KR20070080922A

KR20070080922A - Lift pin holder reducing friction force

Info

Publication number: KR20070080922A
Application number: KR1020060012442A
Authority: KR
Inventors: 하정민
Original assignee: 주성엔지니어링(주)
Priority date: 2006-02-09
Filing date: 2006-02-09
Publication date: 2007-08-14
Also published as: KR101207771B1

Abstract

A lift pin holder is provided to load stably a substrate by preventing a lift pin from being jammed in the lift pin holder using a friction reducing member capable of reducing the friction between the lift pin and the lift pin holder. A lift pin holder includes a holder body and a friction reducing member. The holder body(110) includes a pin hole for penetrating a lift pin(20). The holder body is formed like a cylinder type structure. The friction reducing member(130) is prolonged from an inner wall of the pin hole toward a center portion of the pin hole. The friction reducing member is made of a predetermined material with a relatively small frictional coefficient compared to that of the holder body.

Description

Lift pin holder reducing friction force

도 1은 일반적인 액정표시소자 제조장치의 개략적인 구성도1 is a schematic configuration diagram of a general liquid crystal display device manufacturing apparatus

도 2는 도 1에서 기판안치대가 상승한 상태를 나타낸 도면FIG. 2 is a view illustrating a state in which the substrate stabilizer is raised in FIG. 1; FIG.

도 3은 리프트 핀 홀더의 구조 및 기판안치대와의 결합상태를 나타낸 도면3 is a view showing the structure of the lift pin holder and the bonding state with the substrate support

도 4는 기판에 의해 리프트 핀이 기울어진 상태를 나타낸 도면4 is a view showing a state in which the lift pin is inclined by the substrate

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 의한 리프트 핀 홀더의 단면도5 is a cross-sectional view of the lift pin holder according to the first embodiment of the present invention.

도 6은 홀더 몸체와 커버가 나사 결합한 모습을 나타낸 도면6 is a view showing a state that the holder body and the cover screwed

도 7은 홀더 몸체와 커버가 끼움돌기와 끼움홈에 의해 결합한 모습을 나타낸 도면7 is a view showing a state in which the holder body and the cover is coupled by the fitting protrusion and the fitting groove

도 8은 본 발명의 제1 실시예에 의한 리프트 핀 홀더에서 리프트 핀이 기울어진 모습을 나타낸 도면8 is a view showing a state in which the lift pin is inclined in the lift pin holder according to the first embodiment of the present invention

도 9는 마찰저감부재의 단면이 환형이 아닌 경우를 나타낸 도면9 is a view showing a case where the cross section of the friction reducing member is not annular;

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 의한 리프트 핀 홀더의 단면도10 is a cross-sectional view of a lift pin holder according to a second embodiment of the present invention.

도 11은 본 발명의 제3 실시예에 의한 리프트 핀 홀더의 단면도11 is a cross-sectional view of a lift pin holder according to a third embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

20 : 리프트 핀 100 : 리프트 핀 홀더20: lift pin 100: lift pin holder

110 : 홀더 몸체 112 : 상부 돌출부110: holder body 112: upper protrusion

114 : 제1 단차 116 : 관통홀114: first step 116: through hole

118 : 제2 단차 119 : 요홈부118: second step 119: groove

120 : 커버 122 : 끼움돌기120: cover 122: fitting protrusion

124 : 끼움홈 130 : 마찰저감부재124: fitting groove 130: friction reducing member

140 : 볼트 150 : 홀더 캡140: bolt 150: holder cap

본 발명은 반도체소자 또는 액정표시소자의 제조장치에 관한 것으로서, 상세하게는 기판안치대로부터 기판을 분리하는 리프트 핀 어셈블리에 관한 것이며, 더 상세하게는 리프트 핀과 결합하는 리프트핀 홀더에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for manufacturing a semiconductor device or a liquid crystal display device, and more particularly, to a lift pin assembly that separates a substrate from a substrate stabilizer, and more particularly, to a lift pin holder coupled to a lift pin.

일반적으로 반도체소자 또는 액정표시소자를 제조하기 위해서는 실리콘웨이퍼 또는 글래스 등의 기판에 원료물질을 증착하는 박막증착공정, 감광성물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 패터닝하는 식각공정 등을 거치게 되며, 이들 각 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경을 유지하는 제조장치 내에서 진행된다.In general, in order to manufacture a semiconductor device or a liquid crystal display device, a thin film deposition process for depositing a raw material on a substrate such as a silicon wafer or glass, a photolithography process using a photosensitive material to expose or conceal selected regions of the thin films, and selected regions Etching process of removing and patterning the thin film of the process is performed, each of these processes is carried out in the manufacturing apparatus to maintain the optimum environment for the process.

