KR20060125364A - Apparatus mask for flat display device and method of fabricating using the same - Google Patents

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Abstract

A mask apparatus for a flat display device and a fabricating method using the same are provided to improve the productivity of flat display device by extending a replacement period of the mask. A mask apparatus for a flat display device forms a thin film on a substrate by using a mask with an opening pattern(69a,69b,69c) selectively penetrating deposits. The mask includes a coating film coated with polytetrafluoroethylene. The coating film(71) prevents the deposits from adhering to the opening pattern of the mask.

Description

평판 표시소자용 마스크 장치 및 이를 이용한 제조방법{APPARATUS MASK FOR FLAT DISPLAY DEVICE AND METHOD OF FABRICATING USING THE SAME}Mask device for flat panel display device and manufacturing method using the same {APPARATUS MASK FOR FLAT DISPLAY DEVICE AND METHOD OF FABRICATING USING THE SAME}

도 1은 일반적인 유기 전계발광 표시소자를 개략적으로 나타내는 사시도.1 is a perspective view schematically illustrating a general organic electroluminescent display device.

도 2는 도 1에 도시된 Ⅰ - Ⅰ' 선을 따라 절취한 단면도.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1. FIG.

도 3a 내지 도 3d는 종래의 유기 전계발광 표시소자의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도.3A to 3D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a conventional organic electroluminescent display device in stages.

도 4는 종래의 유기 전계발광 표시소자의 유기발광층을 형성하기 위한 그릴마스크의 일부부을 나타내는 도면.4 is a view showing a part of a grill mask for forming an organic light emitting layer of a conventional organic electroluminescent display device.

도 5는 종래의 유기 전계발광 표시소자의 유기발광층의 형성을 나타내는 단면도.5 is a cross-sectional view showing the formation of an organic light emitting layer of a conventional organic electroluminescent display device.

도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 장치를 나타내는 도면.6 is a view showing a mask device according to an embodiment of the present invention.

도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광 표시소자의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도.7A through 7E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 ><Brief description of symbols for the main parts of the drawings>

2, 52 : 기판 4, 54 : 데이터라인2, 52: substrate 4, 54: data line

6, 56 : 절연막 8, 58 : 격벽6, 56: insulating film 8, 58: partition wall

10, 60 : 유기발광층 12, 62 : 스캔라인10, 60: organic light emitting layer 12, 62: scan line

19, 69 : 그릴마스크의 개구부 20, 70 : 그릴마스크19, 69: opening of grill mask 20, 70: grill mask

71 : 점착방지막71: anti-sticking film

본 발명은 평판 표시소사에 관한 것으로 특히, 생산성을 향상시킬 수 있는 평판 표시소자용 마스크 장치 및 이를 이용한 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to flat panel display yarns, and more particularly, to a mask device for a flat panel display device capable of improving productivity and a manufacturing method using the same.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : 이하 "LCD"라 함), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 PDP"라 함) 및 전계발광(Electro-luminescence : 이하 "EL"이라 함) 표시소자 등이 있다.Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. As flat panel displays, liquid crystal displays (hereinafter referred to as "LCDs"), field emission displays (FEDs), plasma display panels (hereinafter referred to as PDPs), and electroluminescence (Electro-luminescence: hereinafter referred to as "EL") There is a display element.

PDP는 구조와 제조공정이 비교적 단순하기 때문에 대화면화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. LCD는 노트북 컴퓨터의 표시소자로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대화면화 어렵고 백라잇 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있다. 또한, LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 단점이 있다. 이에 비하 여, EL 소자는 발광층의 재료에 따라 무기 EL 소자와 유기 EL 소자로 대별되며 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 무기 EL 소자는 유기 EL 소자에 비하여 전력소모가 크고 고휘도를 얻을 수 없으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 없다. 반면에, 유기 EL 소자는 수십 볼트의 낮은 직류 전압에서 구동됨과 아울러, 빠른 응답속도를 가지며 고휘도를 얻을 수 있으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 있어 차세대 평판 디스플레이소자에 적합하다.PDP is most advantageous for large screens because of its relatively simple structure and manufacturing process, but it has the disadvantages of low luminous efficiency, low luminance and high power consumption. LCD is mainly used as a display element of notebook computers, but the demand is increasing. However, the large screen is difficult and power consumption is large due to the backlight unit. In addition, LCD has a disadvantage of high light loss and a narrow viewing angle due to optical elements such as a polarizing filter, a prism sheet, and a diffusion plate. On the other hand, EL devices are classified into inorganic EL devices and organic EL devices according to the material of the light emitting layer. The EL devices emit light by themselves and have advantages such as fast response speed and high luminous efficiency, luminance, and viewing angle. Inorganic EL devices have higher power consumption and higher luminance than organic EL devices, and cannot emit various colors of R, G, and B. On the other hand, the organic EL element is driven at a low DC voltage of several tens of volts, has a fast response speed, high brightness, and emits various colors of R, G, and B, which is suitable for next-generation flat panel display devices.

