KR20070017766A - Retainer assembly - Google Patents

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Abstract

본 발명은 리테이너(retainer) 어셈블리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정전기를 발생시켜 웨이퍼를 고정시키는 플레이트에 정전기 발생용 전력을 원활하게 공급하기 위하여 사용되는 리테이너 어셈블리에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 리테이너 어셈블리는 이온 주입 장비에서 플레이트에 전류를 공급하기 위한 전기 연결부가 표면에 노출된 리테이너 어셈블리에 있어서, 상기 전기 연결부는, 내부의 금속선이 일단을 통하여 노출된 복수의 케이블; 상기 금속선이 내부를 관통함으로써 상기 금속선과 전기적으로 연결되는 금속 패킷; 및 상기 금속 패킷의 일단을 감싸며, 상기 금속 패킷을 통하여 상기 금속선에 전기적으로 연결된 원통형의 베어링을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하여 종래에 절연체로 만들어진 고무 패킷 대신에 전도체인 금속으로 만들어진 금속 패킷을 사용하여 금속선을 고정하고, 금속 패킷을 베어링에 삽입함으로써 금속선과 베어링 사이에 전기적 접촉 불량을 방지하는 효과가 있다.The present invention relates to a retainer assembly, and more particularly, to a retainer assembly used to smoothly supply power for generating static electricity to a plate that generates static electricity to fix a wafer. Retainer assembly of the present invention for this purpose is a retainer assembly exposed to the surface of the electrical connection for supplying current to the plate in the ion implantation device, the electrical connection, a plurality of cables inside the metal wire exposed through one end; A metal packet electrically connected to the metal wire by passing the metal wire through the inside; And a cylindrical bearing surrounding one end of the metal packet and electrically connected to the metal wire through the metal packet. According to the present invention, there is an effect of preventing a poor electrical contact between the metal wire and the bearing by fixing a metal wire using a metal packet made of metal as a conductor instead of a rubber packet made of an insulator and inserting the metal packet into a bearing.

클램프, 정전기, 리테이너, 금속 패킷, 베어링 Clamp, static electricity, retainer, metal packet, bearing

Description

리테이너 어셈블리{Retainer assembly}Retainer assembly

도1은 이온 주입 장치의 플레이트에 정전기를 유도하기 위하여 필요한 전류가 공급되는 경로에 적용되는 부품들의 사시도.1 is a perspective view of components applied to a path through which a current required for inducing static electricity on a plate of an ion implantation device is supplied;

도2는 종래의 리테이너 어셈블리에서 내부에 여섯 개로 나누어진 케이블의 배선을 보여주는 도면.Figure 2 shows the wiring of six broken cables inside in a conventional retainer assembly.

도3은 종래의 리테이너 어셈블리에서 캐리어 어셈블리로 전류를 공급하기 위해 사용되는 전기 연결부를 확대하여 보여주는 도면.3 is an enlarged view of an electrical connection used to supply current to a carrier assembly in a conventional retainer assembly.

도4는 본 발명의 실시예에 따른 리테이너 어셈블리의 전기 연결부를 보여주는 확대 도면.4 is an enlarged view showing the electrical connection of the retainer assembly according to the embodiment of the present invention.

도5는 도4에 도시된 전기 연결부에서 금속 패킷과 베어링을 분리한 도면. FIG. 5 is a view of the metal packet and bearing separated from the electrical connection shown in FIG. 4; FIG.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Explanation of symbols for main parts of drawings *

10, 60, 100 : 케이블 20 : 리테이너 어셈블리10, 60, 100: cable 20: retainer assembly

30 : 캐리어 어셈블리 40 : 플레이트30 carrier assembly 40 plate

50 : 전기 연결부 61, 110 : 금속선50: electrical connection 61, 110: metal wire

70 : 고무 패킷 80, 300 : 베어링70: rubber packet 80, 300: bearing

200 : 금속 패킷200: metal packet

본 발명은 리테이너(retainer) 어셈블리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정전기를 발생시켜 웨이퍼를 고정시키는 플레이트에 정전기 발생용 전력을 원활하게 공급하기 위하여 사용되는 리테이너 어셈블리에 관한 것이다.The present invention relates to a retainer assembly, and more particularly, to a retainer assembly used to smoothly supply power for generating static electricity to a plate that generates static electricity to fix a wafer.

