KR20070043326A - 표시장치의 제조방법 - Google Patents

표시장치의 제조방법 Download PDF

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KR20070043326A
KR20070043326A KR1020050099485A KR20050099485A KR20070043326A KR 20070043326 A KR20070043326 A KR 20070043326A KR 1020050099485 A KR1020050099485 A KR 1020050099485A KR 20050099485 A KR20050099485 A KR 20050099485A KR 20070043326 A KR20070043326 A KR 20070043326A
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plastic insulating
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이우재
홍왕수
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 표시장치의 제조방법에 관한 것으로 플라스틱 절연기판을 포함하는 표시장치용 기판을 마련하는 단계와; 상기 표시장치용 기판의 적어도 일면에 보호필름을 부착하는 단계와; 상기 보호필름이 부착된 상기 표시장치용 기판을 레이저를 이용하여 절단하는 단계와; 상기 보호필름을 상기 표시장치용 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 플라스틱 절연기판을 포함하는 표시장치용 기판을 오염없이 절단할 수 있다.

Description

표시장치의 제조방법{MAKING METHOD OF DISPLAY DEVICE}
도 1은 본 발명에 따라 제조되는 액정표시패널의 사시도이고,
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 단면도이고,
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 단면도이고,
도 4a 내지 도 4h는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법을 설명하기 위한 그림이고,
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법을 설명하기 위한 그림이고,
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법을 설명하기 위한 그림이고,
도 7은 본 발명의 제4실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법을 설명하기 위한 그림이다.
* 도면의 주요부분의 부호에 대한 설명 *
200 : 제2기판 210 : 플라스틱 절연기판
221 : 공통전극 231 : 배향막
300 : 실런트 400 : 액정층
500 : 보호 필름 600 : 냉각 플레이트
700 : 더미 기판
본 발명은, 표시장치의 제조방법으로서, 보다 상세하게는 보호필름을 사용하여 플라스틱 절연기판을 절단하는 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
최근 기존의 브라운관을 대체하여 액정표시장치와 유기전계발광장치(OLED)와 같은 평판표시장치(flat panel display)가 많이 사용되고 있다.
액정표시장치는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 제1 기판과 제1기판에 대향배치되어 있는 제2기판, 그리고 이들 사이에 액정층이 위치하고 있는 액정표시패널을 포함한다. 액정표시패널은 비발광소자이기 때문에 박막트랜지스터 기판의 후면에는 빛을 조사하기 위한 백라이트 유닛이 위치할 수 있다. 백라이트 유닛에서 조사된 빛은 액정층의 배열상태에 따라 투과량이 조절된다.
액정표시장치는 이외에 표시영역에 화면을 형성하기 위해서, 박막트랜지스터 기판에 형성되어 있는 게이트선과 데이터선에 구동신호를 인가하는 구동회로를 포함한다. 구동회로는 게이트 구동칩 및 데이터 구동칩, 그리고 타이밍 컨트롤러(timing controller)와 구동전압 발생부 등이 형성되어 있는 인쇄기판 등을 포함한다.
최근 액정표시패널의 경량화, 박형화를 위해 종래의 유리 절연기판을 대신한 플라스틱 절연기판의 적용이 활발해지고 있다. 플라스틱 절연기판은 고온공정을 생 략할 수 있는 제2기판에 많이 적용되고 있다.
그런데 플라스틱 절연기판을 사용할 경우 절단과정에서 애쉬가 발생하여 플라스틱 절연기판이 오염되는 문제가 있다. 한편 플라스틱 절연기판의 오염을 방지하기 위해서는 별도의 세정과정을 거쳐야 하는 문제가 있다.
따라서 본 발명의 목적은 플라스틱 절연기판을 포함하는 표시장치용 기판을 오염없이 절단할 수 있는 표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.
상기의 목적은 플라스틱 절연기판을 포함하는 표시장치용 기판을 마련하는 단계와; 상기 표시장치용 기판의 적어도 일면에 보호필름을 부착하는 단계와; 상기 보호필름이 부착된 상기 표시장치용 기판을 레이저를 이용하여 절단하는 단계와; 상기 보호필름을 상기 표시장치용 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조방법에 의하여 달성될 수 있다.
상기 보호필름은 폴리에틸렌과 폴리에틸렌테레프탈레이트 중 적어도 어느 하나를 포함하여 이루어진 것이 바람직하다.
상기 표시장치용 기판의 일면은 더미 기판에 부착되어 있으며, 상기 보호필름은 상기 표시장치용 기판의 타면에 부착되는 것이 바람직하다.