도 1은 일반적인 유기 EL 표시소자를 개략적으로 나타내는 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 Ⅰ - Ⅰ' 선을 따라 절취한 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view schematically showing a general organic EL display element, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 일반적인 유기 EL 표시소자는 기판(2) 상에 일정간격 이격된 다수 개의 데이터라인(4)과, 데이터라인(4) 상에 유기발광층(10)이 형성될 영역마다 개구부를 가지는 절연막(6)과, 데이터라인(4)을 가로지르는 격벽(8)과, 데이터라인(4) 상의 개구부마다 형성된 R(적색), G(녹색), B(청색) 유기발광층(10)과, 데이터라인(4)과 교차되는 스캔라인(12)을 구비한다. 1 and 2, a general organic EL display device includes a plurality of data lines 4 spaced apart from each other on a substrate 2 and an area in which an organic light emitting layer 10 is to be formed on the data lines 4. An insulating film 6 having openings each, a partition 8 crossing the data line 4, and an R (red), G (green), and B (blue) organic light emitting layer formed in each opening on the data line 4 ( 10 and a scan line 12 intersecting with the data line 4.

격벽(8)은 스캔라인(12)의 분리를 위하여 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조로 절연막(6) 상에 형성된다. The partition wall 8 is formed on the insulating film 6 in an inverted taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion for separation of the scan line 12.

R, G, B 유기발광층(10)은 R, G, B 유기발광물질의 증착을 통하여 데이터라인(4) 상의 개구부마다 형성되며, 스캔라인(12)은 기판(2) 상에 전극물질의 전면 증착을 통하여 데이터라인(4)과 교차되는 방향으로 형성된다. R, G, and B organic light emitting layers 10 are formed for each opening on the data line 4 through deposition of R, G, and B organic light emitting materials, and the scan lines 12 are formed on the front surface of the electrode material on the substrate 2. It is formed in the direction crossing the data line 4 through deposition.

도 3a 내지 도 3d는 종래의 유기 EL 표시소자의 제조방법을 단계적으로 나타 내는 단면도이다.3A to 3D are cross-sectional views showing step-by-step methods of manufacturing a conventional organic EL display element.

도 3a를 참조하면, 데이터라인(4)은 기판(2) 상에 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 등의 투명전도성물질이 전면 도포된 후 패터닝됨으로써 형성된다.Referring to FIG. 3A, the data line 4 is patterned after a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and indium tin zinc oxide (ITZO) is completely coated on the substrate 2. It is formed by.

데이터라인(4)이 형성된 기판(2) 상에 도 3b와 같이, 절연물질이 전면 증착된 후 패터닝됨으로써 데이터라인(4) 상에 유기발광층(10)이 형성될 영역마다 개구부를 가지는 절연막(6)이 형성된다.As shown in FIG. 3B, an insulating material is entirely deposited on the substrate 2 on which the data line 4 is formed, and then patterned to form an insulating layer 6 having openings in each region where the organic light emitting layer 10 is to be formed on the data line 4. ) Is formed.

이어, 절연막(6)이 형성된 기판(2) 상에 도 3c와 같이, 유기발광층(10) 및 스캔라인(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 형성된다. 격벽(8)은 소정의 높이를 가지며 스캔라인(12)을 분리시키기 위하여 상단부가 하단부보다 넓은 역 테퍼 구조로 데이터라인(4)을 가로지르는 방향으로 형성된다. Subsequently, as shown in FIG. 3C, the partition wall 8 for separating the organic light emitting layer 10 and the scan line 12 is formed on the substrate 2 on which the insulating film 6 is formed. The partition 8 has a predetermined height and is formed in a direction crossing the data line 4 in an inverse taper structure having an upper end portion wider than a lower end portion in order to separate the scan line 12.