액정표시소자의 제조장치 중에서 원료물질을 플라즈마 상태로 변환시킨 후 이를 이용하여 박막을 증착하는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)장치(10)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 반응공간을 형성하는 챔버(11), 챔버(11)의 내부에서 기판(s)을 안치하는 기판안치대(12), 기판안치대(12)의 상부에서 원료가스를 분사하는 가스분배판(13), 가스분배판(13)에 연결된 가스공급관(15), 잔류가스를 배출하는 배기구(18)를 포함한다. 또한 플라즈마 발생원의 역할을 하는 플라즈마 전극(14), 플라즈마 전극(14)에 연결되는 RF전원(16), 임피던스 정합을 위한 매처(17)를 포함한다.Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) apparatus 10 for converting a raw material into a plasma state and depositing a thin film using the same in a manufacturing apparatus of a liquid crystal display device forms a reaction space as shown in FIGS. 1 and 2. The chamber 11, the substrate support 12 for placing the substrate s inside the chamber 11, the gas distribution plate 13 for injecting raw material gas from the upper portion of the substrate support 12, and gas distribution. And a gas supply pipe 15 connected to the plate 13 and an exhaust port 18 for discharging the residual gas. In addition, the plasma electrode 14 includes a plasma electrode 14 serving as a plasma generation source, an RF power source 16 connected to the plasma electrode 14, and a matcher 17 for impedance matching.

기판(s)은 로봇암(미도시)에 의해 반송되는데, 로봇암이 기판안치대(12)에 기판(s)을 안치하거나 기판안치대(12)로부터 기판(s)을 픽업하기 위해서는 리프트 핀(20)을 이용하여 기판안치대(12)로부터 기판(s)을 소정 높이로 들어올려야 한다.The substrate s is conveyed by a robot arm (not shown), and the robot arm lifts the pins in order to settle the substrate s on the substrate support 12 or to pick up the substrate s from the substrate support 12. Using 20, the substrate s should be lifted from the substrate support 12 to a predetermined height.

리프트 핀(20)은 기판안치대(12)를 관통하여 설치되지만 고정되지는 않기 때문에 도 1과 같이 기판안치대(12)가 하강한 상태에서는 하단부가 챔버(11)의 저면에 닿아 상단부가 기판안치대(12)의 상부로 돌출된다.Since the lift pin 20 is installed through the substrate support 12 but is not fixed, as shown in FIG. 1, in the state where the substrate support 12 is lowered, the lower end touches the bottom of the chamber 11 so that the upper end is connected to the substrate. Protrudes to the top of the rest 12.

이 상태에서 로봇암(미도시)이 기판을 반입하여 리프트 핀(20)의 상단부에 내려놓거나, 리프트 핀(20)의 상단부에 놓여진 기판을 반출하게 된다. 새로운 기판이 리프트 핀(20)의 상단부에 놓여지면 기판안치대(12)가 공정영역으로 상승하게 되는데 이때 리프트 핀(20)은 도 2에 도시된 바와 같이 중력에 의해 하강하여 상단부가 기판안치대(12)의 상면에 형성된 걸림턱에 매달린 상태가 된다.In this state, the robot arm (not shown) loads the substrate and puts it on the upper end of the lift pin 20, or takes out the substrate placed on the upper end of the lift pin 20. When the new substrate is placed on the upper end of the lift pin 20, the substrate stabilizer 12 is raised to the process area, where the lift pin 20 is lowered by gravity as shown in FIG. It is in the state suspended on the locking step formed in the upper surface of (12).

이 과정에서 리프트 핀(20)의 상단부에 놓여진 기판(s)은 기판안치대(12)의 상면에 자연스럽게 안치된다.In this process, the substrate s placed on the upper end of the lift pin 20 is naturally placed on the upper surface of the substrate support 12.

공정영역에서 공정을 마친 후 기판안치대(12)가 다시 하강하면 도 1에 도시된 바와 같이 리프트 핀(20)의 하단부가 챔버 저면(11a)에 닿으면서 리프트 핀(20)의 상단부는 기판안치대(12)의 상부로 돌출되며, 이때 기판안치대(12)에 안치되어 있던 기판(s)은 리프트 핀(20)에 의해 들어올려지므로 기판안치대(12)로부터 분리된다.After finishing the process in the process area, when the substrate stabilizer 12 is lowered again, as shown in FIG. 1, the lower end of the lift pin 20 contacts the bottom surface 11a of the chamber, and the upper end of the lift pin 20 is placed on the substrate. It protrudes to the upper part of the base 12, and the board | substrate s which was settled in the board | substrate set 12 is lifted by the lift pin 20, and is separated from the board set 12 here.

도 3은 리프트 핀(20)과 기판안치대(12)의 결합관계를 나타낸 단면도로서, 리프트 핀(20)은 기판안치대(12)를 관통하는 소정길이의 몸체(21)와, 몸체(21)보다 직경이 큰 원반형태로서 몸체(21)의 상단에 구비되는 헤드(22)로 이루어지며, 세라믹 재질로 제조된다. 3 is a cross-sectional view showing a coupling relationship between the lift pin 20 and the substrate stabilizer 12. The lift pin 20 includes a body 21 and a body 21 having a predetermined length penetrating the substrate stabilizer 12. FIG. It is made of a ceramic material is made of a head 22 provided on the top of the body 21 as a disk shape larger than the diameter.

