KR20060127561A - 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법 - Google Patents

유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기 전계발광 표시소자의 제조 효율을 향상시킬 수 있는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법에 관한 것이다.
본 발명의 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법은 모기판 상에 매트릭스 형태로 배치되는 다수의 유기 전계발광 어레이들, 상기 다수의 유기 전계발광 어레이들의 신호패드들에 접속된 쇼팅바들, 상기 쇼팅바들과 상기 신호패드들을 연결하는 연결배선들이 형성되고 상기 쇼팅바들이 상기 모기판의 가장자리에 배치되는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법에 있어서, 상기 다수의 유기 전계발광 어레이들을 함께 봉지하는 캡을 상기 모기판 상에 장착하는 단계와; 상기 모기판 상에 캡이 장착된 상태에서 상기 쇼팅바들에 검사신호를 인가하여 상기 유기 전계발광 어레이들에 대한 에이징을 실시하는 단계를 포함한다.

Description

유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법{AGING METHOD OF ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE}
도 1은 일반적인 유기 전계발광 표시소자의 유기 전계발광 셀을 도시한 단면도.
도 2는 종래 다수의 유기 전계발광 어레이들이 형성된 모기판(Mother Glass)을 나타내는 평면도.
도 3a 및 3b는 종래 다수의 유기 전계발광 어레이들이 형성된 모기판에 글래스 캡이 장착된 평면도 및 단면도.
도 4a 및 도 4b는 종래 글래스 캡이 장착된 유기 전계발광 어레이들의 에이징 공정을 설명하기 위한 평면도 및 단면도.
도 5는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 다수의 유기 전계발광 어레이들 및 글래스 캡이 장착된 모기판을 나타내는 도면.
도 6은 도 5에 도시된 C 영역을 자세히 나타내는 도면.
도 7a 내지 7e는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 모기판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도.
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 다수의 유기 전계발광 어레이들 및 쇼 팅바가 형성된 모기판을 나타내는 평면도.
도 9는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 글래스 캡이 장착된 모기판을 나타내는 평면도.
도 10은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 다수의 유기 전계발광 어레이들 및 쇼팅바가 형성된 모기판을 나타내는 평면도.
도 11은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 글래스 캡이 장착된 모기판을 나타내는 평면도.
도 12는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 다수의 유기 전계발광 어레이들 및 쇼팅바가 형성된 모기판을 나타내는 평면도.
도 13은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 글래스 캡이 장착된 모기판을 나타내는 평면도.
도 14는 도 12에 도시된 D 영역을 자세히 나타내는 도면.
도 15는 도 14에 도시된 Ⅴ-Ⅴ' 선을 절취한 단면도.
도 16a 내지 16e는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 모기판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도.
도 17는 본 발명의 제5 실시 예에 따른 다수의 유기 전계발광 어레이들 및 쇼팅바가 형성된 모기판을 나타내는 평면도.
도 18은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 글래스 캡이 장착된 모기판을 나타내는 평면도.
도 19는 본 발명의 제6 실시 예에 따른 다수의 유기 전계발광 어레이들 및 쇼팅바가 형성된 모기판을 나타내는 평면도.
도 20본 발명의 제6 실시 예에 따른 글래스 캡이 장착된 모기판을 나타내는 평면도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 >
2, 102 : 모기판 4, 104 : 데이터라인 또는 애노드전극
6, 106 : 절연막 8, 108 : 격벽
10, 110 : 유기발광층 12, 112 : 스캔라인 또는 캐소드전극
15, 115 : 유기 전계발광 어레이 30, 130 : 글래스 캡
24, 124 : 데이터패드 32, 132 : 스캔패드
53, 153 : 정극성 쇼팅바 54, 154 : 부극성 쇼팅바
122 : 더미금속패턴 126 : 더미절연막
164 : 데이터 공통배선 165 : 스캔 공통배선
170 : 데이터 연결배선 172 : 스캔 연결배선
본 발명은 유기 전계발광 표시소자에 관한 것으로 특히, 유기 전계발광 표시소자의 제조 효율을 향상시킬 수 있는 유기 전계발광 표시소자용 모기판과 이를 이 용한 유기 전계발광 표시소자의 제조방법 및 에이징 방법에 관한 것이다.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시패널(Plasma Display Panel) 및 유기 전계발광(Electro-Luminescence : 이하, EL이라 함) 표시소자 등이 있다.
이들 중 유기 EL 표시소자는 전자와 정공의 재결합으로 형광체를 발광시키는 자발광소자로, 그 형광체로 무기 화합물을 사용하는 무기 EL과 유기 화합물을 사용하는 유기 EL로 대별된다. 이러한 EL 표시소자는 액정 표시장치와 같이 별도의 광원을 필요로 하는 수동형 발광소자에 비하여 응답속도가 음극선관과 같은 수준으로 빠르다는 장점을 갖고 있다. 또한, EL 표시소자는 저전압 구동, 자기발광, 박막형, 넓은 시야각, 빠른 응답속도, 높은 콘트라스트 등의 많은 장점을 가지고 있어 차세대 표시장치로 기대되고 있다.
도 1은 유기 EL 표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 일반적인 유기 EL 셀 구조를 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 유기 EL 셀은 애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 사이에 위치하는 유기발광층(10)을 구비하고, 유기발광층(10)은 전자주입층(10a), 전자수송층(10b), 발광층(10c), 정공수송층(10d), 정공주입층(10e)을 구비한다.
애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 사이에 전압을 인가하면, 캐소드전극(12)으로부터 발생된 전자는 전자주입층(10a) 및 전자수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽 으로 이동한다. 또한, 에노드전극(4)으로부터 발생된 정공은 정공주입층(10d) 및 정공수송층(10e)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자수송층(10b)과 정공수송층(10d)으로부터 공급되어진 전자와 정공이 충돌하여 재결합함에 의해 빛이 발생하게 되고, 이 빛은 애노드전극(4)을 통해 외부로 방출되어 화상이 표시되게 한다.
