KR20070011542A - 연속 열 진공 증착 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 고체 또는 액체 코팅 물질을 증기화하고 증착 장치내에서 기판상에 증기화된 코팅 물질을 기상-증착함으로써, 증착 채널내에서 이동하는 연속 이송 기판에 열적 진공-증착하기 위한 코팅 방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은, 연속적으로 이송되는 기판을 열적으로 진공-증착하기 위한 코팅 방법을 제공하는 것이며, 이때 증기화 장치에 대한 접근성이 개선되고, 증착 챔버 및 증기화 장치내에서 이루어지는 프로세스들이 서로 독립적으로 제어될 수 있다. 상기 목적은, 증발기를 이용하여 증착 챔버의 외부에 위치된 하나 이상의 증기화 장치내에서 코팅 물질을 증발시킴으로써, 달성되며, 상기 증발기와 증착 채널 사이의 스팀 공급이 조정된다.

Description

연속 열 진공 증착 장치 및 방법{CONTINUOUS THERMAL VACUUM DEPOSITION DEVICE AND METHOD}

본 발명은 고체 또는 액체 코팅 물질을 기화시키고 상기 기화된 코팅 물질을 증착 장치내의 기판상에 기상-증착시킴으로써 증착 채널내에서 이동하는 연속 이송 기판에 열적 진공-증착하는 코팅 방법에 관한 것이다.

또한, 본 발명은 증착 챔버내에서 연속적으로 이송되는 기판을 진공-증착하기 위한 코팅 장치에 관한 것으로서, 상기 장치내에는 기판을 둘러싸는 증착 채널이 위치되고, 상기 증착 채널에는 증기화 장치가 연결된다.

진공에서 열 증기 코팅하는 코팅 방법 및 시스템이 공지되어 있다. 예를 들어, EP 0 735 157에는 마그네슘(Mg)의 증기화 방법이 개시되어 있다. 그 방법은 좁은 개구부를 구비하고 반사판이 상기 개구부 외부에 위치된 수용기(receptacle)내의 Mg 공급원을 포함한다. 상기 수용기는 670℃ 내지 770℃로 가열되고, 그 온도에서 Mg 공급원이 용융되고 그에 따라 Mg가 기화된다. Mg가 배출될 때, 반사판상의 클러스터 및 스플래시(clusters and splashes)가 500℃ 이상의 온도에서 소멸되고, Mg 스팀(steam)이 500℃ 이상으로 가열된 채널에 의해 수용기의 배출구로부터 채널 출구에 위치된 기판 시트까지의 경로를 따른다. 또한, Mg 스팀이 수용기 의 배출구로부터 기판 시트까지 채널을 통해 이송된다.

일반적으로, 정적인 시스템과 연속적인 시스템 사이에는 차이가 있다. 정적인 방법에서, 기판의 공급은 간헐적이며, 기판의 규칙적인 교체에 의해 후속 코팅 프로세스를 위한 새로운 코팅 물질의 규칙적인 적층이 가능한 반면, 연속적인 방법에서는 기판이 코팅 장치를 통해 연속적으로 이송된다. 연속적인 프로세스가 중단되지 않도록 그리고 장치의 경제적인 이용을 위해서, 하나 이상의 기판 유닛의 중단 없이 충분한 코팅 물질을 코팅 장치에 공급하는 것, 예를 들어 릴(reel)이 필요하다.

증기화 장치의 크기, 즉 증기화된 코팅 물질의 단위 시간당 양은 기판의 이송 속도 및 크기와 직접적으로 관련되며; 또한 다량의 스팀 이용은 보다 큰 즉, 보다 높은 증착 챔버를 필요로 한다. 이와 관련하여, 수익성은 시스템의 크기 및 증기화 장치의 크기와 직접적으로 관련되며, 이는 코팅 물질의 공급 및 관련 수익성으로 인해 전술한 연속 코팅 시스템을 제한한다.

연속 기판 이송 시스템에서, 작은 기판 치수로 인해서 그리고 그러한 작은 기판의 제어가 결과적으로 쉽다는 이유로 증착 챔버내에 증기화 장치를 배치하는 것이 편리한 것으로 간주되어 왔다. 그러나, 이러한 방식은 특히 기판 치수가 큰 경우에 많은 단점을 가진다. 증기화 장치 크기의 넓은 공간 요건으로 인해, 경제적으로 유리한 시스템은 평면에 걸친 확장과 관련하여 넓은 범위를 가진다.