일반적으로 반도체 소자를 생산하는 공정은 노광, 식각, 확산, 증착 등의 공정을 선택적으로 수행하는 일련의 과정에 의해서 이루어지고, 이러한 반도체 제조 공정을 순차적으로 수행하기 위하여 웨이퍼를 반도체 제조 장비의 요구되는 위치에 로딩시키거나 언로딩시키는 과정이 필요하다.In general, a process of manufacturing a semiconductor device is performed by a series of processes that selectively perform processes such as exposure, etching, diffusion, and deposition. There is a need to load or unload a location.

이와 같이 공정을 진행하기 위하여 반도체 제조 장비에서 공정챔버 내부의 플레이트(plate) 위에 웨이퍼를 고정시키고, 공정이 완료된 후에 웨이퍼를 손상 없이 척으로부터 분리하는 과정이 필수적이다.In order to proceed the process, it is essential to fix the wafer on the plate inside the process chamber in the semiconductor manufacturing equipment, and to separate the wafer from the chuck without damage after the process is completed.

그런데 반도체 소자의 집적도가 증가함에 따라 최근에는 공정 중에 발생하는 오염을 최소화하고, 공정의 균일성을 높이기 위하여 기계적인 방법보다는 정전기를 사용하는 정전기(electrostatic chuck) 방식의 플레이트가 사용된다.However, as the degree of integration of semiconductor devices increases, in recent years, electrostatic chuck plates that use static electricity rather than mechanical methods are used to minimize contamination occurring during processing and to increase process uniformity.

일예로 이온 주입 장비에서 웨이퍼를 고정시키는 플레이트에 정전기를 발생시키기 위한 전류는 여섯 개의 케이블을 통하여 리테이너(retainer) 어셈블리 및 캐리어 어셈블리를 통하여 플레이트까지 전달된다.In one example, the current for generating static electricity in the plate holding the wafer in the ion implantation equipment is transferred to the plate through the retainer assembly and the carrier assembly through six cables.

도1은 플레이트에 정전기를 유도하기 위하여 필요한 전류가 공급되는 경로에 적용되는 부품들의 사시도이고, 도2는 종래의 리테이너 어셈블리에서 내부에 여섯 개로 나누어진 케이블의 배선을 보여주는 도면이다.FIG. 1 is a perspective view of components applied to a path through which a current required for inducing static electricity is supplied to a plate, and FIG. 2 is a view showing wiring of six divided cables in a conventional retainer assembly.

도1 또는 도2에 도시된 바와 같이, 케이블(10)을 통하여 공급되는 전류는 리테이너 어셈블리(20)를 통하여 캐리어 어셈블리(30)와 플리이트(40)까지 순차적으로 공급된다.As shown in FIG. 1 or FIG. 2, the current supplied through the cable 10 is sequentially supplied to the carrier assembly 30 and the pleat 40 through the retainer assembly 20.

특히 리테이너 어셈블리(20)에서 측면을 통하여 연결된 여섯 개의 케이블(10)은 리테이너 어셈블리(20) 내부에서 리테이너 어셈블리(20)의 면적을 육 등분한 여섯 지점으로 연장하여 분리되고, 이렇게 분리된 케이블(10)의 각각에 연결되어 형성된 전기 연결부(50)가 리테이너 어셈블리(20)의 표면에 노출되어 있다. 상기 전기 연결부(50)를 통하여 전류가 리테이너 어셈블리(20)에서 캐리어 어셈블리(30)의 단자에 전달된다.In particular, the six cables 10 connected through the side in the retainer assembly 20 are separated by extending the area of the retainer assembly 20 to six points within the retainer assembly 20. The electrical connection 50 formed in connection with each of) is exposed on the surface of the retainer assembly 20. Current is transmitted from the retainer assembly 20 to the terminals of the carrier assembly 30 through the electrical connection 50.

이렇게 리테이너 어셈블리(20)의 내부에서 여섯 개로 나누어져 고정된 케이블(10)의 일단은 상기 전기 연결부(50)를 통하여 회전하는 캐리어 어셈블리(30)와 전기적으로 연결되고, 이때 상기 캐리어 어셈블리(30)가 회전하면서 접점을 바꾸기 때문에 전기 연결부(50)의 일단과 캐리어 어셈블리(30) 사이에 마찰이 커진다.One end of the cable 10 divided into six and fixed in the retainer assembly 20 is electrically connected to the carrier assembly 30 which rotates through the electrical connection unit 50, wherein the carrier assembly 30 The friction is increased between one end of the electrical connection 50 and the carrier assembly 30 because the rotation changes the contact.

