KR20070067527A - 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터 및 그의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 가스 감지를 위하여 광이 이동되는 채널 홈을 절곡시켜 동일한 크기에서 광의 이동거리를 증가시켜, 흡광도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 절곡된 홈을 적용하여 이 홈을 수용할 수 있는 기판의 크기가 줄어들어서, 스펙트로미터의 크기를 줄일 수 있어, 장치를 휴대할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명은 광의 이동거리를 증가시켜, 저농도의 가스 성분을 측정할 수 있는 효과가 있다.
마이크로, 감지, 스펙트로미터, 절곡, 홈
Description
도 1은 종래 기술에 따른 반도체식 가스센서의 단면도
도 2는 본 발명에 따른 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 하부기판의 개략적인 평면도
도 3은 본 발명에 따른 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 하부기판의 다른 평면도
도 4는 본 발명에 따른 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 하부기판의 또 다른 평면도
도 5a 내지 5c는 도 2에 도시된 A-A'선,B-B'선과 C-C'선으로 절단된 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 개략적인 단면도
도 6은 본 발명에 따른 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 감지 감도를 향상시키기 위한 구조적인 특징을 설명하기 위한 개략적인 개념도
도 7은 본 발명에 따라 감지 감도를 향상시키기 위한 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 하부기판의 개략적인 평면도
도 8은 본 발명에 따른 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 하부 기판의 홈에 충진제가 도포된 상태를 도시한 개략적인 평면도
도 9a 내지 9d는 본 발명에 따른 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 10은 도 9의 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조방법에서 제 1 기판을 형성하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 공정 흐름도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100,500 : 하부기판 110,310,510,710 : 홈
111,113,115 : 수평형홈 112,114 : 수직형홈
117a,117b,117c,117d : 반사면 120, 130 : 경사진 끝단
180,720, 830 : 반사막
200 : 상부기판 210,220,810,820 : 관통홀
300,400,700,800 : 기판 651,652 : 투명 충진제
본 발명은 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가스 감지를 위하여 광이 이동되는 채널 홈을 절곡시켜 흡광도를 향상시키고, 채널 홈이 형성되는 기판의 크기를 줄일 수 있어 스펙트로미터 의 크기를 줄일 수 있으며, 저농도의 가스 성분도 측정이 가능한 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
현재, 전지구적인 관심사인 환경문제는 그 대상에 따라 대기환경, 수질환경 및 토양환경으로 나누어 볼 수 있다.
이중, 대기환경문제의 원인이 되고 있는 대기 오염은 단시간 내에 불특정 다수에게 치명적인 위해를 줄 수 있을 뿐만 아니라, 장기적으로 이상 기후 현상의 원인이 되고 있다.
따라서, 대기 환경 오염원을 연속적으로 모니터링하여 오염 배출원에 대한 규제를 적극적으로 시행할 필요가 있다.
그리고, 다가오는 유비쿼터스 시대에 맞추어 실내 공기 질 또한 중요한 관심사로 생각되고 있어 휴대용 가스센서의 개발이 요구되고 있다.
이런, 휴대용 가스센서는 전자산업의 발전과 소형화에 힘입어 저전력을 소모하고 작은 크기의 구조를 필요로 하고 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 반도체식 가스센서의 단면도로서, 종래의 반도체식 가스센서는 중앙 영역에 관통홀(21)이 형성된 실리콘 기판(20)과; 상기 실리콘 기판(20) 상부에 형성된 멤브레인(Membrane)막(30)과; 상기 관통홀(21)이 존재하는 멤브레인막(30) 상부에 형성된 가열 전극 패턴(40)과; 상기 가열 전극 패턴(40)을 감싸며, 상기 멤브레인막(30) 상부에 형성된 절연막(50)과; 상기 가열 전극 패턴(40)이 존재하는 절연막(50) 상부에 형성된 감지 전극 패턴(60)과; 상기 감지 전극 패턴(60)을 감싸며, 상기 절연막(50) 상부에 형성된 감지막(70)으로 구성된다.
