KR20070041194A - Static stiffness test apparatus for air bearing - Google Patents

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이재응
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Abstract

본 발명은, 베어링 강성실험장치에 관한 것으로서, 다수의 기공을 갖는 공기베어링과; 상기 공기베어링을 지지하는 베이스와; 일측에 개구를 갖는 저널베어링 하우징과; 일측은 상기 공기베어링을 사이에 두고 상기 베이스와 대향되게 상기 저널베어링 하우징의 개구에 이동가능하게 수용되며, 타측은 상기 공기베어링에 접촉되어 상기 공기베어링에 걸리는 하중을 감지하는 하중감지수단을 갖는 저널베어링과; 상기 공기베어링에 결합되어 상기 베이스의 기준면으로부터 상기 공기베어링의 이격거리를 감지하도록 마련된 복수의 변위센서를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 사용이 간편하며, 다양한 공기베어링 및 다양한 실험조건에 비교적 간편하게 대응할 수 있는 공기베어링용 강성실험장치가 제공된다.The present invention relates to a bearing stiffness test apparatus, comprising: an air bearing having a plurality of pores; A base supporting the air bearing; A journal bearing housing having an opening at one side; One side is movably received in the opening of the journal bearing housing to face the base with the air bearing therebetween, the other side is in contact with the air bearing journal having a load sensing means for sensing the load applied to the air bearing Bearings; It is characterized in that it comprises a plurality of displacement sensors coupled to the air bearing provided to detect the separation distance of the air bearing from the reference surface of the base. Thereby, it is easy to use, and there is provided a stiffness test apparatus for air bearings that can respond to various air bearings and various test conditions relatively simply.

Description

공기베어링용 강성실험장치{STATIC STIFFNESS TEST APPARATUS FOR AIR BEARING}Rigidity testing device for air bearings {STATIC STIFFNESS TEST APPARATUS FOR AIR BEARING}

도 1은 종래기술에 따른 베어링 강성실험장치의 단면도,1 is a cross-sectional view of a bearing stiffness test apparatus according to the prior art,

도 2는 본 발명에 따른 베어링 강성실험장치의 단면도,2 is a cross-sectional view of the bearing stiffness test apparatus according to the present invention,

도 3은 지지브래킷의 분해사시도,3 is an exploded perspective view of the support bracket;

도 4는 베어링 강성실험과정을 나타낸 개략도이다.4 is a schematic view showing a bearing stiffness test process.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 공기베어링 강성실험장치 20 : 공기베어링10: air bearing stiffness test apparatus 20: air bearing

25 : 베이스 30 : 저널베어링 하우징25: base 30: journal bearing housing

31 : 하우징본체 33 : 하우징지지레그31: housing body 33: housing support leg

40 : 저널베어링 41 : 저널베어링 본체40: journal bearing 41: journal bearing body

43 : 저널베어링 연결부 45 : 하중감지수단43: journal bearing connection portion 45: load sensing means

50 : 변위센서 60 : 지지브래킷50: displacement sensor 60: support bracket

71 : 저널가압부 73 : 저널위치유지부71: journal press unit 73: journal position holding unit

75 : 유체공급부 77 : 압력조절부75: fluid supply unit 77: pressure control unit

79 : 배출공 81 : 압력공급원79: discharge hole 81: pressure supply source

본 발명은, 공기베어링용 강성실험장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다양한 공기베어링 및 실험조건에 비교적 간편하게 대응할 수 있는 구조를 갖는 공기베어링용 강성실험장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stiffness test apparatus for air bearings, and more particularly, to a stiffness test apparatus for air bearings having a structure that can respond to various air bearings and test conditions relatively easily.

베어링은 일반적으로 하중을 전달하면서 마찰저항을 줄여주는 역할을 하는 기계요소의 하나로, 그 구조는 볼이나 롤러 등과 같은 전동체의 구름운동을 이용한다. 그러나, 이러한 구름베어링(볼베어링)은 사용하기 편리하며 좁은 폭을 가지면서 큰 하중지지력을 가져 많이 사용되지만, 회전운동시 전동체가 구름에 따라 발생되는 소음, 마모 등이 발생되며, 충격에 약하고 외경이 크며 회전속도의 제한이 있다는 단점이 있다. Bearing is one of the mechanical elements that generally reduce the frictional resistance while transmitting the load, the structure uses the rolling motion of the rolling elements such as balls or rollers. However, these rolling bearings (ball bearings) are convenient to use and have a large width and have a large load bearing force. However, rolling bearings generate noise, abrasion, etc. caused by rolling elements during rotational movement, and are weak in impact and have an outer diameter. It is large and has the disadvantage of limiting the rotation speed.

이러한 단점을 극복하기 위하여 베어링과 축 사이에 얇은 유막을 형성시키고, 이 유막에 압력을 발생시켜 그 압력의 합력으로 하중을 지지하는 미끄럼 베어링을 사용한다. 축과 베어링은 직경의 차이가 존재하며 이러한 차이에 의해 축의 중심은 베어링의 중심과 다소 차이가 발생하여 원주방향으로 유막의 높이가 변하게 된다. 축이 회전하면서 유막의 높이가 큰 쪽에서 낮은 쪽으로 유체가 흘러가며 압력이 발생하게 되고 이 합력의 합이 외력과 평행을 이루는 위치에서 축이 자전하게 된다. In order to overcome this disadvantage, a thin oil film is formed between the bearing and the shaft, and a sliding bearing that generates a pressure on the oil film and supports the load by the force of the pressure is used. There is a difference in diameter between the shaft and the bearing. Due to this difference, the center of the shaft is somewhat different from the center of the bearing, and the height of the oil film changes in the circumferential direction. As the shaft rotates, the fluid flows from the higher side to the lower side of the film, causing pressure, and the shaft rotates at a position where the sum of the forces is parallel to the external force.

미끄럼 베어링은 사용하는 유체의 종류에 따라 오일베어링과 공기베어링으로 구분된다. 오일베어링은 작동유체로서 광유와 같은 기름이나 물을 사용하며 압력이 변하여도 체적의 변화가 거의 없으므로 비압축성 유체 윤활 베어링이라 호칭된다. 반면에, 공기베어링은 작동유체로서 공기를 사용하여 압력에 따라 체적이 변하기 때문에 압축성 유체 윤활베어링이라고 호칭된다. Sliding bearings are classified into oil bearings and air bearings according to the type of fluid used. Oil bearings are called incompressible fluid lubricated bearings because they use oil or water such as mineral oil as the working fluid and there is almost no change in volume even if the pressure changes. Air bearings, on the other hand, are called compressive fluid lubricating bearings because their volume changes with pressure using air as the working fluid.

