KR20070000910A - Electrophoretic display device and method for fabricating the same - Google Patents

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Abstract

An electrophoretic display device and a method for manufacturing the same are provided to suppress the deterioration of picture quality due to crosstalk or vibration of pixel voltage generated in an electronic paper, by forming an air gap in an insulating layer correspondingly to a gate line and a data line. A gate line is formed on a lower substrate(111). A gate insulating layer(117) and an active layer are formed on the resultant substrate including the gate line. A data line(121) is disposed on the gate insulating layer across the gate line. A source electrode and a drain electrode are disposed to face each other on the active layer. An insulating layer(125) is formed on the resultant substrate including the data line, the source electrode, and the drain electrode. The insulating layer has an air gap(129) at a region corresponding to the data line and the gate line. A pixel electrode(131) is formed on the insulating layer, and connected with the drain electrode. An electrophoretic film(135) is formed on the resultant substrate including the pixel electrode.

Description

전기영동 표시장치 및 그 제조방법{ELECTROPHORETIC DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}Electrophoretic display and its manufacturing method {ELECTROPHORETIC DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}

도 1은 종래기술에 따른 전기영동 디스플레이장치를 개략적으로 설명하기 위한 레이아웃도.1 is a layout for schematically illustrating an electrophoretic display device according to the prior art.

도 2는 종래기술에 따른 전기 영동 디스플레이장치에 있어서, 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도.2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1 in the electrophoretic display device according to the prior art.

도 3은 종래기술에 따른 전기 영동 디스플레이장치에 있어서, 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면도.3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 1 in the electrophoretic display device according to the prior art.

도 4는 본 발명에 따른 전기영동 디스플레이장치를 개략적으로 설명하기 위한 레이아웃도.Figure 4 is a layout for schematically illustrating an electrophoretic display device according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 전기 영동 디스플레이장치에 있어서, 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선에 따른 단면도.5 is a cross-sectional view taken along the line VV of FIG. 4 in the electrophoretic display device according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 전기 영동 디스플레이장치에 있어서, 도 4의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 단면도.6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 4 in the electrophoretic display device according to the present invention.

- 도면의 주요부분에 대한 부호설명 --Code description of main parts of drawing-

111 : 기판 113 : 게이트배선111 substrate 113 gate wiring

113a : 게이트전극 115 : 스토리지공통배선113a: gate electrode 115: storage common wiring

117 : 게이트절연막 121 : 데이터배선117: gate insulating film 121: data wiring

121a : 소스전극부 123 : 드레인전극부121a: source electrode portion 123: drain electrode portion

125 : 절연막 127 : 드레인콘택홀125: insulating film 127: drain contact hole

129 : 에어갭 131 : 화소전극 133 : 캡슐 135 : 전기영동필름 135a : 화이트잉크 135b : 블랙잉크 141 : 화소지역경계부129: air gap 131: pixel electrode 133: capsule 135: electrophoretic film 135a: white ink 135b: black ink 141: pixel area boundary

본 발명은 전기영동 디스플레이 장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자종이에서 발생하는 크로스토크(cross talk)나 픽셀전압(pixel voltage)의 진동(vibration)으로 부터 발생하는 불량, 화질저하 문제를 해결할 수 있는 전기영동 디스플레이장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrophoretic display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to poor image quality caused by cross talk or vibration of pixel voltage generated from electronic paper. It relates to an electrophoretic display device and a method for manufacturing the same that can solve the problem.

전기영동 디스플레이(Electrophoretic Display)장치는 외부 광원이 필요없고, 반사율이 우수하며, 유연성(Flexibility)과 휴대성(Portability)이 뛰어나며, 기타 경량 등의 특성을 지닌 전기영동(Electrophoresis; 전기장내에서 하전된 입자가 양극 또는 음극쪽으로 이동하는 현상)을 이용한 평판 디스플레이(Flat Display)의 일종이다.Electrophoretic Display devices require no external light source, have excellent reflectivity, have excellent flexibility and portability, and have other characteristics such as light weight and electrophoresis. It is a kind of flat display using the phenomenon that particles move toward the anode or cathode.

이러한 전기영동 디스플레이장치는 종이나 플라스틱과 같은 얇고 구부리기 쉬운 베이스필름(Base film)에 투명전도막을 입혀 전기영동 부유입자(Electropho -retic Suspension)을 구동하는 반사형 디스플레이로서, 차세대 전자종이(Electric Paper)로서도 각광 받을 것으로 기대되는 장치이다.The electrophoretic display device is a reflective display that drives an electrophoretic suspended particle by applying a transparent conductive film to a thin, bendable base film such as paper or plastic, and is the next generation of electric paper. It is a device that is expected to get the spotlight.

