KR20070024285A - 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기발광표시장치 및 제조방법 - Google Patents

레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기발광표시장치 및 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 레이저 열전사 방법으로 전사층을 전사할 시에 열 및 적외선에 의해 전사층이 손상되는 것을 방지하도록 한 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치 및 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 레이저를 조사하여 수용체에 전사되는 전사층을 포함하는 레이저 열전사용 도너필름에 있어서, 상기 도너필름은 기재기판과, 상기 기판에 접촉하며 조사되는 레이저가 열로 변환되면서 기재기판으로부터 이격되는 광-열 변환층과, 상기 광-열 변환층에 접촉하며 상기 광-열 변환층과 동반하여 이격되어 수용체에 전사되는 전사층 및, 상기 광-열 변환층과 상기 전사층 사이에 광-열 변환층에서 발생한 열이 전사층으로 전달되는 것을 감소시키는 열차단층을 포함하는 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치이다. 이러한 구성에 의하여, 레이저 조사시에 광-열 변환층을 통해 전달되는 열과 적외선이 전사층에 직접 전달되는 것을 효과적으로 차단하여, 열과 적외선에 의하여 유기 발광표시장치의 특성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
열차단층, 도너필름, 레이저 열전사 방법

Description

레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치 및 제조방법 {LASER INDUCED THERMAL IMAGING DONOR FILM, ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY USING THEREOF AND FABRICATING METHOD THE SAME}
도 1은 종래기술에 따른 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치의 단면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 레이저 열전사 방법을 이용하여 전사층을 전사시키는 제조단계별 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치의 단면도이다.
♣ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣
207, 307, 407, 507, 607 : 박막트랜지스터
209, 309, 409, 509, 609 : 제1 전극층
211, 311, 411, 511, 611 : 정공수송층
215, 315, 416, 516, 617 : 전사층
214, 314, 414, 515 : 열차단층
614 : 제1 열차단층
616 : 제2 열차단층
본 발명은 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치 및 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 열 및 적외선에 의해 전사층이 손상되는 것을 방지할 수 있는 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치 및 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 발광표시장치는 절연기판 상에 하부전극인 애노드전극이 형성되고, 애노드전극 상에 유기막층이 형성되며, 유기막층 상에 상부전극인 캐소드전극이 형성된다. 유기막층은 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 정공억제층, 전자수송층, 전자주입층 중 적어도 하나를 포함한다.
유기막층을 형성하는 방법 중, 증착법은 섀도우 마스크를 이용하여 유기발광물질을 진공증착하여 유기막층을 형성하는 방법으로, 마스크의 변형 등에 의해 고정세의 미세패턴을 형성하기 어렵고, 대면적 표시장치에 적용하기 어렵다.
증착법의 문제점을 해결하기 위하여, 직접 유기막층을 패터닝하는 잉크젯 방식이 제안되었다. 잉크젯 방식은 발광재료를 용매에 용해 또는 분산시켜 토출액으로써 잉크젯 프린트 장치의 헤드로부터 토출시켜 유기막층을 형성하는 방법이다. 잉크젯 방식은 공정이 비교적 간단하지만, 수율저하나 막두께의 불균일성이 발생되고, 대면적의 표시장치에 적용하기 어려운 문제점이 있다.
한편, 레이저 열전사 방법을 이용하여 유기막층을 형성하는 방법이 제안되었는데, 레이저 열전사 방법은 전사층의 용해성 특성에 영향을 받지 않는다는 장점이 있다. 레이저 열전사 방법은 레이저에서 나온 빛을 열에너지로 변환하고, 변환된 열에너지에 의해 전사층을 유기 발광표시장치의 기판으로 전사시켜 R, G, B 유기막층을 형성하는 방법이다. 레이저 열전사 방법은 레이저로 유도된 이미징 프로세스로 고해상도의 패턴 형성, 필름 두께의 균일성, 멀티레이어 적층 능력, 대형 마더글래스로의 확장성과 같은 고유한 이점을 가지고 있다.
