KR20070016509A - Optical multiplexer - Google Patents

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Abstract

본 발명은 광학 멀티플렉서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 광학 멀티플렉서는 외부로부터의 광을 수신하는 복수의 광수신부와; 외부장치로 광을 출력하는 광출력부와; 상기 복수의 광수신부 중 어느 하나로부터 수신된 광의 방향을 변경시켜 상기 광출력부로 유도하는 광유도부를 포함한다. 이에 의해 복수의 광 중 어느 하나를 선택하여 출력할 수 있는 광학 멀티플렉서가 제공된다. The present invention relates to an optical multiplexer. The optical multiplexer according to the present invention comprises: a plurality of light receiving parts for receiving light from the outside; An optical output unit configured to output light to an external device; It includes a light induction unit for changing the direction of the light received from any one of the plurality of light receiving unit to guide the light output unit. This provides an optical multiplexer capable of selecting and outputting any one of a plurality of lights.

Description

광학 멀티플렉서{OPTICAL MULTIPLEXER}Optical Multiplexer {OPTICAL MULTIPLEXER}

도 1은 종래의 광학 시스템을 설명하기 위한 제어블럭도이고,1 is a control block diagram for explaining a conventional optical system,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 멀티플렉서의 분해사시도이고,2 is an exploded perspective view of an optical multiplexer according to an embodiment of the present invention,

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 멀티플렉서의 제어블럭도이고,3 is a control block diagram of an optical multiplexer according to an embodiment of the present invention,

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 멀티플렉서의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of an optical multiplexer according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10, 20, 30 : 광원 40, 50, 60 : 분광기10, 20, 30: light source 40, 50, 60: spectrometer

70 : 광데이터 처리부 90 : 외부기기70: optical data processing unit 90: external device

110 : 광수신부 120 : 광출력부110: light receiving unit 120: light output unit

130 : 반사미러 140 : 모터130: reflection mirror 140: motor

150 : 제어부 160 : 광유도부150: control unit 160: light induction unit

170 : 집광렌즈 180 : 하우징170: condenser lens 180: housing

본 발명은 광학 멀티플렉서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 입력받은 복수의 광을 선택적으로 출력할 수 있는 광학 멀티플렉서에 관한 것이다.The present invention relates to an optical multiplexer, and more particularly, to an optical multiplexer capable of selectively outputting a plurality of input light.

분광기는 광원으로부터 입력된 광을 분광하여 분광된 광의 파장별 세기를 검출하는 광학 장치이다. 사용자는 분광기로부터 얻은 데이터를 바탕으로 광원의 성분 또는 성질에 대한 정보를 얻을 수 있다. 이러한 분광기는 반도체 공정에 사용되는 개별적인 챔버 등과 연결되어 챔버 내부에서 생성되는 모든 빛에 대한 정보를 제공하는 역할을 하기도 한다.The spectroscope is an optical device that detects the intensity of each wavelength of the spectroscopic light by spectroscopy the light input from the light source. The user can obtain information on the components or properties of the light source based on the data obtained from the spectrometer. The spectrometer is also connected to individual chambers used in the semiconductor process and serves to provide information on all light generated inside the chamber.

도 1은 종래의 분광기가 사용된 광학 시스템에 대하여 설명하기 위한 제어블럭도이다. 도시된 바와 같이 광학 시스템은 복수의 광원(10, 20, 30), 각 광원(10, 20, 30)에 연결되어 있는 복수의 분광기(40, 50, 60), 분광기(40, 50, 60)와 연결되어 있는 광데이터 처리부(70) 및 외부기기(80)를 포함한다.1 is a control block diagram for explaining an optical system using a conventional spectrometer. As shown, the optical system includes a plurality of light sources 10, 20, 30, a plurality of spectrometers 40, 50, 60, and spectrometers 40, 50, 60 that are connected to each light source 10, 20, 30. And an optical data processing unit 70 and an external device 80 connected to each other.

