KR20070055301A - 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법 - Google Patents

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KR20070055301A
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김우식
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Abstract

컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법이 개시된다. 개시된 블랙 매트릭스의 제조방법은, 투명 기판의 표면에 소수성 유기물로 이루어진 차광층을 형성하는 단계; 차광층을 패터닝하여 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 및 블랙 매트릭스를 가열하면서 투명 기판의 배면 쪽에 자외선을 조사하여 블랙 매트릭스의 측면을 친수화시키는 단계;를 포함한다.

Description

컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법{Method of fabricating black matrix of color filter}
도 1a 및 도 1b는 종래 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 2는 도 1a 및 도 1b에 도시된 방법에 의하여 제조된 블랙 매트릭스를 이용하여 제작한 컬러 필터를 도시한 것이다.
도 3a 내지 도 3c는 종래 다른 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 5a는 측면을 친수성 처리하지 않은 블랙 매트릭스 내에 컬러 잉크를 채워서 제작한 컬러 필터의 모습을 찍은 사진이다.
도 5b는 도 5a에 도시된 컬러 필터에 빛을 투과시키면서 찍은 사진이다.
도 6a는 본 발명의 실시예에 의하여 측면을 친수성 처리한 블랙 매트릭스 내에 컬러 잉크를 채워서 제작한 컬러 필터의 모습을 찍은 사진이다.
도 6b는 도 6a에 도시된 컬러 필터에 빛을 투과시키면서 찍은 사진이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 컬러 필터용 블랙 매트릭스 의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법에 사용될 수 있는 차단층의 변형예를 도시한 단면도이다.
도 10은 도 9에 도시된 차단층의 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100,200,300... 투명 기판 102... 차광층
105,205,305... 블랙 매트릭스 130... 반사판
240a,240b,340,340'... 차단층
350... 압력층
본 발명은 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 휘도(brightness)의 균일성을 향상시킬 수 있는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법에 관한 것이다.
종래에는 TV와 컴퓨터의 정보를 디스플레이하기 위해 CRT 모니터가 주로 사용되어 왔으나, 최근에는 화면의 크기가 커짐에 따라 액정 디스플레이(LCD; Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP; Plasma Display Panel), 유기 EL(Elctro Luminescence), 발광 다이오드(LED; Light Emitting Diode), 전계방출 디스플레이(FED; Field Emission Display) 등과 같은 평판 디스플레이 장치가 사용되고 있다. 이러한 평판 디스플레이 장치 중 소비 전력이 적어 컴퓨터 모니터, 노트북 PC 등에 주로 사용되는 액정 디스플레이(LCD)가 각광을 받고 있다.
일반적으로, 상기 액정 디스플레이에는 액정층에 의하여 변조된 백색광을 통과시켜 원하는 색상의 화상을 형성하는 컬러 필터가 구비되어 있다. 여기서, 상기 컬러 필터는 투명 기판 상에 다수의 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 픽셀(pixel)들이 소정 형태로 배열된 구조를 가지고 있으며, 이러한 픽셀들은 블랙 매트릭스(black matrix)에 의하여 구획되어 있다.
도 1a 및 도 1b에는 종래 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법에 개시되어 있다. 도 1a를 참조하면, 투명 기판의 표면에 소수성(hydrophobic) 유기물로 이루어진 차광층을 소정 두께로 도포한 다음, 이를 베이킹(baking)한다. 이어서, 도 1b를 참조하면, 상기 차광층을 소정 형태로 패터닝함으로써 블랙 매트릭스를 형성한다. 도 2에는 도 1a 및 도 1b에 도시된 방법에 의하여 제조된 블랙 매트릭스 사이의 영역들에 소정 색상의 잉크를 도포하여 픽셀들을 형성함으로써 제작된 컬러 필터가 도시되어 있다.