공기베어링은 공기 이외에 헬륨이나 네온가스를 사용하여 작동시키는 경우도 있기 때문에 통칭하여 가스베어링이라는 용어로도 사용되고 있다. 이러한 공기베어링은 사용되는 유체의 점성이 적으므로 저마찰, 저토오크이며, 다양한 온도 및 회전범위에서 사용가능하여 다양한 산업기계에 사용되며, 기름 등에 의한 오염이 없으므로 식품기계, 전자기계 등에 사용된다. 이러한 공기베어링은 베어링과 축 사이에 압력을 발생시키는 방법에 따라 동압베어링(hydrodynamic bearing)과 정압베어링(hydrostatic bearing)으로 나눌 수 있다. 이러한 공기베어링을 설계 또는 생산을 위하여 공기베어링에 대하여 강도 등의 소정의 실험을 하기 위한 강성(static stiffness)실험장치가 있다. 베어링용 강성실험장치에도 공기베어링이 정지상태에서 강성을 실험하는 정강성 실험장치와 공기베어링이 상하, 좌우로 이동될 때 강성을 실험하는 동강성 실험장치가 있다. Since air bearings are operated using helium or neon gas in addition to air, they are also commonly used as the term gas bearings. These air bearings are low friction and low torque because of the low viscosity of the fluid used, can be used in a variety of temperature and rotation range is used in a variety of industrial machinery, there is no contamination by oil, etc. are used in food machinery, electronic machinery and the like. Such air bearings may be divided into hydrodynamic bearings and hydrostatic bearings according to a method of generating pressure between the bearing and the shaft. In order to design or produce such air bearings, there is a static stiffness test apparatus for performing a predetermined test on the air bearings such as strength. The bearing stiffness tester also has a static stiffness tester that tests the stiffness when the air bearing is stationary and a dynamic stiffness tester that tests the stiffness when the air bearing is moved up, down, left and right.

이러한 종래의 공기베어링용 정강성 실험장치가 도 1에 도시되어 있다. 종래기술은 수용부를 갖는 본체(101)와, 다수의 미세한 기공을 갖는 공기베어링(103)과, 본체(101)의 수용부에 수용되어 공기베어링(103)을 지지하는 지지부재(105)와, 지지부재(105)와 대향되게 공기베어링(103) 상측에 설치되어 이동가능하게 마련된 베어링 러너(107)를 갖는다. 또한, 종래기술은 베어링 러너(107)의 상부에 얹혀져 공기베어링(103)을 가압하는 무게추(109)와, 공기베어링(103)의 공기 분출면과 베 어링 러너(107) 사이의 간격을 감지하도록 복수의 갭센서(111)를 갖는다. 그리고, 종래기술은 공기베어링(103)에 소정의 압력을 갖는 공기를 공급하는 가압공급부(121)와, 베어링 러너(107)가 본체(101)의 수용구 내벽으로부터 이격되어 상하로 이동될 수 있도록 공기를 공급하는 러너공급부(123)와, 공기베어링(103)에서 배출되는 공기의 압력을 측정할 수 있는 배출압측정부(125)를 갖는다. This conventional rigidity test apparatus for air bearings is shown in FIG. 1. The prior art has a main body 101 having a receiving portion, an air bearing 103 having a plurality of fine pores, a supporting member 105 accommodated in the receiving portion of the main body 101 to support the air bearing 103, The bearing runner 107 is provided above the air bearing 103 so as to face the support member 105 and is provided to be movable. In addition, the prior art is mounted on the upper portion of the bearing runner 107, the weight 109 for pressing the air bearing 103, and detects the distance between the air blowing surface of the air bearing 103 and the bearing runner 107 It has a plurality of gap sensors 111 to. In the related art, the pressure supply part 121 supplying air having a predetermined pressure to the air bearing 103 and the bearing runner 107 are spaced apart from the inner wall of the receiving port of the main body 101 so as to be moved up and down. And a runner supply part 123 for supplying air, and a discharge pressure measuring part 125 capable of measuring the pressure of the air discharged from the air bearing 103.

이러한 구성에 의하여 종래기술의 조립과정을 살펴보면, 먼저, 공기베어링(103)을 결합한 지지부재(105)를 본체(101)의 수용구에 스크루 등으로 결합한다. 본체(101)의 수용부에 공기베어링(103)의 공기 분출면과 접촉되도록 베어링 러너(107)를 안착시킨다. 또한, 소정의 무게추(109)를 베어링 러너(107)의 상부에 얹는다. Looking at the assembly process of the prior art by such a configuration, first, the support member 105 coupled to the air bearing 103 is coupled to the receiving port of the main body 101 with a screw or the like. The bearing runner 107 is seated in contact with the air blowing surface of the air bearing 103 at the receiving portion of the main body 101. In addition, a predetermined weight 109 is placed on the upper portion of the bearing runner 107.

이러한 상태에서 공기베어링(105)의 강성실험과정을 살펴보면, 먼저, 베어링 러너(107)가 본체(101) 수용부의 내벽으로부터 이격되어 이동되게 러너공급부(123)에 공기를 공급한다. 그런 다음, 소정의 압력을 갖는 공기를 가압공기부(121)를 통해 공급한다. 이에, 공기베어링(103)의 기공을 통하여 공기가 관통한 공기는 압력이 증가하여 상단에서 공기베어링(103)을 가압하는 무게추(109)의 무게를 극복하고 베어링 러너(107)를 승강시킨다. 물론, 갭센서(111)는 베어링 러너(107)의 승강으로 인해 발생되는 공기베어링(103)의 공기 분출면과 베어링 러너(107) 사이의 간격을 감지한다. 동시에 공기 분출면과 베어링 러너 사이의 압력은 배출압측정부(125)를 통해 측정할 수 있다. 설명하지 않은 참조번호는 공기를 배출시키는 배출부(127)이다.Looking at the stiffness test process of the air bearing 105 in this state, first, air is supplied to the runner supply unit 123 so that the bearing runner 107 is moved away from the inner wall of the main body 101 receiving portion. Then, air having a predetermined pressure is supplied through the pressurized air unit 121. Thus, the air penetrated through the pores of the air bearing 103 overcomes the weight of the weight 109 that pressurizes the air bearing 103 at the top by increasing the pressure and elevates the bearing runner 107. Of course, the gap sensor 111 detects a gap between the air blowing surface of the air bearing 103 generated by the lifting and lowering of the bearing runner 107 and the bearing runner 107. At the same time, the pressure between the air blowing surface and the bearing runner can be measured through the discharge pressure measuring unit 125. Reference numeral that is not described is the discharge unit 127 for discharging air.