특히, 증착 챔버내에서 그리고 증기화 장치내에서 서로 독립적으로 이루어지는 프로세스의 제어는 그들의 접근성으로 인해 충분할 정도로 용이하지 않다. 증 기화 장치에 대한 유지 보수 작업은 필수적으로 시스템의 정지를 필요로 하고, 증기화 장치가 일체형 부품이고 접근이 용이하지 않기 때문에, 그러한 유지 보수 작업은 불편하고 상당한 노력을 필요로 한다. 또한, 부품을 개선하거나 또는 추가적인 모듈을 부가함으로써 증기화 장치를 변경하는 것이 불가능하다. 또한, 연속적으로 이송되는 기판의 코팅에서 특히 필요한 코팅 물질의 연속적인 공급은 상당한 비용을 들여야만 가능하다.

따라서, 본 발명의 목적은 연속적으로 이송되는 기판을 열적으로 진공-증착하기 위한 코팅 장치 및 방법을 제공하는 것이며, 이때 증기화 장치에 대한 접근성이 개선되고, 증착 챔버 및 증기화 장치내에서 이루어지는 프로세스들이 서로 독립적으로 제어될 수 있다.

본 발명의 방법에 따라, 증발기를 이용하여 증착 챔버의 외부에 위치된 하나 이상의 증기화 장치내에서 코팅 물질을 증발시킴으로써, 이러한 목적이 달성되며, 상기 증발기와 증착 채널 사이의 스팀 공급이 조정된다.

본 발명은 모든 적절한, 적어도 스팀-기밀형(steam-tight), 조정 옵션(regulating option)을 제공한다. 따라서, 예를 들어, 조정 기능이 증기-기밀형이라는 제한으로 인해 단순한 실링 플레이트(sealing plate)를 이용할 수 있을 것이며, 이 경우에 조정이 개방 및 폐쇄 상태로 제한된다.

증착 챔버 외부의 증기화 장치의 위치는, 스팀 방출 개구부의 완전한 밀폐를 의미하는 본 발명에 의해 제안된 조정 옵션과 결합되어, 증발기로의 접근을 가능하게 하면서도, 동시에 증착 채널내의 프로세스 조건을 유지할 수 있게 한다. 따라서, 증발기가, 예를 들어, 새로운 코팅 물질을 공급받는 동안에도, 기판이 증착 채널내에서 유지될 수 있다.

또한, 증기화 장치 및 증착 챔버의 이러한 공간적으로 분리된 위치에 의해, 특히 진공 조건 및 온도 제어와 관련한 프로세스의 독립적인 제어가 가능해지는데, 이는 프로세스 조건들의 이러한 개별적인 제어 요소가 공간적으로 분리되거나 또는 적어도 공간적으로 분리된 방식으로 실행할 것을 선택할 수 있기 때문이다. 이로 인해, 코팅 시스템의 두 개의 주요 구성 부품들 사이의 연결의 스팀-기밀형 조정 및 분리 개방 가능성은 또한 독립적으로 제어되는 진공 조건들을 필요로 한다.

본 발명의 특히 편리한 배치에 따라, 배출구측의 증발기 다음에 위치된 스팀 트랩(trap) 밸브를 통해, 스팀 공급의 조정이 편리하게 이루어진다. 이와 관련한 조정은 배출구와 비-배출구(no outlet) 사이의 전환(switching) 및 스팀량의 정량공급(dosing) 모두에 영향을 미친다. 또한, 프로세스 압력 및 온도를 조정함으로써 증기화 분량의 정량화가 가능해진다.

본 발명의 하나의 디자인에서, 증기화 코팅 물질이 증발기로부터 증기화 장치내의 스팀 수집 장치내로 공급된다.