이러한 레이저 열전사 방법은 액정표시소자용 컬러필터 제조에 이용되기도 하며, 또한 발광물질의 패턴을 형성하기 위하여 이용되는 경우도 있다.(미국특허 제 5,998,085호)
이하에서는 도면을 참조하여 종래의 레이저 열전사용 도너필름을 구체적으로 설명한다.
도 1은 종래기술에 따른 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 레이저 열전사용 도너필름은 기재기판(112), 상기 기재기판(112) 상에 형성된 광-열 변환층(113) 및 상기 광-열 변환층(113) 상에 형성된 전사층(114)으로 이루어져 있다. 그리고 상기 도너필름의 하부에는 기판(100)이 위치해 있다. 상기 기판(100) 상에는 제1 전극층(109) 및 상기 제1 전극층(109) 상에 정공수송층(111)이 형성되어 있다.
레이저 전사시 광-열 변환층이 레이저를 열로 변환하여, 상기 광-열 변환층 하부에 있는 전사층을 팽창시켜서, 전사층이 도너필름으로부터 분리되어 유기 발광표시장치의 기판으로 전사된다. 그러나, 레이저를 열로 변환시킨 에너지를 통해 패터닝된 물질이 기판으로 전사되는 것이므로, 종래기술에 따른 레이저 열전사 방법에 의해 전사층을 전사시킬 때에는, 상기 광-열 변환층에 가해지는 열 및 적외선이 전사층까지 전해지면서 전사층이 손상되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 전술한 종래의 문제점들을 해결하기 위해 고안된 발명으로, 본 발명의 목적은 유기 발광표시장치 제조시 전사층을 레이저 열전사 방법으로 형성하는 경우, 열 및 적외선에 의해 전사층이 손상되는 것을 방지하도록 한 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치 및 제조방법을 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 레이저가 조사되어 수용체에 전사되는 전사층을 포함하는 레이저 열전사용 도너필름에 있어서, 상기 도너필름은, 기재기판과, 상기 조사되는 레이저가 열로 변환되면서 기재기판으로부터 이 격되는 광-열 변환층과, 상기 광-열 변환층과 동반하여 이격되어 수용체에 전사되는 전사층 및, 상기 광-열 변환층과 상기 전사층 사이에 구비되어 상기 광-열 변환층에서 발생한 열이 상기 전사층으로 전달되는 것을 감소시키는 열차단층을 포함한다.
바람직하게, 상기 열차단층은 복수개가 형성되며, 상기 각 열차단층 사이에는 층간절연막이 더 포함한다. 상기 수용체는 유기 발광표시장치의 화소영역이고, 상기 전사층은 유기 발광표시장치의 발광층이다. 그리고, 상기 열차단층은 0.01W/[mㆍK] 내지 10.0W/[mㆍK] 범위의 열전도도 및 0.75㎛ 내지 1㎜ 범위에 속하는 적외선을 반사시키는 기능을 가진다. 또한, 상기 열차단층은 폴리머(폴리스티렌), 탄탈륨계 화합물, 티타늄계 화합물, 다공성 세라믹 및 알루미늄 실리케이트로 구성되는 군에서 선택되는 하나의 물질로 형성된다.
본 발명에 따른 레이저가 조사되어 수용체에 전사되는 전사층을 포함하는 레이저 열전사용 도너필름의 제조방법에 있어서, 기재기판을 제공하는 단계와, 상기 기재기판 상에 레이저를 열로 변환시키는 광-열 변환층을 형성하는 단계와, 상기 광-열 변환층 상에 상기 광-열 변환층에서 발생된 열이 상기 전사층으로 전달되는 것을 감소시키는 열차단층을 형성하는 단계 및, 상기 열차단층 상에 수용체에 전사되는 전사층을 형성하는 단계를 포함한다.
