JP5672376B2 - Reflection characteristic measuring apparatus for optical system and the reflection characteristic measuring apparatus - Google Patents

Reflection characteristic measuring apparatus for optical system and the reflection characteristic measuring apparatus

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JP5672376B2
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利夫 河野
利夫 河野
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芳久 阿部
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    • G01N21/27Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
    • G01N21/274Calibration, base line adjustment, drift correction

Description

本発明は、測定対象である試料の反射特性を測定する反射特性測定装置に用いられる反射特性測定装置用光学系に関し、特に、光量ロスを低減することができ、種々のジオメトリに適用することができる反射特性測定装置に関する。 The present invention relates to an optical system for reflection characteristic measuring apparatus used for the reflection characteristic measuring apparatus for measuring a reflection characteristic of a sample to be measured, in particular, it is possible to reduce the loss of light quantity, it is applied to various geometries about reflection characteristic measuring apparatus capable. そして、本発明は、この反射特性測定装置用光学系を備える反射特性測定装置に関する。 The present invention relates to a reflection characteristic measuring apparatus including the reflection characteristic measuring apparatus for an optical system.

従来、例えば車両等の工業製品における表面色の管理や印刷物の色の管理等を行うために、例えば測色計や色彩計等の反射特性測定装置が用いられて来た。 Conventionally, in order to perform color management of the surface color of the management and printed materials in industrial products such as vehicles, for example, the reflection characteristic measuring apparatus such as a colorimeter and color meter have been used. この反射特性測定装置は、一般に、測定対象である試料に照明光を照射し、その試料からの前記照明光の反射光における、例えば分光反射特性等の反射特性を測定する装置である。 The reflection characteristic measuring apparatus generally, the illumination light is irradiated to a sample to be measured, the reflected light of the illumination light from the sample, for example, a device for measuring the reflection characteristics such as spectral reflection characteristic. このような反射特性測定装置による反射特性の測定結果は、照明光を試料に照射する照明系および試料からの反射光を受光する受光系のいわゆるジオメトリ(光学的条件)によって影響を受ける。 Such reflection characteristic measuring apparatus the measurement results of the reflection characteristics due is influenced by the so-called geometry of the light receiving system illumination light for receiving reflected light from the illumination system and the sample to be irradiated on the sample (optical conditions). このため、反射特性測定装置には、通常、CIE(国際照明委員会)が推奨する45/0(45度照明、垂直受光)、0/45(垂直照明、45度受光)および45/45(45度照明、45度受光)等のいずれかのジオメトリが採用されている。 Therefore, the reflection characteristic measuring apparatus, usually, CIE (International Commission on Illumination) recommended 45/0 (45 ° illumination, vertical light), 0/45 (vertical illumination, 45 ° light) and 45/45 ( 45 ° illumination, any geometry of 45 ° light), and the like are employed. 一例を挙げると、このような反射特性測定装置は、照明光を放射する光源と、前記光源から放射された前記照明光を試料へ45度の入射角で照射する照明光学系と、前記試料で反射された前記照明光の反射光を垂直方向で受光する受光光学系と、前記受光光学系で受光された前記照明光の反射光を分光する分光部と、前記分光部の出力に基づいて前記試料の反射特性を求める演算部とを備えている。 As an example, such a reflection characteristic measuring apparatus includes a light source that emits illumination light, an illumination optical system of the illumination light emitted from the light source is irradiated at an incident angle of 45 degrees to the sample, in the sample a light receiving optical system for receiving reflected light of the reflected said illuminating light in the vertical direction, a spectroscopic portion for dispersing the reflected light received by said illuminating light by the light receiving optical system, on the basis of the output of the spectral portion and a calculation unit for obtaining the reflection characteristic of the sample. 前記演算部は、より具体的には、反射分光特性が既知の白色校正板を測定することによって得られた基準データを予め記憶しておき、この基準データおよび前記分光部の出力を用いることによって前記試料の反射特性を求めている。 The arithmetic unit, more specifically, reflection spectral characteristics previously stored reference data obtained by measuring a known white calibration plate, by using the output of the reference data and the spectral portion seeking a reflection characteristic of the sample.

このような反射特性測定装置では、例えば経年劣化等の何らかの原因によって、照明光における、例えば光強度や分光特性等の光学特性が変化すると、試料からの前記照明光の反射光における光学特性も変化してしまう。 In such a reflection characteristic measuring apparatus, for example, by any cause of aging such as the illumination light, for example, optical characteristics such as light intensity and spectral characteristics change, also changes the optical properties in the reflected light of the illumination light from the sample Resulting in. このため、照明光の光学特性の変化を測定してその変化を補正する反射特性測定装置の校正が必要である。 Therefore, it is necessary to calibrate the reflection characteristic measuring apparatus for correcting the change by measuring a change in the optical properties of the illumination light.

この照明光の光学特性における変化の測定として、例えば反射特性測定装置とは別体に用意された標準板を測定し、この標準板の初期値と測定値との差分を求めることによって、照明光の光学特性における変化量を求める方法がある。 As a measure of the change in the optical properties of the illumination light, for example, the reflection characteristic measuring apparatus measures the standard plate prepared separately, by obtaining the difference between the initial value and the measured value of the standard plate, the illumination light there is a method of determining the amount change in the optical properties. しかしながら、このような方法では、反射特性測定装置を用いるユーザごとに、また校正ごとに、測定値がばらつき易く(測定値の再現性が悪く)、その結果、校正が適正に行われ難い。 However, in such a method, for each user using the reflection characteristic measuring apparatus, also for each calibration, (poor reproducibility of the measurement values) measured value varies easily, as a result, hardly calibration is performed properly.

そこで、反射特性測定装置内に、照明光の光学特性を測定する照明光の監視用に専用される分光器が設けられ、常時、照明光の光学特性を監視(モニタ)する方法がある。 Therefore, in the reflection characteristic measuring apparatus, a spectroscope which is dedicated for monitoring of the illumination light to measure the optical characteristics of the illumination light is provided at all times, there is a method of monitoring (monitor) the optical properties of the illumination light. この方法は、上述の不都合を解消することができる。 This method can eliminate the disadvantages described above. しかしながら、このような方法では、別途に専用の分光器を設ける必要があるため、その分、コスト高となり、また、反射特性測定装置が大型化してしまう。 However, such methods, it is necessary to provide a dedicated spectrometer separately, correspondingly, be costly, also reflection characteristic measuring apparatus is enlarged.

そこで、例えば特許文献1に開示の校正機構がある。 Therefore, for example, a calibration mechanism disclosed in Patent Document 1. この校正機構は、試料の測定面に対して光学的に共役な位置に配置される拡散面を持つプリズムを備え、このプリズムに入射され、内部反射して前記拡散面を透過した照明光の拡散透過光を受光光学系で受光することによって照明光の光強度変化を監視している。 The calibration mechanism comprises a prism having a diffusion surface disposed in an optically conjugate position with respect to the measurement surface of the sample, are incident on the prism, internally reflected and the transmitted diffused illumination light the diffusion surface It monitors the light intensity change of the illumination light by receiving the transmitted light by the light receiving optical system. しかしながら、この特許文献1に開示の校正機構では、照明光の一部が拡散面で拡散反射されるため、拡散透過光の光量は、照明光の光量よりその分少なくなり、光量ロス(光量損失)が生じてしまう。 However, the calibration mechanism disclosed in Patent Document 1, since a part of the illumination light is diffused and reflected by the diffusion surface, the amount of diffuse transmitted light, correspondingly less than the light amount of the illumination light, the light amount loss (optical loss ) occurs. また、特許文献1に開示の校正機構は、45/0ジオメトリおよび0/45ジオメトリを前提としており、これらジオメトリを除く他のジオメトリに適用することが難しい。 Further, the calibration mechanism disclosed in Patent Document 1 is based on the premise 45/0 geometry and 0/45 geometry, it is difficult to apply to other geometries eliminate these geometries.

一方、反射特性測定装置内に標準板を備え、試料に臨まれる測定開口に前記標準板を移動し、前記標準板を測定することで、照明光の光学特性における変化量を求める方法がある。 On the other hand, with a standard plate in the reflection characteristic measuring apparatus, the standard plate is moved to the measurement apertures face the sample, by measuring the standard plate, there is a method of determining the amount of change in the optical properties of the illumination light. しかしながら、この方法では、標準板の反射面が試料の測定面より照明光学系や受光光学系に近づくため、照明光が試料に照射される照射位置と標準板に照射される照射位置とがずれるから、その分、校正精度が低下してしまう。 However, in this method, since the reflection surface of the standard plate approaches the illumination optical system and the light receiving optical system from the measurement surface of the sample, deviates the irradiation position of the illumination light is irradiated to the irradiation position and the standard plate to be irradiated on the sample from that amount, the calibration accuracy deteriorates.

米国特許第7538871号明細書 US Pat. No. 7538871

本発明は、上述の事情に鑑みて為された発明であり、その目的は、光量ロスを低減することができ、種々のジオメトリに適用することができる反射特性測定装置用光学系およびこの反射特性測定装置用光学系を備える反射特性測定装置を提供することである。 The present invention is an invention made in view of the above circumstances, and its object is able to reduce the loss of light, the reflection characteristic reflection characteristic measuring apparatus for an optical system and which can be applied to various geometries it is to provide a reflection characteristic measuring apparatus comprising a measuring device for the optical system.

本発明にかかる反射特性測定装置用光学系および反射特性測定装置では、校正を行う場合に第1反射部材が第1校正位置に配置されるとともに第2反射部材が第2校正位置に配置され、照明光を第1反射部材で反射することによって照明光が標準部材に導光され、そして、試料で反射した前記照明光の反射光と略同じ光路となるように、この標準部材で拡散反射した照明光の拡散反射光が第2反射部材で反射される。 In optics and reflection characteristic measuring apparatus for such reflection characteristic measuring apparatus of the present invention, together with the first reflecting member is disposed on the first calibration position and the second reflecting member disposed in the second calibration position when performing calibration, illumination light by reflecting the illumination light in the first reflecting member is guided to the standard member, and so as to be substantially the same optical path as the reflected light of the illumination light reflected by the sample, and diffuse reflected by the standard member diffuse reflection light of the illumination light is reflected by the second reflecting member. 校正の際に使用される照明光の拡散反射光は、このように反射によって導光されるので、このような構成の反射特性測定装置用光学系および反射特性測定装置は、光量ロスを低減することができる。 Diffuse reflection light of the illumination light used at the time of calibration because it is guided by the reflecting Thus, such a reflection characteristic measuring apparatus optical system and the reflection characteristic measuring apparatus for the arrangement reduces the amount of light loss be able to. そして、このような構成の反射特性測定装置用光学系および反射特性測定装置は、これが用いられる反射特性測定装置のジオメトリと関連しないので、種々のジオメトリに適用することができる。 Then, such a reflection characteristic measuring apparatus optical system and the reflection characteristic measuring apparatus for the construction, since this is not related to the geometry of the reflection characteristic measuring apparatus used, can be applied to various geometries.

上記並びにその他の本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な記載と添付図面から明らかになるであろう。 The above and other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description and accompanying drawings.

第1実施形態における反射特性測定装置の全体概略構成を示すブロック図である。 Is a block diagram showing an overall schematic configuration of a reflection characteristic measuring apparatus according to the first embodiment. 試料を測定する場合における第1実施形態の反射特性測定装置の光学系を示す図である。 Is a diagram showing an optical system of the reflection characteristic measuring apparatus of the first embodiment in the case of measuring a sample. 校正を行う場合における第1実施形態の反射特性測定装置の光学系を示す図である。 Is a diagram showing an optical system of the reflection characteristic measuring apparatus of the first embodiment when performing calibration. 第1実施形態の反射特性測定装置における光学系および駆動機構を示す斜視図である。 Is a perspective view showing an optical system and a drive mechanism in the reflection characteristic measuring apparatus of the first embodiment. 試料を測定する場合における第2実施形態の反射特性測定装置の光学系を示す図である。 Is a diagram showing an optical system of the reflection characteristic measuring apparatus of the second embodiment in the case of measuring a sample. 校正を行う場合における第2実施形態の反射特性測定装置の光学系を示す図である。 Is a diagram showing an optical system of the reflection characteristic measuring apparatus of the second embodiment when performing calibration. 校正を行う場合における測定開口部の遮光の様子を説明するための図である。 It is a diagram for explaining how the light-shielding of the measuring opening when performing calibration.

