KR20060121500A - Gate valve - Google Patents

Gate valve Download PDF

Info

Publication number
KR20060121500A
KR20060121500A KR1020050043719A KR20050043719A KR20060121500A KR 20060121500 A KR20060121500 A KR 20060121500A KR 1020050043719 A KR1020050043719 A KR 1020050043719A KR 20050043719 A KR20050043719 A KR 20050043719A KR 20060121500 A KR20060121500 A KR 20060121500A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
passage
valve plate
gas
valve
plate
Prior art date
Application number
KR1020050043719A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100812117B1 (en
Inventor
최용태
Original Assignee
주식회사 에스알티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스알티 filed Critical 주식회사 에스알티
Priority to KR1020050043719A priority Critical patent/KR100812117B1/en
Publication of KR20060121500A publication Critical patent/KR20060121500A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100812117B1 publication Critical patent/KR100812117B1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/04—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/0254—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor being operated by particular means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

A gate valve is provided to prevent leak of gas due to accumulation of slurry in the gate valve by periodically cleaning slurry in an internal passage of a flange with a second transfer unit, and to increase productivity by restricting stop of process. A gate valve includes a body having a first passage supplying gas and a second passage reciprocating a valve plate supplying or shutting off gas, a first transfer unit reciprocating the valve plate in the second passage, and a second transfer unit reciprocating along the first passage in shutting off a gas supply passage of the body with the valve plate and removing foreign matters from the first passage. The valve plate has a circular plate(14) opening and closing the first passage of the body, and a rectangular frame(12) combined with the circular plate and formed around the circular plate. The second transfer unit has a cylinder(72) sealed and installed in the first passage, and an electronic control unit(74) connected to the cylinder to control reciprocating motion of the cylinder along the first passage.

Description

게이트 밸브{Gate valve} Gate valve

도 1은 본 발명에 따른 게이트 밸브의 밸브 플레이트의 평면도이다.1 is a plan view of a valve plate of a gate valve according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 몸체부의 평면도 및 측면도이다.2 is a plan view and a side view of a body portion of a gate valve according to the present invention.

도 3은 도 2의 몸체부의 부분 측면도이다. 3 is a partial side view of the body portion of FIG. 2;

도 4는 도 2의 몸체부의 측부에 결합되는 피스톤 하우징의 측면도이다. 4 is a side view of the piston housing coupled to the side of the body of FIG.

도 5는 도 1의 게이트 플레이트를 왕복운동 시키기 위한 피스톤과 연결 부품들을 보여주는 도면이다.5 is a view showing a piston and connecting parts for reciprocating the gate plate of FIG.

도 6a 내지 도 6c는 도 1의 밸브 플레이트가 닫혀진 상태에서 열려지는 상태로 변화되는 과정을 보여주는 도면.6A to 6C are views illustrating a process of changing from the closed state of the valve plate of FIG. 1 to the open state.

도 7a는 도 6a의 I-I선을 따라 절단된 요부 단면도이고, 도 7b는 도 6c의 II-II선을 따라서 절단된 요부 단면도이다.FIG. 7A is a cross-sectional view of the main part cut along the line II of FIG. 6A, and FIG. 7B is a cross-sectional view of the main part cut along the line II-II of FIG. 6C.

본 발명은 가스 공급시스템에 사용되는 게이트 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 펌프와 챔버 사이에 설치되어 챔버로 공급되는 가스에 포함된 성분들 이 밸브 내에 증착됨으로 인하여 밸브가 닫혀진 상태에서도 가스가 누설되는 것을 방지할 수 있는 개선된 구조를 갖는 게이트 밸브에 관한 것이다. The present invention relates to a gate valve used in the gas supply system, and more particularly, the gas is installed even between the pump and the chamber and the components contained in the gas supplied to the chamber is deposited in the valve, even if the gas is closed A gate valve having an improved structure capable of preventing leakage.

