KR101738681B1 - Fluid Shut-off Valve for Anti-absorption of Powder - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 및 LCD 등의 반도체 제조공정 또는 화학제품 제조공정 등에 적용되는 가스 등의 유체가 통과하면서 파우더가 발생하는 배관 시스템에서 상기 파우더가 밸브 내부에 흡착되는 것을 방지하기 위한 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유체가 유입되는 유체 유입부와 상기 유체가 유출되는 유체 유출부와 상기 유체 유입부와 상기 유체 유출부 사이에 상기 유체가 통과하는 공간이 형성된 유체 통과 공간부를 포함하여 구성된 밸브 바디와, 상기 밸브 바디를 통과하는 유체를 차단하는 차단부를 포함하여 구성된 유체 차단 밸브에서, 상기 밸브 바디의 내주면에 파우더가 흡착되는 것을 방지하기 위하여 상기 밸브 바디에 외부로부터 파우더 흡착방지 가스를 공급하는 가스 유입부를 구비하고, 상기 가스 유입부로부터 공급된 상기 파우더 흡착방지 가스를 상기 밸브 바디의 내주면을 따라 흐르게 하는 가스 유출부를 구비하게 함으로써, 유체 차단 밸브 내부의 씰링면과 작동을 위한 틈새에 파우더 적층 또는 흡착을 방지하여 파우더가 발생하는 배관 시스템에서도 원활하게 작동하는 보다 개선된 구조의 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid system for preventing the adsorption of powder on the inside of a valve in a piping system in which a powder such as a gas applied to a semiconductor manufacturing process, And more particularly to a fluid passageway including a fluid inflow portion into which a fluid flows, a fluid outflow portion through which the fluid flows out, and a fluid passing space portion through which a space through which the fluid passes is formed between the fluid inflow portion and the fluid outflow portion In order to prevent the powder from being adsorbed on the inner circumferential surface of the valve body, the fluid shut-off valve includes a valve body configured by a powder adsorption preventing gas and a blocking portion blocking the fluid passing through the valve body. And a gas inlet portion for supplying the gas The powder adsorption preventing gas supplied from the mouth portion flows along the inner circumferential surface of the valve body, thereby preventing the powder from being deposited or adsorbed on the sealing surface inside the fluid shut-off valve and the gap for operation, And more particularly, to a fluid shutoff valve for preventing adsorption of a powder, which works smoothly even in a piping system.

Description

파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브{Fluid Shut-off Valve for Anti-absorption of Powder}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a fluid shut-

본 발명은 반도체 및 LCD 등의 반도체 제조공정 또는 화학제품 제조공정 등에 적용되는 가스 등의 유체가 통과하면서 파우더가 발생하는 배관 시스템에서 상기 파우더가 밸브 내부에 흡착되는 것을 방지하기 위한 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유체가 유입되는 유체 유입부와 상기 유체가 유출되는 유체 유출부와 상기 유체 유입부와 상기 유체 유출부 사이에 상기 유체가 통과하는 공간이 형성된 유체 통과 공간부를 포함하여 구성된 밸브 바디와, 상기 밸브 바디를 통과하는 유체를 차단하는 차단부를 포함하여 구성된 유체 차단 밸브에서, 상기 밸브 바디의 내주면에 파우더가 흡착되는 것을 방지하기 위하여 상기 밸브 바디에 외부로부터 파우더 흡착방지 가스를 공급하는 가스 유입부를 구비하고, 상기 가스 유입부로부터 공급된 상기 파우더 흡착방지 가스를 상기 밸브 바디의 내주면을 따라 흐르게 하는 가스 유출부를 구비하게 함으로써, 유체 차단 밸브 내부의 씰링면과 작동을 위한 틈새에 파우더 적층 또는 흡착을 방지하여 파우더가 발생하는 배관 시스템에서도 원활하게 작동하는 보다 개선된 구조의 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브에 관한 것이다.
The present invention relates to a fluid system for preventing the adsorption of powder on the inside of a valve in a piping system in which a powder such as a gas applied to a semiconductor manufacturing process, And more particularly to a fluid passageway including a fluid inflow portion into which a fluid flows, a fluid outflow portion through which the fluid flows out, and a fluid passing space portion through which a space through which the fluid passes is formed between the fluid inflow portion and the fluid outflow portion In order to prevent the powder from being adsorbed on the inner circumferential surface of the valve body, the fluid shut-off valve includes a valve body configured by a powder adsorption preventing gas and a blocking portion blocking the fluid passing through the valve body. And a gas inlet portion for supplying the gas The powder adsorption preventing gas supplied from the mouth portion flows along the inner circumferential surface of the valve body, thereby preventing the powder from being deposited or adsorbed on the sealing surface inside the fluid shut-off valve and the gap for operation, And more particularly, to a fluid shutoff valve for preventing adsorption of a powder, which works smoothly even in a piping system.

반도체 및 평판디스플레이 등의 반도체 제조공정 또는 화학제품 제조공정 등에서는 진공 장비를 사용하게 되는데, 이 때에 진공을 만들어 주기 위해서 진공 펌프를 사용한다. Vacuum equipment is used in semiconductor manufacturing processes such as semiconductor and flat panel displays, or chemical manufacturing processes. Vacuum pumps are used to make vacuum at this time.

상기 반도체 제조 설비들은 진공 상태(또는 매우 낮은 기압 상태)에서 증착 또는 식각 등 단위 공정을 진행하며 이 공정을 진행하는 배관 시스템에는 상기 배관 시스템 내에 흐르는 유체를 차단하기 위하여 많은 종류의 유체 차단 밸브를 사용한다.The semiconductor manufacturing facilities use unit processes such as evaporation or etching at a vacuum (or at a very low atmospheric pressure), and a variety of fluid shut-off valves are used in the piping system for shutting off the fluid flowing in the piping system do.

예를 들면, 상기 진공 펌프 상부에 위치하며 펌프 교체시나 상부의 진공을 유지하여 상기 배관 시스템의 유지 보수 시간을 단축하기 위하여 사용되는 유체 차단용 게이트 밸브와 갑작스러운 펌프의 고장으로 인한 작동 중단 시 펌프 상부의 배관으로 유입되는 역압을 신속히 차단하는 역압차단 밸브가 대표적이다. For example, a fluid shutoff gate valve, which is located above the vacuum pump and used to maintain the vacuum at the time of replacing the pump or at the top to shorten the maintenance time of the piping system, and a pump for shutting off the pump due to sudden pump failure And a back pressure shutoff valve for rapidly blocking the back pressure flowing into the upper piping.