以下、本発明にかかる実施の一形態を図面に基づいて説明する。 It will be described below based on an embodiment according to the present invention with reference to the accompanying drawings. なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、適宜、その説明を省略する。 Note that the structure denoted by the same reference numerals in each figure, show that the same configuration, appropriately omitted. また、本明細書において、総称する場合には添え字を省略した参照符号で示し、個別の構成を指す場合には添え字を付した参照符号で示す。 In the present specification, indicated by reference numeral is omitted subscripts when generically indicated by reference symbols including the suffixes are to refer to the individual configuration.

(第1実施形態) (First Embodiment)
図1は、第1実施形態における反射特性測定装置の全体概略構成を示すブロック図である。 Figure 1 is a block diagram showing an overall schematic configuration of a reflection characteristic measuring apparatus according to the first embodiment. 図2は、試料を測定する場合における第1実施形態の反射特性測定装置の光学系を示す図である。 Figure 2 is a diagram showing an optical system of the reflection characteristic measuring apparatus of the first embodiment in the case of measuring a sample. 図3は、校正を行う場合における第1実施形態の反射特性測定装置の光学系を示す図である。 Figure 3 is a diagram showing an optical system of the reflection characteristic measuring apparatus of the first embodiment when performing calibration. 図2(A)および図3(A)は、側面図であり、図2(B)および図3(B)は、正面図であり、そして、図2(C)および図3(C)は、底面図である。 FIG. 2 (A) and 3 (A) is a side view, FIG. 2 (B) and FIG. 3 (B) is a front view, and FIGS. 2 (C) and 3 (C) is , it is a bottom view. 図4は、第1実施形態の反射特性測定装置における光学系および駆動機構を示す斜視図である。 Figure 4 is a perspective view showing an optical system and a drive mechanism in the reflection characteristic measuring apparatus of the first embodiment. 図4(A)は、反射部材が校正位置にある場合を示し、図4(B)は、反射部材が待機位置にある場合を示す。 FIG. 4 (A) shows a case where the reflecting member is in the calibration position, FIG. 4 (B) shows a case where the reflecting member is at the standby position.

第1実施形態における反射特性測定装置DAは、測定対象である試料SMの反射特性を測定する装置であり、例えば、図1ないし図4に示すように、照明受光光学系1Aと、分光部2と、演算制御部3と、入力部4と、出力部5とを備えている。 Reflection characteristic measuring apparatus DA in the first embodiment is a device for measuring the reflection characteristics of the sample SM to be measured, for example, as shown in FIGS. 1 to 4, an illumination light receiving optical system 1A, the spectroscopic unit 2 When, and a calculation control unit 3, an input unit 4, an output unit 5.

照明受光光学系1Aは、測定対象の試料SMを測定するための位置(場所)として予め設定された所定の測定平面に対し予め設定された所定のジオメトリで、照明光を試料SMの試料測定面SMFに照射してその反射光を受光する光学系である。 Illuminating the light receiving optical system 1A is a predetermined geometry which is preset to a preset predetermined measurement plane as a position for measuring the sample SM to be measured (location), a sample measuring surface of the sample SM illumination light an optical system that receives the reflected light is irradiated to the SMF. ジオメトリ(光学的条件)は、測定平面に対する、照明光の入射方向および反射光の観察方向である。 Geometry (optical conditions), the relative measurement plane, an observation direction of the incident direction and the reflected light of the illumination light. 照明受光光学系1Aは、照明系11Aと、受光光学系12Aとを備え、本実施形態では、反射特性測定装置DA内でその校正を行うために、反射部材13Aと、標準部材14Aとをさらに備えている。 Illuminating the light receiving optical system 1A includes an illumination system 11A, and a light receiving optical system 12A, in this embodiment, in order to perform the calibration in the reflection characteristic measuring apparatus DA, further a reflecting member 13A, and a standard member 14A It is provided. なお、図1では、反射部材13Aおよび標準部材14Aの図示が省略されている。 In FIG. 1, the illustration of the reflection member 13A and the standard member 14A is omitted.

照明系11Aは、前記測定平面に臨むように配置された、試料SMの試料測定面SMFに照明光を照射するものである。 The illumination system 11A, the disposed so as to face the measurement plane, in which irradiates illumination light to the sample measuring surface SMF of the sample SM. 反射特性測定装置DAでは、通常、正確な測定結果を得るべく、試料SMの試料測定面SMFが前記測定平面に一致するように配置されることが予定されており、そして、このように配置されることが理想的であり好ましい。 In the reflection characteristic measuring apparatus DA, usually, in order to obtain accurate measurements are scheduled to sample measuring surface SMF of the sample SM is arranged to coincide with the measurement plane, and are arranged in this manner Rukoto is the ideal preferred. 照明系11Aは、例えば、照明光を放射する光源と、前記光源から放射された照明光を、試料SMの試料測定面SMFに対し所定の入射角で入射させる照明光学系とを備えている。 The illumination system 11A includes, for example, a light source that emits illumination light, the illumination light emitted from the light source and an illumination optical system to the sample measuring surface SMF sample SM is incident at a predetermined incident angle. 前記光源は、例えば、ハロゲンランプや白色ランプやLED光源等である。 The light source is, for example, a halogen lamp or a white lamp or LED light source or the like. 前記照明光学系は、例えば、前記光源から放射された照明光を平行光に換えて射出する両凸のコリメートレンズ等である。 The illumination optical system is a collimating lens or the like of the biconvex injection instead of the parallel light illumination light emitted from the light source.

受光光学系12Aは、試料SMの試料測定面SMFで反射した照明光の反射光を試料SMの試料測定面SMFに対し所定の角度で受光するものである。 Receiving optical system 12A is for the reflected light of the illumination light reflected by the sample measuring surface SMF sample SM to the sample measuring surface SMF of the sample SM is received by a predetermined angle. 受光光学系12Aは、例えば、前記所定の角度で受光した照明光の反射光を集光する両凸の集光レンズ等である。 Receiving optical system 12A is, for example, a biconvex converging lens or the like for condensing the reflected light of the illumination light received by said predetermined angle.

反射特性測定装置DAは、任意のジオメトリであってよいが、本実施形態では、45/0のジオメトリを採用しており、この45/0のジオメトリとなるように、これら前記照明光学系と受光光学系12Aとは、前記測定平面に対して配置される。 Reflection characteristic measuring apparatus DA can be any geometry, but in the present embodiment employs a geometry of 45/0, so that the geometry of the 45/0 light receiving these said illumination optical system the optical system 12A, is placed against the measurement plane. 言い換えれば、例えば仕様等に応じてジオメトリが決まると、このジオメトリに従うように前記測定平面、前記照明光学系の光軸および受光光学系12Aの光軸の各位置が相互に規定される。 In other words, for example, the geometry is determined in accordance with the specifications, the measurement plane to follow this geometry, the position of the optical axis of the optical axis and the light receiving optical system 12A of the illumination optical system is defined to one another. すなわち、ジオメトリは、上述のように定義されるので、ジオメトリおよび測定平面を設定すると、この測定平面に対し、照明系11Aの前記照明光学系の光軸の位置および受光光学系12Aの光軸の位置が決まる。 That is, geometry, since it is defined as above, by setting the geometry and the measuring plane, with respect to the measurement plane, the illumination optical system of the illumination system 11A position and the light receiving optical system 12A of the optical axis of the optical axis position is determined. 一方、ジオメトリ、照明系11Aの前記照明光学系の光軸および受光光学系12Aの光軸が設定されると、測定平面が決まる。 On the other hand, the geometry, the optical axis of the optical axis and the light receiving optical system 12A of the illumination optical system of the illumination system 11A is set, it determines the measurement plane.

反射部材13Aは、入射光を反射する平板状の部材であり、例えば、反射鏡(ミラー)等である。 Reflecting member 13A is a plate member that reflects incident light, for example, a reflecting mirror (mirror) or the like. 反射部材13Aは、第1反射面を形成する第1反射部材13A−1と、第2反射面を形成する第2反射部材13A−2とを備えている。 Reflecting member 13A is provided with a first reflection member 13A-1 which forms a first reflecting surface, a second reflecting member 13A-2 which forms a second reflecting surface. すなわち、第1反射部材13A−1と第2反射部材13A−2とは、本実施形態では、反射部材13Aとして一体で構成されている。 In other words, the first reflection member 13A-1 and the second reflecting member 13A-2, in the present embodiment is constructed integrally as a reflecting member 13A. 第1および第2反射面は、それぞれ、例えばアルミニウム等の金属薄膜や誘電体多層膜等で構成される。 First and second reflecting surfaces, respectively, made of, for example, a metal thin film or a dielectric multi-layer film such as aluminum or the like. あるいは、例えば、反射部材13A自体が光沢のある金属板であって、該金属板の表面が第1および第2反射面を形成してもよい。 Alternatively, for example, the reflecting member 13A itself is a metal plate shiny surface of the metal plate may be formed first and second reflective surfaces.

反射部材13Aは、反射特性測定装置DAの校正を行う場合に配置される校正位置に挿抜可能に構成されている。 Reflecting member 13A is configured to be inserted into and removed from the calibration position to be placed when performing the calibration of the reflection characteristic measuring apparatus DA. すなわち、反射部材13Aは、校正を行う場合に校正位置に挿入配置可能であって、測定を行う場合に校正位置から脱抜可能に構成されている。 That is, the reflecting member 13A is an insertable disposed calibration positions when performing calibration, and is configured disengaged available from the calibration position when performing measurements. より具体的には、反射部材13Aは、反射特性測定装置DAの校正を行う場合に配置される校正位置と、この校正位置から退避した、試料SMにおける試料測定面SMFの反射特性の測定を行う場合に配置される待機位置とを例えば後述の機構によって切り換え可能に構成されている。 More specifically, the reflecting member 13A performs a calibration position which is disposed in the case of performing the calibration of the reflection characteristic measuring apparatus DA, retracted from the calibration position, the measurement of the reflection characteristic of the sample measuring surface SMF in the sample SM and it is configured to be switched by the standby position and the example below of mechanism disposed in the case. この反射部材13Aの校正位置は、試料SMの試料測定面SMFに照射される照明光の第1光路上における所定の位置である。 Calibration position of the reflecting member 13A is a predetermined position in the first optical path of the illumination light irradiated on the sample measuring surface SMF of the sample SM. この反射部材13Aの待機位置は、前記第1光路上を除く位置である。 Standby position of the reflecting member 13A is a position excluding the first optical path. すなわち、この反射部材13Aの待機位置は、照明系11Aから試料SMの試料測定面SMFに照射される照明光を反射部材13Aが妨げることなく、かつ、試料SMの試料測定面SMFから受光光学系12Aで受光される照明光の反射光を反射部材13Aが妨げない位置である。 That is, the standby position of the reflecting member 13A without interfering reflection member 13A the illumination light irradiated on the sample measuring surface SMF sample SM from the illumination system 11A, and the light receiving optical system from the sample measuring surface SMF sample SM reflecting member 13A a reflected light of the illumination light is a position that does not interfere received by the 12A. 本実施形態では、第1および第2反射部材13A−1、13A−2は、反射部材13Aとして一体で構成されていることから、反射部材13Aの校正位置は、第1反射部材13A−1の第1校正位置であるとともに第2反射部材13A−2の第2校正位置であり、反射部材13Aの待機位置は、第1反射部材13A−1の第1待機位置であるとともに第2反射部材13A−2の第2待機位置である。 In this embodiment, first and second reflection members 13A-1, 13a-2, since it is constructed integrally as a reflecting member 13A, the calibration position of the reflecting member 13A is the first reflecting member 13A-1 first with a calibration position is a second calibration position of the second reflecting member 13A-2, the standby position of the reflecting member 13A, the second reflecting member 13A with a first waiting position of the first reflecting member 13A-1 a second standby position -2.