그러나, 상기와 같은 방법에 의하여 제조된 블랙 매트릭스의 측면은 잉크에 대하여 접촉각(contact angle)이 큰 소수성(hydrophobic property)을 띠므로, 도 2에 도시된 바와 같이 잉크가 기판 상에 균일한 두께로 도포되지 않는 문제점이 있다. 이에 따라, 블랙 매트릭스의 측면 부근에서는 빛이 새는 현상이 발생하게 되 고, 그 결과 컬러 필터의 각 픽셀로부터 나오는 광의 휘도가 불균일하게 된다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 블랙 매트릭스의 측면을 친수성(hydrophilic property)으로 변화시킬 수 있는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법이 도 3a 내지 도 3c에 도시되어 있다. 도 3a 내지 도 3c는 일본공개 특허공보 특개2000-162426호에 개시된 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법을 도시한 것이다. 도 3a를 참조하면, 투명 기판의 표면에 소수성 유기물로 이루어진 차광층을 소정 두께로 도포한 다음, 이를 베이킹한다. 이어서, 도 1b를 참조하면, 상기 차광층을 소정 형태로 패터닝함으로써 블랙 매트릭스를 형성한다. 다음으로, 도 1c를 참조하면, 기판의 이면 쪽을 자외선에 노광시키면, 자외선이 조사되는 블랙 매트릭스의 측면은 공기 중의 수분을 흡착함으로써 친수성으로 변화하게 되고, 자외선이 조사되지 않는 블랙 매트릭스의 상면은 그대로 소수성으로 남아 있게 된다.
그러나, 상기와 같은 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법을 실제로 적용하게 되면 블랙 매트릭스의 측면이 친수성으로 잘 변화되지 않는 단점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 휘도의 균일성을 향상시킬 수 있는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여,
본 발명의 구현예에 따른 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법은,
투명 기판의 표면에 소수성 유기물로 이루어진 차광층을 형성하는 단계;
상기 차광층을 패터닝하여 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 및
상기 블랙 매트릭스를 가열하면서 상기 투명 기판의 배면 쪽에 자외선을 조사하여 상기 블랙 매트릭스의 측면을 친수화시키는 단계;를 포함한다.
상기 블랙 매트릭스는 100℃ ~ 500℃의 온도로 가열될 수 있다.
상기 블랙 매트릭스를 형성한 다음, 상기 블랙 매트릭스의 상면에 상기 투명기판을 투과하는 자외선을 반사시키는 반사판을 부착시키는 단계가 더 포함될 수 있다. 이 경우, 상기 반사판을 가열함으로써 상기 블랙 매트릭스가 가열될 수 있다.
상기 반사판은 광 반사율이 30% 이상인 물질로 이루어지는 것이 바람직하다. 구체적으로, 상기 반사판은 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 크롬(Cr), 구리(Cu), 철(Fe), 니켈(Ni) 및 몰리브덴(Mo)으로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 금속으로 이루어질 수 있다.
자외선이 반사되는 상기 반사판의 표면은 자외선이 상기 블랙 매트릭스의 측면 쪽으로 산란될 수 있도록 거칠게 가공될 수 있다.
상기 반사판은 상기 블랙 매트릭스의 상면이 공기와 접촉하지 않도록 상기 블랙 매트릭스의 상면에 밀착되는 것이 바람직하다. 여기서, 상기 반사판은 진공을 이용하여 상기 블랙 매트릭스의 상면에 밀착될 수 있다.
본 발명의 다른 구현예에 따른 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법은,
투명 기판의 표면에 소수성 유기물로 이루어진 차광층을 형성하는 단계;
상기 차광층을 패터닝하여 블랙 매트릭스를 형성하는 단계;
상기 블랙 매트릭스의 상면에 자외선을 투과시키는 물질로 이루어진 복수의 차단층을 부착시키는 단계; 및
상기 차단층들의 상부에 자외선을 조사하여 상기 블랙 매트릭스의 측면을 친수화시키는 단계;를 포함한다.
상기 차단층들을 투과하는 자외선이 상기 블랙 매트릭스의 측면 쪽으로 조사될 수 있도록 상기 차단층들은 서로 다른 굴절률을 가지는 것이 바람직하다.
본 발명의 또 다른 구현예에 따른 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법은,
투명 기판의 표면에 소수성 유기물로 이루어진 차광층을 형성하는 단계;
상기 차광층을 패터닝하여 블랙 매트릭스를 형성하는 단계;
상기 블랙 매트릭스의 상면에 차단층을 부착시키는 단계; 및
상기 블랙 매트릭스의 측면을 플라즈마에 노출시켜 친수화시키는 단계;를 포함한다.