그런 다음, 격벽(8)이 형성된 기판(2) 상에 도 3d와 같이, 그릴마스크를 통한 유기발광물질의 증착을 통하여 데이터라인(4) 상의 개부구마다 유기발광층(10)이 형성되며 연이어, 스캔라인(12)이 공통마스크를 이용한 전극물질의 전면 증착을 통하여 형성된다. Then, as shown in FIG. 3d, the organic light emitting layer 10 is formed at each opening of the data line 4 through the deposition of the organic light emitting material through the grill mask, on the substrate 2 having the partition 8 formed thereon. The scan line 12 is formed through full deposition of the electrode material using a common mask.

한편, 유기발광층(10)을 형성하는 공정에서 그릴마스크(20)를 통하여 기판(2) 상에 증착되는 유기발광물질 중 일부는 다수 번의 증착 공정에 의하여 도 4에 도시된 바와 같이 그릴마스크의 개구부(19)에 점착되게 되며, 그릴마스크의 개구부(19)에 점착된 유기발광물질은 그릴마스크의 개구부(19)에서 성장하여 그릴마스크의 개구부(19)를 막는 등의 문제를 유발한다. 이와 같이 그릴마스크의 개구부(19) 를 막는 유기발광물질에 의해 그릴마스크의 개구부(19)가 막히게 되면, 유기발광층(10)을 형성하기 위한 그릴마스크(20)의 교체주기가 짧아지게 되며 이로 인하여 유기 EL 표시소자의 제조비용은 상승하게 된다.Meanwhile, in the process of forming the organic light emitting layer 10, some of the organic light emitting materials deposited on the substrate 2 through the grill mask 20 are formed by a plurality of deposition processes, as shown in FIG. 4. The organic light emitting material that is attached to the opening 19 of the grill mask grows in the opening 19 of the grill mask, thereby causing problems such as blocking the opening 19 of the grill mask. As such, when the opening 19 of the grill mask is blocked by the organic light emitting material blocking the opening 19 of the grill mask, the replacement cycle of the grill mask 20 for forming the organic light emitting layer 10 is shortened. The manufacturing cost of the organic EL display element increases.

또한, 유기발광층(10)을 형성하기 위한 그릴마스크(20)는 유기발광층(10)의 형성 시 그 공정 오차를 줄이기 위하여 기판(2) 상에 형성된 격벽(8)에 접촉되는데 이 때, 격벽(8)과 그릴마스크(20)의 접촉 마찰로 인하여 격벽(8)에는 스크래치(Scratch)가 발생될 수 있으며, 이러한 격벽(8) 상의 스크래치는 유기 EL 표시소자에 불량을 유발하는 등 유기 EL 표시소자의 수율을 떨어뜨리는 문제가 있다.In addition, the grill mask 20 for forming the organic light emitting layer 10 is in contact with the partition wall 8 formed on the substrate 2 in order to reduce the process error when the organic light emitting layer 10 is formed, the partition wall ( Scratch may be generated in the partition wall 8 due to the contact friction between 8) and the grill mask 20, and the scratch on the partition wall 8 causes a defect in the organic EL display device. There is a problem of decreasing the yield.

따라서, 본 발명의 목적은 생산성을 향상시킬 수 있는 평판 표시소자용 마스크 장치 및 이를 이용한 제조방법을 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a mask device for a flat panel display device and a manufacturing method using the same, which can improve productivity.

또한, 본 발명의 다른 목적은 수율을 향상시킬 수 있는 평판 표시소자용 마스크 장치 및 이를 이용한 제조방법을 제공함에 있다.In addition, another object of the present invention to provide a mask device for a flat panel display device and a manufacturing method using the same that can improve the yield.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시소자용 마스크 장치는 증착물을 선택적으로 투과시키는 개구패턴이 형성된 마스크를 이용하여 기판 상에 박막을 형성하는 평판 표시소자용 마스크 장치에 있어서, 상기 마스크는 그의 표면 불소수지로 코팅된 코팅막을 구비한다.In order to achieve the above object, a mask device for a flat panel display device according to an embodiment of the present invention to a mask device for a flat panel display device to form a thin film on the substrate using a mask formed with an opening pattern for selectively transmitting a deposit The mask has a coating film coated with its surface fluorocarbon resin.

