KR20070079912A

KR20070079912A - Cutting machine

Info

Publication number: KR20070079912A
Application number: KR1020070009883A
Authority: KR
Inventors: 가즈메 세키야
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2006-02-03
Filing date: 2007-01-31
Publication date: 2007-08-08
Also published as: CN101011846A; JP2007208114A; CN101011846B

Abstract

A cutting machine is provided to prevent damages or cracks from being generated at a processing object by controlling an operation of a cutting blade exchanging unit to automatically replace a damaged cutting blade with a new one. A cutting machine includes a pair of chuck tables(34a,34b), a pair of cutting units(37a,37b), a cutting blade exchanging unit(7), a damage detecting unit, and a control unit. The chuck tables include a processing object. The cutting unit separably mounts cutting blades. The cutting blade exchanging unit exchanges the cutting blades. The damage detecting unit checks a damage state of the cutting blades. The controller controls the cutting unit and the cutting blade exchanging unit according to a detecting signal transmitted from the damage detecting unit. The controller stops the operation of the cutting units to operate the cutting blade exchanging unit when the damaged state of the cutting blade is detected by the damage detecting unit.

Description

Cutting Machine

도 1은 본 발명에 따라 구성된 절삭장치의 요부사시도이다.1 is an essential part perspective view of a cutting device constructed in accordance with the present invention.

도 2는 도 1에 나타내는 절삭장치의 절삭수단을 나타내는 사시도이다.It is a perspective view which shows the cutting means of the cutting device shown in FIG.

도 3은 도 1에서의 A-A 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the line A-A in FIG.

도 4는 도 1에 나타내는 절삭장치의 절삭수단을 구성하는 스핀들 유니트에서의 절삭 블레이드의 설치구조를 나타내는 분해사시도이다.FIG. 4 is an exploded perspective view showing the mounting structure of the cutting blades in the spindle unit constituting the cutting means of the cutting device shown in FIG. 1.

도 5는 도 1에 나타내는 절삭장치의 절삭수단을 구성하는 스핀들 유니트의 요부사시도이다.FIG. 5 is a perspective view of the main portion of the spindle unit constituting the cutting means of the cutting device shown in FIG. 1. FIG.

도 6은 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드 교환기구를 구성하는 블레이드 랙을 나타내는 사시도이다.It is a perspective view which shows the blade rack which comprises the cutting blade exchange mechanism equipped with the cutting device shown in FIG.

도 7은 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드 교환기구를 구성하는 안내수단 및 위치결정수단을 나타내는 사시도이다.FIG. 7 is a perspective view showing guide means and positioning means constituting a cutting blade exchange mechanism provided in the cutting device shown in FIG. 1; FIG.

도 8은 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드 교환기구를 구성하는 제1 체결너트 착탈(着脫)기구 및 제2 체결너트 착탈기구와 제1 절삭 블레이드 착탈기구 및 제2 절삭 블레이드 착탈기구를 나타내는 사시도이다.8 is a first fastening nut detachment mechanism, a second fastening nut detachment mechanism, a first cutting blade detachment mechanism, and a second cutting blade detachment mechanism constituting a cutting blade exchange mechanism equipped in the cutting device shown in FIG. It is a perspective view showing.

도 9는 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드 교환기구를 구성하는 체결너트 착탈기구의 단면도이다.9 is a cross-sectional view of a fastening nut detachment mechanism that constitutes a cutting blade exchange mechanism equipped in the cutting device shown in FIG. 1.

도 10은 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드 교환기구를 구성하는 절삭 블레이드 착탈기구의 단면도이다.It is sectional drawing of the cutting blade attachment / detachment mechanism which comprises the cutting blade exchange mechanism equipped with the cutting device shown in FIG.

도 11은 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 제어수단의 블록도이다.FIG. 11 is a block diagram of control means equipped in the cutting device shown in FIG. 1. FIG.

도 12는 절삭 블레이드가 정상상태로부터 파손상태에 이르는 동안에 있어서, 절삭시에 발생하는 AE신호의 변화를 나타내는 그래프이다.12 is a graph showing a change in the AE signal generated during cutting while the cutting blades reach the breakage state from the normal state.

도 13은 도 11에 나타내는 제어수단의 제어순서를 나타내는 흐름도이다.13 is a flowchart showing the control procedure of the control means shown in FIG.

도 14는 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드 교환기구에 의한 블레이드 교환작업에서의 사용전 절삭 블레이드 파지공정을 설명하는 도면이다.It is a figure explaining the cutting blade holding process before use in a blade exchange operation by the cutting blade exchange mechanism equipped with the cutting device shown in FIG.

도 15는 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드 교환기구에 의한 블레이드 교환작업에서의 체결너트 제거공정을 설명하는 도면이다.It is a figure explaining the fastening nut removal process in the blade replacement operation by the cutting blade exchange mechanism equipped with the cutting device shown in FIG.

도 16은 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드 교환기구에 의한 블레이드 교환작업에서의 사용후 절삭 블레이드 제거공정을 설명하는 도면이다.It is a figure explaining the used cutting blade removal process in the blade exchange operation by the cutting blade exchange mechanism equipped with the cutting device shown in FIG.

도 17은 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드 교환기구에 의한 블레이드 교환작업에서의 절삭 블레이드 파지수단 반전공정을 설명하는 도면이다.It is a figure explaining the cutting blade holding means inversion process in the blade exchange operation by the cutting blade exchange mechanism equipped with the cutting device shown in FIG.

도 18은 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드 교환기구에 의한 블레이드 교환작업에서의 사용전 절삭 블레이드 장착공정을 설명하는 도면이다.It is a figure explaining the cutting blade attachment process before use in a blade exchange operation by the cutting blade exchange mechanism equipped with the cutting device shown in FIG.

도 19는 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드 교환기구에 의한 블레이드 교환작업에서의 사용전 절삭 블레이드 고정공정을 설명하는 도면이다.It is a figure explaining the cutting blade fixing process before use in a blade exchange operation by the cutting blade exchange mechanism equipped with the cutting device shown in FIG.

도 20은 도 1에 나타내는 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드 교환기구에 의 한 블레이드 교환작업에서의 사용후 절삭 블레이드 수용공정을 설명하는 도면이다.It is a figure explaining the used cutting blade accommodation process in the blade replacement operation by the cutting blade exchange mechanism equipped with the cutting device shown in FIG.

**부호의 설명**** Description of the sign **

2: 기대 3: 척테이블 기구2: expectation 3: chuck table mechanism

31a: 제1 안내레일 31b: 제2 안내레일31a: first guide rail 31b: second guide rail

32a: 제1 지지기대 32b: 제2 지지기대32a: first support base 32b: second support base

34a: 제1 척테이블 34b: 제2 척테이블34a: first chuck table 34b: second chuck table

36a: 제1 블레이드 검출수단 36b: 제2 블레이드 검출수단36a: first blade detecting means 36b: second blade detecting means

37a: 제1 절삭이송수단 37b: 제2 절삭이송수단37a: first cutting feed means 37b: second cutting feed means

4: 문(門)형상 지지프레임 5a: 제1 얼라이먼트 수단4: door-shaped support frame 5a: first alignment means

5b: 제2 얼라이먼트 수단 52: 이동수단5b: second alignment means 52: moving means

53: 촬상수단 6a: 제1 절삭수단53: imaging means 6a: first cutting means

6b: 제2 절삭수단 61: 분할이동기대6b: second cutting means 61: split transfer base

62: 절결이동기대 63: 스핀들 유니트62: notch shift base 63: spindle unit

632: 회전스핀들 633: 블레이드 장착부재632: rotary spindle 633: blade mounting member

634: 고정 너트 635: 절삭 블레이드634: fixing nut 635: cutting blade

638: 체결너트 64: 분할이송수단638: tightening nut 64: split transfer means

65: 절결이송수단 600a: 제1 AE신호 검출센서65: notch transfer means 600a: first AE signal detection sensor

600b: 제2 AE신호 검출센서 7: 절삭 블레이드 교환장치600b: second AE signal detection sensor 7: cutting blade changer

71a: 제1 블레이드 랙 71b: 제2 블래이드 랙71a: first blade rack 71b: second blade rack

712: 제1 블레이드 수용수단 713: 제2 블레이드 수용수단712: first blade receiving means 713: second blade receiving means

72: 안내수단 722,722: 한 쌍의 안내레일72: guide means 722, 722: a pair of guide rails

73: 가동기판 75: 위치결정수단73: movable substrate 75: positioning means

8a: 제1 체결너트 착탈기구 8b: 제2 체결너트 착탈기구8a: 1st tightening nut detachment mechanism 8b: 2nd tightening nut detachment mechanism

81: 너트회전운동수단 82: 너트파지수단81: nut rotation means 82: nut holding means

9a: 제1 절삭 블레이드 착탈기구 9b: 제2 절삭 블레이드 착탈기구9a: 1st cutting blade detachment mechanism 9b: 2nd cutting blade detachment mechanism

91a: 제1 절삭 블레이드 파지수단 91b: 제2 절삭 블레이드 파지수단91a: first cutting blade gripping means 91b: second cutting blade gripping means

92: 지지플레이트 10: 제어수단92: support plate 10: control means

본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 절삭하는 절삭장치, 더욱 구체적으로는 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드 교환기구를 장비한 절삭장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cutting device for cutting a workpiece, such as a semiconductor wafer, and more particularly, to a cutting device equipped with a cutting blade exchange mechanism for cutting a workpiece.

예를 들어, 반도체 디바이스 제조공정에서는, 대략 원판형상인 반도체 웨이퍼의 표면에 격자모양으로 형성된 스트리트라는 분할예정라인에 의해 구획된 다수개의 영역에 IC, LSI 등의 디바이스를 형성하고, 상기 디바이스가 형성된 각 영역을 분할예정라인에 따라 분할함으로써 개개의 디바이스를 제조하고 있다. 반도체 웨이퍼를 분할하는 분할장치로는, 일반적으로 다이싱 장치로서의 절삭장치가 이용되고 있다. 이 절삭장치는 피가공물을 보유하는 척테이블과, 상기 척테이블에 보유된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 구비한 절삭수단을 구비하고 있다.For example, in a semiconductor device manufacturing process, devices such as IC and LSI are formed in a plurality of areas partitioned by a division scheduled line called Street formed in a lattice shape on the surface of a semiconductor wafer having a substantially disk shape, and the device is formed. The individual devices are manufactured by dividing each area along the scheduled division lines. Generally as a dividing apparatus which divides a semiconductor wafer, the cutting device as a dicing apparatus is used. This cutting device is provided with the cutting means provided with the chuck table which hold | maintains a workpiece | work, and the cutting blade which cuts the workpiece hold | maintained by the said chuck table.

상술한 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드는, 사용에 의해 마모되기 때문에 절삭 블레이드를 정기적으로 교환할 필요가 있으며, 이 절삭 블레이드의 교환을 자동으로 실시하는 블레이드 오토체인저가 제안되고 있다(예를 들어, 일본특허 제2617876호 공보). 이 블레이드 오토체인저는, 절삭 블레이드를 회전스핀들의 앞끝에 체결하는 체결너트를 착탈하는 체결너트 착탈수단과, 절삭 블레이드를 회전스핀들의 앞끝에 착탈하는 블레이드 착탈수단을 구비하고 있다. 그리고, 체결너트 착탈수단은 기단(基端)이 요동가능하게 배치된 지지 암(arm)과 상기 지지암과의 앞끝에 설치된 너트회전운동수단으로 이루어져 있으며, 블레이드 착탈수단은 기단이 요동가능하게 배치된 지지암과 상기 지지암과의 앞끝에 설치된 블레이드 파지수단으로 이루어져 있다.Since the cutting blades equipped with the cutting device described above are worn out by use, it is necessary to replace the cutting blades regularly, and a blade auto changer for automatically replacing the cutting blades has been proposed (for example, Japanese Patent No. 2617876). The blade auto changer includes a fastening nut attaching and detaching means for attaching and detaching a fastening nut for fastening the cutting blade to the front ends of the rotary spindles, and a blade detaching means for attaching and detaching the cutting blade to the front ends of the rotary spindles. In addition, the fastening nut detachment means is composed of a support arm having a proximal end rotatably arranged and a nut rotational movement means provided at the front end of the support arm, and the blade detachable means proximally arranged at the proximal end. It consists of a blade holding means installed at the front end of the support arm and the support arm.

그리하여, 절삭장치에 장비되는 절삭 블레이드는 절삭중에 파손되는 경우가 있는데, 파손된 절삭 블레이드로 절삭작업을 계속하면 웨이퍼의 분할예정라인에 많은 틈이 생겨 디바이스가 손상되거나 품질을 떨어뜨린다. 따라서, 미리 교환시기를 설정하여도, 교환시기보다 전에 절삭 블레이드가 파손되면, 절삭 블레이드가 파손된 상태로 절삭작업이 계속되게 된다.Thus, the cutting blades equipped with the cutting device may be broken during cutting. If the cutting operation is continued with the broken cutting blade, many gaps are generated in the scheduled line of division of the wafer, resulting in damage or deterioration of the device. Therefore, even if the replacement time is set in advance, if the cutting blade is broken before the replacement time, the cutting operation is continued with the cutting blade broken.

본 발명은 상기 사실에 감안하여 이루어진 것으로, 그 주된 기술과제는, 절삭중인 절삭 블레이드에 파손의 전조가 있으면, 그 절삭 블레이드를 새로운 절삭 블레이드로 자동으로 교환할 수 있는 절삭장치를 제공하는데 있다.This invention is made | formed in view of the said fact, The main technical subject is providing the cutting apparatus which can automatically replace the cutting blade with a new cutting blade, if there is a roll of breakage in the cutting blade under cutting.

상기 주된 기술과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따르면, 피가공물을 보유하는 척테이블과, 상기 척테이블에 보유된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 착탈가능하게 장착한 절삭수단과, 상기 절삭수단의 상기 절삭 블레이드를 교환하는 절삭 블레이드 교환기구를 구비하는 절삭장치에 있어서,In order to solve the said main technical subject, According to this invention, the cutting means which detachably mounted the chuck table which hold | maintains a workpiece | work, the cutting blade which cuts the workpiece | work held by the said chuck table, and the said cutting means of In a cutting device comprising a cutting blade exchange mechanism for exchanging the cutting blade,

상기 절삭 블레이드의 파손상태를 검출하는 파손검출수단과, 상기 파손검출수단으로부터의 검출신호에 따라 상기 절삭수단 및 상기 절삭 블레이드 교환기구를 제어하는 제어수단을 구비하고,Breakage detection means for detecting a breakage state of the cutting blade, and control means for controlling the cutting means and the cutting blade exchange mechanism in accordance with a detection signal from the breakage detection means,

상기 제어수단은, 상기 파손검출수단이 상기 절삭 블레이드의 파손상태를 검출하면 상기 절삭수단의 작동을 정지시키고 상기 절삭 블레이드 교환기구의 작동을 제어하는 것을 특징으로 하는 절삭장치가 제공된다.The control means is provided with a cutting device, characterized in that when the breakage detection means detects a breakage state of the cutting blade, stops the operation of the cutting means and controls the operation of the cutting blade exchange mechanism.

상기 파손검출수단은, 절삭 블레이드에 의한 절삭시에 발생하는 AE신호를 검출하는 AE신호 검출센서인 것이 바람직하다.Preferably, the damage detection means is an AE signal detection sensor that detects an AE signal generated during cutting by the cutting blade.

(실시예)(Example)

이하, 본 발명에 따라 구성된 절삭장치의 바람직한 실시예에 대하여 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a cutting device constructed in accordance with the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1에는 본 발명에 따라 구성된 절삭장치의 요부사시도가 도시되어 있다.1 shows a main perspective view of a cutting device constructed in accordance with the invention.

도 1에 도시된 절삭장치는 정지기대(2)를 구비하고 있다. 이 정지기대(2) 위에는 피가공물을 보유하고 화살표 X로 나타내는 절삭이송방향으로 이동시키는 척테이블 기구(3)가 설치되어 있다.The cutting device shown in FIG. 1 has a stop stand 2. On this stationary base 2, the chuck table mechanism 3 which holds a to-be-processed object and moves to the cutting feed direction shown by the arrow X is provided.