상기 차단층을 부착시킨 다음, 상기 차단층에 압력을 가하여 상기 차단층이 상기 블랙 매트릭스의 상면에 밀착되도록 상기 차단층의 상면에 적어도 하나의 압력층을 마련하는 단계가 더 포함될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭한다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 4a를 참조하면 투명 기판(100)의 표면에 소수성(hydrophobic) 유기물을 소정 두께로 도포한 다음, 이를 소프트 베이킹(soft baking)함으로써 차광층(102)을 형성한다. 여기서, 상기 투명 기판(100)으로는 일반적으로 유리 기판이 사용되지만 플라스틱 기판이 사용될 수도 있다. 상기 소수성 유기물은 스핀 코팅(spin coating), 다이 코팅(die coating) 또는 딥 코팅(dip coating) 방법에 의하여 투명 기판(100)의 표면에 도포될 수 있다.
도 4b를 참조하면, 상기 차광층(102)을 소정 형태로 패터닝함으로써 블랙 매트릭스(black matrix,105)를 형성한다. 여기서, 상기 차광층(105)이 감광성 물질로 이루어지는 경우에는 소정 패턴이 형성된 포토마스크(photo mask,미도시)를 이용하여 상기 차광층(102)을 노광 현상하게 된다. 한편, 상기 차광층(102)이 비감광성 물질로 이루어지는 경우에는 상기 차광층(102)의 표면에 포토레지스트(photoresist,미도시)를 도포하고, 이를 포토리소그라피(photolithography) 공정에 의하여 패터닝한 후, 이렇게 패터닝된 포토레지스트를 식각마스크로 이용하여 상기 차광층(102)을 식각하게 된다.
도 4c를 참조하면, 상기 블랙 매트릭스(105)를 가열하면서 상기 투명 기판(100)의 배면 쪽에 자외선을 조사한다. 블랙 매트릭스 표면의 접촉각(contact angle)을 변화시키기 위하여 자외선 만을 사용하는 것보다는 본 실시예에서와 같이 블랙 매트릭스(105)를 가열하면서 자외선을 조사하게 되면 블랙 매트릭스(105) 표면의 접촉각을 원하는 만큼 용이하게 변화시킬 수 있게 된다. 여기서, 상기 블랙 매트릭스(105)의 가열 온도는 대략 100℃ ~ 500℃ 정도가 될 수 있다.
이에 따라, 블랙 매트릭스(105)의 표면 중 자외선이 조사되는 부분의 접촉각(contact angle)과 조사되지 않는 부분의 접촉각이 서로 달라지게 된다. 구체적으로, 상기 투명 기판(100)을 투과하는 자외선이 조사되는 블랙 매트릭스(105)의 측면은 공기 중의 수분을 흡착하여 친수화됨으로써 친수성을 띠게 된다. 그리고, 상기 블랙 매트릭스(105)의 상면은 투명 기판(100)을 투과한 자외선이 닿지 않으므로 그대로 소수성을 띠게 된다. 본 실시예에서, 상기 블랙 매트릭스(105) 측면의 잉크에 대한 접촉각은 예를 들면 대략 15°이하가 될 수 있으며, 블랙 매트릭스(105) 상면의 잉크에 대한 접촉각은 예를 들면 대략 35°이상이 될 수 있다.
또한, 자외선이 조사되는 블랙 매트릭스(105)의 측면을 더욱 용이하게 친수화시키기 위해서는 도 4c에 도시된 바와 같이 블랙 매트릭스(105)의 상면에 자외선을 반사시키는 반사판(130)을 부착시키는 것이 바람직하다. 이때, 상기 반사판(130)을 가열함으로써 블랙 매트릭스(105)를 소정 온도로 가열하는 것이 바람직하다. 상기 반사판(130)은 투명 기판(100)을 투과하는 자외선을 반사시켜 블랙 매트릭스(105)의 측면에 조사시키는 동시에 자외선이 블랙 매트릭스(105)의 상면에 닿지 않도록 해주는 역할을 한다. 여기서, 상기 반사판(130)은 광 반사율이 대략 30% 이상인 물질로 이루어지는 것이 바람직하다. 구체적으로, 상기 반사판(130)은 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 크롬(Cr), 구리(Cu), 철(Fe), 니켈(Ni) 및 몰리브덴(Mo)으로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 금속으로 이루어질 수 있다.
