KR20070071897A

KR20070071897A - 평판표시소자 및 그 제조 방법 및 합착 방법

Info

Publication number: KR20070071897A
Application number: KR1020050135736A
Authority: KR
Inventors: 유충근
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2005-12-30
Filing date: 2005-12-30
Publication date: 2007-07-04

Abstract

본 발명은 상부 어레이 기판과 하부 어레이 기판이 이격되는 것을 방지하여 평판표시소자의 수명을 증가시킬 수 있는 평판표시소자 및 그 제조 방법 및 그 합착 방법에 관한 것이다.

본 발명의 평판표시소자는 제1 기판 상에 장변이 단변의 상부에 위치하도록 형성된 역 사다리꼴 형상의 제1 체결부와; 상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 장변이 단변의 상부에 위치하도록 형성된 역 사다리꼴 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 구비한다.

Description

평판표시소자 및 그 제조 방법 및 합착 방법{FLAT DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING AND JOINING THE SAME}

도 1은 일반적인 유기 전계 발광 표시소자를 등가적으로 나타내는 회로도.

도 2는 도 1에 도시된 유기 전계 발광 표시소자의 어레이 영역을 나타내는 단면도.

도 3은 실런트에 의해 합착된 종래의 유기 전계 발광 표시소자를 나타내는 단면도.

도 4는 내부 압력 증가로 인하여 상부 어레이 기판과 하부 어레이 기판이 이격된 종래의 유기 전계 발광 표시소자를 나타내는 단면도.

도 5는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 전계 발광 표시소자를 나타내는 단면도.

도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 전계 발광 표시소자의 상부 어레이 기판의 제조 방법을 단계적으로 나타내는 단면도.

도 7은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 전계 발광 표시소자를 나타내는 단면도.

도 8은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 유기 전계 발광 표시소자를 나타내는 단면도.

도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 전계 발광 표시소자의 합착 방법을 단계적으로 나타내는 사시도.

도 10a 내지 10c는 본 발명의 실시 예들에 따른 체결부가 형성되는 위치를 설명하기 위한 평면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1, 101, 201, 301, 401 : 상부 어레이 기판

2, 102, 202, 302 : 상부 기판 4, 104, 204, 304 : 애노드 전극

5, 105, 205, 305 : 버스 전극 6, 106, 206, 306 : 절연막

8, 108, 208, 308 : 격벽 10, 110, 210, 310 : 유기 발광층

12, 112, 212, 312 : 캐소드 전극

21, 121, 212, 312 : 하부 어레이 기판

22, 122, 222, 322 : 하부 기판 24, 124, 224, 324 : 게이트 전극

26, 126, 226, 326 : 소스 전극 28, 128, 228, 328 : 드레인 전극

30, 130, 230, 330 : 보호막 32, 132, 232, 332 : 접촉 전극

34, 134, 234, 334 : 드레인 접촉홀 36, 136, 236, 336 : 게이트 절연막

50, 150, 250, 350 : 스페이서 52 : 실런트

60 : 서브 화소 62 : 셀 구동부

115, 215, 315, 415 : 상부 체결부 155, 255, 355 : 하부 체결부

본 발명은 유기 전계 발광 표시소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로 특히, 상부 어레이 기판과 하부 어레이 기판이 이격되는 것을 방지하여 유기 전계 발광 표시소자의 수명을 증가시킬 수 있는 유기 전계 발광 표시소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판표시소자들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시소자는 액정표시소자(Liquid Crystal Display : 이하, “LCD”라 함), 전계 방출 표시소자(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하, “PDP”라 함) 및 유기 전계 발광(Electro-luminescence:이하, “EL”이라 함) 표시소자 등이 있다.

이들 중 PDP는 구조와 제조공정이 단순하기 때문에 경박 단소하면서도 대화면화에 가장 유리한 표시장치로 주목받고 있지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. 이에 비하여, 스위칭 소자로 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, “TFT”라 함)가 적용된 액티브 매트릭스 LCD는 반도체 공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어렵고 백라이트 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있다. 또한, LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학 소자들에 의해 광 손실이 많고 시야각이 좁은 특성이 있다.

이에 비하여, EL 표시소자는 발광층의 재료에 따라 무기 EL 표시소자와 유기 EL 표시소자로 대별되며 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 무기 EL 표시소자는 유기 EL 표시소자에 비하여 전력소모가 크고 고휘도를 얻을 수 없으며 R(Red), G(Green), B(Blue)의 다양한 색을 발광시킬 수 없다. 반면에, 유기 EL 표시소자는 수십 볼트의 낮은 직류 전압에서 구동됨과 아울러, 빠른 응답속도를 가지고, 고휘도를 얻을 수 있으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 있어 차세대 평판 디스플레이소자에 적합하다.

유기 EL 표시소자는 도 1에 도시된 바와 같이 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)의 교차로 정의된 영역에 각각 배열된 서브 화소(60)를 구비한다. 서브 화소(60)는 게이트 라인(GL)에 게이트 펄스가 공급될 때 데이터 라인(DL)으로부터의 데이터 신호를 공급받아 그 데이터 신호에 상응하는 빛으로 발광함으로써 화상을 표시한다.

이를 위하여, 서브 화소(60)는 공급 전압원(VDD)에 애노드 전극이 접속된 EL 셀(OEL)과, 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)과 기저 전압원(GND)에 접속되고 EL 셀(OEL)의 캐소드 전극에 접속된 셀 구동부(62)를 구비한다. 셀 구동부(62)는 스위칭용 TFT(T1)와, 구동용 TFT(T2) 및 커패시터(C)를 구비한다.

스위칭용 TFT(T1)는 게이트 라인(GL)에 게이트 펄스가 공급되면 턴-온(Turn-On)되어 데이터 라인(DL)에 공급된 데이터 신호를 노드(N)에 공급한다. 노드(N)에 공급된 데이터 신호는 커패시터(C)에 충전됨과 아울러 구동용 TFT(T2)의 게이트 단 자로 공급된다. 구동용 TFT(T2)는 게이트 단자로 공급되는 데이터 신호에 응답하여 공급 전압원(VDD)으로부터 EL 셀(OEL)에 공급되는 전류량(I)을 제어함으로써 EL 셀(OEL)의 발광량을 조절하게 된다. 그리고, 스위칭용 TFT(T1)가 턴-오프(Turn-Off)되더라도 커패시터(C)에 충전된 데이터 신호가 방전되므로 구동용 TFT(T1)는 다음 프레임의 데이터 신호가 공급될 때까지 공급 전압원(VDD)으로부터의 전류(I)를 EL 셀(OEL)에 공급하여 EL 셀(OEL)이 발광을 유지하게 한다.

도 2는 도 1에 도시된 서브 화소를 자세히 나타내는 단면도이다.

도 2를 참조하면, 유기 EL 표시소자는 EL 셀이 형성되는 상부 어레이 기판(1)과, EL 셀을 구동시키기 위한 구동용 TFT(T2)가 형성되는 하부 어레이 기판(21)과, EL 셀의 캐소드 전극(12)과 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(28)을 접속시키는 스페이서(50)를 구비한다.

상부 어레이 기판(1)은 상부 기판(2) 위에 유기 발광층(10)이 그 사이에 형성되며 절연막(6)에 의하여 절연되는 애노드 전극(4) 및 캐소드 전극(12)을 포함하는 EL 셀과, EL 셀의 분리를 위한 격벽(8)과, 애노드 전극(4)의 높은 저항을 보상하기 위한 버스 전극(5)을 구비한다. 그리고, 상부 어레이 기판(1)의 캐소드 전극(12)과 하부 어레이 기판(21)의 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(28)을 접속시키기 위한 스페이서(50)를 구비한다.