상기와 같은 유체 차단 밸브는 특허등록 제10-0593748호, 제10-706661호 제10-0952115호, 제10-1017836호 등으로 제안된 바 있으나, 반도체 공정 및 평판 디스플레이 제조 생산 공정에 사용 가스들의 반응에 의하여 많은 파우더 부산물이 발생하는 공정이 존재하고, 이 파우더들은 상기 배관 시스템 내의 배관 또는 설치되어 있는 상기와 같은 유체 차단 밸브들의 내부에 흡착되어 시간이 경과에 따라 고착화되는 문제점이 있었다. Such a fluid shut-off valve has been proposed in the patent registration Nos. 10-0593748, 10-706661, 10-0952115, and 10-1017836, There is a process in which a lot of powder byproducts are generated by the reaction, and these powders are adsorbed in the piping in the piping system or inside the above-described fluid shut-off valves, and they are fixed over time.

상기 유체 차단 밸브의 내부에 흡착 및 고착화 된 파우더는 상기 밸브 내부에 유체를 차단하기 위하여 구성되어 있는 실링재(오링) 또는 유체 차단을 위해 밸브 내부에 구성되어있는 이송체, 차단판 등의 작동되는 부분에 흡착하여 고착된다.The powder adsorbed and adhered to the inside of the fluid shut-off valve may be a sealing material (o-ring) configured to shut off the fluid inside the valve or a moving part formed inside the valve for blocking the fluid, As shown in Fig.

파우더가 흡착 및 고착화되어 오염된 밸브 내부의 실링재(오링)는 역압차단시 또는 인위적 조절에 따른 유체 차단 작동 시 정확한 실링(sealing)을 할 수 없고, The sealing material (o-ring) inside the contaminated valve due to the adsorption and fixing of the powder can not be precisely sealed when the back pressure is cut off or the fluid is shut off due to the artificial control,

또한 밸브 내부의 유체를 차단하기 위하여 구성되어 작동되는 차단판, 이송체 의 작동 불능 상태를 초래하며, 기존의 파우더가 차단판, 이송체 등의 구동 수단들을 수용하는 부분으로의 파우더 유입을 막기 위하여 밸브 내부에 구성된 파우더 분진방지 링 등의 작동 틈새 부분에 파우더가 흡착 고착되어 파우더 분진방지 링의 작동 불능 상태가 되어 상기 차단판, 이송체의 이동을 방해하여 유체 차단을 할 수 없는 등의 문제점을 가지고 있다.
In addition, the shut-off plate, which is constructed to shut off the fluid inside the valve, causes the operation of the conveying body to be inoperable. In order to prevent the powder from flowing into the portion where the conventional powder receives the driving means such as the shut- The dust is prevented from reaching the operation gap of the powder dust prevention ring or the like formed in the valve and the powder dust prevention ring becomes inoperable state to obstruct the movement of the shield plate and the conveyance body, Have.

본 발명은 상기와 같이 종래의 문제점을 해소하기 위하여 창안된 것으로서, 반도체 및 평판디스플레이 등등의 반도체 제조공정 또는 화학제품 제조공정 등에서 가스 등의 유체가 통과하면서 파우더가 발생하는 공정에서의 배관 시스템에 사용되는 역압차단 밸브, 게이트 밸브 등과 같은 유체 차단 밸브에서 밸브의 인위적인 개폐 작동(OPEN, CLOSE) 또는 역압차단 작동 시 상기 밸브의 내부에 파우더가 흡착되는 현상으로 인하여 발생하는 작동 오류 및 리크(leak)의 발생 등을 방지할 수 있도록 밸브 내부로 파우더 흡착방지 가스를 주입할 수 있는 구조를 가지게 함으로써, 상기 밸브 내부의 실링면과 작동을 위한 틈새에 파우더의 흡착 및 고착을 방지하여 파우더가 발생하는 공정에서의 배관 시스템에서도 원활하게 작동하는 보다 개선된 구조를 가진 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide a piping system in a process of generating a powder through a fluid such as a gas in a semiconductor manufacturing process or a chemical production process, (OPEN, CLOSE) of a valve in a fluid shut-off valve such as a back-pressure shut-off valve, a gate valve, etc., or a phenomenon in which a powder is attracted to the inside of the valve when the back- The powder adsorption prevention gas can be injected into the valve so as to prevent the powder from being adsorbed and adhered to the sealing surface inside the valve and the gap for operation, Which has a more advanced structure that works well in the piping system of To provide an adsorbent for preventing fluid shut-off valve has the purpose.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브는, 유체가 유입되는 유체 유입부와; 상기 유체가 유출되는 유체 유출부와; 상기 유체 유입부와 상기 유체 유출부 사이에 상기 유체가 통과하는 공간이 형성된 유체 통과 공간부;를 포함하여 구성된 밸브 바디와, 상기 밸브 바디를 통과하는 유체를 차단하는 차단판을 포함하는 차단부로 구성된 유체 차단 밸브에 있어서, 상기 밸브 바디의 내부에 외부로부터 파우더 흡착방지 가스를 공급하는 가스 유입부와, 압축공기에 의하여 상하로 이동되어 상기 차단판이 차단위치에 않을 경우 상기 차단판을 수용하는 공간을 차단하는 파우더 유입방지링와, 상기 가스 유입부로부터 공급된 상기 파우더 흡착방지 가스가 상부로 유도되도록 원통형 형상의 가스 유로 유도링을 구비하고, 상기 파우더 유입방지링은 내부공간부를 형성하고 상기 가스 유로 유도링의 상부가 상기 파우더 유입방지링의 내부공간부에 구비되게 하여 상기 가스 유입부에서 공급되는 파우더 흡착 방지 가스가 상기 가스 유로 유도링의 외주면을 따라 올라가다가 상기 파우더 유입방지링의 내주면 및 상기 가스 유로 유도링의 내주면을 따라 흐르도록 유도한 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a fluid shut-off valve for preventing powder adsorption, the fluid shut-off valve comprising: a fluid inflow portion into which a fluid flows; A fluid outlet through which the fluid flows; And a fluid passage space in which a space through which the fluid passes is formed between the fluid inlet and the fluid outlet, and a blocking portion including a blocking plate for blocking the fluid passing through the valve body A fluid shut-off valve comprising: a gas inflow part for supplying powder adsorption prevention gas from the outside to the inside of the valve body; and a space, which is moved up and down by compressed air to accommodate the shut-off plate when the shut- Wherein the powder inflow prevention ring is formed in a cylindrical shape so that the powder adsorption preventive gas supplied from the gas inflow portion is directed upwardly. The powder inflow preventing ring forms an internal space portion, The upper portion of the ring is provided in the inner space portion of the powder inflow prevention ring, The powder adsorption preventing gas supplied from the inlet is raised along the outer peripheral surface of the gas flow guide ring and guided so as to flow along the inner peripheral face of the powder inflow prevention ring and the inner peripheral face of the gas flow guide induction ring.

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또한, 본 발명은 상기 파우더 유입방지 링이 상기 유체 유입부에 가까운 위치에 설치되거나 상기 유체 유출부에 가까운 위치에 설치된 것을 특징으로 한다.Further, the present invention is characterized in that the powder inflow preventing ring is installed at a position near the fluid inflow portion or at a position close to the fluid outflow portion.