그런데, 이러한 종래기술은 공기베어링의 착탈하는 과정이 전술한 바와 같이 복잡하며, 공기베어링의 다양한 크기에 대응하여 지지부재를 다양하게 변경하여야 하는 문제가 있다. 또한, 공기베어링에 가해지는 하중이 커짐에 따라 무게추를 사용자가 더 얹어주어야 하는 불편이 있다. 그리고, 공기베어링에 걸리는 하중을 측정할 때 베어링의 간극 및 압력을 측정하여 간접적으로 하중을 산출하므로 이에 따른 측정오차가 발생할 수 있다. 또한, 최근에는 공기베어링의 공기 분출면에 대향되는 베어링 러너 판면의 재질, 조도 등을 다양하게 변경하면서 실험하는 경우가 많으므로 이러한 다양한 추세에 맞추어 다양한 종류의 베어링 러너 판면을 구비하기에는 비용 등이 많이 소요된다. However, this conventional technology is complicated as described above, the process of attaching and detaching the air bearing, there is a problem that the support member must be variously changed to correspond to various sizes of the air bearing. In addition, as the load applied to the air bearing increases, there is a inconvenience that the user should put more weight. In addition, when measuring the load on the air bearing, the load and indirectly calculate the load by measuring the gap and the pressure of the bearing may result in a measurement error accordingly. In addition, in recent years, many experiments have been made while variously changing the material and roughness of the bearing runner plate surface facing the air blowing surface of the air bearing. Therefore, it is expensive to provide various kinds of bearing runner plate surfaces in accordance with such various trends. It takes

따라서, 본 발명의 목적은, 다양한 공기베어링 및 실험조건에 비교적 간편하게 대응할 수 있는 공기베어링용 강성실험장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a stiffness testing apparatus for air bearings that can respond relatively easily to various air bearings and experimental conditions.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 베어링 강성실험장치에 있어서, 다수의 기공을 갖는 공기베어링과; 상기 공기베어링을 지지하는 베이스와; 일측에 개구를 갖는 저널베어링 하우징과; 일측은 상기 공기베어링을 사이에 두고 상기 베이스와 대향되게 상기 저널베어링 하우징의 개구에 이동가능하게 수용되며, 타측은 상기 공기베어링에 접촉되어 상기 공기베어링에 걸리는 하중을 감지하는 하중감지수단을 갖는 저널베어링과; 상기 공기베어링에 결합되어 상기 베이스의 기준면으로부터 상기 공기베어링의 이격거리를 감지하도록 마련된 복수의 변위센서를 포함하는 것을 특 징으로 하는 베어링 강성실험장치에 의해 달성될 수 있다.The above object, according to the present invention, in the bearing stiffness test apparatus, the air bearing having a plurality of pores; A base supporting the air bearing; A journal bearing housing having an opening at one side; One side is movably received in the opening of the journal bearing housing to face the base with the air bearing therebetween, the other side is in contact with the air bearing journal having a load sensing means for sensing the load applied to the air bearing Bearings; Coupled to the air bearing can be achieved by a bearing stiffness test apparatus comprising a plurality of displacement sensors provided to detect the separation distance of the air bearing from the reference surface of the base.

여기서, 상기 저널베어링 하우징은 상기 저널베어링이 상기 공기베어링을 가압하도록 소정의 압력을 갖는 기체를 공급하는 압력공급원과 연통된 저널가압부를 가지며, 상기 저널베어링 하우징으로부터 이격되어 이동가능하게 소정의 위치를 유지하도록 상기 저널베어링 하우징의 측부에 공기를 공급하는 하나 이상의 저널위치유지부를 가지며, 상기 공기베어링의 다수의 기공에 기체를 공급하는 유체공급부를 갖는 것을 특징으로 하여 강성실험과정에서 저널베어링이 저항없이 승강가능하다.Here, the journal bearing housing has a journal press portion in communication with a pressure source for supplying a gas having a predetermined pressure so that the journal bearing pressurizes the air bearing, and the journal bearing housing has a predetermined position so as to be movable away from the journal bearing housing. At least one journal position holding portion for supplying air to the side of the journal bearing housing to maintain, and a fluid supply for supplying gas to the plurality of pores of the air bearing, characterized in that the journal bearing in the stiffness test without resistance You can go up and down.

또한, 상기 압력공급원에서 상기 저널가압부, 상기 저널위치유지부 및 상기 유체공급부로 공급되는 기체의 압력을 소정의 범위 내에서 조절할 수 있도록 각각 압력조절부를 갖는 것을 특징으로 하여 다양한 공기베어링에 대응하여 하중의 조정을 간편하게 할 수 있다.In addition, the pressure supply source has a pressure regulator to adjust the pressure of the gas supplied to the journal pressurizing unit, the journal position holding unit and the fluid supply unit within a predetermined range to correspond to various air bearings The load can be adjusted easily.

또한, 상기 압력공급원에서 각 공으로 공급되는 기체의 압력을 상기 압력조절부에서 각각 소정의 압력으로 조절한 상태에서, 상기 하중감지수단은 상기 공기베어링에 걸리는 하중을 감지하며, 상가 각 변위센서는 상기 베이스의 기준면으로부터 상기 공기베어링의 이격거리를 감지하는 것을 특징으로 하여 공기베어링에 걸리는 하중을 직접 감지할 수 있다.Further, in a state in which the pressure of the gas supplied from the pressure supply source to each ball is adjusted to a predetermined pressure in the pressure adjusting unit, the load sensing means detects the load applied to the air bearing, and each of the displacement sensors is It is possible to directly detect the load applied to the air bearing, characterized in that for detecting the separation distance of the air bearing from the reference surface of the base.