상부 어레이 기판(1)에 있어서, 애노드 전극(4)은 상부 기판(2) 위에 ITO(Indium Tin Oxide) 등의 투명 도전성 물질이 전면 증착되어 형성된다. 이 애노드 전극(4)에는 구동 전압원(VDD, 도 1 참조)으로부터 정공을 방출시키기 위한 구동 신호가 공급된다.

버스 전극(5)은 상부 기판(2) 위에 유기 발광층(10)이 형성될 영역을 노출시키도록 형성된다. 버스 전극(5)은 애노드 전극(4)과 접속되어 애노드 전극(4)의 높은 저항을 보상한다.

캐소드 전극(12)은 격벽(8)의 의하여 분리된 EL 셀 영역에 형성된다. 이 캐소드 전극(12)에는 구동용 TFT(T2)를 통해 전자를 방출시키기 위한 구동 신호가 공급된다. 이때, 캐소드 전극(12)은 스페이스(50)를 감싸도록 형성되어 하부 어레이 기판(21)의 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(28)과 접속된다.

격벽(8)은 인접한 EL 셀을 구분하게 형성되어 유기 발광층(10) 및 캐소드 전극(12)을 분리한다.

유기 발광층(10)은 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층 및 전자 주입층이 적층되어 형성된다. 이 유기 발광층(10)은 애노드 전극(4)과 캐소드 전극(12)에 구동 신호가 공급되면 애노드 전극(4) 및 캐소드 전극(12)에서 방출된 정공과 전자가 발광층 내에서 재결합함으로써 가시광을 발생한다. 이때, 발생된 가시광이 투명전극인 애노드 전극(4)을 통하여 외부로 나오게 됨으로써 유기 EL 표시소자는 소정의 화상 또는 영상을 표시한다.

스페이서(50)는 하부 어레이 기판(21)의 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(28)과 중첩되는 상부 기판(2) 위에 형성되어 하부 어레이 기판(21)의 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(28)과 EL 셀의 캐소드 전극(12)을 접속킨다.

하부 어레이 기판(21)은 스위칭용 TFT(T1, 도 1 참조)와, 스위칭용 TFT의 드 레인 전극에 게이트 전극(24)이 접속되는 구동용 TFT(T2)를 구비한다.

하부 어레이 기판(21)에 있어서, 스위칭용 TFT의 게이트 전극은 게이트 라인과 접속되고, 소스 전극은 데이터 라인에 접속되며 드레인 전극은 구동용 TFT(T2)의 게이트 전극(24)과 접속된다.

구동용 TFT(T2)의 게이트 전극(24)은 게이트 라인과 함께 하부 기판(22) 위에 형성되며, 구동용 TFT(T2)의 게이트 전극(24)과 게이트 절연막(36)을 사이에 두고 중첩되는 반도체층(38)과, 반도체층(38)을 사이에 두고 데이터 라인과 함께 형성되는 구동용 TFT(T2)의 소스 전극(26) 및 드레인 전극(28)을 구비한다. 구동용 TFT(T2)의 소스 전극(26)은 기저 전압원(GND, 도 1 참조)과 접속되며 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(28)은 상부 어레이 기판(1)의 캐소드 전극(12)과 접속된다. 이때, 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(28)은 보호막(30)을 관통하는 드레인 접촉홀(34)을 통하여 보호막(30) 위에 노출된 접촉 전극(32)을 통하여 상부 어레이 기판(1)의 캐소드 전극(12)과 접속된다.

한편, 유기 EL 표시소자는 도 3에 도시된 바와 같이 유기 EL 표시소자의 최외곽에 도포되는 실런트(Sealant)(52)에 의해 합착된다. 유기 EL 표시소자는 진공 상태(10^-3 torr)에서 합착되며 따라서, 유기 EL 표시소자의 내부는 합착 초기에 진공 상태(10^-3 torr)가 된다.

그러나, 유기 EL 표시소자를 장시간 구동하게 되면 유기 EL 표시소자의 내부는 실런트(52)의 합착력의 감소로 외부로부터 수분 또는 외부 대기가 침투하여 그 압력이 증가하게 된다. 이러한 유기 EL 표시소자의 내부 압력의 증가는 유기 EL 표시소자의 내부 진공도를 떨어뜨리며, 이로 인하여 유기 EL 표시소자의 상부 어레이 기판(1)과 하부 어레이 기판(21)은 도 4에 도시된 바와 같이 이격된다.

상부 어레이 기판(1)과 하부 어레이 기판(21)의 이격은 상부 어레이 기판(1)의 스페이서(50)와 하부 어레이 기판(21)의 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(28)이 접속되지 않는 컨택 불량 영역(A)을 발생시킨다. 이 컨택 불량 영역(A)은 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(28)으로부터 공급되는 제어 신호를 캐소드 전극(12)으로 공급할 수 없게 함으로써 유기 EL 표시소자에 암점을 발생시킨다. 이 결과, 유기 EL 표시소자는 그 화질이 저하되며, 화질 저하로 인하여 유기 EL 표시소자는 그 수명이 단축되는 단점을 가진다.

따라서, 본 발명의 목적은 상부 어레이 기판과 하부 어레이 기판이 이격되는 것을 방지하여 유기 전계 발광 표시소자의 수명을 증가시킬 수 있는 유기 전계 발광 표시소자 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시소자는 제1 기판 상에 장변이 단변의 상부에 위치하도록 형성된 역 사다리꼴 형상의 제1 체결부와; 상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 장변이 단변의 상부에 위치하도록 형성된 역 사다리꼴 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 구비한다.

본 발명의 실시 예에 따른 평판표시소자는 제1 기판 상에 수평부가 수직부의 상부에 위치하도록 형성된 역 “T”자 형상의 제1 체결부와; 상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부의 수평부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 수평부가 수직부보다 상부에 위치하도록 형성된 역 “T”자 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 구비한다.

본 발명의 실시 예에 따른 평판표시소자는 제1 기판 상에 수평부가 수직부보다 상부에 위치하도록 형성된 역 “T”자 형상의 제1 체결부와; 상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 수평부가 수직부보다 상부에 위치하도록 형성된 “ㄴ”자 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 구비한다.

상기 한 쌍의 제2 체결부의 수평부는 서로 마주본다.

상기 제1 체결부는 상기 제1 기판의 중앙부에 위치하며, 상기 한 쌍의 제2 체결부는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 합착시에 상기 제1 체결부가 형성된 위치와 중첩되는 상기 제2 기판 상의 영역에 형성된다.

상기 제1 체결부는 상기 제1 기판의 네 모서리에 위치하며, 상기 한 쌍의 제2 체결부는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 합착시에 상기 제1 체결부가 형성된 위치와 중첩되는 상기 제2 기판 상의 영역에 형성된다.

상기 제1 체결부는 상기 제1 기판의 중앙부 및 네 모서리에 위치하며, 상기 한 쌍의 제2 체결부는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 합착시에 상기 제1 체결부가 형성된 위치와 중첩되는 상기 제2 기판 상의 영역에 형성된다.

상기 제1 기판은 상기 제1 기판 상에 박막 트랜지스터가 형성된 박막 트랜지스터 어레이를 포함하며, 상기 제2 기판은 상기 제2 기판 상에 전계 발광 셀 어레이가 형성된 전계 발광 셀 어레이 기판을 포함한다.

