KR20070051189A - 표시기판의 제조방법 및 이를 이용한 표시장치의 제조방법 - Google Patents

표시기판의 제조방법 및 이를 이용한 표시장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

표시기판의 제조방법 및 이를 이용한 표시장치의 제조방법이 개시된다. 표시기판에서, 베이스 기판 상에는 공통전극이 형성되고, 공통전극 위로는 감광막이 형성된다. 감광막을 패터닝하면 공통전극을 부분적으로 노출시키는 보호층 및 보호층보다 두꺼운 격벽층이 형성된다. 노출된 공통전극을 제거하면 공통전극에는 개구부가 형성된다. 공통전극 상에 구비된 보호층을 제거하면서 격벽층을 일부 잔류시키면 공통전극 상에는 스페이서가 형성된다. 이와 같이, 한 마스크 공정을 통해서 공통전극의 개구부와 스페이서가 형성됨으로써, 표시기판의 제조 공정 수를 감소시킬 수 있고, 상기한 표시기판을 구비하는 표시장치의 생산성을 향상시킬 수 있다.
스페이서, 보호층, 격벽층

Description

표시기판의 제조방법 및 이를 이용한 표시장치의 제조방법{METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY APPARATUS USING THE SAME}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시기판의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 절단선 I-I`에 따라 절단한 단면도이다.
도 3a 내지 도 3f는 도 1에 도시된 표시기판의 형성 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치의 평면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 절단선 II-II`에 따라 절단한 단면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 표시기판 120 : 블랙 매트릭스
130 : 컬러필터 140 : 오버 코팅층
150 : 공통전극 151 : 제1 개구부
160 : 스페이서 200 : 제2 표시기판
220 : 박막 트랜지스터 260 : 화소전극
261 : 제2 개구부 300 : 액정층
400 : 액정표시장치
본 발명은 표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 표시장치에 이용되는 표시기판의 제조방법 및 이를 이요한 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치는 제1 표시기판, 제1 표시기판과 마주보는 제2 표시기판 및 제1 표시기판과 제2 표시기판과의 사이에 개재된 액정층으로 이루어진다.
제1 표시기판은 화상을 나타내는 최소 단위인 복수의 화소로 이루어진다. 화소 각각은 게이트 라인, 데이터 라인, 박막 트랜지스터 및 화소전극을 구비한다. 게이트 라인과 데이터 라인은 게이트 신호와 데이터 신호를 각각 입력받고, 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 소오스 전극에 각각 전기적으로 연결된다. 따라서, 박막 트랜지스터는 게이트 신호와 데이터 신호에 응답하여 구동된다. 화소전극은 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 연결되고, 액정층을 사이에 두고 컬러필터기판에 형성된 공통전극과 마주한다. 이때, 화소전극과 공통전극으로 각각 인가된 서로 다른 전압에 의해서 두 전극 사이에는 전계가 형성되고, 전계에 의해서 액정층에 포함된 액정 분자들이 재배열된다. 이로 인해, 액정층을 투과하는 광의 광투과율이 변경됨으로써 액정표시장치로부터 영상이 표시된다.
이러한 액정표시장치는 음극선관 표시장치(Cathode Ray Tube type display device)와 비교하였을 때, 박형으로 만들 수 있는 장점을 갖는 반면에 음극선관 표시장치에 비하여 시야각(viewing angle)이 좁은 단점을 갖는다.
따라서, 액정표시장치의 좁은 시야각를 개선하기 위하여, 최근에는 보다 넓은 시야각을 갖는 피브이에이(Patterned Vertical Alignment: PVA) 모드, 엠브이에이(Multi-domain Vertical Alignment: MVA) 모드 및 아이피에스(In-Plane Switching: IPS) 모드의 액정표시장치가 개발되고 있다.
