KR20070006462A - 종형확산로의 플랜지 - Google Patents

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KR20070006462A
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김인식
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 종형확산로의 플랜지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 종형확산로의 내부에 가스를 공급하기 위한 가스라인을 채결하는 가스 연결부가 이탈되어 튜브 내의 가스가 누설되거나 압력 에러가 발생하는 것을 방지하는 종형확산로의 플랜지에 관한 것이다. 본 발명에 따른 종형확산로의 플랜지는 튜브를 지지하며 상기 튜브 내부에 가스를 공급하는 가스라인이 연결된 것으로, 가스구멍이 형성된 원통형의 몸체; 상기 몸체의 상단에 돌출된 상부 연결부; 상기 몸체의 하단에 돌출된 하부 연결부; 및 상기 가스구멍에 삽입되고, 상기 몸체 내벽에 부착된 고정 수단에 결합된 가스 연결부를 포함한다. 본 발명에 의하여 가스구멍에 삽입되는 가스 연결부와 연결 노즐이 가스 구멍에서 빠지는 것을 방지하기 위한 고정 수단을 가스구멍의 반대편에 결합하여 외부 충격이나 동작에 의해서 가스 연결부나 연결 노즐이 가스구멍에서 빠지는 것을 근본적으로 방지하는 효과가 있다.
종형확산로, 플랜지, 가스라인, 가스 연결부, 연결 노즐

