KR20070044719A - Combination structure of inlet flange and outer tube - Google Patents
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Abstract
종형 확산로의 인렛 플랜지와 아우터 튜브의 체결 구조를 제공한다. 개시된 종형 확산로의 인렛 플랜지와 아우터 튜브의 체결 구조는 상기 아우터 튜브의 플랜지부 상면이 고정링에 접촉되는 것을 방지하는 수평부와, 상기 수평부의 일단에 연결되어 상기 아우터 튜브의 플랜지부 외주면이 상기 고정링에 접촉되는 것을 방지하는 제1수직부, 및 상기 수평부의 타단에 연결되어 상기 아우터 튜브의 몸체 외주면이 상기 고정링에 접촉되는 것을 방지하는 제2수직부를 포함하는 환 형상의 완충 부재를 상기 고정링과 상기 아우터 튜브 사이에 개재시켜 상기 고정링을 통해 상기 인렛 플랜지의 상단 플랜지부에 안착되는 상기 아우터 튜브의 플랜지부를 가압함으로써 상기 아우터 튜브를 상기 인렛 플랜지에 고정시키는 구조를 갖는다.Provides a fastening structure for the inlet flange and outer tube of the longitudinal diffusion furnace. The fastening structure of the inlet flange and the outer tube of the vertical diffusion path disclosed is a horizontal portion that prevents the upper surface of the flange portion of the outer tube from contacting the fixing ring, and is connected to one end of the horizontal portion so that the flange outer peripheral surface of the outer tube is The annular cushioning member includes a first vertical portion for preventing contact with the fixing ring, and a second vertical portion connected with the other end of the horizontal portion to prevent the outer circumferential surface of the outer tube from contacting the fixing ring. Interposed between the fixing ring and the outer tube has a structure for fixing the outer tube to the inlet flange by pressing the flange portion of the outer tube seated on the upper flange portion of the inlet flange through the fixing ring.
Description
도 1은 종래 종형 확산로의 아우터 튜브와 인렛 플랜지의 체결 구조를 나타낸 일부 단면도이다.1 is a partial cross-sectional view showing a fastening structure of an outer tube and an inlet flange of a conventional vertical diffusion path.
도 2는 도 1의 아우터 튜브와 인렛 플랜지의 비정상적 체결 상태를 나타낸 일부 단면도이다.FIG. 2 is a partial cross-sectional view illustrating an abnormal fastening state between the outer tube and the inlet flange of FIG. 1.
도 3은 본 발명에 따른 아우터 튜브와 인렛 플랜지의 체결 구조를 갖는 종형 확산로의 구성도이다.3 is a configuration diagram of a vertical diffusion path having a fastening structure of an outer tube and an inlet flange according to the present invention.
도 4는 본 발명에 따른 아우터 튜브와 인렛 플랜지의 체결 구조를 나타낸 일부 단면도이다.Figure 4 is a partial cross-sectional view showing a fastening structure of the outer tube and the inlet flange according to the present invention.
**도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **
110 : 아우터 튜브 120 : 인너 튜브110: outer tube 120: inner tube
130 : 히터 블럭 140 : 인렛 플랜지130: heater block 140: inlet flange
141 : 상단 플랜지부 141a : 환형홈141:
141b : 냉매 유로 150 : 고정링141b: refrigerant path 150: retaining ring
162 : 오링 164 : 스페이서162: O-ring 164: spacer
164a : 돌기 170 : 캡부164a: protrusion 170: cap portion
184 : 보트 190 : 엘리베이터184: boat 190: elevator
200 : 완충 부재 202 : 수평부200: buffer member 202: horizontal portion
204 : 제1수직부 206 : 제2수직부204: first vertical portion 206: second vertical portion
본 발명은 반도체 소자의 제조 장치인 종형 확산로에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 종형 확산로의 인렛 플랜지와 아우터 튜브의 체결 구조에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vertical diffusion path that is a manufacturing device for a semiconductor device, and more particularly, to a fastening structure of an inlet flange and an outer tube of a vertical diffusion path.