특히, PVA 모드 액정표시장치는 단위 화소 영역 내에서 액정층의 도메인(Domain)을 복수개로 분할하기 위해 개구 패턴을 갖는 공통전극과 화소전극을 구비한다. 여기서, 복수개로 분할된 액정층의 도메인 사이에서는 액정 분자들이 각각 서로 다른 방향으로 배열되고, 이에 따라 시야각이 향상된다.
그러나, 개구 패턴이 형성되지 않는 공통전극을 구비하는 액정표시장치에 비하여 PVA 모드 액정표시장치에는 공통전극에 개구 패턴을 형성하는 마스크 공정이 추가된다. 따라서, PVA 모드 액정표시장치의 전체 공정수가 증가할 뿐만 아니라, 마스크 추가로 인해 제조 원가가 상승되어, 생산성이 전체적으로 저하된다.
따라서, 본 발명의 목적은 생산성을 향상시키기 위한 표시기판의 제조방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 표시기판의 제조방법을 이용한 표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 특징에 따른 표시기판의 제조방법에서, 베이스 기판 상에는 공통전극이 형성되고, 상기 공통전극 위로 감광막이 적층된다. 상기 감광막을 패터닝하면 상기 공통전극을 부분적으로 노출시키는 보호층 및 상기 보호층보다 두꺼운 격벽층이 형성된다. 노출된 상기 공통전극을 제거하면 상기 공통전극에 개구부가 형성된다. 상기 보호층을 제거하면서 상기 격벽층을 일부 잔류시키면 상기 공통전극 상에는 잔류된 격벽층으로 이루어진 스페이서가 형성된다.
본 발명의 다른 특징에 따른 표시장치의 제조방법에서, 제1 표시기판은 베이스 기판, 공통전극 및 스페이서를 구비하고, 제2 표시기판은 상기 공통전극과 마주하는 화소전극을 구비하며, 상기 제1 표시기판과 상기 제2 표시기판은 서로 대향하여 결합한다.
상기 제1 표시기판에서, 상기 베이스 기판 상에는 상기 공통전극이 형성되고, 상기 공통전극 위로 감광막이 순차적으로 형성된다. 상기 감광막을 패터닝하면 상기 공통전극을 부분적으로 노출시키는 보호층 및 상기 보호층보다 두꺼운 격벽층이 형성된다. 노출된 상기 공통전극을 제거하면 상기 공통전극에는 개구부가 형성된다. 상기 공통전극 상에 형성된 상기 보호층을 제거하면서 상기 격벽층을 일부 잔류시키면 상기 공통전극 상에는 잔류된 격벽층으로 이루어진 상기 스페이서가 형성된다.
이러한 표시기판의 제조방법 및 이를 이용한 표시장치의 제조방법에 따르면, 공통전극에 개구부를 형성하기 위한 포토 공정에서 사용되는 감광막을 일부 잔류시켜 스페이서를 형성함으로써, 표시기판의 제조 공정 시간을 단축시킬 수 있고, 표 시기판의 제조 공정에서 사용되는 전체 마스크의 개수를 감소시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시기판의 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 절단선 I-I`에 따라 절단한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 표시기판(100)은 제1 베이스 기판(110), 블랙 매트릭스(120), 컬러필터층(130), 공통전극(150) 및 스페이서(160)를 포함한다.
상기 제1 베이스 기판(110)은 크게 차광영역(BA)과 상기 차광영역(BA)에 인접한 제1 내지 제3 컬러영역(CA1, CA2, CA3)으로 구분된다. 상기 차광영역(BA)은 인접하는 제1 내지 제3 컬러영역들(CA1, CA2, CA3) 사이에 형성된다. 상기 제1 베이스 기판(110)의 차광영역(BA)에는 상기 블랙 매트릭스(120)가 형성된다. 상기 컬러필터층(130)은 레드, 그린 및 블루 색화소(R, G, B)로 이루어지고, 상기 레드, 그린 및 블루 색화소(R, G, B)는 상기 제1 내지 제3 컬러영역(CA1, CA2, CA3)에 각각 형성된다. 여기서, 상기 레드, 그린 및 블루 색화소(R, G, B) 각각은 인접하는 블랙 매트릭스(120)와 부분적으로 오버랩된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 블랙 매트릭스(120)와 상기 컬러필터층(130) 상에는 오버 코팅층(140)이 더 형성된다. 상기 오버 코팅층(140)은 서로 다른 두께를 갖는 블랙 매트릭스(120)와 상기 컬러필터층(130) 사이에서 발생하는 단차를 감소시킴으로써 상기 컬러필터기판(100)의 표면을 평탄화시킨다.
