KR20070044687A - 레티클 작업 사양서 및 그 작성방법 - Google Patents

Abstract

팰리클(Pellicle)에 대한 정보를 자동으로 입력하여 에러를 줄일 수 있는 레티클(Reticle) 제작을 위한 작업 사양서 및 그 작성방법에 관해 개시한다. 이를 위해 본 발명은, 레티클의 고유 번호가 들어가는 제1 필드와, 상기 레티클의 개수가 들어가는 제2 필드와, 상기 레티클에 사용되는 팰리클의 정보가 자동으로 입력되는 제3 필드와, 상기 레티클에 사용될 고유 바코드(Bar code) 번호가 들어가는 제4 필드와, 상기 레티클에 상기 고유 바코드를 넣어주는 이-빔(E-beam) 파일명이 들어가는 제5 필드를 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클 작업 사양서 및 그 작성방법을 제공한다.

마스크 제작, 사양서, 팰리클, 자동입력.

Description

레티클 작업 사양서 및 그 작성방법{Bar code tooling of reticle production and preparing method the same}

도 1은 종래 기술에 의한 레티클 작업 사양서 작성방법을 설명하기 위한 플로차트(flowchart)이다.

도 2는 본 발명에 의한 레티클 작업 사양서 작성방법을 설명하기 위한 플로차트(flowchart)이다.

도 3은 레티클 작업 사양서를 설명하기 위한 시트(sheets)이다.

도 4는 도3의 레티클 작업 사양서에서 레티클 고유번호를 가리키는 제1 필드를 설명하기 위한 도표이다.

도 5는 도4의 제1 필드에 있는 마스크 배율 및 노광설비 코드를 설명하기 위한 도표이다.

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 팰리클 정보가 자동으로 입력되는 레티클 작업 사양서를 설명하기 위한 시트이다.

본 발명은 반도체 소자의 제조에 사용되는 사양서(Specification) 및 그 작 성방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레티클 제작에 사용되는 작업 사양서인 바코드 툴링(Bar Code Tooling) 및 그 작성방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 위에 축소된 크기의 특정 회로 패턴을 만들어 사용한다. 이때 특정 회로 패턴은 포토리소그라피 공정에서 사용되는 마스크인 레티클(reticle)을 통하여 얻어진다.

이러한 레티클 제작을 위해서는, 레티클에 대한 작업 사양서인 툴링(tooling)을 설계팀에서 작성하고, 바코드 툴링(Bar Code tooling)을 포토팀에서 작성하여 실제 포토마스크를 제작하는 곳으로 전달하게 된다.

도 1은 종래 기술에 의한 레티클 작업 사양서 작성방법을 설명하기 위한 플로차트이다.

도 1을 참조하면, 포토리소그라피 공정에 필요한 레티클을 제작하기 위해 먼저 설계팀 및 포토팀에서 레티클 작업 사양서인 바코드 툴링을 작성(S10)한다. 이때, 상기 작업 사양서에서, 팰리클(Pellicle)에 대한 정보는 작성자가 정해진 도표를 참조하여 수작업(manual work)으로 기입(S20)하도록 되어 있다.

여기서, 팰리클(Pellicle)이란, 반도체 소자의 제조공정에서 포토레지스트에서 파티클(particle)에 의한 패턴결함을 줄이고, 마스크의 수명을 늘리기 위해 사용되는 것으로, 빛이 통과할 수 있는 얇은 막을 가리킨다. 이러한 얇은 투명막 형태의 팰리클은, 마스크에서 크롬이 있는 쪽에 부착되어, 공정 환경에서 비록 파티클이 마스크 위에 떨어지더라도, 마스크에 직접 접촉되지 않고 마스크 표면으로부터 일정거리 이격되어 설치된 팰리클 위에 떨어지게 된다.

이에 따라, 포토리소그리피 공정의 노출시, 팰리클 위에 떨어진 먼지가 광원을 통한 노광이 이루어지더라도 촛점을 벗어나므로 포토리소그라피 공정의 결함 요인으로 작용하지 못하게 된다. 그 후, 작성된 상기 작업 사양서를 참조하여 포토마스크팀에서는 실제 공정에 사용될 레티클을 제작(S30)하게 된다.