전술된 반도체식 가스센서는 관통홀(21)로 부상되어 있는 얇은 멤브레인(Membrane)막(30) 상부에 가스를 감지하기 위한 감지부(감지 전극 패턴 및 감지막)와 감지부를 일정 온도까지 올리기 위한 가열부(가열 전극 패턴)을 형성하여, 열 손실을 줄이는 구조를 적용하고 있다.
여기서, 상기 감지막으로 사용되는 금속산화물들은 SnO2, TiO2, WO3, ZnO 등의 물질들이 모재(母材)로 사용되고 있으며, 모재에 가스 감지의 감도를 높이기 위해 또는 여러 종류의 가스를 측정할 때 선택성을 높이기 위해 Pt, Pd, Au 등과 같은 첨가물들을 첨가하게 된다.
또한, 감지 전극 패턴은 상기 감지막의 전기 저항 변화를 측정하기 위하여 형성된다.
그리고, 감지부가 원활하게 가스를 감지하기 위해서는 가열부에 의해 적정한 동작온도로 올려주어야 하며, 이때 가열부로 사용되는 물질들은 Pt, Poly-Si, RuO2등이 사용된다.
이런, 반도체식 가스센서는 가열부에 의해 일정 온도로 가열된 감지막이 가스에 노출되면 가스가 감지막의 금속산화물에 흡착되어 반응이 이루어져 금속산화물의 저항이 증가 또는 감소하게 된다.
따라서 가스 흡착에 의해 발생하는 금속산화물의 저항 변화를 감지부에 형성된 감지 전극을 사용하여 측정함으로써 가스의 농도를 측정하게 된다.
한편, 감지부와 가열부의 전기적으로 절연을 위하여, 상기 감지부와 가열부 사이에 절연막이 형성되어 있다.
그러나, 종래의 반도체식의 가스센서는 제조 공정 중 또는 가스센서의 동작 중에, 절연막이 감지 전극과 가열 전극의 통전 문제를 유발시켜 수율을 저하시키는 문제점을 야기시킨다.
더불어, 특정 가스를 감지할 수 있는 감지막이 존재해야만 특정 가스를 감지할 수 있기 때문에, 그 사용 용도가 극히 제한적이다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 가스 감지를 위하여 광이 이동되는 채널 홈을 절곡시켜 흡광도를 향상시키고, 채널 홈이 형성되는 기판의 크기를 줄일 수 있어 스펙트로미터의 크기를 줄일 수 있으며, 저농도의 가스 성분도 측정이 가능한 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터 및 그의 제조 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 1 양태(樣態)는,
상부에 적어도 한번 이상 절곡되어진 홈이 형성되어 있고, 그 홈의 양단이 경사져 있는 하부기판과;
상기 하부기판의 홈 일 경사진 끝단에 광을 조사하는 광원과;
상기 하부기판의 홈 타 경사진 끝단에 반사된 광을 수광하는 광검출기와;
상호 이격된 한 쌍의 관통홀들이 형성되어 있고, 상기 한 쌍의 관통홀들이 상기 하부 기판의 홈과 연통되도록, 상기 하부기판 상부에 접착되어 있는 상부기판 을 포함하여 구성된 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 2 양태(樣態)는,
상부에 적어도 한번 이상 절곡되어진 홈이 형성되어 있고, 상기 홈의 양단이 경사져 있는 제 1 기판을 준비하는 단계와;
상기 절곡되어진 홈 내부면에 반사막을 형성하는 단계와;
상호 이격된 한 쌍의 관통홀들이 형성된 제 2 기판을 준비하는 단계와;
상기 한 쌍의 관통홀들이 상기 절곡되어진 홈과 연통되도록, 상기 제 2 기판을 제 1 기판에 접착하는 단계를 포함하여 구성된 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법이 제공된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 하부기판의 개략적인 평면도로서, 하부기판(100) 상부에 적어도 한번 이상 절곡되어진 홈(110)이 형성되어 있고, 그 홈(110)의 양단이 경사져 있다.