상기 표시장치용 기판과 상기 더미 기판은 접착제에 의해 상호 부착되어 있는 것이 바람직하다.
상기 더미 기판은 유리과 스테인레스 스틸 중 어느 하나로 이루어진 것이 바 람직하다.
상기 표시장치용 기판은 유리 절연기판을 포함하는 추가의 표시장치용 기판과 접합되어 있는 것이 바람직하다.
상기 표시장치용 기판에는 컬러 필터가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 추가의 표시장치용 기판에는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본발명을 더욱 상세히 설명하겠다.
여러 실시예에 있어서 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 부여하였으며, 동일한 구성요소에 대하여는 제1실시예에서 대표적으로 설명하고 다른 실시예에서는 생략될 수 있다.
이하의 실시예에서는 표시장치로서 액정표시장치를 예로 들어 설명하나, 본 발명은 유기전계발광장치와 같은 다른 표시장치에도 적용가능하다.
도 1 내지 도 3을 참조하여 본발명에 따라 제조되는 액정표시패널을 설명한다. 도 1은 본발명의 제1실시예에 따라 제조된 액정표시패널의 사시도, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 단면도, 도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 단면도이다.
액정표시패널(1)은 박막트랜지스터(T)가 형성되어 있는 제1기판(또는 하부 기판, 100), 제1기판(100)에 대향배치되어 있으며 공통전극(221)이 형성되어 있는 제2기판(또는 상부기판, 200), 양 기판(100, 200)을 부착시키는 실런트(300), 양 기판(100, 200)과 실런트(300)가 형성하는 공간에 위치하는 액정층(400)을 포함한다. 제1기판(100)과 제2기판(200)은 직사각형 형상이며 제1기판(100)이 제2기판 (200)에 비하여 다소 크다. 제1기판(100)은 제2기판(200)과 겹치는 오버랩 영역과 제2기판(200)과 겹치지 않는 패드 영역으로 나누어진다. 오버랩 영역에는 박막트랜지스터(T)와 실런트(300)가 형성되어 있으며, 패드 영역에는 외부회로와의 연결을 위한 패드(123, 144)가 형성되어 있다. 패드 영역은 제1기판(100)의 네 변 중 인접한 두변에 형성되어 있다.
제1기판(100)을 설명하면 다음과 같다. 이하에서는 패드(123, 144) 중 게이트 패드(123)를 중심으로 설명하며, 이는 데이터 패드(144)에도 유사하게 적용된다.
유리 절연기판(110) 상에 게이트 배선(121, 122, 123)이 형성되어 있다. 게이트 배선(121, 122)은 가로 방향으로 서로 평행하게 뻗어 있는 게이트선(121), 게이트선(121)에 연결되어 있는 박막 트랜지스터의 게이트 전극(122), 게이트선(121)의 단부에 마련되어 있는 게이트 패드(123)을 포함한다. 게이트 패드(123)는 외부회로와의 연결을 위해 폭이 증가되어 있다.
유리 절연기판(110)와 게이트 배선(121, 122, 123) 위에는 질화규소(SiNx) 등으로 이루어진 게이트 절연막(131)이 형성되어 있다.
게이트 전극(122)의 게이트 절연막(131) 상부에는 비정질 규소 등의 반도체로 이루어진 반도체층(132)이 형성되어 있으며, 반도체층(132)의 상부에는 실리사이드 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 등의 물질로 만들어진 저항 접촉층(133)이 형성되어 있다. 반도체층(132)은 게이트 전극(122)상부에 섬과 같이 형성되어 있으며, 저항 접촉층(133)은 게이트 전극(122)을 중심으로 2부분으로 나누어져 있다.
저항 접촉층(133) 및 게이트 절연막(131) 위에는 데이터 배선(141, 142, 143, 144)이 형성되어 있다. 데이터 배선(141, 142, 143, 144)은 세로방향으로 형성되어 게이트선(121)과 교차하여 화소를 정의하는 데이터선(141), 데이터선(141)의 분지이며 저항 접촉층(133)의 상부까지 연장되어 있는 소스 전극(142), 소스전극(142)과 분리되어 있으며 게이트 전극(122)을 중심으로 소스전극(142)의 반대쪽에 형성되어 있는 드레인 전극(143), 데이터선(141)의 단부에 형성되어 있는 데이터 패드(144)를 포함한다. 데이터 패드(144)는 외부회로와의 연결을 위해 폭이 증가되어 있다.