전기 연결부(50)와 캐리어 어셈블리(30) 사이의 금속 마찰을 줄이기 위하여 상기 전기 연결부(50)의 노출된 일단에는 베어링이 부착되어 있다.A bearing is attached to the exposed end of the electrical connection 50 to reduce metal friction between the electrical connection 50 and the carrier assembly 30.

도3은 종래의 리테이너 어셈블리에서 캐리어 어셈블리로 전류를 공급하기 위해 사용되는 전기 연결부를 확대하여 보여주는 도면이다.3 is an enlarged view of an electrical connection used to supply current to a carrier assembly in a conventional retainer assembly.

도3에 도시된 바와 같이, 전기 연결부는 웨이퍼 클램프용 전선 연결부는 케이블(60), 고무 패킷(packet, 70) 및 베어링(80)으로 이루어 졌다.As shown in Fig. 3, the electrical connection portion was made of a wire clamp for wafer clamp, a cable 60, a rubber packet 70, and a bearing 80.

케이블(60)의 일단에서 케이블(60) 내부의 금속선(61)이 노출되고, 노출된 금속선(61)은 원통형의 고무 패킷(70)을 관통하며 고무 패킷(70)의 탄성에 의해서 고무 패킷(70)에 고정된다. 상기 고무 패킷(70)은 절연체로서 상기 금속선(61)을 절연시킨다.At one end of the cable 60, the metal wire 61 inside the cable 60 is exposed, and the exposed metal wire 61 passes through the cylindrical rubber packet 70, and the rubber packet ( 70). The rubber packet 70 insulates the metal wire 61 as an insulator.

케이블(60)의 금속선(61)을 고정시킨 고무 패킷(70)은 원통형의 베어링(80) 내부에 끼워져서 고정되고, 고무 패킷(70)을 관통한 금속선(61)은 고무 패킷(70)의 일단에서 연장되어 베어링(70)과 전기적으로 연결되어 있다.The rubber packet 70 fixing the metal wire 61 of the cable 60 is inserted into the cylindrical bearing 80 and fixed. The metal wire 61 penetrating the rubber packet 70 is formed of the rubber packet 70. It extends at one end and is electrically connected to the bearing 70.

이때 상기 고무 패킷(70)이 절연체로 만들어 졌기 때문에 베어링(70)과 금속선(61)이 전기적으로 접촉하여야 전류가 리테이너 어셈블리에서 캐리어 어셈블리에 공급될 수 있다.At this time, since the rubber packet 70 is made of an insulator, the bearing 70 and the metal wire 61 must be in electrical contact so that the current can be supplied from the retainer assembly to the carrier assembly.

그런데 베어링(80)과 연결되는 금속선(61)은 고무 패킷(70)의 일단에서 꺾여서 베어링(80)과 접촉되기 때문에 장시간 사용하는 경우 금속선(61)이 끊어지는 문제가 있다.However, since the metal wire 61 connected to the bearing 80 contacts the bearing 80 by bending at one end of the rubber packet 70, the metal wire 61 may be broken when used for a long time.

또한 금속선(61)의 끝 부분이 베어링(80)과 접촉하고 있기 때문에 접촉 면적이 부족하여 이 접촉 부분에서 저항이 커지는 문제가 있다.In addition, since the end portion of the metal wire 61 is in contact with the bearing 80, there is a problem that the contact area is insufficient and the resistance increases at this contact portion.