이러한 관점에서, 종래기술에 따른 전기영동 디스플레이장치에 대해 도 1를 참조하여 설명하면 다음과 같다.In this regard, the electrophoretic display device according to the related art will be described with reference to FIG. 1 as follows.

도 1은 종래기술에 따른 전기영동 디스플레이장치를 개략적으로 설명하기 위한 단면도이다.1 is a cross-sectional view for schematically illustrating an electrophoretic display device according to the prior art.

도 1을 참조하면, 하판(11)상에 수평방향으로 게이트배선(13)과 함께 상기 게이트배선(13)과 동일방향으로 일정간격만큼 이격되어 스토리지 공통배선(15)이 형성되어 있다. Referring to FIG. 1, the storage common wiring 15 is formed on the lower plate 11 with the gate wiring 13 in a horizontal direction and spaced apart by a predetermined interval in the same direction as the gate wiring 13.

또한, 상기 게이트배선(13)과 교차되는 수직방향으로 데이터배선(21)이 형성되어 있으며, 이 데이터배선(21)과 일정간격 이격되어 드레인전극부(23)가 형성되어 있다. 여기서, 상기 게이트배선(13)에는 게이트전극(13a)이 연장되어져 상기 데이트배선(21)의 소스전극부(21a)와 드레인전극부(23)에 오버랩되어 있다. 이때, 상기 게이트전극(13a)과 소스전극부(21a) 및 드레인전극부(23)는 박막트랜지스터부를 이룬다.In addition, the data wiring 21 is formed in a vertical direction crossing the gate wiring 13, and the drain electrode part 23 is formed to be spaced apart from the data wiring 21 by a predetermined interval. Here, the gate electrode 13a extends in the gate wiring 13 so as to overlap the source electrode 21a and the drain electrode 23 of the data wiring 21. In this case, the gate electrode 13a, the source electrode portion 21a, and the drain electrode portion 23 form a thin film transistor portion.

그리고, 상기 게이트배선(13)과 데이터배선(21)이 교차되어 정의되는 화소지역(41)내에는 화소전극(31)이 오버랩되어져 상기 드레인전극부(23)와 접속되어 있다. 여기서, 상기 화소전극(31)은 상기 게이트배선(13)과 데이터배선(21)에 걸쳐 오버랩되어 있다.The pixel electrode 31 is overlapped in the pixel region 41 where the gate wiring 13 and the data wiring 21 are defined to be connected to the drain electrode part 23. The pixel electrode 31 overlaps the gate line 13 and the data line 21.

또한, 상기와 같이 구성되는 전기영동 디스플레이장치에 적용되는 하판상에 전기영동필름을 적층하고 그 위에 투명전극이나 기타 전극물질층을 적층하여 전기영동 디스플레이장치를 구성한다.In addition, the electrophoretic display device is constructed by laminating an electrophoretic film on a lower plate applied to the electrophoretic display device configured as described above, and laminating transparent electrodes or other electrode material layers thereon.

상기와 같이 구성되는 종래기술에 따른 전기영동 디스플레이장치의 제조방법에 대해 도 2 및 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.A method of manufacturing an electrophoretic display device according to the related art, which is configured as described above, will be described below with reference to FIGS. 2 and 3.

도 2는 종래기술에 따른 전기 영동 디스플레이장치에 있어서, 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도이다.2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1 in the electrophoretic display device according to the prior art.

도 3은 종래기술에 따른 전기 영동 디스플레이장치에 있어서, 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 1 in the electrophoretic display device according to the prior art.

도 2 및 도 3를 참조하면, 먼저 하판(11)상에 게이트배선을 형성하기 위한 도전층을 증착한후 이를 선택적으로 패터닝하여 게이트배선(13)을 형성한다. 이때, 상기 도전층 패터닝시에 상기 게이트배선(13)과 함께 이 게이트배선(13)과 일정간격 이격되어 동일방향으로 스토리지공통배선(15)을 동시에 형성한다.2 and 3, first, a conductive layer for forming a gate wiring is deposited on the lower plate 11, and then selectively patterned to form a gate wiring 13. At this time, when the conductive layer is patterned, the storage common wiring 15 is simultaneously formed in the same direction with the gate wiring 13 spaced apart from the gate wiring 13 by a predetermined interval.