반도체 제조공정, 예를 들어, 웨이퍼 처리공정은 프로세스 가스와 정화 가스와 같은 여러가지 가스들의 사용을 필요로 한다. 이들 가스들은 반응챔버로 공급되어 특정 층의 형성을 위하여 사용되고, 사용후 연소 및 정화되어 배출된다.Semiconductor manufacturing processes, for example wafer processing, require the use of various gases such as process gases and purge gases. These gases are fed to the reaction chamber and used for the formation of a particular layer, which are then burned, purified and discharged.

반응챔버로 공급되는 가스의 흐름을 차단하기 위하여 사용되는 게이트 밸브는 가스에 함유된 성분들로 인하여 소정시간 사용후 그의 내표면에 슬러리와 같은 불필요한 증착층이 형성된다. 이 슬러리는 밸브 플레이트의 닫힘동작동안 밸브 플레이트의 밀착을 방해하여 밸브가 닫힌 후에도 가스의 누설을 야기한다. The gate valve used to block the flow of the gas supplied to the reaction chamber has an unnecessary deposition layer such as a slurry on its inner surface after a predetermined time due to the components contained in the gas. This slurry prevents the valve plate from sticking during the closing operation of the valve plate, causing leakage of gas even after the valve is closed.

실제 현장에서 이러한 가스 누설 문제를 해결하기 위하여, 공정을 중단하여 밸브 내에 증착된 슬러리를 주기적으로 제거해 주어야 하는데, 이는 결과적으로 제조수율의 저하로 귀결된다. In order to solve this gas leakage problem in the field, the process must be stopped to periodically remove the slurry deposited in the valve, resulting in a decrease in production yield.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 반도체 또는 엘씨디 제조공정에서 게이트 밸브에서 발생하는 가스 누설문제를 해결하는 동시에 제조수율을 향상시킬 수 있는 게이트 밸브를 제공하는데 있다. Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, to provide a gate valve that can improve the production yield while solving the gas leakage problem occurring in the gate valve in the semiconductor or LCD manufacturing process.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일측면에 따르면, 가스가 공급되는 제1 통로와, 가스의 공급을 차단 또는 허용하기 위한 밸브 플레이트가 왕복운동하는 제2 통로를 갖는 몸체부; 상기 제2 통로를 따라 밸브 플레이트의 왕복운동을 가능하게 하는 제1 이송수단; 및 상기 밸브 플레이트가 상기 몸체부의 가스 공급통로를 차단하는 위치로 이동된 상태에서 상기 제1 통로를 따라서 소정 거리 왕복운동하여 상기 제1 통로의 내부에 부착되는 물질들을 제거하는 제2 이송수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, according to an aspect of the present invention, the body portion having a first passage for supplying gas, and a second passage for reciprocating the valve plate for blocking or allowing the supply of gas; First conveying means for enabling reciprocating movement of the valve plate along the second passageway; And second conveying means for removing substances attached to the inside of the first passage by reciprocating a predetermined distance along the first passage while the valve plate is moved to a position to block the gas supply passage of the body portion. Characterized in that.

바람직하게는, 상기 제1 이송수단은, 유압 피스톤; 상기 유압 피스톤의 일단에 연결된 제1 로드; 상기 제1 로드의 타단에 그의 일단이 연결되고, 상기 밸브 플레이트의 소정 부분에 그의 타단이 연결된 제2 로드를 포함한다.Preferably, the first transfer means, the hydraulic piston; A first rod connected to one end of the hydraulic piston; One end thereof is connected to the other end of the first rod, and a second rod thereof whose other end is connected to a predetermined portion of the valve plate.

또한, 상기 밸브 플레이트는, 상기 몸체부의 제1 통로를 여닫기 위한 원형 플레이트; 및 상기 원형 플레이트의 소정 부분과 결합되어, 상기 원형 플레이트의 외측 둘레에 사각형상으로 된 사각틀을 포함한다.In addition, the valve plate, the circular plate for opening and closing the first passage of the body portion; And a square frame coupled to a predetermined portion of the circular plate and formed into a quadrangular shape around the outer side of the circular plate.