또한, 상기 공기베어링에 결합되어 상기 변위센서들을 지지하는 지지브래킷을 가지며, 상기 복수의 변위센서는 3개인 것을 특징으로 하여 강성실험과정에서 공기베어링이 다소 기울어지더라도 이격거리를 비교적 정확하게 측정할 수 있다.In addition, it is coupled to the air bearing has a support bracket for supporting the displacement sensors, characterized in that the plurality of displacement sensors are three, even if the air bearing is slightly inclined in the stiffness test process, the separation distance can be measured relatively accurately have.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예인 공기베어링용 강성실험 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a stiffness test apparatus for an air bearing which is an embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 공기베어링용 강성실험장치(10)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 다수의 기공을 갖는 공기베어링(20)과; 공기베어링(20)을 지지하는 베이스(25)와; 일측에 개구를 갖는 저널베어링 하우징(30)과; 일측은 공기베어링(20)을 사이에 두고 베이스(25)와 대향되게 저널베어링 하우징(30)의 개구에 이동가능하게 수용되며, 타측은 공기베어링(20)에 접촉되어 공기베어링(20)에 걸리는 하중을 감지하는 하중감지수단(45)을 갖는 저널베어링(40)과; 공기베어링(20)에 결합되어 베이스(25)의 기준면으로부터 공기베어링(20)의 이격거리를 감지하도록 마련된 복수의 변위센서(50)를 포함한다. 또한, 공기베어링용 강성실험장치(10)에서는, 저널베어링 하우징(30)은 저널베어링(40)이 공기베어링(20)을 가압하도록 소정의 압력을 갖는 기체를 공급하는 압력공급원(81)과 연통된 저널가압부(71)를 가지며, 저널베어링 하우징(30)으로부터 이격되어 이동가능하게 소정의 위치를 유지하도록 저널베어링 하우징(30)의 측부에 공기를 공급하는 하나 이상의 저널위치유지부(73)를 가지며, 공기베어링(20)의 다수의 기공에 기체를 공급하는 유체공급부(75)를 갖는다. The stiffness test apparatus 10 for an air bearing according to the present invention includes an air bearing 20 having a plurality of pores, as shown in FIG. 2; A base 25 supporting the air bearing 20; A journal bearing housing 30 having an opening at one side thereof; One side is movably received in the opening of the journal bearing housing 30 to face the base 25 with the air bearing 20 therebetween, and the other side is in contact with the air bearing 20 to be caught by the air bearing 20. A journal bearing 40 having a load sensing means 45 for sensing a load; It is coupled to the air bearing 20 includes a plurality of displacement sensors 50 provided to detect the separation distance of the air bearing 20 from the reference surface of the base 25. In addition, in the stiffness testing apparatus 10 for air bearings, the journal bearing housing 30 communicates with a pressure source 81 for supplying a gas having a predetermined pressure so that the journal bearing 40 pressurizes the air bearing 20. One or more journal position holding portions (73) having a journal press portion (71) adapted to supply air to the side of the journal bearing housing (30) so as to be spaced apart from the journal bearing housing (30) so as to be movable. It has a, and has a fluid supply unit 75 for supplying gas to a plurality of pores of the air bearing (20).

공기베어링(20)은, 도 2 및 도3에 도시된 바와 같이, 다수의 기공을 가지며, 축과 같은 회전부, 직선부의 회전 및 직선운동에 따른 하중을 지지하기 위하여 축과 베어링 사이에 작동유체가 기공들을 통하여 공급된다. 또한, 공기베어링(20)은 작동유체가 다수의 기공을 관통하여 분출되는 공기분출면(미도시)을 가지며, 설계, 제조 등을 위하여 사전에 정강성 및 동강성실험이 행해지며, 본 발명은 정강성 실험장치에 관한 것이다.2 and 3, the air bearing 20 has a plurality of pores, the working fluid between the shaft and the bearing in order to support the load according to the rotation and linear movement of the rotational portion, such as the shaft, the linear portion Supplied through the pores. In addition, the air bearing 20 has an air ejecting surface (not shown) in which the working fluid is ejected through a plurality of pores, and the rigidity and dynamic stiffness test is performed in advance for design, manufacturing, etc. It relates to a stiffness experimental device.

베이스(25)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 공기베어링(20)의 공기분출면에 대행되게 배치되어 공기베어링(20)을 지지한다. 그리고, 베이스(25)는 전술한 바와 같이 공기베어링(20)이 지지하는 축과 같은 회전부, 직선부 등의 다양한 조건에 대응하도록 다양한 조도, 재질로 마련될 수 있다. 이러한 베이스(25)는 별도로 저널베어링 하우징(30)과 결합되지 않아 교체 등이 용이하게 이루어질 수 있다. 또한, 베이스(25)는 교체되는 영역을 베이스본체(미도시)와 볼트 등으로 체결되도록 마련하여 공기베어링(20)의 크기에 대응하여 교체되는 크기를 최소화할 수 있다. As shown in FIG. 2, the base 25 is disposed to face the air blowing surface of the air bearing 20 to support the air bearing 20. As described above, the base 25 may be provided with various roughness and materials so as to correspond to various conditions such as a rotating part and a straight part such as an axis supported by the air bearing 20. The base 25 is not separately coupled with the journal bearing housing 30 can be easily replaced and the like. In addition, the base 25 may be provided to be fastened with a base body (not shown) and a bolt to be replaced, thereby minimizing the size to be replaced corresponding to the size of the air bearing 20.

가압부(20,30)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 베이스(25)에 대하여 공기베어링(20)을 가압하며, 후술할 저널베어링 하우징(30)과, 저널베어링(40)을 갖는다.As shown in FIG. 2, the pressing units 20 and 30 press the air bearing 20 against the base 25, and have a journal bearing housing 30 and a journal bearing 40 to be described later.