바람직하게, 상기 열차단층을 복수개 형성하며, 상기 열차단층 사이에 층간절연막을 더 형성하는 단계를 포함하며, 상기 열차단층은 증착 또는 스핀코팅 방법에 의해 형성한다.
또한, 본 발명에 따른 레이저 열전사법에 의해 형성된 전사층을 구비하는 유기 발광표시장치에 있어서, 상기 전사층은 레이저 열전사시 본 발명에 따른 특정의 도너필름에 형성된 전사층이 전사되어 형성된다.
본 발명에 따른 레이저 열전사법에 의해 형성된 전사층을 구비하는 유기 발광표시장치의 제조방법에 있어서, 화소영역을 형성하는 화소정의막을 포함하는 기판을 제공하는 단계와, 상기 기판 상의 화소영역에 전사층을 전사하기 위해 본 발명에 따른 특정의 도너필름을 위치시키는 단계 및 상기 도너필름에 레이저를 조사하여 상기 도너필름의 전사층을 상기 화소영역에 전사하는 단계를 포함한다.
이하에서는 본 발명의 실시예를 도시한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 레이저 열전사 방법에 의해 전사층을 형성하는 유기 발광표시장치의 제조방법을 구체적으로 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치의 단면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 레이저 열전사용 도너필름 및 이를 이용한 유기 발광표시장치는, 제1 전극층(209) 및 상기 제1 전극층(209) 상에 형성된 정공수송층(211)을 구비하는 기판(200)이 형성된다. 그리고, 상기 기판(200) 상부에는 광-열 변환층(213)과, 상기 광-열 변환층(213) 상에 형성된 열차단층(214) 및 상기 열차단층(214) 상에 형성된 전사층(215)을 구비하는 도너필름이 위치한다.
상기 기판(200) 상의 구조를 간단히 설명하면, 상기 기판(200) 상에는 버퍼 층(201)이 형성되고, 상기 버퍼층(201)의 일영역 상에 액티브 채널층(202a)과 오믹콘택층(202b) 사이에 LDD층(미도시)을 포함하는 반도체층(202)이 형성된다. 상기 반도체층(202) 상에는 게이트 절연막(203)과 게이트 전극(204)이 패터닝되어 순차적으로 형성된다. 상기 게이트 전극(204) 상에 형성되며, 상기 반도체층(202) 중 오믹콘택층(202b)이 노출되도록 형성된 층간절연층(205)과, 노출된 상기 오믹콘택층(202b)에 접촉되도록 소스 및 드레인 전극(206a, 206b)이 상기 층간절연층(205)의 일영역 상에 형성된다.
또한, 층간절연층(205) 상에 평탄화막(208)을 형성하고, 상기 평탄화막(208) 상에는 상기 평탄화막(208)의 일영역을 에칭하여 상기 드레인 전극(206b)이 노출되도록 형성된 비어홀(미도시)을 통해, 상기 드레인 전극(206b)과 제1 전극층(209)이 전기적으로 연결된다. 상기 제1 전극층(209)은 상기 평탄화막(208)의 일영역에 형성되며, 상기 평탄화막(208) 상에 상기 제1 전극층(209)을 적어도 부분적으로 노출시키는 개구부(218)가 형성된 화소정의막(210)이 형성된다. 그리고, 상기 화소정의막(210) 및 상기 개구부(218) 상에는 정공수송층(211)이 형성되어 있다.
상기 기판(200) 상에 위치한 도너필름의 구조를 살펴보면, 기재기판(212)과, 상기 기재기판(212) 상에 광-열 변환층(213)이 형성되어 있으며, 상기 광-열 변환층(213) 상에는 열차단층(214)이 형성되어 있다. 그리고 상기 열차단층(214) 상에 전사층(215)이 형성되어 있다. 상기 광-열 변환층(213)과 상기 전사층(215) 사이에 상기 열차단층(214)을 형성함으로써, 유기물질로 형성된 상기 전사층(215)이 열 및 적외선에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상기 열차단층은 폴리머(폴리스티렌), 탄탈륨계 화합물, 티타늄계 화합물, 다공성 세라믹 및 알루미늄 실리케이트로 구성되는 군에서 선택되는 하나의 물질로 형성된다.
