KR20070013615A - Lead screw assembly - Google Patents

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KR20070013615A
KR20070013615A KR1020050068047A KR20050068047A KR20070013615A KR 20070013615 A KR20070013615 A KR 20070013615A KR 1020050068047 A KR1020050068047 A KR 1020050068047A KR 20050068047 A KR20050068047 A KR 20050068047A KR 20070013615 A KR20070013615 A KR 20070013615A
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손성국
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삼성전자주식회사
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Abstract

A lead screw assembly is provided to prevent a surface of the lead screw from being eroded by plating the surface of the lead screw using nickel or chrome with high anti-erosion property. A lead screw assembly includes a lead screw(110), a driver(140), and at least one protective cover(200). The lead screw is coupled with an object to be processed and reciprocally moves the object in a straight direction. The driver rotates the lead screw. The protective cover encloses the lead screw, such that an outer periphery of the lead screw is isolated from outside. The protective cover is made of a material, which is contracted and expanded, when the object is moved. The protective cover includes first and second protective covers. The outer periphery of the lead screw is plated with chrome or nickel. Alternatively, the outer periphery of the lead screw is coated using a resin material.

Description

리드 스크류 어셈블리{LEAD SCREW ASSEMBLY}Lead Screw Assembly {LEAD SCREW ASSEMBLY}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리드 스크류 어셈블리를 개략적으로 도시한 구성도이다.1 is a configuration diagram schematically showing a lead screw assembly according to an embodiment of the present invention.

도 2a 및 도 2b는 도 1에 도시된 리드 스크류 어셈블리에 있어서 대상물의 이동에 따른 보호 커버의 동작을 설명하기 위한 도면이다.2a and 2b are views for explaining the operation of the protective cover according to the movement of the object in the lead screw assembly shown in FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 리드 스크류 어셈블리 140 : 구동부100: lead screw assembly 140: drive unit

110 : 리드 스크류 150 : 대상물110: lead screw 150: object

112 : 샤프트 160 : 결합부재112: shaft 160: coupling member

114 : 나사산 170 : 고정부재114: thread 170: fixing member

122, 124 : 지지 부재 200 : 보호 커버122, 124: support member 200: protective cover

132, 134, 136 : 기어 132, 134, 136: gear

본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 회전에 의해 대상물을 직선 왕복 이동시키는 리드 스크류에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor manufacturing equipment, and more particularly, to a lead screw that linearly reciprocates an object by rotation.

리드 스크류는 선반의 왕복대, 광픽업 이송장치의 광픽업 조립체 및 웨이퍼 카세트 등의 특정 대상물을 직선 왕복 이동시키기 위해 사용된다.Lead screws are used to linearly reciprocate certain objects, such as carriages in shelves, optical pickup assemblies in optical pickup transfer devices, and wafer cassettes.

일반적인 리드 스크류 어셈블리는 리드 스크류, 상기 리드 스크류와 결합되어 상기 리드 스크류 상에서 직선 왕복 이동하는 대상물, 그리고 상기 리드 스크류를 회전시키는 구동부를 갖는다.A typical lead screw assembly has a lead screw, an object coupled to the lead screw to linearly reciprocate on the lead screw, and a drive to rotate the lead screw.

상기 리드 스크류는 서스 재질이고, 외주면에는 나사산을 갖는 샤프트 형상을 가지며, 일측에는 상기 리드 스크류를 회전시키는 기어가 결합된다.The lead screw is made of sus material, has a shaft shape having a screw thread on its outer circumferential surface, and a gear for rotating the lead screw is coupled to one side.

상기 기어는 상기 구동부에 의해 회전하며, 그 회전 운동에 의해 상기 샤프트를 회전시킨다. 상기 기어는 적어도 하나이며, 복수개의 기어가 구비되어 유기적으로 맞물려 회전할 수 있다. 그리하여, 상기 구동부가 회전하면 상기 기어의 회전에 의해 상기 샤프트가 회전하고, 상기 샤프트의 회전에 의해 상기 대상물이 이동된다.The gear rotates by the drive unit and rotates the shaft by the rotational movement. The gear is at least one, it is provided with a plurality of gears can be organically meshed to rotate. Thus, when the drive unit rotates, the shaft rotates by the rotation of the gear, and the object is moved by the rotation of the shaft.