또한, 본 발명은 상기 가스 유입부가 상기 유체 유입부 또는 유체 유출부에 가까운 위치에 구비된 것을 특징으로 한다.Further, the present invention is characterized in that the gas inlet is provided at a position close to the fluid inlet or the fluid outlet.

또한, 본 발명은 상기 가스 유입부가 상기 유체 유입부에 가까운 위치 및 유체 유출부에 가까운 위치 모두에 구비된 것을 특징으로 한다.
Further, the present invention is characterized in that the gas inlet is provided at both a position near the fluid inlet and a position near the fluid outlet.

본 발명에 따른 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브는 밸브 바디의 내주면 및 밸브 내부에 존재하는 틈새에 파우더가 흡착되는 것을 방지하기 위하여 상기 밸브 바디에 외부로부터 파우더 흡착방지 가스를 공급하는 가스 유입부를 구비하고, 상기 가스 유입부로부터 공급된 상기 파우더 흡착방지 가스를 상기 밸브 바디의 내주면을 따라 흐르게 하는 가스 유출부를 구비함으로써, 상기 파우더 유입방지 링의 내주면 또는 상기 유체 유출부의 내주면에 또는, 밸브 바디의 내부에 존재하는 틈새에 파우더가 흡착되는 것을 방지할 수 있어 파우더가 발생되는 공정에서의 배관 시스템에도 원활하게 작동될 수 있는 효과가 있다.A fluid shutoff valve for preventing powder adsorption according to the present invention includes a gas inflow part for supplying powder adsorption prevention gas from the outside to the valve body to prevent powder from being adsorbed in a gap existing in the inner circumferential surface of the valve body and inside the valve, And a gas outflow portion for allowing the powder adsorption preventing gas supplied from the gas inflow portion to flow along the inner circumferential surface of the valve body. Therefore, it is possible to prevent the powder adsorption preventing gas from being present on the inner circumferential surface of the powder inflow prevention ring, the inner circumferential surface of the fluid outflow portion, It is possible to prevent the powder from being adsorbed in the gap between the powder and the powder, and to smoothly operate the piping system in the process of generating the powder.

또한, 본 발명은 유체 통과 공간부에 파우더 유입방지 실린더를 더 구비하고, 상기 파우더 유입방지 실린더 내부에 외부에서 공급되는 압축공기 또는 압축가스에 의하여 이동되는 파우더 유입방지 링을 구비하여, 상기 차단판이 차단 위치에 있지 않고 상기 유체 통과 공간부의 일측에 위치할 때, 상기 파우더 유입방지 링을 이동시켜 상기 차단판을 수용하는 공간을 차단함으로써 상기 차단판을 수용하는 공간 내부로 유입되는 파우더의 유입을 원천적으로 차단할 수 있는 효과가 있다.The powder inflow prevention cylinder further includes a powder inflow preventing ring which is moved by compressed air or compressed gas supplied from the outside in the powder inflow preventing cylinder, When the powder inflow prevention ring is located at one side of the fluid passage space without being in the cut-off position, the powder inflow prevention ring is moved to block the space for accommodating the shutoff plate, thereby allowing the inflow of the powder flowing into the space, As shown in FIG.

또한, 본 발명은 상기 밸브 바디의 내부에 구비된 가스 유출부에서 유출되는 파우더 흡착방지 가스가 상기 밸브 바디의 내주면 또는, 밸브 바디 내주면과 상기 파우더 유입방지 링과의 사이에 형성된 공간부로 보다 잘 흐르도록 유도하기 위한 가스 유로 유도링을 구비함으로써, 보다 완벽하게 상기 밸브 바디 내부에 파우더가 흡착되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 상기 파우더 유입방지링에 대하여 내부공간부를 형성하고 상기 가스 유로 유도링의 상부가 상기 파우더 유입방지링의 내부공간부에 구비되게 함으로써, 가스 유로 유도링의 내주면에 파우더 흡착 방지 가스가 용이하게 흐르도록 유도하게 되고, 이로 인하여 상기 가스 유로 유도링의 내주면에 파우더의 적층 또는 흡착을 방지하는 효과가 있다.
Further, the present invention is characterized in that powder adsorption preventing gas flowing out from a gas outlet portion provided inside the valve body flows more easily into an inner circumferential surface of the valve body or a space portion formed between the inner circumferential surface of the valve body and the powder inflow preventing ring The present invention has the effect of preventing the powder from being absorbed into the valve body more completely.
In addition, according to the present invention, an inner space is formed in the powder inflow prevention ring, and the upper part of the gas flow guide ring is provided in the inner space of the powder inflow prevention ring, So that it is possible to prevent the powder from being laminated or adsorbed on the inner peripheral surface of the gas channel guide ring.

도 1은 본 발명에 따른 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브의 일 예의 외관도
도 2는 도 1의 단면도
도 3은 본 발명에 따른 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브의 다른 예의 외관도
도 4는 도 3의 단면도
도 5는 본 발명에 따른 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브의 또 다른 예의 외관도
도 6은 도 5의 단면도
도 7의 (a) 및 (b)는 본 발명에서 파우더 흡착방지 가스를 밸브 바디 내부로 유출되는 구조를 설명하기 위한 단면도 및 평면도
도 8의 (a) 내지 (d)는 도 1의 유체 차단 밸브가 작동되는 과정을 설명하는 도면
도 9의 (a) 내지 (d)는 도 3의 유체 차단 밸브가 작동되는 과정을 설명하는 도면
도 10의 (a) 내지 (c)는 도 5의 유체 차단 밸브가 작동되는 과정을 설명하는 도면
도 11 및 도 12는 각각 본 발명의 다른 실시 예로서 밸브 바디 내부에 가스 유로 유도링이 구비된 유체 차단 밸브의 단면도
도 13의 (a) 및 (b)는 밸브 바디 내부에 구비된 가스 유로 유도링의 다른 실시예를 도시한 도면
도 14의 (a) 및 (b)는 밸브 바디 내부에 구비된 가스 유로 유도링의 또다른 실시예를 도시한 도면
도 15의 (a) 및 (b)와 및 도 16 의 (a) 및 (b)는 각각 도 1 및 도 3의 유체 차단 밸브에서 압축공기 공급부의 위치가 상부로 배치된 실시예를 도시하고 있는 도면
도 17의 (a) 및 (b)는 각각 도 14의 (a) 및 (b)에서 가스 유입부가 상기 유체 유입부에서 가까운 위치에 더 구비된 것을 도시한 도면
도 18의 (a)는 도 15의 (a) 및 도 16의 (a)의 일실시예 단면도이고, 도 18의 (b)는 도 15의 (b) 및 도 16의 (b)의 일실시예 단면도1 is an external view of an example of a fluid shutoff valve for preventing powder adsorption according to the present invention
Figure 2 is a cross-
3 is an external view of another example of a fluid shutoff valve for preventing powder adsorption according to the present invention
Figure 4 is a cross-
5 is an external view of another example of a fluid shutoff valve for preventing powder adsorption according to the present invention
6 is a cross-
7 (a) and 7 (b) are a cross-sectional view and a plan view for explaining the structure in which the powder adsorption preventing gas flows out into the valve body according to the present invention
8 (a) to 8 (d) are views for explaining the process of operating the fluid shut-off valve of Fig. 1
9 (a) to 9 (d) are views for explaining a process of operating the fluid shut-off valve of Fig. 3
10 (a) to 10 (c) are views for explaining the process of operating the fluid shut-off valve of Fig. 5
11 and 12 are cross-sectional views of a fluid shut-off valve having a gas flow guide ring in a valve body as another embodiment of the present invention
13 (a) and 13 (b) are views showing another embodiment of the gas channel induction ring provided inside the valve body
14 (a) and 14 (b) are views showing another embodiment of the gas channel induction ring provided inside the valve body
Figures 15A and 16B and Figures 16A and 16B show an embodiment in which the positions of the compressed air supply in the fluid shut-off valves of Figures 1 and 3 are disposed at the top, respectively drawing
17 (a) and 17 (b) are diagrams showing that the gas inflow portion is further provided at a position nearer to the fluid inflow portion in FIGS. 14 (a) and 14 (b)
FIG. 18A is a cross-sectional view of one embodiment of FIGS. 15A and 16A, and FIG. 18B is a cross-sectional view of the embodiment shown in FIGS. 15B and 16B. Example section