저널베어링 하우징(30)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 후술할 저널베어링(40)을 수용하는 개구를 갖는 원통형상의 하우징본체(31)와, 설치면에 하우징본체(31)를 지지하는 하우징지지레그(33)를 갖는다. 하우징본체(31)는 내부에 저널베어링(40)을 수용하여 저널베어링(40)을 하우징본체(31)의 높이방향에 따라 승강되도록 안내한다. 또한, 하우징본체(31)는 측부에 하나 이상의 저널위치유지부(73)를 관통형성하여 하우징본체(31)에 수용된 저널베어링(40)이 하우징본체(31)의 내벽과 예를 들면, 약 0.01mm 정도의 이격거리로 균일하게 유지되도록 한다. 또한, 하우징본체(31) 상부에는 저널베어링(40)이 공기베어링(20)을 가압하도록 소정의 압력을 갖는 기체를 공급하는 유체공급부(75)가 형성되어 있다. 이에, 저널베어링(40)은 상하의 승강운동시 별도의 저항을 받지 않고 승강할 수 있어 수직방향의 힘의 전달성을 좋게 하여 공기베어링(20)에 전달되는 하중을 정확하게 측정할 수 있다. As shown in FIG. 2, the journal bearing housing 30 has a cylindrical housing main body 31 having an opening for receiving a journal bearing 40 to be described later, and a housing supporting the housing main body 31 on an installation surface. It has a support leg 33. The housing body 31 accommodates the journal bearing 40 therein to guide the journal bearing 40 to be elevated in the height direction of the housing body 31. In addition, the housing body 31 penetrates at least one journal position holding portion 73 on the side thereof, so that the journal bearing 40 accommodated in the housing body 31 has an inner wall of the housing body 31, for example, about 0.01. It should be kept uniformly at a distance of about mm. In addition, a fluid supply unit 75 is formed on the housing body 31 to supply a gas having a predetermined pressure so that the journal bearing 40 pressurizes the air bearing 20. Thus, the journal bearing 40 can be lifted up and down without receiving a separate resistance during the up and down lifting movement to improve the transfer of force in the vertical direction to accurately measure the load transmitted to the air bearing 20.

저널베어링(40)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 공기베어링(20)을 사이에 두고 베이스(25)에 대향되게 저널베어링 하우징(30)의 개구에 이동가능하게 수용되는 저널베어링본체(41)와, 공기베어링(20)에 접촉되어 공기베어링에 걸리는 하중을 감지하는 하중감지수단(45)과, 저널베어링본체(41)에서 연장되어 하중감지수단(45)에 결합되는 저널베어링연결부(43)를 갖는다. 또한, 저널베어링(40)에는 필요에 따라 공급되는 기체의 기밀이 유지되도록 오링(O ring)과 같은 실링부재가 장착되도록 오링장착홈(미도시)을 형성할 수 있다. The journal bearing 40 is a journal bearing body 41 movably received in the opening of the journal bearing housing 30 opposite the base 25 with the air bearing 20 therebetween, as shown in FIG. 2. ), A load sensing means 45 in contact with the air bearing 20 to sense a load applied to the air bearing, and a journal bearing connection portion 43 extending from the journal bearing body 41 and coupled to the load sensing means 45. Has In addition, the journal bearing 40 may be provided with an O-ring mounting groove (not shown) so that a sealing member such as an O-ring is mounted to maintain the airtightness of the gas supplied as needed.

하중감지수단(45)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 저널베어링(40)의 하부에 결합되어 공기베어링(20)에 걸리는 하중을 감지한다. 하중감지수단(45)에는 하중이 걸리면 압축되거나 늘어나는 등의 변형량이 측정될 수 있는 로드셀(load cell)과 같은 것이 바람직하나, 공지의 다양한 종류로 변경될 수 있다. 이에, 공기베어링(20)에 걸리는 하중을 직접 검출할 수 있어 검출하중의 오차를 줄일 수 있다.As shown in FIG. 2, the load sensing means 45 is coupled to the lower portion of the journal bearing 40 to sense a load applied to the air bearing 20. The load sensing means 45 is preferably a load cell that can measure the amount of deformation such as compression or stretching when a load is applied, but can be changed to various known types. Accordingly, the load applied to the air bearing 20 can be detected directly, thereby reducing the error of the detection load.

변위센서(50)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 복수 개로 공기베어링(20)에 결합되어 베이스(25)의 기준면으로부터 공기베어링(20)의 이격거리를 감지한다. 또한, 변위센서(50)는 강성실험과정에서 공기베어링(20)이 기준면에 대해 다소 기울어지더라도 각 변위센서(50)에서 검출한 이격거리의 평균을 구하여 평균이격거리를 산출할 수 있도록 공기베어링(20)의 원주방향을 따라 등간격으로 배치된 세 개로 이루어진 것이 바람직하다. 또한, 변위센서(50)는 후술하는 지지브래킷(60)에 의해 공기베어링(20)에 안정적으로 지지될 수 있다. 이러한 변위센서(50)에는 다양한 종류를 선택할 수 있으나, 비접촉 미세변위센서 중의 하나로 프로브(probe)에 고주파 코일을 이용해서 그 발생자계 내에 도전체가 접근했을 때, 도전체 내에 발생되는 와전류에 의해 프로브 코일의 인덕턴스가 변하는 것을 측정할 수 있는 갭센서(Gap Sensor)가 바람직하다. 이에, 공기베어링(20)과 베이스(25)의 이격거리를 정확하게 측정할 수 있다. As shown in FIG. 2, the displacement sensor 50 is coupled to the air bearing 20 in a plural number and detects a separation distance of the air bearing 20 from the reference surface of the base 25. In addition, the displacement sensor 50 is an air bearing so as to calculate the average separation distance by calculating the average of the separation distance detected by each displacement sensor 50 even if the air bearing 20 is slightly inclined with respect to the reference plane in the stiffness test process. It is preferable to consist of three arranged at equal intervals along the circumferential direction of (20). In addition, the displacement sensor 50 may be stably supported by the air bearing 20 by the support bracket 60 to be described later. Various types can be selected for the displacement sensor 50, but when one of the non-contact microdisplacement sensors approaches the probe in the magnetic field by using a high frequency coil to the probe, the probe coil is caused by the eddy current generated in the conductor. A gap sensor that can measure the change in inductance of is preferable. Thus, the separation distance between the air bearing 20 and the base 25 can be accurately measured.

지지브래킷(60)은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 변위센서(50)들을 지지하도록 공기베어링(20)의 외주면에 결합된다. 또한, 지지브래킷(60)에는 변위센서(50)가 공기베어링(20)의 외주면을 따라 균등하게 배치된다. The support bracket 60 is coupled to the outer circumferential surface of the air bearing 20 to support the displacement sensors 50, as shown in FIGS. 2 and 3. In addition, the displacement sensor 50 is uniformly disposed along the outer circumferential surface of the air bearing 20 in the support bracket 60.

저널가압부(71)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 저널베어링 하우징(30)의 상부에 하우징본체(31)를 관통 형성되어 소정의 압력을 갖는 기체를 공급하여 저널베어링(40)이 공기베어링(20)을 가압하도록 한다.As shown in FIG. 2, the journal presser 71 is formed through the housing body 31 on the journal bearing housing 30 to supply a gas having a predetermined pressure so that the journal bearing 40 has air. Pressurize the bearing 20.

