KR20070037038A - Nozzle tip for coating and a coater having the same - Google Patents

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KR20070037038A
KR20070037038A KR1020050092238A KR20050092238A KR20070037038A KR 20070037038 A KR20070037038 A KR 20070037038A KR 1020050092238 A KR1020050092238 A KR 1020050092238A KR 20050092238 A KR20050092238 A KR 20050092238A KR 20070037038 A KR20070037038 A KR 20070037038A
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Abstract

도포용 노즐 팁이 제공된다. 도포용 노즐 팁은 피도포 기판 상으로 감광액이 토출되는 관통부가 중앙에 형성된 도포용 노즐 팁 본체 및 도포용 노즐 팁 본체에 장착되어 관통부의 온도를 측정하는 온도 센서를 포함한다. A nozzle tip for application is provided. The coating nozzle tip includes a coating nozzle tip main body having a penetrating portion through which the photosensitive liquid is discharged onto the substrate to be coated and a temperature sensor mounted on the coating nozzle tip main body to measure the temperature of the penetrating portion.

온도 센서, 노즐 팁, 도포 장치 Temperature sensor, nozzle tip, applicator

Description

도포용 노즐 팁 및 이를 포함하는 도포 장치{Nozzle tip for coating and a coater having the same}Nozzle tip for coating and coating device comprising the same {Nozzle tip for coating and a coater having the same}

도 1a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 도포 장치를 나타낸 구성도이다.1A is a block diagram showing a coating device according to a first embodiment of the present invention.

도 1b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 도포용 노즐을 나타낸 사시도이다.1B is a perspective view showing a coating nozzle according to a first embodiment of the present invention.

도 1c는 도 1b를 분리하여 나타낸 분리 사시도이다.FIG. 1C is an exploded perspective view illustrating the separation of FIG. 1B.

도 1d는 도 1b를 D-D'방향으로 자른 단면도이다.FIG. 1D is a cross-sectional view of FIG. 1B taken along the line D-D '.

도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 도포용 노즐 팁을 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing a spray nozzle tip according to a second embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포 장치의 동작을 설명하는 흐름도이다.3 is a flowchart illustrating the operation of the coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

100 : 도포 장치 110 : 기판 회전 척100 application device 110 substrate rotating chuck

120 : 웨이퍼 130 : 감광액120: wafer 130: photosensitive liquid

140 : 에어 밸브 150 : 펌프140: air valve 150: pump

160 : 용액조 170 : 제어부160: solution tank 170: control unit

180 : 공급 라인 200 : 도포용 노즐180: supply line 200: nozzle for coating

210 : 도포용 노즐 본체 211 : 중공부210: coating nozzle body 211: hollow part

212 : 노즐 본체의 나사선 220 : 결합 캡212: screw thread of the nozzle body 220: coupling cap

221 : 결합 캡의 나사선 230 : 도포용 노즐 팁 본체221: screw thread of the coupling cap 230: nozzle tip body for application

231 : 결합부 232 : 관통부231: coupling portion 232: through portion

233, 234 : 온도 센서 장착부 240, 241 : 온도 센서233, 234: temperature sensor mounting portion 240, 241: temperature sensor

본 발명은 도포용 노즐 팁 및 이를 포함하는 도포 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 신뢰성 높은 도포용 노즐 팁 및 이를 포함하는 도포 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a coating nozzle tip and a coating device comprising the same, and more particularly to a highly reliable coating nozzle tip and a coating device comprising the same.

도포 장치는 피도포 기판 상에 감광액을 균일하게 도포하는 역할을 한다. The coating device serves to uniformly apply the photosensitive liquid onto the substrate to be coated.

도포 장치가 감광액을 도포하기 위해서는 먼저 감광액이 피도포 기판 상에 토출되어야 한다. 하지만, 감광액의 부족이나, 감광액을 보내주는 펌프의 고장 등으로 인해서 감광액이 피도포 기판에 토출되지 않은 채, 공정이 진행될 수 있으며, 이 경우 막대한 손실로 이어지게 된다.In order for the coating device to apply the photosensitive liquid, the photosensitive liquid must first be discharged onto the substrate to be coated. However, due to the lack of the photoresist or the failure of the pump to send the photoresist, the process may proceed without the photoresist being discharged to the substrate to be coated, which leads to enormous loss.