표 1은 열전도도에 따른 물질을 나타낸 표이다.
열전도도 물질
실험예 0.01~0.1W/[mㆍK] 폴리스티렌
실험예 1.0~10.0W/[mㆍK] 탄탈륨계 화합물, 티타늄계 화합물, 다공성 세라믹
비교예 100.0W/[mㆍK] 실리콘
비교예 1000.0W/[mㆍK] 이상 다이아몬드
표 1을 참조하면, 본 발명에 따른 열차단층에 사용되는 물질은 열전도도가 낮은 폴리스티렌, 탄탈륨계 화합물, 티타늄계 화합물 및 다공성 세라믹 등이다. 열차단층은 광-열 변환층의 열을 차단해야 하므로, 열전도도가 높은 실리콘 또는 다이아몬드는 사용되지 않는다.
상기 기재기판(212)은 지지체 역할을 하며, 광투과율이 90% 이상인 기판을 사용하는 것이 바람직하다. 기재기판(212)을 형성하는 물질로는 폴리에스테르, 폴리카보네이트, 폴리올레핀, 폴리비닐수지 등을 사용하는데, 그 중에서도 투명성이 우수한 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)가 바람직하다.
상기 기재기판(212) 상에 형성되는 광-열 변환층(213)은 전사층(215)이 기판(200) 등과 같은 수용체 상에 전사될 수 있는 전사에너지를 제공하는 역할을 하며, 레이저를 흡수하여 열에너지로 변환시켜 주는 광흡수재를 포함한다. 상기 광-열 변환층(213)이 너무 얇게 형성되는 경우에는 에너지 흡수율이 낮아 광이 열로 변화되는 에너지 양이 작게 되어 팽창압력이 낮아지고, 투과되는 에너지가 커지게 되어 유기 발광표시장치의 기판(200) 회로에 손상을 주게 되므로, 1㎛ 내지 5㎛ 정도로 형성한다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 레이저 열전사용 도너필름의 제조방법은, 먼저 기재기판(212)을 준비하고, 상기 기재기판(212) 상에 광-열 변환층(213)을 형성한다.
상기 광-열 변환층(213)은 금속성 및 금속화합물을 이용하여 박막 형태로 형성된다. 보다 상세하게는, 스퍼터링 및 증발성 증착과 같은 건식 방법에 의해 형성될 수 있으며, 입상코팅은 결합제 및 임의의 적합한 건조 또는 습식코팅 방법을 이용하여 형성할 수 있다.
이후, 상기 광-열 변환층(213) 상에 열차단층(214)을 형성하고, 상기 열차단층(214) 상에는 유기물질로 형성된 전사층(215)을 형성한다. 상기 열차단층(214)은 증착 또는 스핀코팅 방법에 의해 형성된다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 레이저 열전사 방법을 이용하여 전사층을 전사시키는 제조단계별 단면도이다.
먼저, 도 3a에서 보는 바와 같이, 기판(300) 상에 도너필름을 위치시키고, 상기 도너필름의 하부와 기판(300)의 상부를 밀착시킨다. 그리고, 전사층(315)이 전사될 영역의 도너필름 상에 레이저를 조사한다. 도너필름 상에 레이저가 조사되는 부분의 광-열 변환층(313)이 레이저를 열로 변환하여, 전사층(315)이 팽창한다.