도 2는 종래 다수의 유기 EL 어레이들이 형성된 모기판을 나타내는 평면도이다.
도 2를 참조하면, 모기판(2)은 유기 EL 어레이(15)가 형성된 어레이영역(P1)과 유기 EL 어레이(15)가 형성되지 않은 비어레이영역(P2)으로 대별된다.
어레이영역(P1)은 다수의 EL 셀을 포함하는 유기 EL 어레이(15)가 형성되어 유기발광시 화상이 구현되는 표시영역(A)과, 표시영역(A)의 데이터라인들(또는 애노드전극)(4)이 신장된 데이터패드들(24) 및 표시영역(A)의 스캔라인들(또는 캐소드전극)(12)이 접속되는 스캔패드들(32)이 위치하는 비표시영역(B)을 포함한다.
비어레이영역(P2)에는 유기 EL 표시소자의 안정화 공정인 에이징 공정과 불량을 검출하는 점등검사시 이용되는 정극성 쇼팅바(53) 및 부극성 쇼팅바(54a, 54b)가 형성된다.
비어레이영역(P2)의 정극성 쇼팅바(53)에는 데이터패드들(24)가 접속되고 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(54a, 54b)에는 스캔패드들(32)이 접속된다.
이러한 정극성 쇼팅바(53)와 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(54a, 54b)는 에이징 공정과 점등검사시 검사장비의 니들핀이 접속되며 검사장비로부터 공급되는 전압을 각각의 데이터패드들(24) 및 스캔패드들(32)로 전달함으로써 유기 EL 표시소자의 안정화 공정을 수행하도록 한다.
유기 EL 표시소자의 안정화 공정이 수행되고 나면, 정극성 쇼팅바(53)와 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(54a, 54b)를 포함하는 비어레이영역(P2)은 스크라이빙공정에서 제거된다.
한편, 유기 EL 표시소자는 수분 및 산소에 쉽게 열화되는 특성을 가지고 있다.
이러한 문제를 해결하기 위하여 봉지공정 또는 인캡슐레이션(Encapsulation)공정이 실시됨으로써 유기발광층을 포함하는 유기 EL 표시소자(15)가 형성된 기판(2)은 에폭시 수지 등의 실런트를 통해 글래스 캡(30)과 합착된다.
글래스 캡(30)은 도 3a와 같이 다수의 유기 EL 어레이(15)가 형성된 모기판(2) 전체를 봉지하며, 글래스 캡(30) 내부는 도 3b에 도시된 바와 같이 스크라이빙 라인을 따라 유기 EL 어레이(15)를 분리할 경우 분리된 유기 EL 어레이(15) 각각이 봉지될 수 있도록 각각의 유기 EL 어레이(15)를 봉지하도록 형성된다.
이러한 각각의 유기 EL 어레이(15)를 봉지하는 캡(30)에는 그 배면 중앙부에 수분 및 산소를 흡수하기 위한 게터(Getter : 미도시)가 충진되며, 게터를 고정시킴과 아울러 수분 및 산소 등이 드나들도록 반투성막(미도시)이 부착된다.
이와 같이 글래스 캡(30)이 모기판(2) 전체를 봉지하도록 형성됨으로 인하여 정극성 쇼팅바(53)와 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(54a, 54b)는 인캡슐레이션 공정이 진행되면 글래스 캡(30) 내부로 유기 EL 어레이(15)와 함께 봉지되게 된다.
따라서, 유기 EL 표시소자의 에이징 공정 및 점등검사를 위해 글래스 캡(30)에는 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이 각각의 유기 EL 어레이(15)들의 정극성 쇼팅바(53)와 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(54a, 54b)에 대응되는 홀(20)이 형성되며, 홀(20)을 통하여 검사장비의 니들핀이 정극성 쇼팅바(53)와 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(54a, 54b)에 접속됨으로써 에이징 공정 및 점등검사가 실시된다.
그러나, 유기 EL 표시소자는 이와 같이 에이징 공정 및 점등검사를 위해 글래스 캡(30)에 형성되는 홀(20)에 의하여 수분이나 산소에 의해 안정하게 봉지되는 못한다는 단점이 있으며 또한, 글래스 캡(30)이 모기판(2)에 장착된 후 실시하는 에이징 공정 및 점등검사를 위해 홀(20)을 형성하는 공정이 유기 EL 표시소자의 제조공정에 추가됨으로써 그 제조비용이 상승되는 단점이 있다.
뿐만 아니라, 경우에 따라서는 글래스 캡(30)에 형성되는 홀(20)이 정확하게 정극성 쇼팅바(53)와 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(54a, 54b)에 얼라인되도록 형성되지 않는 경우 유기 EL 표시소자(15)의 에이징 공정 및 점등검사에 불편을 초래한다는 단점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 유기 EL 표시소자의 제조 효율을 향상시킬 수 있는 유기 전계발광 표시소자용 모기판과 이를 이용한 유기 전계발광 표시소자의 제조방법 및 에이징 방법을 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법은 모기판 상에 매트릭스 형태로 배치되는 다수의 유기 전계발광 어레이들, 상기 다수의 유기 전계발광 어레이들의 신호패드들이 접속된 쇼팅바들, 상기 쇼팅바들과 상기 신호패드들을 연결하는 연결배선들이 형성되고 상기 쇼팅바들이 상기 모기판의 가장자리에 배치되는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법에 있어서, 상기 다수의 유기 전계발광 어레이들을 함께 봉지하는 캡을 상기 모기판 상에 장착하는 단계와; 상기 모기판 상에 캡이 장착된 상태에서 상기 쇼팅바들에 검사신호를 인가하여 상기 유기 전계발광 어레이들에 대한 에이징을 실시하는 단계를 포함한다.
상기 다수의 유기 전계발광 어레이들은, 서로 교차되는 데이터라인들 및 스캔라인들과; 상기 데이터라인들로부터 신장된 데이터신호패드들과; 상기 스캔라인과 접속되는 스캔신호패드들을 포함한다.