데이터 배선(141, 142, 143, 144) 및 이들이 가리지 않는 반도체층(132)의 상부에는 질화규소, PECVD 방법에 의하여 증착된 a-Si:C:O 막 또는 a-Si:O:F막 및 아크릴계 유기절연막 등으로 이루어진 보호막(151)이 형성되어 있다. 보호막(151)에는 드레인 전극(143)을 드러내는 접촉구(181)와 게이트 패드(123)를 드러내는 접촉구(182)가 형성되어 있다. 드레인 전극(143)을 드러내는 접촉구(181)은 컬러필터(161a, 161b, 161c)도 같이 제거되어 있으며, 게이트 패드(123)를 드러내는 접촉구(182)에는 게이트 절연막(131)도 같이 제거되어 있다.
보호막(151) 상부에는 컬러필터(161a, 161b, 161c)가 형성되어 있다. 컬러필터(161a, 161b, 161c)는 각각 적색, 녹색 및 청색 또는 청록색, 자홍색 및 노랑색이 반복되어 형성되어 있다. 박막트랜지스터(T) 상부에는 2개 색상의 컬러필터(161a, 161b, 161c)가 겹쳐져 블랙매트릭스의 역할을 하며, 이에 따라 제2기판 (200)에는 블랙매트릭스가 형성되어 있지 않다.
컬러필터(161a, 161b, 161c)의 상부에는 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)등으로 이루어져 있는 투명전극(171, 172)이 형성되어 있다. 투명전극(171, 172)은 접촉구(181)를 통해 드레인 전극(143)과 연결되어 있는 화소전극(171)과 접촉구(182)를 통해 게이트 패드(172)를 덮고 있는 접촉 부재(172)를 포함한다.
제1기판(100)에 대향 배치되어 있는 제2기판(200)을 설명하면 다음과 같다.
제2기판(200)은 플라스틱 절연기판(210), 플라스틱 절연기판(210) 상에 순차적으로 형성되어 있는 공통전극(221) 및 배향막(231)을 포함한다.
플라스틱 절연기판(210)은 폴리카본(polycarbon), 폴리 이미드(polyimide) , 폴리에테르술폰(PES), 폴리아릴레이트(PAR), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 등으로 만들어질 수 있다.
플라스틱 절연기판(210)의 두께(d2)는 유리 절연기판(110)의 두께(d1)보다 얇다. 예를 들어 유리 절연기판(110)의 두께(d1)는 약 0.5mm이고 플라스틱 절연기판(210)의 두께(d2)는 약 0.2mm정도일 수 있다. 플라스틱 절연기판(210)의 얇은 두께로 인해 액정표시패널(1)의 전체 두께와 무게는 감소된다. 플라스틱 절연기판(210)로 인해 액정표시패널(1)의 유연성이 증가하는 장점도 있다.
플라스틱 절연기판(210)를 사용할 경우 공정온도가 플라스틱 절연기판(210)의 열적 허용범위인 150 내지 200℃ 내로 유지해야 한다.
공통전극(221)은 플라스틱 절연기판(210)과 직접 접촉하면서 플라스틱 절연 기판(210)을 실질적으로 모두 덮고 있다. 공통전극(221)은 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)를 100℃이하에서 스퍼터링하여 형성할 수 있다.
공통전극(221) 상에는 배향막(231)이 형성되어 있다. 배향막(231)은 통상 폴리이미드(polyimide)로 이루어져 있으며 액정분자를 일정한 방향으로 배열시킬 수 있도록 러빙되어 있다.
양 기판(100, 200)의 외곽에는 실런트(300)가 마련되어 있다. 실런트(300)는 액정표시패널(1)의 테두리를 따라 형성되어 있으며, 아크릴 수지와 같은 자외선 경화 수지를 포함하고 있다. 또한 열경화성 수지인 에폭시 수지, 아민계의 경화제, 알루미나 파우더와 같은 충진제(filler), 스페이서를 더 포함할 수 있다.
액정층(400)은 양 기판(100, 200) 및 실런트(300)가 형성하는 공간 내에 위치하며, 화소전극(171)과 공통전극(221)의 전압차에 의해 배열이 변화한다.
플라스틱 절연기판(210)은 유리 절연기판(110)에 비하여 열에 의하여 변형율이 크다. 따라서 액정표시패널(1)의 해상도가 높아지면 양 기판(100, 200)의 정렬 오차(align miss)로 인한 불량 문제가 심각해진다. 그러나 본발명에 따라 제조되는 액정표시패널(1)은 제2기판(200)에 블랙매트릭스가 형성되어 있지 않기 때문에 양 기판(100, 200)의 접합시 정렬오차(align miss)가 발생하지 않는다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법을 도 4a 내지 도 4g를 참조하여 설명한다.
먼저 도4a와 같이 제1기판(100)과 제2기판(200)을 마련한다.