설령, 감광액의 부족을 알려주는 경보 장치, 감광액을 보내주는 펌프의 고장을 알려주는 경보 장치가 있다고 하더라도, 감광액 공급 라인에서 결함이 발생하여 감광액이 피도포 기판 상에 토출되지 않는 경우가 있으므로 보다 신뢰성 높은 도포 장치가 요구된다.Even if there is an alarm device for notifying the lack of photoresist and a warning device for failure of the pump that sends the photoresist, a failure occurs in the photoresist supply line, so that the photoresist is not discharged onto the substrate to be coated. High applicator is required.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 반도체 제조 장치를 제공하는 것이 다.The technical problem to be achieved by the present invention is to provide a semiconductor manufacturing apparatus.

본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. Technical problems of the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 도포용 노즐 팁은 피도포 기판 상으로 감광액이 토출되는 관통부가 중앙에 형성된 도포용 노즐 팁 본체 및 도포용 노즐 팁 본체에 장착되어 관통부의 온도를 측정하는 온도 센서를 포함한다.The coating nozzle tip according to an embodiment of the present invention for achieving the above technical problem is mounted to the coating nozzle tip body and the coating nozzle tip body formed in the center of the penetrating portion is discharged onto the substrate to be coated to the penetration portion It includes a temperature sensor for measuring the temperature.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 도포 장치는 피도포 기판을 회전시키는 기판 회전 척, 기판 회전 척의 상부에 위치하고 피도포 기판 상으로 감광액이 토출되는 관통부가 중앙에 형성된 도포용 노즐 팁 본체 및 도포용 노즐 팁 본체에 장착되어 관통부의 온도를 측정하는 온도 센서로 구성되는 도포용 노즐 팁, 온도 센서와 기판 회전 척을 제어하는 제어부를 포함한다.The coating device according to an embodiment of the present invention for achieving the above technical problem is a substrate rotary chuck for rotating the substrate to be coated, the coating portion is formed on the upper portion of the substrate rotation chuck for the coating formed in the center of the through portion discharged to the coated substrate And a control nozzle for controlling the application nozzle tip, the temperature sensor, and the substrate rotating chuck mounted to the nozzle tip main body and the application nozzle tip main body, the temperature sensor configured to measure the temperature of the penetration part.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the invention are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알 려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the present embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and the general knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

도 1a 내지 1d를 참조하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 도포 장치를 설명한다.1A to 1D, a coating apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described.

도 1a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 도포 장치는 기판 회전 척(110), 도포용 노즐(200), 에어 밸브(140), 펌프(150), 용액조(160), 제어부(170) 및 표시부(미도시)를 포함한다. As shown in FIG. 1A, the coating apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a substrate rotating chuck 110, a coating nozzle 200, an air valve 140, a pump 150, and a solution tank 160. , A control unit 170 and a display unit (not shown).

기판 회전 척(110)은 피도포 기판(120)을 회전시켜 피도포 기판(120) 상에 감광액(130)이 편평하게 도포되도록 한다. 기판 회전 척(110)의 상부에는 피도포 기판(120)이 위치한다. 피도포 기판(120)은 실리콘 웨이퍼, LCD 패널일 수 있다.The substrate rotating chuck 110 rotates the substrate to be coated 120 so that the photosensitive liquid 130 is flatly applied onto the substrate to be coated 120. The substrate to be coated 120 is positioned on the substrate rotating chuck 110. The substrate to be coated 120 may be a silicon wafer or an LCD panel.

도포용 노즐(200)은 피도포 기판(120) 상에 감광액(130)을 토출시킨다. 도포용 노즐(200)은 피도포 기판(120)의 상부에 위치하여 피도포 기판(120)의 중앙에 감광액(130)을 토출하는 것이 바람직하다. 또한, 도포용 노즐(200)이 감광액(130)을 토출함과 동시에, 기판 회전 척(110)을 회전시켜 감광액(130)을 피도포 기판(120) 상에 도포할 수 있다.The coating nozzle 200 discharges the photosensitive liquid 130 onto the substrate to be coated 120. The coating nozzle 200 may be disposed above the substrate to be coated 120 to discharge the photosensitive liquid 130 in the center of the substrate to be coated 120. In addition, while the application nozzle 200 discharges the photosensitive liquid 130, the substrate rotation chuck 110 may be rotated to apply the photosensitive liquid 130 onto the substrate to be coated 120.