본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시소자의 제조방법은 박막이 형성될 기판을 마련하는 단계와; 상기 기판 상에 상기 박막을 형성시키기 위하여 증착물을 선택적으로 투과시키는 개구패턴을 가지며 그의 표면에 불소수지로 코팅되는 코팅막을 포함하는 마스크를 상기 기판과 정렬시키는 단계와; 상기 마스크의 개구패턴을 통하여 증착물을 선택적으로 투과시켜 상기 기판 상에 상기 박막을 형성하는 단계를 포함한다.Method of manufacturing a flat panel display device according to an embodiment of the present invention comprises the steps of preparing a substrate on which the thin film is to be formed; Aligning a mask with the substrate, the mask including a coating film coated on the surface thereof with an fluorine resin having an opening pattern for selectively transmitting a deposit to form the thin film on the substrate; Selectively transmitting a deposit through the opening pattern of the mask to form the thin film on the substrate.

상기 코팅막은 상기 증착물이 상기 마스크의 개구패턴 상에 점착되는 것을 방지한다.The coating film prevents the deposit from sticking on the opening pattern of the mask.

상기 코팅막은, 상기 마스크의 표면에 1 ∼ 10㎛의 두께로 코팅된다.The coating film is coated on the surface of the mask to a thickness of 1 ~ 10㎛.

상기 불소수지는, 불소(F)를 주성분으로 하며 탄소(C) 및 수소(H)를 포함하는 고분자 화합물이다.The fluorine resin is a high molecular compound containing fluorine (F) as a main component and containing carbon (C) and hydrogen (H).

상기 고분자 화합물은, PTFE (Polytetrafluoroethylene), PFA (Perfluoroalkoxy), FEP (Fluoroethylenepropylene), PVDF (Polyvinylidene fluoride) 중 어느 하나이다.The polymer compound is any one of PTFE (Polytetrafluoroethylene), PFA (Perfluoroalkoxy), FEP (Fluoroethylenepropylene), and PVDF (Polyvinylidene fluoride).

상기 고분자 화합물은, 분자식 -(CF2-CF2)- 가 반복되는 중합체이다.The polymer compound is a polymer in which the molecular formula-(CF 2 -CF 2 )-is repeated.

상기 박막은 애노드전극과 캐소드전극의 교차부에 형성되는 유기발광층을 포함하며, 상기 마스크의 개구패턴은 상기 유기발광층이 형성될 영역과 대응되는 영역에 형성된다.The thin film includes an organic light emitting layer formed at an intersection of an anode electrode and a cathode electrode, and the opening pattern of the mask is formed in a region corresponding to a region where the organic light emitting layer is to be formed.

상기 박막은 상기 애노드전극 상에 형성되는 격벽을 더 구비하며, 상기 코팅 막이 코팅된 상기 마스크는 상기 격벽과 접촉된다.The thin film further includes a barrier rib formed on the anode electrode, and the mask coated with the coating layer is in contact with the barrier rib.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부 도면을 참조한 본 발명의 바람직한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and advantages of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 6 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 to 8.

도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 유기발광층을 형성하는 그릴마스크를 나타내는 도면이다.6 is a diagram illustrating a grill mask for forming an organic light emitting layer of an organic EL display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 장치는 각 R, G, B 유기발광층이 형성될 영역마다 각각의 개구부(69a, 69b, 69c)를 가지는 R, G, B 그릴마스크(70a, 70b, 70c) 및 그릴마스크(70a, 70b, 70c)의 표면에 약 1 ∼ 10㎛의 두께로 코팅된 점착방지막(71)을 포함한다.Referring to FIG. 6, the mask device according to the embodiment of the present invention has R, G, and B grill masks 70a having respective openings 69a, 69b, and 69c for each of regions where R, G, and B organic light emitting layers are to be formed. , 70b and 70c and the anti-sticking film 71 coated on the surfaces of the grill masks 70a, 70b and 70c with a thickness of about 1 to 10 μm.