상기 제1 기판은 상기 제1 기판 상에 전계 발광 셀 어레이가 형성된 전계 발광 셀 어레이 기판을 포함하며, 상기 제2 기판은 상기 제2 기판 상에 박막 트랜지스터가 형성된 박막 트랜지스터 어레이를 포함한다.

상기 전계 발광 셀 어레이 기판은, 기판 위에 형성된 애노드 전극과; 상기 애노드 전극 위에 유기 발광층이 형성될 영역을 노출시키는 절연막과; 상기 절연막 위에 상기 유기 발광층 및 캐소드 전극이 형성될 셀 영역을 분리하는 격벽과; 상기 격벽에 의하여 분리된 상기 셀 영역에 형성된 적색, 녹색, 청색 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 위에 형성된 상기 캐소드 전극을 구비한다.

상기 박막 트랜지스터 어레이 기판은, 상기 캐소드 전극과 접속되는 드레인 전극을 포함하는 구동용 박막 트랜지스터와; 상기 구동용 박막 트랜지스터의 게이트 전극에 드레인 전극이 접속된 스위칭용 박막 트랜지스터를 구비한다.

상기 전계 발광 셀 어레이 기판은, 상기 구동용 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 중첩되는 영역에 형성된 스페이서 더 구비한다.

상기 캐소드 전극은 상기 스페이서를 감싸도록 형성되어 상기 구동용 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 접속된다.

본 발명의 실시 예에 따른 평판표시소자는 제1 기판 상에 제1 두께와 상기 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께를 가지는 기둥 모양으로 형성된 제1 체결부와; 상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부가 형합할 수 있는 공간을 가지도록 마주보며 이격되며 제3 두께와 상기 제3 두께보다 두꺼운 제4 두께를 가지는 기둥 모양으로 형성된 한 쌍의 제2 체결부를 구비한다.

상기 제1 체결부는 상기 제1 두께가 단변으로 상기 제1 기판에 부착되며, 상기 제2 체결부는 상기 제3 두께가 단변으로 상기 제2 기판에 부착되고 상기 제2 체결부가 이격된 공간에 상기 제1 체결부가 형합된다.

본 발명의 실시 예에 따른 평판표시소자의 제조 방법은 제1 기판 상에 장변이 단변보다 상부에 위치하는 역 사다리꼴 형상의 제1 체결부를 형성하는 단계와; 상기 제1 체결부가 형성된 상기 제1 기판 상에 다수의 제1 박막 패턴들을 형성하는 단계와; 상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 장변이 단변보다 상부에 위치하는 역 사다리꼴 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 형성하는 단계와; 상기 제2 체결부가 형성된 상기 제2 기판 상에 다수의 제2 박막 패턴들을 형성하는 단계를 포함한다.

본 발명의 실시 예에 따른 평판표시소자의 제조 방법은 제1 기판 상에 수평부가 수직부보다 상부에 위치하는 역 “T”자 형상의 제1 체결부를 형성하는 단계와; 상기 제1 체결부가 형성된 상기 제1 기판 상에 다수의 제1 박막 패턴들을 형성하는 단계와; 상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부의 수평부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 수평부가 수직부보다 상부에 위치하 는 역 “T”자 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 형성하는 단계와; 상기 제2 체결부가 형성된 상기 제2 기판 상에 다수의 제2 박막 패턴들을 형성하는 단계를 포함한다.

본 발명의 실시 예에 따른 평판표시소자의 제조 방법은 제1 기판 상에 수평부가 수직부보다 상부에 위치하는 역 “T”자 형상의 제1 체결부를 형성하는 단계와; 상기 제1 체결부가 형성된 상기 제1 기판 상에 다수의 제1 박막 패턴들을 형성하는 단계와; 상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 수평부가 수직부보다 상부에 위치하는 “ㄴ”자 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 형성하는 단계와; 상기 제2 체결부가 형성된 상기 제2 기판 상에 다수의 제2 박막 패턴들을 형성하는 단계를 포함한다.

상기 제1 체결부를 형성하는 단계는, 상기 제1 기판 상에 상기 무기 또는 유기 절연물질로 제1 체결부의 수직부를 형성하는 단계와; 상기 제1 체결부의 수직부가 형성된 제1 기판 상에 상기 무기 또는 유기 절연물질로 상기 제1 체결부의 수평부를 형성하는 단계를 포함한다.

상기 한 쌍의 제2 체결부를 형성하는 단계는, 상기 제2 기판 상에 상기 무기 또는 유기 절연물질로 한 쌍의 제2 체결부의 수직부를 형성하는 단계와; 상기 한 쌍의 제2 체결부의 수직부가 형성된 제2 기판 상에 상기 무기 또는 유기 절연물질로 상기 한 쌍의 제2 체결부의 수평부를 형성하는 단계를 포함한다.

상기 한 쌍의 제2 체결부의 수평부는 서로 마주보도록 형성된다.

상기 한 쌍의 제2 체결부를 형성하는 단계는, 상기 제2 기판 상에 상기 포토레지스트를 전면 형성하는 단계와; 상기 포토레지스트를 포토리쏘그래피 공정으로 패터닝하여 상기 한 쌍의 제2 체결부의 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와; 상기 한 쌍의 제2 체결부의 포토레지스트 패턴을 습식 식각 공정으로 패터닝하는 단계를 포함한다.

제1 기판 상에 제1 두께와 상기 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께를 가지는 기둥 모양으로 제1 체결부를 형성하는 단계와;

본 발명의 실시 예에 따른 평판표시소자의 제조 방법은 상기 제1 체결부가 형성된 상기 제1 기판 상에 다수의 제1 박막 패턴들을 형성하는 단계와; 상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부를 형합할 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 제3 두께와 상기 제3 두께보다 두꺼운 제4 두께를 가지는 기둥 모양으로 한 쌍의 제2 체결부를 형성하는 단계와; 상기 제2 체결부가 형성된 상기 제2 기판 상에 다수의 제2 박막 패턴들을 형성하는 단계를 포함한다.

본 발명의 실시 예에 따른 평판표시소자의 합착 방법은 제1 두께와 상기 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께부를 가지는 기둥 형상의 제1 체결부가 형성된 제1 기판과, 상기 제1 체결부가 형합할 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 제3 두께와 상기 제3 두께보다 두꺼운 제4 두께를 가지는 기둥 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 가지는 평판표시소자의 합착 방법에 있어서, 상기 제1 체결부가 상기 제1 기판의 상부에 위치하고 상기 한 쌍의 제2 체결부가 상기 제2 기판의 하부에 위치하도록 상기 제1 및 제2 기판을 제1 정렬하는 단계와; 상기 제1 체결부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 형합될 수 있도록 상기 제1 기판 옆에 상기 제2 기판과 제2 정렬하는 단계와; 상기 제2 기판을 상기 제1 체결부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 형합될 수 있는 높이까지 상승시키는 단계와; 상기 제1 체결부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 형합되도록 상기 제2 기판을 수평 이동시키는 단계와; 상기 제1 기판 상에 형성된 다수의 제1 박막들 중 어느 하나와 상기 제2 기판 상에 형성된 다수의 제2 박막들 중 어느 하나가 접촉되도록 상기 제2 기판을 하강시키는 단계를 포함한다.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.

이하, 도 5 내지 도 10c를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.

도 5는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자를 나타내는 단면도이다.