자외선이 반사되는 반사판(130)의 표면은 소정 거칠기(roughness)를 가지도 록 가공될 수 있다. 이는 투명 기판(100)을 투과하는 자외선이 반사판(130)에서 반사되면서 블랙 매트릭스(105)의 측면 쪽으로 산란(scattering)되도록 하기 위함이다. 그리고, 상기 반사판(130)은 블랙 매트릭스(105)의 상면이 공기와 접촉하지 않도록 블랙 매트릭스(105)의 상면에 밀착되는 것이 바람직하다. 여기서, 상기 반사판(130)은 예를 들면 진공을 이용한 접착방법에 의하여 블랙 매트릭스(105)의 상면에 밀착될 수 있다. 한편, 상기 반사판(130)은 진공을 이용하는 방법 이외에도 다양한 방법에 의하여 블랙 매트릭스(105)의 상면에 밀착될 수 있다.
이상과 같이, 블랙 매트릭스(105)를 가열하면서 자외선을 조사하게 되면 자외선이 조사되는 블랙 매트릭스(105)의 측면이 용이하게 친수화될 수 있다.
도 5a는 측면을 친수성 처리하지 않은 블랙 매트릭스 내에 컬러 잉크를 채워서 제작한 컬러 필터의 모습을 찍은 사진이며, 도 5b는 도 5a에 도시된 컬러 필터에 빛을 투과시키면서 찍은 사진이다. 도 5a를 참조하면, 블랙 매트릭스의 측면이 소수성을 띠고 있어 블랙 매트릭스의 측면 부근에 잉크가 원하는 만큼 채워지지 않았음을 알 수 있으며, 이에 따라, 도 5b에 도시된 바와 같이 블랙 매트릭스의 측면 부근에서 빛이 새는 현상을 볼 수 있다.
도 6a는 본 발명의 실시예에 의하여 가열 및 자외선 조사에 의하여 측면을 친수성 처리한 블랙 매트릭스 내에 컬러 잉크를 채워서 제작한 컬러 필터의 모습을 찍은 사진이며, 도 6b는 도 6a에 도시된 컬러 필터에 빛을 투과시키면서 찍은 사진이다. 도 6a를 참조하면, 블랙 매트릭스의 측면이 대부분 친수성을 띠고 있어 블랙 매트릭스의 측면 부근에 잉크가 원하는 만큼 채워졌음을 알 수 있으며, 이에 따라, 도 6b에 도시된 바와 같이 블랙 매트릭스의 측면 부근에서는 빛이 새는 현상이 크게 줄어들었음을 알 수 있다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 컬러 필터용 블랙 매트릭스이 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 7a를 참조하면, 투명기판(200) 상에 블랙 매트릭스(205)를 형성한다. 상기 블랙 매트릭스(205)는 전술한 바와 같이 투명기판(200)의 표면에 소수성 유기물로 이루어진 차광층(미도시)을 형성하고, 이를 패터닝함으로써 형성될 수 있다.
도 7b를 참조하면, 상기 블랙 매트릭스(205)의 상면에 자외선을 투과시키는 물질로 이루어진 제1 및 제2 차단층(240a,240b)을 부착시킨다. 이어서, 상기 제2 차단층(240b)의 상부에 자외선을 조사하게 되면, 이 자외선은 제1 및 제2 차단층(240a,240b)을 투과하게 된다. 그리고, 이렇게 투과된 자외선은 블랙 매트릭스(205)의 측면에 닿게 되고, 이에 따라 블랙 매트릭스(205)의 측면은 공기 중의 수분을 흡착함으로써 친수화된다. 한편, 자외선을 조사하는 과정에서 상기 블랙 매트릭스(205)는 전술한 바와 같이 소정 온도로 가열될 수도 있다.