이하, 본 발명에 따른 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브에 대하여 첨부된 도면을 참고로 구체적으로 설명하면 다음과 같다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a fluid shutoff valve for preventing powder adsorption according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브는 반도체 및 평판디스플레이 등의 반도체 제조공정 또는 화학제품 제조공정 등에 적용되는 공정에서 반응 부산물에 의한 파우더 또는, 가스 등의 유체가 통과하면서 파우더가 발생하는 배관 시스템에 상기 파우더가 밸브 내부에 흡착되는 것을 방지하기 위한 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브이다.A fluid shutoff valve for preventing powder adsorption according to the present invention is a valve shutoff valve for preventing adsorption of a powder in a piping system in which powders by reaction byproducts or powders such as gas are generated while a powder is generated in a process applied to a semiconductor manufacturing process such as semiconductor and flat panel displays, Is a fluid shutoff valve for preventing adsorption of the powder inside the valve.

본 발명에 따른 유체 차단 밸브는 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이 인위적 조작에 의한 유체를 차단하는 게이트 밸브 겸용 역압차단 밸브와, 도 5 및 6에 도시된 바와 같이 인위적 조작에 의한 유체를 차단하는 전용 게이트 밸브 등의 밸브에 적용되는 것으로서, 유체가 유입되는 유체 유입부(11)와 상기 유체가 유출되는 유체 유출부(13)와 상기 유체 유입부(11)와 상기 유체 유출부(13) 사이에 상기 유체가 통과하는 공간이 형성된 유체 통과 공간부를 포함하여 구성된 밸브 바디(10)와, 상기 밸브 바디(10)를 통과하는 유체를 차단하는 차단부 등으로 구성된 유체 차단 밸브이고 파우더가 발생되는 배관 시스템에 사용되는 것이라면 모두 적용이 가능하다.The fluid shut-off valve according to the present invention comprises a back-pressure shut-off valve serving as a gate valve for shutting off fluid by an artificial operation as shown in Figs. 1 to 4, And a fluid outlet portion 13 in which the fluid flows out and a fluid outlet portion 13 between the fluid inlet portion 11 and the fluid outlet portion 13, A valve body 10 including a fluid passage space in which a space for the fluid to pass through is formed in the valve body 10 and a blocking part for blocking the fluid passing through the valve body 10, Anything that is used in the system can be applied.

본 발명에 대하여 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브로 적용된 예들을 가지고 설명하면 다음과 같다.As shown in FIGS. 1 to 4, the present invention will be described with reference to examples applied as a fluid shutoff valve for preventing powder adsorption according to the present invention.

도 1 및 2의 유체 차단 밸브는 밸브 바디(10)가 유체가 유입되는 방향으로 일정 길이를 가지는 유체 유입부(11)와 유체가 유출되는 방향으로 일정길이를 가지는 유체 유출부(13)와 상기 유체 유입부(11)와 상기 유체 유출부(13) 사이에 상기 유체가 통과하는 공간이 형성된 유체 통과 공간부로 구성되어 원통형 형상의 밀폐형 구조로 되어 있고, 외부로부터 배관 시스템 내에 진공펌프의 정지 또는 이상의 역압이 발생되었다는 등의 역압 발생 신호가 발생하면 상기 구동수단(41)이 공압 등에 의하여 작동하게 되고 상기 구동수단(41)이 상기 회전축(42)이 일정 각도로 회전시켜 상기 이송체(20)가 상기 유체 유입부(11)를 차단하는 위치로 이동되는 구조로 되어 있다.1 and 2, the fluid shut-off valve includes a fluid inlet 11 having a predetermined length in a direction in which the valve body 10 receives the fluid, a fluid outlet 13 having a predetermined length in a direction in which the fluid flows, And a fluid passage space portion in which a space through which the fluid passes is formed between the fluid inlet portion (11) and the fluid outlet portion (13), and has a closed cylindrical structure of a cylindrical shape. When a back pressure generating signal such as a back pressure is generated, the driving means 41 is operated by pneumatic pressure or the like and the driving means 41 rotates the rotation shaft 42 at a certain angle, And is moved to a position where the fluid inflow part (11) is blocked.

도 3 및 4의 유압차단 밸브는 밸브 바디(10)가 유체가 유입되는 방향으로 일정 길이를 가지는 유체 유입부(11)와 유체가 유출되는 방향으로 일정길이를 가지는 유체 유출부(13)와 상기 유체 유입부(11)와 상기 유체 유출부(13) 사이에 상기 유체가 통과하는 공간이 형성된 유체 통과 공간부로 구성되어 횡 방향으로 긴 사각통 형상의 밀폐형 구조로 되어 있고, 외부로부터 배관 시스템 내에 진공펌프의 정지 또는 이상의 역압이 발생되었다는 등의 역압 발생 신호가 발생하면 상기 구동수단(41)이 공압 등에 의하여 작동하게 되고 상기 구동수단(41)이 작동하면 상기 구동수단(41)이 상기 링크수단(43)을 신장시키게 되고, 이로 인하여 상기 링크수단(43)의 타단부에 결합된 상기 이송체(20)가 상기 유체 유입부(11)를 차단하는 위치로 이동되게 되는 구조로 되어 있다. 3 and 4, the valve body 10 includes a fluid inflow portion 11 having a predetermined length in a direction in which the fluid flows, a fluid outflow portion 13 having a predetermined length in a direction in which the fluid flows out, And a fluid passage space portion in which a space through which the fluid passes is formed between the fluid inlet portion (11) and the fluid outlet portion (13), has a closed rectangular shape in the transverse direction, The driving means 41 is operated by pneumatic pressure or the like and when the driving means 41 is operated, the driving means 41 is operated by the link means So that the conveying member 20 coupled to the other end of the link means 43 is moved to a position where the fluid inlet 11 is shut off.