일반적으로 반도체 소자의 제조 공정에서 집적 회로를 구성하는 단위 소자들은 반도체 기판인 웨이퍼 상에 사진, 확산, 식각, 이온주입 등의 단위 공정을 선택적, 반복적으로 수행함으로써 제조된다.In general, unit devices constituting an integrated circuit in a semiconductor device manufacturing process are manufactured by selectively and repeatedly performing a unit process such as photo, diffusion, etching, or ion implantation on a wafer, which is a semiconductor substrate.
상기 단위 공정 중 빈번히 수행되는 공정의 하나로 이온주입공정과 더불어 웨이퍼 상에 P형이나 N형의 불순물을 침투시키거나 특정막을 형성 또는 성장시키는 확산 공정이 있다.In addition to the ion implantation process, one of the frequently performed unit processes includes a diffusion process of infiltrating P-type or N-type impurities or forming or growing a specific film on the wafer.
상기 확산 공정은 기체 상태의 화합물을 열분해하여 분해된 기체 화합물의 이온들이 반도체 기판인 웨이퍼와 화학 반응하도록 함으로써 웨이퍼 상에 산화막 또는 에피층 등의 박막을 형성하는데 이용되고 있다. 한편, 이러한 확산 공정은 주로 우수한 균일성과 반복성 및 낮은 결함률 등의 장점을 갖는 종형 확산로에서 그 진행이 이루어진다.The diffusion process is used to form a thin film such as an oxide film or an epi layer on a wafer by thermally decomposing a gaseous compound to cause ions of the decomposed gaseous compound to chemically react with a wafer, which is a semiconductor substrate. On the other hand, the diffusion process is mainly performed in the vertical diffusion furnace having advantages such as excellent uniformity and repeatability and low defect rate.
종래의 종형 확산로에 대해 간략히 살펴보면, 상기 종형 확산로는 상부는 폐 쇄된 반면 하부는 개방된 종형의 아우터 튜브(Outer Tube)와, 상기 아우터 튜브의 외측에 배치되어 상기 아우터 튜브 내부의 온도를 고온 분위기로 형성하기 위해 선택적으로 가열되는 복수 개의 히터 코일이 구비된 히터를 구비한다. 또한, 상기 아우터 튜브의 내부에는 상하부가 개방된 원통형의 인너 튜브(Inner Tube)가 상기 아우터 튜브와 함께 인렛 플랜지(Inlet flange)에 지지고정되도록 구성된다. A brief description will be made of a conventional vertical diffusion furnace, wherein the vertical diffusion path is closed at an upper portion of the vertical diffusion path, while the lower portion thereof is open at an outer side of the vertical diffusion path, and is disposed outside the outer tube to heat a temperature inside the outer tube. And a heater with a plurality of heater coils which are selectively heated to form an atmosphere. In addition, the inner tube is configured such that a cylindrical inner tube having an upper and lower portions opened therein is supported and fixed to an inlet flange together with the outer tube.
이때, 상기 종형 확산로의 반응 공간인 상기 아우터 튜브의 내부는 소정의 진공 상태를 유지해야 할 뿐만 아니라, 확산 공정의 수행을 위해 그 내부로 유입되는 반응 가스가 새어나가지 않도록 밀폐되어야 한다. 이를 위해 상기 아우터 튜브와 상기 인렛 플랜지는 실링을 위한 결합 구조를 갖는다.At this time, the inside of the outer tube, which is the reaction space of the vertical diffusion path, must not only maintain a predetermined vacuum state, but also must be closed to prevent leakage of the reaction gas introduced therein for performing the diffusion process. To this end, the outer tube and the inlet flange have a coupling structure for sealing.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 상기 아우터 튜브와 상기 인렛 플랜지의 체결 구조에 대해 살펴본다. 도 1은 종래 종형 확산로의 아우터 튜브와 인렛 플랜지의 체결 구조를 나타내는 일부 단면도이고, 도 2는 도 1의 아우터 튜브와 인렛 플랜지의 비정상적 체결 상태를 나타낸 일부 단면도이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings looks at the fastening structure of the outer tube and the inlet flange. 1 is a partial cross-sectional view showing a fastening structure of the outer tube and the inlet flange of the conventional longitudinal diffusion path, Figure 2 is a partial cross-sectional view showing an abnormal fastening state of the outer tube and inlet flange of FIG.
