KR20070025529A - 색필터 표시판 및 이를 포함하는 액정표시장치 - Google Patents

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KR20070025529A
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Abstract

블랙매트릭스의 부식을 방지할 수 있는 색필터 표시판 및 이를 포함하는 액정표시장치가 제공된다. 색필터 표시판은 절연 기판, 상기 기판 상에 형성되며, 각 화소 영역을 한정하는 블랙매트릭스, 상기 블랙매트릭스를 포함한 기판 상에 형성되며, 액티브 영역 이외의 영역에 형성된 블랙매트릭스의 상부 및 측면을 덮도록 형성된 컬러필터 및 상기 기판 결과물 상에 형성된 공통전극을 포함한다.
블랙매트릭스, 부식, 액정표시장치

Description

색필터 표시판 및 이를 포함하는 액정표시장치{Color filter panel and liquid crystal display of comprising the same}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치의 단면도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 색필터 표시판의 공정 단계별 단면도들이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 박막 트랜지스터 기판 12 : 게이트 전극
14 : 스토리지 전극 16 : 게이트 절연막
18 : 액티브층 20 : 오믹콘택층
22 : 소오스 전극 24 : 드레인 전극
26 : 보호막 28 : 콘택홀
30 : 화소 전극 50 : 컬러필터 기판
52a, 52b, 52c : 블랙매트릭스 54a, 54b, 54c, 54d : 컬러필터
56 : 공통 전극 60 : 액정층
70 : 실링재
본 발명은 색필터 표시판 및 이를 포함하는 액정표시장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 블랙매트릭스의 부식을 방지할 수 있는 색필터 표시판 및 이를 포함하는 액정표시장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치는 기준전극과 컬러필터 등이 형성되어 있는 색필터 표시판과 박막 트랜지스터와 화소전극 등이 형성되어 있는 박막트랜지스터 기판 사이에 액정층이 개재되며, 화소전극과 기준전극에 서로 다른 전위를 인가함으로써 전계를 형성하여 액정 분자들의 배열을 변경시키고, 이를 통해 빛의 투과율을 조절함으로써 화상을 표현한다.
색필터 표시판은 절연 기판 상에 각 화소 영역을 한정하는 블랙매트릭스를 형성하고, 블랙매트릭스 사이의 기판 상에 적, 녹, 청색의 컬러필터를 형성한 다음, 블랙매트릭스와 컬러필터를 포함한 기판 전면 상에 공통 전극을 형성한다. 여기에서, 블랙매트릭스는 주로 내부식성이 강한 크롬(Cr)을 사용하여 형성하게 된다.
그러나, 공통 전극에 전압을 인가하게 되면, 액티브 영역 이외의 영역에 형성된 블랙매트릭스에 전압이 인가되어 전계가 형성된다. 또한, 액티브 영역 이외의 영역에 형성된 블랙매트릭스의 모서리 부분이 고온 및 고습 등에 노출되거나 또는 신뢰성 테스트시 블랙매트릭스에 부식이 발생하게 된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 블랙매트릭스의 부식을 방지할 수 있는 색필터 표시판을 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 블랙매트릭스의 부식을 방지할 수 있는 색필터 표시판을 포함하는 액정표시장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 색필터 표시판은, 절연 기판, 상기 기판 상에 형성되며, 각 화소 영역을 한정하는 블랙매트릭스, 상기 블랙매트릭스를 포함한 기판 상에 형성되며, 액티브 영역 이외의 영역에 형성된 블랙매트릭스의 상부 및 측면을 덮도록 형성된 컬러필터 및 상기 기판 결과물 상에 형성된 공통전극을 포함한다.
여기에서, 상기 컬러필터는 감광성의 컬러 수지로 형성된다.
또한, 상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치는, 제 1 기판, 상기 제 1 기판과 대향 배치되며, 각 화소 영역을 한정하는 블랙매트릭스, 상기 블랙매트릭스 상에 형성되며, 액티브 영역 이외의 영역에 형성된 블랙매트릭스의 상부 및 측면을 덮도록 형성된 컬러필터 및 상기 블랙매트릭스 및 컬러필터 상에 형성된 공통전극을 포함하는 제 2 기판 및 상기 제 1 및 제 2 기판 사이에 개재된 액정층을 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있 다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있을 