각 광원(10, 20, 30)은 분석할 대상이 되는 광을 분광기(40, 50, 60)에 제공하며, 서로 다른 광원과는 상이한 특징 및 정보를 담고 있는 광을 방출한다. Each light source 10, 20, 30 provides the light to be analyzed to the spectrometers 40, 50, 60, and emits light containing different characteristics and information from the different light sources.

분광기(40, 50, 60)는 광원(10, 20, 30)으로부터 제공받은 광을 분광하여 파장별 세기에 대한 광 정보를 광데이터 처리부(70)로 출력한다. 광데이터 처리부(70)는 광정보를 외부기기(80)에서 활용할 수 있는 데이터로 처리한다.The spectrometers 40, 50, and 60 spectroscopy the light provided from the light sources 10, 20, and 30, and output light information on the intensity of each wavelength to the optical data processing unit 70. The optical data processor 70 processes the optical information into data that can be utilized by the external device 80.

일반적으로 분광기(40, 50, 60)가 광원(10, 20, 30)으로부터 광을 수신하여 처리하는데 소요되는 시간은 최대 10 msec 정도이지만, 광데이터 처리부(70)는 외부기기(80)에 약 1~3 초의 간격으로 데이터를 전송한다. 이것은 사용자가 필요한 광데이터를 얻는 전체 시간에 대하여 분광기(40, 50, 60)가 실질적으로 작동하는 시간은 매우 짧다는 것을 의미하므로 분광기(40, 50, 60)의 사용 효율이 매우 낮은 것을 알 수 있다.In general, the time required for the spectrometers 40, 50, and 60 to receive and process light from the light sources 10, 20, and 30 is about 10 msec at most. Send data at intervals of 1 to 3 seconds. This means that the operating time of the spectrometers 40, 50, 60 is very short with respect to the total time for which the user obtains the necessary optical data, so that the efficiency of use of the spectrometers 40, 50, 60 is very low. have.

하지만, 이러한 분광기(40, 50, 60)가 각 광원(10, 20, 30) 마다 연결되어 있기 때문에 전체적인 시스템 제조 원가가 상승하는 요인이 되고, 광원의 개수가 증가할 때마다 부가적인 분광기가 구비되어야 하므로 시스템 구성이 복잡해지는 문제점이 있다. However, since the spectrometers 40, 50, and 60 are connected to each of the light sources 10, 20, and 30, the overall system manufacturing cost increases, and an additional spectrometer is provided whenever the number of light sources increases. It has to be complicated system configuration.

따라서, 본 발명의 목적은 복수의 광 중 어느 하나를 선택하여 출력할 수 있는 광학 멀티플렉서를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical multiplexer capable of selecting and outputting any one of a plurality of lights.

상기 목적은, 본 발명에 따라 외부로부터의 광을 수신하는 복수의 광수신부와; 외부장치로 광을 출력하는 광출력부와; 상기 복수의 광수신부 중 어느 하나로부터 수신된 광의 방향을 변경시켜 상기 광출력부로 유도하는 광유도부를 포함하는 광학 멀티플렉서에 의해 달성된다.The object is a plurality of light receiving unit for receiving light from the outside according to the present invention; An optical output unit configured to output light to an external device; It is achieved by an optical multiplexer including a light guide portion for changing the direction of the light received from any one of the plurality of light receiving portion to guide the light output portion.

상기 광유도부는, 상기 광수신부로부터 수신된 광을 상기 광출력부로 반사시키는 반사미러와; 상기 반사미러를 회전시키는 모터와; 상기 반사미러와 상기 복수의 광수신부 중 어느 하나와의 상대적 위치를 조절하도록 상기 모터를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.The light guide unit includes a reflection mirror for reflecting light received from the light receiver to the light output unit; A motor for rotating the reflection mirror; It may include a control unit for controlling the motor to adjust the relative position of the reflection mirror and any one of the plurality of light receiving unit.

상기 반사미러는 수신된 광의 진로방향을 80˚ ~ 100˚ 정도 변경하는 것이 바람직하다.The reflection mirror preferably changes the direction of the received light by about 80 ° to about 100 °.