도 1을 참조하면, 종형의 아우터 튜브(10)가 인렛 플랜지(20)에 결합된 상태가 도시되어 있다.Referring to FIG. 1, the vertical
상기 인렛 플랜지(20)는 그 상부에 외측으로 수평하게 돌출 형성된 환 형상의 상단 플랜지부(21)를 구비한다. 상기 상단 플랜지부(21)의 상부에는 오링(23) 및 스페이서(25)가 삽입되는 환형홈(21a)이 형성되고, 그 내부에는 상기 오링(23)의 열화 방지를 위한 냉매가 순환되도록 하는 환 형상의 냉매 유로(21b)가 형성되며, 테두리 부근 소정 위치에는 상기 아우터 튜브(10)를 상기 인렛 플랜지(20)에 고정하는 고정링(27)의 나사 체결을 위한 나사홈(21c)이 형성되어 있다. 미설명 부호 27a는 상기 고정링(27)에 형성된 나사홀을 나타낸다.The
상기 아우터 튜브(10)와 인렛 플랜지(20)의 체결 구조를 살펴보면, 상기 인렛 플랜지(20)의 상단 플랜지부(21) 상면에 상기 아우터 튜브(10)의 하단에 형성된 환 형상의 플랜지부(11)를 안착시키고, 상기 고정링(27)을 통해 상기 아우터 튜브(10)가 상기 인렛 플랜지(20)에 고정되도록 한다. Looking at the coupling structure of the
이때, 상기 인렛 플랜지(20)의 상단 플랜지부(21)에 형성된 환형홈(21a) 내에는 실링을 위한 오링(23)이 장착된다. 또한, 상기 환형홈(21a) 내에는 상기 오링(23)의 실링 작용을 보완할 뿐만 아니라 상기 아우터 튜브(10)의 플랜지부(11) 하면 및 외주면을 지지함으로써 상기 아우터 튜브(10)의 안착 위치를 가이드하는 스페이서(25)가 장착된다. 한편, 상기 아우터 튜브(10)의 플랜지부(11) 상면과 상기 고정링(27) 사이에는 완충 부재(29)가 개재된다. 미설명 부호 25a는 상기 아우터 튜브(10)의 플랜지부(11) 외주면을 지지하도록 상기 스페이서(25)에 형성된 돌기를 나타낸다.At this time, the O-
그런데 전술한 종래의 아우터 튜브(10)와 인렛 플랜지(20)의 체결 구조에 있어서는 다음과 같은 문제가 있다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 그 체결 과정에서 상기 아우터 튜브(10)의 플랜지부(11)가 상기 인렛 플랜지(20)의 상단 플랜지부(21)에 제대로 안착되지 못하고 상기 스페이서(25)의 돌기(25a) 위에 올라타게 됨으로써 상기 아우터 튜브(10)의 플랜지부(11) 외주면이 상기 고정링(27)과 부딪쳐 손상될 수 있다. 또한, 전술한 상태로 상기 고정링(27)에 의해 가압고정될 경우 상 기 아우터 튜브(10)의 내주면 모서리에 무리한 하중이 걸리게 됨으로써 쉽게 손상될 수 있는 문제점이 있다.However, the above-described conventional fastening structure of the
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 단점을 극복하기 위해 안출된 것으로서, 아우터 튜브와 인렛 플랜지의 결합 구조를 개선함으로써 상기 아우터 튜브가 손상되는 것을 방지하도록 한 종형 확산로의 인렛 플랜지와 아우터 튜브의 체결 구조를 제공하는 것을 기술적 과제로 삼고 있다.The present invention has been made to overcome the drawbacks of the prior art as described above, the fastening of the inlet flange and the outer tube of the longitudinal diffusion path to prevent damage to the outer tube by improving the coupling structure of the outer tube and the inlet flange Providing a structure is a technical challenge.