상기 차단층들(240a,240b) 중 최하부에 위치하는 차단층, 즉 제1 차단층(240a)은 블랙 매트릭스(205)의 상면이 공기와 접촉하지 않도록 블랙 매트릭스(205)의 상면에 밀착된다. 이에 따라, 상기 블랙 매트릭스(205)의 상면은 자외선에 의하여 친수화되지 않고 소수성을 유지하게 된다. 그리고, 상기 제1 및 제2 차단층(240a,240b)은 서로 다른 굴절률을 가지는 것이 바람직하다. 이에 따라, 자외선이 제1 및 제2 차단층(240a,240b)을 투과하면서 굴절되어 블랙 매트릭스(205)의 측면 에 조사됨으로써 블랙 매트릭스(205)의 측면이 더욱 용이하게 친수화될 수 있다. 이상에서는 블랙 매트릭스(205)의 상면에 2개의 차단층(240a,240b)이 마련되는 경우가 설명되었으나, 본 실시예에서는 이에 한정되지 않고 3개 이상의 차단층이 블랙 매트릭스의 상면에 마련될 수도 있다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 컬러 필터용 블랙 매트릭스이 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 8a를 참조하면, 투명기판(300) 상에 블랙 매트릭스(305)를 형성한다. 상기 블랙 매트릭스(305)는 전술한 바와 같이 투명기판(300)의 표면에 소수성 유기물로 이루어진 차광층(미도시)을 형성하고, 이를 패터닝함으로써 형성될 수 있다.
도 8b를 참조하면, 상기 블랙 매트릭스(305)의 상면에 차단층(340)을 부착한다. 여기서, 상기 차단층(340)은 블랙 매트릭스(305)의 상면에 밀착되어 블랙 매트릭스(305)의 상면이 후술하는 플라즈마에 노출되지 않도록 하기 위한 것이다. 이러한 차단층(340)에 의하여 블랙 매트릭스(305)의 상면은 플라즈마에 노출되지 않음으로써 친수화되지 않고 소수성을 유지하게 된다. 이상에서는 플레이트 형상의 차단층(340)이 사용된 경우가 설명되었으나, 본 실시예에는 이에 한정되지 않고 다양한 형상의 차단층이 사용될 수 있다. 도 9 및 도 10은 본 실시예에 사용될 수 있는 차단층의 변형예를 도시한 단면도 및 사시도이다. 도 9 및 도 10을 참조하면, 차단층(340')은 블랙 매트릭스(305)에 대응되는 매트릭스 형상을 가지고, 블랙 매트릭스(305)의 상면에 부착된다.
도 3c를 참조하면, 상기 차단층(340)의 상면에는 압력층(350)이 더 마련될 수 있다. 상기 압력층(350)은 차단층(340)에 블랙 매트릭스(305) 쪽으로 압력을 가함으로써 상기 차단층(340)이 블랙 매트릭스(305)의 상면에 더욱 밀착되게 한다. 이에 따라, 블랙 매트릭스(305)의 상면이 플라즈마에 의하여 친수화되는 것을 보다 효과적으로 방지할 수 있게 된다. 여기서, 상기 차단층(340)에 가해지는 압력을 균일하게 하기 위하여 상기 압력층(350)의 내부에는 기체, 액체 등과 같은 유체로 채워질 수 있다. 이상에서는 하나의 압력층(350)이 사용되는 경우가 설명되었으나, 본 실시예에서는 이에 한정되지 않고 2개 이상의 압력층이 사용될 수도 있다.
다음으로, 상기 블랙 매트릭스(305)를 플라즈마에 노출시키게 되면, 상기 블랙 매트릭스(305)의 측면은 플라즈마와 반응하여 친수화된다. 여기서, 상기 블랙 매트릭스(305)의 상면은 차단층(340) 및 압력층(350)에 의하여 플라즈마에 노출되지 않으므로 친수화되지 않고 소수성을 그대로 유지하게 된다. 한편, 본 실시예에서 블랙 매트릭스(305)의 측면을 친수화시키기 위하여 사용되는 플라즈마는 산소(O2) 플라즈마가 될 수 있다.