도시한 제1기판(100)과 제2기판(200)은 마더 기판으로서 실런트(300)로 서로 접합한 후 절단하여 복수개의 액정표시패널(1)을 제조하게 된다. 실시예에서는 4개의 액정표시패널(1)을 제조하는 것을 예시하였다.
제1기판(100)과 제2기판(200)의 제조방법은 공지의 방법을 따르며 설명은 생략한다. 제1기판(100)에는 액정표시패널(1)에 사용될 4개 영역이 형성되어 있는데 각각은 오버랩 영역과 패드 영역으로 나누어져 있다.
제2기판(200)에는 오버랩 영역과 유사한 크기로 실런트(300)가 드로잉되어 있다. 실런트(300)를 원하는 라인으로 형성시키는 방법으로는 스크린 마스크(screen mask)법과 디스펜스(dispense)법이 있다. 스크린 마스크법이 공정이 편리하여 널리 사용되고 있으나 마스크가 배향막과 접촉하면서 불량이 유발되는 문제가 있으며 기판의 크기가 커지면서 대응이 어려워져 점차 디스펜스법이 많이 사용되고 있다. 실런트(300) 내에는 액정층(400)이 적하(dropping) 방식으로 형성되어 있다.
실시예와 달리 실런트(300)에 액정주입을 위한 주입구가 형성되어 있을 수 있다. 이 경우 액정층(400)은 각각의 액정표시패널(1)로 절단한 후 진공과 질소압을 이용한 필링(filling) 방식으로 주입된다.
이후 도 4b와 같이 제1기판(100) 상에 제2기판(200)을 정렬 배치한다. 제1기판(100)의 변 A1과 제2기판(200)의 변 C1이 일치하게 되며 도시하지는 않았지만 제1기판(100)의 변 A2와 제2기판(200)의 변 C2가 일치하게 된다. 한편 제1기판(100)의 변 B1은 제2기판(200)의 변D1보다 바깥쪽에 위치하는데 이는 제1기판(100)의 패드영역 때문이다. 도시하지는 않았지만 제1기판(100)의 변 B2도 제2기판(200)의 변 D2에 비하여 바깥쪽에 위치한다.
이후 도 4c와 같이 자외선을 조사하여 실런트(300)를 경화시킨다. 이에 의해 양 기판(100, 200)은 접합 상태가 된다.
다음으로 도 4d와 같이 제2기판(200) 상부에 보호필름(500)을 접합시킨 후 제1기판(100)의 변 A1와 제2기판(200)의 변 C1에 동시에 레이저를 조사한다.
보호필름(500)은 얇은 플라스틱 필름으로서, 재질은 폴리에틸렌 또는 폴리에틸렌테레프탈레이트 일 수 있다. 보호필름(500)은 두께가 얇아 제2기판(500)과 별도의 접착제 없이 접합된다.
레이저는 Nd:YAG 레이저나 이산화 탄소를 소스로 사용할 수 있다. 레이저의 조사에 의한 열로 인해 플라스틱 절연기판(210)이 절단되면서 변C1을 따라 제2기판(200)이 절단된다. 한편 제1기판(100)에는 레이저 조사로 커팅 마크가 생성된다.
이 때 플라스틱 절연기판(210)이 절단되면서 보호필름(500)의 외부에 애쉬가 발생한다. 그러나 발생한 애쉬는 보호필름(500) 외부에 위치하기 때문에 제2기판(200)을 오염시키지 않는다.
애쉬는 보호필름(500)이 커팅되면서 열에 의해 용융되면서 끈끈해진 부분에 붙어 있기 때문에 보호필름(500)과 함께 제거될 수 있다. 또한 플라스틱 절연기판(210)의 전면이 보호필름(500)에 의해 덮여 있어서 애쉬가 날리면서 플라스틱 절연기판(210)이 오염되는 것이 방지된다.
레이저 조사 후 즉시 도 4e와 같이 냉각 플레이트(600)를 제1기판(100)에 접촉시킨다. 냉각 플레이트(600)는 약 25℃이하로 유지되고 있으며 금속판으로 이루어질 수 있다. 냉각 플레이트(600)와의 접촉에 의해 국부적으로 가열된 유리 절연 기판(110)은 급격히 수축되면서 커팅마크를 따라 절단된다.
도시하지는 않았지만 같은 방식으로 제1기판(100)의 변 A2와 제2기판(200)의 변 C2도 절단한다.
