receiving components are received on the other side thereof. The element 50 is provided.

이때 광원(20)은 단일 파장의 광을 사용하는 것이 바람직하며, 이를 위해서 광원(20)으로 LED 또는 램프 등을 사용하는 경우에는 레이저 다이오드와는 달리 광학 필터가 동시에 구비되도록 해야만 한다.At this time, the light source 20 preferably uses a single wavelength of light, and for this purpose, when using an LED or a lamp as the light source 20, an optical filter should be provided at the same time unlike a laser diode.

한편 제1 렌즈(30)에 의해서는 광학소자(10)의 회절격자면(11)에서 일정 영역에 광이 입사된다.Meanwhile, light is incident on the diffraction grating plane 11 of the optical element 10 by a first lens 30 in a predetermined region.

제1 렌즈(30)는 광학소자(10)의 종류에 따라 선택된 광원(20)을 평행광 또는 방사광으로서 입사시키기 위한 적절한 렌즈군으로 이루어지도록 한다.The first lens 30 is formed of an appropriate lens group for injecting the light source 20 selected according to the type of the optical element 10 as parallel light or radiated light.

한편 광학소자(10)의 회절격자면(11)은 플랫(flat) 타입인 경우도 있지만 콘케이브(concave) 타입으로 형성되기도 하므로 제1 렌즈(30)는 플랫 타입의 경우에는 평형광을, 그리고 콘케이브 타입의 경우에는 방사형 광을 형성하도록 한다.On the other hand, since the diffraction grating plane 11 of the optical element 10 may be a flat type, but may also be formed in a concave type, the first lens 30 may have a balanced light in the case of a flat type, and In the case of the concave type, the radial light is formed.

이렇게 제1 렌즈(30)를 통해 광학소자(10)의 일정 영역에 입사된 입사광은 회절격자면(11)에 부딪치면서 회절되어 제2 렌즈(40)에 집광된다.The incident light incident on the predetermined region of the optical element 10 through the first lens 30 is diffracted while colliding with the diffraction grating plane 11 and condensed on the second lens 40.

제2 렌즈(40)에 집광되는 회절된 간섭광은 제2 렌즈(40)를 통과하면서 수광소자(50)에서 디텍팅된다.Diffracted interference light focused on the second lens 40 is detected by the light receiving element 50 while passing through the second lens 40.

수광소자(50)에 디텍팅되는 회절된 간섭광은 이를 전기적 신호로 변화시켜 제어부(60)에 전달하게 된다.The diffracted interference light detected by the light receiving element 50 is converted into an electrical signal and transmitted to the control unit 60.

이에 제어부(60)에서는 수광소자(50)로부터 입력되는 전기적 신호를 디스플레이되도록 한다.Accordingly, the control unit 60 displays an electrical signal input from the light receiving element 50.

이렇게 디스플레이되는 출력 신호는 이미 내부에 소프트웨어적으로 입력되어 있는 기준값과의 비교에 의해 불량 여부를 자동으로 판정하도록 한다.The output signal thus displayed is automatically judged as defective by comparison with a reference value already software-input therein.

또한 광학소자(10)를 이동시키면서 출력되는 신호의 값이 허용 오차 범위에 있는지를 관찰하여 자동으로 불량 여부를 판독하도록 할 수도 있다.In addition, by moving the optical element 10, it is also possible to observe whether the value of the output signal is within the tolerance range to automatically read whether there is a defect.

제어부(60)에서의 불량 여부 판정은 버저 또는 램프 등의 경광수단의 작동에 의해서 엔지니어가 쉽게 인지할 수 있도록 한다.Determination of the failure in the control unit 60 allows the engineer to easily recognize by the operation of the warning light, such as a buzzer or a lamp.

한편 이와는 달리 제어부(60)에서는 단순히 수광소자(50)로부터 전달되는 전기적 신호를 엔지니어가 가시적으로 확인할 수 있도록 디스플레이되도록만 하고, 이 디스플레이되는 출력 신호를 엔지니어가 주관적으로 판단하여 광학소자(10)의 불량 여부를 판정하게 할 수도 있다.On the other hand, the controller 60 merely displays the electrical signal transmitted from the light receiving element 50 so that the engineer can visually check, and the engineer's subjective judgment of the displayed output signal of the optical element 10 It may be made to determine whether there is a defect.

또한 제어부(60)는 광원(20)으로부터 조사되는 광이 광학소자(10)의 전영역을 스캔할 수 있도록 광학소자(10)를 이동시키는 제어를 하게 된다.In addition, the control unit 60 controls to move the optical element 10 so that the light irradiated from the light source 20 can scan the entire area of the optical element 10.

이러한 방식으로 광학소자(10)를 X,Y축 방향으로 슬라이딩 이동시키면서 검사하고자 하는 검사 영역 즉 광학소자(10)의 회절격자면(11)이 이동되게 함으로써 광학소자(10)의 정확한 불량 여부를 확인할 수 있도록 한다.In this manner, the diffraction grating plane 11 of the optical element 10 is moved while the optical element 10 is slid in the X and Y axis directions, thereby determining whether the optical element 10 is correctly defective. Make sure to check.

이와 같이 광학소자(10)의 불량 여부를 사전에 미리 체크하게 되면 광학소자(10)가 적용되는 광학기기에서의 성능 및 품질 저하를 미연에 방지할 수가 있게 된다.In this way, if the optical element 10 is checked in advance in advance, it is possible to prevent performance and quality deterioration in the optical apparatus to which the optical element 10 is applied.

