KR20070075297A - 정밀한 압력센서 - Google Patents
정밀한 압력센서 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20070075297A KR20070075297A KR1020070002093A KR20070002093A KR20070075297A KR 20070075297 A KR20070075297 A KR 20070075297A KR 1020070002093 A KR1020070002093 A KR 1020070002093A KR 20070002093 A KR20070002093 A KR 20070002093A KR 20070075297 A KR20070075297 A KR 20070075297A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- magnet
- pole
- diaphragm
- magnetic flux
- flux density
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/007—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in inductance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/14—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means involving the displacement of magnets, e.g. electromagnets
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
Description
Claims (10)
- 압력센서에 있어서,자석이 사각 형상으로 구성되고,N극과 S극이 사각형의 모서리로부터 대각선 방향으로 대각선을 따라 sin파형으로 착자되고 , 자석의 극표면에 일정거리 이격되어 자석의 극표면에 평행하는 직선을 따라 선형 자속밀도를 갖는 자석으로 상대변위를 정확히 측정하여 압력을 검출하는 것을 특징으로 하는 정밀한 압력센서.
- 제1항에 있어서,상기 자석의 구성부인 N극 또는 S극의 착자된 자석밀도가 높은 부분 끝단 지점에서, 극 표면으로부터 수직으로 일정 거리 이격된 지점이 센서로 측정하는 시작점이 되고,착자된 자석밀도가 낮은 부분 끝단 지점에서, 극 표면으로부터 수직으로 시작점과 동일하게 일정 거리 이격된 지점이 센서로 측정하는 끝지점이 되며,상기 시작점으로부터 극표면과 평행한 직선(시작점과 끝지점을 있는 선)을 따라 끝지점까지 자석의 자속밀도가 극 표면에 평행하는 직선을 따라 이동하는 거리변화에 대응하여 선형의 자속밀도를 방출하는 선형 자속밀도를 갖는 자석으로, 자석의 극표면에 평행하는 직선을 따르는 상대변위를 정확히 측정하여 상대적인 압력을 검출하는 것을 특징으로 하는 정밀한 압력센서.
- 제2항에 있어서,상기 자석의 구성부인 N극 또는 S극의 자속밀도가 극표면에 따라 반복적으로 변화된 일정한 간격을 유지하며 평행하게 이동하여 센서로 측정한 자속밀도가 이동 거리 대비 선형성을 최적으로 유지하는 직선을 찾아, 자석의 극표면에 최적거리 이격되어 자석의 극표면에 평행하는 직선을 따라 선형 자속밀도를 갖는 자석으로 자석의 극표면에 평행하는 직선을 따르는 최적의 위치에 선서를 위치시켜 거리변화에 따르는 상대변위를 정확히 측정하여 압력을 검출하는 것을 특징으로 하는 정밀한 압력센서.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 압력센서는 다이어프램에 결합된 다이어프램 지지대와,상기 다이어프램 지지대에 자석의 N극 또는 S극이 극 표면이 다이어프램의 작동방향과 수직으로 배치되며,상기 자석의 위치를 감지하는 자기센서는 자석의 N극 또는 S극이 극 표면과 평행하고 하판케이스 하부면에 수직으로 배치되고,상기 다이어프램 지지대 하부와 하판케이스 하부면 사이에 설치된 스프링과.상기 하판케이스와 상판케이스로 형성된 내부공간을 두개의 격실로 구분하는 다이어프램과.상기 두개의 격실 중 상부격실에 연통된 양압 연결부와 하부격실과 연통된 음압 연 결부와,상기 다이어프램의 상하 움직임에 따라 다이어프램 지지대와 결합된 자석의 절대 상대변위를 정확히 측정하여 압력을 검출하는 것을 특징으로 하는 정밀한 압력센서.
- 상대적인 거리의 변화를 측정하기위한 센서에 사용되는 자석에 있어서,자석이 좌측면 보다 우측면이 높으며, 윗면은 사선으로 형성된 사각형 형상으로 구성되고,N극 또는 S극의 착자된 자석밀도가 높은 부분 끝단 지점에서, 극 표면으로부터 수직으로 일정 거리 이격된 지점이 센서로 측정하는 시작점이 되고,착자된 자석밀도가 낮은 부분 끝단 지점에서, 극 표면으로부터 수직으로 시작점과 일정 거리 이격된 지점이 센서로 측정하는 끝지점이 되고,상기 시작점과 끝지점을 연결하는 직선을 따라 선형 자속밀도를 갖는 자석으로 상대변위를 정확히 측정하여 압력을 검출하는 것을 특징으로 하는 정밀한 압력센서.
- 제5항에 있어서,상기 자석의 구성부인 N극과 S극이 좌측면대 우측면의 폭이 1 대 1 ~ 4의 비율을 갖는 금속에 착자되며,상기 시작점과 끝지점을 연결하는 직선을 따라 선형 자속밀도를 갖는 자석으로 상대변위를 정확히 측정하여 압력을 검출하는 것을 특징으로 하는 정밀한 압력센서.