그다음, 게이트절연막(17)과 활성층(미도시)을 적층한후 그 위에 도전층을 증착하고 이를 패터닝하여 상기 게이트배선(13)과 교차되게 배열되는 데이터배선(21)을 형성한다. 이때, 상기 도전층 패터닝시에 상기 데이터배선(21)과 함께 이 데이터배선(21)과 일정간격 이격되게 드레인전극부(23)가 동시에 형성된다. 또한, 상기 데이터배선(21)에서 연장된 소스전극부(21a)와 드레인전극부(23)는 상기 게이트배선(13)에서 연장된 게이트전극(13a)과 오버랩되어져 박막트랜지스터부를 이룬다.Next, after the gate insulating layer 17 and the active layer (not shown) are stacked, a conductive layer is deposited and patterned thereon to form a data line 21 arranged to intersect the gate line 13. At this time, during the patterning of the conductive layer, the drain electrode part 23 is formed simultaneously with the data line 21 to be spaced apart from the data line 21 at a predetermined interval. In addition, the source electrode part 21a and the drain electrode part 23 extending from the data line 21 overlap the gate electrode 13a extending from the gate line 13 to form a thin film transistor part.

이어서, 하판전체에 유기막 또는 기타 절연물질을 이용하여 보호막용 절연막(25)을 두껍게 증착한후 상기 절연막(25)을 선택적으로 패터닝하여 상기 드레인전극부(23)를 노출시키는 드레인콘택홀(미도시; 도 1의 27)을 형성한다. 이때, 상기 절연막(25)은 상기 전극들의 오버랩되는 구조위에 저유전체인 유기막, 예를들어 포토 아크릴레이트(photo acrylate) 등을 약 2∼3 μm 정도로 두껍게 증착하여 형성한다.Subsequently, a thick film of the protective film 25 is deposited using an organic film or other insulating material over the entire lower plate, and then the patterned insulating film 25 is selectively patterned to expose the drain electrode part 23. And 27) of FIG. 1. In this case, the insulating layer 25 is formed by depositing a thick dielectric layer of about 2 to 3 μm on the overlapping structure of the electrodes, such as a low dielectric organic film, for example, photo acrylate.

그다음, 상기 드레인콘택홀(27)을 포함한 절연막(25)상에 투명전극물질층을 증착한후 이를 패터닝하여 화소전극부(31)를 형성한다. 이때, 화소전극부(31)는 상기 드레인콘택홀(27)을 통해 드레인전극부(23)와 접속된다.Next, a transparent electrode material layer is deposited on the insulating layer 25 including the drain contact hole 27, and then patterned to form the pixel electrode part 31. In this case, the pixel electrode part 31 is connected to the drain electrode part 23 through the drain contact hole 27.

또한, 상기 화소전극부(31)는 상기 게이트배선(13)과 데이터배선(21)이 교차되어 정의되는 화소지역(41)내의 상기 게이트배선(13)과 데이터배선(21)에 걸쳐 오버랩되어 있다.In addition, the pixel electrode part 31 overlaps the gate line 13 and the data line 21 in the pixel area 41 defined by the gate line 13 and the data line 21 intersecting each other. .

이어서, 상기 화소전극부(31)를 포함한 하판(11)상에 전기영동필름(33)을 적층한다. 이때, 상기 전기영동필름(33)은 폴리머중합체(polymer binder)에 전자잉크가 캡슐(35)을 형성하고 있는 것으로, 상기 캡슐(35)내에 분포하는 전자잉크는 화이트잉크(35a)와 블랙잉크(35b)로 이루어져 있다. 또한, 상기 전자영동필름(33)내에 분포된 화이트잉크(35a)와 블랙잉크(35b)는, 각각 양전하와 음전하 특성을 가진다. 즉, 상기 화이트잉크(35a)는 양전하로 대전되어 있으며, 블랙잉크(35b)는 음전하로 대전되어 있다.Subsequently, the electrophoretic film 33 is laminated on the lower plate 11 including the pixel electrode part 31. In this case, the electrophoretic film 33 is an electron ink forming a capsule 35 in a polymer binder, and the electron ink distributed in the capsule 35 includes a white ink 35a and a black ink ( 35b). In addition, the white ink 35a and the black ink 35b distributed in the electrophoretic film 33 have positive charge and negative charge characteristics, respectively. That is, the white ink 35a is charged with positive charge, and the black ink 35b is charged with negative charge.

그다음, 상기 전자영동필름(33)상에는 투명물질인 ITO로 구성된 공통배선 (43)을 형성하여 전기영동 디스플레이장치를 완성한다.Next, a common wiring 43 made of ITO, which is a transparent material, is formed on the electrophoretic film 33 to complete the electrophoretic display device.

상기와 같이 구성되는 종래기술에 따른 전기영동 디스플레이장치에 의하면, 화소전극부가 게이트배선 및 데이터배선에 오버랩되어 있는데, 이는 데이터배선, 게이트배선위의 전자잉크(e-ink)가 연속적인 구동신호에 의해 불필요하게 구동되는 것을 방지하고, 화상표시가 균일하게 되도록 하기 위함이다.According to the electrophoretic display device according to the related art configured as described above, the pixel electrode portion overlaps the gate wiring and the data wiring, which means that the electronic ink (e-ink) on the data wiring and the gate wiring is connected to the continuous drive signal. This is to prevent unnecessary driving and to make the image display uniform.