리프트 핀(20)의 몸체(21)는 기판안치대(12)에 형성된 관통홀(12a)을 통해 위에서 아래로 삽입되고 헤드(22)가 기판안치대(12)의 상면에 형성된 제1 단차(12b)에 걸림으로써 기판안치대(12)에 고정되지 않고 단순히 매달리도록 장착되어 있다.The body 21 of the lift pin 20 is inserted downward from the top through the through hole 12a formed in the substrate stabilizer 12, and the head 22 is formed on the first surface of the substrate stabilizer 12. 12b), it is mounted on the substrate support 12 so as not to be fixed but simply suspended.

또한 기판안치대(12)의 관통홀(12a) 내부에는 리프트 핀(20)이 기판안치대(12)와 직접 접촉하는 것을 방지하는 한편 리프트 핀(20)의 승강이 원활하게 이루어지도록 하는 리프트 핀 홀더(30)가 설치되어 있다.In addition, the lift pin holder inside the through hole 12a of the substrate stabilizer 12 prevents the lift pin 20 from directly contacting the substrate stabilizer 12 while allowing the lift pin 20 to move up and down smoothly. 30 is provided.

상기 리프트 핀 홀더(30)는 관통홀(12a) 내에 삽입되는 대략 실린더형의 세 라믹 재질의 부재로서 그 내부에는 중심축을 향하여 돌출되어 리프트 핀 몸체(21)와의 접촉부위를 최소화하는 상부 돌출부(31) 및 하부 돌출부(32)가 소정 거리 이격되어 형성되어 있다.The lift pin holder 30 is a member of a substantially cylindrical ceramic material inserted into the through hole 12a and protrudes toward the central axis therein to minimize the contact portion with the lift pin body 21. ) And the lower protrusion 32 are spaced apart by a predetermined distance.

또한, 기판안치대(12) 하부의 챔버 바닥면에는 핀플레이트(11a)가 설치되어 있는데, 상기 핀플레이트(11a)는 리프트 핀(20)과 챔버(11)의 직접 접촉을 방지함으로써 챔버(11)를 보호하고, 리프트 핀(20)의 하중을 지지하는 역할을 한다.In addition, a pin plate 11a is provided at the bottom of the chamber below the substrate support 12. The pin plate 11a prevents the direct contact between the lift pin 20 and the chamber 11 to prevent the chamber 11 ) And supports the load of the lift pin 20.

그런데 일반적으로 기판안치대(12)의 상부로 돌출된 리프트 핀(20)의 헤드(22)에 의해 기판(s)이 지지되는 경우에는, 면적이 크고 두께가 얇은 기판(s)의 특성상 기판(s)의 중앙부가 아래로 쳐지면서 상대적으로 리프트 핀(20)의 헤드(22)에 대해 아래 방향뿐만이 아니라 도 4에 도시된 바와 같이 측방향(도면상으로는 좌측)으로도 어느 정도의 힘이 가해지게 되어 리프트 핀(20)이 일측으로 기울어지게 된다.By the way, in general, when the substrate s is supported by the head 22 of the lift pin 20 protruding to the upper portion of the substrate support 12, the substrate (s) has a large area and a thin thickness. s) the center part is struck down so that a relatively small amount of force is applied to the head 22 of the lift pin 20 not only downward but also laterally (left in the drawing) as shown in FIG. The lift pin 20 is inclined to one side.

이와 같이 리프트 핀(20)이 기울어지면, 리프트 핀(20)과 리프트 핀 홀더(30)의 상하부 돌출부(31,32) 사이에 마찰이 발생하게 된다. 이런 현상을 대비하여 리프트 핀(20)을 제조할 때 폴리싱(polishing) 처리를 통해 표면을 매끄럽게 가공하고 있기는 하지만 반복적인 마찰로 인해 단기간에 표면이 거칠어지는 문제점이 있다.When the lift pin 20 is tilted as described above, friction occurs between the lift pin 20 and the upper and lower protrusions 31 and 32 of the lift pin holder 30. In order to prepare for this phenomenon, the surface is roughly processed in a short time due to repetitive friction, although the surface is smoothly processed by polishing (polishing) when manufacturing the lift pin 20.

리프트 핀(20)의 승강운동이 원활하지 못하면, 심할 경우 리프트 핀(20)이 리프트 핀 홀더(30)에 끼어서 기판안치대(12)가 하강하여도 리프트 핀(20)이 상승 하지 못하고 기판안치대(12)로부터 힘을 받게 되는 현상이 발생한다. If the lifting motion of the lift pin 20 is not smooth, if the lift pin 20 is severely caught in the lift pin holder 30, the lift pin 20 does not rise even if the substrate stabilizer 12 is lowered. The phenomenon of receiving the force from the base 12 occurs.