상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 종형 확산로의 인렛 플랜지와 아우터 튜브의 결합 구조는 상기 아우터 튜브의 플랜지부 상면이 고정링에 접촉되는 것을 방지하는 수평부와, 상기 수평부의 일단에 연결되어 상기 아우터 튜브의 플랜지부 외주면이 상기 고정링에 접촉되는 것을 방지하는 제1수직부, 및 상기 수평부의 타단에 연결되어 상기 아우터 튜브의 몸체 외주면이 상기 고정링에 접촉되는 것을 방지하는 제2수직부를 포함하는 환 형상의 완충 부재를 상기 고정링과 상기 아우터 튜브 사이에 개재시켜 상기 고정링을 통해 상기 인렛 플랜지의 상단 플랜지부에 안착되는 상기 아우터 튜브의 플랜지부를 가압함으로써 상기 아우터 튜브를 상기 인렛 플랜지에 고정시키는 구조를 갖는다.The combination structure of the inlet flange and the outer tube of the longitudinal diffusion passage according to the present invention for achieving the above technical problem is a horizontal portion to prevent the upper surface of the flange portion of the outer tube in contact with the fixing ring, one end of the horizontal portion A first vertical part connected to the first vertical part to prevent the outer peripheral surface of the flange part of the outer tube from contacting the fixing ring, and a second vertical part connected to the other end of the outer tube to prevent the outer peripheral surface of the outer tube from contacting the fixing ring; The outer tube is pressurized by interposing an annular buffer member including a vertical portion between the fixing ring and the outer tube to press the flange portion of the outer tube seated on the upper flange portion of the inlet flange through the fixing ring. It has a structure for fixing to the inlet flange.
일 실시예에서 상기 제1수직부는 상기 아우터 튜브의 플랜지부 외주면과 상기 고정링 사이의 공간을 채울 수 있는 두께로 형성될 수 있다.In one embodiment, the first vertical portion may be formed to a thickness to fill a space between the outer peripheral surface of the flange portion of the outer tube and the fixing ring.
다른 실시예에서 상기 제2수직부는 상기 아우터 튜브의 몸체 외주면과 상기 고정링 사이의 공간을 채울 수 있는 두께로 형성될 수 있다.In another embodiment, the second vertical portion may be formed to a thickness to fill a space between the outer circumferential surface of the outer tube and the fixing ring.
또 다른 실시예에서 상기 인렛 플랜지의 상단 플랜지부에는 환형홈이 마련되고, 상기 아우터 튜브의 내부를 밀폐시키도록 상기 환형홈 내에는 상기 아우터 튜브의 플랜지부 하면과 밀착되는 오링이 삽입될 수 있다.In another embodiment, the upper flange portion of the inlet flange is provided with an annular groove, the O-ring in close contact with the lower surface of the flange portion of the outer tube may be inserted in the annular groove to seal the inside of the outer tube.
또 다른 실시예에서 상기 환형홈 내에는 상기 아우터 튜브의 플랜지부 하면 및 외주면의 일정 부분과 밀착되어 상기 아우터 튜브의 설치 위치를 가이드하는 스페이서가 추가로 삽입될 수 있다.In another embodiment, a spacer may be inserted into the annular groove to closely contact a lower portion of the flange portion and an outer circumferential surface of the outer tube to guide the installation position of the outer tube.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 한편, 첨부된 도면들에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위해 다소 과장되어진 것으로 이해되는 것이 바람직하며, 명세서 전반에 걸쳐 동일한 참조부호들은 동일한 구성요소를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided to ensure that the disclosed subject matter is thorough and complete, and that the scope of the invention to those skilled in the art will fully convey. On the other hand, the shape and the like of the elements in the accompanying drawings is preferably understood to be somewhat exaggerated for clearer description, the same reference numerals throughout the specification represent the same components.