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것으로, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치의 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치는 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판(10, 이하 TFT 기판 이라고 함)과, 컬러필터가 형성되어 있는 컬러필터 기판(50)과, TFT 기판(10)과 컬러필터 기판(50) 사이에 액정(미도시)을 포함하는 일정한 두께의 액정층(60)이 개재되어 있으며, TFT 기판(10)과 컬러필터 기판(50)의 가장자리를 따라 밀봉한 실링재(70)로 구성된다.
여기에서, TFT 기판(10) 상에는 게이트 전극(12)이 형성되어 있고, 게이트 전극(12)과 동일층 상에 이격되어 스토리지 전극(14)이 형성되어 있다. 이때, 게이트 전극(12)은 알루미늄(Al)과 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열의 금속, 은(Ag)과 은 합금 등 은 계열의 금속, 구리(Cu)와 구리 합금 등 구리 계열의 금속, 몰리브덴(Mo)과 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열의 금속, 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta) 따위로 이루어질 수 있다.
또한, 게이트 전극(12)은 물리적 성질이 다른 두 개의 도전막(도시하지 않음)을 포함하는 다중막 구조를 가질 수 있다. 이중 한 도전막은 게이트 전극(12)의 신호 지연이나 전압 강하를 줄일 수 있도록 낮은 비저항(resistivity)의 금속, 예를 들면, 알루미늄 계열 금속, 은 계열 금속, 구리 계열 금속 등으로 이루어진다.
이와는 달리, 다른 도전막은 다른 물질, 특히 ITO(indium tin oxide) 및 IZO(indium zinc oxide)와의 접촉 특성이 우수한 물질, 이를테면 몰리브덴 계열 금속, 크롬, 티타늄, 탄탈륨 등으로 이루어진다. 이러한 조합의 좋은 예로는 크롬 하부막과 알루미늄 상부막 및 알루미늄 하부막과 몰리브덴 상부막을 들 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 게이트 전극(12)은 다양한 여러 가지 금속과 도전체로 만들어질 수 있다.
게이트 전극(12) 및 스토리지 전극(14) 상에는 게이트 절연막(16)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(16) 상에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon) 또는 다결정 규소 등으로 이루어진 액티브층(18)이 형성되어 있다. 이러한 액티브층(18)은 섬형, 선형 등과 같이 다양한 형상을 가질 수 있다.
액티브층(18) 상에는 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 섬형의 오믹콘택층 및 선형의 오믹콘택층이 형성되어 있다. 여기에서, 오믹콘택층(20)은 섬형 오믹콘택층 으로서, 소오스 전극(22) 및 드레인 전극(24) 아래에 위치한다.
오믹콘택층(20) 및 게이트 절연막(16) 상에는 소오스 및 드레인 전극(22, 24)이 형성되어 있다. 이때에 드레인 전극(24)은 스토리지 전극(14)을 덮도록 연장되어 있다. 소오스 및 드레인 전극(22, 24)은 크롬, 몰리브덴 계열의 금속, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속으로 이루어지는 것이 바람직하며, 내화성 금속 따위의 하부막(미도시)과 그 위에 위치한 저저항 물질 상부막(미도시)으로 이루어진 다층막 구조를 가질 수 있다. 다층막 구조의 예로는 앞서 설명한 크롬 하부막과 알루미늄 상부막 또는 알루미늄 하부막과 몰리브덴 상부막의 이중막 외에도 몰리브덴막-알루미늄막-몰리브덴막의 삼중막을 들 수 있다.
소오스 전극(22)은 액티브층(18)과 적어도 일부분이 중첩되고, 드레인 전극(24)은 게이트 전극(12)을 중심으로 소오스 전극(22)과 대향하며 액티브층(18)과 적어도 일부분이 중첩된다. 여기에서, 오믹콘택층(20)은 그 하부의 액티브층(18)과, 그 상부의 소오스 전극(22) 및 드레인 전극(24) 사이에 존재하며 접촉 저항을 낮추어 주는 역할을 한다.
상기 소오스 및 드레인 전극(22, 24)을 포함한 기판 결과물 상에는 콘택홀(28)을 구비한 보호막(26)이 형성되어 있다. 여기에서, 보호막은 질화규소 또는 산화규소로 이루어진 무기물 또는 플라스마 화학 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)으로 형성되는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등의 저유전율 절연 물질 등으로 이루어진다.