상기 쇼팅바들은, 상기 데이터신호패드들에 정극성 검사신호를 인가하는 정극성 쇼팅바와; 상기 스캔신호패드들에 부극성 검사신호를 인가하는 부극성 쇼팅바를 포함한다.
상기 연결배선들은, 상기 데이터신호패드들과 상기 정극성 쇼팅바를 연결하는 제1 연결배선과; 상기 스캔신호패드들과 상기 부극성 쇼팅바를 연결하는 제2 연결배선을 포함한다.
상기 모기판 상에는, 상기 제1 연결배선 및 상기 데이터신호패드들에 공통으 로 접속되는 제1 공통배선과; 상기 제2 연결배선 및 상기 스캔신호패드들에 공통으로 접속되는 제2 공통배선이 더 형성된다.
상기 제1 공통배선과 상기 정극성 쇼팅바는 서로 일대일 대응되며, 상기 제2 공통배선과 상기 부극성 쇼팅바는 서로 일대일 대응된다.
상기 부극성 쇼팅바는, 상기 제1 스캔신호패드들과 접속되는 제1 부극성 쇼팅바 및 상기 제2 스캔신호패드들과 접속되는 제2 부극성 쇼팅바를 포함한다.
상기 모기판 상에는, 상기 제1 연결배선과 제2 연결배선이 교차되는 영역에서 상기 제1 연결배선과 제2 연결배선을 전기적으로 절연시키는 더미절연막이 더 형성된다.
상기 모기판 상에는, 상기 더미절연막 상에 상기 제1 연결배선 및 제2 연결배선 중 적어도 어느 하나를 전기적으로 연결시키는 더미금속패턴이 더 형성된다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부 도면을 참조한 본 발명의 바람직한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 5 내지 도 20을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들에 대하여 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 다수의 유기 EL 어레이들 및 글래스 캡이 장착된 모기판을 나타내는 도면이며, 도 6은 도 5에 도시된 C 영역을 자세히 나타내는 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판에는 수분 및 산소로부터 유기 EL 표시소자를 보호하기 위한 글래스 캡 (130)이 봉지공정 또는 인캡슐레이션(Encapsulation)공정에 의해 장착되며, 글래스 캡(130) 내부의 모기판(102)은 유기 EL 어레이(115)가 형성된 어레이영역(P1)과 유기 EL 어레이(115)가 형성되지 않은 비어레이영역(P2)으로 대별된다.
글래스 캡(130)은 모기판(102) 상에 다수의 유기 EL 어레이(115)들이 형성된 영역을 전체로서 봉지하며, 도시하지 않은 글래스 캡(130) 내부는 유기 EL 어레이(115)들을 각각 분리할 경우 분리된 유기 EL 어레이(115)들 각각이 봉지될 수 있도록 각각의 유기 EL 어레이(115)를 봉지하도록 형성된다.
어레이영역(P1)은 다수의 EL 셀을 포함하는 유기 EL 어레이(115)가 형성되어 유기발광시 화상이 구현되는 표시영역(A)과, 표시영역(A)의 데이터라인들(또는 애노드전극)(104)이 신장된 데이터패드들(124) 및 표시영역(A)의 스캔라인들(또는 캐소드전극)(112)에 접속되는 스캔패드들(132)이 위치하는 비표시영역(B)을 포함한다.
비어레이영역(P2)에는 데이터패드들(124)이 공통으로 접속된 데이터 공통배선(165) 및 스캔패드들(132) 중 기수번째 스캔패드들(132a)이 공통으로 접속된 제1 스캔 공통배선(166a) 및 스캔패드들(132) 중 우수번째 스캔패드들(132b)이 공통으로 접속된 제2 스캔 공통배선(166b)이 형성된다. 이 때, 데이터 공통배선(165)과 제1 및 제2 스캔 공통배선(166a, 166b)은 90 ~ 110㎛의 선폭을 가지도록 형성된다.
특히, 본 발명의 유기 EL 표시소자용 모기판에는 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역에 유기 EL 표시소자의 에이징 공정과 점등검사시 검사장비로부터 공급되는 정극성 검사신호를 데이터패드들(124)에 공급하는 정극성 쇼팅바 (153) 및 부극성 검사신호를 제1 및 제2 스캔패드들(132a, 132b)에 공급하는 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(154a, 154b)가 형성된다.
본 발명의 제1 실시 예에 따른 모기판(102)의 정극성 쇼팅바(153)와 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(154a, 154b)는 유기 EL 어레이들(115)의 수에 대응하는 수만큼 형성되어, 하나의 정극성 쇼팅바(153)는 하나의 유기 EL 어레이(115)의 모든 데이터패드(124)와 접속되며, 한 쌍의 부극성 쇼팅바(154a, 154b)는 하나의 유기 EL 어레이(115)의 모든 제1 및 제2 스캔패드(132a, 132b)와 접속된다.
정극성 쇼팅바(153)는 정극성 검사신호를 정극성 쇼팅바(153)와 데이터 공통배선(165)을 접속시키는 데이터 연결배선(170)을 통하여 데이터패드들(124)에 공급하며, 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(154a, 154b)는 부극성 검사신호를 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(154a, 154b)와 제1 및 제2 스캔 공통배선(166a, 166b)을 접속시키는 제1 및 제2 스캔 연결배선(172a, 172b)을 통하여 스캔패드들(132a, 132b)에 공급한다. 이 때, 데이터 연결배선(170)과 제1 및 제2 스캔 연결배선(172a, 172b)은 40 ~ 60㎛의 선폭을 가지도록 형성된다.
데이터 연결배선(170)과 제1 및 제2 스캔 연결배선(172a, 172b)은 글래스 캡(130)에 의해 봉지된 내부영역과 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역에 걸쳐 형성되어 글래스 캡(130)에 의해 봉지된 내부영역에 형성된 데이터 공통배선(165)과 글래스 캡(130)의 외부영역에 형성된 정극성 쇼팅바(153)를 접속시키며, 글래스 캡(130)에 의해 봉지된 내부영역에 형성된 제1 및 제2 스캔 공통배선(166a, 166b)과 글래스 캡(130)의 외부영역에 형성된 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(154a, 154b)를 접속시킨다.