저널위치유지부(73)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 저널베어링 하우징(30)의 하우징본체(31)의 측부에 하우징본체(31)를 관통 형성되어 소정의 압력을 갖는 기체를 공급하여 하우징본체(31)와 저널베어링(40)이 원주방향을 따라 균일하게 이격되도록 한다. 이에, 저널베어링(40)이 상하로 승강시 마찰과 같은 저항없이 승강되어 하중감지수단(45)에서 정확하게 공기베어링(20)에 걸리는 하중을 감지할 수 있다. As shown in FIG. 2, the journal position holding unit 73 is formed through the housing body 31 on the side of the housing body 31 of the journal bearing housing 30 to supply gas having a predetermined pressure. The housing body 31 and the journal bearing 40 are evenly spaced along the circumferential direction. Thus, the journal bearing 40 can be lifted up and down without resistance such as friction when lifting up and down to sense the load applied to the air bearing 20 by the load sensing means 45 accurately.

유체공급부(75)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 지지브래킷(60)에 관통 형성되어 있어 공기베어링(20)에 형성되어 있는 다수의 기공에 기체를 관통시키도록 소정의 압력을 갖는 기체를 공급한다. 이에, 공기베어링(20)을 관통한 기체는 공기 분출면을 통과하여 공기베어링(20)의 중앙부분이 최대가 되며, 외주면이 최소가 되는 포물선 모양의 압력분포를 갖는다. 이러한 압력분포는 공기베어링(20)을 베이스(25)로부터 이격되게 한다. As shown in FIG. 2, the fluid supply unit 75 penetrates the support bracket 60 to supply a gas having a predetermined pressure to pass the gas through a plurality of pores formed in the air bearing 20. Supply. Thus, the gas passing through the air bearing 20 passes through the air blowing surface to maximize the central portion of the air bearing 20, and has a parabolic pressure distribution in which the outer circumferential surface thereof is minimized. This pressure distribution causes the air bearing 20 to be spaced apart from the base 25.

압력조절부(77a,77b,77c)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 압력공급원(81)에서 저널가압부(71), 저널위치유지부(73), 유체공급부(75)에 공급되는 기체의 압력을 소정의 범위 내에서 조절한다. 이에, 사용자는 압력조절부(77)를 이용하여 간편하게 저널베어링(40)에 가압되는 기체의 압력을 조절할 수 있으므로 다양한 종류의 공기베어링(20) 강성실험에 대응할 수 있다. 여기에서 공급되는 기체는 공기가 주로 사용되나 헬륨이나 네온가스를 선택적으로 사용할 수 있다.Pressure regulators 77a, 77b, 77c, as shown in Figure 4, the gas supplied from the pressure supply source 81 to the journal pressurizing portion 71, the journal position holding portion 73, the fluid supply portion 75 Is controlled within a predetermined range. Thus, the user can easily adjust the pressure of the gas pressurized to the journal bearing 40 by using the pressure adjusting unit 77 can cope with various kinds of air bearing 20 stiffness test. The gas supplied from the air is mainly used, but helium or neon gas may be selectively used.

여기서, 미설명한 참조번호 79a, 및 79b는 각각 저널가압부(71) 및 저널위치유지부(73)에 대응하여 형성된 배출공으로 소정의 공기가 배출되도록 형성되어 있다. 또한, 도 4의 미설명한 참조번호는 소정의 압력을 갖는 기체를 공급할 수 있는 컴프레서(compressor)와 같은 압력공급원(81)을 나타낸다.Here, reference numerals 79a and 79b, which have not been described, are formed so that predetermined air is discharged into the discharge holes formed corresponding to the journal pressing portion 71 and the journal position holding portion 73, respectively. In addition, the non-explained reference numeral of FIG. 4 denotes a pressure supply source 81 such as a compressor capable of supplying a gas having a predetermined pressure.

이러한 구성에 의해, 본 발명에 따른 베어링의 강성실험과정을 도 4를 참조하여 살펴보면 다음과 같다.With this configuration, the stiffness test process of the bearing according to the present invention will be described with reference to FIG. 4.