- 제6항에 있어서,상기 자석의 자속밀도가 N극 또는 S극의 극표면에 따라 선형으로 변형되며,상기 시작점과 끝지점을 연결하는 직선을 따라 선형 자속밀도를 갖는 자석으로 상대변위를 정확히 측정하여 정밀한 압력을 검출하는 것을 특징으로 하는 정밀한 압력센서.
- 제7항에 있어서,상기 자석의 자속밀도가 N극 또는 S극의 착자된 자석밀도가 높은 부분 끝단 지점에서, 극 표면으로부터 수직으로 일정 거리 이격된 지점이 센서로 측정하는 시작점이 되고,착자된 자석밀도가 낮은 부분 끝단 지점에서, 극 표면으로부터 수직으로 시작점과 동일하게 일정 거리 이격된 지점이 센서로 측정하는 끝지점이 되며,상기 시작점으로부터 극표면과 평행한 직선(시작점과 끝지점을 있는 선)을 따라 끝지점까지 자석의 자속밀도가 성형성을 갖는가를 측정하고,극 표면으로부터 수직으로 일정 거리 이격된 상기 끝지점으로부터 점차 이격 거리를 절대높이가 시작점과 같은 높이가 되도록 반복하여 자석이 증가시키며 자석의 자속밀도가 성형성을 갖는가를 측정하고, 가장 자속밀도가 선형성을 유지하는 끝지점을 찾아내어,상기 시작점과 찾아낸 끝지점의 위치에 자속밀도를 측정하는 센서를 위치하도록 하 는 것을 특징으로 하는 정밀한 압력센서.
- 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 압력센서는 다이어프램에 결합된 다이어프램 지지대와,상기 다이어프램 지지대에 자석의 N극 또는 S극이 극 표면이 다이어프램의 작동방향과 수직으로 배치되며,상기 자석의 위치를 감지하는 자기센서는 자석의 N극 또는 S극이 극 표면과 평행하고 하판케이스 하부면에 수직으로 배치되고,상기 다이어프램 지지대 하부와 하판케이스 하부면 사이에 설치된 스프링과.상기 하판케이스와 상판케이스로 형성된 내부공간을 두개의 격실로 구분하는 다이어프램과.상기 두개의 격실 중 상부격실에 연통된 양압 연결부와 하부격실과 연통된 음압 연결부와,상기 다이어프램의 상하 움직임에 따라 다이어프램 지지대와 결합된 자석의 상대변위를 정확히 측정하여 압력을 검출하는 것을 특징으로 하는 정밀한 압력센서.
- 압력센서는 다이어프램에 결합된 다이어프램 지지대와,상기 다이어프램 지지대에 자석의 자속밀도가 N극 또는 S극의 극표면에 대하여 일정간격 이격되어 있으며, 상기 시작점과 끝지점을 연결하는 직선을 따라 선형 자속밀도를 갖는, 자석의 극 표면이 다이어프램의 작동방향과 수직으로 배치되며,상기 자석의 위치를 감지하는 자기센서는 자석의 N극 또는 S극이 극 표면과 평행하고 하판케이스 하부면에 수직으로 배치되고,상기 다이어프램 지지대 하부와 하판케이스 하부면 사이에 설치된 스프링과.상기 하판케이스와 상판케이스로 형성된 내부공간을 두개의 격실로 구분하는 다이어프램과.상기 두개의 격실 중 상부격실에 연통된 양압 연결부와 하부격실과 연통된 음압 연결부와,상기 다이어프램의 상하 움직임에 따라 다이어프램 지지대와 결합된 자석의 상대변위를 정확히 측정하여 압력을 검출하는 것을 특징으로 하는 정밀한 압력센서.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/278,924 US7677108B2 (en) | 2006-01-10 | 2007-01-09 | Accurate pressure sensor |
PCT/KR2007/000135 WO2007081131A1 (en) | 2006-01-10 | 2007-01-09 | Accurate pressure sensor |
CN201210102623.0A CN102706508B (zh) | 2006-01-10 | 2007-01-09 | 精确的压力传感器 |
EP07708448.1A EP1977207B1 (en) | 2006-01-10 | 2007-01-09 | Accurate pressure sensor |
DK07708448.1T DK1977207T3 (en) | 2006-01-10 | 2007-01-09 | Precise pressure sensor |
PCT/KR2008/000083 WO2008084946A1 (en) | 2007-01-08 | 2008-01-07 | Accurate pressure sensor |
JP2009544804A JP2010515880A (ja) | 2007-01-08 | 2008-01-07 | 精密圧力センサ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060002768 | 2006-01-10 | ||
KR20060002768 | 2006-01-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070075297A true KR20070075297A (ko) | 2007-07-18 |
KR100856489B1 KR100856489B1 (ko) | 2008-09-04 |
Family
ID=38500443
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070002093A KR100856489B1 (ko) | 2006-01-10 | 2007-01-08 | 정밀한 압력센서 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100856489B1 (ko) |
CN (2) | CN101395458A (ko) |
DK (1) | DK1977207T3 (ko) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010003135A1 (de) * | 2010-03-23 | 2011-09-29 | Robert Bosch Gmbh | Magnetgeberanordnung für magnetbasierte Positionssensoren mit verbesserter Geometrie zur präziseren Positionsermittlung |
DE102011119323A1 (de) * | 2010-11-29 | 2012-05-31 | Marquardt Mechatronik Gmbh | Sensor |
JP5720962B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2015-05-20 | 株式会社デンソー | 位置検出装置 |
CN106643817A (zh) * | 2015-11-03 | 2017-05-10 | 宇能电科技股份有限公司 | 具有磁性感测机制的运动传感器以及环境传感器 |
CN106287889B (zh) * | 2016-09-30 | 2018-11-06 | 宁波方太厨具有限公司 | 吸油烟机的风机转速自动调节方法及实现该方法的调节装置 |
CN112539870A (zh) * | 2019-09-23 | 2021-03-23 | 克莱斯工业公司 | 气体供应调控器 |