이러한 구성을 통하여 본 발명의 유기 EL 표시소자용 모기판은 에이징 검사 및 점등검사시 검사장비로부터 검사신호가 공급되는 정극성 쇼팅바(153)와 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(154a, 154b)를 글래스 캡(130)의 외부에 형성함으로써 종래 글래스 캡이 장착되는 경우 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바가 글래스 캡 내부에 봉지되어 에이징 검사 및 점등검사시에 노출되지 않던 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바를 노출시키기 위하여 형성하던 홀을 형성하지 않을 수 있다.
이에 따라, 글래스 캡(130)이 모기판(102)에 장착된 후 실시하는 에이징 공정 및 점등검사를 위해 홀을 형성하는 공정이 유기 EL 표시소자의 제조공정에서 제거됨으로써 그 제조비용을 절감할 수 있다.
또한, 종래 에이징 공정 및 점등검사를 위해 글래스 캡에 형성하는 홀을 형성하지 않으므로 인하여 수분이나 산소로부터 유기 EL 표시소자를 보다 안정하게 보호할 수 있다.
뿐만 아니라, 종래 글래스 캡에 형성되는 홀이 정확하게 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바에 얼라인되지 않아 발생하던 에이징 공정 및 점등검사에 불편을 제거할 수 있다.
도 7a 내지 7e는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 모기판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다.
도 7a 내지 도 7e는 모기판(102)을 글래스 캡(130)에 의해 봉지된 영역 중 유기 EL 어레이들이 형성되는 어레이영역(P1)에서 도 6에 도시된 Ⅲ-Ⅲ’선을 절취 한 단면도와, 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 비봉지영역(NE) 중 도 6에 도시된 Ⅳ-Ⅳ’선을 절취한 단면도로 대별하여 나타낸다.
도 7a를 참조하면, 모기판(102) 상에 투명도전성물질이 전면 증착된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 어레이영역(P1) 상에 데이터라인(104)이 형성된다.
이와 동일공정으로 어레이영역(P1)에는 데이터라인(104)과 함께 도시하지 않은 데이터패드 및 스캔패드가 형성된다.
이 후, 모기판(102) 상에 몰리브덴(Mo) 등의 금속도전성물질이 전면 증착된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 도 7b에 도시된 바와 같이 어레이영역(P1)에는 데이터라인(104)의 큰 저항을 보상하기 위한 버스전극(105)이 형성되며, 비봉지영역(NE)에는 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)가 형성된다.
이와 동일공정으로 어레이영역(P1)에는 데이터패드가 공통으로 접속되는 데이터 공통배선, 스캔패드가 공통으로 접속되는 스캔 공통배선, 정극성 쇼팅바(153)와 데이터 공통배선을 접속시키는 데이터 연결배선 및 부극성 쇼팅바(154)와 스캔 공통배선을 접속시키는 스캔 연결배선이 형성된다. 이 때, 데이터 연결배선 및 스캔 연결배선은 글래스 캡(130)에 의해 봉지된 영역 및 비봉지영역(EN)에 걸쳐 형성되어 데이터 공통배선과 정극성 쇼팅바(153)를 접속시키며, 스캔 공통배선과 부극성 쇼팅바(154)를 접속시킨다.
그런 다음, 모기판(102) 상에는 절연물질이 전면 증착된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 도 7c에 도시된 바와 같이 유기발광층이 형성될 영 역을 부분적으로 노출시키는 절연막(106)이 형성되며, 절연막(106) 상에 감광성유기물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 도 7d에 도시된 바와 같이 역 테퍼(taper) 구조의 격벽(108)이 형성된다.
그 후, 격벽(108)이 형성된 모기판(102) 상에는 유기발광층(110)이 형성될 영역마다 개구부를 가지는 그릴마스크를 이용하여 증착한 유기발광층(110) 및 모기판(102) 상에 공통마스크를 이용한 전극물질의 전면 증착을 통하여 스캔라인(112)이 도 7e와 같이 형성된다.
전술한 바와 같은 공정을 통하여 유기 EL 표시소자용 모기판이 완성되면 유기 EL 표시소자를 보호하기 위한 글래스 캡(130)이 봉지공정 또는 인캡슐레이션 공정에 의해 장착된다. 이 후, 글래스 캡(130)이 장착된 모기판(102)의 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역에 형성된 정극성 쇼팅바(153)와 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(154a, 154b)에는 검사장치로부터 검사신호가 공급되며, 정극성 쇼팅바(153)와 제1 및 제2 부극성 쇼팅바(154a, 154b)에 공급되는 검사신호에 의해 유기 EL 표시소자의 에이징 공정 및 점등검사는 실시된다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 다수의 유기 EL 어레이들 및 쇼팅바가 형성된 모기판을 나타내는 평면도이며, 도 9는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 글래스 캡이 장착된 모기판을 나타내는 평면도이다.
본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판은 본 발명의 제1 실시 예와 비교하여 정극성 쇼팅바(153), 부극성 쇼팅바(154), 데이터 연결배선(170)과 제1 및 제2 스캔 연결배선(172a, 172b)을 제외한 모든 구성요소들이 동일 하므로 정극성 쇼팅바(153), 부극성 쇼팅바(154), 데이터 연결배선(170)과 제1 및 제2 스캔 연결배선(172a, 172b)을 제외한 다른 구성요소들에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판에는 인접한 행의 유기 EL 어레이들(115) 사이에 배치되는 행방향 비어레이영역(RNA1 내지 RNAn)과, 인접한 열의 유기 EL 어레이들(115) 사이에 배치되는 열방향 비어레이영역(CNA1 내지 CNAn)이 위치한다. 또한, 모기판(102)에는 유기 EL 표시소자의 안정화 공정인 에이징 공정과 불량을 검사하는 점등검사시 이용되는 정극성 쇼팅바(153)와 부극성 쇼팅바(154)가 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역에 형성된다.