또한, 상기 제2 이송수단은, 상기 제1 통로의 내표면에 기밀 설치된 원통형 실린더; 및 상기 원통형 실린더에 연결되어 상기 제1 통로의 내표면을 따라서 상기 원통형 실린더의 상하 왕복운동을 제어하는 전자제어유닛을 포함한다. The second conveying means may further include a cylindrical cylinder hermetically installed on an inner surface of the first passage; And an electronic control unit connected to the cylindrical cylinder to control the vertical reciprocating motion of the cylindrical cylinder along the inner surface of the first passage.

선택적으로, 상기 제2 이송유닛은 상기 원통형 실린더에 설치된 집진 유닛을 추가로 포함한다. Optionally, said second transfer unit further comprises a dust collecting unit installed in said cylindrical cylinder.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 게이트 밸브의 구조 및 동작이 설명된다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the structure and operation of the gate valve of the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 게이트 밸브의 밸브 플레이트의 평면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 몸체부의 평면도 및 측면도이고, 도 3은 도 2의 몸체부의 부분 측면도이고, 도 4는 도 2의 몸체부의 측부에 결합되는 피스톤 하우징의 측면도이고, 도 5는 도 1의 게이트 플레이트를 왕복운동 시키기 위한 피스톤과 연결 부품들을 보여주는 도면이다.1 is a plan view of a valve plate of a gate valve according to the present invention, FIG. 2 is a plan view and a side view of the body part of the gate valve according to the present invention, FIG. 3 is a partial side view of the body part of FIG. Figure 5 is a side view of the piston housing coupled to the side of the body portion of, Figure 5 shows a piston and connecting parts for reciprocating the gate plate of Figure 1;

먼저, 도 2를 참조하면, 본 발명의 게이트 밸브는 몸체부(20)를 포함한다. 상기 몸체부(20)는 가스 공급관과 연결되는 플랜지(22)와, 상기 플랜지(22)와 결합되어 도 1에 도시된 밸브 플레이트(10)가 왕복운동하기 위한 통로를 제공하는 통로부(24)를 포함한다. First, referring to FIG. 2, the gate valve of the present invention includes a body portion 20. The body portion 20 includes a flange 22 connected to the gas supply pipe, and a passage portion 24 coupled with the flange 22 to provide a passage for reciprocating the valve plate 10 shown in FIG. 1. It includes.

밸브 플레이트(10)가 통로부(24)의 정해진 경로를 따라 이탈없이 왕복운동할 수 있도록, 밸브 플레이트(10)는 사각틀(12)에 원형 플레이트(14)가 결합된 구조로 되어 있다.The valve plate 10 has a structure in which the circular plate 14 is coupled to the square frame 12 so that the valve plate 10 can reciprocate along the predetermined path of the passage 24 without departure.

도 1에 도시된 밸브 플레이트(10)는 유압으로 동작하는 제1 이송장치(50)(도 6a 내지 도 6c 참조)의 동작에 따라 밸브 몸체부(20)의 통로부(24)를 따라 왕복운동한다. 이를 위하여, 제1 이송장치(50)는, 도 4에 도시된 것처럼, 유압 실린더(52)와, 상기 유압 실린더의 샤프트에 연결된 제1 로드(54)와, 상기 제1 로드(54)의 일단에 그의 일단이 연결되고, 밸브 플레이트(10)의 소정 부분에 그의 타단이 연결된 제2 로드(56)를 포함한다. The valve plate 10 shown in FIG. 1 reciprocates along the passage 24 of the valve body 20 according to the operation of the hydraulically actuated first transfer device 50 (see FIGS. 6A-6C). do. To this end, the first transfer device 50, as shown in Figure 4, the hydraulic cylinder 52, the first rod 54 connected to the shaft of the hydraulic cylinder, and one end of the first rod 54 One end thereof is connected to the second rod 56, and the other end thereof is connected to a predetermined portion of the valve plate 10.