상기 대상물은 상기 샤프트에 형성된 나사산에 상응하는 홀이 형성되며, 그 홀에 상기 샤프트가 삽입되어 상기 대상물과 상기 샤프트가 결합된다. 그리하여, 상기 샤프트의 회전에 의해 상기 결합부재에 결합된 상기 대상물이 직선으로 이동된다.The object has a hole corresponding to the thread formed in the shaft, the shaft is inserted into the hole is coupled to the object and the shaft. Thus, the object coupled to the coupling member is moved in a straight line by the rotation of the shaft.

그러나 상술한 구성을 갖는 리드 스크류 어셈블리는 다음과 같은 문제점이 있었다. 일반적인 리드 스크류는 서스(sus)의 재질로 제작된다. 서스로 제작된 리드 스크류는 공기와 장시간 접촉하면 부식되는 특징으로 갖는다. 특히, 반도체 식 각 공정 장치에 사용되는 리드 스크류는 식각 공정에서 사용되는 염산(HCl) 가스 및 산화 브롬(HBr) 가스 등과 같은 물질과 흡착되어 염화암모늄(NH4Cl)의 약산성 물질로 변환되고 이 염화암모늄 등은 대기 중 수분과 반응하여 고결되는 현상으로 인하여 서스부분을 점차 부식시킬 수 있다.However, the lead screw assembly having the above-described configuration has the following problems. Common lead screws are made of sus material. The lead screw made of the susor is characterized by corrosive contact with air for a long time. In particular, the lead screw used in the semiconductor etching process apparatus is adsorbed with a substance such as hydrochloric acid (HCl) gas and bromine oxide (HBr) gas used in the etching process to be converted into a weakly acidic material of ammonium chloride (NH4Cl). The back may gradually corrode the sus part due to solidification by reacting with moisture in the atmosphere.

서스(sus)로 제작되는 리드 스크류에는 부식이 진행되고 그로 인해 리드 스크류 상에서 이동되어야 할 대상물이 이동하지 못하여 반도체 제조 장치가 오동작하거나 정지되는 문제점이 있었다.The lead screw made of sus has a problem in that the semiconductor manufacturing apparatus malfunctions or stops due to the progress of corrosion and thereby the object to be moved on the lead screw.

이에 본 발명은 상기한 종래 기술상의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 부식을 방지하는 리드 스크류를 제공함에 있다. Accordingly, the present invention is to solve the above-mentioned problems in the prior art, the present invention is to provide a lead screw to prevent corrosion.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리드 스크류 어셈블리는 리드 스크류, 특정한 공정을 처리하기 위해 이동되는 대상물, 일측은 상기 대상물와 고정되고 다른 일측은 리드 스크류와 결합되는 결합 부재, 상기 리드 스크류를 회전시키는 구동부, 상기 리드 스크류의 표면을 보호하는 적어도 하나의 보호 커버를 포함한다.The lead screw assembly according to the present invention for achieving the above object is a lead screw, an object to be moved to process a specific process, one side is fixed to the object and the other side is a coupling member coupled to the lead screw, rotating the lead screw At least one protective cover for protecting the surface of the lead screw.

또한, 상기 리드 스크류 어셈블리는 상기 구동부의 회전 운동을 상기 리드 스크류에 유기적으로 맞물려 전달하기 위한 복수의 기어, 상기 리드 스크류의 양측을 지지하기 위한 제 1 및 제 2 지지부재를 더 포함할 수 있다.The lead screw assembly may further include a plurality of gears for organically engaging and transmitting the rotational movement of the driving unit with the lead screw, and first and second support members for supporting both sides of the lead screw.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 리드 스크류 어셈블리를 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상은 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a lead screw assembly according to an embodiment of the present invention. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of elements in the figures is exaggerated to emphasize clear explanation.

(실시예)(Example)

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리드 스크류 어셈블리를 개략적으로 도시한 구성도이다.1 is a configuration diagram schematically showing a lead screw assembly according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 리드 스크류 어셈블리(lead screw assembly)(100)는 리드 스크류(lead screw)(110), 제 1 및 제 2 지지부재(first and second support member)(122, 124), 기어부(gear memeber)(130), 구동부(driving member)(140), 결합부재(connecting member)(160), 고정부재(fixing member)(170), 그리고 보호 커버(protection cover)(200)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a lead screw assembly 100 according to an embodiment of the present invention may include a lead screw 110 and a first and second support member. 122, 124, gear memeber 130, driving member 140, connecting member 160, fixing member 170, and protective cover cover) 200.