그런데, 전극들, 즉 게이트배선과 화소전극간, 데이터배선과 화소전극간의 커플링(coupling)에 의해 기생 캐패시터(parasitic capacitor)가 형성되는데, 이는 소스전극-화소전극간 전압, 게이트전극-화소전극간 전압이 발생하게 되어, 정확한 신호 인가가 어렵게 되고, 크로스토크(cross-talk)와 같은 현상이 나타나게 된다.However, parasitic capacitors are formed by coupling the electrodes, that is, between the gate wiring and the pixel electrode, between the data wiring and the pixel electrode, which is a voltage between the source electrode and the pixel electrode, the gate electrode and the pixel electrode. The intervoltage is generated, making it difficult to apply the correct signal, and a phenomenon such as cross-talk appears.

또한, 기존에는 커플링(coupling)을 최소화하기 위해, 상기 전극들의 오버랩되는 구조위에 저유전체인 유기막, 예를들어 포토 아크릴레이트(photo acrylate) 등을 약 2∼3 μm 정도로 두껍게 증착하였다. In addition, in order to minimize the coupling (coupling), a low dielectric organic film, for example, a photo acrylate (for example, photo acrylate) on the overlapping structure of the electrodes were deposited thickly about 2 to 3 μm.

그러나, 이와 같이 유기막을 두껍게 증착한다 하더라도 게이트배선과 화소전극간, 데이터배선과 화소전극간의 커플링 (coupling)에 의해 기생 캐패시터 (parasitic capacitor)가 여전히 존재하게 되어, 정확한 신호 인가가 어렵게 되고, 크로스토크(cross-talk)와 같은 현상이 계속적으로 나타난다.However, even when the organic film is thickly deposited, parasitic capacitors still exist due to the coupling between the gate wiring and the pixel electrode, and the data wiring and the pixel electrode, making it difficult to apply an accurate signal. Symptoms such as cross-talk continue to appear.

이에 본 발명은 상기 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 전자종이에서 발생하는 크로스토크(cross talk)나 픽셀전압(pixel voltage)의 바이브레이션(vibration)으로 부터 발생하는 불량, 화질저하 문제를 해 결할 수 있는 전기영동 디스플레이장치 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems of the prior art, a problem of poor quality, deterioration caused by the cross talk (vibration) of the pixel voltage (cross talk) generated from the electronic paper An object of the present invention is to provide an electrophoretic display device and a method of manufacturing the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기영동 디스플레이장치는, 하판상에 형성된 게이트배선; 상기 게이트배선을 포함한 상기 하판전체에 형성된 게이트절연막과 활성층; 상기 하판상에 형성되고 상기 게이트배선과 교차되게 배치되는 데이터배선과 상기 활성층으로부터 대향되게 배치된 소스전극부와 드레인전 극 부; 상기 데이터배선과 소스전극부 및 드레인전극부를 포함한 하판전체에 형성 되고, 상기 데이터배선과 게이트배선상에 위치하는 부분에 에어갭이 형성된 절연막; 상기 절연막상에 형성되고 상기 드레인전극부와 접속되는 화소전극부; 및 상기 화소전극부를 포함한 하판상에 형성된 전기영동필름;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로한다.Electrophoretic display device according to the present invention for achieving the above object, the gate wiring formed on the lower plate; A gate insulating film and an active layer formed on the entire lower plate including the gate wiring; A source electrode portion and a drain electrode portion formed on the lower plate and disposed to intersect with the gate wiring and disposed to face each other from the active layer; An insulating film formed on the entire lower plate including the data line, the source electrode part, and the drain electrode part, and an air gap is formed in a portion on the data line and the gate line; A pixel electrode portion formed on the insulating film and connected to the drain electrode portion; And an electrophoretic film formed on a lower plate including the pixel electrode part.