점착방지막(71)은 R, G, B 그릴마스크(70a, 70b, 70c)의 각 개구부(69a, 69b, 69c)에 유기발광물질이 점착되는 것을 방지한다.The anti-stick film 71 prevents the organic light emitting material from adhering to the openings 69a, 69b, and 69c of the R, G, and B grill masks 70a, 70b, and 70c.

이를 위하여 점착방지막(71)의 재료로는 비점착성, 저마찰성 및 내열성의 특성을 가지는 재료인 PTFE (Polytetrafluoroethylene), PFA (Perfluoroalkoxy), FEP (Fluoroethylenepropylene), PVDF (Polyvinylidene fluoride)등이 사용된다.To this end, as the material of the anti-sticking film 71, PTFE (Polytetrafluoroethylene), PFA (Perfluoroalkoxy), FEP (Fluoroethylenepropylene), PVDF (Polyvinylidene fluoride), or the like, which are non-tacky, low friction and heat resistant, are used.

전술한 점착방지막(71)의 재료들은 불소(F)를 주성분으로 하며 탄소(C) 및 수소(H)를 포함하는 고분자 화합물 중합체로서 그 분자식은 -(CF2-CF2)- 가 반복된다.The above-mentioned materials of the anti-sticking film 71 are high molecular compound polymers containing fluorine (F) as a main component and containing carbon (C) and hydrogen (H). The molecular formula is-(CF 2 -CF 2 )-repeated.

이하, 유기발광층을 형성하는 그릴마스크(70)에 점착방지막(71)이 코팅된 본 발명의 마스크 장치를 사용하여 본 발명의 유기 EL 표시소자를 제조하는 방법을 단계적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a method of manufacturing the organic EL display device of the present invention by using the mask device of the present invention in which the anti-stick film 71 is coated on the grill mask 70 forming the organic light emitting layer will be described below.

도 7a를 참조하면, 데이터라인(54)은 기판(52) 상에 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 등의 투명전도성물질이 전면 증착된 후 패터닝됨으로써 형성된다.Referring to FIG. 7A, the data line 54 is patterned after transparent conductive materials such as indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and indium tin zinc oxide (ITZO) are deposited on the substrate 52. It is formed by.

데이터라인(54)이 형성된 기판(52) 상에 도 7b와 같이, 절연물질이 전면 증착된 후 패터닝됨으로써 데이터라인(54) 상에 유기발광층(60)이 형성될 영역마다 개구부를 가지는 절연막(56)이 형성된다.As shown in FIG. 7B, the insulating material is entirely deposited on the substrate 52 on which the data line 54 is formed, and then patterned, thereby forming an insulating layer 56 having openings in regions where the organic light emitting layer 60 is to be formed on the data line 54. ) Is formed.

이어, 절연막(56)이 형성된 기판(52) 상에 도 7c와 같이, 유기발광층(60) 및 스캔라인(62)의 분리를 위한 격벽(58)이 형성된다. 격벽(58)은 소정의 높이를 가지며 스캔라인(62)을 분리시키기 위하여 상단부가 하단부보다 넓은 역 테퍼 구조로 데이터라인(54)을 가로지르는 방향으로 형성된다. Subsequently, as shown in FIG. 7C, the partition wall 58 for separating the organic light emitting layer 60 and the scan line 62 is formed on the substrate 52 on which the insulating film 56 is formed. The partition wall 58 has a predetermined height and is formed in a direction crossing the data line 54 in an inverse taper structure having an upper end portion wider than a lower end portion so as to separate the scan line 62.

그런 다음, 격벽(58)이 형성된 기판(52) 상에는 도 7d에 도시된 바와 같이, 점착방지막(71)이 코팅된 R 그릴마스크(70a)가 정렬되며, R 그릴마스크(70a)의 개구부(69a)를 통하여 R 유기발광물질이 증착됨으로써 데이터라인(54) 상의 R 유기발광층(60a)이 형성되며, G, B 유기발광층(60)도 같은 방법으로 형성된다. Then, the R grill mask 70a coated with the anti-stick film 71 is aligned on the substrate 52 on which the partition 58 is formed, and the opening 69a of the R grill mask 70a is aligned. The R organic light emitting material 60 is deposited on the data line 54 to form the R organic light emitting layer 60a, and the G and B organic light emitting layers 60 are formed in the same manner.