따라서 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 케이블의 금속선과 베어링 사이에 전기적 연결이 끊어지는 것을 방지 하기 위하여 베어링 내부에 끼워서 금속선을 고정시키는 고무 패킷을 절연체 재질에서 전도체 재질로 변경하여 금속선과 베어링 사이의 전기적 연결을 개선하는 전기 연결부가 표면에 형성된 리테이너 어셈블리를 제공하는데 있다.Therefore, the present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a rubber packet insulated from the insulator material to a rubber packet inserted into the bearing to prevent the electrical connection between the metal wire of the cable and the bearing being broken. The present invention provides a retainer assembly formed on the surface by changing the material to improve the electrical connection between the metal wire and the bearing.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 리테이너 어셈블리는 이온 주입 장비에서 플레이트에 전류를 공급하기 위한 전기 연결부가 표면에 노출된 리테이너 어셈블리에 있어서, 상기 전기 연결부는, 내부의 금속선이 일단을 통하여 노출된 복수의 케이블; 상기 금속선이 내부를 관통함으로써 상기 금속선과 전기적으로 연결되는 금속 패킷; 및 상기 금속 패킷의 일단을 감싸며, 상기 금속 패킷을 통하여 상기 금속선에 전기적으로 연결된 원통형의 베어링을 포함하는 것을 특징으로 한다.Retainer assembly according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a retainer assembly exposed to the surface of the electrical connection for supplying current to the plate in the ion implantation equipment, the electrical connection, once the inner metal wire A plurality of cables exposed through; A metal packet electrically connected to the metal wire by passing the metal wire through the inside; And a cylindrical bearing surrounding one end of the metal packet and electrically connected to the metal wire through the metal packet.

상기 금속선은 상기 금속 패킷의 내부에서 압축되어 고정되고, 상기 금속선은 상기 금속 패킷의 일단에서 연장되어 베어링과 접촉하는 것을 특징으로 한다.The metal wire is compressed and fixed inside the metal packet, and the metal wire extends from one end of the metal packet to be in contact with the bearing.

상기 금속 패킷의 재질은 구리, 알루미늄, 철, 아연 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 하나인 것을 특징으로 한다.The material of the metal packet is characterized in that the one selected from the group consisting of copper, aluminum, iron, zinc and alloys thereof.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도4는 본 발명의 실시예에 따른 리테이너 어셈블리의 전기 연결부를 보여주는 확대 도면이고, 도5는 도4에 도시된 전기 연결부에서 금속 패킷과 베어링을 분리한 도면이다.Figure 4 is an enlarged view showing the electrical connection of the retainer assembly according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a view of separating the metal packet and the bearing in the electrical connection shown in Figure 4.

도4 및 도5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 리테이너 어셈블리에서 사용되는 전기 연결부는 웨이퍼 클램프용 전선 연결부는 케이블(100), 금속 패킷(200) 및 베어링(300)을 포함한다.As shown in Figures 4 and 5, the electrical connection used in the retainer assembly of the present invention includes a cable clamp, a metal packet 200, and a bearing 300 for the wafer clamp wire connection.

케이블(100)의 일단에서 케이블(100) 내부로 전류를 전달하는 다수의 금속선(110)이 노출되고, 노출된 금속선(110)은 원통형의 금속 패킷(200)을 관통하며 금속 패킷(200)의 내벽을 통하여 금속선(110)과 금속 패킷(200)이 전기적으로 연결된다. 이때 금속 패킷(200)의 재질은 구리, 알루미늄, 철, 아연 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 하나인 것이 바람직하다.At one end of the cable 100, a plurality of metal wires 110 transferring current into the cable 100 are exposed, and the exposed metal wires 110 penetrate the cylindrical metal packet 200 and the metal packet 200 may be exposed. The metal wire 110 and the metal packet 200 are electrically connected through the inner wall. At this time, the material of the metal packet 200 is preferably one selected from the group consisting of copper, aluminum, iron, zinc and alloys thereof.

또한 금속선과 금속 패킷을 견고하게 고정시키기 위하여, 금속 패킷(200)의 일부분에 압력을 가하여 금속 패킷(200)의 일부분을 압축시켜서 다수의 금속선(110)이 금속 패킷(200)의 내벽과 밀착 고정되게 한다. In addition, in order to firmly fix the metal wire and the metal packet, by applying a pressure to a part of the metal packet 200 to compress a part of the metal packet 200, a plurality of metal wires 110 is fixed in close contact with the inner wall of the metal packet 200. To be.

그리고 금속 패킷(200)의 일단에 노출된 금속선(110)은 금속 패킷(200)의 일단에서 예를 들어 납땜 등의 방법을 이용하여 금속 패킷(200)과 결합시키는 것이 바람직하다.In addition, the metal wire 110 exposed at one end of the metal packet 200 may be coupled to the metal packet 200 at one end of the metal packet 200 by, for example, soldering or the like.