이후 도 4f와 같이 레이저를 이용하여 제2기판(200)의 변D1을 따라 제2기판(200)을 절단하다. 이 과정에서 레이저의 초점을 조정하여 제1기판(100)에는 레이저가 조사되지 않는 것이 바람직하다. 도시하지는 않았지만 같은 방식으로 제2기판(200)의 변 D2도 절단한다.
이 때 플라스틱 절연기판(210)이 절단되면서 보호필름(500)의 외부에 애쉬가 발생한다. 그러나 발생한 애쉬는 보호필름(500) 외부에 위치하기 때문에 제2기판(200)을 오염시키지 않는다.
이후 도 4g와 같이 레이저를 이용하여 제1기판(100)의 변 B1을 따라 제1기판(100)을 절단한다. 레이저 조사 후 제1기판(100)은 냉각 플레이트(600)와 접촉하게 된다. 이 과정에서 레이저의 초점을 조정하여 제2기판(200)에는 레이저가 조사되지 않는 것이 바람직하다. 도시하지는 않았지만 같은 방식으로 제1기판(100)의 변 B2도 절단한다.
이로써 절단과정이 완성되었으며 보호필름(500)을 제거하면 도 4h 및 도 1과 같은 액정표시패널(1)이 완성된다. 보호필름(500)의 제거 시에 애쉬도 함께 제거된다. 이상에서 설명한 절단 순서는 한정되지 않으며 다양하게 변형가능하다.
이러한 절단과정에서 보호필름(500)에 의해 애쉬가 제2기판(200)을 오염시키지 않기 때문에 별도의 세정과정을 거칠 필요가 없다.
이하 본발명의 제2실시예 및 제3실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법을 각각 도 5 및 도 6을 참조하여 설명한다.
도 5에 도시한 제2실시예에서는 플라스틱 절연기판을 포함하는 표시장치용 기판(201)이 더미 기판(700)에 지지되어 있다. 플라스틱 절연기판은 두께가 얇고 유연성이 좋아 공정시나 이동시 취급이 어렵다. 더미 기판(700)은 유리 또는 스테인레스 스틸로 만들어지며 표시장치용 기판(201)과 접착되어 표시장치용 기판(201)의 취급을 용이하게 한다. 더미 기판(700)의 두께(d3)는 유리로 제조될 경우 플라스틱 절연기판보다 크게 마련될 수 있다. 더미 기판(700)과 표시장치용 기판(201)은 접착제를 이용하여 상호 접합될 수 있는데, 접착제는 커팅시에 레이저에 의해 용융되어 애쉬를 형성할 수 있다.
레이저 커팅 시에 표시장치용 기판(201)의 외부에는 보호필름(500)이 위치하고 있어 표시장치용 기판(201)의 오염을 방지한다.
커팅된 표시장치용 기판(201)은 액정표시장치의 경우 다른 대향기판과 접합되어 사용되며, 유기전계발광장치의 경우 별도의 대향기판 없이 사용된다.
도 6에 도시한 제3실시예에서는 각각 플라스틱 절연기판을 포함하는 제1표시장치용 기판(202)과 제2표시장치용 기판(203)이 실런트(300)를 통해 접합되어 있다.
제1표시장치용 기판(202)과 제2표시장치용 기판(203) 중 어느 하나에는 박막트랜지스터가 형성되어 있다.
각 표시장치용 기판(202, 203)의 외부에는 보호필름(500)이 위치하고 있어 표시장치용 기판(201)의 오염을 방지한다.
비록 본발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 본발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 플라스틱 절연기판을 포함하는 표시장치용 기판을 오염없이 절단할 수 있는 표시장치의 제조방법이 제공된다.

Claims (8)

  1. 플라스틱 절연기판을 포함하는 표시장치용 기판을 마련하는 단계와;
    상기 표시장치용 기판의 적어도 일면에 보호필름을 부착하는 단계와;
    상기 보호필름이 부착된 상기 표시장치용 기판을 레이저를 이용하여 절단하는 단계와;
    상기 보호필름을 상기 표시장치용 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 보호필름은 폴리에틸렌과 폴리에틸렌테레프탈레이트 중 적어도 어느 하나를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 표시장치용 기판의 일면은 더미 기판에 부착되어 있으며,
    상기 보호필름은 상기 표시장치용 기판의 타면에 부착되는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 표시장치용 기판과 상기 더미 기판은 접착제에 의해 상호 부착되어 있 는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 더미 기판은 유리과 스테인레스 스틸 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 표시장치용 기판은 유리 절연기판을 포함하는 추가의 표시장치용 기판과 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 표시장치용 기판에는 컬러 필터가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 추가의 표시장치용 기판에는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101233349B1 (ko) * 2010-07-07 2013-02-14 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 제조 방법

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