도 1 내지 도 4의 유체 차단 밸브는 상기 이송체(20)의 상부에 상기 차단판(30)이 안치되어 있고, 상기 이송체(20)가 상기 유체 유입부(11)를 차단하는 위치로 이동되면 상기 차단판(30)이 상기 밸브 바디(10) 내의 역압 발생으로 압력차가 발생하는 것으로 인하여 부양하여 상기 유체 유입부(11)를 차단하게 되는 구조로 되어 있다.1 to 4, the blocking plate 30 is positioned above the conveying body 20, and the conveying body 20 is moved to a position where it blocks the fluid inlet 11 The blocking plate 30 floats due to a pressure difference due to back pressure in the valve body 10 to block the fluid inlet 11.

상기 도 1 내지 도 4의 유체 차단 밸브는 상기와 같이 배관 시스템 내에 역압이 발생되면 역압차단 밸브로서의 역할을 수행하지만, 펌프 교체시나 배관 시스템의 유지 보수를 위하여 배관 내 통과되는 유체를 차단하는 유체 차단용 게이트 밸브로서의 역할 도 수행할 수 있다. 도 1 내지 도 4의 유체 차단 밸브가 게이트 밸브로서의 역할을 하기 위해서는 상기 차단판(30)을 인위적으로 상승시키게 하여 유체 유입부(11)을 차단하게 할 수 있다. 에를 들면 후술하는 파우더 유입방지 링(51)을 상승시켜 상기 차단판(30)에 맞닿게 하여 상기 차단판(30)을 상승시켜 상기 유체 유입부(11)을 차단할 수 있게 된다.The fluid shut-off valve of FIGS. 1 to 4 functions as a back pressure shut-off valve when back pressure is generated in the piping system as described above. However, in order to maintain the maintenance of the piping system or the maintenance of the piping system, It can also serve as a gate valve for a fuel cell. In order for the fluid shutoff valve of FIGS. 1 to 4 to function as a gate valve, the shutoff plate 30 may be artificially raised to block the fluid inlet 11. The powder inflow preventing ring 51 to be described later is raised to come in contact with the blocking plate 30 so that the blocking plate 30 can be raised to block the fluid inflow portion 11. [

다음으로, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브가 유체를 차단하는 용도인 게이트 밸브의 역할만을 하는 예를 가지고 설명하면 다음과 같다.Next, as shown in FIG. 5 and FIG. 6, a fluid shutoff valve for preventing powder adsorption according to the present invention will be described as an example of a gate valve serving as a fluid shutoff.

도 5 및 6의 게이트 밸브는 밸브 바디(10)가 유체가 유입되는 방향으로 일정 길이를 가지는 유체 유입부(11)와 유체가 유출되는 방향으로 일정길이를 가지는 유체 유출부(13)와 상기 유체 유입부(11)와 상기 유체 유출부(13) 사이에 상기 유체가 통과하는 공간이 형성된 유체 통과 공간부로 구성되어 횡 방향으로 긴 사각통 형상의 밀폐형 구조로 되어 있고, 배관 시스템 내에 유체를 인위적으로 차단하기 위하여 밸브의 개폐가 필요할 때 상기 구동수단(41)이 공압 등에 의하여 작동되어 링크수단(43)을 신장시키게 되고, 이로 인하여 상기 링크수단(43)의 타단부에 결합된 상기 이송체(20)가 상기 유체 유입부(11)를 차단하는 위치로 이동되면서 상기 이송체(20)의 상부에 구비된 차단판(30)이 기계적으로 상승하여 상기 유체 유입부(11)를 차단하게 되는 구조로 되어 있다. The gate valve of FIGS. 5 and 6 includes a fluid inlet 11 having a predetermined length in the direction in which the valve body 10 receives the fluid, a fluid outlet 13 having a predetermined length in the direction in which the fluid is discharged, And a fluid passage space portion in which a space through which the fluid passes is formed between the inflow portion (11) and the fluid outlet portion (13). The fluid passage space The driving means 41 is actuated by pneumatic pressure or the like to extend the link means 43 so that the conveying means 20 connected to the other end of the link means 43 Is moved to a position where the fluid inlet 11 is shut off so that the blocking plate 30 provided at the upper portion of the conveying body 20 mechanically rises to block the fluid inlet 11 Became The.

도 1 내지 도 6에 도시된 유체 차단 밸브는 도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이 상기 밸브 바디(10)의 내주면 또는 밸브 내부에 형성되어있는 틈새에 파우더가 흡착되는 것을 방지하기 위하여 상기 유체 유입부(11)에 외부로부터 파우더 흡착방지 가스를 공급하는 가스 유입부(61)를 구비하고, 상기 가스 유입부(61)로부터 공급된 상기 파우더 흡착방지 가스를 상기 밸브 바디(10)의 내주면을 따라 흐르게 하는 가스 유출부(62)를 구비하고 있다.1 to 6, in order to prevent the powder from being adsorbed on the inner circumferential surface of the valve body 10 or a gap formed in the valve, as shown in FIGS. 1 to 6, And a gas inlet 61 for supplying a powder adsorption preventing gas from the outside to the inlet 11 of the valve body 10 so that the powder adsorption preventing gas supplied from the gas inlet 61 flows along the inner peripheral surface of the valve body 10 And a gas outlet portion 62 through which gas flows.

상기 가스 유입부(61)에 공급되는 상기 파우더 흡착방지 가스는 그 종류와 공정 상태에 따라 다음과 같이 그 이용방법이 다변화 될 수 있다.The powder adsorption preventing gas supplied to the gas inlet 61 can be diversified depending on the kind and the process state as follows.