이 후, 유기발광층(60)이 형성된 기판(52) 상에 도 7e와 같이 스캔라인(12)이 공통마스크를 이용한 전극물질의 전면 증착을 통하여 형성된다. Thereafter, the scan line 12 is formed on the substrate 52 on which the organic light emitting layer 60 is formed, as shown in FIG. 7E, through the entire surface deposition of the electrode material using the common mask.

이와 같이, 비점착성의 성질을 가지는 점착방지막(71)을 그릴마스크(70)에 코팅함으로써 유기발광층(60)의 형성 시에 유기발광물질이 그릴마스크(70)에 점착 특히, 그릴마스크의 개구부(69)에 점착되어 성장하는 것을 방지하여 그릴마스크(70)의 교체주기를 길어지게 할 수 있으며 이에 따라, 유기 EL 표시소자의 생산성을 향상시킬 수 있다. As described above, the anti-adhesive film 71 having the non-adhesive property is coated on the grill mask 70 so that the organic light emitting material adheres to the grill mask 70 when the organic light emitting layer 60 is formed. In particular, the opening of the grill mask ( It is possible to prolong the replacement cycle of the grill mask 70 by preventing the growth by adhering to 69), thereby improving the productivity of the organic EL display element.

또한, 유기발광층(60) 형성 시 공정 오차를 줄이기 위하여 도 7d에 도시된 바와 같이 그릴마스크(70)를 격벽(58)에 접촉시키는 경우에도 그릴마스크(70)에 코팅하는 점착방지막(71)이 저마찰성을 성질을 가짐으로 인해 그릴마스크(70)와 접촉된 격벽(58)이 접촉 저항을 덜 받음으로 인하여 격벽(58)에 발생되는 스크래치를 줄일 수 있다. 이로 인하여 격벽(58)의 불량을 줄일 수 있으며 이에 따라, 유기 EL 표시소자의 수율을 향상시킬 수 있다.In addition, in order to reduce the process error when forming the organic light emitting layer 60, even when the grill mask 70 is in contact with the partition 58, as shown in FIG. 7D, the anti-stick film 71 is coated on the grill mask 70. Due to its low friction property, the scratches generated in the partition walls 58 may be reduced because the partition walls 58 in contact with the grill mask 70 receive less contact resistance. As a result, the defect of the partition wall 58 can be reduced, thereby improving the yield of the organic EL display element.

뿐만 아니라, 점착방지막(71)이 열에 강한 특성을 가짐에 의하여 증착 공정에서의 높은 열에 의한 그릴마스크(70)의 변형이 방지되며, 증착 공정에서 유기발광물질이 그릴마스크(70)의 개구부(69)에 증착되는 경우에도 점착방지막(70)의 비점착성 특성으로 인하여 세정 공정에서 그릴마스크(70)의 개구부(69)에 증착된 유기발광물질을 용이하게 제거할 수 있는 등 여러가지 효과가 있다.In addition, deformation of the grill mask 70 due to high heat in the deposition process is prevented by the anti-stick layer 71 having a heat-resistant property, and in the deposition process, the organic light emitting material is formed in the opening 69 of the grill mask 70. In the case of being deposited on the), due to the non-adhesive property of the anti-sticking film 70, the organic light emitting material deposited in the opening 69 of the grill mask 70 can be easily removed in the cleaning process.