리드 스크류(110)는 외주면에 소정의 경사를 갖고 나사산이 형성된 샤프트를 갖는다. 리드 스크류(110)는 외주면이 내부식성이 강한 크롬 또는 니켈 등의 화학약품으로 도금되거나 수지 재질로 코팅되어 부식을 방지할 수 있다. The lead screw 110 has a shaft having a predetermined slope on the outer circumferential surface and formed with a thread. The lead screw 110 may be plated with a chemical such as chromium or nickel having a high corrosion resistance or coated with a resin material to prevent corrosion.

리드 스크류(110)의 양 끝단 각각은 제 1 및 제 2 지지부재(122, 124)에 의해 지지된다. 각각의 제 1 및 제 2 지지부재(122, 124)에는 리드 스크류(110)의 양 끝단이 삽입되는 홈(미도시)이 형성된다. 리드 스크류(110)의 양 끝단은 나사산이 형성되어 있지 않은 소정의 구간이 제공되어 제 1 및 제 2 지지부재(122, 124)에 형성된 홈에 삽입된다. 그리하여, 리드 스크류(110)는 양 끝단이 제 1 및 제 2 지지부재(122, 124) 형성된 홈에 각각 결속되어 지지된다.Both ends of the lead screw 110 are supported by the first and second support members 122 and 124. Each of the first and second support members 122 and 124 is provided with a groove (not shown) into which both ends of the lead screw 110 are inserted. Both ends of the lead screw 110 are provided with a predetermined section in which no thread is formed and inserted into grooves formed in the first and second support members 122 and 124. Thus, both ends of the lead screw 110 are bound to and supported by the grooves formed with the first and second support members 122 and 124, respectively.

결합부재(160)는 대상물(150)이 직선 왕복 운동할 수 있도록 리드 스크류(110)와 대상물(160)을 연결한다. 결합부재(160)의 일 부분은 볼트와 같은 복수의 고정수단(172a, 172b)을 구비하는 고정부재(170)에 의해 대상물(150)과 결합된다. 결합부재(160)의 다른 부분은 리드 스크류(110)가 관통할 수 있는 홀이 형성되고, 그 홈에 리드 스크류(110)가 삽입되어 결합된다. 결합부재(160)에 형성된 홀은 리드 스크류(110)의 나사산에 상응하는 암 나사산이 형성되어 있다. 그리하여, 결합부재(160)는 리드 스크류(110)가 회전하면 리드 스크류(110) 상에서 직선으로 이동되고, 결합부재(160)의 이동에 따라 대상물(150)이 이동된다.The coupling member 160 connects the lead screw 110 and the object 160 to allow the object 150 to linearly reciprocate. One portion of the coupling member 160 is coupled to the object 150 by a fixing member 170 having a plurality of fixing means 172a and 172b such as bolts. The other part of the coupling member 160 is formed with a hole through which the lead screw 110 can pass, and the lead screw 110 is inserted into the groove and coupled thereto. The hole formed in the coupling member 160 has a female thread corresponding to the thread of the lead screw 110. Thus, the coupling member 160 is moved in a straight line on the lead screw 110 when the lead screw 110 is rotated, the object 150 is moved in accordance with the movement of the coupling member 160.

기어부(130)는 제 1 내지 제 3 기어(132, 134, 136)을 포함한다. 제 1 기어(132)는 리드 스크류(110)의 일측에 결합된다. 이 때, 제 1 기어(132)는 결합부재(160)가 리드 스크류(110) 상의 충분한 구간에서 이동될 수 있도록 리드 스크류(110)의 일측 끝단에 인접한 부분에서 결합된다. 제 1 기어(132)는 제 2 기어(134)와 맞물려 회전하며, 제 2 기어(134)는 구동부(140)에 결합된 제 3 기어(136)와 맞물려 회전한다. 그리하여, 제 1 내지 제 3 기어(132, 134, 136)는 구동부(140)가 작동하면 서로 유기적으로 맞물려 회전하여, 리드 스크류(110)가 회전할 수 있도록 제공된다. 여기서, 기어부(130)의 수가 증가할수록 구동부(140)가 회전 운동할 때 발생하는 회전력의 저항이 감소하고, 보다 정밀한 대상물(150)의 이동을 제어할 수 있다.The gear unit 130 includes first to third gears 132, 134, and 136. The first gear 132 is coupled to one side of the lead screw 110. At this time, the first gear 132 is engaged in a portion adjacent to one end of the lead screw 110 so that the coupling member 160 can be moved in a sufficient section on the lead screw 110. The first gear 132 meshes with the second gear 134 to rotate, and the second gear 134 meshes with the third gear 136 coupled to the driving unit 140 to rotate. Thus, the first to third gears 132, 134, and 136 are provided to allow the lead screw 110 to rotate by organically meshing with each other when the driving unit 140 operates. Here, as the number of the gear units 130 increases, the resistance of the rotational force generated when the driving unit 140 rotates may decrease, and the movement of the object 150 may be more precisely controlled.