반사미러의 회전이 용이하도록 상기 광수신부는 상기 반사미러의 회전축에 대해 등각도로 배열되어 있는 것이 바람직하고, 집광된 광효율을 높이기 위하여 상 기 광수신부는 상기 광출력부를 중심으로 동일한 원주상에 배열되어 있는 것이 바람직하다.Preferably, the light receiving unit is arranged at an isometric angle with respect to the rotation axis of the reflecting mirror to facilitate rotation of the reflecting mirror, and the light receiving unit is arranged on the same circumference around the light output unit in order to increase the light efficiency. It is desirable to have.

상기 반사미러에서 반사된 광을 상기 광출력부로 집광하는 집광렌즈를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a condenser lens for condensing the light reflected by the reflective mirror to the light output unit.

다른 광에 대한 영향을 최소화하기 위하여, 적어도 상기 반사미러를 수용하며, 내벽이 검은 색인 하우징을 더 포함하는 것이 바람직하다.In order to minimize the influence on other light, it is preferred that at least the reflecting mirror is accommodated and the inner wall further comprises a black index housing.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대하여 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 일 실시예에 따른 광학 멀티플렉서는 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명된다. 도 2는 일 실시예에 따른 광학 멀티플렉서의 분해사시도이고, 도 3은 광학 멀티플렉서의 제어블럭도이며, 도 4는 광학 멀티플렉서의 일부 단면도를 나타낸다.An optical multiplexer according to an embodiment of the present invention is described with reference to FIGS. 2 is an exploded perspective view of an optical multiplexer according to an embodiment, FIG. 3 is a control block diagram of the optical multiplexer, and FIG. 4 is a partial cross-sectional view of the optical multiplexer.

도시된 바와 같이, 광학 멀티플렉서(100)는 복수의 광수신부(111, 113, 115; 110), 광출력부(120), 광수신부(110)로부터 수신된 광을 광출력부(120)로 유도하는 광유도부(160), 집광렌즈(170)를 포함한다. 또한, 광학 멀티플렉서(100)는 광유도부(160)와 집광렌즈(180)를 수용하는 하우징(180)을 더 포함하며, 광유도부(160)는 반사미러(130), 모터(140), 제어부(150)로 구성된다.As shown, the optical multiplexer 100 guides the light received from the plurality of light receivers 111, 113, 115; 110, the light output unit 120, and the light receiver 110 to the light output unit 120. It includes a light induction unit 160, a condenser lens 170. In addition, the optical multiplexer 100 further includes a housing 180 accommodating the light guide unit 160 and the condenser lens 180, and the light guide unit 160 includes a reflection mirror 130, a motor 140, and a controller ( 150).

광학 멀티플렉서(100)는 다양한 형상을 가질 수 있지만, 본 실시예에 따른 광학 멀티플렉서(100)는 원기둥의 하우징(180)을 포함하여 전체적으로 원기둥 형상을 갖는다. 광학 멀티플렉서(100)의 구성요소들 중 일부는 원기둥 형상의 하우징(180)에 수용되어 있으며, 나머지 일부는 하우징(190)의 옆면 또는 윗면에 돌출되어 있다. Although the optical multiplexer 100 may have various shapes, the optical multiplexer 100 according to the present exemplary embodiment may have a cylindrical shape as a whole, including a cylindrical housing 180. Some of the components of the optical multiplexer 100 are housed in a cylindrical housing 180, and some of the components protrude on the side or top of the housing 190.

하우징(180)의 내부는 흑갈색 또는 검은 색으로 마련되며 검은 안료 등이 도포되어 있다. 이는 하우징(180) 내부에 암실과 같은 환경을 조성하여 외부로부터 광을 차단하고, 광이 입력되었다 하여도 이를 흡수하여 광이 광유도부(160)에 영향을 주지 않도록 하기 위함이다. 별도의 차광설비를 하우징(180) 내부에 갖추는 것도 가능하다.The inside of the housing 180 is provided in blackish brown or black color and is coated with black pigment. This is to create an environment such as a dark room in the housing 180 to block light from the outside, and to absorb the light even if it is input so that the light does not affect the light induction unit 160. It is also possible to equip the housing 180 with a separate light shielding equipment.