도시한 실시예에서의 척테이블 기구(3)는, 정지기대(2)의 윗면에 설치된 제1 안내레일(31a)과 제2 안내레일(31b)을 구비하고 있다. 이 제1 안내레일(31a)과 제2 안내레일(31b)은 각각 한 쌍의 레일부재(311,311)로 이루어져 있으며, 도면에서 화살표 X로 나타내는 절삭이송방향에 따라 서로 평행하게 뻗어 설치되어 있다. 이 제1 안내레일(31a)과 제2 안내레일(31b) 위에는 각각, 제1 지지기대(32a)와 제2 지지기대(32b)가 제1 안내레일(31a)과 제2 안내레일(31b)에 따라 이동가능하게 설치되어 있다. 즉, 제1 지지기대(32a)와 제2 지지기대(32b)에는 각각 피안내홈(321,321)이 설치되어 있으며, 이 피안내홈(321,321)을 제1 안내레일(31a)과 제2 안내레일(31b)을 구성하는 한 쌍의 레일부재(311,311)에 끼워맞춤으로써, 제1 지지기대(32a)와 제2 지지기대(32b)는 제1 안내레일(31a)과 제2 안내레일(31b)에 따라 이동가능하게 구성된다.The chuck table mechanism 3 in the illustrated embodiment is provided with a first guide rail 31 a and a second guide rail 31 b provided on the upper surface of the stationary base 2. The first guide rail 31a and the second guide rail 31b each consist of a pair of rail members 311 and 311, and are disposed in parallel to each other along the cutting transfer direction indicated by the arrow X in the drawing. On the first guide rail 31a and the second guide rail 31b, the first support base 32a and the second support base 32b are respectively the first guide rail 31a and the second guide rail 31b. It is installed to be movable according to. That is, the guide grooves 321 and 321 are installed in the first support base 32a and the second support base 32b, respectively, and the guide grooves 321 and 321 are provided in the first guide rail 31a and the second guide rail. By fitting to the pair of rail members 311 and 311 constituting the 31b, the first support base 32a and the second support base 32b are formed of the first guide rail 31a and the second guide rail 31b. It is configured to be movable according to.

제1 지지기대(32a)와 제2 지지기대(32b) 위에는 각각 제1 원통부재(33a)와 제2 원통부재(33b)가 설치되며, 이 제1 원통부재(33a)와 제2 원통부재(33b)의 윗끝에 각각 제1 척테이블(34a)과 제2 척테이블(34b)이 회전가능하게 설치되어 있다. 이 제1 척테이블(34a)과 제2 척테이블(34b)은 다공질 세라믹스와 같은 적절한 다공성 재료로 구성되어 있으며, 도시하지 않은 흡인수단에 접속되어 있다. 따라서, 제1 척테이블(34a)과 제2 척테이블(34b)을 도시하지 않은 흡인수단에 의해 흡인원에 선택적으로 연결시킴으로써, 재치면(341,341) 위에 놓인 피가공물을 흡인보유한다. 또한, 제1 척테이블(34a)과 제2 척테이블(34b)은 각각 제1 원통부재(33a)와 제2 원통부재(33b) 안에 설치된 펄스모터(도시하지 않음)에 의해 적절히 회전운동하도록 되어 있다. 한편, 제1 원통부재(33a)와 제2 원통부재(33b)의 상단부에는 각각 제1 척테이블(34a)과 제2 척테이블(34b)을 삽입관통하는 구멍을 가지며, 각각 상기 제1 지지기대(32a)와 제2 지지기대(32b)를 덮는 제1 커버부재(35a)와 제2 커버부재(35b)가 설치되어 있다. 이 제1 커버부재(35a)와 제2 커버부재(35b)의 윗면에는 각각, 후술하는 절삭 블레이드의 위치를 검출하기 위한 제1 블레이드 검출수단(36a)과 제2 블레이드 검출수단(36b)이 설치되어 있다.The first cylindrical member 33a and the second cylindrical member 33b are respectively installed on the first support base 32a and the second support base 32b, and the first cylindrical member 33a and the second cylindrical member ( At the upper end of 33b), a first chuck table 34a and a second chuck table 34b are rotatably provided, respectively. The first chuck table 34a and the second chuck table 34b are made of a suitable porous material such as porous ceramics, and are connected to suction means (not shown). Therefore, by selectively connecting the first chuck table 34a and the second chuck table 34b to the suction source by suction means (not shown), the workpiece placed on the mounting surfaces 341 and 341 is sucked and held. In addition, the first chuck table 34a and the second chuck table 34b are properly rotated by a pulse motor (not shown) installed in the first cylindrical member 33a and the second cylindrical member 33b, respectively. have. Meanwhile, upper ends of the first cylindrical member 33a and the second cylindrical member 33b have holes for inserting the first chuck table 34a and the second chuck table 34b, respectively, respectively. A first cover member 35a and a second cover member 35b covering 32a and the second support base 32b are provided. On the upper surfaces of the first cover member 35a and the second cover member 35b, first blade detecting means 36a and second blade detecting means 36b for detecting the positions of the cutting blades to be described later are provided, respectively. It is.

도 1에 근거하여 설명을 계속하면, 도시한 실시예에서의 척테이블 기구(3)는 제1 척테이블(34a)과 제2 척테이블(34b)을 각각 제1 안내레일(31a)과 제2 안내레일(31b)에 따라 도 1에서 화살표 X로 나타내는 절삭이송방향으로 이동시키기 위한 제1 절삭이송수단(37a)과 제2 절삭이송수단(37b)을 구비하고 있다. 제1 절삭이송수단(37a)과 제2 절삭이송수단(37b)은 각각, 제1 안내레일(31a)과 제2 안내레일(31b)을 구성하는 한 쌍의 레일부재(311,311) 사이에 평행하게 설치된 숫나사로드(371)와, 숫나사로드(371)의 한 쪽 끝부분을 회전가능하게 지지하는 축받이(372)와, 숫나사로드(371)의 다른 쪽 끝에 연결되어 상기 숫나사로드(371)를 정회전 또는 역회전 구동시키는 펄스모터(373)로 이루어져 있다. 이와 같이 구성된 제1 절삭이송수단(37a)과 제2 절삭이송수단(37b)은 각각 숫나사로드(371)가 상기 제1 지지기대(32a)와 제2 지지기대(32b)에 형성된 암나사(322)에 나사결합된다. 따라서, 제1 절삭이송수단(37a)과 제2 절삭이송수단(37b)은 각각 펄스모터(373)를 구동하여 숫나사로드(371)를 정회전 또는 역회전 구동시킴으로써, 상기 제1 지지기대(32a)와 제2 지지기대(32b)에 설치된 제1 척테이블(34a)과 제2 척테이블(34b)을 각각 제1 안내레일(31a)과 제2 안내레일(31b)에 따라 도 1에서 화살표 X로 나타내는 절삭이 송방향으로 이동시킬 수 있다.1, the chuck table mechanism 3 in the illustrated embodiment uses the first guide rail 31a and the second chuck table 34a and the second chuck table 34b, respectively. A first cutting feed means 37a and a second cutting feed means 37b for moving in the cutting feed direction indicated by the arrow X in Fig. 1 are provided along the guide rail 31b. The first cutting feed means 37a and the second cutting feed means 37b are parallel between the pair of rail members 311 and 311 constituting the first guide rail 31 a and the second guide rail 31 b, respectively. A male rod 371, a bearing 372 for rotatably supporting one end of the male rod 371, and the other end of the male rod 371 are connected to rotate the male rod 371 forward. Or it consists of a pulse motor 373 for driving in reverse rotation. The first cutting feed means 37a and the second cutting feed means 37b configured as described above have a male screw rod 371 having a male thread 371 formed on the first support base 32a and the second support base 32b, respectively. Screwed in. Accordingly, the first cutting feed means 37a and the second cutting feed means 37b respectively drive the pulse motor 373 to drive the male rod rod 371 forward or reverse rotation, thereby providing the first support base 32a. Arrow X in FIG. 1 along the first guide rail 31a and the second guide rail 31b, respectively, for the first chuck table 34a and the second chuck table 34b installed on the second support base 32b). The cutting indicated by can move in the feeding direction.

도시한 실시예에서의 절삭장치는, 상기 제1 안내레일(31a)과 제2 안내레일(31b)에 걸쳐 설치된 문(門) 형상의 지지프레임(4)을 구비하고 있다. 이 문형상 지지프레임(4)은 제1 안내레일(31a)의 옆쪽에 설치된 제1 기둥부(41)와, 제2 안내레일(31b)의 옆쪽에 설치된 제2 기둥부(42)와, 제1 기둥부(41)와 제2 기둥부(42)의 윗끝을 연결하고 화살표 X로 나타내는 절삭이송방향과 직교하는 화살표 Y로 나타내는 분할이송방향에 따라 설치된 지지부(43)로 이루어지며, 중앙부에는 상기 제1 척테이블(34a)과 제2 척테이블(34b)의 이동을 허용하는 개구(44)가 형성되어 있다. 제1 기둥부(41)와 제2 기둥부(42)의 상단부는 각각 폭넓게 형성되어 있으며, 이 상단부에는 각각 후술하는 절삭수단의 스핀들 유니트의 이동을 허용하는 개구(411,421)가 형성되어 있다. 상기 지지부(43)의 한 쪽 면에는 화살표 Y로 나타내는 분할이송방향에 따라 한 쌍의 안내레일(431,431)이 설치되어 있고, 다른 쪽 면에는 도 3에 나타내는 바와 같이 지면에 수직한 방향(도 1에서 화살표 Y로 나타내는 분할이송방향)에 따라 한 쌍의 안내레일(432,432)이 설치되어 있다.The cutting device in the illustrated embodiment includes a door-shaped support frame 4 provided over the first guide rail 31a and the second guide rail 31b. The door-shaped support frame 4 includes a first pillar portion 41 provided on the side of the first guide rail 31a, a second pillar portion 42 provided on the side of the second guide rail 31b, and It consists of the support part 43 which connects the upper end of the 1st pillar part 41 and the 2nd pillar part 42, and was provided along the division | segmentation transfer direction shown by the arrow Y orthogonal to the cutting feed direction shown by the arrow X, An opening 44 is formed to allow movement of the first chuck table 34a and the second chuck table 34b. Upper ends of the first column 41 and the second column 42 are formed in a wide range, respectively, and openings 411 and 421 are formed in the upper ends to allow the movement of the spindle unit of the cutting means described later. One side of the support portion 43 is provided with a pair of guide rails 431 and 431 according to the divided transfer direction indicated by arrow Y, and on the other side thereof, as shown in FIG. 3, the direction perpendicular to the ground (FIG. 1). A pair of guide rails 432 and 432 are provided along the divided transfer direction indicated by arrow Y in FIG.

도시한 실시예에서의 절삭장치는, 상기 문형상 지지프레임(4)의 지지부(43)에 설치된 한 쌍의 안내레일(431,431)에 따라 이동가능하게 설치된 제1 얼라이먼트 수단(5a)과 제2 얼라이먼트 수단(5b)을 구비하고 있다. 제1 얼라이먼트 수단(5a)과 제2 얼라이먼트 수단(5b)은 각각, 이동블록(51)과, 상기 이동블록(51)을 한 쌍의 안내레일(431,431)에 따라 이동시키기 위한 이동수단(52,52)과, 이동블록(51)에 장착된 촬상수단(53,53)으로 이루어져 있다. 이동블록(51,51)에는 각각 상기 한 쌍의 안내레일(431,431)과 끼워맞추어지는 피안내홈(511,511)이 형성되어 있으며, 이 피안내홈(511,511)을 한 쌍의 안내레일(431,431)에 끼워맞춤으로써, 이동블록(51,51)이 한 쌍의 안내레일(431,431)에 따라 이동가능하게 구성된다.The cutting device in the illustrated embodiment includes a first alignment means 5a and a second alignment movably installed along a pair of guide rails 431 and 431 provided on the support 43 of the door-shaped support frame 4. Means 5b are provided. The first alignment means 5a and the second alignment means 5b respectively include a moving block 51 and a moving means 52 for moving the moving block 51 along the pair of guide rails 431 and 431. 52, and the imaging means 53, 53 mounted to the moving block 51. The movable blocks 51 and 51 are formed with guide grooves 511 and 511 to be fitted with the pair of guide rails 431 and 431, respectively. The guide grooves 511 and 511 are provided on the pair of guide rails 431 and 431, respectively. By fitting, the movable blocks 51 and 51 are configured to be movable along the pair of guide rails 431 and 431.

이동수단(52,52)은 각각, 한 쌍의 안내레일(431,431) 사이에 평행하게 설치된 숫나사로드(521)와, 숫나사로드(521)의 한 쪽 끝부분을 회전가능하게 지지하는 축받이(522)와, 숫나사로드(521)의 다른 쪽 끝에 연결되며 상기 숫나사로드(521)를 정회전 또는 역회전 구동시키는 펄스모터(523)로 이루어져 있다. 이와 같이 구성된 이동수단(52,52)은 각각, 숫나사로드(521)가 상기 이동블록(51,51)에 형성된 암나사(512)에 나사결합된다. 따라서, 이동수단(52,52)은 각각 펄스모터(523)를 구동하여 숫나사로드(521)를 정회전 또는 역회전 구동함으로써, 이동블록(51,51)을 한 쌍의 안내레일(431,431)에 따라 도 2에서 화살표 Y로 나타내는 분할이송방향으로 이동할 수 있다.Each of the moving means 52 and 52 has a male screw rod 521 disposed in parallel between a pair of guide rails 431 and 431, and a bearing 522 for rotatably supporting one end of the male screw rod 521. And a pulse motor 523 connected to the other end of the male rod 521 and driving the male rod 521 forward or reverse rotation. Each of the moving means 52 and 52 configured as described above has a male screw rod 521 screwed to a female screw 512 formed on the moving blocks 51 and 51, respectively. Therefore, the moving means 52 and 52 respectively drive the male rod 521 by forward or reverse rotation by driving the pulse motor 523, thereby moving the moving blocks 51 and 51 to the pair of guide rails 431 and 431. Therefore, it can move in the divided feed direction shown by the arrow Y in FIG.

상기 이동블록(51,51)에 각각 장착된 촬상수단(53,53)은 각각 촬상소자(CCD)를 구비하고 있으며, 촬상한 화상신호를 도시하지 않은 제어수단으로 보낸다.The imaging means 53 and 53 mounted on the moving blocks 51 and 51, respectively, have an imaging element CCD, which sends the captured image signal to a control means (not shown).

상기 문형상 지지프레임(4)을 구성하는 지지부(43)의 다른 쪽 면(상기 제1 얼라이먼트 수단(5a)과 제2 얼라이먼트 수단(5b)이 설치된 면과 반대측의 면)에는, 제1 절삭수단(6a)과 제2 절삭수단(6b)이 설치되어 있다. 제1 절삭수단(6a)과 제2 절삭수단(6b)에 대하여 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다. 제1 절삭수단(6a)과 제2 절삭수단(6b)은 각각 분할이동기대(61)와 절결이동기대(62) 및 스핀들 유니트(63)를 구비하고 있다. 분할이동기대(61)는 한 쪽 면에 상기 지지부(43)의 다른 쪽 면에 설치된 한 쌍의 안내레일(432,432)과 끼워맞추어지는 피안내홈(611,611)이 형성되어 있으며, 이 피안내홈(611,611)을 한 쌍의 안내레일(432,432)에 끼워맞춤으로써, 분할이동기대(61)는 한 쌍의 안내레일(432,432)에 따라 이동가능하게 구성된다. 또한, 분할이동기대(61)의 다른 쪽 면에는, 도 3에 나타내는 바와 같이 화살표 Z로 나타내는 절결이송방향(제1 척테이블(34a)과 제2 척테이블(34b)의 재치면(341)에 수직한 방향)에 따라 한 쌍의 안내레일(612,612)(도 3에는 한 쌍의 안내레일만이 도시되어 있다)이 설치되어 있다. 한편, 분할이동기대(61,61)의 한 쪽 면에는, 후술하는 분할이송수단의 숫나사로드의 삽입을 허용하는 간극홈(613,613)이 상하방향으로 단차를 가지고 설치되어 있다.First cutting means is provided on the other surface (surface opposite to the surface on which the first alignment means 5a and the second alignment means 5b are provided) of the support portion 43 constituting the door-shaped support frame 4. 6a and the second cutting means 6b are provided. The first cutting means 6a and the second cutting means 6b will be described with reference to FIGS. 2 and 3. The 1st cutting means 6a and the 2nd cutting means 6b are each equipped with the divided moving base 61, the notch moving base 62, and the spindle unit 63. As shown in FIG. Split movable base 61 is formed with a guide groove (611, 611) to be fitted with a pair of guide rails (432, 432) installed on the other side of the support portion 43 on one side, the guide groove ( By fitting 611 and 611 to a pair of guide rails 432 and 432, the divided movable base 61 is configured to be movable along the pair of guide rails 432 and 432. Moreover, as shown in FIG. 3, the other surface of the division movement base 61 is located in the notch conveying direction shown by the arrow Z (the mounting surface 341 of the 1st chuck table 34a and the 2nd chuck table 34b). A pair of guide rails 612 and 612 (only a pair of guide rails are shown in FIG. 3) are provided along the vertical direction. On the other hand, on one surface of the split transfer stages 61 and 61, gap grooves 613 and 613 are provided with steps in the vertical direction to allow the insertion of the male screw rods of the split transfer means described later.