본 발명의 제2 실시 예에 따른 모기판(102)의 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)는 유기 EL 어레이들(115)의 행 수에 대응하는 수만큼 형성된다.
이로 인하여, 동일 행에 배치되는 모든 유기 EL 어레이들(115)의 데이터패드(124)는 동일 행에서 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역에 형성된 정극성 쇼팅바(153)에 데이터 연결배선(170)을 통하여 접속되며, 동일 행에 배치되는 모든 유기 EL 어레이들(115)의 제1 및 제2 스캔패드(132a, 132b)는 동일 행에서 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역에 형성된 부극성 쇼팅바(154)에 제1 및 제2 스캔 연결배선(172a, 172b)을 통하여 접속된다.
여기서, 정극성 쇼팅바(153)와 동일 행에 배치되는 모든 유기 EL 어레이들(115)의 데이터패드(124)를 연결하는 데이터 연결배선(170)은 유기 EL 어레이들 (115)의 각 행의 아래에 위치하는 행방향의 비어레이영역(RNA1 내지 RNAn)을 따라 형성된다.
또한, 부극성 쇼팅바(154)와 동일 행에 배치되는 모든 유기 EL 어레이들(115)의 제1 및 제2 스캔패드(132a, 132b)를 연결하는 제1 및 제2 스캔 연결배선(172a, 172b)은 유기 EL 어레이들(115)의 각 행의 위에 위치하는 행방향 비어레이영역(RNA1 내지 RNAn)을 따라 형성됨과 아울러 행방향 비어레이영역(RNA1 내지 RNAn)으로부터 신장되어 열방향 비어레이영역(CNA1 내지 CNAn)을 따라 형성된다.
이러한 구성을 통하여 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판은 에이징 검사 및 점등검사시 검사장비로부터 검사신호가 공급되는 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)를 글래스 캡(130)의 외부에 형성함으로써 종래 글래스 캡이 장착되는 경우 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바가 글래스 캡 내부에 봉지되어 에이징 검사 및 점등검사시에 노출되지 않던 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바를 노출시키기 위하여 형성하던 홀을 형성하지 않을 수 있다.
이에 따라, 글래스 캡(130)이 모기판(102)에 장착된 후 실시하는 에이징 공정 및 점등검사를 위해 홀을 형성하는 공정이 유기 EL 표시소자의 제조공정에서 제거됨으로써 그 제조비용을 절감할 수 있다.
또한, 종래 에이징 공정 및 점등검사를 위해 글래스 캡에 형성하는 홀을 형성하지 않으므로 인하여 수분이나 산소로부터 유기 EL 표시소자를 보다 안정하게 보호할 수 있으며, 종래 글래스 캡에 형성되는 홀이 정확하게 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바에 얼라인되지 않아 발생하던 에이징 공정 및 점등검사에 불편을 제거 할 수 있다.
뿐만 아니라, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판은 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)를 유기 EL 어레이들(115)의 행 수에 대응하는 수만큼 형성함에 따라 본 발명의 제1 실시 예와 비교하여 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)를 보다 크게 형성할 수 있어 검사장비의 니들 핀이 정확하게 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)에 접촉될 수 있어 에이징 공정 및 검등검사의 신뢰성을 높일 수 있다.
도 10은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 다수의 유기 EL 어레이들 및 쇼팅바가 형성된 모기판을 나타내는 평면도이며, 도 11은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 글래스 캡이 장착된 모기판을 나타내는 평면도이다.
본 발명의 제3 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판은 본 발명이 제2 실시 예와 비교하여 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)가 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 좌우영역에 동시에 형성되며, 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)가 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 좌우영역에 동시에 형성되는 것을 제외하고는 제2 실시 예와 동일하므로 다른 구성요소에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 동일 행에 배치되는 모든 유기 EL 어레이들(115)의 데이터패드(124)는 동일 행에서 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 좌우영역에 형성된 정극성 쇼팅바(153)에 데이터 연결배선(170)을 통하여 접속되며, 동일 행에 배치되는 모든 유기 EL 어레이들(115)의 제1 및 제2 스캔패드 (132a, 132b)는 동일 행에서 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 좌우영역에 형성된 부극성 쇼팅바(154)에 제1 및 제2 스캔 연결배선(172a, 172b)을 통하여 접속된다.
따라서, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판의 데이터패드(124)에는 에이징공정과 점등검사시 검사장비로부터 정극성 검사신호가 공급되는 경우 동일 행의 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 좌측 및 우측에 형성된 정극성 쇼팅바(153)에 공급되는 신호가 동시에 공급되며, 제1 및 제2 스캔패드(132a, 132b)에도 에이징공정과 점등검사시 검사장비로부터 부극성 검사신호가 공급되는 경우 동일 행의 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 좌측 및 우측에 형성된 부극성 쇼팅바(154)에 공급되는 신호가 동시에 공급된다.
즉, 유기 EL 어레이들(115)의 데이터패드(124)와 제1 및 제2 스캔패드(132a, 132b)에는 공급되는 검사신호가 좌우영역에 형성된 각 2개의 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)에서 공급됨에 따라 에이징 공정 및 점등검사의 신뢰성을 확보할 수 있으며, 특히 제1 및 제2 스캔패드(132a, 132b)의 경우는 두 개의 부극성 쇼팅바(154)에서 검사신호가 동시에 공급됨에 따라 스캔라인의 전압강하를 방지하여 에이징공정과 점등검사의 안정성을 확보할 수 있다.
본 발명의 제2 및 제3 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조방법 및 에이징 방법은 전술한 제1 실시 예와 동일하므로 그에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 12는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 다수의 유기 EL 어레이들 및 쇼팅바가 형성된 모기판을 나타내는 평면도이며, 도 13은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 글래스 캡이 장착된 모기판을 나타내는 평면도이다.