또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기영동 디스플레이장치 제조방법은, 하판상에 게이트배선을 형성하는 단계; 상기 게이트배선을 포함한 상기 하판전체에 게이트절연막과 활성층을 형성하는 단계; 상기 하판상에 상기 게이트배선과 교차되게 배치되는 데이터배선과 상기 활성층으로부터 대향되게 배치되는 소스전극부와 드레인전극부을 형성하는 단계; 상기 데이터배선과 소스전극부 및 드레인전극부를 포함한 하판전체에 절연막을 형성하는 단계; 상기 데이터배선과 게이트배선상에 위치하는 절연막부분에 에어갭을 형성하는 단계; 상기 절연막상에 상기 드레인전극부와 접속되는 화소전극부을 형성하는 단계; 및 상기 화소전극부를 포함한 하판상에 전기영동필름을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로한 다.In addition, the electrophoretic display device manufacturing method according to the present invention for achieving the above object comprises the steps of forming a gate wiring on the lower plate; Forming a gate insulating film and an active layer on the entire lower plate including the gate wiring; Forming a data line disposed on the lower plate to cross the gate line, and a source electrode part and a drain electrode part disposed to face each other from the active layer; Forming an insulating film on the entire lower plate including the data line, the source electrode part, and the drain electrode part; Forming an air gap in an insulating portion located on the data and gate lines; Forming a pixel electrode portion connected to the drain electrode portion on the insulating film; And forming an electrophoretic film on the lower plate including the pixel electrode part.

이하, 본 발명에 따른 전기영동 디스플레이장치 및 그 제조방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an electrophoretic display device and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 전기영동 디스플레이장치를 개략적으로 설명하기 위한 레이아웃도이다.4 is a layout for schematically illustrating an electrophoretic display device according to the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 전기영동 디스플레이장치는, 하판(111)상에 수평방향으로 게이트배선(113)과 함께 상기 게이트배선(113)과 동일방향으로 일정간격만큼 이격되어 스토리지 공통배선(115)이 형성되어 있다. Referring to FIG. 4, the electrophoretic display device according to the present invention is spaced apart by a predetermined interval in the same direction as the gate wiring 113 along with the gate wiring 113 in a horizontal direction on the lower plate 111. 115 is formed.

또한, 상기 게이트배선(113)과 교차되는 수직방향으로 데이터배선(121)이 형성되어 있으며, 이 데이터배선(121)과 일정간격 이격되어 드레인전극부(123)가 형성되어 있다. 여기서, 상기 게이트배선(113)에는 게이트전극(113a)이 연장되어져 상기 데이트배선(121)의 소스전극부(121a)와 드레인전극부(123)에 오버랩되어 있다. 이때, 상기 게이트전극(113a)과 소스전극부(121a) 및 드레인전극부(123)는 박막트랜지스터부를 이룬다. In addition, the data wiring 121 is formed in a vertical direction crossing the gate wiring 113, and the drain electrode part 123 is formed to be spaced apart from the data wiring 121 by a predetermined interval. The gate electrode 113a extends in the gate wiring 113 so as to overlap the source electrode portion 121a and the drain electrode portion 123 of the data wiring 121. In this case, the gate electrode 113a, the source electrode portion 121a and the drain electrode portion 123 form a thin film transistor portion.

그리고, 상기 게이트배선(113)과 데이터배선(121)이 교차되어 정의되는 화소지역(141)내에는 화소전극(131)이 오버랩되어져 상기 드레인전극부(123)와 접속되어 있다. 여기서, 상기 화소전극(131)은 상기 게이트배선(113)과 데이터배선(121)이 교차되어 이루는 화소지역내에 오버랩되어 있다. 즉, 상기 화소전극(113)은 기존과 다르게 상기 게이트배선(113) 및 데이터배선(121)과는 오버랩되지 않는다. 하 지만, 상기 화소전극(13)은 상기 게이트전극부(113a) 및 소스전극부(121a)와는 오버랩된다.The pixel electrode 131 overlaps the pixel electrode 131 in the pixel region 141 defined by the gate wiring 113 and the data wiring 121 intersecting and connected to the drain electrode part 123. Here, the pixel electrode 131 overlaps with each other in the pixel area where the gate wiring 113 and the data wiring 121 cross each other. That is, the pixel electrode 113 does not overlap with the gate wiring 113 and the data wiring 121 differently from the conventional method. However, the pixel electrode 13 overlaps the gate electrode 113a and the source electrode 121a.

또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기와 같이 구성되는 전기영동 디스플레이장치에 적용되는 하판(미도시)상에 전기영동필름(미도시)이 적층되어 있고, 그 위에는 투명전극이나 기타 전극물질층으로 구성된 상판(미도시)이 적층되어져 전기영동 디스플레이장치를 구성한다.In addition, although not shown in the drawings, an electrophoretic film (not shown) is laminated on a lower plate (not shown) applied to the electrophoretic display device configured as described above, and is composed of a transparent electrode or other electrode material layer thereon. Top plates (not shown) are stacked to form an electrophoretic display device.

한편, 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 전기영동 디스플레이장치의 제조방법에 대해 도 5 및 도 6을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Meanwhile, a method of manufacturing the electrophoretic display device according to the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 5 and 6.