상기 절결이동기대(62)는 상하방향으로 뻗은 피지지부(621)와, 상기 피지지부(621)의 아랫끝부터 직각으로 수평하게 뻗은 장착부(622)로 이루어져 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이 피지지부(621)에서의 장착부(622) 측의 면에는, 상기 분할이동기대(61)의 다른 쪽 면에 설치된 한 쌍의 안내레일(612,612)과 끼워맞추어지는 피안내홈(623,623)(도 3에는 한 쌍의 피안내홈만이 도시되어 있다)이 설치되어 있으며, 이 피안내홈(623,623)을 한 쌍의 안내레일(612,612)에 끼워맞춤으로써, 절결이동기대(62)는 한 쌍의 안내레일(612,612)에 따라 화살표 Z로 나타내는 절결이송방향으로 이동가능하게 구성된다. 이와 같이 하여 분할이동기대(61)에 장착된 절결이동기대(62)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 장착부(622)가 문형상 지지프레임(4)의 상기 분할이동기대(61)가 장착된 다른 쪽 면 측으로부터 개구(44)를 통과하여 상기 제1 얼라이먼트 수단(5a)과 제2 얼라이먼트 수단(5b)이 장착된 한 쪽 면 측으 로 돌출하여 배치된다.The notch moving base 62 includes a supported part 621 extending in the vertical direction and a mounting part 622 extending horizontally at right angles from the lower end of the supported part 621. As shown in FIG. 2, the guide grooves fitted with a pair of guide rails 612 and 612 provided on the other surface of the split movable base 61 on the surface of the mounting portion 622 in the supported portion 621. (623,623) (only a pair of guide grooves are shown in Fig. 3) is provided, by fitting the guide grooves (623, 623) to a pair of guide rails (612, 612), notch movement expectations 62 ) Is configured to be movable in the notch conveying direction indicated by the arrow Z according to the pair of guide rails 612 and 612. As shown in FIG. 1, the cut-out movable base 62 mounted on the divided movable base 61 has another mounting portion 622 on which the divided movable base 61 of the door-shaped support frame 4 is mounted. Passing through the opening 44 from the side surface side, it protrudes and arrange | positions to the one surface side to which the said 1st alignment means 5a and the 2nd alignment means 5b were mounted.

상기 스핀들 유니트(63)는 제1 절삭수단(6a)과 제2 절삭수단(6b)의 절결이동기대(62)를 형성하는 장착부(622)의 아랫면에 각각 장착되어 있다. 이 스핀들 유니트(63)는 각각, 도 4에 나타내는 바와 같이 스핀들 하우징(631)과, 상기 스핀들 하우징(631)에 회전가능하게 지지되고 도시하지 않은 서보모터에 의해 회전되는 회전스핀들(632)과, 상기 회전스핀들(632)의 앞끝 부분에 장착된 블레이드 장착부재(633)와, 회전스핀들(632)의 앞끝 부분에 설치된 도시하지 않은 숫나사와 나사결합하고 블레이드 장착부재(633)를 고정하는 고정너트(634)와, 블레이드 장착부재(633)에 장착되는 절삭 블레이드(635)와, 상기 절삭 블레이드(635)를 블레이드 장착부재(633)와의 사이에서 끼워 고정하기 위한 체결너트(638)를 구비하고 있다.The spindle unit 63 is mounted on the lower surface of the mounting portion 622 forming the notch moving base 62 of the first cutting means 6a and the second cutting means 6b, respectively. As shown in Fig. 4, the spindle unit 63 includes a spindle housing 631, rotary spindles 632 rotatably supported by the spindle housing 631 and rotated by a servo motor (not shown); Fixing nut for screwing the blade mounting member 633 mounted to the front end of the rotary spindle 632 and a male screw (not shown) installed in the front end of the rotary spindle 632 and fixing the blade mounting member 633 ( 634, a cutting blade 635 mounted to the blade mounting member 633, and a fastening nut 638 for clamping the cutting blade 635 between the blade mounting member 633.

블레이드 장착부재(633)는 원통형상의 장착부(633a)와 상기 장착부(633a)의 한 쪽 끝에 설치된 플랜지부(633b)를 구비하고 있으며, 장착부(633a)의 다른 쪽 끝부분(앞끝 부분)에 숫나사(633c)가 형성되어 있다. 한편, 회전스핀들(632)의 선단면에는, 축심에 걸어맞춤 오목부(632a)가 형성되어 있다.The blade mounting member 633 has a cylindrical mounting portion 633a and a flange portion 633b provided at one end of the mounting portion 633a. The blade mounting member 633 has a male screw (on the other end) of the mounting portion 633a. 633c) is formed. On the other hand, on the front end surface of the rotary spindle 632, the engagement recessed portion 632a to the shaft center is formed.

절삭 블레이드(635)는, 알루미늄 등의 금속재에 의해 형성되며 중앙부에 끼워맞춤 구멍(636a)을 구비한 고리형상의 허브(636)와, 상기 고리형상 허브(636)의 한 쪽 측면에 숫돌입자를 니켈도금에 의해 고정하고, 고리형상 허브(636)의 외주부를 에칭에 의해 제거하여 절삭날이 되는 숫돌부(637)를 돌출시킨 전주(電鑄)숫돌부로 이루어져 있다. 한편, 고리형상 허브(636)의 측면에는 고리형상 피파지부(636b)가 돌출하여 형성되어 있다. 이 피파지부(636b)의 외주면에는, 후술하는 블레이드 교환장치를 구성하는 절삭 블레이드 파지수단의 파지조각이 걸어맞추어지는 고리형상 홈(636c)이 형성되어 있다. 이와 같이 구성된 절삭 블레이드(635)는, 고리형상 허브(636)의 끼워맞춤 구멍(636a)을 블레이드 장착부재(633)의 원통형 장착부(633a)에 끼워맞춘다. 그리고, 체결너트(638)를 원통형 장착부(633a)에 형성된 숫나사(633c)에 나사결합함으로써, 절삭 블레이드(635)는 블레이드 장착부재(633)의 플랜지부(633b)와 체결너트(638)에 의해 끼워져 고정된다. 한편, 체결너트(638)의 측면에는, 후술하는 블레이드 교환장치를 구성하는 체결너트 착탈수단의 회전운동 핀이 끼워맞추어지는 4개의 핀끼워맞춤 구멍(638a)이 각각 90도의 위상을 가지고 형성되어 있다. 또한, 체결너트(638)의 외주면에는, 후술하는 블레이드 교환장치를 구성하는 체결너트 착탈수단의 너트파지조각이 걸어맞추어지는 고리형상 홈(638b)이 형성되어 있다.The cutting blade 635 is formed of a metal material such as aluminum, and has a ring-shaped hub 636 having a fitting hole 636a in the center portion thereof, and a grindstone particle on one side of the ring-shaped hub 636. It is made of electroplated grindstones which are fixed by nickel plating, and the outer peripheral portion of the annular hub 636 is removed by etching to protrude the grindstone 637 serving as a cutting edge. On the other hand, the ring-shaped gripping portion 636b protrudes from the side surface of the annular hub 636. On the outer circumferential surface of the gripping portion 636b, an annular groove 636c is formed in which gripping pieces of the cutting blade gripping means constituting the blade exchanger described later are engaged. The cutting blade 635 configured as described above fits the fitting hole 636a of the annular hub 636 with the cylindrical mounting portion 633a of the blade mounting member 633. Then, by screwing the fastening nut 638 to the male screw 633c formed in the cylindrical mounting portion 633a, the cutting blade 635 by the flange portion 633b and the fastening nut 638 of the blade mounting member 633. Is fitted and fixed. On the other hand, at the side of the fastening nut 638, four pin-fitting holes 638a to which the rotary motion pins of the fastening nut attaching and detaching means constituting the blade exchanger described later are formed, each having a phase of 90 degrees. . Further, an annular groove 638b is formed on the outer circumferential surface of the fastening nut 638 to which the nut gripping pieces of the fastening nut attaching and detaching means constituting the blade exchanger described later are engaged.

한편, 제1 절삭수단(6a)의 회전스핀들(632)과 제2 절삭수단(6b)의 회전스핀들(632)은 도 2에 나타내는 바와 같이, 축선방향이 화살표 Y로 나타내는 분할이송방향에 따라 설치되어 있다. 그리고, 제1 절삭수단(6a)의 회전스핀들(632)에 장착되는 절삭 블레이드(635)와 제2 절삭수단(6b)의 회전스핀들(632)에 장착되는 절삭 블레이드(635)는 서로 대향하여 설치되어 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, the rotary spindles 632 of the first cutting means 6a and the rotary spindles 632 of the second cutting means 6b are installed along the divided transfer direction indicated by the arrow Y in the axial direction. It is. The cutting blade 635 mounted on the rotary spindles 632 of the first cutting means 6a and the cutting blade 635 mounted on the rotary spindles 632 of the second cutting means 6b are installed to face each other. It is.

또한, 도시한 실시예에서의 스핀들 유니트(63)는 도 5에 나타내는 바와 같이, 상기 스핀들 하우징(631)을 덮는 스핀들 커버(64)와, 상기 스핀들 커버(634)의 앞끝에 장착되어 상기 절삭 블레이드(635)를 덮는 블레이드 커버(65)를 구비하고 있다. 블레이드 커버(65)는 스핀들 커버(64)의 앞끝에 장착된 제1 커버부재(651) 와, 상기 제1 커버부재(651)의 앞면에 장착되고 옆쪽으로 이동가능하게 설치된 제2 커버부재(652)로 이루어져 있으며, 상기 제2 커버부재(652)는 도시하지 않은 에어 피스톤 기구에 의해 도 5에서 실선으로 나타내는 개방위치와, 도 5에서 2점 쇄선으로 나타내는 폐지(閉止)위치에 위치된다. 이 제2 커버부재(652)는 절삭시에 도 5에서 2점쇄선으로 나타내는 폐지위치에 위치되며, 절삭 블레이드의 교환시에는 도 5에서 실선으로 나타내는 개방위치에 위치된다. 한편, 제1 커버부재(651)와 제2 커버부재(652)에는 각각 절삭수 공급노즐(66)이 설치되어 있다(도 5에는 제2 커버부재(652)에 설치된 절삭수 공급노즐(66)만이 나타나 있다). 이 제1 커버부재(651) 및 제2 커버부재(652)에 설치된 절삭수 공급노즐(66)은, 도시하지 않은 절삭수 공급수단에 접속되어 있다.In addition, as shown in FIG. 5, the spindle unit 63 in the illustrated embodiment is mounted to the spindle cover 64 covering the spindle housing 631 and the front end of the spindle cover 634 and the cutting blade. The blade cover 65 which covers the 635 is provided. The blade cover 65 includes a first cover member 651 mounted at the front end of the spindle cover 64, and a second cover member 652 mounted on the front surface of the first cover member 651 and movably moved laterally. And the second cover member 652 is positioned at an open position indicated by a solid line in FIG. 5 and a closed position indicated by a two-dot chain line in FIG. 5 by an air piston mechanism (not shown). This second cover member 652 is located at the closed position indicated by the dashed-dotted line in FIG. 5 at the time of cutting and at the open position indicated by the solid line in FIG. 5 at the time of replacing the cutting blade. On the other hand, the cutting water supply nozzle 66 is provided on the first cover member 651 and the second cover member 652 (FIG. 5, the cutting water supply nozzle 66 installed in the second cover member 652). Only is shown). The cutting water supply nozzles 66 provided on the first cover member 651 and the second cover member 652 are connected to cutting water supply means (not shown).

도시한 실시예에서의 제1 절삭수단(6a)의 스핀들 유니트(63) 및 제2 절삭수단(6b)을 구성하는 스핀들 유니트(63)에는, 도 2에 나타내는 바와 같이 제1 커버부재(651,651)에 각각 절삭 블레이드(635)의 파손상태를 검출하는 파손검출수단으로서의 제1 AE(Acoustic Emission: 어코스틱 에미션) 신호 검출센서(600a), 제2 AE신호 검출센서(600b)가 장착되어 있다. 이 제1 AE신호 검출센서(600a) 및 제2 AE신호 검출센서(600b)는, 절삭 블레이드(635,635)에 의한 절삭시에 발생하는 AE(Acoustic Emission: 어코스틱 에미션)신호를 검출하여, 이 검출신호를 후술하는 제어수단으로 보낸다.The spindle unit 63 constituting the spindle unit 63 of the first cutting means 6a and the second cutting means 6b in the illustrated embodiment has a first cover member 651, 651 as shown in FIG. 2. The first AE (Acoustic Emission) signal detection sensor 600a and the second AE signal detection sensor 600b are attached to each of the cutting blades 635 as damage detection means for detecting a damage state of the cutting blade 635. The first AE signal detection sensor 600a and the second AE signal detection sensor 600b detect an AE (Acoustic Emission) signal generated during cutting by the cutting blades 635 and 635, The detection signal is sent to the control means described later.

도시한 실시예에서의 제1 절삭수단(6a)과 제2 절삭수단(6b)은, 상기 분할이동기대(61,61)를 한 쌍의 안내레일(432,432)에 따라 도 2에서 화살표 Y로 나타내는 분할이송방향으로 이동시키기 위한 분할이송수단(64,64)을 구비하고 있다. 분할이송수단(64,64)은 각각 한 쌍의 안내레일(432,432)의 사이에 평행하게 설치된 숫나사로드(641)와, 숫나사로드(641)의 한 쪽 끝부분을 회전가능하게 지지하는 축받이(642)와, 숫나사로드(641)의 다른 쪽 끝에 연결되어 상기 숫나사로드(641)를 정회전 또는 역회전 구동하는 펄스모터(643)로 이루어져 있다. 한편, 숫나사로드(641,641)는 상기 분할이동기대(61,61)에 설치된 간극홈(613,613)과 각각 대응하는 높이위치에 설치되어 있다. 이와 같이 구성된 분할이송수단(64,64)은 각각, 숫나사로드(641,641)가 상기 분할이동기대(61,61)에 형성된 암나사(614,614)에 나사결합된다. 따라서, 분할이송수단(64,64)은 각각 펄스모터(643,643)를 구동하여 숫나사로드(641,641)를 정회전 또는 역회전 구동시킴으로써, 분할이동기대(61,61)를 한 쌍의 안내레일(432,432)에 따라 도 1에서 화살표 Y로 나타내는 분할이송방향으로 이동시킬 수 있다. 이 분할이동기대(61,61)가 이동할 때, 숫나사로드(641,641)가 분할이동기대(61,61)에 설치된 간극홈(613,613)을 삽입통과함으로써, 분할이동기대(61,61)의 이동이 허용된다.The first cutting means 6a and the second cutting means 6b in the illustrated embodiment are shown by arrows Y in FIG. 2 in accordance with the pair of guide rails 432 and 432. Dividing transfer means 64, 64 for moving in the dividing transfer direction are provided. The divided transfer means 64 and 64 each have a male screw rod 641 disposed in parallel between a pair of guide rails 432 and 432, and a bearing 642 rotatably supporting one end of the male screw rod 641. And a pulse motor 643 connected to the other end of the male rod 641 to drive the male rod 641 forward or reverse rotation. On the other hand, the male thread rods (641, 641) are provided in the height position corresponding to the gap grooves (613, 613) provided in the split moving base (61, 61), respectively. In the split transfer means 64 and 64 configured as described above, male screw rods 641 and 641 are screwed to the female screws 614 and 614 formed on the split transfer base 61 and 61, respectively. Accordingly, the split transfer means 64 and 64 respectively drive the male rods 641 and 641 by forward or reverse rotation by driving the pulse motors 643 and 643, thereby driving the paired guide rails 61 and 61 as a pair of guide rails 432 and 432. Can be moved in the divided transfer direction indicated by the arrow Y in FIG. When the split movable bases 61 and 61 move, the male threaded rods 641 and 641 pass through the gap grooves 613 and 613 provided in the split movable bases 61 and 61, thereby moving the split movable bases 61 and 61. Is allowed.