본 발명의 제4 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판은 본 발명의 제1 내지 제3 실시 예와 비교하여 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)와 데이터 연결배선(170) 및 스캔 연결배선(172)를 제외한 모든 구성요소들이 동일하므로 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)와 데이터 연결배선(170) 및 스캔 연결배선(172)를 제외한 다른 구성 요소들에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 본 발명의 제4 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판에는 유기 EL 표시소자의 안정화 공정인 에이징 공정과 불량을 검사하는 점등검사시 이용되는 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154) 한 쌍이 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 좌측 상부에 형성된다.
이로 인하여, 모기판(102) 상에 형성된 모든 유기 EL 어레이들(115)의 데이터패드(124)는 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 좌측 상부에 형성된 하나의 정극성 쇼팅바(153)에 데이터 연결배선(170)을 통하여 접속되며, 스캔패드(132)는 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 좌측 상부에 형성된 하나의 부극성 쇼팅바(154)에 스캔 연결배선(172)을 통하여 접속된다.
따라서, 본 발명의 제4 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판의 모든 데이터패드(124)에는 에이징공정과 점등검사시 검사장비로부터 정극성 검사신호가 공급되는 경우 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 좌측 상부에 형성된 하나의 정극성 쇼팅바(153)에 공급되는 신호가 동시에 공급되며, 모든 스캔패드(132)에도 에이징공정과 점등검사시 검사장비로부터 부극성 검사신호가 공급되는 경우 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 좌측 상부에 형성된 부극성 쇼팅바(154)에 공급되는 신호가 동시에 공급된다.
여기서, 본 발명의 제4 실시 예에 따른 모기판(102)의 데이터 연결배선(170) 및 스캔 연결배선(172)은 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154) 한 쌍에 모든 데이터패드(124) 및 스캔패드(132)를 접속시켜야함에 따라 도 14에 도시된 바와 같이 서로 교차되는 지점을 가지게 된다.
도 14는 도 12에 도시된 D 영역을 자세히 나타내는 도면이며, 도 15는 도 14에 도시된 Ⅴ-Ⅴ' 선을 절취한 단면도이다.
도 14 및 도 15를 참조하면, 본 발명의 제4 실시 예에 따른 데이터 연결배선(170)은 스캔 연결배선(172)와 서로 교차되는 지점에서 스캔 연결배선(172)과의 절연을 위하여 부분적으로 단선되어 형성된다. 그런 다음, 부분적으로 단선되어 형성된 데이터 연결배선(170)과 단선되지 않은 스캔 연결배선(172) 상에는 더미절연막(126)이 형성되어 데이터 연결배선(170)과 스캔 연결배선(172)은 서로 절연시킨다. 단선된 데이터 연결배선(170)은 더미금속패턴(122)에 의해 전기적으로 연결된다.
전술한 더미절연막(126) 및 더미금속패턴(122)은 데이터 연결배선(170)을 부분적으로 단선하고 다시 전기적으로 연결시키는 경우만을 예로 설명하였으나, 스캔 연결배선(172)을 단선하는 경우에도 적용가능하다.
이러한 구성을 통하여 본 발명의 제4 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판은 에이징 검사 및 점등검사시 검사장비로부터 검사신호가 공급되는 정극성 쇼 팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)를 글래스 캡(130)의 외부에 형성함으로써 종래 글래스 캡이 장착되는 경우 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바가 글래스 캡 내부에 봉지되어 에이징 검사 및 점등검사시에 노출되지 않던 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바를 노출시키기 위하여 형성하던 홀을 형성하지 않을 수 있다.
이에 따라, 글래스 캡(130)이 모기판(102)에 장착된 후 실시하는 에이징 공정 및 점등검사를 위해 홀을 형성하는 공정이 유기 EL 표시소자의 제조공정에서 제거됨으로써 그 제조비용을 절감할 수 있다.
또한, 종래 에이징 공정 및 점등검사를 위해 글래스 캡에 형성하는 홀을 형성하지 않으므로 인하여 수분이나 산소로부터 유기 EL 표시소자를 보다 안정하게 보호할 수 있으며, 종래 글래스 캡에 형성되는 홀이 정확하게 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바에 얼라인되지 않아 발생하던 에이징 공정 및 점등검사에 불편을 제거할 수 있다.
뿐만 아니라, 본 발명의 제4 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판은 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154) 한쌍을 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역에 형성함으로써 본 발명의 제1 내지 제3 실시 예와 비교하여 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)를 보다 크게 형성할 수 있어 검사장비의 니들 핀이 정확하게 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)에 접촉될 수 있어 에이징 공정 및 검등검사의 신뢰성을 높일 수 있다. 나아가, 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)의 수를 줄이는 만큼 모기판(102) 상에 공간의 확보가 가능하여 보다 많은 수의 유기 EL 어레이들(115)을 형성할 수 있는 장점이 있다.
도 16a 내지 16e는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 모기판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다.
도 16a 내지 도 16e는 모기판(102)을 글래스 캡(130)에 의해 봉지된 영역 중 유기 EL 어레이들이 형성되는 어레이영역(P1)의 도 6에 도시된 Ⅲ-Ⅲ’선을 절취한 단면도와, 비어레이영역(P2) 중 Ⅴ-Ⅴ’선을 절취한 단면도로 대별하여 나타낸다.
도 16a를 참조하면, 모기판(102) 상에 투명도전성물질이 전면 증착된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 어레이영역(P1) 상에 데이터라인(104)이 형성된다.
이와 동일공정으로 어레이영역(P1)에는 데이터라인(104)과 함께 도시하지 않은 데이터패드 및 스캔패드가 형성된다.
이 후, 모기판(102) 상에 몰리브덴(Mo) 등의 금속도전성물질이 전면 증착된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 도 16b에 도시된 바와 같이 어레이영역(P1)에는 데이터라인(104)의 큰 저항을 보상하기 위한 버스전극(105)이 형성되며, 비어레이영역(P2)에는 부분적으로 단선된 데이터 연결배선(170)과 스캔 연결배선(172)이 형성된다.