이와 같이 리프트 핀(20)이 상승하지 못하고 기판안치대(12)로부터 힘을 받게 되면, 리프트 핀(20)이 리프트 핀 홀더(30)에 접촉하는 부분에서 힘을 집중적으로 받아 파손될 위험이 있다. 리프트 핀(20)이 파손되면 리프트 핀(20)에 의해서 지지되는 기판이 상승을 하지 못하게 되어, 기판안치대(12)로부터 분리되지 못하여 추가적인 문제를 발생시킨다.As such, when the lift pin 20 does not rise and receives a force from the substrate stabilizer 12, the lift pin 20 may be damaged by being concentrated at the portion in contact with the lift pin holder 30. If the lift pin 20 is broken, the substrate supported by the lift pin 20 may not be lifted, and thus, the substrate may not be separated from the substrate support 12, thereby causing additional problems.

또한, 기판안치대(12)가 상승하여도 리프트 핀(20)이 하강하지 못하고 기판안치대(12)의 상부로 계속돌출되어 있는 현상이 발생한다.In addition, even when the substrate stabilizer 12 is raised, a phenomenon in which the lift pin 20 does not lower but continuously protrudes above the substrate stabilizer 12 occurs.

이와 같이 리프트 핀(20)이 돌출된 채 기판안치대(12)가 상승하면, 기판(s)의 배면으로 플라즈마 리크가 발생하여 기판이 오염되거나 상부의 가스분배판(13)과 충돌하여 기판(s)이 파손될 위험이 있다.As such, when the substrate stabilizer 12 rises while the lift pin 20 protrudes, plasma leakage occurs on the rear surface of the substrate s, thereby contaminating the substrate or colliding with the upper gas distribution plate 13, thereby causing the substrate ( s) there is a risk of breakage.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판안치대의 승강에 연동하여 리프트 핀이 리프트 핀 홀더의 내부에서 원활하게 승강할 수 있는 방안을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to solve this problem, in order to provide a way that the lift pin can be raised and lowered smoothly in the lift pin holder in conjunction with the lifting of the substrate stabilizer.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 리프트 핀이 관통하는 핀 홀을 가지는 실린더 형상의 홀더 몸체; 상기 핀 홀의 내벽에서 축방향으로 상기 핀 홀의 내주면보다 중심축을 향해 돌출되도록 결합되고, 상기 홀더 몸체보다 마찰계수가 작은 재질의 마찰저감부재를 포함하는 리프트 핀 홀더를 제공한다.The present invention in order to achieve the above object, the holder body of the cylindrical shape having a pin hole through which the lift pin; It provides a lift pin holder including a friction reducing member made of a material coupled to protrude toward the central axis than the inner peripheral surface of the pin hole in the axial direction from the inner wall of the pin hole, the friction coefficient is smaller than the holder body.

상기 핀 홀의 내주면에는 원주방향의 단차가 형성되고, 상기 마찰저감부재는 상기 단차에 삽입되며, 이때 상기 단차는 상기 핀 홀 내벽의 상부 또는 하부에 형성된다.A step in the circumferential direction is formed on the inner circumferential surface of the pin hole, and the friction reducing member is inserted into the step, wherein the step is formed on the upper or lower portion of the inner wall of the pin hole.

상기 마찰저감부재는 상기 핀홀 내벽의 상부 또는 하부에 결합된다.The friction reducing member is coupled to the upper or lower portion of the pinhole inner wall.

상기 마찰저감부재의 단면은 원형이며, 상기 마찰저감부재는 상기 핀 홀의 내벽을 따라 밀착하는 환형부재이다.The cross section of the friction reducing member is circular, and the friction reducing member is an annular member in close contact with the inner wall of the pin hole.

상기 홀더 몸체에 결합하며, 상기 마찰저감부재를 상기 홀더 몸체의 내벽에서 이탈되지 않도록 지지하는 커버를 더 포함할 수 있다.A cover coupled to the holder body and supporting the friction reducing member so as not to be separated from the inner wall of the holder body.

이때 상기 홀더 몸체와 상기 커버 사이는 나사결합이나 볼트에 의해 결합될 수 있으며, 상기 홀더 몸체와 상기 커버는 서로 대응하는 위치에 형성된 끼움홈 및 끼움돌기에 의하여 결합할 수도 있다.In this case, the holder body and the cover may be coupled by a screw coupling or a bolt, and the holder body and the cover may be coupled by fitting grooves and fitting protrusions formed at positions corresponding to each other.