CN112325953B (zh) * | 2020-10-14 | 2023-06-02 | 北京电子科技职业学院 | 一种基于磁性液体的内腔可调式微流量传感器 |
CN114544328A (zh) * | 2022-03-01 | 2022-05-27 | 昆山国显光电有限公司 | 一种柔性屏卷曲测量装置及系统 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3470129B2 (ja) * | 1995-12-20 | 2003-11-25 | 株式会社鷺宮製作所 | ホール素子を用いた圧力センサ及びその組立方法 |
US6522130B1 (en) | 1998-07-20 | 2003-02-18 | Uqm Technologies, Inc. | Accurate rotor position sensor and method using magnet and sensors mounted adjacent to the magnet and motor |
US6396259B1 (en) | 1999-02-24 | 2002-05-28 | Nartron Corporation | Electronic throttle control position sensor |
CA2468613C (en) | 2003-05-29 | 2010-01-19 | Dwyer Instruments, Inc. | Pressure gage and switch |
US6992478B2 (en) | 2003-12-22 | 2006-01-31 | Cts Corporation | Combination hall effect position sensor and switch |
JP2005295774A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Nidec Shibaura Corp | モータの回転子 |
-
2007
- 2007-01-08 KR KR1020070002093A patent/KR100856489B1/ko active IP Right Grant
- 2007-01-09 CN CNA2007800075241A patent/CN101395458A/zh active Pending
- 2007-01-09 CN CN201210102623.0A patent/CN102706508B/zh active Active
- 2007-01-09 DK DK07708448.1T patent/DK1977207T3/en active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102706508A (zh) | 2012-10-03 |
CN101395458A (zh) | 2009-03-25 |
KR100856489B1 (ko) | 2008-09-04 |
CN102706508B (zh) | 2014-12-24 |
DK1977207T3 (en) | 2017-06-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100856489B1 (ko) | 정밀한 압력센서 | |
US7677108B2 (en) | Accurate pressure sensor | |
JP5027191B2 (ja) | 圧力センサ及びその調整方法 | |
US7521922B2 (en) | Linear position sensor | |
US9279866B2 (en) | Magnetic sensor | |
CN109556647B (zh) | 一种隧道磁阻效应传感器的低频噪声抑制装置及方法 | |
RU2650092C2 (ru) | Устройство обнаружения магнитного материала | |
CN1637379A (zh) | 磁线性位置传感器 | |
KR102030857B1 (ko) | 위치 센서 | |
KR100660564B1 (ko) | 선형 자속밀도를 갖는 자석 | |
WO2017209170A1 (ja) | 液面検出装置 | |
KR102079417B1 (ko) | 각진 콜렉터를 사용한 위치 측정 | |
JP2012098190A (ja) | 直線変位検出装置 | |
KR20100004743A (ko) | 정밀한 압력센서 | |
CN102723164A (zh) | 一种凹槽形永磁体及包括该永磁体的磁传感器 | |
JP2000258449A (ja) | 磁気式加速度センサ及び加速度検知装置 | |
JP2010515880A (ja) | 精密圧力センサ | |
US7123003B2 (en) | Sensor assembly and functional unit for detecting the position of a moveable magnet | |
CA3098170C (en) | Sensor, method and system for detecting one or more properties of a magnetic field | |
JP2006513415A (ja) | 位置決定装置 | |
KR101311206B1 (ko) | 선형 자기력을 갖는 마그넷, 마그넷 제작방법 및 마그넷 제작장치 | |
JP2007139670A (ja) | 加速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
J201 | Request for trial against refusal decision | ||
AMND | Amendment | ||
J501 | Disposition of invalidation of trial | ||
E801 | Decision on dismissal of amendment | ||
B601 | Maintenance of original decision after re-examination before a trial | ||
J301 | Trial decision |
Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20080324 Effective date: 20080805 |
|
S901 | Examination by remand of revocation | ||
GRNO | Decision to grant (after opposition) | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130103 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140218 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150225 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160211 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170619 Year of fee payment: 10 |