상기 공통전극(150)은 상기 오버 코팅층(140) 상에 형성된다. 상기 공통전극 (150)에는 상기 오버 코팅층(140)을 노출시키는 제1 개구부(151)가 형성된다. 구체적으로, 상기 공통전극(150)은 하나의 컬러영역 내에서 두 개의 제1 개구부(151)를 구비하고, 상기 제1 개구부(151)는 'V'자 형상을 갖는다. 여기서, 상기 제1 개구부(151)는 한 화소 내에서 액정 분자의 배향 방향이 다른 도메인을 정의하기 위해서 형성된다. 액정 분자의 배향 방향에 대해서는 이후 도 4 및 도 5를 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.
상기 공통전극(150) 상에는 스페이서(160)가 형성된다. 상기 스페이서(160)는 어레이 기판의 화소전극과 상기 공통전극(150) 사이에 액정층이 형성될 공간을 확보하기 위해서 형성된다. 이처럼 상기 스페이서(160)는 공간 확보를 위한 것이므로, 상기 액정표시장치의 비유효 표시영역인 상기 표시기판(100)의 상기 차광영역(BA) 내에 형성된다.
도 3a 내지 도 3f는 도 2에 도시된 표시기판의 제조 과정을 나타낸 공정도들이다.
도 3a를 참조하면, 제1 베이스 기판(110)의 차광영역(BA)에는 외부로부터 입사된 광을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(120)가 형성된다. 본 발명의 일 예로, 상기 블랙 매트릭스(120)는 크롬(Cr) 또는 산화 크롬(Cr2O3)과 같은 금속물질로 이루어지거나, 카본(C)과 같은 유기물질로 이루어질 수 있다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 제1 베이스 기판(110) 상에는 레드, 그린 및 블루 색화소(R, G, B)로 이루어진 컬러필터층(130)이 형성된다. 상기 레드, 그 린 및 블루 색화소(R, G, B)는 상기 제1 내지 제3 컬러영역(CA1, CA2, CA3)에 각각 순차적으로 형성된다. 도면에 도시하지는 않았지만, 상기 컬러필터층(130)을 형성하는 공정에는 상기 레드, 그린 및 블루 색화소(R, G, B)를 각각 패터닝하기 위한 세 개의 마스크가 이용된다.
도 3c를 참조하면, 상기 블랙 매트릭스(120)와 상기 컬러필터층(130) 상에는 오버 코팅층(140)이 더 형성된다. 상기 오버 코팅층(140)은 서로 다른 두께를 갖는 상기 블랙 매트릭스(120)와 상기 컬러필터층(130) 사이에서 발생하는 단차를 감소시킨다. 본 발명의 일예로, 상기 오버 코팅층(140)은 상기한 단차를 제거할 수 있을 정도의 두께를 갖는 유기 물질로 이루어진다.
도 3d를 참조하면, 상기 오버 코팅층(140) 상에는 도전층(155)이 균일한 두께로 형성된다. 상기 도전층(155)은 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide: ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide: IZO)와 같은 투명한 도전성 물질로 이루어진다.
도 3e에 도시된 바와 같이, 상기 도전층(155) 상에는 스핀 코팅 방식으로 감광막(165)이 형성된다. 상기 감광막(165)은 고분자 수지로 이루어지고, 대략 4.5㎛의 두께를 갖는다. 도 3e 및 도 3f에 도시된 감광막(165)은 포지티브 타입이지만, 상기 감광막(165)은 네가티브 타입으로도 이루어질 수 있다.