여기서, 본 발명의 점착방지막(71)이 코팅된 마스크 장치의 경우를 R, G, B 유기발광층(60)을 형성하는 그릴마스크(71)의 경우 만을 예로 들어 설명하였으나, 본 발명의 마스크 장치는 R, G, B 유기발광층(60)을 형성하는 그릴마스크(71) 및 유기 EL 표시소자의 스캔라인(62)을 형성하는 공통마스크는 물론 LCD 및 PDP를 포함하는 평판 표시소자의 다수의 박막을 형성하는 마스크 공정의 경우에는 모두 적 용가능하다. Here, the mask device coated with the anti-stick film 71 of the present invention has been described using only the grill mask 71 forming the R, G, B organic light emitting layer 60 as an example, but the mask device of the present invention A plurality of thin films of a flat panel display device including an LCD and a PDP, as well as a common mask that forms a grill mask 71 for forming the R, G, and B organic light emitting layers 60 and a scan line 62 of the organic EL display device, may be used. In the case of the mask process to be formed are all applicable.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 표시소자용 마스크 장치 및 이를 이용한 제조방법은 비점착성의 성질을 가지는 점착방지막을 마스크에 코팅함으로써 평판 표시소자의 박막 형성 시에 박막물질이 마스크에 점착 특히, 마스크의 개구부에 점착되어 성장하는 것을 방지하여 마스크의 교체주기를 길어지게 할 수 있으며 이에 따라, 평판 표시소자의 생산성을 향상시킬 수 있다. As described above, the mask device for a flat panel display device according to the present invention and a manufacturing method using the same are a thin film material adheres to the mask when the thin film of the flat panel display device is formed by coating an anti-stick film having a non-adhesive property on the mask. It is possible to prevent the growth by adhering to the openings of the mask, thereby prolonging the replacement cycle of the mask, thereby improving productivity of the flat panel display device.

또한, 유기 EL 표시소자의 경우 유기발광층 및 스캔라인의 형성 시 공정 오차를 줄이기 위하여 마스크를 격벽에 접촉시키는 경우에도 마스크에 코팅하는 점착방지막이 저마찰성을 성질을 가짐으로 인해 마스크와 접촉된 격벽이 접촉 저항을 덜 받음으로 인하여 격벽에 발생되는 스크래치를 줄일 수 있다. 이로 인하여 유기 EL 표시소자의 격벽의 불량을 줄일 수 있으며 이에 따라, 수율을 향상시킬 수 있다.In addition, in the case of the organic EL display device, even when the mask is in contact with the partition wall in order to reduce the process error during formation of the organic light emitting layer and the scan line, the barrier rib contacted with the mask has a low friction property. Less contact resistance can reduce scratches on the bulkhead. As a result, defects in the partition walls of the organic EL display device can be reduced, thereby improving the yield.

뿐만 아니라, 점착방지막이 열에 강한 특성을 가짐에 의하여 증착 공정에서의 높은 열에 의한 마스크의 변형이 방지되며, 증착 공정에서 박막물질이 마스크의 개구부에 증착되는 경우에도 점착방지막의 비점착성 특성으로 인하여 세정 공정에서 마스크의 개구부에 증착된 박막물질을 용이하게 제거할 수 있는 등 여러가지 효과가 있다.In addition, the anti-adhesion film has heat-resistant properties to prevent deformation of the mask due to high heat in the deposition process, and even when the thin film material is deposited in the opening of the mask in the deposition process, the non-adhesive property of the anti-stick film is cleaned. There are various effects, such as being able to easily remove the thin film material deposited in the opening of the mask in the process.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하 는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (16)