도 5를 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자는 EL 셀이 형성되는 상부 어레이 기판(101)과, EL 셀을 구동시키기 위한 구동용 TFT(T2)가 형성되는 하부 어레이 기판(121)과, EL 셀의 캐소드 전극(112)과 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(128)을 접속시키는 스페이서(150)를 구비한다. 또한, 본 발명의 유기 EL 표시소자는 상부 어레이 기판(101)에 형성된 제1 상부 체결부(115a)및 제2 상부 체결부(115b)와, 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)와 대응되는 하부 어레이 기판(121)에 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)와 체결 가능하도록 형성된 하부 체결부(155)를 구비한다.

상부 어레이 기판(101)은 상부 기판(102) 위에 유기 발광층(110)이 그 사이에 형성되며 절연막(106)에 의하여 절연되는 애노드 전극(104) 및 캐소드 전극 (112)을 포함하는 EL 셀과, EL 셀의 분리를 위한 격벽(108)과, 애노드 전극(104)의 높은 저항을 보상하기 위한 버스 전극(105)을 구비한다. 그리고, 상부 어레이 기판(101)의 캐소드 전극(112)과 하부 어레이 기판(121)의 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(128)을 접속시키기 위한 스페이서(150)를 구비한다.

상부 어레이 기판(101)에 있어서, 애노드 전극(104)은 상부 기판(102) 위에 ITO(Indium Tin Oxide) 등의 투명 도전성 물질이 전면 증착되어 형성된다. 이 애노드 전극(104)에는 구동 전압원(VDD, 도 1 참조)으로부터 정공을 방출시키기 위한 구동 신호가 공급된다.

버스 전극(105)은 상부 기판(102) 위에 유기 발광층(110)이 형성될 영역을 노출시키도록 형성된다. 버스 전극(105)은 애노드 전극(104)과 접속되어 애노드 전극(104)의 높은 저항을 보상한다.

캐소드 전극(112)은 격벽(108)의 의하여 분리된 EL 셀 영역에 형성된다. 이 캐소드 전극(112)에는 구동용 TFT(T2)를 통해 전자를 방출시키기 위한 구동 신호가 공급된다. 이때, 캐소드 전극(112)은 스페이스(150)를 감싸도록 형성되어 하부 어레이 기판(121)의 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(128)과 접속된다.

격벽(108)은 인접한 EL 셀을 구분하게 형성되어 유기 발광층(110) 및 캐소드 전극(112)을 분리한다.

유기 발광층(110)은 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층 및 전자 주입층이 적층되어 형성된다. 이 유기 발광층(110)은 애노드 전극(104)과 캐소드 전극(112)에 구동 신호가 공급되면 애노드 전극(104) 및 캐소드 전극(112)에서 방출된 정공과 전자가 발광층 내에서 재결합함으로써 가시광을 발생한다. 이때, 발생된 가시광이 투명전극인 애노드 전극(104)을 통하여 외부로 나오게 됨으로써 유기 EL 표시소자는 소정의 화상 또는 영상을 표시한다.

스페이서(150)는 하부 어레이 기판(121)의 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(128)과 중첩되는 상부 기판(102) 위에 형성되어 하부 어레이 기판(121)의 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(128)과 EL 셀의 캐소드 전극(112)을 접속킨다.

하부 어레이 기판(121)은 스위칭용 TFT(T1, 도 1 참조)와, 스위칭용 TFT의 드레인 전극에 게이트 전극(124)이 접속되는 구동용 TFT(T2)를 구비한다.

하부 어레이 기판(121)에 있어서, 스위칭용 TFT의 게이트 전극은 게이트 라인과 접속되고, 소스 전극은 데이터 라인에 접속되며 드레인 전극은 구동용 TFT(T2)의 게이트 전극(124)과 접속된다.

구동용 TFT(T2)의 게이트 전극(124)은 게이트 라인과 함께 하부 기판(122) 위에 형성되며, 구동용 TFT(T2)의 게이트 전극(124)과 게이트 절연막(136)을 사이에 두고 중첩되는 반도체층(138)과, 반도체층(138)을 사이에 두고 데이터 라인과 함께 형성되는 구동용 TFT(T2)의 소스 전극(126) 및 드레인 전극(128)을 구비한다. 구동용 TFT(T2)의 소스 전극(126)은 기저 전압원(GND, 도 1 참조)과 접속되며 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(128)은 상부 어레이 기판(101)의 캐소드 전극(112)과 접속된다. 이때, 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(128)은 보호막(130)을 관통하는 드레인 접촉홀(134)을 통하여 보호막(130) 위에 노출된 접촉 전극(132)을 통하여 상부 어레이 기판(101)의 캐소드 전극(112)과 접속된다.

제1 상부 체결부(115a) 및 제2 상부 체결부(115b)는 그들(115a, 115b) 사이에 하부 체결부(155)가 체결될 수 있도록 일정 거리를 두고 서로 이격됨과 아울러 장변이 상부에 위치하는 역 사다리꼴 형상으로 상부 어레이 기판(101) 위에 형성된다. 하부 체결부(155)는 상부 어레이 기판(101)과 하부 어레이 기판(121)의 합착시에 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)의 사이에 삽입되며 장변이 상부에 위치하는 역 사다리꼴 형상으로 하부 어레이 기판(121) 위에 형성된다. 그리고, 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)와 하부 체결부(155)는 하부 체결부(155)가 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)의 사이에 삽입되어 그들(115a, 115b, 155)의 장변이 서로 엇갈리도록 체결된다. 따라서, 상부 어레이 기판(101)과 하부 어레이 기판(121)은 서로 엇갈린 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)의 장변과 하부 체결부(155) 장변에 의하여 서로 이격되는 것이 방지된다.

여기서, 본 발명의 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)와 하부 체결부(155)는 하부 체결부(155)가 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)의 사이에 삽입되어 체결되었을 때 상부 어레이 기판(101)에 형성되는 하나의 EL 셀의 크기와 동일한 크기를 가지거나, 또는 하부 어레기 기판(121)에 형성되는 서브 화소(60, 도 1 참조)의 크기와 동일한 크기를 가진다.

이와 같이, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자는 하부 체결부(155)가 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)의 사이에 삽입되며 그들(115a, 115b, 155)의 장변이 서로 엇갈리도록 체결되는 역 사다리꼴 형상의 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)가 형성된 상부 어레이 기판(101)과 하부 체결부(155)가 형성된 하부 어레이 기판(121)을 구비한다. 그리고, 상부 어레이 기판(101)과 하부 어레이 기판(121)의 합착시에 하부 체결부(155)가 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)의 사이에 삽입되며 그들(115a, 115b, 155)의 장변을 서로 엇갈리도록 체결시킨다.

따라서, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자는 유기 EL 표시소자의 내부 압력 감소로 인하여 그 내부 진공도가 깨어지더라도 장변이 서로 엇갈리도록 체결된 역 사다리꼴 형상의 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)와 하부 체결부(155)에 의하여 상부 어레이 기판(101)과 하부 어레이 기판(121)의 이격이 방지된다. 이에 따라, 본 발명의 유기 EL 표시소자는 상부 어레이 기판(101)에 형성된 캐소드 전극(112)으로 하부 어레이 기판(121)에 형성된 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(128)으로부터 공급되는 제어 신호를 안정적으로 공급할 수 있으며 이 결과, 본 발명의 유기 EL 표시소자는 유기 EL 표시소자를 장시간 구동한 경우에도 그 화질이 저하되지 않음으로써 그 수명을 증가시킬 수 있다.