한편, 이상의 실시예들에서 설명된 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법은 주로 액정 디스플레이 분야에 적용되나, 이에 한정되지 않고 다른 디스플레이 분야, 예를 들면 유기 EL(OLED)에서 뱅크(bank)를 제조하는 방법에도 얼마든지 적용가능하다.
이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예가 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법에 의하면 블랙 매트릭스의 표면 중 상면은 소수성을 유지하고 측면만을 선택적으로 친수화시킬 수 있게 된다. 이에 따라, 블랙 매트릭스에 의하여 구획되는 영역들 내부에는 소정 색상의 잉크가 균일한 두께로 채워질 수 있으며, 그 결과 종래 블랙 매트릭스의 측면 부근에서 발생되는 빛이 새는 현상을 방지할 수 있어 디스플레이 장치의 휘도 균일성을 향상시킬 수 있다.

Claims (17)

  1. 투명 기판의 표면에 소수성 유기물로 이루어진 차광층을 형성하는 단계;
    상기 차광층을 패터닝하여 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 및
    상기 블랙 매트릭스를 가열하면서 상기 투명 기판의 배면 쪽에 자외선을 조사하여 상기 블랙 매트릭스의 측면을 친수화시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 블랙 매트릭스는 100℃ ~ 500℃의 온도로 가열되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 블랙 매트릭스를 형성한 다음, 상기 블랙 매트릭스의 상면에 상기 투명기판을 투과하는 자외선을 반사시키는 반사판을 부착시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 반사판을 가열함으로써 상기 블랙 매트릭스가 가열되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 반사판은 광 반사율이 30% 이상인 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 반사판은 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 크롬(Cr), 구리(Cu), 철(Fe), 니켈(Ni) 및 몰리브덴(Mo)으로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  7. 제 3 항에 있어서,
    자외선이 반사되는 상기 반사판의 표면은 자외선이 상기 블랙 매트릭스의 측면 쪽으로 산란될 수 있도록 거칠게 가공되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  8. 제 3 항에 있어서,
    상기 반사판은 상기 블랙 매트릭스의 상면이 공기와 접촉하지 않도록 상기 블랙 매트릭스의 상면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 반사판은 진공을 이용하여 상기 블랙 매트릭스의 상면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  10. 투명 기판의 표면에 소수성 유기물로 이루어진 차광층을 형성하는 단계;
    상기 차광층을 패터닝하여 블랙 매트릭스를 형성하는 단계;
    상기 블랙 매트릭스의 상면에 자외선을 투과시키는 물질로 이루어진 복수의 차단층을 부착시키는 단계; 및
    상기 차단층들의 상부에 자외선을 조사하여 상기 블랙 매트릭스의 측면을 친수화시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 차단층들을 투과하는 자외선이 상기 블랙 매트릭스의 측면 쪽으로 조사될 수 있도록 상기 차단층들은 서로 다른 굴절률을 가지는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 차단층들 중 최하부의 차단층은 상기 블랙 매트릭스의 상면이 공기와 접촉하지 않도록 상기 블랙 매트릭스의 상면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  13. 투명 기판의 표면에 소수성 유기물로 이루어진 차광층을 형성하는 단계;
    상기 차광층을 패터닝하여 블랙 매트릭스를 형성하는 단계;
    상기 블랙 매트릭스의 상면에 차단층을 부착시키는 단계; 및
    상기 블랙 매트릭스의 측면을 플라즈마에 노출시켜 친수화시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 차단층을 부착시킨 다음, 상기 차단층에 압력을 가하여 상기 차단층이 상기 블랙 매트릭스의 상면에 밀착되도록 상기 차단층의 상면에 적어도 하나의 압력층을 마련하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 압력층의 내부에는 유체로 채워지는 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 플라즈마는 산소(O2) 플라즈마인 것을 특징으로 하는 컬러 필터용 블랙 매트릭스의 제조방법.
  17. 제 13 항에 있어서,
    상기 차단층은 상기 블랙 매트릭스에 대응되는 형상을 가지는 것을 특징으로하는 블랙 매트릭스의 제조방법.
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