여기서, 상기 하부기판(100)의 홈(110) 일 경사진 끝단(120)에 광을 조사하는 광원(121)이 준비되고, 타 경사진 끝단(130)에 반사된 광을 수광하는 광검출기(131)가 준비된다.
도 3은 본 발명에 따른 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 하부기판의 다른 평면도로서, 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 하부기판 상부에 형성된 홈(110)은 상호 이격되어 평행한 제 1 내지 3 수평형 홈(111,113,115)과; 상기 제 1 수평형 홈(111)과 제 2 수평형 홈(113) 일단에 수직방향으로 연결된 제 1 수직형 홈(112)과; 상기 제 2 수평형 홈(113) 타단과 제 3 수평형 홈(115)에 수직방향으로 연결된 제 2 수직형 홈(114)으로 이루어진다.
여기서, 상기 홈(110)의 절곡은 2번 되었고, 상기 제 1 수평형 홈(111)의 끝단(120)에는 광원이 위치되고, 상기 제 3 수평형 홈(113)의 끝단(130)에는 광검출기가 위치된다.
또한, 상기 광원이 장착된 영역과 반대 방향의 제 1 수평형 홈(111)의 끝단에는 상기 광원에서 출사된 광을 반사시키는 제 1 반사면(117a)이 형성되어 있고, 상기 제 2 수평형 홈(113)의 끝단에는 상기 제 1 반사면(117a)에서 반사된 광을 반사시키는 제 2 반사면(117b)이 형성되어 있고, 상기 제 2 수평형 홈(113)의 끝단과 반대 방향의 끝단에는 상기 제 2 반사면(117b)에서 반사된 광을 반사시키는 제 3 반사면(117c)이 형성되어 있고, 상기 제 3 수평형 홈(115)의 끝단에는 상기 제 3 반사면(117c)에서 반사된 광을 광 검출기로 반사시키는 제 4 반사면(117d)이 형성되어 있다.
이로써, 상기 홈(110)으로 가스가 들어오면, 상기 광원에서 광이 출사되고, 이 광이 상기 홈(110)을 통과하면서 광 검출기로 입력된다.
이 때, 상기 광이 가스를 통과하게 되고, 가스에서 일부 특정 파장의 광이 흡수되게 되어 광세기가 변화하게 되는데, 이 광세기 변화를 상기 광검출기에서 측정하여, 가스의 성분 및 농도를 분석할 수 있는 것이다.
전술된 상기 광원은 자외선, 가시광선과 적외선 중 어느 하나를 방출할 수 있는 광원이다.
도 4는 본 발명에 따른 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 하부기판의 또 다른 평면도로서, 하부 기판(100)의 홈(110) 내부에는 반사막(180)이 형성되어 있으면, 광원에서 출사된 광이 홈(110)의 벽면을 통해 빠져나가는 것을 막고 반사시켜, 광 검출기에서 검출되는 광량을 증가시킬 수 있게 된다.
상기 반사막(180)은 외부 기체와 반응성이 적은 Au막인 것이 바람직하다.
도 5a 내지 5c는 도 3에 도시된 A-A'선,B-B'선과 C-C'선으로 절단된 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 개략적인 단면도이다.
여기서, 상기 상부 기판(200)에는 상호 이격된 한 쌍의 관통홀들(210,220)이 형성되어 있고, 상기 한 쌍의 관통홀들(210,220)은 상기 하부 기판의 홈(110)과 연통되어 있어, 스펙트로미터 외부의 가스가 상기 관통홀들(210,220) 중 어느 하나를 통하여 흡입되어 나머지 하나를 통하여 스펙트로미터 외부로 배출된다.
도 5a는 도 3의 A-A'선으로 절단된 단면도이고, 하부 기판(100) 상부에 상부 기판(200)이 접합되어 있다.
여기서, 상부 기판(200)에 형성된 관통홀(210) 상부에 광원(121)을 위치시켜 광원에서 나온 광이 관통홀(210)을 통과하고 홈(110)의 경사진 끝단(120)에서 반사되어 홈(110) 내부로 원활하게 입사되도록 되어 있고, 제 1 반사면(117a)이 형성되 어 있다.