제1 이송장치(50)는 몸체부(20)의 측부에 결합되는데, 이를 위하여, 몸체부(20)는 그의 측부에 제1 이송장치(50)의 제2 로드(56)가 밸브 플레이트(10)에 연결될 수 있도록 개구를 갖고, 이와 대응하여 제1 이송장치는, 하우징(58)을 갖는다. 제1 이송장치(50)의 피스톤(52)과 제1 로드(54)는 하우징(58)의 내부에서 밸브 플레이트(10)를 왕복운동시키기 위하여 왕복운동한다. The first conveying device 50 is coupled to the side of the body 20, for this purpose, the body 20 has a second rod 56 of the first conveying device 50 at its side with the valve plate 10. ), And correspondingly the first conveying device has a housing 58. The piston 52 and the first rod 54 of the first transfer device 50 reciprocate to reciprocate the valve plate 10 inside the housing 58.

도 6a 내지 도 6c는 도 1의 밸브 플레이트가 닫혀진 상태에서 열려지는 상태로 변화되는 과정을 보여주는 도면이고, 도 7a는 도 6a의 I-I선을 따라 절단된 요부 단면도이고, 도 7b는 도 6c의 II-II선을 따라서 절단된 요부 단면도이다6A to 6C are views illustrating a process of changing from the closed state of the valve plate of FIG. 1 to the open state, FIG. 7A is a cross-sectional view of the main part cut along the line II of FIG. 6A, and FIG. -Cross section cut along line II

도 7a 내지 도 6b를 참고하면, 본 발명의 특징부를 구성하는 제2 이송장치는 몸체부(20)의 제1 플랜지(22)의 내경보다 약간 작은 외경을 갖고서 제1 플랜지(22)의 내부 경로를 상하 왕복운동하는 원통형 실린더(72)와, 상기 원통형 실린더(72)의 왕복운동을 제어하기 위한 전자제어유닛(74)을 포함한다. 7A-6B, the second conveying device constituting the features of the present invention has an outer diameter slightly smaller than the inner diameter of the first flange 22 of the body portion 20 and the inner path of the first flange 22. It includes a cylindrical cylinder 72 for reciprocating up and down, and an electronic control unit 74 for controlling the reciprocating motion of the cylindrical cylinder (72).

공정 가스가 공급되는 상태, 즉, 밸브 플레이트(10)가 도 6c에 도시된 것처럼, 개방 위치에 있을 때, 제2 이송장치의 원형 실린더(72)는 플랜지(22)의 아래쪽에 위치한다. When the process gas is supplied, that is, the valve plate 10 is in the open position, as shown in FIG. 6C, the circular cylinder 72 of the second conveying device is located under the flange 22.

밸브 플래이트(10)의 원형 플레이트(12)가 공정 가스의 공급을 차단하기 위하여 플랜지(22) 내로 이동하여 도 6a 및 도 7a에 도시된 것처럼 플랜지(22)의 통로를 막을 때, 원통형 실린더(72)는 전자제어유닛(74)의 제어에 따라 플랜지(22) 내표면을 따라 상측으로 이동한다. 원통형 실린더(72)가 상측으로 이동하는 동안, 플랜지(22)의 내표면에 부착되었을 수 있는 슬러리는 플랜지(22)의 내표면으로부터 떨어지게 된다. When the circular plate 12 of the valve plate 10 moves into the flange 22 to block the supply of process gas and blocks the passage of the flange 22 as shown in FIGS. 6A and 7A, the cylindrical cylinder 72 ) Moves upward along the inner surface of the flange 22 under the control of the electronic control unit 74. While the cylindrical cylinder 72 is moving upwards, slurry that may have adhered to the inner surface of the flange 22 is removed from the inner surface of the flange 22.

떨어진 슬러리는 퍼징(purging) 동안 배출된다. The slurried slurry is discharged during purging.

선택적으로, 상기 제2 이송장치(70)는 원통형 실린더에 설치된 집진 유닛을 포함할 수도 있다.Optionally, the second transfer device 70 may include a dust collecting unit installed in the cylindrical cylinder.

이 집진 유닛은 원통형 실린더(72)가 상측으로 이동할 때 플랜지(22)의 내표면에 부착되어 분리되는 슬러리를 흡입한다. This dust collecting unit sucks the slurry attached to and separated from the inner surface of the flange 22 when the cylindrical cylinder 72 moves upward.