광수신부(110)는 외부 광원으로부터 광을 수신하며, 외부 광원과 광섬유 등으로 연결되어 있다. 세 개의 광수신부(111, 113, 115)는 하우징(180)의 옆면에 등 간격으로 배열되어 있으며, 하우징(180)의 윗면의 중심에 마련되어 있는 광출력부(120)에 대하여 동일한 거리에 배열되어 있는 것이 바람직하다. The light receiving unit 110 receives light from an external light source, and is connected to the external light source and the optical fiber. The three light receiving parts 111, 113, and 115 are arranged at equal intervals on the side of the housing 180, and are arranged at the same distance with respect to the light output part 120 provided at the center of the upper surface of the housing 180. It is desirable to have.

광수신부(110)의 개수는 세 개에 한정되지 않으며, 광원의 개수에 따라 가변적이다. 또한, 광수신부(110)를 별도로 제작하여 하우징(180)에 탈부착 가능하도록 설계하는 것도 가능하다. The number of the light receiving units 110 is not limited to three, and varies depending on the number of light sources. In addition, the light receiving unit 110 may be manufactured separately and designed to be detachably attached to the housing 180.

광유도부(160)는 광수신부(110)로부터 수신된 광의 진로방향을 변경시키는 반사미러(130), 반사미러(130)와 연결되어 반사미러(130)를 회전시키는 모터(140) 및 반사미러(130)의 회전을 위하여 모터(140)를 구동시키고 제어하는 제어부(150)를 포함한다. The light guide unit 160 is connected to the reflection mirror 130 and the reflection mirror 130 to change the direction of the light received from the light receiving unit 110, the motor 140 and the reflection mirror to rotate the reflection mirror 130 ( It includes a controller 150 for driving and controlling the motor 140 for the rotation of the 130.

도 ３에 도시된 바와 같이 반사미러(130)는 광수신부(110)로부터 수신된 광을 광출력부(120)로 유도하기 위하여 광의 진로방향을 약　80˚ ~ 100˚ ，바람직하게는 90˚ 정도 변경시킨다. 반사미러(130)는 원기둥 형상을 갖는 하우징(180) 내부에 수용되어 원운동을 하며 복수의　광수신부(110)　중　어느　하나로부터　수신되는 광만을 광출력부(120)로 유도한다. 이는 광의 직진성 및 반사의 법칙을 이용한 것으로 반사미러(130)에 입사된 광은 반사미러(130)에 수직인 법선에 대하여 입사각과 동일한 반사각을 가지고 반사된다. 따라서, 광수신부(110)와 광출력부(120) 및 반사미러(130)의 상대적인 위치는 광의 전달에 중요하다. 본 실시예에서는 광수신부(110)는 하우징(180)의 윗면에, 광출력부(120)는 하우징(180)의 옆면에 마련되며, 광수신부(110)로부터 입력된 광은 반사미러(130)에 약 45˚로 입사되어 반사된다. As shown in FIG. 3, the reflection mirror 130 has a direction of light of about 80 ° to 100 °, preferably about 90 ° to guide the light received from the light receiving unit 110 to the light output unit 120. Change it. The reflection mirror 130 is accommodated in the housing 180 having a cylindrical shape to perform a circular motion, and guides only the light received from any one of the plurality of light receiving units 110 to the light output unit 120. This uses the law of linearity and reflection of light, and the light incident on the reflection mirror 130 is reflected with the same angle of incidence as the angle of incidence with respect to a normal perpendicular to the reflection mirror 130. Therefore, the relative positions of the light receiver 110, the light output unit 120, and the reflection mirror 130 are important for the transmission of light. In the present embodiment, the light receiving unit 110 is provided on the upper surface of the housing 180, the light output unit 120 is provided on the side surface of the housing 180, the light input from the light receiving unit 110 is reflected mirror 130 Incident on the light at about 45 ° and reflected.