또한, 도시한 실시예에서의 제1 절삭수단(6a)과 제2 절삭수단(6b)은, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이 상기 절결이동기대(62,62)를 한 쌍의 안내레일(612,612)에 따라 화살표 Z로 나타내는 절결이송방향으로 이동시키기 위한 절결이송수단(67,67)을 구비하고 있다. 절결이송수단(67,67)은 각각 한 쌍의 안내레일(612,612)과 평행하게 설치된 숫나사로드(671)와, 숫나사로드(671)의 한 쪽 끝부분을 회전가능하게 지지하는 축받이(672)와, 숫나사로드(671)의 다른 쪽 끝에 연결 되며 상기 숫나사로드(671)를 정회전 또는 역회전 구동시키는 펄스모터(673)로 이루어져 있다. 이와 같이 구성된 절결이송수단(67,67)은 각각, 숫나사로드(671)가 상기 절결이동기대(62)의 피지지부(621)에 형성된 암나사(622a)에 나사결합된다. 따라서, 절결이송수단(67,67)은 각각 펄스모터(673)를 구동하여 숫나사로드(671)를 정회전 또는 역회전 구동시킴으로써, 절결이동기대(62)를 한 쌍의 안내레일(622,622)에 따라 도 1 및 도 3에서 화살표 Z로 나타내는 절결이송방향으로 이동시킬 수 있다.In addition, the 1st cutting means 6a and the 2nd cutting means 6b in the shown embodiment are a pair of guide rails which cut | disconnected the said notch moving stand 62 and 62 as shown to FIG. 2 and FIG. 612 and 612 are provided with notch transfer means 67 and 67 for moving in the notch transfer direction indicated by the arrow Z. As shown in FIG. The notch conveying means 67 and 67 respectively include a male thread rod 671 installed in parallel with a pair of guide rails 612 and 612, and a bearing 672 rotatably supporting one end of the male thread rod 671. It is connected to the other end of the male rod 671, and consists of a pulse motor 673 to drive the male rod 671 forward or reverse rotation. The notch transfer means 67 and 67 configured as described above are respectively screwed to the male screw 622a formed at the supported portion 621 of the notch moving base 62. Accordingly, the notch transfer means 67 and 67 respectively drive the male rod 671 by forward or reverse rotation by driving the pulse motor 673, thereby driving the notch moving base 62 to the pair of guide rails 622 and 622. Therefore, it can be moved in the notch conveying direction shown by the arrow Z in FIGS.

도 1로 돌아가 설명을 계속하면, 도시한 실시예에서의 절삭장치는 상기 회전스핀들(632)에 장착하는 절삭 블레이드(635)를 교환하기 위한 절삭 블레이드 교환기구(7)를 구비하고 있다. 절삭 블레이드 교환기구(7)는 상기 문형상 지지프레임(4)의 뒷쪽(제1 절삭수단(6a)과 제2 절삭수단(6b)이 설치된 측)에 배치되어 있다. 이 절삭 블레이드 교환장치(7)는 상기 문형상 지지프레임(4)의 뒷쪽 양측에 설치된 제1 블레이드 랙(71a) 및 제2 블레이드 랙(71b)과, 상기 제1 블레이드 랙(71a)과 제2 블레이드 랙(71b)의 사이에 설치된 안내수단(72)과, 상기 안내수단(72)에 따라 이동되는 가동기판(73)을 구비하고 있다.Returning to FIG. 1 and continuing the description, the cutting device in the illustrated embodiment is provided with a cutting blade exchange mechanism 7 for exchanging the cutting blades 635 mounted on the rotary spindles 632. The cutting blade exchange mechanism 7 is disposed on the rear side of the door-shaped support frame 4 (the side on which the first cutting means 6a and the second cutting means 6b are installed). The cutting blade exchanger 7 includes a first blade rack 71a and a second blade rack 71b provided at both rear sides of the door-shaped support frame 4, and the first blade rack 71a and the second blade rack 71b. A guide means 72 provided between the blade racks 71b and a movable substrate 73 moved along the guide means 72 are provided.

제1 블레이드 랙(71a) 및 제2 블레이드 랙(71b)은 각각, 상기 회전스핀들(632)로부터 멀리 떨어진 위치에 상기 안내수단(72)을 끼우고 대향하여 설치되어 있다. 이 제1 블레이드 랙(71a) 및 제2 블레이드 랙(71b)은 도 6에 나타내는 바와 같이, 지지판(711)과, 상기 지지판(711)에 설치된 제1 블레이드 수용수단(712) 및 제2 블레이드 수용수단(713)을 구비하고 있다. 지지판(711)은 상기 정지기대(2) 위 에 설치된 지지기대(710)에 고정되어 있다. 제1 블레이드 수용수단(712)은, 지지판(711)에 한 쪽 끝이 설치된 지지축(712a)과, 상기 지지축(712a)에 끼워져 들어간 고리형상의 압착부재(712b)와, 상기 압착부재(712b)와 지지판(711) 사이에 설치된 매우 약한 탄력의 압축코일 스프링(712c)으로 이루어져 있다. 한편, 지지축(712a)의 다른 쪽 끝면에는 걸어맞춤 오목부(712d)가 형성되어 있다. 또한, 지지축(712a)에는 다른 쪽 끝부분 외주면에 절삭 블레이드(635)가 삽입된 상태에서 위치규제하는 규제수단(712e)이 설치되어 있다. 이 규제수단(712e)은 볼과 상기 볼을 직경방향 바깥쪽으로 누르는 스프링으로 이루어져 있으며, 볼에 작용하는 힘이 소정 값이 될 때까지는 규제기능이 작용하도록 되어 있다. 따라서, 상기 압착부재(712b)는 규제수단(712e)에 의해, 지지축(712a)의 다른 쪽 끝쪽으로의 이동이 규제된다. 이와 같이 구성된 제1 블레이드 수용수단(712)에는, 사용전의 절삭 블레이드(635)의 허브(636)에 설치된 끼워맞춤 구멍(636a)이 지지축(712a)에 끼워져 들어가 여러 개 수용된다. 이 때, 상기 압착부재(712b)를 압축코일 스프링(712c)의 탄력에 반하여 후퇴시킨다. 또한, 상기 규제수단(712e)의 볼을 후퇴시켜, 절삭 블레이드(635)를 규제수단(712e)으로부터 지지축(712a)의 한 쪽 끝쪽에 위치시킨다. 이와 같이 하여, 지지축(712a)에 끼워져 들어간 절삭 블레이드(635)는, 압축코일 스프링(712c)의 탄력에 의해 압착부재(712b)를 통하여 규제수단(712e)을 향하여 눌린다. 따라서, 압축코일 스프링(712c) 및 압착부재(712b)는 절삭 블레이드(635)를 규제수단(712e)을 향하여 누르는 압착수단으로서 기능한다.The first blade rack 71a and the second blade rack 71b are respectively installed to face the guide means 72 at a position far from the rotary spindles 632. As shown in FIG. 6, the first blade rack 71a and the second blade rack 71b accommodate the supporting plate 711 and the first blade receiving means 712 and the second blade provided in the supporting plate 711. Means 713 are provided. The support plate 711 is fixed to the support base 710 installed on the stationary base 2. The first blade accommodating means 712 includes a support shaft 712a having one end attached to the support plate 711, an annular crimping member 712b inserted into the support shaft 712a, and the crimping member ( It consists of a very weak elastic compression coil spring 712c installed between the 712b and the support plate 711. On the other hand, the engagement recessed part 712d is formed in the other end surface of the support shaft 712a. In addition, the support shaft 712a is provided with a restricting means 712e for regulating the position in the state where the cutting blade 635 is inserted into the outer peripheral surface of the other end. The restricting means 712e is composed of a ball and a spring which presses the ball outward in the radial direction, and the restricting function is operated until the force acting on the ball reaches a predetermined value. Therefore, the pressing member 712b is restricted by movement to the other end of the support shaft 712a by the restricting means 712e. In the first blade accommodating means 712 configured as described above, a plurality of fitting holes 636a provided in the hub 636 of the cutting blade 635 before use are inserted into the support shaft 712a and accommodated therein. At this time, the pressing member 712b is retracted against the elasticity of the compression coil spring 712c. Further, the ball of the restricting means 712e is retracted to position the cutting blade 635 from one end of the support shaft 712a from the restricting means 712e. In this way, the cutting blade 635 inserted into the support shaft 712a is pressed toward the restricting means 712e through the pressing member 712b by the elasticity of the compression coil spring 712c. Accordingly, the compression coil spring 712c and the pressing member 712b function as pressing means for pressing the cutting blade 635 toward the restricting means 712e.

또한, 제2 블레이드 수용수단(713)도 상기 제1 블레이드 수용수단(712)과 마 찬가지로, 지지판(711)에 한 쪽 끝이 설치된 지지축(713a)과, 상기 지지축(713a)에 끼워져 들어간 고리형상의 압착부재(713b)와, 상기 압착부재(713b)와 지지판(711) 사이에 설치된 매우 약한 탄력의 압축코일 스프링(713c)으로 이루어져 있다. 한편, 지지축(713a)의 다른 쪽 끝면에는 걸어맞춤 오목부(713d)가 형성되어 있다. 또한, 지지축(713a)에는 다른 쪽 끝부분 외주면에 절삭 블레이드(635)가 삽입된 상태에서 위치규제하는 규제수단(713e)이 설치되어 있다. 이 규제수단(713e)은 볼과 상기 볼을 직경방향 바깥쪽으로 누르는 스프링으로 이루어져 있으며, 볼에 작용하는 힘이 소정 값이 될 때까지는 규제기능이 작용하도록 되어 있다. 따라서, 상기 압착부재(713b)는 규제수단(713e)에 의해, 지지축(713a)의 다른 쪽 끝쪽으로의 이동이 규제된다. 이와 같이 구성된 제1 블레이드 수용수단(713)에는, 사용후의 절삭 블레이드(635)의 허브(636)에 설치된 끼워맞춤 구멍(636a)이 지지축(713a)에 끼워져 들어가 여러 개 수용된다. 이 때, 상기 압착부재(713b)를 압축코일 스프링(713c)의 탄력에 반하여 후퇴시킨다. 또한, 상기 규제수단(713e)의 볼을 후퇴시켜, 절삭 블레이드(635)를 규제수단(713e)으로부터 지지축(713a)의 한 쪽 끝쪽에 위치시킨다. 이와 같이 하여, 지지축(713a)에 끼워져 들어간 절삭 블레이드(635)는, 압축코일 스프링(713c)의 탄력에 의해 압착부재(713b)를 통하여 규제수단(713e)을 향하여 눌린다. 따라서, 압축코일 스프링(713c) 및 압축부재(713b)는 절삭 블레이드(635)를 규제수단(713e)을 향하여 누르는 압착수단으로서 기능한다.In addition, similarly to the first blade receiving means 712, the second blade receiving means 713 is inserted into the support shaft 713a having one end of the support plate 711 and the support shaft 713a. It consists of an annular crimping member 713b and a very weak elastic compression coil spring 713c provided between the crimping member 713b and the support plate 711. On the other hand, the engagement recessed part 713d is formed in the other end surface of the support shaft 713a. Further, the support shaft 713a is provided with a restricting means 713e for regulating the position in the state where the cutting blade 635 is inserted into the outer peripheral surface of the other end. The restricting means 713e consists of a ball and a spring which presses the ball outward in the radial direction, and the restricting function is operated until the force acting on the ball reaches a predetermined value. Therefore, the crimping member 713b is restricted from moving to the other end of the support shaft 713a by the restricting means 713e. In the first blade accommodating means 713 configured as described above, a plurality of fitting holes 636a provided in the hub 636 of the used cutting blade 635 are inserted into the support shaft 713a and accommodated therein. At this time, the pressing member 713b is retracted against the elasticity of the compression coil spring 713c. Further, the ball of the restricting means 713e is retracted so that the cutting blade 635 is positioned from one end of the support shaft 713a from the restricting means 713e. In this way, the cutting blade 635 inserted into the support shaft 713a is pressed toward the restricting means 713e through the pressing member 713b by the elasticity of the compression coil spring 713c. Therefore, the compression coil spring 713c and the compression member 713b function as pressing means for pressing the cutting blade 635 toward the restricting means 713e.

상기 안내수단(72)은 도 7에 나타내는 바와 같이 직사각형의 안내판(721)과, 상기 안내판(721)의 양측에 설치되며 화살표 X로 나타내는 절삭이송방향으로 뻗은 한 쌍의 안내레일(722,722)을 구비하고 있다. 이와 같이 구성된 안내수단(72)은 도시하지 않은 고정부재에 설치되어 있다.As shown in FIG. 7, the guide means 72 is provided with a rectangular guide plate 721 and a pair of guide rails 722 and 722 which are provided at both sides of the guide plate 721 and extend in the cutting feed direction indicated by the arrow X. FIG. Doing. The guide means 72 configured in this way is provided in a fixing member (not shown).

상기 가동기판(73)의 한 쪽 끝에는 도 8에 나타내는 바와 같이 L자형의 피안내부재(74)가 설치되어 있으며, 이 피안내부재(74)의 양측에 상기 한 쌍의 안내레일(722,722)과 걸어맞추어지는 한 쌍의 피안내레일(741,741)이 설치되어 있다. 이 한 쌍의 피안내레일(741,741)을 상기 한 쌍의 안내레일(722,722)과 걸어맞춤으로써, 가동기판(73)은 피안내부재(74)를 통하여 한 쌍의 안내레일(722,722)에 따라 이동가능하게 지지된다. 한편, 피안내부재(74)의 윗면에는, 암나사(742a)를 구비한 이동블록(742)이 설치되어 있다.At one end of the movable substrate 73, an L-shaped guide member 74 is provided, as shown in FIG. 8, and the pair of guide rails 722 and 722 are provided on both sides of the guide member 74, respectively. A pair of guide rails 741 and 741 engaged with each other are provided. By engaging the pair of guide rails 741, 741 with the pair of guide rails 722, 722, the movable substrate 73 moves along the pair of guide rails 722, 722 through the guide member 74. Possibly supported. On the other hand, on the upper surface of the guide member 74, a moving block 742 having a female screw 742a is provided.