그 후, 상기 원통형 실린더(72)는 다시 아래쪽으로 하강하여 도 7b와 같은 상태로 된다. Thereafter, the cylindrical cylinder 72 is lowered again to be in a state as shown in FIG. 7B.

상기한 원통형 실린더의 상승 및 하강 동작은 1회만 수행되거나, 다수회 반복적으로 수행되어, 슬러리 제거효율을 높일 수도 있다. The operation of raising and lowering the cylindrical cylinder may be performed only once, or may be repeatedly performed several times, thereby improving slurry removal efficiency.

이상의 설명은 바람직한 실시예들을 대상으로 설명되었지만, 본 발명의 사상과 범주 및 첨부한 청구항들에서 벗어남이 없이 본 발명의 변경과 변형들이 가능하다는 점을 이해할 것이다. While the foregoing description has been directed to the preferred embodiments, it will be understood that modifications and variations of the invention are possible without departing from the spirit and scope of the invention and the appended claims.

이상에서 설명한 것처럼, 본 발명에 따르면, 게이트 밸브의 닫힘 동작동안 게이트 밸브의 가스 유입로 내부의 소정 경로를 1회 또는 반복적으로 왕복운동하는 제2 이송장치가 플랜지의 내부경로의 표면에 퇴적되는 슬러리를 주기적으로 청소하므로써, 게이트 밸브 내에 슬러리의 퇴적으로 인한 가스 누설문제를 방지할 수 있다. 그 결과, 슬러리의 퇴적으로 인한 공정의 중단을 방지하여 생산성을 향상시킨다. As described above, according to the present invention, during the closing operation of the gate valve, a slurry is deposited on the surface of the inner path of the flange by a second transfer device that reciprocates once or repeatedly a predetermined path inside the gas inlet path of the gate valve. By periodically cleaning the, it is possible to prevent the gas leakage problem due to the deposition of slurry in the gate valve. As a result, interruption of the process due to deposition of the slurry is prevented, thereby improving productivity.

Claims (5)

가스가 공급되는 제1 통로와, 가스의 공급을 차단 또는 허용하기 위한 밸브 플레이트가 왕복운동하는 제2 통로를 갖는 몸체부; A body portion having a first passage through which gas is supplied and a second passage through which a valve plate for interrupting or permitting supply of gas is reciprocated; 상기 제2 통로를 따라 밸브 플레이트의 왕복운동을 가능하게 하는 제1 이송수단; 및 First conveying means for enabling reciprocating movement of the valve plate along the second passageway; And 상기 밸브 플레이트가 상기 몸체부의 가스 공급통로를 차단하는 위치로 이동된 상태에서 상기 제1 통로를 따라서 소정 거리 왕복운동하여 상기 제1 통로의 내부에 부착되는 물질들을 제거하는 제2 이송수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.And a second conveying means for removing substances attached to the inside of the first passage by reciprocating a predetermined distance along the first passage while the valve plate is moved to a position to block the gas supply passage of the body portion. Gate valve, characterized in that. 제1항에 있어서, 상기 제1 이송수단은,The method of claim 1, wherein the first transfer means, 유압 피스톤;Hydraulic pistons; 상기 유압 피스톤의 일단에 연결된 제1 로드;A first rod connected to one end of the hydraulic piston; 상기 제1 로드의 타단에 그의 일단이 연결되고, 상기 밸브 플레이트의 소정 부분에 그의 타단이 연결된 제2 로드를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.And a second rod whose one end is connected to the other end of the first rod and whose other end is connected to a predetermined portion of the valve plate. 제1항에 있어서, 상기 밸브 플레이트는, The method of claim 1, wherein the valve plate, 상기 몸체부의 제1 통로를 여닫기 위한 원형 플레이트; 및A circular plate for opening and closing the first passage of the body portion; And 상기 원형 플레이트의 소정 부분과 결합되어, 상기 원형 플레이트의 외측 둘 레에 사각형상으로 된 사각틀을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.And a square frame coupled to a predetermined portion of the circular plate, the rectangular frame having a quadrangular shape at the outer circumference of the circular plate. 제1항에 있어서, 상기 제2 이송수단은,The method of claim 1, wherein the second transfer means, 상기 제1 통로의 내표면에 기밀 설치된 원통형 실린더;A cylindrical cylinder hermetically installed on an inner surface of the first passage; 상기 원통형 실린더에 연결되어 상기 제1 통로의 내표면을 따라서 상기 원통형 실린더의 상하 왕복운동을 제어하는 전자제어유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.And an electronic control unit connected to the cylindrical cylinder to control a vertical reciprocating motion of the cylindrical cylinder along an inner surface of the first passage. 제4항에 있어서, 상기 제2 이송유닛은 상기 원통형 실린더에 설치된 집진 유닛을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.5. The gate valve of claim 4, wherein the second transfer unit further comprises a dust collecting unit installed in the cylindrical cylinder.
KR1020050043719A 2005-05-24 2005-05-24 Gate valve KR100812117B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050043719A KR100812117B1 (en) 2005-05-24 2005-05-24 Gate valve

