KR20070051649A - Apparatus for manufacturing oled device - Google Patents

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KR20070051649A
KR20070051649A KR1020060047811A KR20060047811A KR20070051649A KR 20070051649 A KR20070051649 A KR 20070051649A KR 1020060047811 A KR1020060047811 A KR 1020060047811A KR 20060047811 A KR20060047811 A KR 20060047811A KR 20070051649 A KR20070051649 A KR 20070051649A
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윤석원
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주식회사 대우일렉트로닉스
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Abstract

리프트핀의 상하운동시에도 항상 핀홀과 리프트핀이 일정한 거리를 유지할 수 있도록 해줌으로써 핀홀과 리프트핀의 마찰에 의해 생기는 파티클의 발생을 억제할 수 있는 오엘이디 소자의 제조장치가 제공된다. 본 발명에 따른 오엘이디 소자의 제조 장치는 기판이 로딩되는 플레이트와; 플레이트를 관통하도록 플레이트 내부에 복수개의 핀홀들이 형성되어 있고; 플레이트에는 외부 진공펌프와 연결되어 상기 플레이트 상에 로딩되는 기판을 홀딩시켜 주는 배큠홀이 형성되어 있으며; 핀홀 내부에는 핀홀의 측면과 소정의 이격간격을 두고 기판을 로딩/언로딩 시켜주는 리프트핀들이 형성되어 있으며; 핀홀 주위의 플레이트 내부에는 핀홀을 중심으로 평형을 이루는 자기력을 이용하여 리프트핀들이 핀홀의 측면에 접촉되는 것을 방지하는 전자석;이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.Provided is an apparatus for manufacturing an OID element capable of suppressing generation of particles caused by friction between the pinhole and the lift pin by allowing the pinhole and the lift pin to maintain a constant distance even during the vertical movement of the lift pin. An apparatus for manufacturing an LED element according to the present invention includes a plate on which a substrate is loaded; A plurality of pinholes are formed in the plate to penetrate the plate; The plate is provided with a back hole connected to the external vacuum pump to hold the substrate loaded on the plate; Lift pins are formed in the pinhole to load / unload the substrate at a predetermined distance from the side of the pinhole; An electromagnet for preventing lift pins from coming into contact with the sides of the pinholes by using a magnetic force that is balanced around the pinholes is installed in the plate around the pinholes.

오엘이디, OLED, 핀홀, 전자석, 리프트핀 OLED, OLED, Pinhole, Electromagnet, Lift Pin

Description

오엘이디 소자의 제조 장치{Apparatus for manufacturing OLED device}Apparatus for manufacturing OLED device

도 1은 오엘이지 소자를 제조하는데 사용되는 스핀코터(spin coater)나 건조 또는 냉각용 플레이트(drying or cooling plate)와 같은 제조장치를 모식적으로 나타낸 도면이다.FIG. 1 is a diagram schematically illustrating a manufacturing apparatus such as a spin coater or a drying or cooling plate used to manufacture an o-elig element.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 오엘이디 소자의 제조장치를 나타내는 도면이다.2 is a view showing an apparatus for manufacturing an LED element according to an embodiment of the present invention.

도 3a 내지 도 3d는 하나의 핀홀(201) 주위의 플레이트(200) 내부에 설치되는 전자석(220)의 배치에 대한 실시예들을 나타내는 도면이다.3A to 3D are diagrams illustrating embodiments of arrangement of an electromagnet 220 installed inside the plate 200 around one pinhole 201.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

200: 플레이트 201: 핀홀200: plate 201: pinhole

210: 핀홀 220: 전자석210: pinhole 220: electromagnet

230: 배큠홀230: Baek Hall

본 발명은 오엘이디 소자의 제조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 오엘이디 제조에 사용되는 기판의 건조(drying) 및/또는 냉각(cooling)에 사용되는 플레이트나 스핀코팅 장치와 같이 기판을 로딩/언로딩(loading/unloading) 시키면서 공정을 진행하는 모든 장치에 범용적으로 사용될 수 있는 오엘이디 소자의 제조 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing an LED element, and more particularly, to a substrate such as a plate or a spin coating apparatus used for drying and / or cooling a substrate used for manufacturing an LED. The present invention relates to an apparatus for manufacturing an ODL element that can be used universally in all devices that undergo a process while unloading (loading / unloading).