도 5는 본 발명에 따른 전기 영동 디스플레이장치에 있어서, 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선에 따른 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along the line VV of FIG. 4 in the electrophoretic display device according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 전기 영동 디스플레이장치에 있어서, 도 4의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 단면도이다.6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 4 in the electrophoretic display device according to the present invention.

도 5 및 도 6을 참조하면, 먼저 하판(111)상에 게이트배선을 형성하기 위한 도전층을 증착한후 이를 선택적으로 패터닝하여 게이트배선(113)을 형성한다. 이때, 상기 도전층 패터닝시에 상기 게이트배선(113)과 함께 이 게이트배선(113)과 일정간격 이격되어 동일방향으로 스토리지공통배선(115)을 동시에 형성한다.Referring to FIGS. 5 and 6, first, a conductive layer for forming a gate wiring is deposited on the lower plate 111, and then selectively patterned to form a gate wiring 113. At this time, when the conductive layer is patterned, the storage common wiring 115 is simultaneously formed in the same direction with the gate wiring 113 spaced apart from the gate wiring 113 at a predetermined interval.

그다음, 게이트절연막(117)과 활성층(미도시)을 차례로 적층한후 그 위에 도전층을 증착하고 이를 패터닝하여 상기 게이트배선(113)과 교차되게 배열되는 데이터배선(121)을 형성한다. 이때, 상기 도전층 패터닝시에 상기 데이터배선(121)과 함께 이 데이터배선(121)과 일정간격 이격되게 드레인전극부(123)가 동시에 형성된 다. 또한, 상기 데이터배선(121)은 소스전극부(121a)가 연장되어져 드레인전극부(123)와 함께 상기 게이트배선(113)에서 연장된 게이트전극(113a)과 오버랩되어져 박막트랜지스터부를 이룬다.Next, the gate insulating layer 117 and the active layer (not shown) are sequentially stacked, and a conductive layer is deposited thereon and patterned to form a data line 121 arranged to intersect the gate line 113. At this time, during the patterning of the conductive layer, the drain electrode part 123 is formed simultaneously with the data line 121 to be spaced apart from the data line 121 at a predetermined interval. In addition, the data line 121 extends from the source electrode 121a to overlap the gate electrode 113a extending from the gate line 113 together with the drain electrode 123 to form a thin film transistor.

이어서, 상기 하판(111)전체에 유기막 또는 기타 절연물질을 이용하여 보호막(passivation layer)용 절연막(125)을 증착한후 상기 절연막(125)을 선택적으로 패터닝하여 상기 드레인전극부(123)를 노출시키는 드레인콘택홀(미도시; 도 4의 127)을 형성한다. 이때, 상기 절연막(125) 패터닝시에 상기 드레인콘택홀 형성과 함께 상기 게이트배선(113)과 데이터배선(121)상측에 위치하는 절연막(125)의 일부두께를 식각하여 에어갭(127a)을 동시에 형성한다.Subsequently, an insulating film 125 for a passivation layer is deposited on the entire lower plate 111 using an organic film or other insulating material, and then the insulating film 125 is selectively patterned to form the drain electrode part 123. A drain contact hole (not shown) 127 of FIG. 4 is formed to be exposed. At this time, when the insulating layer 125 is patterned, the air gap 127a is simultaneously formed by etching the thickness of the insulating layer 125 located above the gate line 113 and the data line 121 together with forming the drain contact hole. Form.

그다음, 상기 드레인콘택홀(127)을 포함한 절연막(125)상에 ITO와 같은 투명전극물질층을 증착한후 이를 패터닝하여 화소전극부(131)를 형성한다. 이때, 상기 화소전극부(131)는 상기 드레인콘택홀(127)을 통해 드레인전극부(123)와 접속된다. 또한, 상기 화소전극부(131)는 상기 게이트배선(113)과 데이터배선(121)이 교차되어 정의되는 화소지역(141)안쪽에 위치한다. Next, a transparent electrode material layer such as ITO is deposited on the insulating layer 125 including the drain contact hole 127 and then patterned to form the pixel electrode part 131. In this case, the pixel electrode part 131 is connected to the drain electrode part 123 through the drain contact hole 127. In addition, the pixel electrode unit 131 is positioned inside the pixel region 141 where the gate wiring 113 and the data wiring 121 intersect with each other.