상기 안내수단(72)을 구성하는 안내판(721)의 아랫면에는 도 7에 일부를 잘라 나타내는 바와 같이, 상기 가동기판(73)을 한 쌍의 안내레일(722,722)에 따라 이동시키는 위치결정수단(75)이 설치되어 있다. 이 위치결정수단(75)은 상기 한 쌍의 피안내레일(741,741)과 평행하게 설치되며 상기 이동블록(742)의 암나사(742a)와 나사결합하는 숫나사로드(751)와, 상기 숫나사로드(751)의 한 쪽 끝에 연결되며 안내판(721)의 아랫면에 설치된 펄스모터(752)로 이루어져 있다. 한편, 숫나사로드(751)의 다른 쪽 끝은 안내판(721)의 아랫면에 설치된 축받이(753)에 의해 회전가능하게 지지되어 있다. 이와 같이 구성된 위치결정수단(75)은 펄스모터(752)를 정회전 또는 역회전함으로써, 가동기판(73)을 한 쌍의 안내레일(722,722)에 따라 도 7에서 화살표 X로 나타내는 방향으로 이동시킨다. 한편, 위치결정수단(75)은, 후술하는 제1 체결너트 착탈기구 및 제2 체결너트 착탈기구를 상기 회전스핀 들(632)의 선단면과 대향하는 블레이드 착탈위치에 위치시키는 체결너트 착탈기구 위치결정수단과, 후술하는 절삭 블레이드 착탈기구를 회전스핀들(632)의 선단면과 대향하는 블레이드 착탈위치와 상기 제1 블레이드 랙(71a) 및 제2 블레이드 랙(71b)의 제1 블레이드 수용수단(712)과 대향하는 사용전 블레이드 수취위치 및 제2 블레이드 수용수단(713)과 대향하는 사용후 블레이드 수납위치에 위치시키는 절삭 블레이드 착탈기구수단으로서 기능한다.Positioning means 75 for moving the movable substrate 73 along a pair of guide rails 722, 722, as shown in FIG. 7 by cutting a portion of the lower surface of the guide plate 721 constituting the guide means 72. ) Is installed. The positioning means 75 is installed in parallel with the pair of guide rails 741 and 741 and is screwed with a female screw 742a of the movable block 742, and the male screw rod 751. It is connected to one end of the) consists of a pulse motor 752 installed on the lower surface of the guide plate 721. On the other hand, the other end of the male rod 751 is rotatably supported by a bearing 753 provided on the bottom surface of the guide plate 721. The positioning means 75 configured as described above moves the movable substrate 73 in the direction indicated by the arrow X in FIG. 7 along the pair of guide rails 722, 722 by forward or reverse rotation of the pulse motor 752. . On the other hand, the positioning means 75, the position of the fastening nut detachment mechanism for positioning the first fastening nut detachment mechanism and the second fastening nut detachment mechanism to be described later in the blade detachable position facing the distal end surface of the rotary spindle 632. Determination means, a blade detachable position facing the cutting blade detachment mechanism described later and the front end surface of the rotary spindle 632 and the first blade receiving means 712 of the first blade rack 71a and the second blade rack 71b. And the cutting blade detachment means for positioning the blade receiving position before use and the used blade receiving position opposite to the second blade receiving means 713.

도 8에 따라 설명을 계속하면, 상기 가동기판(73)의 윗면에는, 상기 스핀들 유니트(63)의 체결너트(638)를 착탈하기 위한 제1 체결너트 착탈기구(8a) 및 제2 체결너트 착탈기구(8b)와, 절삭 블레이드(635)를 회전스핀들(632)의 앞끝에 착탈하기 위한 제1 절삭 블레이드 착탈기구(9a) 및 제2 절삭 블레이드 착탈기구(9b)가 설치되어 있다. 한편, 제1 체결너트 착탈기구(8a) 및 제1 절삭 블레이드 착탈기구(9a)와 제2 체결너트 착탈기구(8b) 및 제2 절삭 블레이드 착탈기구(9b)는, 가동기판(73)의 윗면에 선대칭으로 설치되어 있다. 제1 체결너트 착탈기구(8a) 및 제2 체결너트 착탈기구(8b)는 가동기판(73)의 윗면에 설치된 안내레일(731) 위에 설치되며, 상기 안내레일(731)에 따라 이동가능하게 지지되어 있다. 이 제1 체결너트 착탈기구(8a) 및 제2 체결너트 착탈기구(8b)는 각각 너트회전운동수단(81)과 너트파지수단(82) 및 이동수단(83)을 구비하고 있다.8, the first fastening nut detachment mechanism 8a and the second fastening nut detachment mechanism for attaching and detaching the fastening nut 638 of the spindle unit 63 are attached to the upper surface of the movable substrate 73. A mechanism 8b, a first cutting blade attachment mechanism 9a and a second cutting blade attachment mechanism 9b for attaching and detaching the cutting blade 635 to the front end of the rotary spindle 632 are provided. On the other hand, the first fastening nut detachment mechanism 8a, the first cutting blade detachment mechanism 9a, the second fastening nut detachment mechanism 8b, and the second cutting blade detachment mechanism 9b are the upper surfaces of the movable substrate 73. It is installed in line symmetry. The first fastening nut detachment mechanism 8a and the second fastening nut detachment mechanism 8b are installed on the guide rail 731 installed on the upper surface of the movable substrate 73, and are supported to be movable according to the guide rail 731. It is. The first fastening nut detachment mechanism 8a and the second fastening nut detachment mechanism 8b are each provided with a nut rotating means 81, a nut gripping means 82, and a moving means 83, respectively.

상기 너트회전운동수단(81)에 대하여 도 8 및 도 9를 참조하여 설명한다.The nut rotation movement means 81 will be described with reference to FIGS. 8 and 9.

도시한 실시예에서의 너트회전운동수단(81)은, 상기 안내레일(731) 위에 설치된 모터케이스(811)와, 상기 모터케이스(811) 안에 설치된 전동모터(812)와, 상 기 전동모터(812)의 구동축(812a)에 연결된 회전운동부재(813)를 구비하고 있다. 모터케이스(811)의 바닥벽(811a)에는 상기 안내레일(731)에 걸어맞추어지는 피안내홈(811b)이 설치되어 있으며, 이 피안내홈(811b)을 안내레일(731)에 걸어맞춤으로써, 모터케이스(811)는 안내레일(731)에 따라 이동가능하게 지지된다. 전동모터(812)는 도시하는 실시예에서는, 정회전하면 상기 체결너트(638)를 완화시키는 방향으로 회전하고, 역회전하면 체결너트(638)를 체결하는 방향으로 회전하게 되어 있다.The nut rotation movement means 81 in the illustrated embodiment includes a motor case 811 installed on the guide rail 731, an electric motor 812 installed in the motor case 811, and the electric motor ( A rotary motion member 813 connected to the drive shaft 812a of the 812 is provided. The guide wall 811b which is engaged with the guide rail 731 is provided in the bottom wall 811a of the motor case 811, and the guide groove 811b is engaged with the guide rail 731. The motor case 811 is movably supported by the guide rail 731. In the illustrated embodiment, the electric motor 812 is rotated in a direction of alleviating the tightening nut 638 when rotated forward, and rotated in a direction of engaging the tightening nut 638 when rotated reversely.

상기 회전운동부재(813)의 도 9에서 오른쪽 끝부분에는, 오른쪽 끝면으로부터 돌출하는 4개의 회전운동 핀(814)이 각각 90도의 위상을 가지고 설치되어 있다. 이 회전운동 핀(814)은 기단(도 9에서 왼쪽 끝)에 원형의 걸어맞춤부(814a)를 구비하고 있으며, 이 걸어맞춤부(814a)가 회전운동부재(813)의 도 9에서 오른쪽 끝부분에 설치된 실린더구멍(813a)에 슬라이딩 운동가능하게 설치되어 있다. 실린더구멍(813a) 안에는 압축스프링(815)이 설치되어 있으며, 이 압축스프링(815)에 의해 회전운동핀(814)은 도 9에서 오른쪽으로 이동하도록 눌리고 있다. 한편, 실린더구멍(813a)의 도 9에서 오른쪽 끝에는, 회전운동 핀(814)의 걸어맞춤부(814a)와 걸어맞추고 회전운동 핀(814)의 오른쪽으로의 이동을 규제하는 스톱퍼부(813b)가 설치되어 있다. 상술한 4개의 회전운동 핀(814)은 상기 체결너트(638)에 설치된 4개의 핀끼워맞춤 구멍(638a)에 끼워맞추어지는 위치에 설치되어 있다.In the right end portion of FIG. 9 of the rotary motion member 813, four rotary motion pins 814 protruding from the right end surface are respectively provided with a phase of 90 degrees. This rotary motion pin 814 has a circular engagement portion 814a at its base (left end in FIG. 9), and this engagement portion 814a is the right end in FIG. 9 of the rotary motion member 813. It is provided in the cylinder hole 813a provided in the part so that sliding movement is possible. The compression spring 815 is provided in the cylinder hole 813a, and the rotary motion pin 814 is pressed by the compression spring 815 so that it may move to the right side in FIG. On the other hand, at the right end of the cylinder hole 813a in FIG. 9, a stopper portion 813b that engages with the engaging portion 814a of the rotary motion pin 814 and regulates movement to the right of the rotary motion pin 814 is provided. It is installed. The four rotary motion pins 814 described above are provided at positions fitted to the four pin fitting holes 638a provided in the fastening nut 638.

상기 너트파지수단(82)은, 상기 회전운동부재(813)의 외주에 각각 90도의 위상을 가지고 설치된 4개의 파지부재(821)와, 상기 4개의 파지부재(821)를 도 9에서 실선으로 나타내는 개방위치와 2점쇄선으로 나타내는 파지위치로 작동하는 작동링(822)과, 상기 작동링(822)을 도 9에서 실선으로 나타내는 후퇴위치와 2점쇄선으로 나타내는 작용위치로 작동시키는 에어실린더(823)로 이루어져 있다. 파지부재(821)는 앞끝(도 9에서 오른쪽 끝)에 파지조각(821a)을 구비하고 있으며, 기단부(도 9에서 왼쪽 끝)가 상기 회전운동 부재(813)에 지지축(824)에 의해 요동가능하게 지지되어 있다. 이와 같이 지지된 파지부재(821)와 회전운동부재(813)의 사이에는 압축 스프링(825)이 설치되어 있으며, 이 압축 스프링(825)에 의해 파지부재(821)는 파지조각(821a) 측이 지지축(824)을 중심으로 하여 항상 직경방향 바깥쪽 즉, 개방위치를 향하여 눌리고 있다.The nut gripping means 82 includes four gripping members 821 and 90 g phases, each of which is disposed on the outer circumference of the rotary motion member 813 and the four gripping members 821 in solid lines in FIG. 9. An operating ring 822 operating in an open position and a holding position indicated by a two-dot chain line, and an air cylinder 823 operating the operation ring 822 in a retracted position indicated by a solid line in FIG. ) The gripping member 821 is provided with a gripping piece 821a at the front end (right end in FIG. 9), and the proximal end (left end in FIG. 9) is swinged by the support shaft 824 on the rotary motion member 813. Possibly supported. A compression spring 825 is provided between the gripping member 821 and the rotary motion member 813 supported in this way, and the gripping member 821 is gripped at the side of the gripping piece 821a by the compression spring 825. The support shaft 824 is always pressed outward in the radial direction, that is, toward the open position.

작동링(822)은 도 9에서 왼쪽 끝부분에 설치된 피안내부(822a)와, 도 9에서 오른쪽 끝부분에 설치된 작동부(822b)를 구비하고 있으며, 피안내부(822a)가 회전운동부재(813) 위에 이동가능하게 지지된다. 그리고, 작동링(822)의 작동부(822b)는 상기 파지부재(821)에 맞닿게 되어 있다. 상기 에어실린더(823)는 상기 모터케이스(811)의 윗벽(811c)에 설치되며, 그 피스톤 로드(823a)가 작동링(822)에 연결되어 있다.The operating ring 822 includes a guide part 822a installed at the left end in FIG. 9, and an operation part 822b installed at the right end in FIG. 9, and the guide part 822a includes the rotary motion member 813. Movably supported). The operation portion 822b of the operation ring 822 is in contact with the gripping member 821. The air cylinder 823 is installed on the upper wall 811c of the motor case 811, and a piston rod 823a is connected to the operation ring 822.

이와 같이 구성된 너트파지수단(82)은, 도 9에서 실선으로 나타내는 후퇴위치로부터 에어실린더(823)를 작동시켜 작동링(822)를 2점쇄선으로 나타내는 작용위치로 이동시키면, 파지부재(821)를 실선으로 나타내는 개방위치로부터 2점쇄선으로 나타내는 파지위치로 작동시킨다. 이와 같이 파지부재(821)가 파지위치로 작동되면, 파지조각(821a)을 상기 체결너트(638)의 외주면에 형성된 고리형상 홈(638a)과 걸어맞출 수 있다.The nut gripping means 82 configured as described above holds the gripping member 821 when the air cylinder 823 is moved from the retracted position indicated by the solid line in FIG. 9 to move the operation ring 822 to the acting position indicated by the double-dotted lines. Is operated from the open position indicated by the solid line to the grip position indicated by the two-dot chain line. When the gripping member 821 is operated in the gripping position as described above, the gripping pieces 821a can be engaged with the annular groove 638a formed on the outer circumferential surface of the fastening nut 638.

상기 이동수단(83)은 도 8에 나타내는 바와 같이, 안내레일(731)과 평행하게 설치된 에어실린더(831)와, 상기 에어실린더(831)의 피스톤 로드(831a)와 상기 모터케이스(811)를 연결하는 연결부재(832)로 이루어져 있다. 에어실린더(831)를 작동함으로써, 연결부재(832)를 통하여 모터케이스(811)를 안내레일(731)에 따라 이동시킨다.As shown in FIG. 8, the moving means 83 includes an air cylinder 831 installed in parallel with the guide rail 731, a piston rod 831 a of the air cylinder 831, and the motor case 811. It consists of a connecting member 832 to connect. By operating the air cylinder 831, the motor case 811 is moved along the guide rail 731 through the connecting member 832.

이어서, 상기 제1 절삭 블레이드 착탈기구(9a) 및 제2 절삭 블레이드 착탈기구(9b)에 대하여 도 8 및 도 10을 참조하여 설명한다.Next, the said 1st cutting blade detachment mechanism 9a and the 2nd cutting blade detachment mechanism 9b are demonstrated with reference to FIG. 8 and FIG.

도시한 실시예에서의 제1 절삭 블레이드 착탈기구(9a) 및 제2 절삭 블레이드 착탈기구(9b)는, 가동기판(73)의 윗면에 설치된 안내레일(732) 위에 설치되며, 상기 안내레일(732)에 따라 이동가능하게 지지되고 있다. 이 제1 절삭 블레이드 착탈기구(9a) 및 제2 절삭 블레이드 착탈기구(9b)는 각각, 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a) 및 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)과, 상기 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a) 및 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)이 장착된 지지플레이트(92)와, 상기 지지플레이트(92)를 회전운동하는 펄스모터(93)(도 10 참조)를 구비하고 있다.The first cutting blade detachment mechanism 9a and the second cutting blade detachment mechanism 9b in the illustrated embodiment are installed on the guide rail 732 provided on the upper surface of the movable substrate 73, and the guide rail 732 Is supported to be movable. The first cutting blade detachment mechanism 9a and the second cutting blade detachment mechanism 9b each include a first cutting blade gripping means 91a and a second cutting blade gripping means 91b and the first cutting blade gripping mechanism. And a support plate 92 on which the means 91a and the second cutting blade gripping means 91b are mounted, and a pulse motor 93 (see Fig. 10) for rotating the support plate 92.

제1 절삭 블레이드 파지수단(91a)과 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)은 실질적으로 동일한 구성이기 때문에, 동일 부재에는 같은 부호를 사용하여 설명한다.Since the 1st cutting blade holding means 91a and the 2nd cutting blade holding means 91b are substantially the same structure, it demonstrates using the same code | symbol for the same member.

제1 절삭 블레이드 파지수단(91a)과 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)은, 상기 절삭 블레이드(635)의 허브(636)의 외주를 파지하기 위한 복수 개(도시한 실시예에서는 4개)의 파지부재(911)와, 상기 4개의 파지부재(911)를 작동하는 파지부재 작동수단(912)과, 4개의 파지부재(911)의 중심에 설치되어 상기 회전스핀들(632)의 선단면에 형성된 걸어맞춤 오목부(632a)에 걸어맞추어지는 위치결정수단(913)을 구비하고 있다.The first cutting blade gripping means 91a and the second cutting blade gripping means 91b include a plurality (four in the illustrated embodiment) for gripping the outer circumference of the hub 636 of the cutting blade 635. A holding member 911, a holding member operating means 912 for operating the four holding members 911, and is installed in the center of the four holding members 911 formed on the front end surface of the rotary spindle 632 Positioning means 913 to be engaged with engagement recess 632a is provided.