오엘이디(OLED; Organic Light Emission Diode)는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 박형화, 광시야각, 빠른 응답속도 등 LCD에서 문제로 지적되고 있는 결점을 해소할 수 있으며, 다른 디스플레이 소자에 비해 중형 이하에서는 TFT-LCD와 동등하거나 그 이상의 화질을 가질 수 있다는 점과 제조 공정이 단순하여 향후 가격 경쟁에서 유리하다는 등의 장점을 가진 차세대 디스플레이로 주목받고 있다.OLED (Organic Light Emission Diode) can operate at low voltage and can solve the drawbacks of LCD problems such as thinning, wide viewing angle and fast response speed. It is attracting attention as a next-generation display that has the advantages of having an image quality equal to or higher than that of LCD and the simple manufacturing process, which is advantageous in future price competition.

이러한 오엘이디는 투명 유리 기판 상에 양전극으로서 ITO 투명 전극 패턴이 형성되어 있는 형태를 가진 하판과 기판 상에 음전극으로서 금속 전극이 형성되어 있는 상판사이의 공간에 유기 발광성 소재가 형성되어, 상기 투명 전극과 상기 금속 전극 사이에 소정의 전압이 인가될 때 유기 발광성 소재에 전류가 흐르면서 빛을 발광하는 성질을 이용하는 디스플레이 장치이다.The OLED is formed of an organic luminescent material in a space between a lower plate having a form in which an ITO transparent electrode pattern is formed as a positive electrode on a transparent glass substrate and an upper plate in which a metal electrode is formed as a negative electrode on the substrate. And a display device that emits light while a current flows through the organic light emitting material when a predetermined voltage is applied between the metal electrode and the metal electrode.

도 1은 오엘이지 소자를 제조하는데 사용되는 스핀코터(spin coater)나 건조 또는 냉각용 플레이트(drying or cooling plate)와 같은 제조장치를 모식적으로 나타낸 도면이다.FIG. 1 is a diagram schematically illustrating a manufacturing apparatus such as a spin coater or a drying or cooling plate used to manufacture an o-elig element.

도 1에 도시된 바와 같이 종래의 오엘이디 제조 장치는 기판(105)이 로딩/언 로딩 되는 플레이트(100)와 플레이트(100)를 관통하는 핀홀(110) 내부에 삽입되어 상하 운동을 하면서 플레이트(100)에 기판(105)을 로딩/언로딩시키는, 즉 상부로 향할 때는 기판(105)을 언로딩시키고 하부로 향할 때는 기판(105)을 로딩시키는 리프트핀(lift pin; 120)이 설치되어 있다.As shown in FIG. 1, a conventional ODL manufacturing apparatus is inserted into a plate 100 into which a substrate 105 is loaded / unloaded and a pinhole 110 penetrating through the plate 100 to move up and down. A lift pin 120 is provided at 100 for loading / unloading the substrate 105, i.e., unloading the substrate 105 when directed upward, and loading the substrate 105 when directed downward. .

그러나, 도 1에서와 같은 구조에 있어서 핀홀(110) 내부에 삽입되어 있는 리프트핀(120)이 상하운동을 하게 되면 이로 인한 핀홀(110) 내경의 마모(abrasion)로 인한 파티클(particle)이 발생할 우려가 있으며, 이러한 파티클들은 로딩되는 기판에 묻게 되어 오엘이디 소자의 결함(defect)으로 이어질 가능성이 높아지게 된다.However, in the structure as shown in FIG. 1, when the lift pin 120 inserted into the pinhole 110 moves up and down, particles due to abrasion of the inner diameter of the pinhole 110 may occur. There is a concern that these particles may be buried in the loaded substrate, increasing the likelihood of defects in the LED element.