도 1b 내지 1d에 도시된 바와 같이, 도포용 노즐(200)은 노즐 본체(210), 결합 캡(220) 및 도포용 노즐 팁을 포함하고, 도포용 노즐 팁은 도포용 노즐 팁 본체(230), 관통부(232) 및 온도 센서(240)를 포함한다.As shown in FIGS. 1B-1D, the application nozzle 200 includes a nozzle body 210, a coupling cap 220, and an application nozzle tip, and the application nozzle tip is an application nozzle tip body 230. And a penetrating portion 232 and a temperature sensor 240.

노즐 본체(210)와 도포용 노즐 팁과 감광액 공급 라인(180)을 연결시키는 역할을 한다. 노즐 본체(210)에는 감광액(130)이 흐르는 통로인 중공부(211)가 그 중 앙에 형성된다. 전술한 통로는 일직선으로 형성되어 감광액(130)에 기포가 발생되지 않도록 하는 것이 바람직하다. 노즐 본체(210)의 하단에는 도포용 노즐 팁과의 연결을 위해서 나사선(212)이 형성될 수 있다. It serves to connect the nozzle body 210, the application nozzle tip and the photosensitive liquid supply line 180. In the nozzle body 210, a hollow part 211, which is a passage through which the photosensitive liquid 130 flows, is formed at the center thereof. The above-described passage is preferably formed in a straight line so that bubbles are not generated in the photosensitive liquid 130. Screw lines 212 may be formed at the lower end of the nozzle body 210 to be connected to the application nozzle tip.

결합 캡(220)은 노즐 본체(210)와 도포용 노즐 팁을 연결시킨다. 결합 캡(220)은 도포용 노즐 팁의 결합부(231)를 둘러싸고, 결합부(231)를 노즐 본체(210)에 연결시킨다. 결합 캡(220)의 본체의 내부는 결합 캡의 나사선(221)이 형성된 형상일 수 있다.Coupling cap 220 connects the nozzle body 210 and the nozzle tip for application. The coupling cap 220 surrounds the coupling portion 231 of the application nozzle tip, and connects the coupling portion 231 to the nozzle body 210. The inside of the body of the coupling cap 220 may have a shape in which the thread 221 of the coupling cap is formed.

도포용 노즐 팁은 피도포 기판(120) 상으로 감광액(130)이 토출되는 최종단이다. 도포용 노즐 팁은 도포용 노즐 팁 본체(230), 관통부(232), 결합부(231) 및 온도 센서(240)를 포함한다. The nozzle tip for coating is a final stage at which the photosensitive liquid 130 is discharged onto the substrate to be coated 120. The spray nozzle tip includes a spray nozzle tip body 230, a penetrating portion 232, a coupling portion 231, and a temperature sensor 240.

도포용 노즐 팁 본체(230)는 도포용 노즐 팁을 구성하는 요소들 즉, 관통부(232), 결합부(231) 및 온도 센서(240)을 지지하는 역할을 한다.The dispensing nozzle tip body 230 supports the elements constituting the dispensing nozzle tip, that is, the penetrating portion 232, the coupling portion 231, and the temperature sensor 240.

관통부(232)는 도포용 노즐 팁 본체(230)의 중앙에 형성되며, 노즐 본체(210)의 통로와 연결되어 감광액(130)이 토출되는 공간이 된다. 관통부(232)는 노즐 본체(210)의 통로인 중공부(211)와 일직선을 이루어 감광액(130)에 기포가 발생되지 않도록 하는 것이 바람직하다. The penetrating portion 232 is formed at the center of the nozzle tip main body 230 for application and is connected to a passage of the nozzle main body 210 to become a space where the photosensitive liquid 130 is discharged. The through part 232 may be in a line with the hollow part 211, which is a passage of the nozzle body 210, to prevent bubbles from being generated in the photosensitive liquid 130.