케이블(100)이 삽입되어 고정된 금속 패킷(200)의 일단이 원통형의 베어링(300) 내부에 끼워져서 고정되고, 금속 패킷(200)과 베어링(300)의 접촉에 의해서 금속 패킷(200)과 베어링(300)은 전기적으로 연결된다.One end of the metal packet 200 into which the cable 100 is inserted and fixed is inserted into the cylindrical bearing 300 and fixed, and the metal packet 200 is contacted with the metal packet 200 by the bearing 300. The bearing 300 is electrically connected.

이때 상기 베어링(300)에 끼워져서 감싸지는 금속 패킷(200)의 일단에서 금속 패킷(200)을 관통한 금속선(110)은 금속 패킷(200)의 일단에서 연장되어 베어링(300)의 일부분에 전기적으로 접촉되는 것이 바람직하다.In this case, the metal wire 110 penetrating the metal packet 200 at one end of the metal packet 200 that is inserted and wrapped in the bearing 300 extends from one end of the metal packet 200 to be electrically connected to a part of the bearing 300. Is preferably in contact with.

이렇게 연장된 금속선(110)은 케이블(100)과 베어링(300) 사이의 전기적 연 결을 보강하여 전기적 저항을 감소시켜서, 베어링(300)을 통한 전류의 전달을 용이하게 한다.The extended metal wire 110 reduces the electrical resistance by reinforcing the electrical connection between the cable 100 and the bearing 300, thereby facilitating the transmission of current through the bearing 300.

이상에서, 본 발명의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상 및 특허청구 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the present invention have been shown in accordance with the above description and drawings, but this is merely described, for example, and various changes and modifications are possible without departing from the spirit and scope of the present invention. Of course.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 종래에 절연체로 만들어진 고무 패킷 대신에 전도체인 금속으로 만들어진 금속 패킷을 사용하여 금속선을 고정하고, 금속 패킷을 베어링에 삽입함으로써 금속선과 베어링 사이에 전기적 접촉 불량을 방지하는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, a metal packet made of metal, which is a conductor, is used instead of a rubber packet made of an insulator. It works.

또한 금속선과 금속 패킷 사이에 금속 패킷의 원통형 내벽 전체를 통하여 금속선과 접촉이 이루어지기 때문에 종래에 비하여 전기 저항이 감소하여 전류를 전달하는 효율이 증가하는 장점이 있다.In addition, since the metal wire and the metal packet is in contact with the metal wire through the entire inner wall of the metal packet there is an advantage that the electrical resistance is reduced compared to the conventional to increase the efficiency of delivering current.

Claims (4)

이온 주입 장비에서 플레이트에 전류를 공급하기 위한 전기 연결부가 표면에 노출된 리테이너 어셈블리에 있어서, A retainer assembly in which an electrical connection for supplying current to a plate in an ion implantation device is exposed to a surface, 상기 전기 연결부는,The electrical connection portion, 내부의 금속선이 일단을 통하여 노출된 복수의 케이블;A plurality of cables in which metal wires are exposed through one end; 상기 금속선이 내부를 관통함으로써 상기 금속선과 전기적으로 연결되는 금속 패킷; 및A metal packet electrically connected to the metal wire by passing the metal wire through the inside; And 상기 금속 패킷의 일단을 감싸며, 상기 금속 패킷을 통하여 상기 금속선에 전기적으로 연결된 원통형의 베어링을 포함하는 것을 특징으로 하는 리테이너 어셈블리. And a cylindrical bearing surrounding one end of the metal packet and electrically connected to the metal wire through the metal packet. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 금속선은 상기 금속 패킷의 내부에서 압축되어 고정되는 것을 특징으로 하는 리테이너 어셈블리.And the metal wire is compressed and fixed inside the metal packet. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 금속선은 상기 금속 패킷의 일단에서 연장되어 베어링과 접촉하는 것을 특징으로 하는 리테이너 어셈블리.And the metal wire extends from one end of the metal packet and contacts the bearing. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 금속 패킷의 재질은 구리, 알루미늄, 철, 아연 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 리테이너 어셈블리.The material of the metal packet is a retainer assembly, characterized in that one selected from the group consisting of copper, aluminum, iron, zinc and alloys thereof.
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