4개의 파지부재(911)는 파지부재 작동수단(912)의 외주에 따라 90도의 위상을 가지고 둘레방향으로 설치되며, 앞끝에 파지조각(911a)을 구비하고 있다. 파지부재 작동수단(912)은 4개의 파지부재(911)를 각각 직경방향으로 작동하도록 구성되며, 지지플레이트(92)에 장착되어 있다. 위치결정수단(913)은 파지부재 작동수단(912)의 끝면 중심에 설치된 로드(913a)와, 상기 로드(913a)의 선단부에 슬라이딩 운동 가능하게 장착되어 앞끝이 원추형상으로 형성된 위치결정부재(913b)와, 상기 위치결정부재(913b)와 파지부재 작동수단(912)의 끝면 사이에 설치된 압축스프링(913c)으로 이루어져 있다. 한편, 위치결정부재(913b)와 로드(913a)의 사이에는, 도시한 상태로부터 위치결정부재(913b)가 로드(913a)로부터 빠지는 것을 방지하기 위한 스톱퍼 기구가 설치되어 있다.The four holding members 911 are installed in the circumferential direction with a phase of 90 degrees according to the outer circumference of the holding member operating means 912, and are provided with a holding piece 911a at the front end. The holding member operating means 912 is configured to operate the four holding members 911 in the radial direction, respectively, and is mounted on the support plate 92. The positioning means 913 is a rod 913a provided at the center of the end face of the gripping member operating means 912, and the positioning member 913b, which is slidably mounted to the distal end of the rod 913a, having a front end in a conical shape. And a compression spring 913c provided between the positioning member 913b and the end surface of the gripping member operating means 912. On the other hand, a stopper mechanism is provided between the positioning member 913b and the rod 913a to prevent the positioning member 913b from being pulled out of the rod 913a from the illustrated state.

상술한 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a) 및 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)의 지지플레이트(92)의 중심에는, 도 10에 나타내는 바와 같이 회전운동축(921)이 설치되어 있다. 회전운동축(921)의 끝면에 형성된 나사부(921a)를 지지플레이트(92)의 중심에 설치된 구멍에 삽입시키고 이 나사부(921a)에 너트(922)를 나사결합함으로써, 회전운동축(921)이 지지플레이트(92)에 설치된다. 한편, 회전운동축(921)과 지지플레이트(92) 사이에는, 도시하지 않은 상대회전을 규제하는 회전규제기구가 설치되어 있다. 이 회전운동축(921)에 펄스모터(93)의 구동축(93a)이 연결되어 있다. 펄스모터(93)는 안내레일(732) 위에 설치된 모터케이스(94) 안에 설치되어 있다. 모터케이스(94)의 바닥벽(94a)에는 상기 안내레일(732)에 걸어맞추어지는 피안내홈(94b)이 설치되어 있으며, 이 피안내홈(94b)을 안내레일(732)에 걸어맞춤으로써, 모터케이스(94)가 안내레일(732)에 따라 이동가능하게 지지된다.As shown in FIG. 10, the rotating shaft 921 is provided in the center of the support plate 92 of the 1st cutting blade holding means 91a and the 2nd cutting blade holding means 91b mentioned above. By inserting the threaded portion 921a formed at the end of the rotary shaft 921 into the hole provided in the center of the support plate 92 and screwing the nut 922 to the screwed portion 921a, the rotary shaft 921 is formed. It is attached to the support plate 92. On the other hand, between the rotary shaft 921 and the support plate 92, a rotation control mechanism for regulating relative rotation (not shown) is provided. The drive shaft 93a of the pulse motor 93 is connected to the rotary shaft 921. The pulse motor 93 is installed in the motor case 94 installed on the guide rail 732. The guide wall 94b which is engaged with the guide rail 732 is installed in the bottom wall 94a of the motor case 94. By fitting this guide groove 94b to the guide rail 732, The motor case 94 is movably supported by the guide rail 732.

도시한 실시예에서의 제1 절삭 블레이드 착탈수단(9a) 및 제2 절삭 블레이드 착탈수단(9b)은, 도 8에 나타내는 바와 같이 상기 모터케이스(94)를 안내레일(732)에 따라 이동시키는 이동수단(95)을 구비하고 있다. 이 이동수단(95)은 안내레일(732)과 평행하게 설치된 에어실린더(951)와, 상기 에어실린더(951)의 피스톤로드(951a)와 상기 모터케이스(94)를 연결하는 연결부재(952)로 이루어져 있다. 에어실린더(951)를 작동함으로써, 연결부재(952)를 통하여 모터케이스(94)를 안내레일(732)에 따라 이동시킨다.As shown in FIG. 8, the first cutting blade attaching and detaching means 9a and the second cutting blade attaching and detaching means 9b in the illustrated embodiment move the motor case 94 along the guide rail 732. Means 95 are provided. The movement means 95 is an air cylinder 951 installed in parallel with the guide rail 732, and a connecting member 952 for connecting the piston rod 951a of the air cylinder 951 and the motor case 94. Consists of By operating the air cylinder 951, the motor case 94 is moved along the guide rail 732 through the connecting member 952.

도시한 실시예에서의 절삭장치는 도 11에 나타내는 제어수단(10)을 구비하고 있다. 제어수단(10)은 상기 제1 블레이드 감출수단(36a), 제2 블레이드 검출수단(36b), 제1 얼라이먼트 수단(5a)의 촬상수단(53), 제2 얼라이먼트 수단(5b)의 촬상수단(53), 제1 AE신호 검출센서(600a), 제2 AE신호 검출센서(600b) 등으로부터 검출신호를 입력한다. 그리고, 제어수단(10)은 검출수단으로부터 입력된 검출신호에 따라, 상기 제1 절삭이송수단(37a), 제2 절삭이송수단(37b), 이동수단(52,52), 제1 절삭수단(6a), 제2 절삭수단(6b), 분할이송수단(64,64), 절결이송수단(66,66), 위치결정수단(75), 제1 체결너트 착탈기구(8a), 제2 체결너트 착탈기구(8b), 제1 절삭 블레이드 착탈기구(9a), 제2 절삭 블레이드 착탈기구(9b) 등으로 제어신호를 출력한다.The cutting device in the illustrated embodiment is provided with the control means 10 shown in FIG. The control means 10 comprises the imaging means of the first blade detecting means 36a, the second blade detecting means 36b, the imaging means 53 of the first alignment means 5a, and the imaging means of the second alignment means 5b ( 53), a detection signal is input from the first AE signal detection sensor 600a, the second AE signal detection sensor 600b, or the like. Then, the control means 10 is the first cutting transfer means 37a, the second cutting transfer means 37b, the moving means 52, 52, the first cutting means in accordance with the detection signal input from the detection means ( 6a), second cutting means 6b, split transfer means 64 and 64, notch transfer means 66 and 66, positioning means 75, first tightening nut detachment mechanism 8a, second tightening nut The control signal is output to the attachment / detachment mechanism 8b, the first cutting blade attachment / detachment mechanism 9a, the second cutting blade attachment / detachment mechanism 9b, and the like.

도시한 실시예에서의 절삭장치는 이상과 같이 구성되어 있으며, 아래에 그 작동에 대하여 주로 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.The cutting device in the illustrated embodiment is configured as described above, and the operation thereof will be described below with reference to Figs. 1 and 2 mainly.

먼저, 피가공물의 절삭가공에 대하여 설명한다.First, the cutting process of a to-be-processed object is demonstrated.

도시하지 않은 피가공물 반송수단에 의해 반도체 웨이퍼 등의 피가공물이 제1 척테이블(34a) 위로 반송된다. 이 때, 제1 척테이블(34a)은 도 1에 나타내는 피가공물 착탈위치에 위치결정된다. 제1 척테이블(34a) 위에 놓인 피가공물은 도시하지 않은 흡인수단을 작동함으로써 제1 척테이블(34a) 위에 흡인보유된다(제1 피가공물 보유공정).A workpiece, such as a semiconductor wafer, is conveyed onto the first chuck table 34a by a workpiece conveyance means (not shown). At this time, the first chuck table 34a is positioned at the workpiece removal position shown in FIG. 1. The workpiece placed on the first chuck table 34a is sucked and held on the first chuck table 34a by operating suction means (not shown) (first workpiece holding step).

상술한 바와 같이 피가공물을 흡인보유한 제1 척테이블(34a)은, 제1 절삭 이송수단(37a)의 작동에 의해 제1 얼라이먼트 수단(5a)의 촬상수단(53)의 바로 아래에 위치된다. 제1 척테이블(34a)이 촬상수단(53)의 바로 아래에 위치되면, 촬상수단(53)에 의해 제1 척테이블(34a) 위에 보유된 피가공물의 표면이 촬상되어, 피가공물의 표면에 형성된 절삭영역이 검출된다. 그리고, 제1 절삭수단(6a)의 분할이송수단(64) 및 제2 절삭수단(6b)의 분할이송수단(64)을 작동하여, 각각의 절삭 블레이드(635)와 상기 촬상수단(53)에 의해 검출된 절삭영역을 위치맞춤하는 얼라이먼트가 실시된다(제1 얼라이먼트 공정).As mentioned above, the 1st chuck table 34a which hold | maintains the to-be-processed object is located directly under the imaging means 53 of the 1st alignment means 5a by operation of the 1st cutting feed means 37a. When the first chuck table 34a is positioned directly under the imaging means 53, the surface of the workpiece held on the first chuck table 34a is imaged by the imaging means 53, and the surface of the workpiece is picked up. The formed cutting area is detected. Then, the divided transfer means 64 of the first cutting means 6a and the divided transfer means 64 of the second cutting means 6b are operated to each cutting blade 635 and the imaging means 53. The alignment for aligning the detected cutting area is performed (first alignment step).

제1 척테이블(34a) 위에 보유된 피가공물에 대하여 제1 얼라이먼트 공정을 실시하고 있는 동안에, 도시하지 않은 피가공물 반송수단에 의해 피가공물이 도 1에 나타내는 피가공물 착탈위치에 위치되어 있는 제2 척테이블(34b) 위로 반송된 다. 제2 척테이블(34b) 위에 놓인 피가공물은, 도시하지 않은 흡인수단을 작동함으로써 제2 척테이블(34b) 위에 흡인보유된다(제2 피가공물 보유공정).While the first alignment process is being performed on the workpiece held on the first chuck table 34a, the workpiece is placed in the workpiece removal position shown in FIG. 1 by a workpiece conveyance means (not shown). It is conveyed over the chuck table 34b. The workpiece placed on the second chuck table 34b is sucked and held on the second chuck table 34b by operating a suction unit (not shown) (second workpiece holding step).

제2 척테이블(34b) 위에 피가공물을 흡인보유하였다면, 제2 척테이블(34b)은 제2 절삭이송수단(37b)의 작동에 의해 제2 얼라이먼트 수단(5b)의 촬상수단(53)의 바로 아래에 위치된다. 그리고, 제2 얼라이먼트 수단(5b)에 의해 제2 척테이블(34b)에 보유된 피가공물의 절삭해야 할 영역을 검출하는 제2 얼라이먼트 공정을 실시한다. 한편, 제2 얼라이먼트 공정은 상술한 제1 얼라이먼튼 공정과 마찬가지로 실시한다.If the workpiece is sucked and held on the second chuck table 34b, the second chuck table 34b is directly at the image pickup means 53 of the second alignment means 5b by the operation of the second cutting transfer means 37b. It is located below. And the 2nd alignment process which detects the area | region which needs to be cut | disconnected by the 2nd alignment means 5b hold | maintained in the 2nd chuck table 34b is performed. In addition, a 2nd alignment process is performed similarly to the 1st alignment process mentioned above.

한편, 상기 제1 얼라이먼트 공정이 완료되면, 상기 제1 척테이블(34a)을 절삭영역으로 이동시킨다. 그리고, 제1 절삭수단(6a)의 절삭 블레이드(635)와 제2 절삭수단(6b)의 절삭 블레이드(635)를 제1 척테이블(34a)에 보유되어 있는 피가공물의 절삭영역에 위치시킨다. 이어서, 제1 절삭수단(6a)의 절삭 블레이드(635)와 제2 절삭수단(6b)의 절삭 블레이드(635)를 회전시키면서 제1 척테이블(34a)을 절삭이송함으로써, 제1 척테이블(34a)에 보유된 피가공물에 소정의 절삭가공을 실시한다(제1 절삭공정).Meanwhile, when the first alignment process is completed, the first chuck table 34a is moved to the cutting area. Then, the cutting blade 635 of the first cutting means 6a and the cutting blade 635 of the second cutting means 6b are positioned in the cutting region of the workpiece held in the first chuck table 34a. Subsequently, the first chuck table 34a is cut by transferring the first chuck table 34a while rotating the cutting blade 635 of the first cutting means 6a and the cutting blade 635 of the second cutting means 6b. A predetermined cutting process is performed on the workpiece held in the above (first cutting step).

상술한 제1 절삭공정이 완료되면, 상기 제2 얼라이먼트 공정이 실시된 피가공물을 보유한 제2 척테이블(34b)을 절삭영역으로 이동시킨다. 그리고, 상기 제1 절삭공정을 실시한 후, 제1 절삭수단(6a) 및 제2 절삭수단(6b)에 의해 상술한 제1 절삭공정과 마찬가지로, 제2 척테이블(34b)에 보유된 피가공물에 대하여 제2 절삭공정을 실시한다.When the above-described first cutting process is completed, the second chuck table 34b holding the workpiece subjected to the second alignment process is moved to the cutting area. Then, after the first cutting step is performed, the workpieces held in the second chuck table 34b are applied to the workpiece held by the first cutting means 6a and the second cutting means 6b in the same manner as the first cutting step described above. The second cutting process is performed.

상술한 제1 절삭공정이 완료한 가공후의 피가공물을 보유한 제1 척테이블(34a)은, 절삭영역으로부터 피가공물 착탈위치를 향하여 이동된다. 여기서, 제1 척테이블(34a) 위에 보유되어 있는 가공후의 피가공물의 흡인보유가 해제된다. 그리고, 가공후의 피가공물은 도시하지 않은 피가공물 반송수단에 의해 다음 공정으로 반송된다.The 1st chuck table 34a which has the to-be-processed workpiece which the above-mentioned 1st cutting process completed is moved to a workpiece attachment / detachment position from a cutting area. Here, the suction holding of the workpiece to be processed held on the first chuck table 34a is released. And the to-be-processed workpiece is conveyed to the next process by the workpiece conveyance means which is not shown in figure.

이상과 같이 하여 피가공물을 다음 공정으로 반송하였다면, 제1 척테이블(34a)에 다음 반도체 웨이처(10)를 보유시키는 상기 제1 피가공물 보유공정을 실시한다. 그리고, 상기 제1 얼라이먼트 공정, 제1 절삭공정을 차례로 실시한다.When the workpiece is conveyed to the next step as described above, the first workpiece holding step of holding the next semiconductor wafer 10 on the first chuck table 34a is performed. And the said 1st alignment process and a 1st cutting process are performed in order.

한편, 상술한 제2 절삭공정이 실시된 가공후의 피가공물을 보유한 제2 척테이블(34b)은, 절삭영역으로부터 피가공물 착탈위치를 향하여 이동된다. 여기서, 제2 척테이블(34b) 위에 보유되어 있는 가공후의 피가공물의 흡인보유가 해제된다. 그리고, 가공후의 피가공물은 도시하지 않은 피가공물 반송수단에 의해 다음 공정으로 반송된다. 이와 같이 하여, 가공후의 피가공물을 다음 공정으로 반송하였다면, 제2 척테이블(34b)에 다음 피가공물을 보유시키는 상기 제2 피가공물 보유공정을 실시한다. 그리고, 상기 제2 얼라이먼트 공정, 제2 절삭공정을 차례로 실시한다.On the other hand, the 2nd chuck table 34b which has the to-be-processed workpiece to which the above-mentioned 2nd cutting process was performed moves from a cutting area toward a workpiece removal position. Here, the suction holding of the to-be-processed workpiece hold | maintained on the 2nd chuck table 34b is cancelled | released. And the to-be-processed workpiece is conveyed to the next process by the workpiece conveyance means which is not shown in figure. In this manner, if the workpiece to be processed is conveyed to the next step, the second workpiece holding step of holding the next workpiece on the second chuck table 34b is performed. Then, the second alignment step and the second cutting step are sequentially performed.