도 3은 본 발명에 따른 아우터 튜브와 인렛 플랜지의 체결 구조를 갖는 종형 확산로의 구성도이다.3 is a configuration diagram of a vertical diffusion path having a fastening structure of an outer tube and an inlet flange according to the present invention.
먼저, 본 발명에 따른 아우터 튜브(Outer Tube, 110)와 인렛 플랜지(Inlet flange, 140)의 체결 구조를 갖는 종형 확산로(100)의 전체적인 구성에 대해 설명한다.First, the overall configuration of a vertical diffusion path 100 having a fastening structure of an
상기 종형 확산로(100)는 반응 공간을 형성하는 아우터 튜브(110)를 구비한 다. 상기 아우터 튜브(110)는 상부가 폐쇄되고 하부는 개방된 종 형상의 몸체(112)와, 상기 몸체(112)의 하단에 외측으로 수평하게 돌출되도록 형성된 환 형상의 플랜지부(114)로 구성된다. 상기 아우터 튜브(110)의 내부에는 소정 간격 이격되도록 배치되는 상하부가 개방된 원통형의 인너 튜브(Inner Tube, 120)가 마련된다. 이때, 상기 아우터 튜브(110) 및 상기 인너 튜브(120)는 석영과 같은 내열성 재료로 형성된다.The vertical diffusion path 100 includes an
상기 아우터 튜브(110)의 외측에는 상기 아우터 튜브(110)를 둘러싸도록 설치되는 히터 블럭(130)이 마련된다. 상기 히터 블럭(130)은 발열체인 히터 코일(132)과, 상기 히터 코일(132)을 둘러싸는 단열재(134), 및 상기 단열재(134)를 커버하는 스테인리스 스틸로 이루어진 통 형상의 케이스(136)로 구성된다. 상기 히터 블럭(130)은 상기 히터 코일(132)의 선택적 가열을 통해 상기 아우터 튜브(110)의 내부 온도를 공정에 필요한 적정 온도 범위, 예를 들어 500~1200℃ 범위로 형성하는 역할을 수행한다. A
상기 아우터 튜브(110)의 하부에는 원통형의 인렛 플랜지(140)가 배치된다. 상기 인렛 플랜지(140)는 그 외주면으로부터 돌출 형성된 환 형상의 상단 플랜지부(141) 및 하단 플랜지부(143)와, 그 내주면으로부터 돌출 형성된 환 형상의 내측 플랜지부(145)를 갖는다. 이때, 상기 인렛 플랜지(140)의 상단 플랜지부(141)에는 상기 아우터 튜브(110)의 플랜지부(114)가 안착되고, 고정링(150)에 의해 상기 아우터 튜브(110)의 플랜지부(114)를 가압함으로써 상기 아우터 튜브(110)와 상기 인렛 플랜지(140)가 서로 체결되도록 하는데, 이와 같은 본 발명에 따른 상기 아우터 튜브(110)와 상기 인렛 플랜지(140)의 체결 구조에 대한 보다 상세한 설명은 후술하기로 한다. A
한편, 상기 인렛 플랜지(140)의 내측 플랜지부(145)에는 전술한 인너 튜브(120)가 안착되어 지지되며, 상기 인렛 플랜지(140)의 하단 플랜지부(143)는 후술할 캡부(170)와 결합됨으로써 상기 인렛 플랜지(140)의 내부 및 상기 아우터 튜브(110)의 내부가 밀폐되도록 한다. 이때, 상기 캡부(170)에는 실링을 위한 오링(172)이 삽입된다.On the other hand, the
또한, 상기 인렛 플랜지(140)의 일측에는 반응 가스를 상기 아우터 튜브(110)의 내부로 공급하기 위한 가스 도입관(147)이 마련되고, 상기 인렛 플랜지(140)의 타측에는 도시되지 않은 진공 펌프와 연결되는 가스 배기관(149)이 마련되어 상기 진공 펌프에 의해 상기 아우터 튜브(110) 내부를 공정에 필요한 진공 상태로 형성할 수 있게 된다.In addition, one side of the
한편, 상기 캡부(170) 상에는 석영으로 이루어진 보온통(182)이 회전가능하게 설치되고, 상기 보온통(182)의 상부에는 다수 매의 웨이퍼(W)가 적재된 웨이퍼 보트(184)가 장착된다. 상기 캡부(170)는 엘리베이터(190)에 의해 승하강됨으로써 상기 웨이퍼 보트(184)를 상기 인너 튜브(120)의 내부로 로딩하거나 그 외부로 언로딩한다.On the other hand, on the
이하에서는 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 아우터 튜브와 인렛 플랜지의 체결 구조에 대해 상세히 설명한다. 도 4는 본 발명에 따른 아우터 튜브와 인렛 플랜지의 체결 구조를 나타낸 일부 단면도이다.Hereinafter, a fastening structure of the outer tube and the inlet flange according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. 4. Figure 4 is a partial cross-sectional view showing a fastening structure of the outer tube and the inlet flange according to the present invention.