이와 동일공정으로 어레이영역(P1)에는 데이터패드가 공통으로 접속되는 데이터 공통배선, 스캔패드가 공통으로 접속되는 스캔 공통배선이 형성되며, 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역에는 데이터 연결배선(170)에 의해 데이터 공통배선과 접속되는 정극성 쇼팅바 및 스캔 연결배선(172)에 의해 스캔 공통배선과 접속되는 부극성 쇼팅바가 형성된다. 이 때, 데이터 연결배선(170) 및 스캔 연 결배선(172)은 글래스 캡(130)에 의해 봉지된 영역 및 봉지되지 않은 외부영역에 걸쳐 형성되어 데이터 공통배선과 정극성 쇼팅바를 접속시키며, 스캔 공통배선과 부극성 쇼팅바를 접속시킨다.
그런 다음, 모기판(102) 상에는 절연물질이 전면 증착된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 도 11c에 도시된 바와 같이 어레이영역(P1)에 유기발광층이 형성될 영역을 부분적으로 노출시키는 절연막(106)이 형성되며, 비어레이영역(P2)에 부분적으로 단선된 데이터 연결배선(170)과 스캔 연결배선(172)을 절연시키는 더미절연막(126)이 형성된다. 더미절연막(126)은 부분적으로 단선된 데이터 연결배선(170)을 전기적으로 연결시킬 수 있도록 데이터 연결배선(170)의 일부분을 노출시키도록 형성된다.
그 후, 어레이영역(P1)의 절연막(106) 상에 감광성유기물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 도 11d에 도시된 바와 같이 역 테퍼(taper) 구조의 격벽(108)이 형성되며, 격벽(108)이 형성된 모기판(102) 상에는 유기발광층(110)이 형성될 영역마다 개구부를 가지는 그릴마스크를 이용하여 증착한 유기발광층(110) 및 모기판(102) 상에 공통마스크를 이용한 전극물질의 전면 증착을 통하여 스캔라인(112)이 도 11e와 같이 형성된다. 이 때, 스캔라인(112)의 형성과 동일공정으로 비어레이영역(P2)에는 더미절연막(126)에 의해 그 일부분이 노출된 데이터 연결배선(170)을 전기적으로 연결시키는 더미금속패턴(122)가 형성된다.
전술한 바와 같은 공정을 통하여 유기 EL 표시소자용 모기판이 완성되면 유 기 EL 표시소자를 보호하기 위한 글래스 캡(130)이 봉지공정 또는 인캡슐레이션(Encapsulation)공정에 의해 장착된다. 이 후, 글래스 캡(130)이 장착된 모기판(102)의 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역에 형성된 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)에는 검사장치로부터 검사신호가 공급되며, 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)에 공급되는 검사신호에 의해 유기 EL 표시소자의 에이징 공정 및 점등검사는 실시된다.
도 17는 본 발명의 제5 실시 예에 따른 다수의 유기 EL 어레이들 및 쇼팅바가 형성된 모기판을 나타내는 평면이며, 도 18은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 글래스 캡이 장착된 모기판을 나타내는 평면도이다.
본 발명의 제5 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판은 본 발명이 제4 실시 예와 비교하여 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)가 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상부 좌우영역에 동시에 형성되며, 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)가 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상부 좌우영역에 동시에 형성되는 것을 제외하고는 제4 실시 예와 동일하므로 다른 구성요소에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 17 및 도 18을 참조하면, 본 발명의 제5 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판에는 유기 EL 표시소자의 안정화 공정인 에이징 공정과 불량을 검사하는 점등검사시 이용되는 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)가 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상부 좌우측에 형성된다.
이로 인하여, 모기판(102) 상에 형성된 모든 유기 EL 어레이들(115)의 데이 터패드(124)는 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상부 좌우측에 형성된 정극성 쇼팅바(153)와 데이터 연결배선(170)을 통하여 접속되며, 스캔패드(132)는 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상부 좌우측에 형성된 부극성 쇼팅바(154)와 스캔 연결배선(172)을 통하여 접속된다.
따라서, 본 발명의 제5 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판의 데이터패드(124)에는 에이징공정과 점등검사시 검사장비로부터 정극성 검사신호가 공급되는 경우 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상부 좌측 및 우측에 형성된 정극성 쇼팅바(153)에 공급되는 신호가 동시에 공급되며, 스캔패드(132)에도 에이징공정과 점등검사시 검사장비로부터 부극성 검사신호가 공급되는 경우 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상부 좌측 및 우측에 형성된 부극성 쇼팅바(154)에 공급되는 신호가 동시에 공급된다.
즉, 유기 EL 어레이들(115)의 데이터패드(124) 및 스캔패드(132)에는 공급되는 검사신호가 좌우영역에 형성된 각 2개의 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)에서 공급됨에 따라 에이징 공정 및 점등검사의 신뢰성을 확보할 수 있으며, 특히 부극성 쇼팅바(154)의 경우는 2 개의 부극성 쇼팅바(154)에서 검사신호 동시에 공급됨에 따라 스캔라인의 전압강하를 방지하여 에이징공정과 점등검사의 안정성을 확보할 수 있다.
도 19는 본 발명의 제6 실시 예에 따른 다수의 유기 EL 어레이들 및 쇼팅바가 형성된 모기판을 나타내는 평면이며, 도 20은 본 발명의 제6 실시 예에 따른 글래스 캡이 장착된 모기판을 나타내는 평면도이다.
본 발명의 제6 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판은 본 발명이 제4 실시 예와 비교하여 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)가 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상하부 좌우영역에 동시에 형성되며, 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)가 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상하부 좌우영역에 동시에 형성되는 것을 제외하고는 제4 실시 예와 동일하므로 다른 구성요소에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 17 및 도 18을 참조하면, 본 발명의 제6 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판에는 유기 EL 표시소자의 안정화 공정인 에이징 공정과 불량을 검사하는 점등검사시 이용되는 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)가 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상하부 좌우측에 형성된다.
이로 인하여, 모기판(102) 상에 형성된 모든 유기 EL 어레이들(115)의 데이터패드(124)는 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상하부 좌우측에 형성된 정극성 쇼팅바(153)와 데이터 연결배선(170)을 통하여 접속되며, 스캔패드(132)는 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상하부 좌우측에 형성된 부극성 쇼팅바(154)와 스캔 연결배선(172)을 통하여 접속된다.