도 3f를 참조하면, 상기 감광막(165)을 패터닝하기 위해 사용되는 마스크(170)는 크게 세 영역으로 구분된다. 구체적으로, 상기 마스크(170)의 제1 영역(A1)에는 상기 감광막(165)을 부분 노광시키기 위한 슬릿패턴(171)이 형성되고, 제 2 영역(A2)에는 상기 감광막(165)을 완전 노광시키기 위한 개구패턴(172)이 형성된다. 한편, 상기 마스크(170)는 제3 영역(A3)에서 상기 감광막(165)이 노광되지 않도록 광을 차단한다.
도 3f에서는 상기 제1 영역(A1)에서 상기 감광막(165)을 부분 노광하기 위한 슬릿 패턴(171)이 형성된 마스크(170)를 도시하였지만, 본 발명의 다른 일예로 상기 슬릿 패턴(171) 대신에 하프-톤(half tone) 패턴이 형성된 마스크가 이용될 수 있다.
이후, 상기 감광막(165) 상에 상기 마스크(170)를 배치시킨 후 노광하고 노광된 상기 감광막(165)을 현상하면, 상기 제1 영역(A1)에는 보호층(161)이 형성되고, 상기 제3 영역(A3)에는 상기 보호층(161)보다 두꺼운 격벽층(162)이 형성된다. 또한, 상기 제2 영역(A2)에 형성된 상기 감광막(165)은 완전하게 제거되어 상기 도전층(155)을 부분적으로 노출시킨다. 다음, 상기 도전층(155)의 노출된 부분을 제거하면 제1 개구부(151)를 갖는 공통전극(150)이 형성된다.
이후, 스트립 용액을 이용한 스트립 공정이 이루어지면, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 보호층(161)은 완전하게 제거되고, 상기 격벽층(162)의 상단부만 부분적으로 제거되고 나머지 부분은 잔류한다. 따라서, 잔류된 상기 격벽층(162)의 나머지 부분이 상기 공통전극(150) 상에 스페이서(160)로써 형성된다. 이때, 상기 스트립 조건에 따라서 상기 스페이서(160)의 전체 높이가 변화되므로, 형성하고자하는 상기 스페이서(160)의 높이에 따라서 스트립 시간 및 온도가 적절하게 조절될 수 있다.
이후, 베이크 공정을 통해서 상기 스페이서(160)를 경화시킴으로써, 상기 스페이서(160)의 강도를 향상시킨다. 본 발명의 일예로, 상기 베이크 공정은 150℃ 내지 260℃의 온도에서 40분간 이루어진다. 더욱 바람직하게, 상기 베이크 공정은 200℃ 내지 240℃의 온도에서 40분간 이루어진다. 상기한 베이크 공정까지 완료되면 도 2에 도시된 컬러필터기판(100)이 완성된다.
이와 같이, 상기 공통전극(150)에 상기 제1 개구부(151)를 형성하기 위해 사용되는 감광막(165)을 일부 잔류시켜 상기 스페이서(160)로 형성함으로써, 상기 표시기판(100)의 제조 공정에서 사용되는 전체 마스크의 개수를 감소시킬 수 있다. 구체적으로, 상기 표시기판(100)의 제조 공정에서는 상기 블랙 매트릭스(120)를 형성하기 위한 한 개의 마스크, 상기 컬러필터(130)를 형성하기 위한 세 개의 마스크 및 상기 공통전극(150)의 제1 개구부(151)와 스페이서(160)를 형성하기 위한 한 개의 마스크를 합한 총 다섯 개의 마스크가 이용된다. 이와 같이, 상기 표시기판(100)의 제조공정에서 사용되는 전체 마스크의 개수가 감소됨으로써 제조 원가가 절감되고, 공정 시간이 단축되어 생산성이 향상될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치의 평면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 절단선 II-II`에 따라 절단한 단면도이다. 단, 도 4 및 도 5에 도시된 구성요소 중 도 1 내지 도 2에 도시된 구성요소와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 병기하고, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 액정표시장치(400)는 제1 표시기판(100), 상기 제1 표시기판(100)과 마주하는 제2 표시기판(200) 및 상기 제1 표시기판(100)과 상기 제2 표시기판(200)과의 사이에 개재된 액정층(300)으로 이루어진다.