이하, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 상부 어레이 기판의 제조 방법을 도 6a 내지 6e를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 6a를 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 상부 어레이 기판의 제조 방법은 상부 기판(102) 위에 무기 또는 유기 절연 물질을 전면 도포한 후 패터닝함으로써 장변이 상부에 위치하는 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)를 형성한다. 이때, 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)는 별도의 공정에서 마련되는 하부 체결부(155, 도 5 참조)와의 체결시에 하부 체결부(155)가 제1 상부 체결부(115a)와 제2 상부 체결부(115b) 사이에 삽입될 수 있도록 일정한 거리를 두 고 이격되도록 형성된다.

그런 다음, 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)가 형성된 상부 기판(102) 위에 몰리브덴(Mo) 또는 크롬(Cr) 중 어느 하나의 금속 물질을 전면 증착한 후 패터닝함으로써 유기 발광층(110)이 형성될 영역을 노출시키는 버스 전극(105)을 형성하고, ITO 등의 투명 도전성 물질을 전면 증착한 후 패터닝함으로써 도 6b와 같이 애노드 전극(104)을 형성한다.

이어서, 상부 기판(102) 위에 절연 물질을 전면 도포한 후 패터닝함으로써 도 6c와 같이 애노드 전극(104) 위에 유기 발광층(110)이 형성될 영역을 노출시키는 절연막(106)을 형성한다.

그리고, 절연막(106)이 형성된 상부 기판(102) 위에 격벽 물질을 전면 도포한 후 패터닝함으로써 격벽(108)을 형성하고, 절연 물질을 전면 도포한 후 패터닝함으로써 도 6d와 같이 하부 어레이 기판(121)의 구동용 TFT의 드레인 전극(128)과 중첩되는 영역에 스페이서(150)를 형성한다.

그 후, 스페이서(150)가 형성된 상부 기판(102) 위에 유기 발광 물질을 마스크를 이용하여 증착하여 유기 발광층(110)을 형성하며 연이어, 캐소드 전극(112) 을 도 6e와 같이 전극 물질의 전면 증착을 통하여 형성한다. 이때, 캐소드 전극(112)은 스페이스(150)를 감싸도록 형성되어 하부 어레이 기판(121)의 구동용 TFT의 드레인 전극(128)과 접속된다.

그리고, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조 방법은 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)의 사이에 삽입되며, 제1 및 제2 상부 체결부 (115a, 115b)와 그 장변이 서로 엇갈리도록 체결될 수 있는 하부 체결부(155)가 형성된 하부 어레이 기판을 별도의 공정에서 마련한다. 그런 다음, 하부 체결부(155)가 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)의 사이에 삽입되며 그들(115a, 115b, 155)의 장변을 서로 엇갈리게 체결되도록 상부 어레이 기판(101)과 하부 어레이 기판(121)을 합착시킴으로써 도 5와 같은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자를 완성한다.

도 7은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자를 나타내는 단면도이다.

도 7을 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자는 제1 및 제2 상부 체결부(215a, 215b)와 하부 체결부(255)가 역 “T”자 형상으로 형성되는 것을 제외하고는 본 발명의 제1 실시 예와 동일하다.

이러한 역 “T”자 형상의 체결부(215a, 215b, 255)들은 수직으로 형성되는 체결부(215a, 215b, 255)들의 수직부와 수평으로 형성되는 체결부(215a, 215b, 255)들의 수평부를 구비한다. 제1 상부 체결부(215a) 및 제2 상부 체결부(215b)는 그들(215a, 215b) 사이에 하부 체결부(255)의 수평부가 삽입될 수 있도록 일정한 거리를 두고 서로 이격되며, 하부 체결부(255)의 수평부는 제1 및 제2 상부 체결부(215a, 215b)의 사이에 삽입되도록 형성된다. 그리고, 제1 및 제2 상부 체결부(215a, 215b)와 하부 체결부(255)는 제1 및 제2 상부 체결부(215a, 215b)의 수평부와 하부 체결부(255)의 수평부가 서로 엇갈리도록 체결된다.

따라서, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 상부 어레이 기 판(201)과 하부 어레이 기판(221)은 서로 엇갈린 역 “T”자 형상의 제1 및 제2 상부 체결부(215a, 215b)의 수평부와 하부 체결부(255) 수평부에 의하여 서로 이격되는 것이 방지된다. 또한, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자는 제1 실시 예와 비교하여 수평부가 엇갈림에 의하여 더욱 견고하게 체결됨으로써 상부 어레이 기판(201)과 하부 어레이 기판(221)이 이격되는 것이 더욱 방지된다.

이와 같이, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자는 유기 EL 표시소자의 내부 압력 감소로 인하여 그 내부 진공도가 깨어지더라도 수평부가 서로 엇갈리도록 체결된 역 “T”자 형상의 제1 및 제2 상부 체결부(215a, 215b)와 하부 체결부(255)에 의하여 상부 어레이 기판(201)과 하부 어레이 기판(221)의 이격이 방지된다. 이에 따라, 본 발명의 유기 EL 표시소자는 상부 어레이 기판(201)에 형성된 캐소드 전극(212)으로 하부 어레이 기판(221)에 형성된 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(228)으로부터 공급되는 제어 신호를 안정적으로 공급할 수 있으며 이 결과, 본 발명의 유기 EL 표시소자는 유기 EL 표시소자를 장시간 구동한 경우에도 그 화질이 저하되지 않음으로써 그 수명을 증가시킬 수 있다.

여기서, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 역 “T”자 형상의 체결부(215a, 215b, 255)들은 수직부와 수평부를 구비하기 위하여 수직부를 형성하기 위한 패터닝과, 수직부 위에 수평부를 형성하기 위한 별도의 패터닝을 이용하여 형성할 수 있다.

도 8은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자를 나타내는 단면도이다.

도 8을 참조하면, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자는 본 발명의 제2 실시 예와 비교하여 제1 및 제2 상부 체결부(315a, 315b)가 “ㄴ”자 형상으로 형성된다. 이때, 제1 및 제2 상부 체결부(315a, 315b)는 수평부가 서로 마주보도록 배치되며, 제1 상부 체결부(315a) 및 제2 상부 체결부(315b)는 그들(315a, 315b) 사이에 역 “T”자 형상의 하부 체결부(355)의 수평부가 삽입될 수 있도록 일정한 거리를 두고 서로 이격된다. 그리고, 제1 및 제2 상부 체결부(315a, 315b)와 하부 체결부(355)는 제1 및 제2 상부 체결부(315a, 315b)의 수평부와 하부 체결부(355)의 수평부가 서로 엇갈리도록 체결된다.

따라서, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 상부 어레이 기판(301)과 하부 어레이 기판(321)은 서로 엇갈린 “ㄴ”자 형상의 제1 및 제2 상부 체결부(315a, 315b)의 수평부와 역 “T”자 형상의 하부 체결부(255) 수평부에 의하여 서로 이격되는 것이 방지된다. 또한, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자는 제1 실시 예와 비교하여 수평부가 엇갈림에 의하여 더욱 견고하게 체결됨으로써 상부 어레이 기판(301)과 하부 어레이 기판(321)이 이격되는 것이 더욱 방지된다. 뿐만 아니라, 본 발명의 제2 실시 예와 비교하여 “ㄴ”자 형상의 상부 체결부(315a, 315b)들은 포토레지스트의 습식 식각에 의한 언더 컷(Under Cut)을 이용하여 한번의 패터닝으로 형성할 수 있으므로 공정 수를 감소시킬 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자는 유기 EL 표시소자의 내부 압력 감소로 인하여 그 내부 진공도가 깨어지더라도 수평부가 서로 엇갈리도록 체결된 “ㄴ”자 형상의 제1 및 제2 상부 체결부(315a, 315b)와 역 “T” 자 형상의 하부 체결부(355)에 의하여 상부 어레이 기판(301)과 하부 어레이 기판(321)의 이격이 방지된다. 이에 따라, 본 발명의 유기 EL 표시소자는 상부 어레이 기판(301)에 형성된 캐소드 전극(312)으로 하부 어레이 기판(321)에 형성된 구동용 TFT(T2)의 드레인 전극(328)으로부터 공급되는 제어 신호를 안정적으로 공급할 수 있으며 이 결과, 본 발명의 유기 EL 표시소자는 유기 EL 표시소자를 장시간 구동한 경우에도 그 화질이 저하되지 않음으로써 그 수명을 증가시킬 수 있다.