그리고, 도 5b는 도 3의 B-B'선으로 절단된 단면도이고, 홈(110)의 양 끝단에는 수직으로 제2, 제3 반사면들(117b, 117c)이 형성되어 있다.
또한, 도 5c는 도 3의 C-C'선으로 절단된 단면도이고, 상기 기판(100)에 형성된 관통홀 (220) 상부에 광 검출기(131) 위치시켜 홈(110)의 경사진 끝단(130)에서 반사되어 나오는 광의 세기를 검출되도록 되어 있다.
여기서, 홈(110)의 경사진 끝단(130) 반대편에 수직으로 제 4 반사면(117b)이 형성되어 있다.
한편, 상기 상부 기판(200)은 실리콘 기판으로 하부 기판(100)은 파이렉스(pyrex) 유리 기판 또는 PDMS(polydimethylsiloxane) 이 바람직하고, 이 실리콘 기판을 초정밀 미세가공기술을 이용하여 가공하여, 전술된 구조를 제작할 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 감지 감도를 향상시키기 위한 구조적인 특징을 설명하기 위한 개략적인 개념도로서, 제 1 기판(300) 상부에 광 통로가 되는 채널 홈(310)이 형성되어 있고, 이 채널 홈(310)은 'L1'의 길이를 갖는 직선형으로 형성되어 있기 때문에, 제 1 기판(300)은 상기 채널 홈(310)을 수용할 수 있는 크기로 설계되어야 한다.
그러므로, 직선형 채널 홈을 형성하면, 기판의 크기가 커진다.
이 때, 상기 'L1'의 길이를 갖는 직선형 채널 홈을 여러번 절곡시키게 되면, 이 절곡된 채널 홈을 수용할 수 있는 기판의 크기는 작아지게 된다.
즉, 도 6에 도시된 바와 같이, L1 = (11 x L2) + (10 x L3)를 만족하도록, 채널 홈을 절곡시키면, 제 1 기판(300)을 크기가 작은 제 2 기판(400)으로 대체할 수 있게 된다.
한편, 가스 분자들에 의해 흡수되는 흡광도는 하기 수학식 1의 Beer-Lambert 법칙에 의하여 계산될 수 있으므로, 광이 이동되는 채널 홈을 절곡시키면, 작은 면적에서도 광의 이동거리를 증가시킬 수 있게 되어 흡광도를 향상시킬 수 있다.
그러므로, 본 발명은 가스 감지를 위하여 광이 이동되는 채널 홈을 절곡시켜 흡광도를 향상시키고, 채널 홈이 형성되는 기판의 크기를 줄일 수 있어 스펙트로미터의 크기를 줄일 수 있는 장점이 있다.
따라서, 흡광도를 일정히 유지시킨 상태에서, 광의 이동거리를 증가시킬 수 있으므로, 저농도의 가스 성분도 측정이 가능하다.
도 7은 본 발명에 따라 감지 감도를 향상시키기 위한 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 하부기판의 개략적인 평면도로서, 전술된 바와 같이, 하부기판(500) 상부에 복수번 절곡된 채널 홈(510)을 형성하고, 그 채널 홈(510) 양끝단(520,530) 상부에 광원과 광검출기가 위치되어 있다.
이로써, 상기 광원에서 출사된 광은 경사진 끝단(520)에서 반사되어 상기 채널 홈(510)에 입사되고 경사진 끝단(530)에서 반사되어 나오는 광은 광검출기로 검 출된다.
도 7에서는 채널 홈(510)은 14번 절곡되어 있다.
도 8은 본 발명에 따른 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 하부 기판의 홈에 충진제가 채워진 상태를 도시한 개략적인 평면도로서, 상기 광원과 광검출기가 장착되어 끝단(620,63))이 있는 채널 홈(610) 영역과 인접되고 상호 이격되도록, 광이 투과할 수 있는 한 쌍의 충진제(651,652)가 상기 하부기판(600) 상부에 채널 홈(610)에 형성되어 있다.