상기 제2 표시기판(200)은 제2 베이스 기판(210), 게이트 라인(GL), 데이터 라인(DL), 박막 트랜지스터(220) 및 화소전극(260)을 구비한다.
상기 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)은 상기 제2 베이스 기판(210) 상에 구비되고, 서로 직교하는 방향으로 연장된다. 상기 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)은 게이트 절연막(230)에 의해서 서로 전기적으로 절연되고, 상기 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)에는 게이트 신호와 데이터 신호가 각각 인가된다.
상기 박막 트랜지스터(220)는 상기 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)에 전기적으로 연결된다. 구체적으로, 상기 박막 트랜지스터(220)의 게이트 전극은 상기 게이트 라인(GL)에, 소오스 전극은 상기 데이터 라인(DL)에 전기적으로 연결된다. 한편, 상기 박막 트랜지스터(220)의 드레인 전극은 상기 화소전극(260)에 전기적으로 연결된다. 따라서, 상기 박막 트랜지스터(220)는 상기 게이트 신호에 응답하여 상기 데이터 신호를 상기 화소전극(260)으로 제공한다.
상기 화소전극(260)은 절곡되어‘V'자 형상을 갖고, 상기 화소전극(260)의 절곡부는 데이터 라인(DL)과 부분적으로 오버랩된다. 상기 화소전극(260)의 중앙영역에는 'V'자 형상의 제2 개구부(261)가 형성된다.
여기서, 상기 화소전극(260)에 형성된 제2 개구부(261)는 상기 공통전극(150)에 형성된 두 개의 제1 개구부(151) 사이에 위치한다. 이와 같이 상기 제1 및 제2 개구부(151, 261)에 의해서 상기 액정표시장치(400)의 단위 화소 영역은 액정 배향이 다른 다수의 도메인으로 분할된다.
상기 어레이 기판(200)이 완성되면, 상기 어레이 기판(200) 상에는 액정이 적하된다. 이후, 액정이 적하된 상기 어레이 기판(200)을 상기 컬러필터기판(100)에 결합시킨다. 이때, 상기 컬러필터기판(100)에 형성된 스페이서(160)는 상기 어레이 기판(200)과 상기 컬러필터기판(100)을 이격시킨다. 따라서, 두 기판 사이에는 액정층(300)이 형성될 수 있는 공간이 확보된다.
이와 같이 완성된 상기 액정표시장치(400)의 상기 화소전극(260)과 상기 공통전극(150) 사이에 전기장이 형성되면, 도메인에 따라서 상기 액정층(300)에 포함된 액정 분자들은 서로 다른 방향으로 배향된다. 따라서, 액정표시장치(400)는 배향된 액정 분자를 이용하여 광 투과도를 조절함으로써 영상을 표시할 수 있고, 그 결과 상기 액정표시장치(400)의 시야각을 전체적으로 개선할 수 있다.
도 4 및 도 5에 도시하지는 않았지만, 상기 액정표시장치(400)는 수동 발광소자인 상기 액정 분자들을 이용하므로, 상기 어레이 기판(200)의 후면에 구비되어 광을 발생하는 백라이트 어셈블리를 더 포함한다. 따라서, 상기 액정표시장치(400)는 상기 백라이트 어셈블리로부터 출력되어 상기 액정(300)에 의해서 투과도가 조절된 광을 이용하여 영상을 표시한다.
이와 같은 컬러필터기판의 제조방법 및 이를 이용한 표시장치의 제조방법에 따르면, 공통전극에 제1 개구부를 형성하기 위해 사용되는 감광막을 상기 공통전극 상에 일부 잔류시킴으로써 스페이서를 형성한다.