상기 마찰저감부재는 엔지니어링 플라스틱(engineering plastic) 재질인 것이 바람직하며, 내주면이 곡면으로 처리되는 것이 바람직하다.Preferably, the friction reducing member is made of an engineering plastic, and an inner circumferential surface thereof is treated as a curved surface.

또한 본 발명은, 리프트 핀이 관통하는 핀 홀을 가지는 실린더 형상의 홀더 몸체; 상기 리프트 핀이 관통하는 관통홀을 가지고, 상기 홀더 몸체의 단부에 결합되며, 상기 관통홀의 내경은 상기 홀더 몸체의 핀 홀의 내경보다 작으며, 상기 홀더 몸체보다 마찰계수가 작은 재질로 이루어진 홀더 캡을 포함하는 리프트 핀 홀더를 제공한다.In addition, the present invention, the holder body of the cylindrical shape having a pin hole through which the lift pin; The holder pin has a through-hole penetrating, and is coupled to an end of the holder body, the inner diameter of the through-hole is smaller than the inner diameter of the pin hole of the holder body, the holder cap made of a material having a smaller coefficient of friction than the holder body It provides a lift pin holder comprising.

이때 상기 홀더 몸체와 상기 홀더 캡은 나사결합이나 볼트에 의해 결합될 수 있으며, 상기 홀더 몸체 및 상기 홀더 캡은 서로 대응하는 위치에 형성된 끼움홈 및 끼움돌기에 의하여 결합할 수도 있다.At this time, the holder body and the holder cap may be coupled by a screw coupling or bolt, the holder body and the holder cap may be coupled by the fitting groove and the fitting protrusion formed in a position corresponding to each other.

상기 홀더 캡은 엔지니어링 플라스틱(engineering plastic) 재질인 것이 바람직하며, 상기 홀더 캡의 내주면은 곡면으로 처리되는 것이 바람직하다.The holder cap is preferably made of engineering plastics, and the inner circumferential surface of the holder cap is preferably treated as a curved surface.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제1 실시예First embodiment

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 리프트 핀 홀더(100)와 이에 결합하는 리프트 핀(20)을 도시한 것이다.5 shows a lift pin holder 100 and a lift pin 20 coupled thereto according to a first embodiment of the present invention.

상기 리프트 핀 홀더(100)는 대략 실린더 형상으로서, 길이방향의 핀홀(116)을 가지는 홀더 몸체(110), 상기 홀더 몸체(110)의 내주면에서 축방향으로 돌출되는 상부돌출부(112), 상부돌출부(112)의 하부로 소정거리 이격되어 설치되는 마찰저감부재(130)를 포함한다.The lift pin holder 100 has a substantially cylindrical shape, a holder body 110 having a pinhole 116 in a longitudinal direction, an upper protrusion 112 and an upper protrusion projecting in an axial direction from an inner circumferential surface of the holder body 110. It includes a friction reducing member 130 spaced apart a predetermined distance to the bottom of the (112).

상기 마찰저감부재(130)는 환형으로서 상부돌출부(112)와 함께 리프트핀의 승강운동을 가이드하는 역할을 하며, 홀더 몸체(110)의 내주면 하단에 형성된 제1 단차(114)에 삽입되며, 내경이 홀더 몸체(110)의 내경보다 작기 때문에 홀더 몸체(110)의 내주면으로 일부분이 돌출된다.The friction reducing member 130 serves to guide the lifting movement of the lift pin together with the upper protrusion 112 as an annular shape, and is inserted into the first step 114 formed at the lower end of the inner circumferential surface of the holder body 110, Since it is smaller than the inner diameter of the holder body 110, a part protrudes to the inner circumferential surface of the holder body 110.

상기 제1 단차(114)에 삽입된 마찰저감부재(130)를 지지하기 위하여 홀더 몸체(110)에는 커버(120)가 결합된다. 즉, 환형의 마찰저감부재(130)를 상기 제1 단차(114)에 삽입한 후 커버(120)를 이용하여 마찰저감부재(130)의 하부를 지지하며, 커버(120)는 볼트(140)를 이용하여 홀더 몸체(110)에 결합시킨다.The cover 120 is coupled to the holder body 110 to support the friction reducing member 130 inserted into the first step 114. That is, after the annular friction reducing member 130 is inserted into the first step 114, the lower portion of the friction reducing member 130 is supported using the cover 120, and the cover 120 is the bolt 140. It is coupled to the holder body 110 by using.

리프트 핀 홀더(100)에 삽입된 리프트 핀(20)은 하부에서 마찰저감부재(130)와 접하게 되는데, 이때 리프트 핀(20)과 마찰저감부재(130) 사이의 마찰력을 줄이기 위해서 제1 단차(114)의 폭과 깊이에 적당한 마진을 주어 삽입된 마찰저감부재(130)가 다소 움직일 수 있도록 하는 것이 바람직하다.The lift pin 20 inserted into the lift pin holder 100 comes into contact with the friction reducing member 130 at a lower portion thereof, in which the first step (1) is reduced to reduce the friction force between the lift pin 20 and the friction reducing member 130. It is preferable to give a suitable margin to the width and depth of the 114 to allow the inserted friction reducing member 130 to move somewhat.