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050043719A KR100812117B1 (en) 2005-05-24 2005-05-24 Gate valve

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060121500A true KR20060121500A (en) 2006-11-29
KR100812117B1 KR100812117B1 (en) 2008-03-11

Family

ID=37707231

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050043719A KR100812117B1 (en) 2005-05-24 2005-05-24 Gate valve

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100812117B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112977718A (en) * 2021-03-08 2021-06-18 徐晶 Supporting mechanism for lifting ship

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101015826B1 (en) 2008-12-04 2011-02-23 주식회사 마이크로텍 Apparatus for driving value plate of vacuum gate valve

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5078180A (en) * 1990-07-30 1992-01-07 Richard Collins Automatically operated gate valve for recreational vehicles
JPH0725371U (en) * 1993-10-14 1995-05-12 日電アネルバ株式会社 Gate valve
KR19980076619A (en) 1997-04-11 1998-11-16 김영귀 Temperature sensitive solenoid ISC valve of vehicle engine
KR20010000486U (en) 1999-06-11 2001-01-05 이구택 Remove apparatus of dust for sealing valve
KR100497418B1 (en) * 2002-12-28 2005-07-01 주식회사 에스티에스 Gate valve

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112977718A (en) * 2021-03-08 2021-06-18 徐晶 Supporting mechanism for lifting ship

Also Published As

Publication number Publication date
KR100812117B1 (en) 2008-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100539691B1 (en) Vacuum gate valve
KR20060121500A (en) Gate valve
KR101494307B1 (en) Vacuum gate valve
EP0062060A1 (en) Back-flow prevention valve.
US9269547B2 (en) Semiconductor equipment
KR100446455B1 (en) Vacuum gate valve
CN203139819U (en) Dust-suction filter-mesh online dust removal device
KR101295793B1 (en) Apparatus and method for supplying isopropyl alcohol liquid
KR20120103170A (en) Exhaust system and exhaust method of substrate processing apparatus
KR100979688B1 (en) A gate valve
KR101725249B1 (en) Vacuum valves
CN208781827U (en) A kind of glue film lifts off equipment
KR101738681B1 (en) Fluid Shut-off Valve for Anti-absorption of Powder
JP2012097691A (en) Plunger pump
JPH06173850A (en) Plunger pump device with shuttle valve
KR100324808B1 (en) Three-way valve of waste gas treating apparatus.
JP5024148B2 (en) Viscous material suction device
KR102257279B1 (en) Wafer cleaning method
KR102455081B1 (en) Piston elevating device using buoyancy and dead weight
KR19990021794U (en) valve for an exhaust line
KR20190060513A (en) Gate valve
KR20190060512A (en) Gate valve
JPH08226378A (en) Plunger pump
CN116755288B (en) Device and method for removing sulfate radical of photomask
JP4297833B2 (en) Molten metal water heater

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
N231 Notification of change of applicant
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
N231 Notification of change of applicant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121210

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140303

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150223

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170303

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180305

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200304

Year of fee payment: 13

R401 Registration of restoration