그러나 종래 기술은, 레티클 제작 작업 사양서인 바코드 툴링에서, 팰리클 정보는, 작업자가 수작업으로 작업 사양서의 다른 필드(field)에 있는 마스크 배율 및 노광설비 코드를 참조하여 입력하도록 되어 있다. 그러나 작업 사양서에 익숙하지 않거나, 레이어(layer) 배율 변경시, 작업자가 팰리클 정보를 잘못 기입할 수 있는 소지가 있다. 이 경우, 레티클이 잘못 제작되어 공정사고로 이어지는 문제점이 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 문제점들을 해결할 수 있도록 작업자가 비록 마스크 배율이나 노광설비 코드에 따른 팰리클 정보를 알지 못하더라도 작업 사양서의 레티클 고유 번호를 입력하면 자동으로 팰리클 정보가 입력되도록 한 레티클 작업 사양서를 제공하는데 있다.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상술한 문제점들을 해결할 수 있도록 작업자가 비록 마스크 배율이나 노광설비 코드에 따른 팰리클 정보를 알지 못하더라도 작업 사양서의 레티클 고유 번호를 입력하면 자동으로 팰리클 정보가 입력되도록 한 작업 사양서의 작성방법을 제공하는데 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위해 본 발명에 의한 레티클 작업 사양서는, 레티클의 고유 번호가 들어가는 제1 필드와, 상기 레티클의 개수가 들어가는 제2 필드와, 상기 레티클에 사용되는 팰리클의 정보가 자동으로 입력되는 제3 필드와, 상기 레티클에 사용될 고유 바코드 번호가 들어가는 제4 필드와, 상기 레티클에 상기 고유 바코드를 넣어주는 이-빔(E-beam) 파일명이 들어가는 제5 필드를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 레티클의 고유번호는 포토공정의 단계, 개정 번호 및 마스크 배율과 노광설비 코드로 이루어진 것이 적합하고, 상기 제3 필드에서 팰리클 정보가 자동으로 입력되는 방법은 상기 제1 필드의 레티클 고유번호 중에 있는 마스크 배율과 노광설비 코드를 함수로 이용하여 자동 입력되는 것이 적합하다.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 레티클을 제작하기 위한 바코드 툴링을 작성하는 단계와, 상기 바코드 툴링을 작성할 때에 팰리클 정보가 자동으로 입력되도록 하는 단계와, 상기 자동으로 입력된 팰리클 정보를 포함하는 바코드 툴링을 이용하여 레티클을 제작하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 레티클 사양서 작성방법을 제공한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 바코드 툴링에서 팰리클 정보가 자동으로 입력되도록 하는 방법은, 컴퓨터에서 수행 가능한 함수 프로그램을 사용하여 실현하는 것이 적합하다.

본 발명에 따르면, 레티클 제작을 위한 작업 사양서 작성시, 팰리클 정보를 작성자가 수동으로 기입하지 않고, 작업 사양서의 다른 필드에 있는 항목을 이용하여 자동으로 입력시키기 때문에, 작업시간을 단축할 수 있고, 팰리클 정보의 잘못 입력으로 인한 공정사고를 미연에 방지할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 아래의 상세한 설명에서 개시되는 실시예는 본 발명을 한정하려는 의미가 아니라, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게, 본 발명의 개시가 실시 가능한 형태로 완전해지도록 발명의 범주를 알려주기 위해 제공되는 것이다.

도 2는 본 발명에 의한 레티클 작업 사양서 작성방법을 설명하기 위한 플로차트이고, 도 3은 레티클 작업 사양서를 설명하기 위한 시트(sheets)이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 레티클 작업 사양서 작성 방법은, 레티클을 제작하기 위한 바코드 툴링을 작성하고(S100), 상기 바코드 툴링을 작성할 때에 팰리클 정보가 수동이 아닌 자동으로 입력되도록 하고(S110), 상기 자동으로 입력된 팰리클 정보를 포함하는 바코드 툴링을 이용하여 레티클을 제작(S120)한다. 즉, 본 발명에서는 팰리클 정보를 종래 기술처럼 수작업으로 진행하지 않고 자동으로 입력되도록 하는 특징이 있다.

이를 도 3을 통하여 살펴보면, 일반적으로 레티클 작업 사양서(100)는, 레티클의 고유번호가 들어가는 제1 필드(110)와, 상기 제1 필드에 있는 레티클의 개수가 입력되는 제2 필드(120)와, 상기 레티클에 사용되는 팰리클의 정보가 입력되는 제2 필드(130)와, 상기 레티클에 고유 바코드가 들어가는 제4 필드(140)와, 상기 레티클에 상기 고유 바코드를 넣어주는 이 빔 파일명(E-beam filename)이 들어가는 제5 필드로 이루어진다.

여기서 상기 제3 필드(130)인 팰리클 정보 입력부분이 종래 기술에는 작업자가 직접 입력하였으나, 본 발명에서는 컴퓨터 상에서 연산되는 함수 프로그램을 통하여 자동으로 입력된다. 따라서 본 발명에서는 작업자가 마스크 배율이나 노광설비의 코드에 대응하는 팰리클 정보를 알지 못하더라도 컴퓨터에서 자동으로 함수를 통한 연산으로 자동 입력하기 때문에 작업시간의 단축과, 팰리클 정보 잘못 입력으로 인한 공정사고를 방지할 수 있다. 이렇게 컴퓨터에서 함수를 사용하여 팰리클 입력정보를 자동으로 입력하는 방식에 대하여 후속 되는 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 4는 도3의 레티클 작업 사양서에서 레티클 고유번호를 가리키는 제1 필드를 설명하기 위한 도표이다.