또한 리프트 핀 홀더(100)의 외주면이 전체적으로 평탄하도록 홀더몸체(110)의 외주면에는 커버(120)가 인입되는 제2 단차(118)를 형성하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to form a second step 118 through which the cover 120 is drawn on the outer circumferential surface of the holder body 110 so that the outer circumferential surface of the lift pin holder 100 is generally flat.

한편, 홀더 몸체(110)와 커버(120)는 반드시 볼트(140)에 의해 결합되어야 하는 것은 아니므로, 도 6 에 도시된 바와 같이 홀더 몸체(110)의 하단 외주면과 커버(120)의 내주면에 나사산을 형성하여 나사결합을 할 수도 있다.Meanwhile, since the holder body 110 and the cover 120 are not necessarily coupled by the bolts 140, the holder body 110 and the cover 120 are not necessarily coupled to each other by the lower outer peripheral surface of the holder body 110 and the inner peripheral surface of the cover 120. Screw threads may be formed by forming threads.

또한 도 7에 도시된 바와 같이 커버(120)의 내주면에 끼움돌기(122)를 형성하고 홀더 몸체(110)의 외주면에 끼움홈(124)을 형성하여 양자를 꽉끼움방식으로 결합할 수도 있다. 이때 끼움돌기(122)가 홀더 몸체(110)에 형성되고 끼움홈(124)이 커버(120)에 형성될 수 있음은 물론이다.In addition, as shown in FIG. 7, the fitting protrusion 122 may be formed on the inner circumferential surface of the cover 120, and the fitting groove 124 may be formed on the outer circumferential surface of the holder body 110 to combine the two in a tight fitting manner. In this case, the fitting protrusion 122 may be formed in the holder body 110 and the fitting groove 124 may be formed in the cover 120.

한편 본 발명은 홀더 몸체(110)의 내주면에 형성되는 돌출부와 리프트 핀 (20) 사이의 마찰력을 줄임으로써 리프트 핀의 승하강 운동을 원활히 하기 위한 것이므로, 상기 마찰저감부재(130)는 리프트 핀(20)과의 마찰력을 줄일 수 있는 재질이어야 한다.On the other hand, since the present invention is to facilitate the lifting motion of the lift pin by reducing the friction force between the protrusion formed on the inner peripheral surface of the holder body 110 and the lift pin 20, the friction reducing member 130 is a lift pin ( It should be made of a material that can reduce the frictional force with 20).

따라서 적어도 세라믹 재질로 제조되는 리프트 핀 홀더(100)의 홀더 몸체(110) 보다는 마찰계수가 작은 재질인 것이 바람직하다. 본 발명에서는 이를 위해 엔지니어링 플라스틱(engineering plastic)을 이용한다.Therefore, it is preferable that the friction coefficient is smaller than the holder body 110 of the lift pin holder 100 made of at least a ceramic material. In the present invention, engineering plastics are used for this purpose.

엔지니어링 플라스틱은 기존의 플라스틱과는 달리 강도, 탄성뿐만 아니라 충격, 마모, 열, 추위, 약품, 피로 등에 강하며, 전기절연성이 뛰어난 플라스틱으로서, 고분자구조의 고기능 수지이며 공업재료나 구조재로 사용된다. 이러한 엔지니어링 플라스틱은 크게 폴리아미드(polyamide), 폴리에스테르(polyester), 폴리카르보네이트(polycarbonate), 폴리테레프탈산부틸렌(polybutylene terephthalate/ PBT), 폴리산화페닐렌(polyphenylene oxide/PPO) 등이 있으며, 내열성, 충격강도, 내마모성이 한층 강화된 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에테르케톤(PEK), 폴리페닐렌술피드(PPS) 등도 있다. Unlike conventional plastics, engineering plastics are strong in impact, abrasion, heat, cold, chemicals and fatigue as well as strength and elasticity, and have excellent electrical insulation. They are high-performance resins of high molecular structure and are used as industrial materials or structural materials. Such engineering plastics include polyamide, polyester, polycarbonate, polybutylene terephthalate / PBT, polyphenylene oxide / PPO, and the like. There are also polyether ether ketone (PEEK), polyether ketone (PEK), polyphenylene sulfide (PPS), and the like, which have further enhanced heat resistance, impact strength and wear resistance.

이들 물질의 공통점은 종래의 플라스틱이 수십에서 수백 정도의 분자량을 갖는 물질인 데 비해 분자량이 수십만에서 수백만에 이르는 고분자물질이라는 점이다. 고분자물질이기 때문에 구조재로서는 적당한 강도, 탄성 및 내마모성을 얻을 수 있다.What these materials have in common is that conventional plastics are polymers with molecular weights ranging from tens of thousands to millions, compared to those with molecular weights ranging from tens to hundreds. Since it is a high molecular material, moderate structural strength, elasticity, and wear resistance can be obtained.