그 다음, 도 3b에서 보는 바와 같이, 전사층(315)이 팽창하면서 도너필름으로부터 분리되어 패터닝된 전사층(315)이 기판(300)으로 전사된다. 기판(300)에 전사층(315)이 전사되면 도너필름과 기판(300)을 분리시킨다. 분리된 기판(300) 상에는 정공수송층(311) 일영역 및 개구부(316)를 따라 전사층(315)이 전사되며, 도너필름 하부의 전사층(315) 중 레이저가 조사된 영역의 전사층(315)만 전사되고, 레이저가 조사되지 않은 영역의 전사층(315)은 도너필름 상에 그대로 남아있게 된다.
그리고 나서, 도 3c에서 보는 바와 같이, 전사층(315)이 전사되면, 화소정의막(310) 및 전사층(315) 상에 제2 전극층(317)을 형성한다. 이와 같이, 광-열 변환층(313)과 전사층(315) 사이에 열차단층(314)을 구비함으로써, 레이저 조사시에 광-열 변환층(313)을 통해 전달되는 열과 적외선이 전사층(315)에 직접 전달되는 것을 효과적으로 차단하여, 열과 적외선에 의하여 유기 발광표시장치의 특성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 제2 내지 제4 실시예를 보여주는 단면도로, 설명의 편의상, 전술한 제1 실시예와 동일한 구성요소에 대한 구체적인 설명은 생략한다. 특히, 도너필름의 각각의 층에 대한 기능 및 두께와, 기판에 대한 설명은 생략한다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 레이저 전사용 도너필름을 이용한 유기 발광표시장치의 단면도이다.
도 4를 참조하면, 도너필름은 기재기판(412), 상기 기재기판(412) 상에 형성된 광-열 변환층(413), 상기 광-열 변환층(413) 상에 형성된 열차단층(414), 상기 열차단층(414) 상에 형성된 층간절연막(415), 상기 층간절연막(415) 상에 형성된 전사층(416)을 포함한다. 상기 도너필름을 상기 전사층(416)이 형성될 화소정의막(410)의 일영역 및 개구부(417)와 대향하도록 상기 기판(400) 상에 위치시킨다.
상기 열차단층(414)을 형성함으로써, 상기 도너필름에 레이저를 조사하여도 상기 광-열 변환층(413)에 가해지는 열 및 적외선이 상기 열차단층(414)에 의해 차단되어 상기 전사층(416)에 전달되지 않음으로써, 유기물질로 형성된 상기 전사층(416)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 층간절연막(415)은 상기 광-열 변환층(413)을 보호하기 위해 형성되며, 상기 광-열 변환층(413)의 이물질이 상기 전사층(416)에 들어가지 않도록 하는 역할을 한다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 레이저 전사용 도너필름을 이용한 유기 발광표시장치의 단면도이다.
도 5를 참조하면, 도너필름은 기재기판(512), 상기 기재기판(512) 상에 형성된 광-열 변환층(513), 상기 광-열 변환층(513) 상에 형성된 층간절연막(514), 상기 층간절연막(514) 상에 형성된 열차단층(515), 상기 열차단층(515) 상에 형성된 전사층(516)을 포함한다. 상기 도너필름을 상기 전사층(516)이 형성될 화소정의막(510)의 일영역 및 개구부(517))와 대향하도록 상기 기판(500) 상에 위치시킨다. 상기 열차단층(515)을 형성함으로써, 상기 도너필름에 레이저를 조사하여도 상기 광-열 변환층(513)에 가해지는 열 및 적외선이 상기 열차단층(515)에 의해 차단되어 전사층(516)에 전달되지 않음으로써, 유기물질로 형성된 전사층(516)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도 6는 본 발명의 제4 실시예에 따른 레이저 전사용 도너필름을 이용한 유기 발광표시장치의 단면도이다.