구동부(140)는 모터와 같은 구동수단으로서 제 3 기어(136)를 회전시킨다. 구동부(140)는 전원을 공급하는 전원 공급원(10)과 연결되며, 그 전원 공급원(10)은 제어부(20)와 연결되어 있다. 제어부(20)는 전원 공급원(120)이 구동부(140)에 공급하는 전원을 제어하여 구동부(140)의 회전 운동을 조절한다. 즉, 제어부(20)는 전원 공급원(10)을 제어함으로서 구동부(140)의 회전 운동을 조절하며, 그에 따라 결합부재(160)의 직선 왕복 운동을 조절하게 된다.The driving unit 140 rotates the third gear 136 as a driving means such as a motor. The driving unit 140 is connected to a power supply source 10 for supplying power, and the power supply source 10 is connected to the control unit 20. The controller 20 adjusts the rotational movement of the driver 140 by controlling the power supplied from the power source 120 to the driver 140. That is, the control unit 20 adjusts the rotational movement of the driving unit 140 by controlling the power supply 10, thereby adjusting the linear reciprocating motion of the coupling member 160.

대상물(150)은 결합부재(160)와 결합된다. 대상물(150)은 특정 공정을 처리하기 위한 구성이다. 예컨대, 대상물(150)은 반도체 제조 공정에 사용되는 웨이퍼 카세트, 웨이퍼의 유무를 감지할 수 있는 웨이퍼 매핑 장치, 반도체 공정에 사용되는 챔버 내부에 구비되는 히터 블럭, 웨이퍼가 안착되는 척, 그리고 각종 센서등을 포함하는 감지 수단 등을 포함할 수 있으며, 그 밖에도 특정 공정을 수행하기 위해 직선 왕복 운동 하는 모든 구성물을 포함할 수 있다.The object 150 is coupled with the coupling member 160. The object 150 is a component for processing a specific process. For example, the object 150 may be a wafer cassette used in a semiconductor manufacturing process, a wafer mapping device capable of detecting the presence of a wafer, a heater block provided in a chamber used in a semiconductor process, a chuck on which a wafer is placed, and various sensors. It may include a sensing means and the like, and the like, and may also include all the components in a linear reciprocating motion to perform a specific process.

보호커버(200)는 제 1 및 제 2 보호커버(202, 204)를 포함하며, 리드 스크류(110)를 외부에서 감싸도록 구비된다. 보호커버(200)는 고무 재질로서, 벨로우즈(bellows)와 같이 다수의 주름을 가지며, 결합부재(160)의 이동에 따라 수축 및 팽창한다. 제 1 보호커버(202)는 결합부재(160)와 제 1 지지부재(122) 사이에 구비되고, 제 2 보호커버(204)는 결합부재(160)와 제 2 지지부재(124) 사이에 구비된다. 보호커버(200)는 리드 스크류(110)의 외주면이 외부 공기와 접촉하는 것을 방지하여 리드 스크류(110)의 표면이 부식되는 것을 방지한다.The protective cover 200 includes first and second protective covers 202 and 204 and is provided to surround the lead screw 110 from the outside. The protective cover 200 is a rubber material, and has a plurality of wrinkles such as bellows, and contracts and expands as the coupling member 160 moves. The first protective cover 202 is provided between the coupling member 160 and the first support member 122, the second protective cover 204 is provided between the coupling member 160 and the second support member 124. do. The protective cover 200 prevents the outer circumferential surface of the lead screw 110 from contacting the outside air to prevent the surface of the lead screw 110 from corroding.

이하, 상기와 같은 구성을 갖는 리드 스크류 및 이를 구비하는 어셈블리의 동작을 설명한다.Hereinafter, the operation of the lead screw having the configuration as described above and the assembly having the same.