여기서, 상기 광이 투과할 수 있는 한 쌍의 충진제(651,652)가 이격된 사이의 채널 홈(610)에는 감지할 가스가 출입되는 공간이 된다.
그리고, 상기 광이 투과할 수 있는 충진제651,652)은 폴리머 수지가 바람직하다.
도 9a 내지 9d는 본 발명에 따른 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도로서, 먼저, 기판 상부에 적어도 한번 이상 절곡되어진 홈(710)이 형성되어 있고, 상기 홈(710)의 양단이 경사져 있는 제 1 기판(700)을 준비한다.(도 9a)
그 후, 도 9b에 도시된 바와 같이, 상기 절곡되어진 홈(710) 내측면에 반사막(720)을 형성한다.
연이어, 상호 이격된 한 쌍의 관통홀들(810,820)과 하부기판 홈(110) 부분과 일치하는 위치에 하부에 반사막(830)이 형성된 제 2 기판(800)을 준비한다.(도 9c)
마지막으로, 상기 한 쌍의 관통홀들(810,820)이 상기 절곡되어진 홈(710)과 연통되도록, 상기 제 2 기판(800)을 제 1 기판(700)에 접착한다.(도 9d)
도 10은 도 9의 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조방법에서 제 1 기판을 형성하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 공정 흐름도로서, 금속분말이 포함된 수지로 상부에 적어도 한번 이상 절곡되어진 홈을 갖는 제 1 기판을 성형한다.(S10단계)
즉, 상기 S10단계의 공정은 몰드 공정을 수행하여 제 1 기판을 형성하는 것이다.
그리고, 상기 금속분말은 W분말, Cu분말과 이들의 혼합분말 중 어느 하나인 것이 바람직하다.
그 후, 상기 제 1 기판에서 수지 성분을 제거한다.(S20단계)
이 때, 상기 수지 성분을 제거하기 위하여, 상기 제 1 기판을 고온 상태로 열처리하면 된다.
즉, 400 ~ 600℃ 온도에서 열처리한다.
마지막으로, 상기 제 1 기판을 소결한다.(S30단계)
여기서, 상기 제 1 기판의 소결은 대략 1300℃ 온도에서 수행한다.
상기 제 1 기판이 소결된 후, 상기 홈 일 끝단에 광원을 장착하고, 상기 홈 타 끝단에 광검출기를 장착한다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 가스 감지를 위하여 광이 이동되는 채널 홈을 절곡시켜 동일한 크기에서 광의 이동거리를 증가시켜, 흡광도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 절곡된 홈을 적용하여 이 홈을 수용할 수 있는 기판의 크기가 줄어들어서, 스펙트로미터의 크기를 줄일 수 있어, 장치를 휴대할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명은 광의 이동거리를 증가시켜, 저농도의 가스 성분을 측정할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (16)
- 상부에 적어도 한번 이상 절곡되어진 홈이 형성되어 있고, 그 홈의 양단이 경사져 있는 하부기판과;상기 하부기판의 홈 일 경사진 끝단에 광을 조사하는 광원과;상기 하부기판의 홈 타 경사진 끝단에 반사된 광을 수광하는 광검출기와;상호 이격된 한 쌍의 관통홀들이 형성되어 있고, 상기 한 쌍의 관통홀들이 상기 하부 기판의 홈과 연통되도록, 상기 하부기판 상부에 접착되어 있는 상부기판을 포함하여 구성된 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터.
- 제 1 항에 있어서,상기 홈은,상호 이격되어 평행한 제 1 내지 3 수평형 홈과;상기 제 1 수평형 홈과 제 2 수평형 홈 일단에 수직방향으로 연결된 제 1 수직형 홈과;상기 제 2 수평형 홈 타단과 제 3 수평형 홈에 수직방향으로 연결된 제 2 수직형 홈으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터.