도 4를 참조하면, 상기 인렛 플랜지(140)의 상단 플랜지부(141)에 설치되는 상기 아우터 튜브(110)는 그 플랜지부(114)를 가압하는 고정링(150)을 통해 상기 인렛 플랜지(140)에 체결 고정된다. 이때, 상기 고정링(150)은 볼트(152)에 의해 상기 인렛 플랜지(140)의 상단 플랜지부(141)에 고정됨으로써 상기 아우터 튜브(110)의 플랜지부(114)를 가압하게 된다.Referring to FIG. 4, the
상기 아우터 튜브(110)의 플랜지부(114) 하면과 접하게 되는 상기 인렛 플랜지(140)의 상단 플랜지부(141) 상에는 환형홈(141a)이 마련되고, 상기 환형홈(141a) 내에는 실링을 위한 오링(162)이 장착된다. 상기 환형홈(141a) 내에는 또한 상기 오링(162)의 실링 작용을 보완할 뿐만 아니라 상기 아우터 튜브(110)의 플랜지부(114) 하면 및 외주면의 일정 부분을 지지함으로써 상기 아우터 튜브(110)의 설치 위치를 가이드하는 스페이서(25)가 장착된다. An
여기서 참조 부호 164a는 상기 아우터 튜브(110)의 플랜지부(114) 외주면의 일정 부분을 지지하도록 상기 스페이서(25)에 형성된 돌기를 나타내고, 참조 부호 141b는 상기 오링(162)의 열화 방지를 위한 냉매가 순환되도록 상기 인렛 플랜지(140)의 상단 플랜지부(141) 내부에 형성된 환 형상의 냉매 유로를 나타낸다. Here,
한편, 상기 고정링(150)과 상기 아우터 튜브(110) 사이에는 완충 부재(200)가 개재된다. 상기 완충 부재(200)는 상기 아우터 튜브(110)의 플랜지부(114) 상면이 상기 고정링(150)에 접촉되는 것을 방지하는 수평부(202)와, 상기 수평부(202)의 일단에 연결되어 상기 아우터 튜브(110)의 플랜지부(114) 외주면이 상기 고정링(150)에 접촉되는 것을 방지하는 제1수직부(204), 및 상기 수평부(202)의 타단에 연결되어 상기 아우터 튜브(110)의 몸체(112) 외주면이 상기 고정링(150)에 접촉되는 것을 방지하는 제2수직부(204)로 구성되는 환 형상을 갖는다. On the other hand, the
이러한 구성을 갖는 상기 완충 부재(200)는 상기 아우터 튜브(110)의 플랜지부(114)에 대한 상기 고정링(150)의 가압 작용을 완충할 뿐만 아니라, 상기 아우터 튜브(110)가 상기 인렛 플랜지(140)의 상단 플랜지부(141) 상에서 유동되지 않도록 함으로써 정확한 설치 위치에 안착된 상태로 체결 고정될 수 있도록 한다.The
이때, 상기 제1수직부(204)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 아우터 튜브(110)의 플랜지부(114) 외주면과 상기 고정링(150) 사이의 공간을 채울 수 있는 두께로 형성되는 것이 바람직하다. 본 발명의 일 실시예에서 상기 제1수직부(204)의 두께는 상기 스페이서(164)에 형성된 돌기(164a)의 상면 폭과 동일하다. 따라서 전술한 두께를 갖는 제1수직부(204)를 통해 상기 아우터 튜브(110)의 플랜지부(114)가 상기 스페이서(164)의 돌기(164a) 위로 타고 올라가는 것을 방지할 수 있다. 따라서 상기 아우터 튜브(110)를 상기 인렛 플랜지(140)에 체결 고정하는 과정에서 작업자의 미숙한 핸들링에 의해 상기 아우터 튜브(110)의 플랜지부(114)가 상기 스페이서(164)의 돌기(164a) 위로 타고 올라간 상태로 상기 고정링(150)에 의해 가압 고정됨으로써 발생될 수 있는 아우터 튜브(110)의 손상을 방지할 수 있다.At this time, the first
또한, 상기 제2수직부(206)는 상기 아우터 튜브(110)의 몸체(112) 외주면과 상기 고정링(150) 사이의 공간을 채울 수 있는 두께로 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 고정링(150)의 상단부 내주면과 상기 아우터 튜브(110)의 몸체(112) 외주면이 상기 제2수직부(206)에 의해 동시에 지지되도록 함으로써 상기 아우터 튜브 (110)가 보다 안정적인 설치 상태를 유지할 수 있도록 한다.In addition, the second
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라, 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As described above, in the detailed description of the present invention has been described with respect to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications without departing from the scope of the present invention Of course it is possible. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined not only by the claims below, but also by the equivalents of the claims.