도 2a 및 도 2b는 도 1에 도시된 어셈블리에 있어서 대상물의 이동에 따른 보호 커버의 동작을 설명하기 위한 도면이다.2a and 2b are views for explaining the operation of the protective cover according to the movement of the object in the assembly shown in FIG.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 구동부(140)에 전원을 공급하는 전원 공급원(10)은 제어부(20)에 의해 제어된다. 제어부(20)는 대상물(150)의 이동을 감지하는 감지부(미도시됨)가 전송하는 신호를 수신한다. 감지부는 대상물(150)의 일측 또는 어셈블리(100)가 구비되는 설비(미도시)에 구비될 수 있다.2A and 2B, a power supply source 10 for supplying power to the driving unit 140 is controlled by the control unit 20. The controller 20 receives a signal transmitted by a detector (not shown) that detects the movement of the object 150. The sensing unit may be provided at one side of the object 150 or a facility (not shown) provided with the assembly 100.

감지부는 대상물(150)이 특정 공정을 수행하는 것을 단계별로 감지하게 되며, 이러한 단계별로 동작하는 대상물(150)의 위치를 감지하여 이를 제어부(20)에 전송한다. 제어부(20)는 전원 공급원(10)을 제어하여, 구동부(140)를 동작한다. 구동부(140)는 제 3 기어(136)를 회전시키며, 이 때, 구동부(140)는 제 3 기어(136)의 회전 방향을 전환할 수 있다. The sensing unit detects the object 150 performing a specific process step by step, and detects the position of the object 150 operating in such a step and transmits it to the control unit 20. The control unit 20 controls the power supply source 10 to operate the driving unit 140. The driving unit 140 rotates the third gear 136, and at this time, the driving unit 140 may switch the rotation direction of the third gear 136.

만약, 제어부가 대상물(150)을 제 1 지지부재(122)의 일측으로 이동하는 단계를 판단하면, 제어부(20)는 전원 공급원(10)을 제어하며, 전원을 공급받은 구동부(140)는 제 3 기어(136)를 회전시킨다. 제 3 기어(136)는 제 2 기어(134)와 맞물려 결합되어 있으므로 서로 회전하게 되며, 제 2 기어(134) 또한 리드 스크류(110)와 결합된 제 1 기어(132)를 회전시키게 된다.If the controller determines a step of moving the object 150 to one side of the first support member 122, the controller 20 controls the power supply source 10, and the driving unit 140 that receives the power supplies 3 Rotate the gear 136. Since the third gear 136 is engaged with the second gear 134 and rotates with each other, the second gear 134 also rotates the first gear 132 coupled with the lead screw 110.

리드 스크류(110)가 회전하면, 결합부재(160)는 제 1 지지부재(122) 방향으로 직선 이동하며 결합부재(160)의 이동에 따라 대상물(150)도 이동하게 된다. 여 기서, 제 1 보호커버(202)는 결합부재(160)가 이동되면서 수축되며, 반대로 제 2 보호커버(204)는 신장하게 된다.When the lead screw 110 rotates, the coupling member 160 moves linearly in the direction of the first support member 122 and the object 150 also moves in accordance with the movement of the coupling member 160. Here, the first protective cover 202 is contracted while the coupling member 160 is moved, on the contrary, the second protective cover 204 is extended.

이와 반대로 도 2b를 참조하여, 제어부(20)가 대상물(150)을 제 2 지지부재 (124)의 일측으로 이동하는 단계를 판단하면, 제어부(20)는 전원 공급원(10)을 제어하며, 전원을 공급받은 구동부(140)는 제 3 기어(136)를 다른 방향으로 회전시킨다. 그리하여, 제 3 기어(136)는 제 2 기어(134) 및 제 1 기어(132), 그리고 리드 스크류(110)와 서로 유기적으로 회전하게 되어 결합부재(160)는 제 2 지지부재 (124)의 일측으로 이동된다. 여기서, 제 1 보호커버(202)는 결합부재(160)가 이동되면서 신장되며, 반대로 제 2 보호커버(204)는 수축하게 된다.On the contrary, referring to FIG. 2B, when the controller 20 determines the step of moving the object 150 to one side of the second support member 124, the controller 20 controls the power source 10, and The driving unit 140 receives the rotation of the third gear 136 in another direction. Thus, the third gear 136 is organically rotated with the second gear 134 and the first gear 132, and the lead screw 110 so that the coupling member 160 of the second support member 124 It is moved to one side. Here, the first protective cover 202 is extended while the coupling member 160 is moved, on the contrary, the second protective cover 204 is contracted.