1) 공정 진행 중 가스 유입부(61)에 질소 가스 소량을 주입할 경우 1) When a small amount of nitrogen gas is injected into the gas inlet 61 during the process

가스 유입부(61)로 공급된 질소 가스(N2)는 도 7의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이 원형 유로(63) 형상을 가진 가스 유출부(62)를 통해 수직 방향으로 원형의 흐름을 가지게 된다. 상기 밸브 바디의 내주면 및 파우더 유입방지링(51)이 구비된 경우 상기 파우더 유입방지링(51)의 상부면이 접촉되는 부분의 틈새에 함께 형상화 된 밸브 내부의 내주면을 따라 상기 질소 가스(N2)가 흐르게 되면 파우더와 상기 내주면 사이에 가스층을 형성하게 되는데 이로 인하여 상기 내주면에 파우더가 흡착 되는 것을 방지하게 되고, 파우더 유입방지 링(51)이 구비된 경우 상기 파우더 유입방지 링(51)의 상승 및 하강 작동의 오작동을 방지할 수 있게 된다. 상기 파우더 유입방지 링(51)이 구비되지 않은 경우 밸브 내부의 실링(sealing)을 위해 사용되는 오링 또는 오링과 접촉되는 실링면의 오염을 방지하는 목적으로 사용할 수 있다.The nitrogen gas N2 supplied to the gas inlet 61 flows through the gas outlet 62 having the shape of the circular passage 63 as shown in Figs. 7 (a) and 7 (b) . When the inner circumferential surface of the valve body and the powder inflow preventing ring 51 are provided, the nitrogen gas N2 is formed along the inner circumferential surface inside the valve, which is shaped together with a gap between the upper surface of the powder inflow prevention ring 51 and the upper surface, The powder inflow prevention ring 51 prevents the powder from being attracted to the inner circumferential surface of the inner circumferential surface of the powder inflow preventing ring 51. When the powder inflow preventing ring 51 is provided, It is possible to prevent the malfunction of the lowering operation. In the case where the powder inflow preventing ring 51 is not provided, it can be used for the purpose of preventing the contamination of the sealing surface contacting the O-ring or O-ring used for sealing inside the valve.

이때, 가스 유입부(61)에 공급되는 질소(N2)의 양은 배관 시스템 내의 압력을 유지하기 위한 펌프의 용량에 따라 결정된다. At this time, the amount of nitrogen (N2) supplied to the gas inlet (61) is determined according to the capacity of the pump for maintaining the pressure in the piping system.

2) 공정 완료 후 또는 정지 시 가스 유입부(61)에 N2를 고압으로 분사 시킬 경우 2) When N2 is injected at a high pressure to the gas inlet 61 after completion of the process or stop

가스 유입부(61)로 공급된 고압의 N2 가스는 원형 유로(63) 유로를 가진 가스 유출부(62)를 통해 수직 방향으로 원형의 분사된 흐름을 가지게 된다. 이는 공정 진행 중에 파우더 유입방지 링(51)의 상부 면과 그 상부면과 접촉하는 밸브 바디(10)의 내부면 및 내주면에 흡착된 파우더를 고압으로 클리닝 하여 상기 밸브 바디(10)의 내주면에 흡착된 파우더(70)를 제거하고, 파우더 유입방지 링(51)이 구비된 경우 다시 공정이 진행 되는 동안에 발생될 수 있는 상기 파우더 유입방지 링(51)의 상승 및 하강 작동의 오작동을 방지할 수 있게 된다.The high pressure N2 gas supplied to the gas inlet portion 61 has a circular injected flow in the vertical direction through the gas outlet portion 62 having the circular flow path 63. [ The powder absorbed on the inner surface and the inner peripheral surface of the valve body 10 contacting the upper surface of the powder inflow preventing ring 51 and the upper surface of the powder inflow preventing ring 51 is cleaned at a high pressure and adsorbed on the inner peripheral surface of the valve body 10 It is possible to prevent the malfunction of the up and down operation of the powder inflow preventing ring 51 which may be generated during the process again when the powder inflow preventing ring 51 is provided, do.

3) 공정이 진행 중이거나 완료 후 가스 유입부(61)에 클리닝 가스(플루오린 계열)를 주입할 경우3) When the cleaning gas (fluorine-based) is injected into the gas inlet portion 61 during or after the process is in progress

상기 가스 유입부(61)로 공급된 플루오린(F2) 가스는 원형 유로(63) 유로를 가진 가스 유출부(62)를 통해 수직 방향으로 원형의 분사된 흐름을 가지게 된다. 이는 공정 진행 중에 파우더 유입방지 링(51)의 상부 면과 그 상부면과 접촉하는 밸브 바디(10)의 내부면 및 내주면에 흡착된 파우더를 고압으로 클리닝 하여 상기 밸브 바디(10)의 내주면에 흡착된 파우더(70)를 제거하고, 파우더 유입방지 링(51)이 구비된 경우 다시 공정이 진행되는 동안에 발생될 수 있는 상기 파우더 유입방지 링(51)의 상승 및 하강 작동의 오작동을 방지할 수 있게 된다.The fluorine (F2) gas supplied to the gas inlet portion 61 has a circular injected flow in the vertical direction through the gas outlet portion 62 having the circular flow path 63. The powder absorbed on the inner surface and the inner peripheral surface of the valve body 10 contacting the upper surface of the powder inflow preventing ring 51 and the upper surface of the powder inflow preventing ring 51 is cleaned at a high pressure and adsorbed on the inner peripheral surface of the valve body 10 It is possible to prevent the malfunction of the up and down operation of the powder inflow preventing ring 51 which may be generated during the process again when the powder inflow preventing ring 51 is provided, do.

다음으로, 도 1 내지 6에 도시된 유체 차단 밸브는 유체 통과 공간부 또는 유체 유출부(13)에 파우더 유입방지 실린더(50)를 더 구비하고 있다. Next, the fluid shut-off valve shown in Figs. 1 to 6 further comprises a powder inflow prevention cylinder 50 in the fluid passage space portion or the fluid outflow portion 13.

상기 파우더 유입방지 실린더(50)의 내부에는 외부에서 공급되는 압축공기 또는 압축가스에 의하여 이동되는 2단으로 절곡된 2단 원통 형상의 파우더 유입방지 링(51)을 구비하여, 상기 차단판(30)이 차단 위치에 있지 않고 상기 유체 통과 공간부의 일측에 위치할 때, 상기 파우더 유입방지 링(51)을 이동시켜 상기 차단판(30)을 수용하는 공간을 차단함으로써 상기 차단판(30)을 수용하는 공간 내부로 유입되는 파우더의 유입을 차단하게 한다. 즉, 상기 파우더 유입방지 실린더(50)의 하부에 형성된 상기 압축공기 또는 압축가스 공급부(52)에 압축공기 또는 압축가스를 공급하면 상기 파우더 유입방지 링(51)이 상승 이동하여 상기 차단판(30)을 수용하는 공간을 차단시키고, 상기 파우더 유입방지 실린더(50)의 상부에 형성된 상기 압축공기 또는 압축가스 공급부(53)에 압축공기 또는 압축가스를 공급하면 상기 파우더 유입방지 링(51)이 하강 이동하여 상기 차단판(30) 등을 수용하는 공간이 개방되어 상기 차단판(30)이 차단 위치로 이동이 가능하게 된다. The powder inflow prevention cylinder 51 includes a two-stage cylindrical powder inflow prevention ring 51 bent in two stages, which is moved by compressed air or compressed gas supplied from the outside, , The powder inflow prevention ring (51) is moved to block the space for accommodating the shielding plate (30), so that the shielding plate (30) is accommodated in the space Thereby preventing the inflow of the powder flowing into the space. That is, when compressed air or compressed gas is supplied to the compressed air or compressed gas supply part 52 formed at the lower part of the powder inflow prevention cylinder 50, the powder inflow prevention ring 51 moves upward to move the shield plate 30 And the compressed air or the compressed gas is supplied to the compressed air or compressed gas supply unit 53 formed on the upper portion of the powder inflow prevention cylinder 50, the powder inflow preventing ring 51 is lowered The space for accommodating the blocking plate 30 or the like is opened to allow the blocking plate 30 to move to the blocking position.

