KR20070038779A - 열공압 구동 방식 모세관 마이크로 펌프 및 그 제조 방법 - Google Patents
열공압 구동 방식 모세관 마이크로 펌프 및 그 제조 방법 Download PDFInfo
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Description
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- 전압을 인가하여 열을 발생시키는 마이크로 히터를 내장한 공기 챔버;공기 챔버 내에 있는 공기의 부피변화를 이용하여 공압을 발생시키는 구동 방식;모세관 인력을 이용하여 유체를 자가 충전시키는 방식;유체와 공압의 상태에 따라 다르게 작동하는 두 개의 공압유로;두 공기 챔버에서 발생되는 공압이 동일하게 하는 통기 유로;상기의 모든 항을 포함하여, 전압을 인가하면 히터에서 발생된 열로 공기챔버에 있는 공기의 부피가 팽창하면서 발생하는 압력으로 유로 내부에 있는 유체를 토출시키고, 전류를 끊으면 공기의 부피가 수축하고, 유로 내부의 모세관 인력에 의해 외부에서 유체가 자가 충전되고 발생된 공압은 주공압 유로를 통해서 내보내고, 수축된 공기가 유입 될 때는 유체의 유입 양에 따라 주공압 유로와 부공압 유로를 다르게 이용하여 공기가 유입되는 열공압 구동 방식 마이크로 펌프
- 열공압 구동 방식 마이크로 펌프의 제조 방법에 있어서파이렉스 유리로 된 하부기판 위에 화학 기상 증착 방식으로 크롬/금을 증착하고 패터닝하여 마이크로 히터를 제작하는 단계;유리로 된 하부기판에 전기 화학 방전 가공을 이용하여 유체의 주입구와 출구를 제작하는 단계;음성 후막 감광제를 이용하여 공기 챔버, 펌프 챔버 등을 제작하는 단계;열압착 방식을 이용하여 하부 기판과 상부 기판을 접합하는 단계;상기의 모든 항을 포함하여 제작됨을 특징으로 하는 열공압 구동 방식 마이크로 펌프를 제작하는 방법
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2005
- 2005-10-06 KR KR1020050094058A patent/KR100865634B1/ko active IP Right Grant
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