反射部材13Aにおける第1反射部材13A−1は、この第1校正位置に配置されている場合に、照明系11Aから照射される照明光を標準部材14Aへ反射する第1姿勢であり、そして、反射部材13Aにおける第2反射部材13A−2は、この第2校正位置に配置されている場合に、標準部材14Aで反射した照明光の拡散反射光を、試料SMの試料測定面SMFで反射した照明光の反射光の第2光路と重なるように、反射する第2姿勢である。 The first reflection member 13A-1 in the reflecting member 13A, when disposed in the first calibration position, a first orientation for reflecting illumination light emitted from the illumination system 11A to the standard member 14A, and, second reflection member 13A-2 in the reflecting member 13A, when disposed in the second calibration position, the diffuse reflection light of the illumination light reflected by the standard member 14A, reflected by the sample measuring surface SMF sample SM so as to overlap the second optical path of the reflected light of the illumination light, a second orientation for reflecting. より具体的には、本実施形態では、例えば、第1反射部材13A−1の前記第1姿勢は、第1反射部材13A−1に形成された第1反射面が、反射特性測定装置DAの前記測定平面、および、試料SMの試料測定面SMFに照射される照明光の前記第1光路における光軸(すなわち、照明系11Aの前記照明光学系の光軸)と、試料SMの試料測定面SMFで反射した照明光の反射光の前記第2光路における光軸(すなわち、受光光学系12Aの光軸)とが成す第1平面(ジオメトリによって規定される平面)の両方に平行な直線Rを回転軸Rとして所定の角度で傾斜した姿勢である。 More specifically, in this embodiment, for example, the first position of the first reflecting member 13A-1, the first reflective surface formed on the first reflecting member 13A-1 is, the reflection characteristic measuring apparatus DA wherein the measurement plane and the optical axis in the first optical path of the illumination light irradiated on the sample measuring surface SMF sample SM (i.e., the illumination optical system of the optical axis of the illumination system 11A) and, the sample measuring surface of the sample SM the optical axis of the second optical path of the reflected light of the illumination light reflected by the SMF (i.e., the light receiving optical system 12A of the optical axis) linear R parallel to both the forms first plane (plane defined by the geometry) an inclined posture at a predetermined angle as the rotation axis R. 第2反射部材13A−2の前記第2姿勢は、第2反射部材13A−2が第1反射部材13A−1と一体で形成されているので、前記回転軸Rで所定の角度で傾斜した姿勢である。 The second position of the second reflecting member 13A-2, the second reflecting member 13A-2 is because it is formed by the first reflecting member 13A-1 and integral, inclined at a predetermined angle with the rotation axis R attitude it is. 第1反射部材13A−1における前記所定の角度や第2反射部材13A−2における前記所定の角度は、標準部材14Aの配置位置や拡散反射する拡散反射面の角度等に応じて適宜に設定される。 Said predetermined angle and said predetermined angle in the second reflecting member 13A-2 of the first reflecting member 13A-1 is set appropriately in accordance with the angle and the like of the diffuse reflection surface positions and diffuse reflection of the standard member 14A that.

標準部材14Aは、入射光を拡散反射する部材であり、第1反射部材13A−1で反射された照明光(照明光の反射光)を第2反射部材13A−2へ向けて拡散反射する。 Standard member 14A is a member which diffuses and reflects incident light diffusely reflected towards the illumination light reflected by the first reflecting member 13A-1 (reflection light of the illumination light) to the second reflection member 13A-2. 標準部材14Aは、照明系11Aから照射される照明光の光学特性の変動を補正して校正する場合に使用されるものである。 Standard member 14A is intended to be used to calibrate and correct for variations in optical properties of the illumination light irradiated from the illumination system 11A. 標準部材14Aは、例えば、拡散反射板であってよく、また例えば、白色校正板であってもよい。 Standard member 14A is, for example, be a diffuse reflector, also for example, be a white calibration plate. 要は、標準部材14Aは、少なくとも拡散反射するものであればよい。 In short, a standard member 14A is not limited as long as at least diffuse reflection. 本実施形態では、標準部材14Aも、反射部材13Aと同様に、校正位置に挿抜可能に構成されている。 In the present embodiment, the standard member 14A, like the reflecting member 13A, and is configured to be inserted into and removed from the calibration position. より具体的には、標準部材14Aは、校正位置と待機位置とを例えば後述の機構によって切り換え可能に構成されている。 More specifically, the standard member 14A is configured to be switched by the standby position and the calibration position, for example below the mechanism.

このような反射部材13Aおよび標準部材14Aは、反射特性測定装置DAが校正位置でこれらを保持する保持部材を備え、校正を行う場合(校正モード)では校正位置にオペレータ(ユーザ)によって直接的に配置され、試料SMの測定を行う場合(測定モード)では校正位置からオペレータ(ユーザ)によって直接的に取り除かれてもよいが、本実施形態では、反射特性測定装置DAは、これら反射部材13Aおよび標準部材14Aを動かして校正位置に対し挿抜する駆動機構を備えている。 The reflective member 13A and standard member 14A is provided with a holding member for holding them reflection characteristic measuring apparatus DA is in the calibration position, directly if (calibration mode), the calibration position for calibration by the operator (user) arranged, may be removed directly from (measurement mode), the calibration position by an operator (user) for measuring the sample SM, in the present embodiment, the reflection characteristic measuring apparatus DA, these reflection members 13A and and a drive mechanism for inserting and removing to calibration position by moving the standard member 14A. そして、これら反射部材13Aおよび標準部材14Aは、オペレータがこの駆動機構を駆動することで動かされてもよいが、本実施形態では、反射特性測定装置DAは、駆動機構に動力を与える動力源を備えており、これら反射部材13Aおよび標準部材14Aは、動力源の動力によって駆動機構を駆動することで動かされる。 And these reflection members 13A and standard member 14A, the operator may be moved by driving the drive mechanism, but in the present embodiment, the reflection characteristic measuring apparatus DA is a power source to power the drive mechanism provided and these reflecting members 13A and standard member 14A is moved by driving the driving mechanism by the power of the power source. より具体的には、例えば、図4に示す構成によって校正位置および待機位置のいずれか一方の位置に切り換え配置される。 More specifically, for example, disposed switched either position of the calibration position and the standby position by the configuration shown in FIG.

図4において、図略の筐体に形成された測定開口に嵌め込まれたカバーガラス27の測定平面に対し所定のジオメトリとなるように、前記筐体内に固定配置される多角柱形状の固定体21に照明系11Aおよび受光光学系12Aが固定される。 4, so that a predetermined geometry with respect to the measuring plane of the cover glass 27 fitted to the measuring opening formed in an unillustrated housing, a fixed body of polygonal prism shape which is fixedly disposed in the housing 21 lighting system 11A and the light receiving optical system 12A is fixed to. 測定開口は、試料SMの試料測定面SMF(測定平面)で反射した照明光の反射光が入射される、前記図略の筐体に形成された貫通孔である。 Measurement aperture is reflected light of the illumination light reflected by the sample measuring surface SMF sample SM (measurement plane) is incident, is a through hole formed in FIG unillustrated housing. 固定体21には、照明系11Aの前記照明光学系の光軸と受光光学系12Aの光軸とが成す平面(前記第1平面)の法線方向に沿って延びる長尺円柱状の一対の第1および第2案内ロッド26−1、26−2が互いに間隔を空けて凸設されている。 The fixed body 21, the illumination system 11A wherein the illumination optical system optical axis and the light-receiving optical system 12A of the optical axis and forms flat elongated cylindrical pair extending along the normal direction of the (first plane) of first and second guide rods 26-1 and 26-2 are protrusively provided at a distance from each other. これら一対の第1および第2案内ロッド26−1、26−2によって案内(ガイド)されるように、反射部材13A(第1反射部材13A−1および第2反射部材13A−2)と標準部材14Aとをその一方側に取り付けた取付部材25がこれら一対の第1および第2案内ロッド26−1、26−2に移動可能に配設されている。 Guided by the first and second guide rods 26-1 and 26-2 of the pair (guides) is As, the reflecting member 13A (first reflecting member 13A-1 and the second reflecting member 13A-2) and the standard member mounting member 25 fitted and 14A on one side is disposed to be movable in first and second guide rods 26-1 and 26-2 of the pair. 取付部材25の他方側の端部には、長尺棒状のアーム部材24がその一方端部で接続される。 The end of the other side of the mounting member 25, the arm member 24 of the elongated rod-like is connected at its one end. アーム部材24の略中央には、ソレノイドモータ23の回転軸が固定されている。 The approximate center of the arm member 24, the rotation shaft of the solenoid motor 23 is fixed. そして、ソレノイドモータ23は、側面視で略L字形状の固定接続部材22を介して固定体21に固定される。 Then, the solenoid motor 23 is fixed to the fixed body 21 via the stationary connect member 22 of substantially L-shaped in side view.

このような構成では、演算制御部3の制御によってソレノイドモータ23が稼働すると、ソレノイドモータ23の回転軸が回転駆動され、この回転軸の回転駆動に伴ってアーム部材24も回転駆動される。 In such a configuration, when the solenoid motor 23 is running under the control of the arithmetic and control unit 3, the rotation shaft of the solenoid motor 23 is rotated, the arm member 24 along with the rotation of the rotary shaft is also rotated. このアーム部材24の回転駆動に従って取付部材25が駆動されるが、取付部材25の運動は、一対の第1および第2案内ロッド26−1、26−2によって規制されるため、アーム部材24の一方端部における周方向に沿った運動は、取付部材25の直進方向に沿った運動となる。 Although attachment member 25 is driven in accordance with rotation of the arm member 24, movement of the mounting member 25, because it is regulated by a pair of first and second guide rods 26-1 and 26-2, the arm member 24 Meanwhile motion along the circumferential direction at the end portion is a motion along the straight direction of the mounting member 25. この運動によって、取付部材25に取り付けられた反射部材13Aおよび標準部材14Aは、例えば、照明光および照明光の反射光の各光路から外れた待機位置(図4(B))から、これら各光路上の校正位置(図4(A))へ切り換え配置される。 This movement, reflecting members 13A and standard member 14A is mounted on the mounting member 25 is, for example, from the standby position off from the optical path of the reflected light of the illumination light and the illumination light (FIG. 4 (B)), each of these light calibration position of path is switched arranged (FIG. 4 (a)). そして、ソレノイドモータ23の回転軸を逆回転させることによって、反射部材13Aおよび標準部材14Aは、校正位置(図4(A))から待機位置(図4(B))へ切り換え配置される。 Then, by reversely rotating the rotating shaft of the solenoid motor 23, the reflecting member 13A and standard member 14A is switched arranged to calibrate a position standby position (FIG. 4 (A)) (FIG. 4 (B)).

なお、前記測定開口は、照明系11Aの照明光を試料SMの試料測定面SMFへ照射するために、前記筐体の適所に形成された開口(孔)であり、カバーガラス27は、平板状であり、前記筐体内に例えばチリやホコリ等のゴミの進入を防ぐために、前記測定開口に嵌め込まれている。 Incidentally, the measurement aperture, in order to irradiate the illumination light of the illumination system 11A to the sample measuring surface SMF of the sample SM, and said position to an opening formed in the housing (hole), a cover glass 27 is flat , and the to prevent ingress of dirt such as, for example, dust in the housing, it is fitted to the measurement opening. 試料SMを測定する場合には、カバーガラス27に試料SMの試料測定面SMFが当接され、前記測定開口に試料SMの試料測定面SMFが臨まれる。 When measuring the sample SM, the sample measuring surface SMF of the sample SM is brought into contact with the cover glass 27, the sample measuring surface SMF of the sample SM is faced to the measurement opening. このため、図4に示す構成では、カバーガラス27の外面が前記測定平面とされる。 Therefore, in the configuration shown in FIG. 4, the outer surface of the cover glass 27 is set to the measurement plane.

分光部2は、受光光学系12Aで受光された照明光の反射光を分光測定する装置である。 Spectroscopic unit 2 is a device for spectroscopic measurement of the reflected light of the illumination light received by the light receiving optical system 12A. 分光測定は、測定対象光(ここでは照明光の反射光)の光強度を所定の波長間隔で波長ごとに測定するものである。 Spectrometry, the target light (here, reflected light of the illumination light) which measures for each wavelength of light intensity at a given wavelength interval. 照明光の反射光は、受光光学系12Aから直接的に分光部2へ導光されてもよいが、本実施形態では、分光部2の配置位置に自由度を与えるために、受光光学系12Aから導光部材6を介して分光部2に導光されている。 The reflected light of the illumination light may be directly guided to the spectroscopic portion 2 from the light receiving optical system 12A, but in the present embodiment, in order to provide a degree of freedom in the arrangement position of the spectroscopic unit 2, a light receiving optical system 12A It is guided to the spectroscopic unit 2 via the light guide member 6. 導光部材6は、全反射を繰り返して所定の或る箇所から所定の他の箇所まで光を伝播して導くものであり、例えば光ファイバ等である。 Guiding member 6 repeats total reflection is intended to lead to propagating light from a predetermined one portion to a predetermined elsewhere, such as optical fiber or the like.