따라서, 이러한 문제점을 해결하기 위해서는 핀홀(110)과 리프트핀(120) 사이에 이격거리를 두는 방법과 핀홀(110)과 리프트핀(120) 사이에 베어링과 같은 부재를 두어 핀홀(110)과 리프트핀(120)과의 마모를 최소화 시키는 방법이 제시될 수 있다.Therefore, in order to solve this problem, a method of placing a separation distance between the pinhole 110 and the lift pin 120 and a pinhole 110 and the lift pin 120 by placing a member such as a bearing between the pinhole 110 and the lift pin 120 A method of minimizing wear with the pin 120 may be presented.

그러나, 첫번째 방법과 같이 이격거리를 두게 되면 핀홀(110)과 리프트핀(120) 사이에는 이격공간이 생기게 되고 이로 인해 핫플레이트에 부분적으로 온도편차가 생길 우려가 있다.However, when the separation distance is placed as in the first method, a separation space is formed between the pinhole 110 and the lift pin 120, which may cause a partial temperature deviation in the hot plate.

또한, 두번째 방법과 같이 핀홀(110)과 리프트핀(120) 사이에 베어링과 같은 부재를 두게 된다면 핀홀(110)과 리프트핀(120) 사이의 마모가 아닌 베어링 자체의 마모에 의한 파티클이 생길 우려가 있다.In addition, if a bearing-like member is placed between the pinhole 110 and the lift pin 120 as in the second method, particles may be generated due to wear of the bearing itself, not wear between the pinhole 110 and the lift pin 120. There is.

따라서, 스핀코터나 건조 또는 냉각 플레이트와 같은 핀홀에 삽입되어져 있 는 리프트핀의 상하운동에 의해 기판을 로딩/언로딩 시키는 방식으로 공정을 진행하는 오엘이디 소자의 제조장치에 있어서 는 이러한 리프트핀의 상하운동에 따른 핀홀과의 마찰에 의해 생기는 파티클을 효과적으로 제어할 수 있는 기술의 개발이 필요한 실정이다.Therefore, in the apparatus for manufacturing an OLED element in which the substrate is loaded / unloaded by the vertical motion of the lift pin inserted into the pinhole such as a spin coater or a drying or cooling plate, It is necessary to develop a technology that can effectively control particles generated by friction with pinholes due to vertical movement.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 핀홀 내에 삽입되어진 리프트핀의 상하운동에 의해 기판을 로딩/언로딩 시키는 방식으로 공정을 수행하는 오엘이디 소자의 제조장치에 있어서 리프트핀의 상하운동 동안에 핀홀과의 마찰에 의해 발생하는 파티클의 발생을 억제할 수 있는 오엘이디 소자의 제조장치를 제공하는데에 있다.The technical problem to be achieved in the present invention is a friction between the pinhole during the vertical movement of the lift pin in the apparatus for manufacturing an ODL element for performing a process by loading / unloading the substrate by the vertical movement of the lift pin inserted into the pinhole. It is an object of the present invention to provide an apparatus for producing an LED element capable of suppressing the generation of particles generated by the same.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 오엘이디 소자의 제조장치는 기판이 로딩되는 플레이트와; 플레이트를 관통하도록 플레이트 내부에 복수개의 핀홀들이 형성되어 있고; 플레이트에는 외부 진공펌프와 연결되어 상기 플레이트 상에 로딩되는 기판을 홀딩시켜 주는 배큠홀이 형성되어 있으며; 핀 홀 내부에는 핀홀의 측면과 소정의 이격간격을 두고 기판을 로딩/언로딩 시켜주는 리프트핀들이 형성되어 있으며; 핀홀 주위의 플레이트 내부에는 핀홀을 중심으로 평형을 이루는 자기력을 이용하여 리프트핀들이 핀홀의 측면에 접촉되는 것을 방지하는 전자석;이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above technical problem, an apparatus for manufacturing an LED element according to an embodiment of the present invention includes a plate on which a substrate is loaded; A plurality of pinholes are formed in the plate to penetrate the plate; The plate is provided with a back hole connected to the external vacuum pump to hold the substrate loaded on the plate; Lift pins are formed in the pin hole to load / unload the substrate at a predetermined distance from the side of the pin hole; An electromagnet for preventing lift pins from coming into contact with the sides of the pinholes by using a magnetic force that is balanced around the pinholes is installed in the plate around the pinholes.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 첨부 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the accompanying drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, only the present embodiments to make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