- 제 2 항에 있어서,상기 광원이 장착된 영역과 반대 방향의 제 1 수평형 홈의 경사진 끝단 반대편 끝단에 상기 광원에서 출사된 광을 반사시키는 제 1 반사면이 수직으로 형성되어 있고,상기 제 2 수평형 홈의 끝단에 상기 제 1 반사면에서 반사된 광을 반사시키는 제 2 반사면이 수직으로 형성되어 있고,상기 제 2 수평형 홈의 끝단과 반대 방향의 끝단에 상기 제 2 반사면에서 반사된 광을 반사시키는 제 3 반사면이 수직으로 형성되어 있고,상기 제 3 수평형의 끝단에 상기 제 3 반사면에서 반사된 광을 광 검출기로 반사시키는 제 4 반사면이 수직으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하부 기판의 홈 내부와 상부 기판 하부에,반사막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터.
- 제 4 항에 있어서,상기 반사막은,Au막인 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광원과 광검출기가 장착되어 있는 홈 영역과 인접되고 상호 이격되어 있으며, 광이 투과할 수 있는 한 쌍의 충진제가 상기 홈에 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터.
- 제 6 항에 있어서,상기 충진제는 폴리머 수지인 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광원은,자외선, 가시광선과 적외선 중 어느 하나를 방출할 수 있는 광원인 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부기판은 실리콘 기판으로,상기 하부기판은 파이렉스 유리 기판, PDMS 인 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터.
- 상부에 적어도 한번 이상 절곡되어진 홈이 형성되어 있고, 상기 홈의 양단이 경사져 있는 제 1 기판을 준비하는 단계와;상기 절곡되어진 홈 내부면에 반사막을 형성하는 단계와;상호 이격된 한 쌍의 관통홀들이 형성된 제 2 기판을 준비하는 단계와;상기 한 쌍의 관통홀들이 상기 절곡되어진 홈과 연통되도록, 상기 제 2 기판을 제 1 기판에 접착하는 단계를 포함하여 구성된 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 제 1 기판은 실리콘 기판으로,상기 제 2 기판은 파이렉스 유리 기판, PDMS 인 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터.
- 제 10 항에 있어서,상기 제 1 기판을 준비하는 단계는,금속분말이 포함된 수지로 상부에 적어도 한번 이상 절곡되어진 홈을 갖는 제 1 기판을 성형하는 단계와;상기 제 1 기판에서 수지 성분을 제거하는 단계와;상기 제 1 기판을 소결하는 단계와;상기 제 1 기판이 소결된 후, 상기 홈 일 끝단에 광원을 장착하고, 상기 홈 타 끝단에 광검출기를 장착하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 금속분말은,W분말, Cu분말과 이들의 혼합분말 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 제 1 기판에서 수지 성분을 제거하는 단계는,상기 제 1 기판을 400 ~ 600℃ 온도에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법.
- 제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홈은,상호 이격되어 평행한 제 1 내지 3 수평형 홈과;상기 제 1 수평형 홈과 제 2 수평형 홈 일단에 수직방향으로 연결된 제 1 수직형 홈과;상기 제 2 수평형 홈 타단과 제 3 수평형 홈에 수직방향으로 연결된 제 2 수직형 홈으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법.
- 제 15 항에 있어서,상기 광원이 장착된 영역과 반대 방향의 제 1 수평형 홈의 경사진 끝단의 반 대편 끝단에 상기 광원에서 출사된 광을 반사시키는 제 1 반사면이 수직하게 형성되어 있고,상기 제 2 수평형 홈의 끝단에 상기 제 1 반사면에서 반사된 광을 반사시키는 제 2 반사면이 수직하게 형성되어 있고,상기 제 2 수평형 홈의 끝단과 반대 방향의 끝단에 상기 제 2 반사면에서 반사된 광을 반사시키는 제 3 반사면이 수직하게 형성되어 있고,상기 제 3 수평형의 끝단에 상기 제 3 반사면에서 반사된 광을 광 검출기로 반사시키는 제 4 반사면이 수직하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법.
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