상술한 바와 같이, 제1 절삭공정 및 제2 절삭공정을 실시함으로써, 제1 절삭수단(6a) 및 제2 절삭수단(6b)의 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)가 마모된다. 이 마모가 소정 양에 도달하면 절삭정밀도가 유지되지 않게 되기 때문에, 절삭 블레이드(635)는 소정 시간 사용하면 새로운 절삭 블레이드로 교환할 필요가 있다. 또한, 제1 절삭공정 및 제2 절삭공정을 실시하고 있을 때, 제1 절삭수단(6a) 및 제2 절삭수단(6b)의 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)가 파손되는 경우가 있다. 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)가 파손된 상태에서 절삭작업을 계속하면, 피가공물인 웨이퍼의 분할예정라인에 많은 틈이 발생하여, 디바이스를 손상시키거나 품질을 떨어뜨린다. 따라서, 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)가 파손에 이르는 상황을 검출하여, 숫돌부(637)가 완전히 파손되기 전에 절삭 블레이드(635)를 교환하는 것이 바람직하다. 이하, 절삭 블레이드(635)가 파손에 이르는 상황의 검출과, 이 파손상황의 검출에 근거하여 절삭 블레이드(635)를 교환하는 교환작업에 대하여, 도 12 내지 도 20을 참조하여 설명한다.As described above, the grindstone 637 of the cutting blade 635 of the first cutting means 6a and the second cutting means 6b is worn by performing the first cutting process and the second cutting process. Since the cutting precision is not maintained when this wear reaches a predetermined amount, the cutting blade 635 needs to be replaced with a new cutting blade when used for a predetermined time. In addition, when the 1st cutting process and the 2nd cutting process are performed, the grindstone part 637 of the cutting blade 635 of the 1st cutting means 6a and the 2nd cutting means 6b may be damaged. . If the cutting operation is continued while the grinding portion 637 of the cutting blade 635 is broken, many gaps are generated in the scheduled line of division of the wafer, which is the workpiece, which damages the device or degrades the quality. Therefore, it is preferable to detect the situation where the grindstone 637 of the cutting blade 635 reaches breakage, and replace the cutting blade 635 before the grindstone 637 is completely damaged. Hereinafter, the replacement operation of replacing the cutting blade 635 based on the detection of the situation where the cutting blade 635 leads to breakage and the detection of the broken condition will be described with reference to FIGS. 12 to 20.

상술한 제1 절삭공정 및 제2 절삭공정을 실시하고 있을 때, 제1 AE신호 검출센서(600a) 및 제2 AE신호 검출센서(600b)에 의해 각각 AE신호가 검출되어, 이 검출된 AE신호가 제어수단(10)으로 보내지고 있다. 도 12는, 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)가 정상적인 상황에서부터 파손에 이르는 동안, 절삭시에 발생하는 AE신호의 변화를 나타내는 그래프이다. 도 12에서 가로축은 시간, 세로축은 전압(V)이며, 절삭 블레이드(635)에 의해 절삭할 때 발생하는 AE신호의 최대진폭의 변화를 나타내고 있다. 도 12에서 제1 범위(A)는 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)가 정상인 경우로, AE신호는 5V~7V의 범위에 있다. 도 12에서 제2 범위(B)는 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)에 크랙이나 본드재의 피로파손(fatigue failure) 등의 전조가 발생한 경우로서, AE신호는 9V~12V가 된다. 또한, 도 12에서 제3 범위(C)는 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)가 완전히 파손된 경우로서, AE신호는 12V 이상 이 된다.When the above-described first cutting process and the second cutting process are performed, the AE signal is detected by the first AE signal detection sensor 600a and the second AE signal detection sensor 600b, respectively, and the detected AE signal is detected. Is sent to the control means 10. 12 is a graph showing a change in the AE signal generated during cutting while the grindstone 637 of the cutting blade 635 reaches breakage from a normal situation. In FIG. 12, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents voltage (V). The maximum amplitude of the AE signal generated when cutting by the cutting blade 635 is shown. In FIG. 12, the first range A is a case where the grinding wheel 637 of the cutting blade 635 is normal, and the AE signal is in the range of 5V to 7V. In FIG. 12, the second range B is a case where rolling, such as crack failure or fatigue failure of a bond material, is generated in the grinding portion 637 of the cutting blade 635, and the AE signal is 9V to 12V. In FIG. 12, the third range C is a case where the grinding portion 637 of the cutting blade 635 is completely damaged, and the AE signal is 12V or more.

이어서, 상기 제1 AE신호 검출센서(600a) 및 제2 AE신호 검출센서(600b)로부터의 AE신호를 입력하고, 상기 제1 절삭이송수단(37a) 및 제2 절삭이송수단(37b), 제1 절삭 블레이드 착탈기구(9a) 및 제2 절삭 블레이드 착탈기구(9b)를 제어하는 제어수단(10)의 제어순서에 대하여, 도 13에 나타내는 흐름도를 참조하여 설명한다.Subsequently, an AE signal from the first AE signal detection sensor 600a and the second AE signal detection sensor 600b is input, and the first cutting feed means 37a and the second cutting feed means 37b, The control procedure of the control means 10 which controls the 1st cutting blade detachment mechanism 9a and the 2nd cutting blade detachment mechanism 9b is demonstrated with reference to the flowchart shown in FIG.

제어수단(10)은, 먼저 스텝 S1에서 상기 제1 AE신호 검출센서(600a)로부터 제1 AE신호(AEa)를 입력하는 동시에, 제2 AE신호 검출센서(600b)로부터 제2 AE신호(AEb)를 입력한다. 이어서, 제어수단(10)은 스텝 S2로 나아가, 제1 AE신호(AEa)가 소정의 설정전압값(9V) 이상인지 여부를 체크한다. 스텝 S2에서 제1 AE신호(AEa)가 설정전압값(9V)보다 작은 경우, 제어수단(10)은 제1 절삭수단(6a)의 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)가 정상이라고 판단하고, 스텝 S3으로 나아가 제2 AE신호(AEb)가 소정의 설정전압값(9V) 이상인지 여부를 체크한다. 스텝 S3에서 제2 AE신호(AEb)가 설정전압값(9V)보다 작은 경우, 제어수단(10)은 제2 절삭수단(6b)의 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)도 정상이라고 판단하고, 상기 스텝 S1로 되돌아가 스텝 S1~ 스텝 S3을 반복 실행한다.The control means 10 first inputs the first AE signal AEa from the first AE signal detection sensor 600a in step S1 and simultaneously receives the second AE signal AEb from the second AE signal detection sensor 600b. Enter). Subsequently, the control means 10 proceeds to step S2 to check whether the first AE signal AEa is equal to or greater than the predetermined set voltage value 9V. When the first AE signal AEa is smaller than the set voltage value 9V in step S2, the control means 10 determines that the grindstone 637 of the cutting blade 635 of the first cutting means 6a is normal. In step S3, it is checked whether or not the second AE signal AEb is equal to or greater than the predetermined set voltage value 9V. When the second AE signal AEb is smaller than the set voltage value 9V in step S3, the control means 10 determines that the grindstone 637 of the cutting blade 635 of the second cutting means 6b is also normal. Then, the process returns to the step S1 and steps S1 to S3 are repeatedly executed.

상기 스텝 S2에서 제1 AE신호(AEa)가 설정전압값(9V) 이상인 경우에는, 제어수단(10)은 제1 절삭수단(6a)의 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)에 크랙이나 본드재의 피로 등이 발생하였다고 판단하고, 스텝 S4로 나아가 제1 절삭수단(6a)에 의한 절삭작업을 정지시킨다. 즉, 제1 절삭수단(6a)의 절결이송수단(67)을 작동하 여 스핀들 유니트(63)를 위쪽으로 이동하는 동시에, 절삭 블레이드(635)의 회전을 정지시킨다. 이어서, 제어수단(10)은 스텝 S5로 나아가, 제1 절삭수단(6a)의 절삭 블레이드(635)의 교환작업을 실시한다. 한편, 상기 스텝 S3에서 제2 AE신호(AEb)가 설정전압값(9V) 이상인 경우에는, 제어수단(10)은 제2 절삭수단(6b)의 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)에 크랙이나 본드재의 피로 등이 발생하였다고 판단하고, 스텝 S6로 나아가 제2 절삭수단(6b)에 의한 절삭작업을 정지시킨다. 즉, 제2 절삭수단(6b)의 절결이송수단(67)을 작동하여 스핀들 유니트(63)를 위쪽으로 이동시키는 동시에, 절삭 블레이드(635)의 회전을 정지시킨다. 이어서, 제어수단(10)은 스텝 S7로 나아가, 제2 절삭수단(6b)의 절삭 블레이드(635)의 교환작업을 실시한다.When the first AE signal AEa is equal to or higher than the set voltage value 9V in step S2, the control means 10 is cracked in the grindstone 637 of the cutting blade 635 of the first cutting means 6a. It is judged that the fatigue | bondage of a bond material, etc. generate | occur | produced, and it progresses to step S4 and the cutting operation by the 1st cutting means 6a is stopped. That is, by operating the notch transfer means 67 of the first cutting means 6a, the spindle unit 63 is moved upward, and the rotation of the cutting blade 635 is stopped. Subsequently, the control means 10 proceeds to step S5 to perform the replacement operation of the cutting blade 635 of the first cutting means 6a. On the other hand, when the second AE signal AEb is equal to or higher than the set voltage value 9V in step S3, the control means 10 is connected to the grindstone 637 of the cutting blade 635 of the second cutting means 6b. It is judged that the crack, the fatigue of a bond material, etc. generate | occur | produced, and it progresses to step S6 and the cutting operation by the 2nd cutting means 6b is stopped. That is, the notch transfer means 67 of the second cutting means 6b is operated to move the spindle unit 63 upwards, and the rotation of the cutting blade 635 is stopped. Subsequently, the control means 10 advances to step S7 to perform the work of replacing the cutting blade 635 of the second cutting means 6b.

이어서, 스텝 S5 및 스텝 S7에서의 제1 절삭수단(6a)의 절삭 블레이드(635) 및 제2 절삭수단(6b)의 절삭 블레이드(635)의 교환작업에 대하여, 도 14 내지 도 20을 참조하여 설명한다.Next, with reference to FIGS. 14-20, about the cutting operation of the cutting blade 635 of the 1st cutting means 6a and the cutting blade 635 of the 2nd cutting means 6b in step S5 and step S7. Explain.

이어서, 도 14에 나타내는 바와 같이, 블레이드 교환기구(7)의 위치결정수단(75)(도 7 참조)을 작동하여 가동기판(73)을 한 쌍의 안내레일(722,722)에 따라 이동시키고, 제1 절삭 블레이드 착탈기구(9a) 및 제2 절삭 블레이드 착탈기구(9b)의 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a)을 제1 블레이드 랙(71a) 및 제2 블레이드 랙(71b)에서의 사용전의 절삭 블레이드(635)가 수용되어 있는 제1 블레이드 수용수단(712)과 대향하는 사용전의 블레이드 수취위치에 위치시킨다. 이어서, 이동수단(95)을 작동하여 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a)을 제1 블레이드 수용수단(712)을 향하여 전진시켜, 위치결정부재(913b)를 제1 블레이드 수용수단(712)의 지지축(712a)의 다른 쪽 끝면에 설치된 걸어맞춤 오목부(712d)에 걸어맞춘다. 그리고, 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a)의 파지부재 작동수단(912)을 작동하여 4개의 파지부재(911)를 직경방향 안쪽으로 작동하고, 4개의 파지부재(911)의 앞 끝에 설치된 파지조각(911a)을 절삭 블레이드(635)의 고리형상 허브(636)에 형성된 고리형상 홈(636c)에 걸어맞춘다. 그 결과, 사용전의 절삭 블레이드(635)는 4개의 파지부재(911)에 의해 파지된다(사용전 절삭 블레이드 파지공정).Subsequently, as shown in Fig. 14, the positioning means 75 (see Fig. 7) of the blade exchange mechanism 7 is operated to move the movable substrate 73 along the pair of guide rails 722 and 722. Cutting blade before use of the first cutting blade holding means 91a of the first cutting blade detachment mechanism 9a and the second cutting blade detachment mechanism 9b in the first blade rack 71a and the second blade rack 71b. 635 is positioned at the blade receiving position before use, which is opposite to the first blade receiving means 712 that is received. Subsequently, the moving means 95 is operated to advance the first cutting blade gripping means 91a toward the first blade receiving means 712 to support the positioning member 913b of the first blade receiving means 712. It engages with the engagement recessed part 712d provided in the other end surface of the shaft 712a. Then, the holding member operating means 912 of the first cutting blade holding means (91a) to operate the four holding members 911 in the radially inward, the holding pieces provided at the front ends of the four holding members (911) 911a is engaged with the annular groove 636c formed in the annular hub 636 of the cutting blade 635. As a result, the cutting blade 635 before use is gripped by the four holding members 911 (the cutting blade holding step before use).

상술한 사용전 절삭 블레이드 파지공정을 실시하였다면, 이동수단(95)을 작동하여 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a)을 후퇴시키는 동시에, 상기 위치결정수단(75)을 작동하여 도 15에 나타내는 바와 같이 제1 체결너트 착탈기구(8a) 및 제2 체결너트 착탈기구(8b)의 너트회전운동수단(81) 및 너트파지수단(82)을 회전스핀들(632)과 대향하는 블레이드 착탈위치에 위치시킨다. 그리고, 이동수단(83)을 작동하여 너트회전운동수단(81) 및 너트파지수단(82)을 회전스핀들(632)을 향하여 전진시킨다. 그 결과, 회전운동부재(813)에 설치된 4개의 회전운동핀(814)이 체결너트(638)의 끝면에 맞닿아 압축 스프링(815)의 스프링력에 반하여 후퇴된다. 또한, 너트파지수단(82)의 에어실린더(823)를 작동하여 작동링(822)을 도 9에서 2점쇄선으로 나타내는 작용위치로 이동하고, 파지부재(821)를 2점쇄선으로 나타내는 파지위치로 작동시킴으로써, 파지조각(821a)을 체결너트(638)의 외주면에 형성된 고리형상 홈(638b)과 걸어맞춘다. 이어서, 전동모터(812)를 정회전 구동하면, 4개의 회전운동핀(814)이 체결너트(638)에 형성된 4개의 핀끼워맞춤 구멍(638a)과 합치되었을 때, 4개의 핀끼워맞춤 구멍(638a)에 끼워맞추어진다. 그 결과, 전동모터(812)의 정회전 구동력은 4개의 회전운동핀(814)을 통하여 체결너트(638)로 전달되며, 체결너트(638)가 느슨해져 블레이드 장착부재(633)로부터 풀린다. 이와 같이 하여 블레이드 장착부재(633)로부터 풀린 체결너트(638)는, 너트파지수단(82)의 파지부재(821)에 의해 파지되어 있다(체결너트 제거공정). 한편, 체결너트 제거공정을 실시할 때, 도 15에는 생략되어 있는 스핀들 유니트(63)의 제2 커버부재(652)는, 도 5에서 실선으로 나타내는 개방위치에 위치된다.If the above-described cutting blade gripping step is performed, the moving means 95 is operated to retract the first cutting blade gripping means 91a, and the positioning means 75 is operated to show the same as shown in FIG. The nut rotation means 81 and the nut gripping means 82 of the first fastening nut detachment mechanism 8a and the second fastening nut detachment mechanism 8b are positioned at the blade detachable position opposite to the rotary spindles 632. Then, the movement means 83 is operated to advance the nut rotation movement means 81 and the nut gripping means 82 toward the rotation spindles 632. As a result, four rotary motion pins 814 provided on the rotary motion member 813 abut against the end faces of the fastening nut 638 and are retracted against the spring force of the compression spring 815. Further, by operating the air cylinder 823 of the nut gripping means 82, the operation ring 822 is moved to the action position indicated by the double-dotted line in Fig. 9, and the gripping position indicated by the double-dotted line by the gripping member 821. By operating in, the grip pieces 821a are engaged with the annular grooves 638b formed on the outer circumferential surface of the fastening nut 638. Subsequently, when the electric motor 812 is rotated forward, the four pin-fitting holes 638 are aligned with the four pin-fitting holes 638a formed in the fastening nut 638. 638a). As a result, the forward rotational driving force of the electric motor 812 is transmitted to the fastening nut 638 through four rotary motion pins 814, the fastening nut 638 is loosened and released from the blade mounting member 633. In this way, the fastening nut 638 loosened from the blade mounting member 633 is gripped by the gripping member 821 of the nut gripping means 82 (fastening nut removing step). On the other hand, when performing the fastening nut removal step, the second cover member 652 of the spindle unit 63, which is omitted in Fig. 15, is located in the open position indicated by the solid line in Fig. 5.