이어서, 상기 화소전극부(131)를 포함한 하판(111)상에 전기영동필름(133)을 적층한다. 이때, 상기 전기영동필름(133)은 폴리머중합체(polymer binder)에 전자잉크가 캡슐(135)을 형성하고 있는 것으로, 상기 캡슐(135)내에 분포하는 전자잉크는 화이트잉크(135a)와 블랙잉크(135b)로 이루어져 있다. 또한, 상기 전자영동필름(133)내에 분포된 화이트잉크(135a)와 블랙잉크(135b)는, 각각 양전하와 음전하 특성을 가진다. 즉, 상기 화이트잉크(135a)는 양전하로 대전되어 있으며, 블랙잉크 (135b)는 음전하로 대전되어 있다. 그리고, 상기 전기영동필름(133)은 일체형으로 접착층(미도시)에 의해 하판(111)에 적층된다. 따라서, 패터닝후에도 최상층인 화소전극부와 충분한 면적으로 존재하므로 전기영동필름이 접착(adhesion)하는데는 큰 무리가 없게 된다. Subsequently, the electrophoretic film 133 is laminated on the lower plate 111 including the pixel electrode part 131. In this case, the electrophoretic film 133 is an electronic ink forming a capsule 135 in a polymer binder, the electronic ink distributed in the capsule 135 is a white ink (135a) and a black ink ( 135b). In addition, the white ink 135a and the black ink 135b distributed in the electrophoretic film 133 have positive charge and negative charge characteristics, respectively. That is, the white ink 135a is charged with positive charge, and the black ink 135b is charged with negative charge. In addition, the electrophoretic film 133 is integrally stacked on the lower plate 111 by an adhesive layer (not shown). Therefore, even after patterning, since there exists a sufficient area with the pixel electrode part which is the uppermost layer, there is no big difficulty for the electrophoretic film to adhere.

한편, 화소전극부의 패터닝시에 상기 데이터배선과 게이트배선과 일정간격만큼 이격되게 패터닝하게 되면, 화소전압(pixel voltage)을 기생 캐피시터(parasitic capacitor) 손실로 부터 근본적으로 보호할 수가 있어, 정확한 구동(driving)이 가능하다.On the other hand, when the pixel electrode portion is patterned to be spaced apart from the data wiring and the gate wiring by a predetermined interval, the pixel voltage can be fundamentally protected from the parasitic capacitor loss, thereby providing accurate driving ( driving is possible.

그다음, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 전자영동필름(133)상에는 투명물질인 ITO로 구성된 공통배선(미도시) 또는 기타 전극물질을 형성하므로써 전기영동 디스플레이장치를 완성한다.Next, although not shown in the figure, the electrophoretic display device is completed by forming a common wiring (not shown) or other electrode material made of ITO, which is a transparent material, on the electrophoretic film 133.

상기에서 설명한 바와같이, 본 발명에 따른 전기영동 디스플레이장치 및 그 제조방법에 의하면, 전극간 커플링을 방지하기 위해, 기존에 게이트배선과 데이터배선 및 화소전극부가 서로 오버랩되는 부분위로 두껍게 증착하였던 유기막, 즉 절연막을 일정두께만큼 식각하여 에이갭(air gap)을 형성하여 주므로써, 전자 종이에서 발생하는 크로스토크(cross-talk)나 픽셀전압(pixel voltage)의 바이브레이션(vibration)으로 부터 발생하는 불량, 화질 저하 문제를 해결할 수 있다.As described above, according to the present invention, an electrophoretic display device and a method of manufacturing the same according to the present invention provide a method of preventing organic electrode coupling, in which organically deposited gate wiring, data wiring, and pixel electrode portions are thickly deposited on portions overlapping each other. The film, ie, the insulating film, is etched to a certain thickness to form an air gap, which is generated from the crosstalk or pixel voltage vibration generated in the electronic paper. It can solve the problem of poor quality and poor image quality.

또한, 이렇게 전자종이용 패턴구조에서 게이트배선과 데이터배선과 오버랩되는 유기막부분을 식각하여 에어갭을 형성하여 상호 이격시켜 주므로써 픽셀전압을 기생캐패시터의 손실로부터 보호할 수 있다.In addition, in the electronic paper pattern structure, the organic film portions overlapping with the gate wiring and the data wiring are etched to form an air gap so as to be spaced apart from each other, thereby protecting the pixel voltage from the loss of the parasitic capacitor.

한편, 상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.On the other hand, while described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art various modifications of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below And can be changed.

Claims (11)