본 발명의 제2 및 제3 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조 방법은 전술한 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조 방법에서 제1 및 제2 상부 체결부와 하부 체결부를 형성하는 방법을 제외하고는 동일하다.

그리고, 본 발명의 실시 예들에 따른 유기 EL 표시소자는 상부 어레이 기판과 하부 어레이 기판이 서로 엇갈리는 체결부를 구비함에 따라 일반적인 유기 EL 표시소자의 상부 어레이 기판과 하부 어레이 기판을 합착하는 방법과는 다른 방법으로 합착한다.

이하, 도 9a 내지 9c를 참조하여 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 합착 방법을 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 합착 방법은 서로 다른 공정에서 역 사다리꼴 형상의 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)가 형성된 상부 어레이 기판(101)과 역 사다리꼴 형상의 하부 체결부(155)가 형성된 하부 어레이 기판(121)을 마련한다. 그리고, 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)가 상부 어레이 기판(101)의 하부에 위치하고 하부 체결부(155)가 제2 어레이 기판(121)의 상부 에 위치한 후, 상부 어레이 기판(201)의 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b)가 이격된 공간에 하부 어레이 기판(121)의 하부 체결부(155)가 삽입될 수 있도록 상부 어레이 기판(101) 옆에 하부 어레이 기판(121)을 수평 정렬시킨다. 그 후, 도 9a에 도시된 바와 같이 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b) 사이에 하부 체결부(155)가 삽입될 수 있도록 상부 어레이 기판(101)을 수직 상승시킨다.

그런 다음, 상부 어레이 기판(101)의 제1 및 제2 상부 체결부(115a, 115b) 사이에 하부 어레이 기판(121)의 하부 체결부(155)가 삽입되도록 상부 어레이 기판(101)을 도 9b와 같이 수평 이동 이동시킨다.

이어서, 상부 어레이 기판(101)의 스페이서(150)가 하부 어레이 기판(121)의 드레인 전극(128)과 접촉되도록 상부 어레이 기판(101)을 도 9c와 같이 수직 하강시켜 상부 어레이 기판(101)과 하부 어레이 기판(121)을 합착시킨다.

본 발명의 제2 및 제3 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 합착 방법은 전술한 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 합착 방법과 동일하므로 이를 생략하기로 한다.

그리고, 본 발명의 실시 예들에 따른 유기 EL 표시소자의 상부 어레이 기판(401)에 형성되는 제1 및 제2 상부 체결부(415a, 415b)는 도 10a에 도시된 바와 같이 상부 어레이 기판(401)의 중앙부에 형성되거나, 또는 도 10b에 도시된 바와 같이 상부 어레이 기판(401)의 네 모서리에 형성된다. 그리고, 도 10c에 도시된 바와 같이 상부 어레이 기판(401)의 중앙부 및 네 모서리에 모두 형성될 수도 있다. 이때, 하부 어레이 기판에 형성되는 하부 체결부는 상부 어레이 기판(401)에 형성 되는 제1 및 제2 상부 체결부 사이에 삽입가능한 하부 어레이 기판 위에 형성된다.

여기서, 본 발명의 실시 예들에 따른 유기 EL 표시소자는 전술한 바와 달리 하부 어레이 기판에 제1 및 제2 하부 체결부를 구비하며, 상부 어레이 기판에 제1 및 제2 하부 체결부 사이에 삽입가능한 상부 체결부를 구비할 수도 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예들에 따른 유기 EL 표시소자 및 그 제조 방법은 제1 및 제2 상부 체결부가 형성된 상부 어레이 기판과 하부 체결부가 형성된 하부 어레이 기판을 구비한다. 그리고, 상부 어레이 기판과 하부 어레이 기판의 합착시에 하부 체결부가 제1 및 제2 상부 체결부의 사이에 삽입되며 상부 체결부의 장변과 하부 체결부의 장변을 서로 엇갈리도록 체결시킨다.

따라서, 본 발명의 실시 예들에 따른 유기 EL 표시소자는 유기 EL 표시소자의 내부 압력 감소로 인하여 그 내부 진공도가 깨어지더라도 장변이 서로 엇갈리도록 체결된 제1 및 제2 상부 체결부와 하부 체결부에 의하여 상부 어레이 기판과 하부 어레이 기판의 이격이 방지된다. 이에 따라, 본 발명의 유기 EL 표시소자는 상부 어레이 기판에 형성된 캐소드 전극으로 하부 어레이 기판에 형성된 구동용 TFT의 드레인 전극으로부터 공급되는 제어 신호를 안정적으로 공급할 수 있으며 이 결과, 본 발명의 유기 EL 표시소자는 유기 EL 표시소자를 장시간 구동한 경우에도 그 화질이 저하되지 않음으로써 그 수명을 증가시킬 수 있다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하 는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims

제1 기판 상에 장변이 단변의 상부에 위치하도록 형성된 역 사다리꼴 형상의 제1 체결부와; 상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 장변이 단변의 상부에 위치하도록 형성된 역 사다리꼴 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자.
제1 기판 상에 수평부가 수직부의 상부에 위치하도록 형성된 역 “T”자 형상의 제1 체결부와; 상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부의 수평부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 수평부가 수직부보다 상부에 위치하도록 형성된 역 “T”자 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자.
제1 기판 상에 수평부가 수직부보다 상부에 위치하도록 형성된 역 “T”자 형상의 제1 체결부와;

상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 수평부가 수직부보다 상부에 위치하도록 형성된 “ㄴ”자 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자.
제 3 항에 있어서,

상기 한 쌍의 제2 체결부의 수평부는 서로 마주보는 것을 특징으로 하는 평판표시소자.
제 1 항 또는 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 제1 체결부는 상기 제1 기판의 중앙부에 위치하며,

상기 한 쌍의 제2 체결부는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 합착시에 상기 제1 체결부가 형성된 위치와 중첩되는 상기 제2 기판 상의 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 평판 표시소자.
제 1 항 또는 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 제1 체결부는 상기 제1 기판의 네 모서리에 위치하며,

상기 한 쌍의 제2 체결부는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 합착시에 상기 제1 체결부가 형성된 위치와 중첩되는 상기 제2 기판 상의 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 평판 표시소자.
제 1 항 또는 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 제1 체결부는 상기 제1 기판의 중앙부 및 네 모서리에 위치하며,

상기 한 쌍의 제2 체결부는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 합착시에 상기 제1 체결부가 형성된 위치와 중첩되는 상기 제2 기판 상의 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 평판 표시소자.
제 1 항 또는 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 제1 기판은 상기 제1 기판 상에 박막 트랜지스터가 형성된 박막 트랜지스터 어레이를 포함하며,