그리하여, 보호커버(200)는 리드 스크류(110)의 외부에서 리드 스크류(110)가 외부 공기와 접촉하는 것을 방지하여 부식되는 것을 막는다. 또한, 리드 스크류(110)의 표면을 크롬 또는 니켈 등의 화학약품으로 도금되거나 수지 재질로 코팅하여 내부식성을 더욱 향상시킬 수 있다.Thus, the protective cover 200 prevents the lead screw 110 from contacting the outside air outside the lead screw 110 to prevent corrosion. In addition, the surface of the lead screw 110 may be plated with a chemical such as chromium or nickel or coated with a resin material to further improve corrosion resistance.

이상에서, 본 발명에 따른 리드 스크류 어셈블리의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다. 예컨대, 결합부재가 없이 대상물이 바로 리드 스크류에 결속되거나, 구동부가 복수의 기어 없이 직접 리드 스크류를 회전하는 경우 등의 단순한 실시예의 변경은 본 발명의 기술적 사상에 포함된다.In the above, the configuration and operation of the lead screw assembly according to the present invention has been shown in accordance with the detailed description and drawings, which are merely described by way of example, and various changes and modifications may be made without departing from the spirit of the present invention. It is possible. For example, changes in simple embodiments, such as a case where an object is directly bound to the lead screw without a coupling member, or the drive unit directly rotates the lead screw without a plurality of gears, are included in the technical idea of the present invention.

본 발명에 따른 리드 스크류 및 이를 구비하는 어셈블리에 따르면, 리드 스크류 표면의 부식 방지를 위한 보호 커버를 제공함과 동시에 리드 스크류의 표면을 내부식성이 뛰어난 니켈 및 크롬으로 도금하거나 수지 계열의 재질로 코팅한다.According to the lead screw and the assembly having the same according to the present invention, while providing a protective cover for preventing corrosion of the lead screw surface, the surface of the lead screw is plated with nickel and chromium having excellent corrosion resistance or coated with a resin-based material. .

그리하여, 리드 스크류가 부식되어 발생하는 오동작 및 작동 정지에 의한 설비 가동률의 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다.Therefore, there is an effect that the fall of the facility operation rate by the malfunction and the stoppage | operation which generate | occur | produces by corrosion of a lead screw can be prevented.

Claims (6)

리드 스크류 어셈블리에 있어서,In a lead screw assembly, 대상물과 결합되어 상기 대상물을 직선 왕복 운동시키는 리드 스크류와;A lead screw coupled to an object to linearly reciprocate the object; 상기 리드 스크류를 회전시키는 구동부와;A drive unit for rotating the lead screw; 상기 리드 스크류의 외주면을 외부와 격리하도록 상기 리드 스크류를 감싸는 적어도 하나의 보호 커버가 구비되는 것을 특징으로 하는 리드 스크류 어셈블리.And at least one protective cover surrounding the lead screw to isolate the outer circumferential surface of the lead screw from the outside. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보호 커버는 상기 대상물의 이동에 따라 수축 및 팽창되는 재질인 것을 특징으로 하는 리드 스크류 어셈블리.The protective cover is a lead screw assembly, characterized in that the material is contracted and expanded in accordance with the movement of the object. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보호 커버는,The protective cover, 상기 리드 스크류에 체결된 상기 대상물을 중심으로 상기 리드 스크류의 일측 표면을 보호하는 제 1 보호 커버와 상기 리드 스크류의 타측 표면을 보호하는 제 2 보호 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 스크류 어셈블리.And a first protective cover for protecting one surface of the lead screw around the object fastened to the lead screw, and a second protective cover for protecting the other surface of the lead screw. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 리드 스크류의 외주면은 크롬 또는 니켈로 도금되는 것을 특징으로 하 는 리드 스크류 어셈블리.Lead screw assembly, characterized in that the outer peripheral surface of the lead screw is plated with chromium or nickel. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 리드 스크류의 외주면은 수지 재질로 코팅되는 것을 특징으로 하는 리드 스크류 어셈블리.Lead screw assembly, characterized in that the outer peripheral surface of the lead screw is coated with a resin material. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 대상물은 복수의 웨이퍼들을 수용하는 카세트인 것을 특징으로 하는 리드 스크류 어셈블리.And the object is a cassette for receiving a plurality of wafers.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20130133380A (en) * 2012-05-29 2013-12-09 엘지이노텍 주식회사 Swiveling actuator
KR200495076Y1 (en) * 2020-09-24 2022-02-28 시종욱 Hose winding device equipped with bellows pipe for foreign matter removal device
KR20220141504A (en) * 2021-04-13 2022-10-20 현대삼호중공업 주식회사 Support zig for over-head welding

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130133380A (en) * 2012-05-29 2013-12-09 엘지이노텍 주식회사 Swiveling actuator
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