分光部2は、より具体的には、例えば、スリット部材と、反射鏡と、回折格子と、測定用アレイセンサとを備えている。 Spectroscopic unit 2, more specifically, for example, comprises a slit member, a reflecting mirror, a diffraction grating, and a measuring array sensor. 前記スリット部材は、前記測定用アレイセンサに入射される反射光を規制する、矩形形状の開口であるスリットを形成した板状部材である。 The slit member regulates the reflected light incident on the measurement array sensor, a plate-shaped member in which a slit is formed as an opening of rectangular shape. 前記反射鏡は、前記スリット部材の前記スリットを介して入射された反射光を回折格子へ反射する凹面鏡である。 The reflecting mirror is a concave mirror for reflecting the reflected light incident through the slit of the slit member to the diffraction grating. 前記回折格子は、前記反射鏡で反射された反射光を回折することによって該反射光を所定の波長間隔で波長ごとに分光し、前記測定用アレイセンサへ導く光学素子である。 The diffraction grating, the spectrally each wavelength reflected light at a predetermined wavelength interval by diffracting the light reflected by the reflecting mirror, an optical element that leads to the measurement array sensor. 前記測定用アレイセンサは、前記回折格子により分光される波長方向に一列に配列された複数の光電変換素子を備えており、各光電変換素子がそれぞれ互いに異なる波長の光を受光し、これら受光した各光の光強度に応じた各電気信号を出力する素子である。 The measuring array sensor, said in the wavelength direction which is split by the diffraction grating comprises a plurality of photoelectric conversion elements arranged in a row, each photoelectric conversion element receives light of different wavelengths respectively, and light-receiving an element which outputs the electric signal corresponding to the light intensity of each light.

このような分光部2では、試料SMから照明光の反射光は、前記スリット部材のスリットで規制されて前記反射鏡に入射され、前記反射鏡で反射されて前記回折格子に入射され、回折されて分光され、前記測定用アレイセンサに入射される。 In such spectroscopic unit 2, the reflected light of the illumination light from the sample SM is incident on the reflecting mirror is regulated by the slit of the slit member, is incident on the diffraction grating is reflected by the reflection mirror, it is diffracted spectrally Te, is incident on the measurement array sensor. 前記測定用アレイセンサの受光面には、前記スリットの分散像が結像される。 The light receiving surface of the measurement array sensor, variance image of the slit is imaged. 前記測定用アレイセンサでは、各光電変換素子が反射光の分散光を光電変換し、試料SMの試料測定面SMFからの反射光の分光強度に応じた電気信号を出力する。 And in the measurement array sensor, the photoelectric conversion element photoelectrically converts dispersion of the reflected light, and outputs an electrical signal corresponding to the spectral intensity of the reflected light from the sample measuring surface SMF of the sample SM. なお、前記反射鏡および前駆回折格子は、反射型凹面回折格子に代えてもよい。 Incidentally, the reflecting mirror and progenitor diffraction grating may be replaced with reflective concave diffraction grating.

演算制御部3は、反射特性測定装置DA全体の動作を司るとともに、分光部2の出力に基づいて試料SMにおける試料測定面SMFの反射特性を求めるものである。 Arithmetic and control unit 3, as well as governs the operation of the entire reflection characteristic measuring apparatus DA, and requests the reflective properties of the sample measuring surface SMF in the sample SM based on the output of the splitting unit 2. 演算制御部3は、例えば、照明系11Aの前記光源における照明光の発光を制御し、反射部材13Aおよび標準部材14Aを待機位置および校正位置のいずれか一方に配置されるように制御し、試料SMの試料測定面SMFからの照明光の反射光を分光するべく分光部2を制御し、分光部2の出力に基づいて試料SMにおける試料測定面SMFの反射特性を求め、そして、校正を行うべく分光部2を制御し、分光部2の出力に基づいて標準部材14Aの反射特性を求めて校正を行うものである。 Arithmetic and control unit 3, for example, to control the light emission of the illumination light in the light source of the illumination system 11A, a reflecting member 13A and standard member 14A controlled so as to be disposed on one of the standby position and the calibration position, the sample It controls the splitting unit 2 so as to disperse the reflected light of the illumination light from the sample measuring surface SMF of SM, calculated reflection characteristics of the sample measuring surface SMF in the sample SM based on the output of the splitting unit 2, and performs the calibration It controls the splitting unit 2 to, and performs calibration seeking reflection characteristics of the standard member 14A based on the output of the splitting unit 2. 演算制御部3は、例えば、CPU(Central Processing Unit、中央処理装置)、ROMやRAM等の記憶素子およびこれらの周辺回路とを備えて構成されるマイクロコンピュータ等である。 Arithmetic and control unit 3, for example, CPU (Central Processing Unit, central processing unit), a storage device and a microcomputer configured with a these peripheral circuits such as a ROM or RAM.

入力部4は、外部からコマンド(命令)やデータ等を入力するための装置であり、例えばタッチパネルやキーボード等である。 The input unit 4 is a device for inputting a command (instruction) or data from the outside, for example, a touch panel and a keyboard. 出力部5は、入力部4から入力されたコマンドやデータおよび演算制御部3の演算結果等を出力するための装置であり、例えばLCD(液晶ディスプレイ)や有機ELディスプレイ等である。 The output unit 5 is a device for outputting the calculation results of commands and data, and the arithmetic and control unit 3 input from the input unit 4, for example, LCD (liquid crystal display) or an organic EL display, or the like.

次に、本実施形態の動作について説明する。 Next, the operation of the present embodiment. このような構成の反射特性測定装置DAでは、試料SMの試料測定面SMFの反射特性を測定する場合には、演算制御部3の制御に従ってソレノイドモータ23が稼働され、ソレノイドモータ23の回転軸の回転によってアーム部材24が回転運動を行い、これによって取付部材25が一対の第1および第2案内ロッド26−1、26−2に案内されて移動し、取付部材25に取り付けられた反射部材13Aおよび標準部材14Aは、図4(B)に示すように、待機位置に配置される。 In the reflection characteristic measuring apparatus DA having such a configuration, when measuring the reflective properties of the sample measuring surface SMF of the sample SM is a solenoid motor 23 is operated under the control of the arithmetic and control unit 3, the rotary shaft of a solenoid motor 23 the arm member 24 performs a rotational movement by the rotation, whereby the mounting member 25 is moved by being guided by the pair of first and second guide rods 26-1 and 26-2, the reflective member 13A which is attached to the mounting member 25 and standard member 14A, as shown in FIG. 4 (B), is disposed in the standby position.

オペレータ(ユーザ)によって測定平面(カバーガラス27の外面)に試料SMの試料面が配置される。 Sample surface of the sample SM to the measurement plane (the outer surface of the cover glass 27) by an operator (user) is positioned. そして、上述の動作によって、反射部材13Aおよび標準部材14Aが待機位置に配置されると、演算制御部3は、照明系11Aを制御し、照明系11Aに照明光を試料SMの試料測定面SMFに照射させる。 Then, the above operation, the reflected when members 13A and standard member 14A is disposed in the standby position, the arithmetic and control unit 3 controls the illumination system 11A, a sample measuring surface SMF samples SM illumination light to the illumination system 11A It is irradiated to.

照明系11Aから照射された照明光は、図2に示すように、試料SMの試料測定面SMF(測定平面)に対し所定のジオメトリで入射され、反射される。 Illumination light emitted from the illumination system 11A, as shown in FIG. 2, is incident to the sample measuring surface SMF (measurement plane) of the sample SM at a predetermined geometry, is reflected. この照明光の反射光は、試料SMの試料測定面SMF(測定平面)に対し所定のジオメトリで受光光学系12Aによって受光され、導光部材6を介して分光部2へ入射される。 The reflected light of the illumination light, the sample measuring surface SMF sample SM (measurement plane) to be received by the light receiving optical system 12A with a predetermined geometry, is incident via the light guide member 6 to the spectroscopic portion 2. なお、この場合、反射部材13Aおよび標準部材14Aは、待機位置にあって校正位置にはないので、図2では、反射部材13Aおよび標準部材14Aは、破線で示されている。 In this case, the reflecting member 13A and standard member 14A, so not in the calibration position be in the standby position, FIG. 2, the reflecting member 13A and standard member 14A is shown in dashed lines.

分光部2は、この照明光の反射光を分光し、その結果を演算制御部3へ出力する。 Spectroscopic unit 2 spectral reflection light of the illumination light, and outputs the result to the arithmetic control unit 3. 演算制御部3は、分光部2の出力に基づいて照明光の反射光における例えば分光反射特性等の反射特性を求める。 Arithmetic and control unit 3 obtains the reflection characteristics such as spectral reflection characteristic example of reflected light of the illumination light based on an output of the splitting unit 2. この求めた反射特性は、演算制御部3の制御に従って出力部5に出力される。 The obtained reflection property is output to the output unit 5 under the control of the arithmetic and control unit 3.

一方、反射特性測定装置DAを校正する場合には、演算制御部3の制御に従ってソレノイドモータ23が稼働され、ソレノイドモータ23の回転軸の回転によってアーム部材24が回転運動を行い、これによって取付部材25が一対の第1および第2案内ロッド26−1、26−2に案内されて移動し、取付部材25に取り付けられた反射部材13Aおよび標準部材14Aは、図4(A)に示すように、校正位置に配置される。 On the other hand, in the case of calibrating the reflection characteristic measuring apparatus DA is a solenoid motor 23 is operated under the control of the arithmetic and control unit 3, the arm member 24 performs a rotary motion by the rotation of the rotating shaft of the solenoid motor 23, whereby the mounting member 25 is moved by being guided by the pair of first and second guide rods 26-1 and 26-2, the reflective member 13A and standard member 14A is mounted on the mounting member 25, as shown in FIG. 4 (a) It is placed in the calibration position.

そして、上述の動作によって、反射部材13Aおよび標準部材14Aが校正位置に配置されると、演算制御部3は、照明系11Aを制御し、照明系11Aに照明光を照射させる。 Then, the above operation, when the reflecting members 13A and standard member 14A is disposed in the calibration position, the arithmetic and control unit 3 controls the illumination system 11A, and irradiates illumination light to the illumination system 11A.

なお、オペレータ(ユーザ)によって測定平面(カバーガラス27の外面)は、測定平面用遮光部材41によって遮光されることが好ましい。 Incidentally, (outer surface of the cover glass 27) measurement plane by an operator (user), are preferably shielded by measuring plane for shielding member 41. これによって校正時にカバーガラス27から入射されるノイズ光を遮光することができ、より精度よく校正を行うことができる。 This makes it possible to shield the noise light incident from the cover glass 27 at the time of calibration can be performed more accurately calibrated.

あるいは、図7に示すように、図略の測定平面遮光機構によって上述の動作に連動して測定平面用遮光部材41が移動し、校正時にカバーガラス27から入射されるノイズ光を遮光するように反射特性測定装置DAが構成されてもよい。 Alternatively, as shown in FIG. 7, as in conjunction with the above-described operation by an unillustrated measuring plane blocking mechanism moves the measuring plane for shielding member 41 to shield the noise light incident from the cover glass 27 at the time of calibration reflection characteristic measuring apparatus DA may be configured. このような測定平面用遮光部材41は、少なくともカバーガラス27を覆う大きさおよび形状を備え、赤外線や可視光の波長領域を遮断する材料で形成される。 Such measurement plane for shielding member 41 is provided with a size and shape to cover at least the cover glass 27 is formed of a material that blocks the wavelength region of infrared rays or visible light. そして、例えば、測定平面用遮光部材41を保持する保持枠、前記保持枠にその一端が連結されたアーム部材、および、前記アーム部材の他方端にその駆動軸が連結されたモータ等を備える図略の前記測定平面遮光機構によって、遮光位置(カバーガラス27を覆って遮光する位置)と待機位置(カバーガラス27からの光束を阻害しない位置)との間で自動的に切り換え制御される。 Then, for example, a holding frame for holding a measurement plane for shielding member 41, the arm member having one end coupled to the holding frame, and FIG comprising other end to the motor for the drive shaft is coupled to the arm member the abbreviation of the measurement plane blocking mechanism is automatically switching control between a blocking position (position where the light shielding covering the cover glass 27) and a standby position (not inhibit the light from the cover glass 27 position). 後述の第2実施形態も同様である。 Second embodiment to be described later is also the same.

照明系11Aから照射された照明光は、図3に示すように、反射部材13Aにおける第1反射部材13A−1の第1反射面に入射され、反射される。 Illumination light emitted from the illumination system 11A, as shown in FIG. 3, is incident on the first first reflecting surface of the reflecting member 13A-1 in the reflecting member 13A, is reflected. この照明光の反射光は、標準部材14Aに入射される。 The reflected light of the illumination light is incident on the standard member 14A. 標準部材14Aは、この照明光の反射光を受光光学系12Aに向けて拡散反射光として拡散反射する。 Standard member 14A is diffused reflected as diffuse reflected light toward the reflection light of the illumination light to the light receiving optical system 12A. 受光光学系12Aによって受光された前記拡散反射光は、導光部材6を介して分光部2へ入射される。 The diffuse reflected light received by the light receiving optical system 12A is incident through the light guide member 6 to the spectroscopic portion 2.