Description

종형확산로의 플랜지{Flange of a vertical furnace }
도1은 종래에 따른 종형확산로의 플랜지를 보여주는 도면.
도2는 도1의 가스 연결부를 확대하여 보여주는 도면.
도3은 본 발명의 실시예에 따른 종형확산로의 플랜지를 보여주는 도면.
도4는 도3의 가스 연결부를 확대하여 보여주는 도면.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10, 100 : 몸체 12, 120 : 가스 라인
20, 200 : 상부 연결부 30, 300 : 하부 연결부
40, 400 : 가스 연결부 110 : 가스구멍
410 : 연결 노즐 420 : 고정 수단
본 발명은 종형확산로의 플랜지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 종형확산로의 내부에 가스를 공급하기 위한 가스라인을 채결하는 가스 연결부가 이탈되어 튜 브 내의 가스가 누설되거나 압력 에러가 발생하는 것을 방지하는 종형확산로의 플랜지에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 생산하는 공정은 노광, 식각, 확산, 증착 등의 공정을 선택적으로 수행하는 일련의 과정에 의해서 이루어지고, 확산 및 증착 공정은 고온의 분위기에서 공정가스를 주입하여 실리콘웨이퍼 상에서 반응을 일으켜서 이루어지는 공정이다.
이러한 장비 가운데 종형확산로(vertical type furnace)가 많이 사용되고 있는데 종형확산로는 화학기상증착장비로서 고온진공분위기에서 공정챔버로 공정가스를 투입하면 공정가스가 서로 반응하여 반응물질을 형성하면서 동시에 압력이 낮은 공간에서 확산되어 웨이퍼 표면에 박막을 적층하는 현상을 이용한다.
이 종형확산로의 플랜지는 공정이 진행되는 튜브를 지지하며 상기 튜브 내부로 공정에 사용되는 가스를 공급하는 가스라인이 연결되어 있다.
도1은 종래에 따른 종형확산로의 플랜지를 보여주는 도면이고, 도2는 도1의 가스 연결부를 확대하여 보여주는 도면이다.
도1 및 도2에 도시된 바와 같이, 튜브(도면에 표시하지 않음)를 지지하며 상기 튜브 내부에 가스를 공급하는 가스라인(12)이 연결된 본 발명에 의한 종형확산로의 플랜지는 몸체(10), 상부 연결부(20), 하부 연결부(30) 및 가스 연결부(40)를 포함한다.
상세히 설명하면, 몸체(10)는 중공의 원통형 모양을 가지며, 가스라인(12)에 연결하기 위한 가스구멍이 형성되어 있다. 상부 연결부(20)는 상기 몸체(10)의 상 단에 돌출되어, 돌출된 부분에 튜브를 안착시킨다.
하부 연결부(30)는 몸체(10)의 하부에 일체형으로 연장되어 돌출되고, 하부 연결부(30)의 아래쪽은 종형확산로의 캡과 연결되어 튜브 내부를 밀봉시키는 기능을 가진다.
가스라인(12)에 연결되는 가스 연결부(40)는 가스 연결부(40)에서 가스구멍으로 연장된 연결 노즐을 몸체(10)에 삽입하여 몸체(10)와 결합되어 있다.
그런데 상기 가스 연결부(40)를 가스구멍에 삽입하는 연결 노즐부분과 가스구멍을 견고하게 고정시키는 수단이 없기 때문에 공정을 진행하거나 외부충격에 의해서 가스 연결부(40)나 연결 노즐이 가스구멍에서 자주 빠지는 문제가 발생한다.
이로 인하여 튜브 내부의 압력 에러가 발생하여 공정이 중단되고, 다량의 먼지가 유입되어 불량이 발생하는 문제가 있다.
따라서 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 가스 연결부가 가스구멍에서 이탈되어 튜브 내부에서 압력 에러 또는 다량의 먼지가 발생하는 것을 방지하기 위하여 가스 연결부가 가스구멍에서 이탈되지 않도록 구조를 변경시킨 종형확산로의 플랜지를 제공하는데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 종형확산로의 플랜지는 튜브를 지지하며 상기 튜브 내부에 가스를 공급하는 가스라인이 연결된 것으로, 가스구멍이 형성된 원통형의 몸체; 상기 몸체의 상단에 돌출된 상부 연결부; 상기 몸체의 하단에 돌출된 하부 연결부; 및 상기 가스구멍에 삽입되고, 상기 몸체 내벽에 부착된 고정 수단에 결합된 가스 연결부를 포함한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 고정 수단은 몸체 내벽에 용접된 것을 특징으로 한다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명한다.
도3은 본 발명의 실시예에 따른 종형확산로의 플랜지를 보여주는 도면이고, 도4는 도3의 가스 연결부를 확대하여 보여주는 도면이다.
도3 및 도4에 도시된 바와 같이, 튜브(도면에 표시하지 않음)를 지지하며 상기 튜브 내부에 가스를 공급하는 가스라인(120)이 연결된 본 발명에 의한 종형확산로의 플랜지는 몸체(100), 상부 연결부(200), 하부 연결부(300) 및 가스 연결부(400)를 포함한다.
도면을 이용하여 상세히 설명하면, 몸체(100)는 중공의 원통형 모양을 가지며, 가스라인(120)에 연결하기 위한 가스구멍(110)이 형성되어 있다.
상부 연결부(200)는 상기 몸체(100)의 상단에 돌출되어, 돌출된 부분에 튜브를 안착시켜 지지하는 기능을 가진다. 바람직하게는 상부 연결부(200)는 몸체(100)에 일체형으로 연장되어 형성되고, 원통형의 몸체(100) 내부로 돌출되어 돌출부에 튜브가 안착된다.
하부 연결부(300)는 몸체(100)의 하부에 일체형으로 연장되어 돌출되고, 하부 연결부(300)의 아래쪽은 종형확산로의 캡과 연결되어 튜브 내부를 밀봉시키는 기능을 가진다. 상기 튜브 내부에서 공정을 진행하는 경우에 누설이 발생하지 않도 록 하부 연결부(300)와 캡 사이는 오링(도면에 표시하지 않음)을 매개로 밀봉된다.
가스라인(120)에 연결되는 가스 연결부(400)는 가스구멍(110)에 삽입되어 상기 몸체(100)와 결합하고, 가스 연결부(400)에서 가스구멍(110)으로 연장된 연결 노즐(410)은 몸체(100)의 내벽에 부착된 고정 수단(420)과 결합되어 있다.
고정 수단(420)은 몸체(100)의 내벽에 용접하여 고정시키는 것이 바람직하다. 이때 고정 수단(420)의 크기는 상기 연결 노즐(410)을 통하여 통과하는 가스의 흐름에 방해를 주지 않도록, 연결 노즐(410)의 두께보다 작은 영역에서 상기 연결 노즐(410)과 결합한다.
일예로 연결 노즐(410)의 두께를 1.5㎜이면, 상기 고정 수단(420)이 상기 연결 노즐(410)과 접촉하는 부분의 두께는 1.0㎜로 한다. 반면에 연결 노즐(410)과 고정 수단(420)의 결합력을 크게 하기위하여 고정 수단(420)의 길이를 6.0 ㎜ 이상, 폭은 3.0 ㎜ 이상으로 한다.
도4에서 볼 수 있듯이 가스 연결부(400)는 연결 노즐(410)로 연장되어 몸체(100)의 가스구멍(110)에 삽입되고, 연결 노즐(410)의 일단은 가스구멍(110) 보다 큰 고정 수단(420)과 결합하여 몸체(100)에 고정된 구조를 가진다.
이상에서, 본 발명의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상 및 특허청구 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면 가스구멍에 삽입되는 가스 연결부와 연 결 노즐이 가스 구멍에서 빠지는 것을 방지하기 위한 고정 수단을 가스구멍의 반대편에 결합하여 외부 충격이나 동작에 의해서 가스 연결부나 연결 노즐이 가스구멍에서 빠지는 것을 근본적으로 방지하는 효과가 있다.
따라서 종형확산로에서 공정 에러가 발생하거나 튜브 내부에서 먼지가 다량으로 발생하는 것을 방지하여 생산성을 향상시킨다.

Claims (2)

  1. 튜브를 지지하며 상기 튜브 내부에 가스를 공급하는 가스라인이 연결된 종형확산로의 플랜지로서,
    가스구멍이 형성된 원통형의 몸체;
    상기 몸체의 상단에 돌출된 상부 연결부;
    상기 몸체의 하단에 돌출된 하부 연결부; 및
    상기 가스구멍에 삽입되고, 상기 몸체 내벽에 부착된 고정 수단에 결합된 가스 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 종형확산로의 플랜지.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고정 수단은 몸체 내벽에 용접된 것을 특징으로 하는 종형확산로의 플랜지.
KR1020050061807A 2005-07-08 2005-07-08 종형확산로의 플랜지 KR20070006462A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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US9159591B2 (en) 2012-01-03 2015-10-13 Samsung Electronics Co., Ltd. Batch type apparatus for manufacturing semiconductor devices

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