또한, 도면에서 발명을 구성하는 구성요소들의 크기는 명세서의 명확성을 위하여 과장되어 기술된 것이며, 어떤 구성요소가 다른 구성요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"고 기재된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소와 접하여 설치될 수도 있고, 그 소정의 이격거리를 두고 설치될 수도 있으며, 이격거리를 두고 설치되는 경우엔 상기 어떤 구성요소를 상기 다른 구성요소에 고정 내지 연결시키기 위한 제3의 수단에 대한 설명이 생략될 수도 있다.In addition, the size of the components constituting the invention in the drawings are exaggerated for clarity of the specification, when any component is described as "exists inside, or is installed in connection with" other components, any of the above configuration An element may be installed in contact with the other component, or may be installed at a predetermined distance from the other component, and when installed at a distance, a third element for fixing or connecting the component to the other component The description of the means of may be omitted.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 오엘이디 소자의 제조장치를 나타내는 도면 이다.2 is a view showing an apparatus for manufacturing an LED element according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 오엘이디 소자의 제조장치(20)는 플레이트(200), 리프트핀(210), 및 전자석(220)을 포함한다.As shown in FIG. 2, the apparatus 20 for manufacturing an LED element according to an exemplary embodiment of the present invention includes a plate 200, a lift pin 210, and an electromagnet 220.

플레이트(200)는 공정단계 중의 오엘이디 기판이 로딩되는 부분으로서, 플레이트(200) 내부에는 관통하도록 복수개의 핀홀(201)들이 형성되어 있다.The plate 200 is a portion in which the ODL substrate is loaded during the process step, and a plurality of pinholes 201 are formed in the plate 200 to penetrate through the plate 200.

상기 핀홀(201)의 내부에는 핀홀(201)의 측면과 소정의 이격간격을 두고 상하움직임에 따라 기판을 로딩/언로딩(loading/unloading) 시켜주는 리프트핀(lift pin; 210)이 설치되어 있다.A lift pin 210 is installed inside the pinhole 201 to load / unload the substrate according to the vertical movement at a predetermined distance from the side of the pinhole 201. .

플레이트(200)에 형성된 핀홀(201)과 리프트핀(210)의 갯수는 구조상 동일하며, 핀홀(201)의 갯수는 기판이 중심을 잡으면서 지지되기 위해서는 적어도 3개 이상 플레이트(200) 내부에 형성되어 있어야 한다.The number of pinholes 201 and lift pins 210 formed in the plate 200 is the same in structure, and the number of pinholes 201 is formed in at least three or more plates 200 to be supported while the substrate is centered. Should be.

예를 들어, 핀홀(201)들이 플레이트(200) 내부에 3개 형성되는 경우에는 서로 120°의 간격을 가지는 것이 바람직하며, 핀홀(201)들이 플레이트(200) 내부에 4개 형성되는 경우에는 서로 90°의 간격을 가지는 것이 바람직하다.For example, in the case where three pinholes 201 are formed in the plate 200, the pinholes 201 may be spaced apart from each other by 120 °, and in the case where four pinholes 201 are formed in the plate 200, It is preferred to have a spacing of 90 degrees.

다만, 상기 핀홀(201)과 리프트핀(210)의 형상은 모서리가 없는 원통형으로 해주는 것이 바람직하다.However, the shape of the pinhole 201 and the lift pin 210 is preferably a cylindrical shape without corners.