결합부(231)는 도포용 노즐 팁 본체(230)와 노즐 본체(210)를 결합시키는 역할을 한다. 결합부(231)는 도포용 노즐 팁 본체(230)의 상부에 돌출된 형상으로 형성되며, 그 표면에는 결합 캡(220)과의 연결을 위해 나사선이 형성될 수 있다.Coupling portion 231 serves to couple the nozzle tip body 230 and the nozzle body 210 for the application. Coupling portion 231 is formed in a shape projecting on the top of the nozzle tip body 230 for application, the surface may be formed with a screw thread for connection with the coupling cap 220.

온도 센서(240)는 도포용 노즐 팁의 본체에 장착되어 관통부(232)의 온도를 측정하고, 그 측정된 온도값을 제어부(170)에 전달한다. 온도 센서(240)는 관통부(232)와 가깝게 위치할 때, 관통부(232)의 온도를 보다 효율적으로 측정할 수 있으므로, 온도 센서(240)는 도포용 노즐 팁 본체(230)에 내장하는 것이 바람직하다. 더 나아가, 온도 센서(240)를 도포용 노즐 팁 본체(230)에 내장함으로써 보다 컴팩한 디자인으로 온도 센서(240)를 도포용 노즐 팁 본체(230)에 장착할 수 있다. The temperature sensor 240 is mounted on the main body of the spray nozzle tip to measure the temperature of the through part 232, and transmits the measured temperature value to the controller 170. When the temperature sensor 240 is located close to the through part 232, the temperature sensor 240 may measure the temperature of the through part 232 more efficiently. Thus, the temperature sensor 240 may be built in the nozzle tip main body 230 for application. It is preferable. Furthermore, by embedding the temperature sensor 240 in the spray nozzle tip body 230, the temperature sensor 240 can be mounted to the spray nozzle tip main body 230 in a more compact design.

또한, 관통부(232)를 형성하는 도포용 노즐 팁 본체(230)의 내면을 온도 센서(240)를 이용하여 구현함으로써, 관통부(232)의 온도를 직접 측정할 수 있다. 따라서, 관통부(232)의 온도 측정의 정확성을 높일 수 있다.In addition, by implementing the inner surface of the coating nozzle tip main body 230 forming the through portion 232 using the temperature sensor 240, it is possible to directly measure the temperature of the through portion 232. Therefore, the accuracy of the temperature measurement of the penetrating portion 232 can be improved.

온도 센서(240)는 막대 형상을 취할 수 있다. 막대 형상을 취함에 따라서, 도포용 노즐 팁 본체(230)에 간단히 타공을 실시하여 홈 형상을 가지는 온도 센서 장착부(233)를 형성함으로써, 온도 센서(240)를 도포용 노즐 팁 본체(230)에 장착할 수 있다.The temperature sensor 240 may take the shape of a rod. By taking the rod shape, the perforating nozzle tip main body 230 is simply perforated to form a temperature sensor mounting portion 233 having a groove shape, thereby applying the temperature sensor 240 to the applying nozzle tip main body 230. I can attach it.

도 1a에 도시된 제어부(170)는 온도 센서(240)로부터 측정된 온도를 받아서, 기준 값과 비교하여 기판 회전 척(110), 펌프(150)와 같은 장치들을 제어한다.The controller 170 shown in FIG. 1A receives the temperature measured from the temperature sensor 240 and controls devices such as the substrate rotating chuck 110 and the pump 150 in comparison with a reference value.

도포용 노즐 팁의 관통부(232)는 감광액(130) 토출 작동 개시전에, 소정의 온도(예를 들면, 22 ℃ 또는 24℃)로 유지된다. The penetrating portion 232 of the coating nozzle tip is maintained at a predetermined temperature (eg, 22 ° C. or 24 ° C.) before the photosensitive liquid 130 discharge operation starts.

감광액(130)은 용액조(160)로부터 펌프(150)에 의해서 노즐 팁으로 보내질 때, 소정의 온도(예를 들면, 23 ℃)를 유지한 채 도포용 노즐 팁에 보내진다. 이러한 감광액(130)에 의해서 관통부(232)는 온도가 변화하게 된다.When the photosensitive liquid 130 is sent from the solution tank 160 to the nozzle tip by the pump 150, it is sent to the application nozzle tip, maintaining a predetermined temperature (for example, 23 degreeC). Temperature of the through part 232 is changed by the photosensitive liquid 130.