도 6을 참조하면, 도너필름은 기재기판(612), 상기 기재기판(612) 상에 형성된 광-열 변환층(613), 상기 광-열 변환층(613) 상에 형성된 제1 열차단층(614), 상기 제1 열차단층(614) 상에 형성된 층간절연막(615), 상기 층간절연막(615) 상에 형성된 제2 열차단층(616), 상기 제2 열차단층(616) 상에 형성된 전사층(617)을 포함한다. 상기 도너필름을 상기 전사층(617)이 형성될 화소정의막(610)의 일영역 및 개구부(618)와 대향하도록 상기 기판(600) 상에 위치시킨다. 상기 제1 열차단층(614) 및 상기 제2 열차단층(616)을 형성함으로써, 상기 도너필름에 레이저를 조사하여도 상기 광-열 변환층(613)에 가해지는 열 및 적외선이 상기 제1 열차단층(614) 및 상기 제2 열차단층(616)에 의해 차단되어 전사층(617)에 전달되지 않음으로써, 유기물질로 형성된 전사층(617)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
본 실시예에서는 제1 열차단층(614) 및 제2 열차단층(616)으로 열 및 적외선을 차단할 수 있는 층을 두 층으로 형성함으로써, 한 층으로 형성했을 경우보다 상기 광-열 변환층(613)에서 발생하는 열 및 적외선에 의한 영향을 더 효율적으로 차단할 수 있다.
본 발명에서와 같이, 레이저로부터 발생되는 빛을 이용한 열전사는 정확하고 정밀하기 때문에 미세한 패턴을 형성하는데 매우 유리하다. 이때, 전사된 패턴의 크기 및 형태는 예를 들면 광선의 크기, 광선의 노출 패턴, 전사층과의 광선 접촉기간 등을 선택함으로써, 적절히 제어될 수 있다. 레이저 조사는 진공이나 비활성 대기 상태에서 수행하는 것이 바람직하며, 레이저의 노출 시간은 사용되는 열경화성 발광물질 및 기타 인자에 의해 적절히 변화된다.
전술한 본 발명의 실시예에서는, 도너필름을 전사층을 형성하는데 적용하는 것을 예시하였으나, 다른 박막층을 형성하는 데에도 적용가능하며, 레이저 열전사 방법에 의해 박막층을 전사할 때 하나의 층만이 아니라 복수의 층을 필요에 따라 적층할 수 있다.
본 발명의 기술사상은 상기 바람직한 실시예를 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 유기 발광표시장치 제조시 전사층을 레이저 열전사 방법으로 형성하는 경우, 열과 적외선에 의해 전사층이 손상되는 것을 방지하기 위하여 광-열 변환층과 전사층 사이에 열차단층을 구비함으로써, 레이저 조사시에 광-열 변환층을 통해 전달되는 열과 적외선이 전사층에 직접 전달되는 것을 효과적으로 차단하여, 열과 적외선에 의하여 유기 발광표시장치의 특성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

Claims (11)

  1. 레이저가 조사되어 수용체에 전사되는 전사층을 포함하는 레이저 열전사용 도너필름에 있어서, 상기 도너필름은,
    기재기판과,
    상기 조사되는 레이저가 열로 변환되면서 기재기판으로부터 이격되는 광-열 변환층과,
    상기 광-열 변환층과 동반하여 이격되어 수용체에 전사되는 전사층 및,
    상기 광-열 변환층과 상기 전사층 사이에 구비되어 상기 광-열 변환층에서 발생한 열이 상기 전사층으로 전달되는 것을 감소시키는 열차단층을 포함하는 레이저 열전사용 도너필름.
  2. 제1항에 있어서, 상기 열차단층은 복수개가 형성되며, 상기 각 열차단층 사이에는 층간절연막이 더 포함되는 레이저 전사용 도너필름.
  3. 제1항에 있어서, 상기 수용체는 유기 발광표시장치의 화소영역이고, 상기 전사층은 유기 발광표시장치의 발광층인 레이저 열전사용 도너필름.
  4. 제1항에 있어서, 상기 열차단층은 0.01W/[mㆍK] 내지 10.0W/[mㆍK] 범위의 열전도도를 가지는 레이저 열전사용 도너필름.