하판상에 형성된 게이트배선;A gate wiring formed on the lower plate; 상기 게이트배선을 포함한 상기 하판전체에 형성된 게이트절연막과 활성층;A gate insulating film and an active layer formed on the entire lower plate including the gate wiring; 상기 하판상에 형성되고 상기 게이트배선과 교차되게 배치되는 데이터배선과 상기 활성층으로부터 대향되게 배치된 소스전극부와 드레인전극부;A source electrode portion and a drain electrode portion formed on the lower plate and disposed to cross the gate line and face each other from the active layer; 상기 데이터배선과 소스전극부 및 드레인전극부를 포함한 하판전체에 형성되고, 상기 데이터배선과 게이트배선상에 위치하는 부분에 에어갭이 형성된 절연막;An insulating film formed on the entire lower plate including the data line, the source electrode part, and the drain electrode part, and an air gap is formed in a portion located on the data line and the gate line; 상기 절연막상에 형성되고 상기 드레인전극부와 접속되는 화소전극부; 및A pixel electrode portion formed on the insulating film and connected to the drain electrode portion; And 상기 화소전극부를 포함한 하판상에 형성된 전기영동필름;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로하는 전기영동 디스플레이장치.And an electrophoretic film formed on the lower plate including the pixel electrode part. 제1항에 있어서, 상기 화소전극부는 상기 게이트배선과 데이터배선이 이루는 영역내에 위치하는 것을 특징으로하는 전기영동 디스플레이장치.The electrophoretic display device of claim 1, wherein the pixel electrode part is positioned in an area formed between the gate line and the data line. 제1항에 있어서, 상기 화소전극부는 상기 게이트배선 및 데이터배선과 이격되어 있는 것을 특징으로하는 전기영동 디스플레이장치.The electrophoretic display device of claim 1, wherein the pixel electrode part is spaced apart from the gate line and the data line. 제1항에 있어서, 상기 절연막으로는 유기막 또는 보호막 재질로 형성하는 것을 특징으로하는 전기영동 디스플레이장치.The electrophoretic display device according to claim 1, wherein the insulating film is formed of an organic film or a protective film material. 제1항에 있어서, 상기 하판상에 상기 게이트배선과 일정간격 이격되어 스토리지공통배선이 형성되어 있는 것을 특징으로하는 전기영동 디스플레이장치.The electrophoretic display device of claim 1, wherein a storage common wiring is formed on the lower plate to be spaced apart from the gate wiring at a predetermined interval. 하판상에 게이트배선을 형성하는 단계;Forming a gate wiring on the lower plate; 상기 게이트배선을 포함한 상기 하판전체에 게이트절연막과 활성층을 형성하는 단계;Forming a gate insulating film and an active layer on the entire lower plate including the gate wiring; 상기 하판상에 상기 게이트배선과 교차되게 배치되는 데이터배선과 상기 활성층으로부터 대향되게 배치되는 소스전극부와 드레인전극부을 형성하는 단계;Forming a data line disposed on the lower plate to cross the gate line, and a source electrode part and a drain electrode part disposed to face each other from the active layer; 상기 데이터배선과 소스전극부 및 드레인전극부를 포함한 하판전체에 절연막을 형성하는 단계;Forming an insulating film on the entire lower plate including the data line, the source electrode part, and the drain electrode part; 상기 데이터배선과 게이트배선상에 위치하는 절연막부분에 에어갭을 형성하는 단계;Forming an air gap in an insulating portion located on the data and gate lines; 상기 절연막상에 상기 드레인전극부와 접속되는 화소전극부을 형성하는 단계; 및Forming a pixel electrode portion connected to the drain electrode portion on the insulating film; And 상기 화소전극부를 포함한 하판상에 전기영동필름을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로하는 전기영동 디스플레이장치 제조방법.Forming an electrophoretic film on the lower plate including the pixel electrode portion; Electrophoretic display device manufacturing method comprising a. 제6항에 있어서, 상기 화소전극부는 상기 게이트배선과 데이터배선이 이루는 영역내에 위치하는 것을 특징으로하는 전기영동 디스플레이장치 제조방법.The method of claim 6, wherein the pixel electrode part is positioned in an area formed between the gate line and the data line. 제6항에 있어서, 상기 화소전극부는 상기 게이트배선 및 데이터배선과 이격되어 있는 것을 특징으로하는 전기영동 디스플레이장치 제조방법.The method of claim 6, wherein the pixel electrode part is spaced apart from the gate wiring and the data wiring. 제6항에 있어서, 상기 절연막으로는 유기막 또는 보호막 재질로 형성하는 것을 특징으로하는 전기영동 디스플레이장치 제조방법.The method of claim 6, wherein the insulating film is formed of an organic film or a protective film material. 제6항에 있어서, 상기 게이트배선 형성시에 이 게이트배선과 일정간격 이격되게 스토리지공통배선을 형성하는 것을 특징으로하는 전기영동 디스플레이장치 제조방법.The method of claim 6, wherein the storage common wiring is formed to be spaced apart from the gate wiring at a predetermined interval when the gate wiring is formed. 제6항에 있어서, 상기 절연막상에 상기 화소전극부를 드레인전극부와 접속시켜 주는 드레인콘택홀을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로하는 전기영동 디스플레이장치 제조방법.The method of claim 6, further comprising forming a drain contact hole on the insulating layer to connect the pixel electrode part to the drain electrode part.
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