여기에서 도 1 내지 4의 유체 차단 밸브는 상기 파우더 유입방지 링(51)이 외부에서 공급되는 압축공기 또는 압축가스에 의하여 상하로만 이동되어 상기 차단판(30) 등을 수용하는 공간을 차단한다. 한편, 상기 차단판(30)을 기계적으로 상승하게 하여 상기 유체 유입부(11)를 차단하는 도 5 및 도 6의 게이트 밸브에서는 상기 파우더 유입방지 링(51)이 외부에서 공급되는 압축공기 또는 압축가스에 의하여 상기 게이트 밸브가 설치되는 위치에 따라 상하 또는 좌우로 이동하게 할 수 있다. 즉, 상기 게이트 밸브가 수직으로 된 배관에 설치된 경우 상기 파우더 유입방지 링(51)이 상하로 이동하게 되고, 상기 게이트 밸브가 수평으로 된 배관에 설치된 경우 상기 파우더 유입방지 링(51)이 좌우로 이동되어 상기 차단판(30) 등을 수용하는 공간을 차단하게 된다.Here, the fluid shut-off valve of FIGS. 1 to 4 is only vertically moved by the compressed air or compressed gas supplied from the outside of the powder inflow preventing ring 51 to block the space for accommodating the shut-off plate 30 and the like. 5 and 6 in which the blocking plate 30 is mechanically raised to block the fluid inflow portion 11, the powder inflow prevention ring 51 is compressed air or compressed Gas can be moved vertically or horizontally according to the position where the gate valve is installed. That is, when the gate valve is installed in a vertical pipe, the powder inflow preventing ring 51 is moved up and down. When the gate valve is installed in a horizontal pipe, the powder inflow preventing ring 51 is moved left and right So that the space for accommodating the blocking plate 30 and the like is blocked.

도 8의 (a) 내지 (e)를 참고로 도 1및 2의 유체 차단 밸브에서 유체를 차단하는 동작에 대하여 설명하면 다음과 같다. 도 8에서 (a) 에서 (e)의 순서는 밸브를 폐쇄하는 순서를 도시한 것이다.8 (a) to 8 (e), the operation of shutting off the fluid in the fluid shutoff valve of FIGS. 1 and 2 will be described. 8 (a) to (e) show the procedure for closing the valve.

도 8의 (a)는 배관시스템 내에 가스 등의 유체의 흐름을 정상 상태, 순방향으로 진행되고 있는 경우를 도시한 것으로서, 이 때 상기 파우더 유입방지 링(51)은 상승되어 상기 이송체(20)와 상기 이송체(20)에 안치된 차단판(30) 등을 수용하는 공간을 차단하게 되고, 이로 인하여 상기 이송체(20)와 상기 이송체(20)에 안치된 차단판(30) 등을 수용하는 공간으로 유입될 수 있는 파우더의 유입을 차단하게 된다.8 (a) shows a case where the flow of a fluid such as a gas is proceeding steadily and forwardly in the piping system. At this time, the powder inflow preventing ring 51 is raised to move the conveying body 20, The blocking plate 30 and the like placed on the conveying body 20 and the conveying body 20 are blocked by the blocking plate 30 and the blocking plate 30 placed on the conveying body 20, Thereby preventing the inflow of the powder that can be introduced into the receiving space.

도 8의 (b) 내지 (e)는 배관시스템 내에 진공펌프의 정지 등으로 인하여, 배관 내의 역압이 발생되어 그것을 감지하는 센서 등으로부터 역압 발생 신호가 발생되어 유체 유입부(11)를 차단판(30)에 의하여 차단시키는 과정을 도시한 것이다. 다른 한편으로 도 8의 (b) 내지 (e)는 인위적으로 유체의 흐름을 차단하게 하는 과정도 포함되어 있다.8 (b) to 8 (e), a back pressure in the piping is generated due to the stoppage of the vacuum pump or the like in the piping system and a back pressure generation signal is generated from a sensor or the like for sensing the back pressure, 30). ≪ / RTI > On the other hand, (b) to (e) of FIG. 8 also include a process of artificially interrupting the flow of the fluid.

역압 발생 신호가 발생되거나 인위적인 차단 신호가 발생되면, 도 8의 (b)와 같이 먼저 이송체(20)가 차단 위치로 이동 가능하게 상기 압축공기 공급부(53)에 압축공기를 공급하여 상기 파우더 유입방지 링(51)을 하강시키게 되고, 그 다음 도 8의 (c)와 같이 상기 구동수단(41)의 회전축(42)이 일정 각도로 회전됨으로써 상기 회전축(42)과 고정 결합된 상기 차단판(30)을 안치한 이송체(20)도 일정 각도로 회전되어 상기 유체 유입부(11)를 차단하는 위치로 이동되게 된다. When the back pressure generation signal is generated or an artificial shutoff signal is generated, compressed air is supplied to the compressed air supply unit 53 so that the conveying member 20 can be moved to the cutoff position as shown in FIG. 8 (b) The blocking ring 51 is lowered and then the rotating shaft 42 of the driving means 41 is rotated at a predetermined angle as shown in FIG. 30 are also rotated at a predetermined angle to move to a position where the fluid inlet 11 is blocked.

다음으로 밸브 바디(10)내에 역압이 발생하면 상기 유체 유입부(11)를 차단하는 위치로 이동된 상기 차단판(30)이 안치된 이송체(20)는 도 8의 (d)와 같이 이송체(20)의 중앙부에 형성된 개방된 원형 공간으로 역압이 집중하게 되고 이로 인하여 발생되는 역압의 차이로 인하여 상기 이송체(20)에 안치된 상기 차단판(30)이 부양하게 되어 상기 유체 유입부(11)를 차단하여 역압을 차단하게 된다. 그러나, 인위적인 차단 신호가 발생된 경우는 밸브 바디(10) 내에 압력차가 발생하지 않기 때문에 상기 차단판(30)은 부양하지 않고 아직 차단 상태로 되지 않는다.Next, when a back pressure is generated in the valve body 10, the conveying body 20 on which the blocking plate 30 is moved is moved to a position for blocking the fluid inflow part 11, Back pressure is concentrated in an open circular space formed in the central portion of the body 20 and the blocking plate 30 placed on the conveying body 20 floats due to the difference in back pressure generated thereby, (11) to block the back pressure. However, when an artificial shutoff signal is generated, since the pressure difference does not occur in the valve body 10, the shutoff plate 30 does not float and is not yet shut off.