  5. 제1항에 있어서, 상기 열차단층은 0.75㎛ 내지 1㎜ 범위에 속하는 적외선을 반사시키는 기능을 가지는 레이저 열전사용 도너필름.
  6. 제1항에 있어서, 상기 열차단층은 폴리머, 탄탈륨계 화합물, 티타늄계 화합물, 다공성 세라믹 및 알루미늄 실리케이트로 구성되는 군에서 선택되는 하나의 물질로 형성되는 레이저 열전사용 도너필름.
  7. 레이저가 조사되어 수용체에 전사되는 전사층을 포함하는 레이저 열전사용 도너필름의 제조방법에 있어서,
    기재기판을 제공하는 단계와;
    상기 기재기판 상에, 레이저를 열로 변환시키는 광-열 변환층을 형성하는 단계와;
    상기 광-열 변환층 상에, 상기 광-열 변환층에서 발생된 열이 상기 전사층으로 전달되는 것을 감소시키는 열차단층을 형성하는 단계; 및
    상기 열차단층 상에, 수용체에 전사되는 전사층을 형성하는 단계를 포함하는 레이저 열전사용 도너필름의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 열차단층을 복수개 형성하며, 상기 열차단층 사이에 층간절연막을 더 형성하는 단계를 포함하는 레이저 전사용 도너필름의 제조방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 열차단층은 증착 또는 스핀코팅 방법에 의해 형성하는 레이저 전사용 도너필름의 제조방법.
  10. 레이저 열전사법에 의해 형성된 전사층을 구비하는 유기 발광표시장치에 있어서,
    상기 전사층은 레이저 열전사시 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 도너필름에 형성된 상기 전사층이 전사되어 형성된 유기 발광표시장치.
  11. 레이저 열전사법에 의해 형성된 전사층을 구비하는 유기 발광표시장치의 제조방법에 있어서,
    화소영역을 형성하는 화소정의막을 포함하는 기판을 제공하는 단계와;
    상기 기판 상의 화소영역에 전사층을 전사하기 위해 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 도너필름을 위치시키는 단계; 및
    상기 도너필름에 레이저를 조사하여 상기 도너필름의 전사층을 상기 화소영역에 전사하는 단계를 포함하는 유기 발광표시장치의 제조방법.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8298844B2 (en) 2010-01-13 2012-10-30 Samsung Display Co., Ltd. Method of forming organic thin film pattern and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the method of forming organic thin film pattern
WO2013066545A3 (en) * 2011-10-05 2013-08-08 Millennium Inorganic Chemicals, Inc. Infrared-reflective coatings
KR20140077527A (ko) * 2012-12-14 2014-06-24 도레이첨단소재 주식회사 레이저 열전사용 도너 필름
KR20140077526A (ko) * 2012-12-14 2014-06-24 도레이첨단소재 주식회사 우수한 레이저 전사 특성을 가진 레이저 열전사용 도너 필름 및 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법
KR20140095256A (ko) * 2013-01-24 2014-08-01 도레이첨단소재 주식회사 레이저 열전사용 도너필름

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8298844B2 (en) 2010-01-13 2012-10-30 Samsung Display Co., Ltd. Method of forming organic thin film pattern and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the method of forming organic thin film pattern
WO2013066545A3 (en) * 2011-10-05 2013-08-08 Millennium Inorganic Chemicals, Inc. Infrared-reflective coatings
US8828519B2 (en) 2011-10-05 2014-09-09 Cristal Usa Inc. Infrared-reflective coatings
KR20140077527A (ko) * 2012-12-14 2014-06-24 도레이첨단소재 주식회사 레이저 열전사용 도너 필름
KR20140077526A (ko) * 2012-12-14 2014-06-24 도레이첨단소재 주식회사 우수한 레이저 전사 특성을 가진 레이저 열전사용 도너 필름 및 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법
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