전자석(220)은 핀홀(201) 주위의 플레이트(200) 내부에 설치된다. 전자석(220)은 핀홀(201)을 중심으로 평형을 이루는 전자기력을 이용하여 리프트핀(210)들이 핀홀(201)의 측면에 접촉되는 것을 방지하기 위해 설치되는 것이다.The electromagnet 220 is installed inside the plate 200 around the pinhole 201. The electromagnet 220 is installed to prevent the lift pins 210 from coming into contact with the side surface of the pinhole 201 by using an electromagnetic force balanced by the pinhole 201.

즉, 전자석(220)은 핀홀(201)의 주위의 플레이트(200) 내부에 삽입되어 설치 되며, 전자기력(electro-magnetic)을 이용하여 리프트핀(210)들이 핀홀(201)의 측면과 접촉하여 마찰되는 것을 방지하기 위해 설치된다.That is, the electromagnet 220 is inserted and installed inside the plate 200 around the pinhole 201, and the lift pins 210 are in contact with the side surfaces of the pinhole 201 by using electromagnetic force. It is installed to prevent it.

도 3a 내지 도 3d는 하나의 핀홀(201) 주위의 플레이트(200) 내부에 설치되는 전자석(220)의 배치에 대한 실시예들을 나타내는 도면이다.3A to 3D are diagrams illustrating embodiments of arrangement of an electromagnet 220 installed inside the plate 200 around one pinhole 201.

전자석(220)은 도 3a에 나타낸 바와 같이 핀홀(201)의 주위를 모두 감싸도록 플레이트(200) 내부에 설치되거나, 도 3b에 나타낸 바와 같이 핀홀(201) 주위의 플레이트(200) 내부에 서로 120°의 간격으로 3개 설치하거나, 도 3c에 나타낸 바와 같이 플레이트(200) 내부에 서로 90°의 간격으로 4개 설치하는 것이 바람직하다.Electromagnet 220 is installed in the plate 200 to surround all around the pinhole 201, as shown in Figure 3a, or as shown in Figure 3b 120 each other inside the plate 200 around the pinhole 201 It is preferable to install three at intervals of °, or four at intervals of 90 degrees to each other inside the plate 200 as shown in FIG. 3C.

다만, 도 3a와 같이 전자석(220)을 핀홀(201) 주위를 모두 감싸도록 하는 경우에는 리프트핀(210)도 전자석으로 해주는 것이 바람직하다.However, when the electromagnet 220 is wrapped all around the pinhole 201 as shown in FIG. 3A, the lift pin 210 may also be an electromagnet.

상기와 같은 전자석(220)과 리프트핀(210)은 핀홀(201)을 중심으로 평형을 이루고 있는 전자기력에 의해 리프트핀(210)이 핀홀(201)의 측면에 접촉되는 것을 방지하여, 기계적 마찰이나 마모 없이 리프트핀(210)이 핀홀(201)의 내부에서 자유롭게 상하운동을 하는 것이 가능해진다.The electromagnet 220 and the lift pin 210 as described above prevents the lift pin 210 from contacting the side surface of the pinhole 201 by an electromagnetic force that is in equilibrium with respect to the pinhole 201. The lift pin 210 can freely move up and down inside the pinhole 201 without wearing.

다시 도 2를 참조하면, 본 발명의 플레이트(200) 부에는 플레이트(200) 상에 로딩되는 기판을 홀딩(holding) 시켜주는 배큠홀(vacuum hole; 230)이 더 형성될 수 있는데, 배큠홀(230)은 외부의 진공펌프와 연결되어 플레이트(200)와 기판 사이의 공간을 진공상태로 만들어주어 이러한 진공력에 의해 기판을 플레이트(200)에 홀딩시켜 주는 기능을 하는 부재이다.Referring to FIG. 2 again, a plate hole 230 for holding a substrate loaded on the plate 200 may be further formed in the plate 200 part of the present invention. 230 is a member that is connected to the external vacuum pump to make the space between the plate 200 and the substrate to a vacuum state to hold the substrate to the plate 200 by such a vacuum force.