도 4를 참조하면, 작업 사양서에서 제1 필드(110)인 레티클 고유번호는, 먼저 포토 공정의 스텝을 가리키는 숫자(116), 레티클에 대한 개정번호를 가리키는 문자(114)와, 마스크 배율 및 노광설비명을 가리키는 부호(112)를 포함하여 구성된다. 즉, 도면의 레티클 고유번호(110)를 통해 알 수 있는 정보는, 포토 공정에서 1.0 번째 스텝에서 사용되는 레티클이고, 개정이 첫 번째로서 처음 만든 이후에 레티클에 다른 변동이 이루어지지 않은 상태이며, 이 레티클의 마스크 배율 및 사용되는 노광장비명을 알 수 있다.

도 5는 도4의 제1 필드에 있는 마스크 배율 및 노광설비 코드(112)를 설명하 기 위한 도표이다.

도 5를 참조하면, 기존에는 작업 사양서의 레티클 고유번호에 있는 마스크 배율 및 노광설비명 코드(112)를 참조하여 도표의 좌측과 같이 마스크 배율 및 노광설비명을 확인하고, 이에 적합한 팰리클 정보(300)를 작성자가 직접 ??아서 입력하도록 되어 있었다. 이에 따라 사람에 의하여 작업 사양서를 작성할 때에 실수가 발생하기로 하였다.

그러나 본 발명에서는 작업 사양서에서 팰리클 정보가 자동으로 입력되게 하려고, 팰리클 입력 정보란(Cell)에서 컴퓨터 연산을 자동으로 수행하여 팰리클 정보가 입력되도록 한다.

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 팰리클 정보가 자동으로 입력되는 레티클 작업 사양서를 설명하기 위한 시트이다.

도 6을 참조하면, 작업 사양서에서 팰리클 입력란(130')에 참조부호 160과 같은 함수를 연산하도록 만들어 놓는다. 이러한 함수는 도 5에 도표와 같이 마스크 배율 및 노광설비명 코트(Mag, 112)를 참조하여, 팰리클 정보(Pellicle type, 130')를 자동으로 연산하는 로직(logic)이다. 따라서, 작업자가 레티클 고유번호(110)를 입력하기만 하면, 컴퓨터에 있는 작업 사양서 시트는 팰리클 정보(130')를 자동으로 연산하여 입력시키기 때문에 팰리클 정보(130')를 잘못 입력하여 발생할 수 있는 공정사고를 미연에 방지할 수 있다. 그리고 마스크의 배율 변경시에도 팰리클 정보 변경에 따른 사고를 방지할 수 있다.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속한 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함이 명백하다.

따라서, 상술한 본 발명에 따르면, 레티클 제작을 위한 작업 사양서 작성시, 팰리클 정보를 작성자가 수동으로 기입하지 않고, 작업 사양서의 다른 필드에 있는 항목을 이용하여 자동으로 입력시키기 때문에 첫째 작업시간을 단축할 수 있고, 둘째 팰리클 정보의 잘못 입력으로 인한 공정사고를 미연에 방지할 수 있다.

Claims (5)

1. 레티클의 고유 번호가 들어가는 제1 필드;

   상기 레티클의 개수가 들어가는 제2 필드;

   상기 레티클에 사용되는 팰리클의 정보가 자동으로 입력되는 제3 필드;

   상기 레티클에 사용될 고유 바코드 번호가 들어가는 제4 필드; 및

   상기 레티클에 상기 고유 바코드를 넣어주는 이-빔(E-beam) 파일명이 들어가는 제5 필드를 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클 작업 사양서.
2. 제1항에 있어서,

   상기 레티클의 고유번호는 포토공정의 단계, 개정 번호 및 마스크 배율과 노광설비 코드로 이루어진 것을 특징으로 하는 레티클 작업 사양서.
3. 제2항에 있어서,

   상기 제3 필드에서 팰리클 정보가 자동으로 입력되는 방법은 상기 제1 필드의 레티클 고유번호에 있는 마스크 배율과 노광설비 코드를 함수로 이용하여 자동 입력되는 것을 특징으로 하는 레티클 작업 사양서.
4. 레티클을 제작하기 위한 바코드 툴링을 작성하는 단계;

   상기 바코드 툴링을 작성할 때에 팰리클 정보가 자동으로 입력되도록 하는 단계; 및

   상기 자동으로 입력된 팰리클 정보를 포함하는 바코드 툴링을 이용하여 레티클을 제작하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 레티클 작업 사양서 작성방법.
5. 제4항에 있어서,

   상기 바코드 툴링에서 팰리클 정보가 자동으로 입력되도록 하는 방법은, 컴퓨터에서 수행 가능한 함수 프로그램을 사용하여 실현하는 것을 특징으로 하는 레티클 작업 사양서 작성방법.

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