分光部2は、この拡散反射光を分光し、その結果を演算制御部3へ出力する。 Spectroscopic unit 2 disperses the diffusely reflected light, and outputs the result to the arithmetic control unit 3. 演算制御部3は、分光部2の出力に基づいて当該反射特性測定装置DAを校正するための校正データを求める。 Arithmetic and control unit 3 obtains the calibration data for calibrating the reflection characteristic measuring apparatus DA based on the output of the splitting unit 2. この求めた校正データは、演算制御部3に記憶され、測定モードで試料SMにおける試料測定面SMFの反射特性を求める場合に、用いられる。 The determined calibration data are stored in the arithmetic and control unit 3, when obtaining the reflection characteristic of the sample measuring surface SMF in the sample SM measurement mode is used.

このような校正モードは、例えば、反射特性測定装置DAの電源スイッチがオンされた場合や、直近の校正モードから予め設定された所定時間が経過した場合等に行われる。 Such calibration mode, for example, the power switch of the reflection characteristic measuring apparatus DA is or when it is turned on, the predetermined time set in advance from the most recent calibration mode is performed or when the elapsed.

校正データは、例えば、分光部2の出力データと所定の初期校正データとの差として定義される。 Calibration data, for example, is defined as the difference between the output data and a predetermined initial calibration data of the spectroscopic unit 2. この初期校正データは、例えば製造段階や出荷段階等の反射特性測定装置が未使用である初期状態において、校正モードによって得られた分光部2の出力データである。 This initial calibration data, for example, in the initial state reflection characteristic measuring apparatus is not in use, such as a manufacturing stage or shipping stage, which is the output data of the spectroscopic unit 2 obtained by the calibration mode.

以上、説明したように、本実施形態では、試料SMの試料測定面SMFを測定するための光学系(本実施形態では照明系11Aおよび受光光学系12A)と校正を行う光学系(本実施形態では照明系11A、反射部材13A、標準部材14Aおよび受光光学系12A)とを備えた反射特性測定装置DAおよびその照明受光光学系1Aを提供することができる。 As described above, in the present embodiment, an optical system for measuring a sample measuring surface SMF sample SM (in this embodiment the illumination system 11A and the light receiving optical system 12A) and an optical system for calibrating (embodiment In it is possible to provide an illumination system 11A, a reflecting member 13A, the standard member 14A and the light receiving optical system 12A) and reflection characteristic measuring apparatus DA and illumination light receiving optical system 1A thereof with a. そして、本実施形態における反射特性測定装置DAおよびその照明受光光学系1Aでは、校正を行う場合に反射部材13Aの第1反射部材13A−1が第1校正位置に配置されるとともに反射部材13Aの第2反射部材13A−2が第2校正位置に配置され、照明光を第1反射部材13A−1で反射することによって照明光が標準部材14Aに導光され、そして、試料SMの試料測定面SMFで反射した照明光の反射光と略同じ光路となるように、この標準部材14で拡散反射した照明光の拡散反射光が第2反射部材13A−2で反射され、受光光学系12Aによって受光される。 Then, the reflection characteristic measuring apparatus DA and the illumination light receiving optical system 1A in the present embodiment, the reflecting member 13A with the first reflection member 13A-1 of the reflecting member 13A is disposed in a first calibration position when calibrating a second reflecting member 13A-2 is disposed in the second calibration position, the illumination light by reflecting the illumination light by the first reflection member 13A-1 is guided to the standard member 14A, and the sample measuring surface of the sample SM as substantially the same optical path as the illumination light of the light reflected by the SMF, the diffuse reflection light of the illumination light diffused and reflected by the standard member 14 is reflected by the second reflecting member 13A-2, received by the light-receiving optical system 12A It is. 校正の際に使用される照明光の拡散反射光は、このように反射によって受光光学系12Aへ導光されるので、本実施形態における反射特性測定装置DAおよびその照明受光光学系1Aは、光量ロスを低減することができる。 Diffuse reflection light of the illumination light used at the time of calibration, since this is guided to the light-receiving optical system 12A by reflection as reflection characteristic measuring apparatus DA and illumination light receiving optical system 1A that in this embodiment, the amount of light it is possible to reduce the loss. そして、本実施形態における反射特性測定装置DAおよびその照明受光光学系1Aは、これが用いられる反射特性測定装置DAのジオメトリと関連しないので、種々のジオメトリに適用することができる。 Then, the reflection characteristic measuring apparatus DA and illumination light receiving optical system 1A that in this embodiment, since this is not related to the geometry of the reflection characteristic measuring apparatus DA used, can be applied to various geometries.

また、本実施形態では、第1反射部材13A−1と第2反射部材13A−2とは、反射部材13Aとして一体に形成されている。 Further, in the present embodiment, the first reflection member 13A-1 and the second reflecting member 13A-2, are integrally formed as a reflecting member 13A. このため、本実施形態における反射特性測定装置DAおよびその照明受光光学系1Aは、第1反射部材13A−1および第2反射部材13A−2を一体に動かすことができる。 Therefore, the reflection characteristic measuring apparatus DA and illumination light receiving optical system 1A that in this embodiment, the first reflecting member 13A-1 and the second reflecting member 13A-2 can be moved together. したがって、第1反射部材13A−1および第2反射部材13A−2を動かす駆動機構を設ける場合に、この駆動機構は、より簡易に構成することができる。 Therefore, when the first reflecting member 13A-1 and the second reflecting member 13A-2 move providing a drive mechanism, the drive mechanism may be configured more simply.

また、本実施形態では、第1反射部材13A−1と第2反射部材13A−2と標準部材14Aとは、上述した駆動機構によって待機位置と校正位置とで切り換えられる。 Further, in the present embodiment, the first reflection member 13A-1 and the second reflecting member 13A-2 and the standard member 14A, is switched between the calibration position and the standby position by the above-mentioned drive mechanism. このため、これら第1反射部材13A−1、第2反射部材13A−2および標準部材14Aの各移動を自動化することが可能となり、本実施形態では、ソレノイドモータ23および演算制御部3によって自動化されている。 Therefore, these first reflecting member 13A-1, it is possible to automate the movement of the second reflecting member 13A-2 and the standard member 14A, in this embodiment, is automated by a solenoid motor 23 and the operation control unit 3 ing.

また、本実施形態では、第1反射部材13A−1と第2反射部材13A−2と標準部材14Aは、取付部材25に取り付けられている。 Further, in the present embodiment, the first reflection member 13A-1 and the second reflecting member 13A-2 and the standard member 14A is attached to the mounting member 25. このため、本実施形態における反射特性測定装置DAおよびその照明受光光学系1Aは、第1反射部材13A−1、第2反射部材13A−2および標準部材14を一体に動かすことができる。 Therefore, the reflection characteristic measuring apparatus DA and illumination light receiving optical system 1A that in this embodiment, the first reflection member 13A-1, a second reflecting member 13A-2 and the standard member 14 can be moved together. したがって、第1反射部材13A−1、第2反射部材13A−2および標準部材14における相互の幾何学的配置関係が一定に維持され、これらが校正位置と待機位置とで繰り返し配置換えされても、第1反射部材13A−1、第2反射部材13A−2および標準部材14における相互の幾何学的配置関係のズレが低減される。 Thus, the first reflection member 13A-1, the mutual geometrical arrangement relationship of the second reflecting member 13A-2 and the standard member 14 is kept constant, even if they are rearranged repeated in a standby position and the calibration position , the first reflection member 13A-1, displacement of the mutual geometric arrangement relationship in the second reflecting member 13A-2 and the standard member 14 is reduced. この結果、校正がより長期間に亘って良好に行われる。 As a result, calibration is performed satisfactorily over a longer period of time.

次に、別の実施形態について説明する。 Next, another embodiment is explained.

(第2実施形態) (Second Embodiment)
図5は、試料を測定する場合における第2実施形態の反射特性測定装置の光学系を示す図である。 Figure 5 is a diagram showing an optical system of the reflection characteristic measuring apparatus of the second embodiment in the case of measuring a sample. 図6は、校正を行う場合における第2実施形態の反射特性測定装置の光学系を示す図である。 Figure 6 is a diagram showing an optical system of the reflection characteristic measuring apparatus of the second embodiment when performing calibration. なお、図5では、反射部材13Bおよび標準部材14Bは、待機位置にあって校正位置にはないので、破線で示されている。 In FIG. 5, the reflecting member 13B and standard member 14B, so not in the calibration position In the standby position, shown in broken lines.

第2実施形態における反射特性測定装置DBは、第1実施形態における反射特性測定装置DAと同様に、測定対象である試料SMの反射特性を測定する装置であり、例えば、照明受光光学系と、分光部と、演算制御部と、入力部と、出力部とを備えている。 Reflection characteristic measuring apparatus DB in the second embodiment, like the reflection characteristic measuring apparatus DA in the first embodiment is a device for measuring the reflection characteristics of the sample SM to be measured, for example, an illumination light receiving optical system, and it includes a spectroscopic unit, and a calculation control unit, an input unit and an output unit.

ここで、第1実施形態における反射特性測定装置DAおよびその照明受光光学系1Aは、ジオメトリの一例として45/0ジオメトリであったが、第2実施形態における反射特性測定装置DBおよびその照明受光光学系は、ジオメトリの他の一例として45/45ジオメトリである。 Here, the reflection characteristic measuring apparatus DA and illumination light receiving optical system 1A thereof in the first embodiment is a 45/0 geometry as an example of the geometry, the reflection characteristic measuring apparatus according to the second embodiment DB and illumination light receiving optical thereof system is a 45/45 geometry as another example of the geometry. このため、第2実施形態における反射特性測定装置DBは、その照明受光光学系が第1実施形態の反射特性測定装置DAにおける照明受光光学系1Aと異なるだけであり、第2実施形態の反射特性測定装置DBにおける前記分光部、前記演算制御部、前記入力部および前記出力部のそれぞれは、第1実施形態の反射特性測定装置DAにおける分光部2、演算制御部3、入力部4および出力部5のそれぞれと同様であり、その説明を省略する。 Therefore, the reflection characteristic measuring apparatus DB in the second embodiment, only the illumination light receiving optical system is different from the illumination light receiving optical system 1A in the reflection characteristic measuring apparatus DA of the first embodiment, the reflection characteristic of the second embodiment the spectroscopic unit in the measurement device DB, the arithmetic control unit, each of said input and said output portion, the spectroscopic portion 2 in the reflection characteristic measuring apparatus DA of the first embodiment, the arithmetic and control unit 3, the input unit 4 and an output unit 5 are the same as defined, and a description thereof will be omitted.

この第2実施形態の反射特性測定装置DBにおける照明受光光学系1Bは、第1実施形態の照明受光光学系1Aと同様に、測定対象の試料SMを測定するための位置(場所)として予め設定された所定の測定平面に対し予め設定された所定のジオメトリで、照明光を試料SMの試料測定面SMFに照射してその反射光を受光する光学系であり、例えば、図5および図6に示すように、照明系11Bと、受光光学系12Bと、反射部材13Bと、標準部材14Bとを備えている。 Illuminating the light receiving optical system 1B in the reflection characteristic measuring apparatus DB of the second embodiment, preset as with the illumination light receiving optical system 1A of the first embodiment, as the position for measuring the sample SM to be measured (location) a predetermined geometry preset relative, predetermined measurement plane, the illumination light is an optical system for receiving reflected light is irradiated to the sample measuring surface SMF sample SM, for example, in FIGS. 5 and 6 as shown, it includes an illumination system 11B, a light receiving optical system 12B, a reflecting member 13B, and a standard member 14B.

そして、上述と同様の理由により、第2実施形態の照明受光光学系1Bにおける照明系11B、受光光学系12B、反射部材13Bおよび標準部材14Bは、その幾何学的配置関係が第1実施形態の照明受光光学系1Aと異なるだけであり、第2実施形態の照明受光光学系1Bにおける照明系11B、受光光学系12B、反射部材13Bおよび標準部材14Bのそれぞれは、機能的には、第1実施形態の照明受光光学系1Aにおける照明系11A、受光光学系12A、反射部材13Aおよび標準部材14Aのそれぞれと同様であり、ここでは、その幾何学的配置関係を説明する。 And, for the same reason as described above, the illumination system 11B in the illumination light receiving optical system 1B of the second embodiment, the light receiving optical system 12B, the reflecting member 13B and standard member 14B, the geometry relationship of the first embodiment is only different from the illumination light receiving optical system 1A, the illumination system 11B in the illumination light receiving optical system 1B of the second embodiment, the light receiving optical system 12B, each of the reflecting member 13B and standard member 14B, the functional, the first embodiment lighting system 11A in the illumination light receiving optical system 1A embodiment, the light receiving optical system 12A, is similar to the respective reflecting members 13A and standard member 14A, it will be described here the geometric positional relationship.