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의하면, 완충 부재의 제1수직부를 통해 아우터 튜브의 플랜지부가 스페이서의 돌기 위로 타고 올라가는 것을 방지함으로써 작업자의 미숙한 핸들링에 의해 아우터 튜브의 플랜지부가 스페이서의 돌기 위로 타고 올라간 상태로 고정링에 의해 가압 고정될 때 발생될 수 있는 아우터 튜브의 손상을 방지할 수 있는 이점이 있다. 또한, 고정링의 상단부 내주면과 아우터 튜브의 몸체 외주면이 완충 부재의 제2수직부에 의해 동시에 지지되도록 함으로써 아우터 튜브가 보다 안정적인 설치 상태를 유지할 수 있도록 하는 이점이 있다.According to the present invention having the above-described configuration, the flange portion of the outer tube is lifted over the protrusion of the spacer by the immature handling of the operator by preventing the flange portion of the outer tube from rising up over the protrusion of the spacer through the first vertical portion of the buffer member. There is an advantage that can prevent damage to the outer tube that may occur when the pressure is fixed by the fixing ring in the raised state. In addition, the outer circumferential surface of the upper end of the fixing ring and the outer circumferential surface of the body of the outer tube are simultaneously supported by the second vertical portion of the shock absorbing member, so that the outer tube can be maintained in a more stable installation state.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020050100953A KR20070044719A (en) | 2005-10-25 | 2005-10-25 | Combination structure of inlet flange and outer tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020050100953A KR20070044719A (en) | 2005-10-25 | 2005-10-25 | Combination structure of inlet flange and outer tube |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20070044719A true KR20070044719A (en) | 2007-04-30 |
Family
ID=38178570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020050100953A KR20070044719A (en) | 2005-10-25 | 2005-10-25 | Combination structure of inlet flange and outer tube |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20070044719A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115289111A (en) * | 2022-07-07 | 2022-11-04 | 深圳市科彩精密技术有限公司 | Flange for photovoltaic cell production equipment |
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2005
- 2005-10-25 KR KR1020050100953A patent/KR20070044719A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115289111A (en) * | 2022-07-07 | 2022-11-04 | 深圳市科彩精密技术有限公司 | Flange for photovoltaic cell production equipment |
| CN115289111B (en) * | 2022-07-07 | 2023-08-11 | 深圳市科彩精密技术有限公司 | Flange for photovoltaic cell production equipment |
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