상술한 체결너트 제거공정을 실시하였다면, 이동수단(83)을 작동하여 너트회전운동수단(81) 및 너트파지수단(82)을 후퇴시키는 동시에, 상기 위치결정수단(75)을 작동하여 도 16에 나타내는 바와 같이 제1 절삭 블레이드 착탈기구(9a) 및 제2 절삭 블레이드 착탈기구(9b)의 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)을 회전스핀들(632)과 대향하는 블레이드 착탈위치에 위치시킨다. 이어서, 이동수단(95)을 작동하여 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)을 회전스핀들(632)을 향하여 전진시키고, 위치결정부재(913b)를 회전스핀들(632)의 선단면에 형성된 걸어맞춤 오목부(632a)와 걸어맞춘다. 그리고, 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)의 파지부재 작동수단(912)을 작동하여 4개의 파지부재(911)를 직경방향 안쪽으로 작동시키고, 4개의 파지부재(911)의 앞끝에 설치된 파지조각(911a)을 절삭 블레이드(635)의 고리형상 허브(636)에 형성된 고리형상 홈(636c)에 걸어맞춘다. 그 결과, 사용후의 절삭 블레이드(635)는 4개의 파지부재(911)에 의해 파지된다(사용후 절삭 블레이드 제거공정).If the above-mentioned fastening nut removal process is performed, the moving means 83 is operated to retract the nut rotation movement means 81 and the nut holding means 82, and the positioning means 75 is operated to show the As shown, the 2nd cutting blade holding means 91b of the 1st cutting blade detaching mechanism 9a and the 2nd cutting blade detaching mechanism 9b is located in the blade detachable position which opposes the rotating spindle 632. As shown in FIG. Subsequently, the moving means 95 is operated to advance the second cutting blade gripping means 91b toward the rotary spindles 632, and the engagement member 913b is formed at the distal end surface of the rotary spindles 632. Engage with section 632a. Then, the gripping member operating means 912 of the second cutting blade gripping means 91b is operated to operate the four gripping members 911 in the radial direction, and the gripping pieces installed at the front ends of the four gripping members 911. 911a is engaged with the annular groove 636c formed in the annular hub 636 of the cutting blade 635. As a result, the used cutting blade 635 is gripped by the four holding members 911 (after used cutting blade removal step).

상술한 사용후 절삭 블레이드 제거공정을 실시하였다면, 도 17에 나타내는 바와 같이, 이동수단(95)을 작동하여 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)을 후퇴시키는 동시에, 펄스모터(93)(도 10 참조)를 작동하여 지지플레이트(92)를 180도 회전운동하여, 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a)과 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)을 반전시킨다. 그 결과, 상기 사용전 절삭 블레이드 파지공정에서 사용전 절삭 블레이드(635)를 파지한 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a)이 회전스핀들(632)과 대향하는 블레이드 교환장치에 위치된다(절삭 블레이드 파지수단 반전공정).If the above-described used cutting blade removing step is performed, as shown in Fig. 17, the moving means 95 is operated to retract the second cutting blade holding means 91b, and at the same time, the pulse motor 93 (see Fig. 10). ) To rotate the support plate 92 by 180 degrees, thereby inverting the first cutting blade gripping means 91a and the second cutting blade gripping means 91b. As a result, the first cutting blade gripping means 91a holding the cutting blade 635 before use in the pre-use cutting blade gripping process is positioned in the blade exchanger opposite to the rotary spindle 632 (cutting blade gripping means). Reversal process).

이어서, 도 18에 나타내는 바와 같이, 이동수단(95)을 작동하여 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a)을 회전스핀들(632)을 향하여 전진시키고, 위치결정부재(913b)를 회전스핀들(632)의 선단면에 형성된 걸어맞춤 오목부(632a)와 걸어맞춘다. 이 때, 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a)의 4개의 파지부재(911)에 의해 파지되어 있는 사용전 절삭 블레이드(635)는, 고리형상 허브(636)의 끼워맞춤 구멍(636a)이 블레이드 장착부재(633)의 원통형 장착부(633a)에 끼워맞추어진다. 그리고, 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a)의 파지부재 작동수단(912)을 작동하여 4개의 파재부재(911)를 직경방향 바깥쪽으로 작동시키고, 4개의 파지부재(911)에 의해 절삭 블레이드(635)의 파지를 해제한다. 그 결과, 사용전 절삭 블레이드(635)가 블레이드 장착부재(633)의 원통형 장착부(633a)에 장착되게 된다(사용전 절삭 블레이드 장착공정).18, the moving means 95 is operated to advance the first cutting blade gripping means 91a toward the rotary spindles 632, and the positioning member 913b of the rotary spindles 632 is operated. It engages with the engagement recessed part 632a formed in the front end surface. At this time, before use of the cutting blade 635 gripped by the four holding members 911 of the first cutting blade holding means 91a, the fitting hole 636a of the annular hub 636 is mounted with a blade. The fitting is fitted to the cylindrical mounting portion 633a of the member 633. Then, the gripping member operating means 912 of the first cutting blade gripping means 91a is operated to operate the four gripping members 911 outward in the radial direction, and the cutting blades 635 by the four gripping members 911. Release the gripping). As a result, the cutting blade 635 before use is attached to the cylindrical mounting portion 633a of the blade mounting member 633 (the cutting blade mounting process before use).

상술한 사용전 절삭 블레이드 장착공정을 실시하였다면, 이동수단(95)을 작동하여 제1 절삭 블레이드 파지수단(91a)을 후퇴시키는 동시에, 위치결정수단(75)을 작동하여 도 19에 나타내는 바와 같이, 제1 체결너트 착탈기구(8a) 및 제2 체결 너트 착탈기구(8b)의 너트회전운동수단(81), 및 상기 체결너트 제거공정에서 체결너트(638)를 파지하고 있는 너트파지수단(82)을 회전스핀들(632)과 대향하는 블레이드 착탈위치에 위치시킨다. 이어서, 이동수단(83)을 작동하여 너트회전운동수단(81) 및 너트파지수단(82)을 회전스핀들(632)을 향하여 전진시킨다. 그 결과, 너트파지수단(82)에 파지된 체결너트(638)는 블레이드 장착부재(633)의 원통형 장착부(633a)에 맞닿는다. 그리하여, 전동모터(812)를 역회전 구동하면, 회전력이 너트회전운동수단(81)의 4개의 회전운동 핀(814)을 통하여 체결너트(638)로 전달되어, 체결너트(638)가 장착부(633a)에 형성된 숫나사(633c)에 나사결합 체결된다. 그리고, 너트파지수단(82)의 에어실린더(823)를 작동하여 작동링(822)을 도 9에서 2점쇄선으로 나타내는 작용위치로부터 실선으로 나타내는 후퇴위치로 이동시킴으로써, 파지부재(821)를 2점쇄선으로 나타내는 파지위치로부터 실선으로 나타내는 개방위치로 작동시킨다. 그 결과, 사용전 절삭 블레이드(635)는 블레이드 장착부재(633)의 플랜지(633b)와 체결너트(638)에 의해 끼워져 고정된다(사용전 절삭 블레이드 고정공정).If the above-described cutting blade mounting process is performed, the moving means 95 is operated to retract the first cutting blade holding means 91a, and the positioning means 75 is operated to show the same as shown in FIG. Nut rotation means (81) of the first fastening nut detachment mechanism (8a) and the second fastening nut detachment mechanism (8b), and the nut holding means (82) gripping the fastening nut (638) in the fastening nut removal process. It is located in the blade detachable position opposite to the rotating spindle 632. Subsequently, the movement means 83 is operated to advance the nut rotation movement means 81 and the nut holding means 82 toward the rotation spindles 632. As a result, the fastening nut 638 held by the nut gripping means 82 abuts on the cylindrical mounting portion 633a of the blade mounting member 633. Thus, when the electric motor 812 is driven in reverse rotation, the rotational force is transmitted to the fastening nut 638 through the four rotary motion pins 814 of the nut rotary motion means 81, so that the fastening nut 638 is attached to the mounting portion ( It is screwed and fastened to the male screw 633c formed in 633a. Then, the air cylinder 823 of the nut gripping means 82 is operated to move the actuating ring 822 from the working position indicated by the double-dashed line in FIG. 9 to the retracted position indicated by the solid line, thereby moving the gripping member 821 to two. Operate from the holding position indicated by the dashed line to the open position indicated by the solid line. As a result, the cutting blade 635 before use is fitted and fixed by the flange 633b and the fastening nut 638 of the blade mounting member 633 (pre-cutting blade fixing step).

상술한 사용전 절삭 블레이드 고정공정을 실시하였다면, 이동수단(83)을 작동하여 너트회전운동수단(81) 및 너트파지수단(82)을 후퇴시키는 동시에, 위치결정수단(75)을 작동하여 가동기판(73)을 한 쌍의 안내레일(722,722)에 따라 이동시켜, 제1 절삭 블레이드 착탈기구(9a) 및 제2 절삭 블레이드 착탈기구(9b)의 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)(사용후 절삭 블레이드를 파지하고 있음)을 제1 블레이드 랙(71a) 및 제2 블레이드 랙(71b)에서의 제2 블레이드 수용수단(713)과 대향하는 사용후 블레이드 수납위치에 위치시킨다. 이어서, 도 20에 나타내는 바와 같이, 이동수단(95)을 작동하여 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)을 제2 블레이드 수용수단(713)을 향하여 전진시키고, 위치결정부재(913b)를 제2 블레이드 수용수단(713)의 지지축(713a)의 다른 쪽 끝면에 설치된 걸어맞춤 오목부(713d)에 걸어맞추는 동시에, 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)에 파지된 사용후 절삭 블레이드(636)를 제2 블레이드 수용수단(713)의 지지축(713a)에 끼워맞추어 수용한다. 그리고, 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)에 의한 사용후 절삭 블레이드(636)의 파지를 해제한다(사용후 절삭 블레이드 수용공정). 이어서, 이동수단(95)을 작동하여 제2 절삭 블레이드 파지수단(91b)을 후퇴시켜, 도 8에 나타내는 상태로 되돌린다.If the above-described cutting blade fixing process is performed, the moving means 83 is operated to retract the nut rotation movement means 81 and the nut holding means 82, and the positioning means 75 are operated to operate the substrate. The second cutting blade gripping means 91b (post-cutting) of the first cutting blade detachment mechanism 9a and the second cutting blade attachment mechanism 9b are moved by moving the 73 along the pair of guide rails 722 and 722. The blade is held) at the used blade receiving position opposite to the second blade receiving means 713 in the first blade rack 71a and the second blade rack 71b. Next, as shown in FIG. 20, the moving means 95 is operated to advance the 2nd cutting blade holding means 91b toward the 2nd blade accommodating means 713, and the positioning member 913b is moved to a 2nd blade. Engaging the engaging recess 713d provided on the other end surface of the support shaft 713a of the receiving means 713, and simultaneously removing the used cutting blade 636 held by the second cutting blade holding means 91b. 2 is fitted to the support shaft (713a) of the blade receiving means (713). Then, the holding of the used cutting blade 636 by the second cutting blade holding means 91b is released (the used cutting blade accommodation step). Next, the moving means 95 is operated to retreat the second cutting blade holding means 91b to return to the state shown in FIG. 8.

이상과 같이, 도시한 실시예에서의 절삭 블레이드 교환장치는, 한 쌍의 안내레일(722,722)에 따라 이동가능한 가동기판(73)에 제1 체결너트 착탈기구(8a) 및 제2 체결너트 착탈기구(8b)와 제1 절삭 블레이드 착탈기구(9a) 및 제2 절삭 블레이드 착탈기구(9b)가 설치되며, 위치결정수단(75)에 의해 블레이드 착탈위치와 사용전 블레이드 수취위치와 사용후 블레이드 수납위치에 각각 위치되기 때문에, 각도 어긋남이 없고, 제1 체결너트 착탈기구(8a) 및 제2 체결너트 착탈기구(8b)와 제1 절삭 블레이드 착탈기구(9a) 및 제2 절삭 블레이드 착탈기구(9b)를 회전스핀들(632)의 축심과 대향하는 위치에 높은 정밀도로 위치시킬 수 있다.As described above, the cutting blade exchanger in the illustrated embodiment is the first fastening nut detachment mechanism 8a and the second fastening nut detachment mechanism to the movable substrate 73 movable along the pair of guide rails 722 and 722. 8b, the first cutting blade detachment mechanism 9a and the second cutting blade detachment mechanism 9b are installed, and the blade detachment position, the blade receiving position before use and the blade storage position after use by the positioning means 75; Since there is no angular shift, the first fastening nut detachment mechanism 8a, the second fastening nut detachment mechanism 8b, the first cutting blade detachment mechanism 9a, and the second cutting blade detachment mechanism 9b are located at Can be positioned with high precision in a position opposite to the axis of the rotary spindle 632.

이상과 같이, 제1 절삭수단(6a)의 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637) 또는 제2 절삭수단(6b)의 절삭 블레이드(635)의 숫돌부(637)에 크랙 등이 발생하여 파손의 전조가 있는 경우에는, 제1 AE신호 검출센서(600a) 또는 제2 AE신호 검출센 서(600b)로부터의 AE신호에 따라 제어수단(10)이 크랙 등의 발생을 판정하여, 제1 절삭수단(6a) 또는 제2 절삭수단(6b)에 의한 작업을 정지시키고 절삭 블레이드(635)를 교환하기 때문에, 파손된 절삭 블레이드에 의해 절삭작업을 계속함으로써, 피가공물에 발생하는 틈이나 손상을 미연에 방지할 수 있다.As described above, cracks or the like occur in the grinding part 637 of the cutting blade 635 of the first cutting means 6a or the grinding part 637 of the cutting blade 635 of the second cutting means 6b. In the case where there is a preceding signal, the control means 10 determines the occurrence of a crack or the like according to the AE signal from the first AE signal detection sensor 600a or the second AE signal detection sensor 600b. Since the work by the means 6a or the second cutting means 6b is stopped and the cutting blades 635 are replaced, the cutting work is continued by the broken cutting blades, thereby preventing any gaps or damages to the workpiece. To prevent it.

이상, 본 발명을 도시한 실시예에 따라 설명하였는데, 본 발명은 실시예만으로 한정되지 않으며, 본 발명의 취지 범위에서 여러 가지로 변형이 가능하다. 예를 들어, 도시한 실시예에서는 제1 절삭수단(6a)과 제2 절삭수단(6b)을 구비한 절삭장치의 예를 나타내었지만, 절삭수단이 1개인 경우에는 AE신호 검출센서를 척테이블에 장착하여도 된다.As mentioned above, although this invention was demonstrated according to the Example shown, this invention is not limited only to an Example, A various deformation | transformation is possible in the meaning of this invention. For example, in the illustrated embodiment, an example of a cutting device having a first cutting means 6a and a second cutting means 6b is shown. However, when there is only one cutting means, the AE signal detection sensor is attached to the chuck table. You may attach it.

본 발명에 따른 절삭장치는, 파손검출수단이 절삭 블레이드의 파손상태를 검출하면, 절삭수단의 작동을 정지시키고 절삭 블레이드 교환기구의 작동을 제어하여 절삭 블레이드를 교환하기 때문에, 파손된 절삭 블레이드로 절삭작업을 계속함으로써 피가공물에 틈이나 손상이 방지하는 것을 미연에 방지할 수 있다.In the cutting device according to the present invention, when the damage detecting means detects a broken state of the cutting blade, the cutting device is stopped and the cutting blade is controlled to control the operation of the cutting blade changing mechanism so that the cutting blade is replaced. By continuing the work, it is possible to prevent the gap or damage to the workpiece.

Claims

Cutting including a chuck table holding a work piece, cutting means detachably mounted with a cutting blade for cutting the work held in the chuck table, and a cutting blade exchange mechanism for exchanging the cutting blade of the cutting means. In the device,

Breakage detection means for detecting a breakage state of the cutting blade, and control means for controlling the cutting means and the cutting blade exchange mechanism in accordance with a detection signal from the breakage detection means,

And the control means stops the operation of the cutting means and controls the operation of the cutting blade exchange mechanism when the damage detection means detects a damage state of the cutting blade.

The method of claim 1,

And the damage detecting means is an AE signal detection sensor for detecting an AE signal generated during cutting by the cutting blade.