특히, 증기화 장치마다 다수의, 즉 3, 4, 5 또는 그 이상의 증발기가 제공되는 경우에, 작동중에 각각의 증착 챔버로부터의 증기화된 코팅 물질을 조합하고 이러한 조합된 부피로부터 증착 챔버내로 공급하는 것이 동일한 증기량의 측면에서 바람직하다. 이러한 방식에서, 스팀 수집 장치의 측정된 부피가 충분히 크다면, 새로운 장입(charging)에 의해 유발된 스팀 공급의 요동이나 심지어는 중단에 대해서도 보상이 가능할 것이다. 이를 위해, 스팀 수집 장치가 또한 배기되고 가열되어, 증기화된 코팅 물질이 벽에서 석출(precipitate)되지 않게 한다.

연속적인 장입의 경우에 증기화된 코팅 물질이 증발기로부터 증착 챔버로 이송되는 것이 바람직하고, 고체 또는 액체 코팅 물질을 장입하는 경우에 증발기와 증착 채널 사이의 스팀 공급이 방지된다.

둘 이상의 증발기가 배치되고 그 증발기의 스팀 트랩 밸브가 서로 독립적으로 제어되는 것이 특히 편리하다.

증발기가 다수 개인 경우에, 증기화 프로세스 작동중에, 개방 증발기의 개수에 의한 단계화된 공급 정량이 달성되며, 이는 또한 특별한 기판 위치 또는 특별한 코팅 프로파일을 고려할 수 있게 허용하며, 각 증발기의 현재 작동 상태에 대해 비교적 독립적인 증착 채널로의 특히 균일한 스팀 공급을 가능하게 한다.

그러나, 작동중에, 밴드-형 기판은 증착 채널을 통해 대량으로 그리고 대칭적으로 연장한다. 증착 채널의 연속적인 장입을 위해, 특히 바람직한 배치상태와 협력하여 하나 이상의 증발기가 차례로 작동되어야 하며, 스팀 공급중에 증착 채널내에 위치되어야 하며, 새로운 코팅 물질의 장입을 위해, 장입되는 증발기의 스팀 공급이 방지된다. 이는 경제적으로 바람직하고, 영구적이며, 연속적인 증착 프로세스를 가능하게 한다.

단위 시간당 보다 많은 양의 표면을 코팅하기 위해, 본 발명의 다른 버전은 증착 채널의 연속적인 장입을 위해 4개의 증발기를 포함하며, 그 중 3개는 증착 채널과 함께 스팀 공급부내의 증기화된 코팅 물질과 항상 교대로 연결되며, 그에 따라, 고체 및/또는 액체 코팅 물질을 장입할 때, 장입되는 중발기에 대한 스팀 공급이 중단된다. 이 경우에, 보다 많은 양의 증발된 코팅이 작동중인 모든 증발기에 의해 제공될 수 있고, 하나의 증발기만이 새로운 코팅 물질로 장입된다.

하나의 증기화 장치 장치내의 4 개 이상의 증발기를 가지는 구성은 또한 추가적인 증발기 모듈을 포함하는 확장 옵션 뿐만 아니라 사용과 관련한 보다 큰 탄력성을 제공한다.

하나의 바람직한 디자인에서, 증기화된 코팅 물질을 증착 채널에 장입하는 것이 두 개의 증기화 장치를 이용하여 이루어진다. 이 경우에, 증착 채널에는 바람직하게 서로 반대쪽에 위치하는 2 곳에서 증기화된 코팅 물질이 공급된다. 코팅 물질은 서로 상이한 방향으로부터 유입되고, 이는 증착 채널내에서 최적의 분포를 가능하게 한다.

본 발명의 다른 디자인에서, 증착 채널을 증기화된 코팅 물질로 장입하는 것이 증착 채널과 증착 장치 사이에 정렬된 하나의 스팀 인송 라인을 통해 이루어진다. 동일하고 충분한 증기화된 코팅 물질의 공급을 보장하기 위한 이송 라인의 요건이 획득되며, 그러한 이송 라인의 요건은 증착 채널로의 이송 라인에 의한 필요 출력에 대응하며, 한편으로는 이송 라인내의 증발기측에서 발생되고 증기화 장치내의 증기화된 코팅 물질의 양에 의해 특정되며, 다른 한편으로는 기판상에서 그리고 증착 채널내의 이송라인의 타단부에서 응축되어 부피가 작은 코팅 물질의 양에 의해서 특정된다. 응축물의 양은 기판의 이송 속도 및 폭에 의해서 그리고 물리적 프로세스 파라미터에 의해서 규정된다.