반사미러(130)는 회전운동에 의하여 오직 하나의 광만을 광출력부(120)로 출력하며, 복수의 광수신부(110)로 광이 입력되고 있더라도 광출력부(120)를 통해 외부로 전달되어야 하는 하나의 광을 제외한 다른 광은 반사시키지 않는다. 반사미러(130)의 이러한 회전이 가능하려면 광수신부(111, 113, 115)는 각각 소정의 간격을 두고 배치되는 것이 바람직하며, 반사미러(130)의 회전 운동을 용이하게 제어할 수 있도록 등간격으로 배열되는 것이 바람직하다. 다시 말해, 도 4에 도시된 바와 같이 복수의 광수신부(111, 113, 115)는 반사미러(130)의 회전축, 즉 하우징(180) 윗면의 중심을 관통하는 축에 대하여 등각도(α)로 배열되어 있다. 이처럼 광수신부(111, 113, 115)가 등각도(α)로 배열되어 있으면, 반사미러(130)는 기설정된 시간간격마다 동일한 각도씩 회전하면서 광을 반사시킬 수 있다. 광수신부(111, 113, 115)의 간격이 일정하지 않다면, 반사미러(130)의 회전 속도가 일정하지 않게 되어 이를 구동시키는 모터(140)의 제어가 용이하지 않게 된다.The reflection mirror 130 outputs only one light to the light output unit 120 by a rotational movement, and even though light is input to the plurality of light receivers 110, it must be transmitted to the outside through the light output unit 120. It does not reflect other light except one light. In order to enable the rotation of the reflection mirror 130, the light receiving units 111, 113, and 115 may be disposed at predetermined intervals, respectively, and may be evenly spaced so as to easily control the rotational movement of the reflection mirror 130. It is preferred to be arranged as. In other words, as shown in FIG. 4, the plurality of light receiving parts 111, 113, and 115 are formed at an isometric angle α with respect to the axis of rotation of the reflective mirror 130, that is, the axis penetrating the center of the upper surface of the housing 180. Are arranged. As such, when the light receivers 111, 113, and 115 are arranged at an equiangular angle α, the reflection mirror 130 may reflect light while rotating by the same angle at predetermined time intervals. If the distance between the light receiving parts 111, 113, and 115 is not constant, the rotational speed of the reflection mirror 130 is not constant, so that the control of the motor 140 driving the mirror 140 is not easy.

또한, 집광렌즈(170)에서 반사된 광의 집광이 용이하도록 광수신부(110)는 반사미러(130)의 회전축을 중심으로 동일한 원주상에 배열되어 있다. 만약, 광수신부(111, 113, 115)가 반사미러(130)의 회전축에 대하여 등각도(α)로 배열되어 있더라도 동일한 원주상에 배열되어 있지 않다면, 광이 광출력부(120) 방향으로 반사되는 위치가 서로 상이하여 집광하는 데 어려움이 있고, 집광렌즈(170)가 커져야 하는 문제점이 있다. 결론적으로 광수신부(111, 113, 115)는 반사미러(130)의 회전축에 대하여 등각도(α)로 이격되어 배열되어 있으며, 회전축을 중심으로 동일한 원주상에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 반사미러(130)의 회전축은 하우징(180)에서 돌출되어 있는 광출력부(120)의 위치와 동일하다.In addition, the light receiver 110 is arranged on the same circumference around the axis of rotation of the reflective mirror 130 so as to easily collect the light reflected from the condenser lens 170. If the light receivers 111, 113, and 115 are not arranged on the same circumference even though they are arranged at an equiangular angle α with respect to the axis of rotation of the reflective mirror 130, the light is reflected toward the light output unit 120. There is a problem in that the positions are different from each other and there is difficulty in condensing, and the condenser lens 170 needs to be large. As a result, the light receiving parts 111, 113, and 115 are arranged at equal angles α with respect to the rotation axis of the reflection mirror 130, and are preferably arranged on the same circumference with respect to the rotation axis. In this embodiment, the rotation axis of the reflective mirror 130 is the same as the position of the light output unit 120 protruding from the housing 180.