第2実施形態の反射特性測定装置DBおよびその照明受光光学系1Bは、上述したように、45/45ジオメトリであるので、照明系11Bにおける照明光学系は、光源から放射された照明光を、測定平面に対し45度の入射角で入射させるように配置され、受光光学系12Bは、照明光の反射光を、測定平面に対し45度で受光するように配置される。 Reflection characteristic measuring apparatus DB and illumination light receiving optical system 1B that of the second embodiment, as described above, since it is 45/45 geometry, the illumination optical system in the illumination system. 11B, the illumination light emitted from the light source, measurement plane to be arranged so as to be incident at an incident angle of 45 degrees, the light receiving optical system 12B is the reflection light of the illumination light, is positioned to receive at 45 degrees with respect to the measurement plane. すなわち、測定平面と照明系11Bにおける照明光学系の光軸とが成す角度は、45度であり、測定平面と受光光学系12Bの光軸とが成す角度は、45度である。 That is, angle formed with the optical axis of the illumination optical system and the measurement plane in the illumination system 11B is 45 degrees, angle formed with the optical axis of the measuring plane and the light receiving optical system 12B is 45 degrees. これによって測定平面に略一致するように配置される試料SMの試料測定面SMFには、照明光が45度の入射角で入射され、この試料SMの試料測定面SMFでの照明光の反射光は、45度の角度で受光(観察)される。 These include the sample measuring surface SMF of the sample SM arranged to substantially coincide with the measurement plane, the illumination light is incident at an incident angle of 45 degrees, the reflected light of the illumination light at the sample measuring surface SMF of the sample SM It is received at an angle of 45 degrees (observation).

反射部材13Bは、第1実施形態の反射部材13Aと同様に、入射光を反射する平板状の部材であり、例えば、反射鏡(ミラー)等である。 Reflecting member 13B, like the reflecting member 13A of the first embodiment, a flat plate-like member that reflects incident light, for example, a reflecting mirror (mirror) or the like. 反射部材13Bは、第1反射面を形成する第1反射部材13B−1と、第2反射面を形成する第2反射部材13B−2とを備えている。 Reflecting member 13B is provided with a first reflection member 13B-1 for forming the first reflecting surface, a second reflecting member 13B-2 forming the second reflective surface. 反射部材13Bは、反射特性測定装置DBの校正を行う場合に配置される校正位置に挿抜可能に構成されている。 Reflecting member 13B is configured to be inserted into and removed from the calibration position to be placed when performing the calibration of the reflection characteristic measuring apparatus DB. より具体的には、反射部材13Bは、校正位置と待機位置とを切り換え可能に構成されている。 More specifically, the reflective member 13B is configured to allow switching between the standby position and the calibration position. この反射部材13Bの校正位置は、試料SMの試料測定面SMFに照射される照明光の第1光路上における所定の位置である。 Calibration position of the reflecting member 13B is a predetermined position in the first optical path of the illumination light irradiated on the sample measuring surface SMF of the sample SM. この反射部材13Aの待機位置は、前記第1光路上を除く位置である。 Standby position of the reflecting member 13A is a position excluding the first optical path. 本実施形態でも、第1および第2反射部材13B−1、13B−2は、反射部材13Bとして一体で構成されていることから、反射部材13Bの校正位置は、第1反射部材13B−1の第1校正位置であるとともに第2反射部材13B−2の第2校正位置であり、反射部材13Bの待機位置は、第1反射部材13B−1の第1待機位置であるとともに第2反射部材13B−2の第2待機位置である。 In the present embodiment, the first and second reflecting members 13B-1 and 13B-2, since it is constructed integrally as a reflecting member 13B, the calibration position of the reflecting member 13B is of the first reflecting member 13B-1 first with a calibration position is a second calibration position of the second reflecting member 13B-2, the standby position of the reflecting member 13B, the second reflecting member 13B as well as a first waiting position of the first reflecting member 13B-1 a second standby position -2. 反射部材13Bにおける第1反射部材13B−1は、この第1校正位置に配置されている場合に、照明系11Bから照射される照明光を標準部材14Bへ反射する第1姿勢であり、そして、反射部材13Bにおける第2反射部材13B−2は、この第2校正位置に配置されている場合に、標準部材14Bで反射した照明光の拡散反射光を、試料SMの試料測定面SMFで反射した照明光の反射光の第2光路と重なるように、反射する第2姿勢である。 The first reflection member 13B-1 in the reflecting member 13B, when disposed in the first calibration position, a first orientation for reflecting illumination light emitted from the illumination system 11B to the standard member 14B, and, second reflection member 13B-2 in the reflecting member 13B, when disposed in the second calibration position, the diffuse reflection light of the illumination light reflected by the standard member 14B, reflected by the sample measuring surface SMF sample SM so as to overlap the second optical path of the reflected light of the illumination light, a second orientation for reflecting. より具体的には、本実施形態でも、例えば、第1反射部材13B−1の前記第1姿勢は、第1反射部材13B−1に形成された第1反射面が、反射特性測定装置DBの前記測定平面、および、試料SMの試料測定面SMFに照射される照明光の前記第1光路における光軸(すなわち、照明系11Bの前記照明光学系の光軸)と、試料SMの試料測定面SMFで反射した照明光の反射光の前記第2光路における光軸(すなわち、受光光学系12Bの光軸)とが成す第1平面(ジオメトリによって規定される平面)の両方に平行な直線Rを回転軸Rとして所定の角度で傾斜した姿勢である。 More specifically, in this embodiment, for example, the first position of the first reflecting member 13B-1 has a first reflecting surface formed on the first reflecting member 13B-1 is, the reflection characteristic measuring apparatus DB wherein the measurement plane and the optical axis in the first optical path of the illumination light irradiated on the sample measuring surface SMF sample SM (i.e., the illumination optical system of the optical axis of the illumination system 11B) and a sample measuring surface of the sample SM the optical axis of the second optical path of the reflected light of the illumination light reflected by the SMF (i.e., the light receiving optical system 12B of the optical axis) linear R parallel to both the forms first plane (plane defined by the geometry) an inclined posture at a predetermined angle as the rotation axis R. 第2反射部材13B−2の前記第2姿勢は、第2反射部材13B−2が第1反射部材13B−1と一体で形成されているので、前記回転軸Rで所定の角度で傾斜した姿勢である。 The second position of the second reflecting member 13B-2, the second reflecting member 13B-2 is because it is formed by the first reflecting member 13B-1 and the integral, and inclined at a predetermined angle with the rotation axis R attitude it is. 第1反射部材13B−1における前記所定の角度や第2反射部材13B−2における前記所定の角度は、標準部材14Bの配置位置や拡散反射する拡散反射面の角度等に応じて適宜に設定される。 Said predetermined angle and said predetermined angle in the second reflecting member 13B-2 of the first reflecting member 13B-1 is set appropriately in accordance with the angle and the like of the diffuse reflection surface positions and diffuse reflection of the standard member 14B that.

標準部材14Bは、第1実施形態の標準部材14Aと同様であり、入射光を拡散反射する部材であり、第1反射部材13B−1で反射された照明光(照明光の反射光)を第2反射部材13B−2へ向けて拡散反射する。 Standard member 14B is similar to the standard member 14A of the first embodiment, a member for diffusing and reflecting incident light, the illumination light reflected by the first reflecting member 13B-1 (the reflected light of the illumination light) first 2 diffuse reflected toward the reflecting member 13B-2. 本実施形態では、標準部材14Bも、反射部材13Bと同様に、校正位置に挿抜可能に構成されている。 In the present embodiment, the standard member 14B, like the reflecting member 13B, and is configured to be inserted into and removed from the calibration position.

このような構成の反射特性測定装置DBでは、測定モードでは、反射部材13Bおよび標準部材14Bは、待機位置に配置され、図5に示すように、照明系11Bから照射された照明光は、試料SMの試料測定面SMF(測定平面)に対し45度で入射され、反射される。 In the reflection characteristic measuring apparatus DB having such a configuration, in the measurement mode, the reflecting member 13B and standard member 14B is disposed in the standby position, as shown in FIG. 5, the illumination light emitted from the illumination system 11B, the sample to SM sample measuring surface of SMF (measurement plane) is incident at 45 degrees, is reflected. この照明光の反射光は、試料SMの試料測定面SMF(測定平面)に対し45度で受光光学系12Bによって受光され、分光部2へ入射される。 The reflected light of the illumination light is received by the light receiving optical system 12B at 45 degrees with respect to the sample measuring surface SMF (measurement plane) of the sample SM, and enters the light splitting unit 2. なお、この場合、反射部材13Bおよび標準部材14Bは、待機位置にあって校正位置にはないので、図5では、反射部材13Bおよび標準部材14Bは、破線で示されている。 In this case, the reflecting member 13B and standard member 14B, so not in the calibration position be in the standby position, FIG. 5, the reflecting member 13B and standard member 14B is shown in dashed lines. そして、分光部2は、この照明光の反射光を分光し、その結果を演算制御部3へ出力する。 Then, the spectroscopic unit 2 spectral reflection light of the illumination light, and outputs the result to the arithmetic control unit 3. 演算制御部3は、分光部2の出力に基づいて照明光の反射光における例えば分光反射特性等の反射特性を求める。 Arithmetic and control unit 3 obtains the reflection characteristics such as spectral reflection characteristic example of reflected light of the illumination light based on an output of the splitting unit 2. この求めた反射特性は、演算制御部3の制御に従って出力部5に出力される。 The obtained reflection property is output to the output unit 5 under the control of the arithmetic and control unit 3.

一方、校正モードでは、反射部材13Bおよび標準部材14Bは、校正位置に配置され、図6に示すように、照明系11Bから照射された照明光は、反射部材13Bにおける第1反射部材13B−1の第1反射面に入射され、反射される。 On the other hand, in the calibration mode, the reflecting member 13B and standard member 14B is disposed in the calibration position, as shown in FIG. 6, the illumination light emitted from the illumination system 11B includes a first reflection at the reflecting member 13B member 13B-1 It is incident on the first reflecting surface of the reflector. この照明光の反射光は、標準部材14Bに入射される。 The reflected light of the illumination light is incident on the standard member 14B. 標準部材14Bは、この照明光の反射光を受光光学系12Bに向けて拡散反射光として拡散反射する。 Standard member 14B is diffused reflected as diffuse reflected light toward the reflection light of the illumination light to the light receiving optical system 12B. 受光光学系12Bによって受光された前記拡散反射光は、分光部2へ入射される。 The diffuse reflected light received by the light receiving optical system 12B is incident to the spectroscope unit 2. 分光部2は、この拡散反射光を分光し、その結果を演算制御部3へ出力する。 Spectroscopic unit 2 disperses the diffusely reflected light, and outputs the result to the arithmetic control unit 3. 演算制御部3は、分光部2の出力に基づいて当該反射特性測定装置DAを校正するための校正データを求める。 Arithmetic and control unit 3 obtains the calibration data for calibrating the reflection characteristic measuring apparatus DA based on the output of the splitting unit 2. この求めた校正データは、演算制御部3に記憶され、測定モードで試料SMにおける試料測定面SMFの反射特性を求める場合に、用いられる。 The determined calibration data are stored in the arithmetic and control unit 3, when obtaining the reflection characteristic of the sample measuring surface SMF in the sample SM measurement mode is used.

以上、説明したように、本実施形態における反射特性測定装置DBおよびその照明受光光学系1Bでは、校正の際に使用される照明光の拡散反射光は、上述のように反射によって受光光学系12Bへ導光されるので、本実施形態における反射特性測定装置DBおよびその照明受光光学系1Bは、光量ロスを低減することができる。 As described above, the reflection characteristic measuring apparatus DB and the illumination light receiving optical system 1B in the present embodiment, the diffuse reflection light of the illumination light used at the time of calibration, the light receiving optical system 12B by reflection as above since guided to the reflection characteristic measuring apparatus DB and illumination light receiving optical system 1B that in this embodiment, it is possible to reduce the loss of light amount.