배열과 관련하여, 본 발명의 기본적인 목적은 증기화 장치 장치를 증착 챔버로부터 거리를 두고 배치함으로써 달성된다. 이러한 공간적 분리는 시스템의 두 개의 주요 부품의 최적의 구조적 분리를 가능하게 하고, 그들이 모듈형으로 배치될 수 있게 한다. 특히, 증발기가 다수인 경우에, 이는 본 발명의 추가적인 배치 즉, 공간적 분할을 가능하게 하며, 그에 따라 코팅 물질의 중요 부품 예를 들어, 증착 챔버에 대한 필요 연결 베이스의 크기가 증착에 필요한 증착 챔버의 크기만큼 본질적으로 감소된다. 증기화 장치는 증착 챔버로부터 거리를 두고 설치되고, 필요한 경우에, 이용가능한 자유 공간내의 여러 위치에서 위성-형태로 위치되며, 본 발명의 특히 바람직한 배열과 함께, 하나 이상의 스팀 이송 라인을 이용하여 증착 챔버에 연결된다.

물질 손실을 최소화하기 위해서 그리고 코팅 조건이 재생될 수 있도록 하기 위해서, 스팀 이송 라인 또는 이송 라인들은, 스팀 수집 장치 및 증착 챔버에서와 같이, 진공하에서 그리고 가열되어 작동되며, 그에 따라 가열이 바람직하게 완료된다. 가열된 벽의 충분히 높은 온도가 현재 프로세스에서 내측 벽에 충돌하는 스팀이 역-증기화되게(reverse-vaporized) 할 수 있을 것이며, 내측 벽의 온도가 높을 수록, 이러한 효과는 더욱 클 것이다. 스팀 이송 라인은 증착 채널과 증기화 장치 사이에 스팀-밀봉 방식으로 부착된다. 만약 증기화 장치가 다른 바람직한 디자인 형태와 함께 스팀 수집 장치를 포함한다면, 스팀 이송 라인이 거기에 연결된다. 이는 여러 병합 및, 그 대신에, 전술한 바와 같은 연결이 공간적 거리에 걸쳐 실행될 수 있도록 한다.

이러한 이유로, 스팀 수집 장치가 증발기들 사이의 중심에 위치되고, 한편으로는 상기 증발기들에 연결되고, 다른 한편으로는 적어도 간접적으로 증착 장치와 연결된다. 스팀 수집 장치는 바람직하게 전체 범위에 걸쳐 가열될 수 있으며, 또한 배기될 수도 있다.

몇 개, 예를 들어 4개의 증발기를 하나의 증기화 장치내에 위치시키는 것은 사용과 관련하여 큰 탄력성을 제공하며, 증발기 활성(active)중에 즉, 작동중에 대량의 증기화된 코팅 물질을 제공한다. 두 개의 증기화 챔버가 스팀 수집 장치의 세장형 디자인의 반대쪽 양 측부에 설치된다. 바람직하게, 증기화 챔버는 세장형 스팀 수집 장치에 교차되어 연장된다. 스팀 수집 장치 및 증발기들이 스팀 트랩 밸브를 통해 서로 연결되는 것이 바람직하다.

이하에서는, 디자인 예를 이용하여 본 발명의 보다 구체적으로 설명한다. 첨부 도면에서, 본 발명에 따라 외부 증발 장치를 구비한 코팅 장치의 수평 단면을 도시한다.

도 1 은 본 발명에 따른 코팅 장치(1)의 단면도이다.

도 1 에는 증착 챔버(2), 및 상기 증착 챔버와 거리를 두고 있는 외부 증기화 장치(3)를 구비하는 본 발명에 따른 코팅 장치(1)가 도시되어 있다. 증착 챔버(2)는 이 경우에 스팀 이송 라인(4)을 이용하여 증기화 장치(3)와 연결되고, 그 에 따라 증기화 장치(3)가 스팀 이송 라인(4)상에 위치된다.

증기화 장치(3)는 채널-형 중앙 스팀 수집 장치(5) 및 4 개의 증발기(6)를 포함한다. 상기 증발기(6)는 스팀 수집 장치(5)로부터 측방향으로 연장되며, 스팀 수집 장치(5)에 의해 하나의 높이에서 서로에 대해 대향되는 쌍으로 정렬된다.