제어부(170)는 감광액(130) 토출 작동 개시전 관통부(232)의 소정의 온도를 먼저 온도 센서(240)로부터 받아서 저장한 후, 감광액(130) 토출 작동 개시후 온도 센서(240)로부터 받은 온도와 저장된 온도를 비교하여 온도차가 존재하는지 여부를 판단함으로써 감광액(130)이 노즐 팁을 통과하여 토출되고 있는지 여부를 판단한다. The controller 170 receives and stores a predetermined temperature of the penetrating portion 232 before the start of the photoresist 130 discharge operation from the temperature sensor 240 and then receives the temperature from the temperature sensor 240 after the photoresist 130 discharge operation starts. The photosensitive liquid 130 is discharged through the nozzle tip by determining whether a temperature difference exists by comparing the stored temperature with the stored temperature.

전술한 온도차가 존재하는 경우는 감광액(130)이 토출되는 경우를 의미하므로, 제어부(170)는 표시부를 통하여 도포 장치가 정상 동작하고 있음을 알린다. 하지만, 온도차가 존재하지 않는 경우는 감광액(130)이 토출되지 않는 경우를 의미하므로, 제어부(170)는 표시부를 통하여 도포 장치가 비정상 동작하고 있음을 알리고, 펌프(150)와 기판 회전 척(110)과 같은 장치를 정지시킨다.When the above-described temperature difference exists, it means that the photosensitive liquid 130 is discharged. Therefore, the controller 170 notifies that the coating apparatus is operating normally through the display unit. However, if the temperature difference does not exist, it means that the photosensitive liquid 130 is not discharged. Therefore, the controller 170 notifies that the coating apparatus is abnormally operated through the display unit, and the pump 150 and the substrate rotating chuck 110. Stop devices such as

표시부(미도시)는 제어부(170)에 의해서 판단된 도포 장치의 상태를 표시한다. 표시부는 사이렌, LCD와 같은 디스플레이 장치를 통해 구현될 수 있다.The display unit (not shown) displays the state of the coating apparatus determined by the control unit 170. The display unit may be implemented through a display device such as a siren or an LCD.

도 1a에 도시된 펌프(150)는 제어부(170)의 제어에 따라서, 용액조(160)의 감광액(130)을 도포용 노즐(200)로 이동시킨다. 에어 밸브(140)는 제어부(170)의 명령에 따라, 감광액(130)의 흐름을 개폐시킨다. 용액조(160)는 감광액(130)을 저장한다. 도포용 노즐(200), 에어밸브, 펌프(150) 및 용액조(160)의 사이에는 공급 라인이 존재한다.The pump 150 shown in FIG. 1A moves the photosensitive liquid 130 of the solution tank 160 to the coating nozzle 200 under the control of the controller 170. The air valve 140 opens and closes the flow of the photosensitive liquid 130 according to the command of the controller 170. The solution tank 160 stores the photosensitive liquid 130. A supply line exists between the application nozzle 200, the air valve, the pump 150, and the solution tank 160.