이와 같이 통상 세라믹 재질인 홀더 몸체(110)의 내주면에 홀더 몸체(110) 보다 마찰계수가 작은 마찰저감부재(130)를 설치하면, 도 8에 도시된 바와 같이 리프트 핀(20)이 기울어지더라도 리프트 핀(20)이 마찰저감부재(130)의 내주면과 접하기 때문에 세라믹재질의 홀더 몸체(110)와 직접 접하는 경우에 비하여 훨씬 적은 마찰력이 발생하게 된다.As such, when the friction reducing member 130 having a friction coefficient smaller than that of the holder body 110 is installed on the inner circumferential surface of the holder body 110, which is usually made of ceramic, the lift pin 20 may be inclined as shown in FIG. 8. Since the lift pin 20 is in contact with the inner circumferential surface of the friction reducing member 130, much less frictional force is generated than when the lift pin 20 is in direct contact with the holder body 110 of ceramic material.

또한 마찰저감부재(130)의 내주면을 라운드 처리하여 곡면으로 형성하면 보다 마찰력을 줄일 수 있다.In addition, when the inner peripheral surface of the friction reducing member 130 is rounded to form a curved surface, it is possible to reduce the frictional force.

따라서 리프트 핀(20)이 마찰력 때문에 홀더 몸체(110)에 끼이는 현상이 방지될 수 있으며, 반복사용으로 인해 마찰저감부재(130)가 마모된다고 하더라도 내마모성이 뛰어난 엔지니어링 플라스틱을 이용하기 때문에 사용가능시간이 종래에 비해 크게 연장될 수 있다. Therefore, the pinch of the lift pin 20 can be prevented from being caught in the holder body 110 due to the frictional force, and even if the friction reducing member 130 is worn out due to repeated use, the use time is excellent because it uses engineering plastics having excellent wear resistance. This can be greatly extended compared with the prior art.

한편 환형의 마찰저감부재(130)가 반드시 원형의 단면을 가져야 하는 것은 아니며 도 9에 도시된 바와 같이 원형이 아닌 단면을 가지는 마찰저감부재(130)가 이용될 수도 있다.Meanwhile, the annular friction reducing member 130 does not necessarily have a circular cross section, and as shown in FIG. 9, a friction reducing member 130 having a non-circular cross section may be used.

제2 실시예Second embodiment

본 발명의 제1 실시예는 리프트 핀 홀더(100)의 홀더 몸체(110)의 하단에 환형의 마찰저감부재(130)를 설치하고 이를 커버(120)를 이용하여 고정하는 방식인데 반하여, 본 발명의 제2 실시예는 도 10에 도시된 바와 같이 홀더 몸체(110)의 하단에 소정의 형상을 가지면서 마찰저감부재의 역할을 하는 홀더 캡(150)을 결합 시킨 점에 특징이 있다.In the first embodiment of the present invention, the annular friction reducing member 130 is installed at the lower end of the holder body 110 of the lift pin holder 100 and fixed using the cover 120. A second embodiment of the present invention is characterized in that the holder cap 150, which serves as a friction reducing member while having a predetermined shape at the bottom of the holder body 110, as shown in Figure 10 is combined.

즉, 환형의 마찰저감부재를 별도로 이용하지 않고, 홀더 몸체(110)의 내경보다 작은 내경의 관통홀을 가지는 홀더 캡(150)을 홀더 몸체(110)의 하단에 결합하는 한편, 리프트 핀(20)과의 마찰력을 줄이기 위하여 내주면을 라운드 처리하여 곡면을 가지도록 한다. 이때 홀더 캡(150)은 엔지니어링 플라스틱 재질로 제조되는 것이 바람직하다.That is, without using an annular friction reducing member, the holder cap 150 having a through hole having an inner diameter smaller than the inner diameter of the holder body 110 is coupled to the lower end of the holder body 110, while the lift pin 20 In order to reduce frictional force with), the inner circumferential surface is rounded to have a curved surface. At this time, the holder cap 150 is preferably made of an engineering plastics material.

홀더 몸체(110)와 홀더 캡(150)의 결합방식은 제1 실시예에서 홀더 몸체(110)와 커버(120)를 결합하는 방식과 유사하다. 따라서 볼트를 이용하여 결합할 수도 있고, 홀더 캡(150)과 홀더 몸체(110)를 나사결합할 수도 있으며, 끼움돌기와 끼움홈을 이용하여 꽉끼움 방식으로 결합할 수도 있다. The coupling method of the holder body 110 and the holder cap 150 is similar to the coupling method of the holder body 110 and the cover 120 in the first embodiment. Therefore, the coupling may be performed using bolts, the holder cap 150 and the holder body 110 may be screwed together, or the fitting cap and the fitting groove may be coupled in a tight fitting manner.