각각의 증기화 챔버(8)는 전기 가열 장치(7)에 의해 가열될 수 있는 증발기(6)를 포함한다. 증발기(6) 및 증기화 챔버(8) 내부의 진공화 프로세스가 제공된다.

고체 코팅 물질(10), 예를 들어 마그네슘을 구비하는 도가니(9)가 증발기내부에 위치된다. 증발기(6)는 제어가능한 스팀 트랩 밸브(11)를 통해 스팀 수집 장치(5)와 연결된다.

스팀 수집 장치(5)는 튜브-형 채널과 같이 성형되고 전기 가열 장치(7)에 의해 완전히 둘러싸인다. 스팀 이송 라인(4)의 증착 챔버 단부가 증착 채널(13)로 연장되고 노즐(12)로서 성형된다.

노즐(12)이 증착 채널(13)의 일 측부로 유입되고, 상기 노즐은 내부가 직육면체 공동으로 성형된다. 밴드-형상 기판(14)이 증착 채널(13)내로 이송되고, 작동중에 상기 기판은 중공의 직육면체 증착 채널(13)내에 대칭적으로 정렬된다. 노즐(12)이 중간 지점에서 증착 채널(13)로 들어간다. 가열 장치(7)가 증착 채널(13) 둘레에 부착된다.

본 발명에 따라, 코팅 장치(1)가 증착 챔버(2)로 연결되는 스팀 이송 라인(4)을 통해 3 개의 증기화 챔버(8)로부터 완전히 밀폐된 진공 챔버를 구비한다.

방법과 관련하여:

코팅 방법은, 코팅 물질(10)로서의 고체 마그네슘을 증기화시키고 그리고 증기화된 코팅 물질(10)을 증착 채널(13)내에서 연속적으로 이송되는 기판(14)상에 증착함으로써, 밴드-형상 기판(14)을 연속 열 진공-증착한다.

각각의 증기화 챔버(8)가 고체 코팅 물질(10)로 배기되며, 증발기(6)가 충분히 가열된다. 코팅 물질(10)이 증발되었을 때, 스팀 트랩 밸브(11)가 개방되고 스팀 수집 장치(5)로의 접근을 제공한다. 코팅 물질(10)이 고체상태로부터 증기화된 형태로 변화되었을 때의 부피 증가로 인해, 다른 증기화된 코팅 물질(10)이 뒤로부터 전방으로 계속적으로 밀어내고 이송 장치가 전방으로 진행된다.

증기화 프로세스 중에, 4 개의 증발기(6) 중 3개가 항상 작동중이며, 즉 스팀 트랩 밸브(11)가 개방되고 고체 코팅 물질(10)이 증기화된 물질로 전환된다. 이 경우에, 4번째 증발기(6)가 작동중이 아니며, 도가니(9)에 추가적인 고체 코팅 물질(10)이 장입되고, 이어서 증발기(6)가 배기되고 가열된다. 이러한 증발기(6)가 작동 준비되었을 때, 스팀 트랩 밸브(11)가 개방되고 3 개의 증발기(6) 중 다른 하나가 작동 중단되고 장입된다. 회전 사이클이 변화된다.

증기화 장치(3)의 작동중인 증발기(6)로부터 스팀 트랩 밸브를 통해 스팀 수집 공간(5)으로 공급되고 가열된 증기화된 코팅 물질(10)이 충분하게 가열된 스팀 이송 라인(4)을 통해 흐르고, 충분히 가열된 노즐(12)을 통해 가속되며, 증착 채널(13)내로 이송된다. 코팅 물질(10)에 따라 달라지는 적절한 가열 온도를 선택함으로써, 그리고 증발기(6), 스팀 수집 장치(5), 스팀 이송 라인(4), 노즐(12) 및 증착 채널(13)의 표면 온도를 선택함으로써, 고체 코팅 물질(10)이 내측 벽상에 증착되는 것을 방지하도록, 내측 벽에 증착된 증기화된 코팅 물질(10)이 역-증기화된다.