なお、上述の第1および第2実施形態では、ジオメトリの一例として、45/0ジオメトリおよび45/45ジオメトリの場合について説明したが、第1および第2反射部材13−1、13−2および標準部材14は、任意のジオメトリに対し適用することができる。 In the first and second embodiments described above, as an example of geometry, 45/0 geometry and 45/45 has been described geometry, the first and second reflecting members 13-1, 13-2 and standards member 14 can be applied for any geometry.

また、上述の第1および第2実施形態では、標準部材14も反射部材13の移動に応じて移動したが、標準部材14は、照明系11から試料SMの試料測定面SMFに照射される照明光を反射部材13が妨げることなく、かつ、試料SMの試料測定面SMFから受光光学系12で受光される照明光の反射光を反射部材13が妨げない位置に固定的に配置されてもよい。 The lighting, the first and second embodiments described above, the standard member 14 is also moved in response to movement of the reflecting member 13, the standard member 14 is emitted from the illumination system 11 to the sample measuring surface SMF sample SM without interfering with the light reflecting member 13, and may be fixedly disposed at a position where the reflecting member 13 reflected light of the illumination light from the sample measuring surface SMF of the sample SM is received by the light receiving optical system 12 does not interfere .

また、上述の第1および第2実施形態の反射特性測定装置Dおよびその照明受光光学系1において、遮光状態と非遮光状態とを切り換え可能であって、前記遮光状態で標準部材14の拡散反射面を遮光可能な遮光部材をさらに備えてもよい。 Further, the reflection characteristic measuring apparatus D and the illumination light receiving optical system 1 that the first and second embodiments described above, a switchable light blocking state and a non-shielding state, the diffuse reflection of the standard member 14 in the light shielding state surface may further include a light shielding member capable of shielding. この遮光部材は、少なくとも、試料SMの試料測定面SMFで反射した照明光の反射光が導光部材6を介して分光部2に導光される場合には、遮光状態にある。 The light shielding member is at least, if the reflected light of the illumination light reflected by the sample measuring surface SMF of the sample SM is guided into the spectroscopic portion 2 via the light guide member 6 is in the light shielding state. より具体的には、この遮光部材は、少なくとも前記測定モードである場合には遮光状態にある。 More specifically, the light shielding member is, when at least the measurement mode is in the shielding state. 本実施形態では、例えば、この遮光部材は、第1反射部材13−1が第1待機位置に配置されている場合であって第2反射部材13−2が第2待機位置に配置されている場合には前記遮光状態にあって、第1反射部材13−1が第1待機位置に配置されていない場合、例えば第1校正位置に配置されている場合であって第2反射部材13−2が第2待機位置に配置されていない場合、例えば第2校正位置に配置されている場合(前記校正モードである場合)には前記非遮光状態にあるものである。 In the present embodiment, for example, the light shielding member, a second reflecting member 13-2 even if the first reflecting member 13-1 is disposed in the first standby position is disposed in the second standby position If there in the light blocking state, when the first reflecting member 13-1 is not disposed in the first standby position, for example, the first in a case which is arranged in the calibration position the second reflecting member 13-2 If is not placed in the second standby position, for example when it is disposed in the second calibration position (if the calibration mode) in which in said non-shielding state.

このような遮光部材をさらに備えることによって、試料SMの試料測定面SMFの反射特性を測定する場合に標準部材14を遮光状態とすることによって、標準部材14で生じる迷光を防止することができる。 By such further comprising a light shielding member, by standard member 14 and the light shielding state when measuring the reflective properties of the sample measuring surface SMF of the sample SM, it is possible to prevent stray light generated by the standard member 14. この結果、このような構成の反射特性測定装置Dは、試料SMにおける試料測定面SMFの反射特性をより精度に測定することが可能となる。 As a result, the reflection characteristic measuring apparatus D having such a configuration, it is possible to measure the reflection characteristic of the sample measuring surface SMF in the sample SM more accuracy.

また、上述の第1および第2実施形態の反射特性測定装置Dおよびその照明受光光学系1において、好ましくは、第1反射部材13−1の第1反射面と前記測定平面とが成す角の角度aは、第1反射部材13−1の第1反射面と標準部材14に形成された拡散反射面とが成す角の角度aに等しく、第1反射部材13−1の第1反射面と標準部材14の拡散反射面との間の光学的距離は、第1反射部材13−1の第1反射面と前記測定平面との間の距離bに等しい。 Further, the reflection characteristic measuring apparatus D and the illumination light receiving optical system 1 that the first and second embodiments described above, preferably, the angle formed between the measurement plane and the first reflecting surface of the first reflecting member 13 - angle a is equal to the angle a of the corner formed between the first reflecting surface and the diffuse reflecting surface formed on the standard member 14 of the first reflecting member 13-1, a first reflecting surface of the first reflecting member 13-1 optical distance between the diffusion reflection surface of the standard member 14 is equal to the distance b between the first reflecting surface of the first reflecting member 13-1 and the measurement plane. すなわち、測定平面と標準部材14の拡散反射面とは、反射部材13を対称面とした光学的に対称な関係である。 That is, the measurement plane and the diffuse reflection surface of the standard member 14, a reflecting member 13 is the optically symmetric relationship with the symmetry plane. 図2および図3には、このような構成の反射特性測定装置DAおよびその照明受光光学系1Aが示されており、図5および図6には、このような構成の反射特性測定装置DBおよびその照明受光光学系1Bが示されている。 2 and 3, such a reflection characteristic measuring apparatus DA and are illumination light receiving optical system 1A is shown that the configuration in FIGS. 5 and 6, the reflection characteristic measuring apparatus DB and this structure illuminating the light receiving optical system 1B is shown that. なお、図2および図3ならびに図5および図6に示す例では、第1反射部材13−1の第1反射面と標準部材14の拡散反射面との間の光学的距離は、その間の屈折率が1であり、第1反射部材13−1の第1反射面と標準部材14の拡散反射面との間の距離b(物理的な距離b)である。 In the example shown in FIGS. 2 and 3 and FIGS. 5 and 6, the optical distance between the diffusion reflection surface of the first reflecting surface and the standard member 14 of the first reflecting member 13-1, refraction therebetween the rate is 1, the distance b between the first reflection surface and the diffuse reflection surface of the standard member 14 of the first reflecting member 13-1 (physical distance b).

このような構成の反射特性測定装置Dおよびその照明受光光学系1は、反射特性測定装置Dのジオメトリと同じジオメトリで標準部材14に対し照明光を入出射させることができるから、より高精度に校正を行うことができる。 Because such a reflection characteristic measuring apparatus D and the illumination light receiving optical system 1 that the configuration can be input and output the illumination light to the standard member 14 in the same geometry as the geometry of the reflection characteristic measuring apparatus D, more precisely it is possible to perform the calibration.

本明細書は、上記のように様々な態様の技術を開示しているが、そのうち主な技術を以下に纏める。 Herein, discloses a technique of various embodiments as described above, of which summarized main technical below.

一態様にかかる反射特性測定装置用光学系は、入射光を拡散反射する標準部材と、測定対象である試料に照射される照明光の第1光路上の第1校正位置と、前記第1校正位置から退避した第1位置との間で移動可能であって、入射光を反射する第1反射部材と、前記第1光路上の第2校正位置と、前記第2校正位置から退避した第2位置との間で移動可能であって、入射光を反射する第2反射部材とを備え、前記第1反射部材は、前記第1校正位置に配置されている時に、前記照明光を前記標準部材へ反射する第1姿勢であり、前記第2反射部材は、前記第2校正位置に配置されている時に、前記標準部材で反射した前記照明光の拡散反射光を、前記試料で反射した前記照明光の反射光の第2光路と重なるように、反射する第2姿勢である。 Reflection characteristic measuring apparatus for an optical system according to an embodiment, and the standard member for diffusing and reflecting incident light, a first calibration position of the first optical path of the illumination light irradiated onto the sample to be measured, the first calibration a movable between a first position retracted from the position, a first reflecting member that reflects incident light, and a second calibration position of the first optical path, a second retracted from the second calibration position a movable between a position, and a second reflecting member that reflects incident light, said first reflecting member, when disposed in the first calibration position, said standard members the illumination light a first orientation for reflecting to said second reflecting member, wherein when the second is placed in the calibration position, the diffuse reflection light of the illumination light reflected by said standard member, the illumination reflected by the sample so as to overlap the second optical path of the reflected light, a second orientation for reflecting.

また、他の一態様では、上述の反射特性測定装置用光学系において、好ましくは、前記第1反射部材の第1姿勢は、前記第1反射部材に形成された第1反射面が、測定平面および前記第1光路の光軸と前記第2光路の光軸とが成す第1平面の両方に平行な直線を回転軸として傾斜した姿勢である。 Further, in another aspect, the reflection characteristic measuring apparatus for optical system described above, preferably, the first orientation of the first reflecting member, a first reflecting surface formed on the first reflecting member, the measuring plane and an inclined posture as the rotation axis line parallel to both the first plane formed between said first optical path and the optical axis of the second optical path of the optical axis.

このような構成の反射特性測定装置用光学系では、校正を行う場合に第1反射部材が第1校正位置に配置されるとともに第2反射部材が第2校正位置に配置され、照明光を第1反射部材で反射することによって照明光が標準部材に導光され、そして、前記試料で反射した前記照明光の反射光と略同じ光路となるように、この標準部材で拡散反射した照明光の拡散反射光が第2反射部材で反射される。 The reflection characteristic measuring apparatus for an optical system having such a configuration, the first reflecting member is disposed on the first calibration position when calibrating the second reflecting member disposed in the second calibration position, the illumination light first illumination light is guided to the standard member by reflecting one reflecting member, and so as to be substantially the same optical path as the illumination light reflected light reflected by the sample, the illumination light diffused and reflected by the standard member diffuse reflected light is reflected by the second reflecting member. 校正の際に使用される照明光の拡散反射光は、このように反射によって導光されるので、このような構成の反射特性測定装置用光学系は、光量ロスを低減することができる。 Diffuse reflection light of the illumination light used at the time of calibration because it is guided by the reflecting Thus, the reflection characteristic measuring apparatus for optical system having the above configuration can reduce the amount of light loss. そして、このような構成の反射特性測定装置用光学系は、これが用いられる反射特性測定装置のジオメトリと関連しないので、種々のジオメトリに適用することができる。 Then, the reflection characteristic measuring apparatus for optical system having the above configuration, since this is not related to the geometry of the reflection characteristic measuring apparatus used, can be applied to various geometries.

また、他の一態様では、これら上述の反射特性測定装置用光学系において、前記第1反射面と前記測定平面とが成す角の角度は、前記第1反射面と前記標準部材に形成された拡散反射面とが成す角の角度に等しく、前記第1反射面と前記拡散反射面との間の光学的距離は、前記第1反射面と前記測定平面との間の距離に等しい。 Further, in another aspect, the reflection characteristic measuring apparatus for an optical system of these above-described angle formed with the measurement plane and the first reflecting surface is formed in the standard member and the first reflecting surface equal to the angle of the angle between the diffuse reflection surface, an optical distance between the first reflecting surface and the diffuse reflecting surface is equal to the distance between the measurement plane and the first reflecting surface.

このような構成の反射特性測定装置用光学系は、これが用いられる反射特性測定装置のジオメトリと同じジオメトリで標準部材に対し照明光を入出射させることができるから、より高精度に校正を行うことができる。 Such reflection characteristic measuring apparatus for an optical system configuration, because this can be input and output the illumination light to the standard member in the same geometry as the geometry of the reflection characteristic measuring apparatus used, to perform the calibration more accurate can.

また、他の一態様では、これら上述の反射特性測定装置用光学系において、前記第1反射部材と前記第2反射部材とは、一体である。 Further, in another aspect, the reflection characteristic measuring apparatus for an optical system of these above, wherein the first reflecting member and the second reflecting member are integral.

この構成によれば、反射特性測定装置用光学系は、第1反射部材および第2反射部材を一体に動かすことができる。 According to this configuration, the reflection characteristic measuring apparatus for optical system can move the first reflecting member and the second reflecting member integrally.

また、他の一態様では、これら上述の反射特性測定装置用光学系において、前記第1反射部材と前記第2反射部材と前記標準部材とを取り付ける取付部材をさらに備える。 Further, in another aspect, these in the above-described reflection characteristic measuring apparatus for an optical system, further comprising a mounting member for mounting the said first reflecting member and the second reflecting member and the standard member.

この構成によれば、反射特性測定装置用光学系は、第1反射部材、第2反射部材および標準部材を一体に動かすことができる。 According to this configuration, the reflection characteristic measuring apparatus for optical system, a first reflecting member, the second reflecting member and standard member can be moved integrally.