상기 제2 기판은 상기 제2 기판 상에 전계 발광 셀 어레이가 형성된 전계 발광 셀 어레이 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자.
제 1 항 또는 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 제1 기판은 상기 제1 기판 상에 전계 발광 셀 어레이가 형성된 전계 발광 셀 어레이 기판을 포함하며,

상기 제2 기판은 상기 제2 기판 상에 박막 트랜지스터가 형성된 박막 트랜지스터 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자.
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,

상기 전계 발광 셀 어레이 기판은,

기판 위에 형성된 애노드 전극과;

상기 애노드 전극 위에 유기 발광층이 형성될 영역을 노출시키는 절연막과;

상기 절연막 위에 상기 유기 발광층 및 캐소드 전극이 형성될 셀 영역을 분리하는 격벽과;

상기 격벽에 의하여 분리된 상기 셀 영역에 형성된 적색, 녹색, 청색 유기 발광층과;

상기 유기 발광층 위에 형성된 상기 캐소드 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자.
제 10 항에 있어서,

상기 박막 트랜지스터 어레이 기판은,

상기 캐소드 전극과 접속되는 드레인 전극을 포함하는 구동용 박막 트랜지스터와;

상기 구동용 박막 트랜지스터의 게이트 전극에 드레인 전극이 접속된 스위칭용 박막 트랜지스터를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자.
제 11 항에 있어서,

상기 전계 발광 셀 어레이 기판은,

상기 구동용 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 중첩되는 영역에 형성된 스페이서 더 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자.
제 12 항에 있어서,

상기 캐소드 전극은 상기 스페이서를 감싸도록 형성되어 상기 구동용 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 접속되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자.
제1 기판 상에 제1 두께와 상기 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께를 가지는 기둥 모양으로 형성된 제1 체결부와;

상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부가 형합할 수 있는 공간을 가지도록 마주보며 이격되며 제3 두께와 상기 제3 두께보다 두꺼운 제4 두께를 가지는 기둥 모양으로 형성된 한 쌍의 제2 체결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자.
제 14 항에 있어서,

상기 제1 체결부는 상기 제1 두께가 단변으로 상기 제1 기판에 부착되며, 상기 제2 체결부는 상기 제3 두께가 단변으로 상기 제2 기판에 부착되고 상기 제2 체결부가 이격된 공간에 상기 제1 체결부가 형합되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자.
제1 기판 상에 장변이 단변보다 상부에 위치하는 역 사다리꼴 형상의 제1 체결부를 형성하는 단계와;

상기 제1 체결부가 형성된 상기 제1 기판 상에 다수의 제1 박막 패턴들을 형성하는 단계와;

상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 장변이 단변보다 상부에 위치하는 역 사다리꼴 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 형성하는 단계와;

상기 제2 체결부가 형성된 상기 제2 기판 상에 다수의 제2 박막 패턴들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제1 기판 상에 수평부가 수직부보다 상부에 위치하는 역 “T”자 형상의 제1 체결부를 형성하는 단계와;

상기 제1 체결부가 형성된 상기 제1 기판 상에 다수의 제1 박막 패턴들을 형성하는 단계와;

상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부의 수평부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 수평부가 수직부보다 상부에 위치하는 역 “T”자 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 형성하는 단계와;

상기 제2 체결부가 형성된 상기 제2 기판 상에 다수의 제2 박막 패턴들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제1 기판 상에 수평부가 수직부보다 상부에 위치하는 역 “T”자 형상의 제1 체결부를 형성하는 단계와;

상기 제1 체결부가 형성된 상기 제1 기판 상에 다수의 제1 박막 패턴들을 형성하는 단계와;

상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 수평부가 수직부보다 상부에 위치하는 “ㄴ”자 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 형성하는 단계와;

상기 제2 체결부가 형성된 상기 제2 기판 상에 다수의 제2 박막 패턴들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 17 항 또는 제 18 항에 있어서,

상기 제1 체결부를 형성하는 단계는,

상기 제1 기판 상에 상기 무기 또는 유기 절연물질로 제1 체결부의 수직부를 형성하는 단계와;

상기 제1 체결부의 수직부가 형성된 제1 기판 상에 상기 무기 또는 유기 절연물질로 상기 제1 체결부의 수평부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 17 항에 있어서,

상기 한 쌍의 제2 체결부를 형성하는 단계는,

상기 제2 기판 상에 상기 무기 또는 유기 절연물질로 한 쌍의 제2 체결부의 수직부를 형성하는 단계와;

상기 한 쌍의 제2 체결부의 수직부가 형성된 제2 기판 상에 상기 무기 또는 유기 절연물질로 상기 한 쌍의 제2 체결부의 수평부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 18 항에 있어서,

상기 한 쌍의 제2 체결부의 수평부는 서로 마주보도록 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 21 항에 있어서,

상기 한 쌍의 제2 체결부를 형성하는 단계는,

상기 제2 기판 상에 상기 포토레지스트를 전면 형성하는 단계와;

상기 포토레지스트를 포토리쏘그래피 공정으로 패터닝하여 상기 한 쌍의 제2 체결부의 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와;

상기 한 쌍의 제2 체결부의 포토레지스트 패턴을 습식 식각 공정으로 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 16 항 또는 제 17 항 또는 제 18 항에 있어서,

상기 제1 기판 상에 다수의 제1 박막 패턴들을 형성하는 단계는,

기판 위에 애노드 전극을 형성하는 단계와;

상기 애노드 전극 위에 유기 발광층이 형성될 영역을 노출시키는 절연막을 형성하는 단계와;

상기 절연막 위에 상기 유기 발광층 및 캐소드 전극이 형성될 셀 영역을 분리하는 격벽을 형성하는 단계와;

상기 격벽에 의하여 분리된 상기 셀 영역에 형성된 적색, 녹색, 청색 유기 발광층을 형성하는 단계와;

상기 유기 발광층 위에 상기 캐소드 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 23 항에 있어서,

상기 제2 기판 상에 다수의 제2 박막 패턴들을 형성하는 단계는,

상기 캐소드 전극과 접속되는 드레인 전극을 포함하는 구동용 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와;

상기 구동용 박막 트랜지스터의 게이트 전극에 드레인 전극이 접속된 스위칭용 박막 트랜지스터를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 24 항에 있어서,

상기 제1 기판 상에 다수의 제1 박막 패턴들을 형성하는 단계는,

상기 구동용 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 중첩되는 영역에 스페이서 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 25 항에 있어서,

상기 캐소드 전극은 상기 스페이서를 감싸도록 형성되어 상기 구동용 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 접속되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 16 항 또는 제 17 항 또는 제 18 항에 있어서,

상기 제2 기판 상에 다수의 제2 박막 패턴들을 형성하는 단계는,

기판 위에 애노드 전극을 형성하는 단계와;

상기 애노드 전극 위에 유기 발광층이 형성될 영역을 노출시키는 절연막을 형성하는 단계와;

상기 절연막 위에 상기 유기 발광층 및 캐소드 전극이 형성될 셀 영역을 분리하는 격벽을 형성하는 단계와;

상기 격벽에 의하여 분리된 상기 셀 영역에 형성된 적색, 녹색, 청색 유기 발광층을 형성하는 단계와;

상기 유기 발광층 위에 상기 캐소드 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 27 항에 있어서,

상기 제1 기판 상에 다수의 제1 박막 패턴들을 형성하는 단계는,

상기 캐소드 전극과 접속되는 드레인 전극을 포함하는 구동용 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와;