제3 실시예Third embodiment

본 발명의 제3 실시예는 도 11에 도시된 바와 같이 홀더 몸체(110)의 상단 또는 하단에서 소정거리 이격된 핀홀(116)의 내벽에 원주방향으로 요홈부(119)를 형성한 후 상기 요홈부(119)에 환형의 마찰저감부재(130)를 끼워서 결합하는 점에 특징이 있다.As shown in FIG. 11, the third embodiment of the present invention forms the recess 119 in the circumferential direction on the inner wall of the pinhole 116 spaced a predetermined distance from the top or bottom of the holder body 110. The groove 119 is characterized in that the coupling by fitting the annular friction reducing member 130.

이 경우에 핀홀(116)에 마찰저감부재(130)를 삽입하기 위해서는 탄성을 가지면서도 일부가 절단된 환형의 마찰저감부재(130)를 사용하여야 한다.In this case, in order to insert the friction reducing member 130 into the pinhole 116, it is necessary to use an annular friction reducing member 130 having some elasticity.

따라서 요홈부(119)에 삽입할 때는 힘을 가하여 상기 마찰저감부재(130)를 수축시킨 상태에서 핀홀(116)의 상단 또는 하단에서부터 삽입시켜야 하며, 삽입된 마찰저감부재(130)는 요홈부(119)에 인입된 순간 자체 탄성으로 인해 원래의 직경으로 회복되기 때문에 요홈부(119)에서 빠지지 않게 된다.Therefore, when inserting into the groove 119, a force must be applied to insert from the top or the bottom of the pinhole 116 in the contracted state of the friction reducing member 130, the inserted friction reducing member 130 is a groove ( Instantaneous retraction into the original diameter due to its elasticity does not fall out of the recess 119.

본 발명에 따르면 기판안치대가 승하강할 때 리프트 핀과 리프트 핀 홀더 사이의 마찰력이 줄어들게 되므로 리프트 핀이 리프트 핀 홀더에 끼이는 현상이 방지되어 기판을 안정적으로 안치할 수 있을 뿐만 아니라 리프트 핀의 파손이 방지된다.According to the present invention, since the friction force between the lift pin and the lift pin holder is reduced when the substrate stabilizer is raised and lowered, the pin is prevented from being pinched by the lift pin holder, thereby stably placing the substrate and breaking the lift pin. Is prevented.

Claims

A cylindrical holder body having a pin hole through which the lift pin passes;

A friction reducing member made of a material that is coupled to protrude toward the central axis than the inner circumferential surface of the pin hole in the axial direction from the inner wall of the pin hole, and has a friction coefficient smaller than that of the holder body;

Lift pin holder including

The method of claim 1,

Lift pin holders, characterized in that the inner circumferential surface of the pin hole is formed in the circumferential direction, the friction reducing member is inserted into the step.

The method of claim 2,

The step pin is a lift pin holder, characterized in that formed on the upper or lower portion of the inner wall of the pin hole

The method of claim 2,

The friction reducing member is a lift pin holder coupled to the upper or lower portion of the inner wall of the pin hole

The method of claim 1,

Lift pin holder, characterized in that the cross section of the friction reducing member is circular

The method of claim 1,

The friction reducing member is a lift pin holder, characterized in that the annular member in close contact with the inner wall of the pin hole.

The method of claim 1,

A lift pin holder coupled to the holder body, the cover further supporting the friction reducing member so as not to be separated from the inner wall of the holder body.

The method of claim 7, wherein

Lift pin holder, characterized in that the coupling between the holder body and the cover by a screw or bolt

The method of claim 7, wherein

The holder body and the cover are lift pin holders, characterized in that coupled by the fitting groove and the fitting protrusion formed in a position corresponding to each other

The method of claim 1,

The friction reducing member is a lift pin holder, characterized in that the engineering plastic (engineering plastic) material

The method of claim 1,

The inner circumferential surface of the friction reducing member is a lift pin holder that is treated as a curved surface

A cylindrical holder body having a pin hole through which the lift pin passes;

A holder cap having a through hole through which the lift pin penetrates and is coupled to an end of the holder body, wherein an inner diameter of the through hole is smaller than an inner diameter of a pin hole of the holder body and is made of a material having a smaller coefficient of friction than the holder body;

Lift pin holder including

The method of claim 12,

The holder body and the holder cap are lift pin holders, characterized in that coupled by a screw or bolt

The method of claim 12,

The holder body and the holder cap are lift pin holders, characterized in that coupled by the fitting groove and the fitting protrusion formed in a position corresponding to each other

The method of claim 12,

The holder cap is a lift pin holder, characterized in that the engineering plastic (engineering plastic) material

The method of claim 12,

The inner circumferential surface of the holder cap is a lift pin holder processed into a curved surface