また、他の一態様では、これら上述の反射特性測定装置用光学系において、遮光状態と非遮光状態とを切り換え可能であって、前記遮光状態で前記拡散反射面を遮光可能な遮光部材をさらに備え、前記遮光部材は、前記試料で反射した前記照明光の反射光が前記第2光路に導光される場合には前記遮光状態にある。 Further, in another aspect, these in the above-described reflection characteristic measuring apparatus for an optical system, a switchable light blocking state and a non-shielding state, further shielding member capable shielding the diffuse reflecting surface by the light shielding state wherein the light blocking member, when the illumination light of the reflected light reflected by the sample is guided to the second optical path is in the shielding state.

この構成によれば、試料の反射特性を測定する場合に標準部材を遮光状態とすることによって、標準部材で生じる迷光を防止することができ、試料の反射特性の測定精度を向上することができる。 According to this configuration, by standard member and the light shielding state when measuring the reflection characteristics of the sample, it is possible to prevent stray light generated by standard member, it is possible to improve the measurement accuracy of the reflection characteristic of the sample .

また、他の一態様では、これら上述の反射特性測定装置用光学系において、前記照明光を放射する光源と、前記光源で放射された前記照明光を前記試料に照射させる照明光学系と、前記試料で反射した前記照明光の前記反射光を受光する受光光学系とをさらに備える。 Further, in another aspect, these in the above-described reflection characteristic measuring apparatus for optical system, a light source for emitting said illumination light, an illumination optical system for irradiating the illumination light emitted by the light source to the sample, wherein further comprising a light receiving optical system for receiving the reflected light of the illumination light reflected by the sample.

このような構成によれば、試料を測定するための光学系と校正を行う光学系とを備えた反射特性測定装置用光学系を提供することができる。 According to such a configuration, it is possible to provide a reflection characteristic measuring apparatus for optical system and an optical system for performing optical system and calibration for measuring the sample.

また、他の一態様では、これら上述の反射特性測定装置用光学系において、前記第1反射部材を前記第1校正位置に対し進退する第1駆動機構と、前記第2反射部材を前記第2校正位置に対し進退する第2駆動機構とをさらに備える。 Further, in another aspect, these in the above-described reflection characteristic measuring apparatus for optical system, a first drive mechanism for advancing and retracting the first reflecting member relative to the first calibration position, the second reflecting member and the second further comprising a second drive mechanism for advancing and retracting with respect to the calibration position.

このような構成によれば、第1および第2反射部材を第1および第2校正位置に対し進退する第1および第2駆動機構を備えた反射特性測定装置用光学系を提供することができる。 According to such a configuration, it is possible to provide the first and first and reflection characteristic measuring apparatus for an optical system having a second drive mechanism and the second reflecting member moves forward and backward relative to the first and second calibration position . このような構成の反射特性測定装置用光学系は、このような第1および第2駆動機構を用いることによって、第1および第2反射部材の移動の自動化が容易となる。 Reflection characteristic measuring apparatus for optical system having the above configuration, by using such first and second driving mechanisms, automation of the movement of the first and second reflection members is facilitated.

また、他の一態様にかかる反射特性測定装置は、これら上述のいずれかの反射特性測定用光学系と、前記受光光学系で受光された前記照明光の前記反射光を分光する分光部と、前記分光部の出力に基づいて前記試料の反射特性を求める演算部とを備える。 Moreover, such reflection characteristic measuring apparatus to another one aspect, a spectroscopic portion for dispersing these with any of the reflection characteristic measuring optical system described above, the reflected light of the illumination light received by the light receiving optical system, and a calculation unit for obtaining the reflection characteristic of the sample based on an output of the spectroscopic unit.

このような構成の反射特性測定装置は、これら上述のいずれかの反射特性測定用光学系が用いられるので、校正を行う場合に光量ロスを低減することができ、種々のジオメトリを採用することができる。 Such reflection characteristic measuring apparatus of the construction, since one of the reflection characteristic measuring optical system thereof described above can be used, it is possible to reduce the loss of light quantity when performing calibration, adopt various geometries it can.

また、他の一態様では、上述の反射特性測定装置において、前記試料で反射した前記照明光の前記反射光が入射される測定開口を備える筐体と、前記測定開口を遮光する測定開口用遮光部材とをさらに備える。 Further, in another aspect, the reflection characteristic measuring apparatus described above, the housing having a measuring aperture which the reflected light of the illumination light reflected by the sample is incident, the light-shielding measurement aperture for shielding the measurement aperture further comprising a member.

このような構成の反射特性測定装置は、校正の際に測定開口を測定開口用遮光部材で遮光することができるので、ノイズ光が遮光され、より精度よく校正を行うことができる。 Such reflection characteristic measuring apparatus of the structure, it is possible to shield a light-shielding member for measurement opening measurement aperture during calibration, noise light is blocked, can be performed more accurately calibrated.

この出願は、2011年5月13日に出願された日本国特許出願特願2011−107814を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。 This application is based on Japanese Patent Application No. 2011-107814, filed on May 13, 2011, the contents are intended to be included herein.

本発明を表現するために、上述において図面を参照しながら実施形態を通して本発明を適切且つ十分に説明したが、当業者であれば上述の実施形態を変更および/または改良することは容易に為し得ることであると認識すべきである。 In order to express the present invention, although the present invention was described appropriately and sufficiently through embodiments with reference to the drawings in the above, it is easily to change and / or improve the above embodiments by those skilled in the art it should be recognized that is to be. したがって、当業者が実施する変更形態または改良形態が、請求の範囲に記載された請求項の権利範囲を離脱するレベルのものでない限り、当該変更形態または当該改良形態は、当該請求項の権利範囲に包括されると解釈される。 Accordingly, modifications or improvements embodiment those skilled in the art to practice as long as not intended levels leaving the scope of the claims claimed, the modifications or the refinement, the scope of the claims It is intended to be encompassed by the.

本発明によれば、反射特性測定装置用光学系および反射特性測定装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a reflection characteristic measuring apparatus for optical system and the reflection characteristic measuring apparatus.

Claims (10)

  1. 入射光を拡散反射する標準部材と、 And the standard member for diffusing and reflecting incident light,
    測定対象である試料に照射される照明光の第1光路上の第1校正位置と、前記第1校正位置から退避した第1位置との間で移動可能であって、入射光を反射する第1反射部材と、 A first calibration position of the first optical path of the illumination light irradiated to a sample to be measured, a movable between a first position retracted from the first calibration position, the reflect incident light 1 and the reflecting member,
    前記第1光路上の第2校正位置と、前記第2校正位置から退避した第2位置との間で移動可能であって、入射光を反射する第2反射部材とを備え、 A second calibration position of the first optical path, be movable between a second position retracted from the second calibration position, and a second reflecting member that reflects incident light,
    前記第1反射部材は、前記第1校正位置に配置されている時に、前記照明光を前記標準部材へ反射する第1姿勢であり、 The first reflecting member, when disposed in the first calibration position, a first position for reflecting the illumination light to the standard member,
    前記第2反射部材は、前記第2校正位置に配置されている時に、前記標準部材で反射した前記照明光の拡散反射光を、前記試料で反射した前記照明光の反射光の第2光路と重なるように、反射する第2姿勢であり、 The second reflecting member, when disposed in the second calibration position, the diffuse reflection light of the illumination light reflected by said standard member, and a second optical path of the reflected light of the illumination light reflected by the sample so as to overlap, it is the second attitude that reflects,
    前記試料を測定するための位置として予め設定された測定平面と前記標準部材の拡散反射面とは、前記第1反射部材を対称面とした光学的に対称な関係であること を特徴とする反射特性測定装置用光学系。 Wherein the diffuse reflection surface of the standard member with a preset measurement plane as a position for the sample to measure, and wherein the optically symmetric relationship der Rukoto that said first reflecting member is a plane of symmetry reflection characteristic measuring apparatus for an optical system.
  2. 前記第1反射部材の第1姿勢は、前記第1反射部材に形成された第1反射面が、測定平面および前記第1光路の光軸と前記第2光路の光軸とが成す第1平面の両方に平行な直線を回転軸として傾斜した姿勢であること を特徴とする請求項1に記載の反射特性測定装置用光学系。 The first position of the first reflecting member, the first reflecting surface formed on the first reflecting member, the measuring plane and the first optical path of the optical axis and the second optical path the first plane formed by the optical axis of the reflection characteristic measuring apparatus for optical system according to claim 1 in which both, characterized in that an inclined posture as the rotation axis line parallel to the.
  3. 前記第1反射面と前記測定平面とが成す角の角度は、前記第1反射面と前記標準部材に形成された拡散反射面とが成す角の角度に等しく、 Wherein the angle of the first reflecting surface and the measurement plane and forms the corner is equal to the angle of the corner and the first reflecting surface and the diffuse reflecting surface standard member formed forms,
    前記第1反射面と前記拡散反射面との間の光学的距離は、前記第1反射面と前記測定平面との間の距離に等しいこと を特徴とする請求項2に記載の反射特性測定装置用光学系。 The optical distance between the first reflecting surface and the diffuse reflection surface, the reflection characteristic measuring apparatus according to claim 2, characterized in that equal to the distance between the measurement plane and the first reflecting surface use optical system.
  4. 前記第1反射部材と前記第2反射部材とは、一体であること を特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の反射特性測定装置用光学系。 Wherein the first reflecting member and the second reflecting member, according to claim 1 to the reflection characteristic measuring apparatus for optical system according to any one of claims 3, characterized in that it is integral.
  5. 前記第1反射部材と前記第2反射部材と前記標準部材とを取り付ける取付部材とをさらに備えること を特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の反射特性測定装置用光学系。 Optical reflection characteristic measuring apparatus according to any one of claims 1 to 4 and further comprising an attachment member for attaching the said standard member and the first reflecting member and the second reflecting member system.
  6. 遮光状態と非遮光状態とを切り換え可能であって、前記遮光状態で前記拡散反射面を遮光可能な遮光部材をさらに備え、 A switchable shielding state and a non-shielding state, further comprising a light shielding member capable of shielding the diffuse reflecting surface by the light shielding state,
    前記遮光部材は、前記試料で反射した前記照明光の反射光が前記第2光路に導光される場合には前記遮光状態にあること、 The light shielding member may be a case where the illumination light of the reflected light reflected by the sample is guided to the second optical path is in the light blocking state,
    を特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の反射特性測定装置用光学系。 Reflection characteristic measuring apparatus for optical system according to any one of claims 1 to 4, characterized in.
  7. 前記照明光を放射する光源と、 A light source for emitting said illumination light,
    前記光源で放射された前記照明光を前記試料に照射させる照明光学系と、 An illumination optical system for irradiating the illumination light emitted by the light source to the sample,
    前記試料で反射した前記照明光の前記反射光を受光する受光光学系とをさらに備えること を特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の反射特性測定装置用光学系。 Reflection characteristic measuring apparatus for optical system according to any one of claims 1 to 6, characterized by further comprising a light receiving optical system for receiving the reflected light of the illumination light reflected by the sample.
  8. 前記第1反射部材を前記第1校正位置に対し進退する第1駆動機構と、 A first driving mechanism for advancing and retracting the first reflecting member relative to the first calibration position,
    前記第2反射部材を前記第2校正位置に対し進退する第2駆動機構とをさらに備えること を特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の反射特性測定装置用光学系。 Optics reflection characteristic measuring apparatus according to any one of claims 1 to 7, characterized by further comprising a second drive mechanism for advancing and retracting said second reflecting member with respect to the second calibration position .
  9. 請求項7または請求項8に記載の反射特性測定装置用光学系と、 An optical system for reflection characteristic measuring apparatus according to claim 7 or claim 8,
    前記受光光学系で受光された前記照明光の前記反射光を分光する分光部と、 A spectroscopic unit for spectrally the reflected light of the light-receiving by said illuminating light by the light receiving optical system,
    前記分光部の出力に基づいて前記試料の反射特性を求める演算部とを備えること を特徴とする反射特性測定装置。 Reflection characteristic measuring apparatus, characterized in that it comprises a calculation unit for obtaining the reflection characteristic of the sample based on an output of the spectroscopic unit.
  10. 前記試料で反射した前記照明光の前記反射光が入射される測定開口を備える筐体と、 A housing having a measuring aperture which the reflected light of the illumination light reflected by the sample is incident,
    前記測定開口を遮光する測定開口用遮光部材とをさらに備えること を特徴とする請求項9に記載の反射特性測定装置。 Reflection characteristic measuring apparatus according to claim 9, further comprising a measuring aperture for shielding member for shielding the measurement aperture.
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