이상 첨부된 도면 및 표를 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings and tables, the present invention is not limited to the above embodiments, but may be manufactured in various forms, and common knowledge in the art to which the present invention pertains. Those skilled in the art can understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive.

본 발명의 실시예에 따른 오엘이디 소자의 제조장치에 의하면 핀홀과 리프트핀 사이에 이격거리를 두고, 핀홀 주위의 공간에 전자석을 설치함으로써 리프트핀의 상하운동시에도 항상 핀홀과 리프트핀이 일정한 거리를 유지할 수 있도록 해줌으로써 핀홀과 리프트핀의 마찰에 의해 생기는 파티클의 발생을 억제할 수 있게 된다.According to the apparatus for manufacturing an OLED element according to an embodiment of the present invention, the pinhole and the lift pin are always at a constant distance even when the lift pin is vertically moved by installing an electromagnet in a space around the pinhole with a spaced distance between the pinhole and the lift pin. It is possible to suppress the generation of particles caused by the friction between the pinhole and the lift pin by maintaining the.

Claims (8)

기판이 로딩되는 플레이트와; 상기 플레이트를 관통하도록 상기 플레이트 내부에 복수개의 핀홀들이 형성되어 있고; 상기 플레이트에는 외부 진공펌프와 연결되어 상기 플레이트 상에 로딩되는 기판을 홀딩시켜 주는 배큠홀이 형성되어 있으며; 상기 핀홀 내부에는 상기 핀홀의 측면과 소정의 이격간격을 두고 상기 기판을 로딩/언로딩 시켜주는 리프트핀들이 형성되어 있으며; 상기 핀홀 주위의 상기 플레이트 내부에는 상기 핀홀을 중심으로 평형을 이루는 자기력을 이용하여 상기 리프트핀들이 상기 핀홀의 측면에 접촉되는 것을 방지하는 전자석;이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 오엘이디 소자의 제조 장치.A plate on which the substrate is loaded; A plurality of pinholes are formed in the plate to penetrate the plate; The plate is formed with a back hole connected to an external vacuum pump to hold a substrate loaded on the plate; Lift pins are formed in the pinhole to load / unload the substrate at a predetermined distance from a side of the pinhole; And an electromagnet for preventing the lift pins from coming into contact with the side surface of the pinhole by using a magnetic force that is balanced with the pinhole in the plate around the pinhole. . 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 핀홀들은 상기 플레이트 내부에 서로 120°의 간격으로 3개 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 오엘이디 소자의 제조 장치.The pinhole is an apparatus for manufacturing an LED element, characterized in that formed in the plate at intervals of 120 ° to each other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 핀홀들은 상기 플레이트 내부에 서로 90°의 간격으로 4개 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 오엘이디 소자의 제조 장치.The pinholes are four inside the plate manufacturing apparatus of the LED element, characterized in that formed at intervals of 90 ° to each other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 배큠홀은 적어도 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 오엘이디 소자의 제조 장치.At least one of the back-hole is an apparatus for manufacturing an LED element, characterized in that formed. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전자석은 상기 핀홀의 주위를 모두 감싸도록 상기 핀홀 주위의 상기 플레이트 내부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 오엘이디 소자의 제조 장치.And said electromagnet is installed inside said plate around said pinhole so as to surround all of said pinholes. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전자석은 상기 핀홀 주위의 상기 플레이트 내부에 서로 120°의 간격으로 3개 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 오엘이디 소자의 제조 장치.And three electromagnets are formed in the plate around the pinhole at intervals of 120 ° to each other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전자석은 상기 핀홀 주위의 상기 플레이트 내부에 서로 90°의 간격으로 4개 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 오엘이디 소자의 제조 장치.And four electromagnets are formed in the plate around the pinhole at intervals of 90 ° to each other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 핀홀과 상기 리프트핀은 모두 원통형인 것을 특징으로 하는 오엘이디 소자의 제조 장치.The pinhole and the lift pin are both an cylindrical device manufacturing apparatus, characterized in that the cylindrical.
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