따라서, 본 발명의 제6 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판의 데이터패드(124)에는 에이징공정과 점등검사시 검사장비로부터 정극성 검사신호가 공급되는 경우 글래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상하부 좌측 및 우측에 형성된 정극성 쇼팅바(153)에 공급되는 신호가 동시에 공급되며, 스캔패드(132)에도 에이징공정과 점등검사시 검사장비로부터 부극성 검사신호가 공급되는 경우 글 래스 캡(130)에 의해 봉지되지 않은 외부영역의 상하부 좌측 및 우측에 형성된 부극성 쇼팅바(154)에 공급되는 신호가 동시에 공급된다.
즉, 유기 EL 어레이들(115)의 데이터패드(124) 및 스캔패드(132)에는 공급되는 검사신호가 상하부 좌우영역에 형성된 각 4개의 정극성 쇼팅바(153) 및 부극성 쇼팅바(154)에서 공급됨에 따라 에이징 공정 및 점등검사의 신뢰성을 확보할 수 있으며, 특히 부극성 쇼팅바(154)의 경우는 4 개의 부극성 쇼팅바(154)에서 검사신호 동시에 공급됨에 따라 스캔라인의 전압강하를 방지하여 에이징공정과 점등검사의 안정성을 확보할 수 있다.
본 발명의 제5 및 제6 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조방법 및 에이징 방법은 전술한 제4 실시 예와 동일하므로 그에 대한 설명은 생략하기로 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 EL 표시소자용 모기판 및 이를 이용한 유기 EL 표시소자의 제조방법 및 에이징 방법은 에이징 검사 및 점등검사시 검사장비로부터 검사신호가 공급되는 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바를 글래스 캡의 외부에 형성함으로써 종래 글래스 캡이 장착되는 경우 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바가 글래스 캡 내부에 봉지되어 에이징 검사 및 점등검사시에 노출되지 않던 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바를 노출시키기 위하여 형성하던 홀을 형성하지 않을 수 있다. 이에 따라, 글래스 캡이 모기판에 장착된 후 실시하는 에이징 공정 및 점등검사를 위해 홀을 형성하는 공정이 유기 EL 표시소자의 제조공정에서 제거됨으 로써 그 제조비용을 절감할 수 있다.
또한, 종래 에이징 공정 및 점등검사를 위해 글래스 캡에 형성하는 홀을 형성하지 않으므로 인하여 수분이나 산소로부터 유기 EL 표시소자를 보다 안정하게 보호할 수 있으며, 종래 글래스 캡에 형성되는 홀이 정확하게 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바에 얼라인되지 않아 발생하던 에이징 공정 및 점등검사에 불편을 제거할 수 있다.
뿐만 아니라, 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바를 수를 유기 EL 어레이들의 수에 비해 보다 적은 수로 형성할 수 있으므로 인하여 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바를 보다 크게 형성할 수 있어 검사장비의 니들 핀이 정확하게 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바에 접촉될 수 있어 에이징 공정 및 검등검사의 신뢰성을 높일 수 있다. 나아가, 정극성 쇼팅바 및 부극성 쇼팅바의 수를 줄이는 만큼 모기판 상에 공간의 확보가 가능하여 보다 많은 수의 유기 EL 어레이들을 형성할 수 있어 유기 EL 표시소자의 제조효율을 향상시킬 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (9)

  1. 모기판 상에 매트릭스 형태로 배치되는 다수의 유기 전계발광 어레이들, 상기 다수의 유기 전계발광 어레이들의 신호패드들이 접속된 쇼팅바들, 상기 쇼팅바들과 상기 신호패드들을 연결하는 연결배선들이 형성되고 상기 쇼팅바들이 상기 모기판의 가장자리에 배치되는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법에 있어서,
    상기 다수의 유기 전계발광 어레이들을 함께 봉지하는 캡을 상기 모기판 상에 장착하는 단계와;
    상기 모기판 상에 캡이 장착된 상태에서 상기 쇼팅바들에 검사신호를 인가하여 상기 유기 전계발광 어레이들에 대한 에이징을 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 유기 전계발광 어레이들은,
    서로 교차되는 데이터라인들 및 스캔라인들과;
    상기 데이터라인들로부터 신장된 데이터신호패드들과;
    상기 스캔라인과 접속되는 스캔신호패드들을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 쇼팅바들은,
    상기 데이터신호패드들에 정극성 검사신호를 인가하는 정극성 쇼팅바와;
    상기 스캔신호패드들에 부극성 검사신호를 인가하는 부극성 쇼팅바를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 연결배선들은,
    상기 데이터신호패드들과 상기 정극성 쇼팅바를 연결하는 제1 연결배선과;
    상기 스캔신호패드들과 상기 부극성 쇼팅바를 연결하는 제2 연결배선을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 모기판 상에는,
    상기 제1 연결배선 및 상기 데이터신호패드들에 공통으로 접속되는 제1 공통배선과;
    상기 제2 연결배선 및 상기 스캔신호패드들에 공통으로 접속되는 제2 공통배선이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 공통배선과 상기 정극성 쇼팅바는 서로 일대일 대응되며,
    상기 제2 공통배선과 상기 부극성 쇼팅바는 서로 일대일 대응되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 부극성 쇼팅바는,
    상기 제1 스캔신호패드들과 접속되는 제1 부극성 쇼팅바 및 상기 제2 스캔신호패드들과 접속되는 제2 부극성 쇼팅바를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 모기판 상에는,
    상기 제1 연결배선과 제2 연결배선이 교차되는 영역에서 상기 제1 연결배선과 제2 연결배선을 전기적으로 절연시키는 더미절연막이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 모기판 상에는,
    상기 더미절연막 상에 상기 제1 연결배선 및 제2 연결배선 중 적어도 어느 하나를 전기적으로 연결시키는 더미금속패턴이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 표시소자의 에이징 방법.
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