모터(140)는 반사미러(130)와 연결되어 반사미러(130)를 소정의 등각속도로 회전시킨다. 광학 멀티플렉서(100)가 광을 수신하는 속도는 모터(140)의 움직임에 의해 결정되므로 사용자는 제어부(150)를 제어하여 모터(140)의 회전 속도를 조절할 수 있다. The motor 140 is connected to the reflection mirror 130 to rotate the reflection mirror 130 at a predetermined isometric speed. Since the speed at which the optical multiplexer 100 receives the light is determined by the movement of the motor 140, the user may control the controller 150 to adjust the rotation speed of the motor 140.

제어부(150)는 모터(140)를 구동시켜 반사미러(130)와 광수신부(111, 113, 115) 중의 어느 하나와의 상대적인 위치를 조절한다. 제어부(150)는 광학 멀티플렉서(100)로부터 광을 수신받는 외부장치의 제어를 받는 것이 가능하며, 광수신부(110)의 개수 및 광 수신속도 등에 대한 제어신호에 따라 모터(140)의 회전속도를 제어한다.The controller 150 drives the motor 140 to adjust the relative position of any one of the reflective mirror 130 and the light receiving units 111, 113, and 115. The controller 150 may be controlled by an external device that receives light from the optical multiplexer 100, and adjusts the rotational speed of the motor 140 according to control signals for the number and the light receiving speed of the light receiver 110. To control.

집광렌즈(170)는 반사미러(130)로부터 반사된 광을 집광하여 광출력부(120)로 전달하며, 보다 높은 광효율을 위하여 마련된다. 집광렌즈(170)는 반사미러(130)와 광출력부(120) 사이에 배치되며, 만약 반사미러(130)와 광출력부(120)의 간격이 아주 작다면 생략될 수도 있는 선택적인 구성요소이다. 반면, 보다 높은 광효율을 위하여 복수개의 집광렌즈(170)가 사용될 수도 있다. 전술한 바와 같이 집광렌즈(170)의 크기를 감소시키고, 집광 효율을 높이기 위하여 복수의 광수신부(110)는 반사미러(130)의 회전축인 광출력부(120) 대하여 동일한 원주상에 배열되어 있는 것이 바람직하다.The condenser lens 170 collects the light reflected from the reflective mirror 130 and transmits the light to the light output unit 120, and is provided for higher light efficiency. The condenser lens 170 is disposed between the reflective mirror 130 and the light output unit 120, and an optional component that may be omitted if the distance between the reflective mirror 130 and the light output unit 120 is very small. to be. On the other hand, a plurality of condenser lenses 170 may be used for higher light efficiency. As described above, in order to reduce the size of the condenser lens 170 and increase the condensing efficiency, the plurality of light receiving units 110 are arranged on the same circumference with respect to the light output unit 120 which is the rotation axis of the reflection mirror 130. It is preferable.

광유도부(160) 중 반사미러(130)와 집광렌즈(170)는 빛과 직접적이 접촉이 있는 부분으로 이들은 반드시 하우징(180) 내부에 수용되어 다른 광의 영향을 받지 않도록 해야 한다.The reflection mirror 130 and the condenser lens 170 of the light induction unit 160 are in direct contact with light, and they must be accommodated inside the housing 180 so as not to be affected by other light.