먼저, 소정의 조도 또는 재질을 갖는 베이스(25)를 저널베어링(40)의 하부영역에 안착시킨다. 그리고, 공기베어링(20)에 지지브래킷(60)을 결합하고 지지브래킷(60)에 변위센서(50)를 지지한다. 변위센서(50)를 지지한 지지브래킷(60)과 결합된 공기베어링(20)은 베이스(25)와 저널베어링(40) 사이에 저널베어링(40)의 축선과 공기베어링(20)의 축선이 일치하도록 안착시킨다. 이 때, 공기베어링(20)의 공기분출면이 베이스(25)를 향하도록 안착시킨다. 압력공급원(81)에서 공급되는 기체 공급배관를 각각 저널가압부(71), 저널위치유지부(73)와 유체공급부(75)에 연결한다. 이 때, 압력공급원(81)에서 공급되는 기체의 압력을 조절할 수 있도록 각 공급배관에 각각 압력조절부(77a,77b,77c)가 설치되어 있다. 그런 다음, 유체공급부(75)에 공급되는 기체의 압력을 압력조절부(77a,77b,77c)에서 각각 조절한 후 기체를 공급한다. 이에, 사용자는 간편하게 다양한 크기, 무게를 갖는 공기베어링(20)에 대응하여 간편하게 공기베어링(20)에 작용하는 하중을 변경시킬 수 있다. 저널가압부(71)로 공급되는 기체의 압력은 저널베어링(40)을 통해 공기베어링(20)을 베이스(25)를 향하여 가압하도록 작용한다. 또한, 저널위치유지부(73)에서 공급되는 기체의 압력은 저널베어링 하우징(30)의 내벽으로부터 저널베어링(40)이 이격되어 상하로 저항없이 유동가능하게 한다. 이에, 기체의 압력이 저항없이 하중감지수단(45)에 전달되어 감지되는 하중의 오차를 줄일 수 있다. 유체공급부(75)에서 공급되는 기체압력은 공기베어링(20)의 다수의 기공을 관통하여 베이스(25)를 향하여 소정의 압력분포를 형성한다. 이러한 압력분포는 저널베어링(40)에서 공기베어링(20)으로 작용하는 하중을 극복하고 베이스(25)의 상면인 기준면으로부터 공기베어링(20)을 이격되도록 한다. 이에, 하중감지수단(45)에서는 공기베어링(20)에 걸리는 하중을 직접 감지할 수 있어 측정오차를 줄일 수 있으며, 변위센서(50)에서는 베이스(25)의 기준면으로부터 공기베어링(20)의 다공질면의 이격거리를 측정할 수 있다. 이러한 감지결과에 기초하여 소정의 조건에서 사용되는 공기베어링(20)의 강성을 판단할 수 있는 강성판단부(미도시)를 가질 수 있음은 물론이다.First, the base 25 having a predetermined roughness or material is seated in the lower region of the journal bearing 40. Then, the support bracket 60 is coupled to the air bearing 20 and the displacement sensor 50 is supported on the support bracket 60. The air bearing 20 coupled to the support bracket 60 supporting the displacement sensor 50 has an axis of the journal bearing 40 and an axis of the air bearing 20 between the base 25 and the journal bearing 40. Settle down to match. At this time, the air ejecting surface of the air bearing 20 is seated toward the base 25. The gas supply pipes supplied from the pressure supply source 81 are connected to the journal pressurizing unit 71, the journal position holding unit 73, and the fluid supply unit 75, respectively. At this time, pressure regulators 77a, 77b, and 77c are installed in the respective supply pipes so as to adjust the pressure of the gas supplied from the pressure supply source 81. Then, the pressure of the gas supplied to the fluid supply unit 75 is adjusted by the pressure regulators 77a, 77b, 77c, respectively, and then the gas is supplied. Thus, the user may simply change the load acting on the air bearing 20 in response to the air bearing 20 having various sizes and weights. The pressure of the gas supplied to the journal pressurizing portion 71 acts to press the air bearing 20 toward the base 25 through the journal bearing 40. In addition, the pressure of the gas supplied from the journal position holding portion 73 allows the journal bearing 40 to be spaced apart from the inner wall of the journal bearing housing 30 so as to flow up and down without resistance. Thus, the pressure of the gas is transmitted to the load sensing means 45 without resistance, thereby reducing the error of the load being sensed. The gas pressure supplied from the fluid supply unit 75 penetrates through a plurality of pores of the air bearing 20 to form a predetermined pressure distribution toward the base 25. This pressure distribution overcomes the load acting as the air bearing 20 in the journal bearing 40 and allows the air bearing 20 to be spaced apart from the reference surface which is the upper surface of the base 25. Thus, the load sensing means 45 can directly detect the load applied to the air bearing 20 to reduce the measurement error, the displacement sensor 50 in the porous bearing of the air bearing 20 from the reference surface of the base 25 The separation distance of the surface can be measured. On the basis of such a detection result, of course, it may have a stiffness determination unit (not shown) that can determine the rigidity of the air bearing 20 used in a predetermined condition.

이에, 본 발명에 따르면, 공기베어링을 착탈하는 과정이 간편하여 사용이 용 이하며, 공기베어링에 가해지는 하중의 변화에 따라 압력조절부에서 간편하게 압력을 조절할 수 있으며, 베이스를 용이하게 대체할 수 있으므로 다양한 공기베어링 및 다양한 실험조건에 비교적 간편하게 대응할 수 있다. 또한, 공기베어링에 걸리는 하중을 직접 감지할 수 있으므로 하중의 측정에 따른 오차를 줄일 수 있다. Thus, according to the present invention, the process of detaching and detaching the air bearing is easy to use, can easily adjust the pressure in the pressure control unit in accordance with the change in the load applied to the air bearing, can easily replace the base Therefore, it can respond relatively easily to various air bearings and various experimental conditions. In addition, since the load applied to the air bearing can be directly detected, an error due to the measurement of the load can be reduced.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 사용이 간편하며, 다양한 공기베어링 및 다양한 실험조건에 비교적 간편하게 대응할 수 있으며, 하중의 측정에 따른 오차를 줄일 수 있는 공기베어링용 강성실험장치가 제공된다.As described above, according to the present invention, there is provided a stiffness test apparatus for an air bearing, which is simple to use, can cope with various air bearings and various experimental conditions relatively easily, and can reduce errors due to measurement of load.

Claims (5)