따라서 분광 시스템과 같은 광학기기에서 광학소자(10)로 인한 공정 데이터 오류 등의 공정 불량을 방지하면서 정확하고 안정된 공정 수행을 제공할 수가 있게 된다.Therefore, in an optical device such as a spectroscopic system, it is possible to provide accurate and stable process performance while preventing process defects such as process data errors due to the optical element 10.

또한 광학기기에는 항상 양품의 광학소자(10)만을 장착시킬 수가 있으므로 보다 기기 가동 효율을 증대시킬 수가 있도록 한다.In addition, since only good quality optical elements 10 can be attached to the optical equipment at all times, the operation efficiency of the apparatus can be further increased.

상술한 바와 같이 본 발명은 회절격자면을 갖는 광학소자를 광학기기에 적용하기 전에 미리 회절격자면의 불량 여부를 체크하여 실제 광학기기에는 양품의 광학소자만이 적용될 수 있도록 함으로써 광학기기를 이용한 각종 데이터 검출이 정확하고 안정되게 수행될 수 있도록 하고, 이들 데이터 검출을 위한 공정 수행 효율이 대폭적으로 향상될 수 있도록 하는 이점을 제공한다.As described above, the present invention checks whether the diffraction grating plane is defective before applying the optical device having the diffraction grating plane to the optical device, so that only the good optical devices can be applied to the actual optical device. It provides the advantage that data detection can be performed accurately and stably, and that the process performance efficiency for these data detection can be significantly improved.

Claims (6)

광학소자(10)에 조사할 빛을 발생시키는 광원(20)과; A light source 20 for generating light to be irradiated to the optical element 10; 상기 광원(20)으로부터의 빛을 집광하여 상기 광학소자(10)의 일정 영역에 입사시키는 제1 렌즈(30)와; A first lens 30 which collects light from the light source 20 and enters a predetermined region of the optical element 10; 상기 광학소자(10)의 회절격자면(11)으로부터 회절 및 간섭되는 빛을 집광하는 제2 렌즈(40)와; A second lens 40 for collecting light diffracted and interfered from the diffraction grating plane 11 of the optical element 10; 상기 제2 렌즈(40)를 통해 출력되는 광을 디텍팅하는 수광소자(50)와;A light receiving element 50 for detecting light output through the second lens 40; 상기 수광소자(50)에 의해 체크되는 광신호에 의해 상기 광학소자(10)의 불량 여부를 체크하는 제어부(60);A control unit 60 which checks whether the optical element 10 is defective by the optical signal checked by the light receiving element 50; 로서 구비되는 회절 격자용 광학소자의 검사장치.An inspection apparatus for an optical element for diffraction grating, which is provided as a. 제 1 항에 있어서, 상기 광학소자(10)는 스테이지(70)에 안치되고, 상기 스테이지(70)는 저부에서 이동수단에 의해서 서로 직교하는 X축과 Y축으로 슬라이드 이동이 가능하도록 하는 회절 격자용 광학소자의 검사장치.The diffraction grating according to claim 1, wherein the optical element (10) is placed in a stage (70), and the stage (70) is capable of sliding at the bottom in the X and Y axes which are orthogonal to each other by means of moving means. Inspection device for optical element. 제 2 항에 있어서, 상기 이동수단은 상기 스테이지(70)를 일방향으로 슬라이드 이동시키는 제1 구동부(81)와 상기 제1 구동부(81)를 지지하는 서포트 플레이 트(71)를 그와 직교되는 방향으로 슬라이드 이동시키는 제2 구동부(82)로서 구비하는 회절 격자용 광학소자의 검사장치.The method of claim 2, wherein the moving means is a direction perpendicular to the first driving portion 81 for sliding the stage 70 in one direction and the support plate 71 for supporting the first driving portion 81 orthogonal thereto. An inspection apparatus for an optical element for diffraction grating, which is provided as a second drive unit (82) for sliding movement. 제 2 항에 있어서, 상기 광학소자(10)는 상기 스테이지(70)가 가이드 레일(72)(73)을 따라 서로 직교하는 X축과 Y축 방향으로 슬라이드 이동이 가능하도록 구비하는 회절 격자용 광학소자의 검사장치.The optical device for diffraction grating according to claim 2, wherein the optical element (10) is provided such that the stage (70) can slide in the X and Y axis directions orthogonal to each other along the guide rails (72) and (73). Device inspection device. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제2 렌즈(40)와 상기 수광소자(50)는 상호 일체형으로 구비되면서 분광 회절 각도의 조절이 가능하도록 하는 회절 격자용 광학소자의 검사장치.The inspection apparatus of claim 1 or 2, wherein the second lens (40) and the light receiving element (50) are integrally provided with each other and are capable of adjusting the spectral diffraction angle. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제어부(60)는 상기 광원(20)으로부터 조사되는 광이 상기 광학소자(10)의 전영역을 스캔할 수 있도록 상기 광학소자(10)를 서로 직교하는 X축과 Y축으로 슬라이드 이동시키도록 하는 제어하는 회절 격자용 광학소자의 검사장치.According to claim 1 or claim 2, wherein the control unit 60 is orthogonal to each other the optical element 10 so that the light irradiated from the light source 20 can scan the entire area of the optical element 10 An apparatus for inspecting an optical element for diffraction gratings for controlling the slide movement in the X and Y axes.
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