따라서, 상기 제1 개구부와 상기 스페이서는 한 번의 포토 공정을 통해서 형 성되므로, 컬러필터기판의 제조 공정 시간을 단축시킬 수 있고, 컬러필터기판의 제조 공정에서 사용되는 전체적인 마스크의 개수를 감소시킬 수 있다. 이로써, 액정표시장치의 생산성을 향상시킬 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (10)

  1. 베이스 기판 상에 공통전극을 형성하는 단계;
    상기 공통전극 상에 감광막을 형성하는 단계;
    상기 감광막을 패터닝하여 상기 공통전극을 부분적으로 노출시키는 보호층 및 상기 보호층보다 두꺼운 격벽층을 형성하는 단계;
    노출된 상기 공통전극을 제거하여 상기 공통전극에 개구부를 형성하는 단계; 및
    상기 보호층은 제거하고 상기 격벽층은 일부 잔류시켜 상기 공통전극 상에 잔류된 상기 격벽층으로 이루어진 스페이서를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시기판의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 보호층과 상기 격벽층을 형성하는 단계에서,
    상기 감광막은 상기 보호층이 형성되는 영역에 대응하여 부분 노광되고, 상기 개구부가 형성되는 영역에 대응하여 완전 노광되는 것을 특징으로 하는 표시기판의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 감광막은 고분자 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시기판의 제 조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 보호층의 두께는 0.5㎛ 내지 1.2㎛이고, 상기 격벽층의 두께는 3.0㎛ 내지 5.5㎛인 것을 특징으로 하는 표시기판의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 공통전극을 형성하는 단계 이전에,
    상기 베이스 기판 상에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계;
    상기 블랙 매트릭스와 인접하도록 상기 베이스 기판 상에 컬러필터층을 형성하는 단계;
    상기 블랙 매트릭스와 상기 컬러필터층 상에 상기 블랙 매트릭스와 상기 컬러필터층 사이의 단차를 감소시키는 오버 코팅층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시기판의 제조방법.
  6. 공통전극 및 스페이서를 구비하는 제1 표시기판을 형성하는 단계;
    상기 공통전극과 마주하는 화소전극을 구비하는 제2 표시기판을 형성하는 단계; 및
    상기 제1 및 제2 표시기판을 결합하는 단계를 포함하고,
    상기 제1 표시기판을 형성하는 단계는,
    베이스 기판 상에 상기 공통전극을 형성하는 단계;
    상기 공통전극 상에 감광막을 형성하는 단계;
    상기 감광막을 패터닝하여 상기 공통전극을 부분적으로 노출시키는 보호층 및 상기 보호층보다 두꺼운 격벽층을 형성하는 단계;
    노출된 상기 공통전극을 제거하여 상기 공통전극에 개구부를 형성하는 단계; 및
    상기 보호층은 제거하고 상기 격벽층은 일부 잔류시켜 상기 공통전극 상에 잔류된 상기 격벽층으로 이루어진 스페이서를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 보호층과 상기 격벽층을 형성하는 단계에서,
    상기 감광막은 상기 보호층이 형성되는 영역에 대응하여 부분 노광되고, 상기 개구부가 형성되는 영역에 대응하여 완전 노광되는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 감광막은 고분자 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  9. 베이스 기판;
    상기 베이스 기판 상에 구비되고, 개구부가 형성된 공통전극; 및
    감광성 물질로 이루어지고, 상기 공통전극 상에 구비된 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시기판.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 베이스 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스;
    상기 블랙 매트릭스와 인접하도록 상기 베이스 기판 상에 구비된 컬러필터층; 및
    상기 블랙 매트릭스와 상기 컬러필터층 상에 구비되어 상기 블랙 매트릭스와 상기 컬러필터층 사이의 단차를 감소시키는 오버 코팅층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시기판.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100136284A (ko) * 2009-06-18 2010-12-28 삼성전자주식회사 액정 표시 장치 및 그 제조 방법

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