공기베어링의 정적 강성을 실험하는 공기베어링용 강성실험장치에 있어서,In the stiffness tester for air bearings to test the static stiffness of air bearings, 상기 공기베어링의 공기 분출면에 대향되게 배치되어 상기 공기베어링을 지지하는 베이스와;A base disposed opposite the air blowing surface of the air bearing to support the air bearing; 상기 공기베어링에 작동유체를 공급하는 유체공급부와;A fluid supply unit supplying a working fluid to the air bearing; 상기 베이스부에 대하여 공기베어링을 가압하는 가압부와;A pressurizing portion for pressurizing the air bearing against the base portion; 상기 가압부에 결합되어 상기 공기베어링에 가해지는 하중을 감지하는 하중감지센서와;A load sensing sensor coupled to the pressing unit to sense a load applied to the air bearing; 상기 베이스로부터 상기 공기베어링의 공기 분출면의 이격거리를 감지하는 변위센서를 갖는 것을 특징으로 하는 공기베어링용 강성실험장치.Rigidity testing device for an air bearing, characterized in that having a displacement sensor for detecting the separation distance of the air blowing surface of the air bearing from the base. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가압부는,The pressing unit, 일측에 개구를 갖는 저널베어링 하우징과;A journal bearing housing having an opening at one side; 일측은 상기 공기베어링을 사이에 두고 상기 베이스와 대향되게 상기 저널베어링 하우징의 개구에 수용되며, 타측은 상기 하중감지수단에 결합되는 저널베어링을 갖는 것을 특징으로 하는 공기베어링용 강성실험장치.One side is accommodated in the opening of the journal bearing housing facing the base with the air bearing therebetween, the other side has a journal bearing coupled to the load sensing means characterized in that the air bearing rigidity test apparatus. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 저널베어링 하우징은 상기 저널베어링이 상기 공기베어링을 가압하도록 소정의 압력을 갖는 기체를 공급하는 압력공급원과 연통된 저널가압부를 가지며,The journal bearing housing has a journal press portion in communication with a pressure source for supplying a gas having a predetermined pressure so that the journal bearing pressurizes the air bearing, 상기 저널베어링 하우징으로부터 이격되어 이동가능하게 소정의 위치를 유지하도록 상기 저널베어링 하우징의 측부에 공기를 공급하는 하나 이상의 저널위치유지부를 갖는 것을 특징으로 하는 공기베어링용 강성실험장치.And at least one journal position holding unit for supplying air to the side of the journal bearing housing so as to keep a predetermined position spaced apart from the journal bearing housing. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 압력공급원에서 상기 저널가압부, 상기 저널위치유지부 및 상기 유체공급부로 공급되는 기체의 압력을 소정의 범위 내에서 조절할 수 있도록 각각 압력조절부를 갖는 것을 특징으로 하는 공기베어링용 강성실험장치.And a pressure regulating unit for adjusting the pressure of the gas supplied from the pressure supply source to the journal pressurizing unit, the journal position holding unit, and the fluid supply unit within a predetermined range. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공기베어링에 결합되어 상기 변위센서들을 지지하는 지지브래킷을 가지며,Is coupled to the air bearing has a support bracket for supporting the displacement sensors, 상기 복수의 변위센서는 3개인 것을 특징으로 하는 공기베어링용 강성실험장치.Rigidity testing device for an air bearing, characterized in that the plurality of displacement sensors are three.
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102455249A (en) * 2010-11-03 2012-05-16 上海微电子装备有限公司 Stiffness testing device for gas bearing
CN103674516A (en) * 2013-11-18 2014-03-26 北京宇航系统工程研究所 Low temperature stiffness measuring device and method of diaphragm capsule assembly for carrier rocket
CN106482949A (en) * 2015-08-25 2017-03-08 北京航天动力研究所 Angular contact ball bearing radial direction Static stiffness measurement apparatus
CN108426712A (en) * 2018-01-31 2018-08-21 西安工业大学 Wholecircle circumferentially slides radial test and loading device
CN109084942A (en) * 2018-06-01 2018-12-25 南京理工大学 High-precision high-efficiency line slideway auxiliary Static stiffness comprehensive measurement device and method
TWI649545B (en) * 2017-04-20 2019-02-01 國立彰化師範大學 Smart sensing device and smart sensing method for hydrostatic bearing
WO2020012715A1 (en) * 2018-07-11 2020-01-16 日本精工株式会社 Bearing device and machine tool spindle apparatus
WO2020013277A1 (en) * 2018-07-11 2020-01-16 日本精工株式会社 Bearing device and machine tool spindle apparatus
WO2020013276A1 (en) * 2018-07-11 2020-01-16 日本精工株式会社 Bearing device and machine tool spindle apparatus
KR102255095B1 (en) * 2020-05-18 2021-05-25 현대자동차주식회사 Vibration test device for elastic material
CN116399279A (en) * 2023-03-23 2023-07-07 山东智研连合轴承有限公司 Angular contact ball bearing inner ring contact diameter measuring device and application method thereof
CN117490952A (en) * 2024-01-02 2024-02-02 迈为技术(珠海)有限公司 Air bearing rigidity testing device

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101254995B1 (en) * 2011-02-01 2013-04-17 국방과학연구소 Percussive Apparatus, Remolding Index Testing System of a object having the same, and Remolding Index Testing method of a object
KR101314468B1 (en) 2012-08-27 2013-10-07 박상신 Mesuring device for stiffness and damping coefficient of air bearing

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3880455B2 (en) * 2002-05-31 2007-02-14 中国電力株式会社 Rolling bearing remaining life diagnosis method and remaining life diagnosis apparatus

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102455249A (en) * 2010-11-03 2012-05-16 上海微电子装备有限公司 Stiffness testing device for gas bearing
CN102455249B (en) * 2010-11-03 2014-02-19 上海微电子装备有限公司 Stiffness testing device for gas bearing
CN103674516A (en) * 2013-11-18 2014-03-26 北京宇航系统工程研究所 Low temperature stiffness measuring device and method of diaphragm capsule assembly for carrier rocket
CN103674516B (en) * 2013-11-18 2016-01-13 北京宇航系统工程研究所 A kind of carrier rocket capsule stack low temperature toughness measurement mechanism and measuring method
CN106482949A (en) * 2015-08-25 2017-03-08 北京航天动力研究所 Angular contact ball bearing radial direction Static stiffness measurement apparatus
TWI649545B (en) * 2017-04-20 2019-02-01 國立彰化師範大學 Smart sensing device and smart sensing method for hydrostatic bearing
CN108426712A (en) * 2018-01-31 2018-08-21 西安工业大学 Wholecircle circumferentially slides radial test and loading device
CN108426712B (en) * 2018-01-31 2024-03-08 西安工业大学 Full circumferential sliding radial testing and loading device
CN109084942A (en) * 2018-06-01 2018-12-25 南京理工大学 High-precision high-efficiency line slideway auxiliary Static stiffness comprehensive measurement device and method
WO2020013276A1 (en) * 2018-07-11 2020-01-16 日本精工株式会社 Bearing device and machine tool spindle apparatus
WO2020013277A1 (en) * 2018-07-11 2020-01-16 日本精工株式会社 Bearing device and machine tool spindle apparatus
WO2020012714A1 (en) * 2018-07-11 2020-01-16 日本精工株式会社 Bearing device and machine tool spindle apparatus
JP6662500B1 (en) * 2018-07-11 2020-03-11 日本精工株式会社 Bearing device and spindle device of machine tool
JP6662499B1 (en) * 2018-07-11 2020-03-11 日本精工株式会社 Bearing device and spindle device of machine tool
WO2020012715A1 (en) * 2018-07-11 2020-01-16 日本精工株式会社 Bearing device and machine tool spindle apparatus
KR102255095B1 (en) * 2020-05-18 2021-05-25 현대자동차주식회사 Vibration test device for elastic material
US11656148B2 (en) 2020-05-18 2023-05-23 Hyundai Motor Company Elastic material vibration test apparatus
CN116399279A (en) * 2023-03-23 2023-07-07 山东智研连合轴承有限公司 Angular contact ball bearing inner ring contact diameter measuring device and application method thereof
CN116399279B (en) * 2023-03-23 2024-01-23 山东智研连合轴承有限公司 Angular contact ball bearing inner ring contact diameter measuring device and application method thereof
CN117490952A (en) * 2024-01-02 2024-02-02 迈为技术(珠海)有限公司 Air bearing rigidity testing device
CN117490952B (en) * 2024-01-02 2024-04-12 迈为技术(珠海)有限公司 Air bearing rigidity testing device

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