보호막(26)에는 드레인 전극(24)의 일부분을 노출시키는 콘택홀(28)이 형성 되어 있으며, 콘택홀(28)을 통하여 드레인 전극(24)과 전기적으로 연결되는 화소 전극(30)이 형성되어 있다. 이때, 화소 전극은 ITO 또는 IZO 따위의 투명 도전체 또는 알루미늄 따위의 반사성 도전체로 이루어진다.
또한, 컬러필터 기판(50) 상에는 각 화소 영역을 한정하는 블랙매트릭스(52a, 52b, 52c)가 형성되어 있고, 블랙매트릭스(52a, 52b, 52c)를 포함하는 컬러필터 기판(50) 상에는 적, 녹, 청색의 컬러필터(54a, 54b, 54c)가 형성되어 있으며, 적, 녹, 청색의 컬러필터(54a, 54b, 54c) 상에는 투명한 공통 전극(56)이 형성되어 있다.
여기에서, 본 발명의 컬러필터 기판(50) 상에는 액티브 영역 이외의 영역에 형성된 블랙매트릭스(52c)의 상부 및 측면을 덮도록 컬러필터(54d)가 형성되어 있어 블랙매트릭스가 고온 및 고습 등에 노출되거나 또는 신뢰성 테스트시 블랙매트릭스에 부식이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 색필터 표시판의 공정 단계별 단면도들이다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 액티브 영역(A)과 액티브 이외의 영역(B)을 구비한 컬러필터 기판(50) 상에 스퍼터링 등의 방법으로 크롬(Cr)을 도포한 후, 사진 식각 공정을 사용하여 각 화소 영역을 한정하는 패턴으로 이루어진 블랙매트릭스(52a, 52b, 52c)를 형성한다.
도 2b에 도시된 바와 같이, 블랙매트릭스(52a, 52b, 52c)를 포함하는 컬러필터 기판(50) 상에 착색 안료, 예를 들어 적색 안료를 스핀 코팅 방법에 의해 도포 하고 사진 식각 공정을 이용하여 컬러필터 기판(50) 상에 적색 컬러필터(54a)를 형성한다.
이후, 적색 컬러필터 형성 방법과 동일한 방법으로 컬러필터 기판(50)의 소정 위치에 녹색 및 청색 컬러필터(54b, 54c)를 각각 형성한다. 여기에서, 액티브 영역 이외의 영역(B)에 형성된 블랙매트릭스(52c)의 상부 및 측면을 덮도록 컬러필터(54d)를 형성한다. 이렇게 액티브 영역 이외의 영역(B)에 형성된 블랙매트릭스(52c)의 상부 및 측면을 덮도록 컬러필터(54d)를 형성하게 되면, 블랙매트릭스가 고온 및 고습 등에 노출되거나 또는 신뢰성 테스트시 블랙매트릭스에 부식이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이때, 컬러필터(54d)는 적, 녹, 청색 중 한 가지의 색으로 형성할 수 있다.
도 2c에 도시된 바와 같이, 기판 결과물 상에 스퍼터링 방법에 의해 ITO(Indium Tin Oxide)로 이루어지는 공통 전극(56)을 형성한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야만 한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 색필터 표시판 및 이를 포함하는 액정표시장치는 액티브 영역 이외의 영역에 형성된 블랙매트릭스의 상부 및 측면을 덮도록 컬러필터를 형성함으로써 블랙매트릭스의 부식을 방지할 수 있으며, 이로 인해 액정표시장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Claims (4)

  1. 절연 기판;
    상기 기판 상에 형성되며, 각 화소 영역을 한정하는 블랙매트릭스;
    상기 블랙매트릭스를 포함한 기판 상에 형성되며, 액티브 영역 이외의 영역에 형성된 블랙매트릭스의 상부 및 측면을 덮도록 형성된 컬러필터; 및
    상기 기판 결과물 상에 형성된 공통전극을 포함하는 색필터 표시판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 컬러필터는 감광성의 컬러 수지로 형성된 색필터 표시판.
  3. 제 1 기판;
    상기 제 1 기판과 대향 배치되며, 각 화소 영역을 한정하는 블랙매트릭스, 상기 블랙매트릭스 상에 형성되며, 액티브 영역 이외의 영역에 형성된 블랙매트릭스의 상부 및 측면을 덮도록 형성된 컬러필터 및 상기 블랙매트릭스 및 컬러필터 상에 형성된 공통전극을 포함하는 제 2 기판; 및
    상기 제 1 및 제 2 기판 사이에 개재된 액정층을 포함하는 액정표시장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 컬러필터는 감광성의 컬러 수지로 형성된 액정표시장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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