충분히 가열되고 배기된 증착 채널(13)내로 유입되는 증기화된 코팅 물질(10)이 증착 채널(13)을 통해 이송되는 저온의 밴드-형상 기판(14)상에 증착된다.

본 발명의 코팅 방법은 극히 많은 증기를 이용하는 완전히 연속적인 프로세스를 제공한다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1. 코팅 장치

2. 증착 챔버

3. 증기화 장치

4. 스팀 이송 라인

5. 스팀 수집 장치

6. 증발기

7. 가열 장치

8. 증기화 챔버

9. 도가니

10. 코팅 물질

11. 스팀 트랩 밸브

12. 노즐

13. 증착 채널

14. 기판

Claims (14)

1. 고체 및/또는 액체 코팅 물질을 증기화하고 증착 장치내에서 기판상에 증기화된 코팅 물질을 기상-증착함으로써, 증착 채널내에서 이동하는 연속 이송 기판에 열적 진공-증착하기 위한 코팅 방법에 있어서,

   상기 코팅 물질(10)이 증착 챔버(2) 외부에 위치된 하나 이상의 증기화 장치(3)내에서 증기화 장치 마다 하나 이상인 증발기(6)에 의해서 증기화되며, 상기 증발기(6)와 상기 증착 채널(13) 사이의 스팀의 공급이 조정되는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 증발기(6)상의 배출구에 의해서 위치된 스팀 트랩 밸브(11)를 이용하여 상기 조정을 실시하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
3. 제 1 항 및 제 2 항에 있어서, 상기 증발기(6)로부터의 증기화된 코팅 물질이 상기 증기화 장치(3)의 일부인 스팀 수집 장치(5)로 전달되는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 연속적인 장입 경우에, 상기 증기화된 코팅 물질(10)이 증발기(6)로부터 증착 채널(13)로 이송되고, 고체 및/또는 액체 물질(10)의 장입 경우에, 증발기(6)와 증착 채널(13) 사이의 스팀 공급이 방지되는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 둘 이상의 증발기(6)가 위치되고, 상기 증발기들의 스팀 트랩 밸브(11)가 서로 독립적으로 제어되는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
6. 제 5 항에 있어서, 증기화된 코팅 물질을 증착 챔버(2)로 연속적으로 장입하는 경우에, 증발기(6)들이 증착 채널(13)로의 스팀 공급을 교대적으로 실시하며, 고체 및/또는 액체 코팅 물질(10)의 장입 경우에, 장입되는 증발기(6)로의 스팀 공급이 중단되는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
7. 제 5 항에 있어서, 증착 장치(1)의 연속적인 장입의 경우에, 4 개의 증발기(6)가 배치되고 코팅 물질을 구비하며, 상기 4개의 증발기(6) 중 3개는 증착 채널(13)로 스팀을 교대로 항상 공급하며, 고체 및/또는 액체 코팅 물질(10)을 장입하는 경우에, 장입되는 증발기(6)로의 스팀 공급이 중단되는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
8. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 증기화된 코팅 물질(10)을 가지는 증착 채널(13)의 장입이 상기 증착 채널(13)과 증기화 장치(3) 사이에 위치된 스팀 이송 라인(4)을 경유하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
9. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 증기화된 코팅 물질을 가지는 증착 채널(13)의 장입이 2개의 증기화 장치(3)를 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
10. 증착 챔버를 이용하여 연속 이송 기판을 열적 진공 증착하기 위한 코팅 장치로서, 상기 코팅 장치내에는 상기 기판을 둘러싸는 증착 채널 및 상기 증착 채널에 연결된 증기화 장치가 배치되는, 코팅 장치에 있어서,

    상기 증기화 장치(3)가 상기 증착 챔버(2)와 거리를 두고 배치되는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
11. 제 9 항에 있어서, 상기 증기화 장치(3)가 가열된 스팀 이송 라인(4)을 이용하여 증착 채널(13)에 연결된 증발기(6)를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
12. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 상기 증기화 장치(3)가 둘 이상의 증발기(6)를 포함하고, 상기 증발기내에서 코팅 물질(10)이 증기화되는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
13. 제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 증기화 장치(3)가 증 기 수집 장치(5)를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.
14. 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 스팀 수집 장치(5) 및 증발기(6)가 스팀 트랩 밸브(11)에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 코팅 장치.

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