마지막으로 광의 경로변경에 대하여 정리해보면, 각 광수신부(111, 113, 115)로 복수의 광이 입력된다. 복수의 광이 입력된다 하여도, 반사미러(130)가 수신하여 반사하는 광은 그 중 어느 하나이다. 반사미러(130)에 의해 약 90˚ 정도 진로가 변경된 광은 광출력부(120) 직전에 마련되어 있는 집광렌즈(170)에 의해 집광된다. 집광된 광이 광출력부(120)를 통해 외부로 출력되고 나면, 제어부(150)는 모터(140)를 구동시켜 모터(140)에 연결되어 있는 반사미러(130)를 회전시킨다. 반사미러(130)는 인접하게 배열되어 있는 다른 광수신부(110)로 이동하며 상술한 과정이 반복된다. 광수신부(110)로부터 입력된 모든 광이 순차적으로 광출력부(120)를 통해 출력되는 시간은 수십 msec 범위 정도이다.Finally, the light path change is summarized. A plurality of lights are input to each of the light receiving units 111, 113, and 115. Even when a plurality of lights are input, the light reflected and received by the reflection mirror 130 is any one of them. The light whose path is changed by about 90 ° by the reflective mirror 130 is collected by the condenser lens 170 provided immediately before the light output unit 120. After the collected light is output to the outside through the light output unit 120, the controller 150 drives the motor 140 to rotate the reflection mirror 130 connected to the motor 140. The reflection mirror 130 moves to another light receiving unit 110 arranged adjacently, and the above-described process is repeated. All of the light input from the light receiving unit 110 is sequentially output through the light output unit 120 is in the range of several tens of msec.

비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명의 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 복수의 광을 선택적으로 출력할 수 있는 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.Although some embodiments of the invention have been shown and described, those of ordinary skill in the art can selectively output a plurality of lights without departing from the spirit or spirit of the invention. It will be appreciated that can be modified. It is intended that the scope of the invention be defined by the claims appended hereto and their equivalents.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 복수의 광 중 어느 하나를 선택하여 출력할 수 있는 광학 멀티플렉서가 제공된다. As described above, according to the present invention, an optical multiplexer capable of selecting and outputting any one of a plurality of lights is provided.

Claims (7)

외부로부터의 광을 수신하는 복수의 광수신부와;A plurality of light receivers for receiving light from the outside; 외부장치로 광을 출력하는 광출력부와;An optical output unit configured to output light to an external device; 상기 복수의 광수신부 중 어느 하나로부터 수신된 광의 방향을 변경시켜 상기 광출력부로 유도하는 광유도부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 멀티플렉서.And a light inducing part for changing the direction of light received from any one of the plurality of light receiving parts to guide the light output part. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광유도부는,The light guide portion, 상기 광수신부로부터 수신된 광을 상기 광출력부로 반사시키는 반사미러와;A reflection mirror reflecting light received from the light receiving unit to the light output unit; 상기 반사미러를 회전시키는 모터와;A motor for rotating the reflection mirror; 상기 반사미러와 상기 복수의 광수신부 중 어느 하나와의 상대적 위치를 조절하도록 상기 모터를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 멀티플렉서.And a controller for controlling the motor to adjust a relative position of the reflective mirror and any one of the plurality of light receiving units. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 반사미러는 수신된 광의 진로방향을 80˚ ~ 100˚ 정도 변경하는 것을 특징으로 하는 광학 멀티플렉서. The reflection mirror is an optical multiplexer, characterized in that for changing the direction of the received light of 80 ° ~ 100 °. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광수신부는 상기 반사미러의 회전축에 대해 등각도로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 멀티플렉서.And the light receiving unit is arranged at an isometric angle with respect to the axis of rotation of the reflecting mirror. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 광수신부는 상기 광출력부를 중심으로 동일한 원주상에 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 광학 멀티플렉서.And the light receiving unit is arranged on the same circumference with respect to the light output unit. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 반사미러에서 반사된 광을 상기 광출력부로 집광하는 집광렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 멀티플렉서.And a condenser lens for condensing the light reflected by the reflection mirror to the light output unit. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 적어도 상기 반사미러를 수용하며, 내벽이 검은 색인 하우징을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 멀티플렉서.And at least the reflecting mirror, the inner wall further comprising a black index housing.
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AU1977999A (en) * 1998-01-12 1999-07-26 Wallac Oy Confocal microscope with plural scanning beams
CA2381675A1 (en) * 1999-08-11 2001-02-15 Jefferson E. Odhner Direction of optical signals by a movable diffractive optical element
US6418247B1 (en) * 2000-09-08 2002-07-09 Harris Corporation Fiber optic switch and associated methods

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