상기 구동용 박막 트랜지스터의 게이트 전극에 드레인 전극이 접속된 스위칭용 박막 트랜지스터를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 28 항에 있어서,

상기 제2 기판 상에 다수의 제2 박막 패턴들을 형성하는 단계는,

상기 구동용 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 중첩되는 영역에 스페이서 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 29 항에 있어서,

상기 캐소드 전극은 상기 스페이서를 감싸도록 형성되어 상기 구동용 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 접속되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제1 기판 상에 제1 두께와 상기 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께를 가지는 기둥 모양으로 제1 체결부를 형성하는 단계와;

상기 제1 체결부가 형성된 상기 제1 기판 상에 다수의 제1 박막 패턴들을 형성하는 단계와;

상기 제1 기판과 대면하는 제2 기판 상에 상기 제1 체결부를 형합할 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 제3 두께와 상기 제3 두께보다 두꺼운 제4 두께를 가지는 기둥 모양으로 한 쌍의 제2 체결부를 형성하는 단계와;

상기 제2 체결부가 형성된 상기 제2 기판 상에 다수의 제2 박막 패턴들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
제 31 항에 있어서,

상기 제1 체결부는 상기 제1 두께가 단변으로 상기 제1 기판에 부착되며, 상기 제2 체결부는 상기 제3 두께가 단변으로 상기 제2 기판에 부착되고 상기 제2 체결부가 이격된 공간에 상기 제1 체결부가 형합되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조 방법.
장변이 단변의 상부에 위치하는 역 사다리꼴 형상의 제1 체결부가 형성된 제1 기판과 상기 제1 체결부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되고 장변이 단변의 상부에 위치하는 역 사다리꼴 형상의 한 쌍의 제2 체결부가 형성되는 제2 기판을 가지는 평판표시소자의 합착 방법에 있어서,

상기 제1 체결부가 상기 제1 기판의 상부에 위치하고 상기 한 쌍의 제2 체결부가 상기 제2 기판의 하부에 위치하도록 상기 제1 및 제2 기판을 제1 정렬하는 단계와;

상기 제1 체결부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 삽입될 수 있도록 상기 제1 기판 옆에 상기 제2 기판과 제2 정렬하는 단계와;

상기 제2 기판을 상기 제1 체결부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 삽입될 수 있는 높이까지 상승시키는 단계와;

상기 제1 체결부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 삽입되도록 상기 제2 기판을 수평 이동시키는 단계와;

상기 제1 기판 상에 형성된 다수의 제1 박막들 중 어느 하나와 상기 제2 기판 상에 형성된 다수의 제2 박막들 중 어느 하나가 접촉되도록 상기 제2 기판을 하강시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 합착 방법.
수평부가 수직부의 상부에 위치하는 역 “T”자 형상의 제1 체결부가 형성된 제1 기판과 상기 제1 체결부의 수평부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되고 수평부가 수직부의 상부에 위치하는 역 “T”자 형상의 한 쌍의 제2 체결부가 형성되는 제2 기판을 가지는 평판표시소자의 합착 방법에 있어서,

상기 제1 체결부가 상기 제1 기판의 상부에 위치하고 상기 한 쌍의 제2 체결부가 상기 제2 기판의 하부에 위치하도록 상기 제1 및 제2 기판을 제1 정렬하는 단계와;

상기 제1 체결부의 수평부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 삽입될 수 있도록 상기 제1 기판 옆에 상기 제2 기판과 제2 정렬하는 단계와;

상기 제2 기판을 상기 제1 체결부의 수평부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 삽입될 수 있는 높이까지 상승시키는 단계와;

상기 제1 체결부의 수평부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 삽입되도록 상기 제2 기판을 수평 이동시키는 단계와;

상기 제1 기판 상에 형성된 다수의 제1 박막들 중 어느 하나와 상기 제2 기판 상에 형성된 다수의 제2 박막들 중 어느 하나가 접촉되도록 상기 제2 기판을 하강시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 합착 방법.
수평부가 수직부의 상부에 위치하는 역 “T”자 형상의 제1 체결부가 형성된 제1 기판과 상기 제1 체결부의 수평부가 삽입될 수 있는 공간을 가지도록 이격되고 서로 마주보는 수평부가 수직부의 상부에 위치하는 “ㄴ”자 형상의 한 쌍의 제2 체결부가 형성되는 제2 기판을 가지는 평판표시소자의 합착 방법에 있어서,

상기 제1 체결부가 상기 제1 기판의 상부에 위치하고 상기 한 쌍의 제2 체결부가 상기 제2 기판의 하부에 위치하도록 상기 제1 및 제2 기판을 제1 정렬하는 단계와;

상기 제1 체결부의 수평부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 삽입될 수 있도록 상기 제1 기판 옆에 상기 제2 기판과 제2 정렬하는 단계와;

상기 제2 기판을 상기 제1 체결부의 수평부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 삽입될 수 있는 높이까지 상승시키는 단계와;

상기 제1 체결부의 수평부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 삽입되도록 상기 제2 기판을 수평 이동시키는 단계와;

상기 제1 기판 상에 형성된 다수의 제1 박막들 중 어느 하나와 상기 제2 기판 상에 형성된 다수의 제2 박막들 중 어느 하나가 접촉되도록 상기 제2 기판을 하강시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 합착 방법.
제 33 항 또는 제 34 항 또는 제 35 항에 있어서,

상기 다수의 제1 박막들 중 어느 하나는 유기 전계 발광 셀의 캐소드 전극을 포함하며, 상기 제2 박막들 중 어느 하나는 구동용 박막 트랜지스터의 드레인 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 합착 방법.
제 33 항 또는 제 34 항 또는 제 35 항에 있어서,

상기 다수의 제1 박막들 중 어느 하나는 구동용 박막 트랜지스터의 드레인 전극을 포함하며, 상기 제2 박막들 중 어느 하나는 유기 전계 발광 셀의 캐소드 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 합착 방법.
제1 두께와 상기 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께부를 가지는 기둥 형상의 제1 체결부가 형성된 제1 기판과, 상기 제1 체결부가 형합할 수 있는 공간을 가지도록 이격되며 제3 두께와 상기 제3 두께보다 두꺼운 제4 두께를 가지는 기둥 형상의 한 쌍의 제2 체결부를 가지는 평판표시소자의 합착 방법에 있어서,

상기 제1 체결부가 상기 제1 기판의 상부에 위치하고 상기 한 쌍의 제2 체결부가 상기 제2 기판의 하부에 위치하도록 상기 제1 및 제2 기판을 제1 정렬하는 단계와;

상기 제1 체결부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 형합될 수 있도록 상기 제1 기판 옆에 상기 제2 기판과 제2 정렬하는 단계와;

상기 제2 기판을 상기 제1 체결부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 형합될 수 있는 높이까지 상승시키는 단계와;

상기 제1 체결부가 상기 한 쌍의 제2 체결부 사이에 형합되도록 상기 제2 기 판을 수평 이동시키는 단계와;

상기 제1 기판 상에 형성된 다수의 제1 박막들 중 어느 하나와 상기 제2 기판 상에 형성된 다수의 제2 박막들 중 어느 하나가 접촉되도록 상기 제2 기판을 하강시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 합착 방법.
제 38 항에 있어서,

상기 제1 체결부는 상기 제1 두께가 단변으로 상기 제1 기판에 부착되며, 상기 제2 체결부는 상기 제3 두께가 단변으로 상기 제2 기판에 부착되고 상기 제2 체결부가 이격된 공간에 상기 제1 체결부가 형합되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 합착 방법.