도 2는 본 발명의 제 2실시예에 따른 도포용 노즐 팁을 나타낸 사시도이다. 2 is a perspective view showing a coating nozzle tip according to a second embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 도포용 노즐 팁은 고리 형상을 가지는 온도 센서(241)를 포함한다. 고리 형상을 가지는 온도 센서(241)는 관통부(232)를 형성하는 내면을 구성하는 것이 바람직하다. 따라서, 보다 넓은 면적에서 감괌액의 흐름을 측정할 수 있을 뿐만 아니라, 보다 정확하게 감광액의 흐름을 파악할 수 있다.Referring to FIG. 2, the spray nozzle tip according to the present embodiment includes a temperature sensor 241 having an annular shape. The temperature sensor 241 having an annular shape preferably constitutes an inner surface that forms the through part 232. Therefore, not only can the flow of the Guam liquid be measured in a larger area, but also the flow of the Photoresist liquid can be grasped more accurately.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포 장치의 동작을 설명하는 흐름도이다.3 is a flowchart illustrating the operation of the coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 먼저 제어부는 감광액 토출을 위한 작동 개시 신호를 펌프와 에어 밸브에 전달한다(S1). 이에 따라서, 에어 밸브는 개방되고 펌프는 용액조로부터 감광액을 도포용 노즐에 공급한다. 이때, 온도 센서는 관통부의 온도를 측정하여 제어부에 측정된 온도를 전달한다(S2). 다음으로, 제어부는 감광액이 토출되고 있는지 여부를 판단(S3)하여 감광액이 토출되고 있는 경우에는 표시부에 의해서 도포 장치가 정상 동작되고 있음을 표시(S4)하고, 감광액이 토출되지 않는 경우에는 표시부에 의해서 도포 장치가 비정상 동작하고 있음을 표시하고, 작동 중인 펌프와 기판 회전척과 같은 장치를 정지시킨다(S5). 작업자는 표시부의 표시에 따라서, 도포 장치를 재점검할 수 있다.Referring to FIG. 3, first, the controller transmits an operation start signal for discharging photoresist to a pump and an air valve (S1). Accordingly, the air valve is opened and the pump supplies the photosensitive liquid from the solution bath to the application nozzle. At this time, the temperature sensor measures the temperature of the penetrating portion and transmits the measured temperature to the controller (S2). Next, the control unit determines whether the photosensitive liquid is being discharged (S3), and when the photosensitive liquid is being discharged, displays that the coating device is operating normally by the display unit (S4). This indicates that the coating device is in abnormal operation, and stops the device such as the pump and the substrate rotating chuck in operation (S5). The operator can recheck the application apparatus in accordance with the display of the display unit.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. I can understand that. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive.

상기한 바와 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다. According to the present invention as described above has one or more of the following effects.

첫째, 온도 센서를 도포용 노즐 팁에 장착함으로써, 보다 신뢰성 높게 감광액 토출 여부를 검출할 수 있다.First, by attaching the temperature sensor to the nozzle tip for coating, it is possible to detect whether the photosensitive liquid discharged more reliably.

둘째, 온도 센서를 도포용 노즐 팁 본체의 내부에 내장함으로써, 보다 신뢰성 높게 감광액 토출 여부를 검출할 수 있을 뿐만 아니라, 도포용 노즐 팁 본체를 단순한 모양으로 만들 수 있다.Second, by embedding the temperature sensor inside the coating nozzle tip main body, it is possible to detect whether the photosensitive liquid is discharged more reliably, and to make the coating nozzle tip main body into a simple shape.

셋째, 온도 센서를 관통부를 둘러싸도록 함으로써, 보다 신뢰성 높게 감광액 토출 여부를 검출할 수 있다.Third, by surrounding the penetrating portion with the temperature sensor, it is possible to detect whether or not the photosensitive liquid is discharged more reliably.

Claims (6)

피도포 기판 상으로 감광액이 토출되는 관통부가 중앙에 형성된 도포용 노즐 팁 본체; 및 A coating nozzle tip main body having a through portion in which a photosensitive liquid is discharged onto the substrate to be coated at the center; And 상기 도포용 노즐 팁 본체에 장착되어 상기 관통부의 온도를 측정하는 온도 센서를 포함하는 도포용 노즐 팁.And a temperature sensor mounted on the application nozzle tip body and measuring a temperature of the penetration part. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 온도 센서는 상기 도포용 노즐 팁 본체에 내장되는 도포용 노즐 팁.The temperature sensor is a spray nozzle tip for being embedded in the spray nozzle tip body. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 온도 센서는 상기 관통부를 둘러싸는 도포용 노즐 팁.And the temperature sensor is a spray nozzle tip surrounding the through portion. 피도포 기판을 회전시키는 기판 회전 척; A substrate rotating chuck for rotating the substrate to be coated; 상기 기판 회전 척의 상부에 위치하는 제 1항의 도포용 노즐 팁; 및 A nozzle tip for dispensing according to claim 1 located above the substrate rotating chuck; And 상기 온도 센서와 상기 기판 회전 척을 제어하는 제어부를 포함하는 도포 장치.And a control unit for controlling the temperature sensor and the substrate rotation chuck. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 온도 센서는 상기 도포용 노즐 팁 본체에 내장되는 도포 장치.And the temperature sensor is embedded in the spray nozzle tip body. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 온도 센서는 상기 관통부를 둘러싸는 도포 장치.And the temperature sensor surrounds the through portion.
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