증착물을 선택적으로 투과시키는 개구패턴이 형성된 마스크를 이용하여 기판 상에 박막을 형성하는 평판 표시소자용 마스크 장치에 있어서,In the mask device for a flat panel display device to form a thin film on a substrate using a mask having an opening pattern for selectively transmitting the deposit, 상기 마스크는 그의 표면 불소수지로 코팅된 코팅막을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자용 마스크 장치. And said mask comprises a coating film coated with its surface fluorocarbon resin. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 코팅막은 상기 증착물이 상기 마스크의 개구패턴 상에 점착되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자용 마스크 장치.And the coating layer prevents the deposit from sticking on the opening pattern of the mask. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 코팅막은,The coating film, 상기 마스크의 표면에 1 ∼ 10㎛의 두께로 코팅되는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자용 마스크 장치.A mask device for a flat panel display element, characterized in that the coating on the surface of the mask having a thickness of 1 to 10㎛. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 불소수지는,The fluorine resin, 불소(F)를 주성분으로 하며 탄소(C) 및 수소(H)를 포함하는 고분자 화합물인 것을 특징으로 하는 평판 표시소자용 마스크 장치.A masking device for a flat panel display device, comprising a fluorine (F) as a main component and a high molecular compound containing carbon (C) and hydrogen (H). 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 고분자 화합물은,The polymer compound, PTFE (Polytetrafluoroethylene), PFA (Perfluoroalkoxy), FEP (Fluoroethylenepropylene), PVDF (Polyvinylidene fluoride) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판 표시소자용 마스크 장치.Mask device for a flat panel display device, characterized in that any one of PTFE (Polytetrafluoroethylene), PFA (Perfluoroalkoxy), FEP (Fluoroethylenepropylene), PVDF (Polyvinylidene fluoride). 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 고분자 화합물은,The polymer compound, 분자식 -(CF2-CF2)- 가 반복되는 중합체인 것을 특징으로 하는 평판 표시소자용 마스크 장치.A mask device for a flat panel display element, wherein the molecular formula-(CF 2 -CF 2 )-is a repeating polymer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 박막은 애노드전극과 캐소드전극의 교차부에 형성되는 유기발광층을 포함하며, The thin film includes an organic light emitting layer formed at the intersection of the anode electrode and the cathode electrode, 상기 마스크의 개구패턴은 상기 유기발광층이 형성될 영역과 대응되는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자용 마스크 장치.And an opening pattern of the mask is formed in a region corresponding to a region where the organic light emitting layer is to be formed. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 박막은 상기 애노드전극 상에 형성되는 격벽을 더 구비하며,The thin film further includes a partition wall formed on the anode electrode, 상기 코팅막이 코팅된 상기 마스크는 상기 격벽과 접촉되는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자용 마스크 장치.And the mask coated with the coating layer is in contact with the partition wall. 박막이 형성될 기판을 마련하는 단계와;Preparing a substrate on which a thin film is to be formed; 상기 기판 상에 상기 박막을 형성시키기 위하여 증착물을 선택적으로 투과시키는 개구패턴을 가지며 그의 표면에 불소수지로 코팅되는 코팅막을 포함하는 마스크를 상기 기판과 정렬시키는 단계와;Aligning a mask with the substrate, the mask including a coating film coated on the surface thereof with an fluorine resin having an opening pattern for selectively transmitting a deposit to form the thin film on the substrate; 상기 마스크의 개구패턴을 통하여 증착물을 선택적으로 투과시켜 상기 기판 상에 상기 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조방법.And selectively transmitting the deposit through the opening pattern of the mask to form the thin film on the substrate. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 코팅막은 상기 증착물이 상기 마스크의 개구패턴 상에 점착되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조방법.And the coating film prevents the deposit from sticking on the opening pattern of the mask. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 코팅막은 상기 마스크 표면에 1 ∼ 10㎛의 두께로 코팅되는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조방법.The coating film is a method of manufacturing a flat panel display device characterized in that the coating on the surface of the mask with a thickness of 1 ~ 10㎛. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 불소수지는,The fluorine resin, 불소(F)를 주성분으로 하며 탄소(C) 및 수소(H)를 포함하는 고분자 화합물인 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조방법.A method for manufacturing a flat panel display device, comprising a fluorine (F) as a main component and a high molecular compound containing carbon (C) and hydrogen (H). 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 고분자 화합물은,The polymer compound, PTFE (Polytetrafluoroethylene), PFA (Perfluoroalkoxy), FEP (Fluoroethylenepropylene), PVDF (Polyvinylidene fluoride) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조방법.A method for manufacturing a flat panel display device comprising any one of PTFE (Polytetrafluoroethylene), PFA (Perfluoroalkoxy), FEP (Fluoroethylenepropylene), and PVDF (Polyvinylidene fluoride). 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 고분자 화합물은,The polymer compound, 분자식 -(CF2-CF2)- 가 반복되는 중합체인 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조방법.A process for producing a flat panel display device, characterized in that the molecular formula-(CF 2 -CF 2 )-is a repeating polymer. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 박막은 애노드전극과 캐소드전극의 교차부에 형성되는 유기발광층을 포함하며, The thin film includes an organic light emitting layer formed at the intersection of the anode electrode and the cathode electrode, 상기 마스크의 개구패턴은 상기 유기발광층이 형성될 영역과 대응되는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조방법.And the opening pattern of the mask is formed in a region corresponding to a region where the organic light emitting layer is to be formed. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 박막은 상기 애노드전극 상에 격벽이 형성되는 단계를 더 포함하며, The thin film further includes a partition wall formed on the anode electrode, 상기 코팅막이 코팅된 상기 마스크는 상기 격벽과 접촉되는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조방법.And the mask coated with the coating layer is in contact with the partition wall.
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