다음으로 도 8의 (e)와 같이 상기 압축공기 공급부(52)에 압축공기를 공급하여 상기 파우더 유입방지 링(51)이 상기 차단판(30)의 하부를 밀어 올려 상기 밸브 바디(10)의 유체 유입부에 위치한 실링재(오링)에 접촉되어 유체를 차단한다. Next, as shown in FIG. 8E, compressed air is supplied to the compressed air supply unit 52 so that the powder inflow prevention ring 51 pushes up the lower portion of the blocking plate 30, And contacts the sealing material (o-ring) located at the fluid inlet portion to block the fluid.

도 8에서 밸브를 개방하는 순서는 (e)에서 (a)의 순서로 하면 된다.The order of opening the valves in Fig. 8 may be in the order of (e) to (a).

도 9의 (a) 내지 (e)를 참고로 도 3 및 4의 유체 차단 밸브에서 유체를 차단하는 동작에 대하여 설명하면 다음과 같다. 도 9에서 (a)에서 (e)의 순서는 밸브를 폐쇄하는 순서를 도시한 것이다.Referring to Figs. 9 (a) to 9 (e), the operation of shutting off the fluid in the fluid shutoff valve of Figs. 3 and 4 will be described below. In Fig. 9, the procedure from (a) to (e) shows the procedure for closing the valve.

도 3및 4의 유체 차단 밸브의 이송체(10)의 형상 및 상기 이송체(10)를 차단 위치로 이동시키는 형상이나 구조에 있어서 다소 상이할 뿐, 그 동작과정은 도 1 및 2의 유체 차단 밸브의 개폐 동작을 설명하는 도 8의 (a) 내지 (e)와 실질적으로 동일하므로 도 3 및 4의 슬라이딩 역압차단 밸브에서 유체를 차단하는 과정에 대한 설명은 생략한다.The shape of the conveying body 10 of the fluid shutoff valve of FIGS. 3 and 4 and the shape or structure of moving the conveying body 10 to the blocking position are slightly different from each other. 8A to 8E for explaining the opening and closing operation of the valve, so that the description of the process of shutting off the fluid in the sliding back pressure shut-off valve of Figs. 3 and 4 will be omitted.

도 10의 (a) 내지 (c)는 도 5 및 6의 게이트 밸브에서 유체 유입부 등을 차단하는 과정을 설명하는 도면으로서, 도 10의 (a) 내지 (c)를 참고로 상기 게이트 밸브에서 유체 유입부 등을 차단하는 과정을 설명하면 다음과 같다.10 (a) to 10 (c) are diagrams for explaining a process of shutting off a fluid inflow portion or the like in the gate valve of Figs. 5 and 6, The process of shutting off the fluid inlet is described as follows.

도 10의 (a)는 배관 시스템 내에 가스 등의 유체의 흐름을 정상 상태, 순방향으로 진행되고 있는 경우를 도시한 것으로서, 이 때 상기 파우더 유입방지 링(51)은 상승되어 상기 차단판(30) 등을 수용하는 공간을 차단하게 되고, 이로 인하여 상기 차단판(30) 등을 수용하는 공간으로 유입될 수 있는 파우더의 유입을 차단하게 된다.10 (a) shows a case where a flow of a fluid such as a gas is progressed in a steady state and a forward direction in a piping system. At this time, the powder inflow prevention ring 51 is raised, So that the inflow of the powder, which can be introduced into the space for accommodating the blocking plate 30 and the like, is blocked.

도 10의 (b)는 상기 압축공기 공급부(53)에 압축공기 또는 압축가스가 공급되어 상기 파우더 유입방지 링(51)이 하강된 상태를 도시한 것으로서, 이 경우 이송체(20)가 차단 위치로 이동 가능하게 된다.10B shows a state in which compressed air or compressed gas is supplied to the compressed air supply unit 53 to lower the powder inflow preventing ring 51. In this case, .

도 10의 (c)는 외부의 차단 신호가 발생하면 상기 구동수단(41)이 공압 등에 의하여 작동되어 링크수단(43)을 신장시키게 되고, 이로 인하여 상기 링크수단(43)의 타단부에 결합된 상기 이송체(20)가 상기 유체 유입부(11)를 차단하는 위치로 이동되면서 상기 이송체(20)의 상부에 구비된 차단판(30)이 기계적으로 상승하여 상기 유체 유입부(11)를 차단하는 것을 도시한 것이다.10 (c), when an external cutoff signal is generated, the driving means 41 is operated by a pneumatic pressure or the like to extend the link means 43, whereby the link means 43 is coupled to the other end of the link means 43 The blocking plate 30 provided at the upper portion of the conveying body 20 mechanically rises to move the fluid inlet 11 to the upper side of the conveying body 20 while the conveying body 20 is moved to a position where the conveying body 20 blocks the fluid inlet 11. [ Lt; / RTI >

이 경우 상기 파우더 유입방지 링(51)을 상승하게 하여 상기 차단판(30)의 하부면에서 힘을 가하도록 하여 상기 차단판(30)이 확실한 유체 차단을 할 수 있도록 할 수 있다. In this case, the powder inflow prevention ring 51 is raised so as to exert a force on the lower surface of the blocking plate 30, so that the blocking plate 30 can reliably block the fluid.

또한, 본 발명은 다른 실시예로서 밸브 바디(10)의 내부에 가스 유로 유도링(56)이 구비된 유체 차단 밸브에 대하여 도 11 및 도 12를 참고로 설명하면 다음과 같다.In addition, according to another embodiment of the present invention, a fluid shutoff valve having a gas channel guide ring 56 inside a valve body 10 will be described with reference to FIGS. 11 and 12. FIG.

밸브 바디(10)의 내부에 상기 밸브 바디(10)의 내부에 원통형 형상의 가스 유로 유도링(56)을 더 구비하여 상기 가스 유출부(62)에서 유출되는 상기 파우더 흡착방지 가스가 상기 밸브 바디(10)의 내주면으로 보다 잘 흐르도록 유도되도록 한다.The valve body 10 further includes a cylindrical gas flow guide ring 56 inside the valve body 10 so that the powder adsorption preventing gas flowing out from the gas outlet 62 flows into the valve body 10, (10).

상기 가스 유로 유도링(56)은 상기 밸브바디(10)의 내부에 상기 파우더 유입방지 링(51)을 구비한 경우 상기 파우더 유입방지 링(51)의 내경보다 작은 직경을 가지거나 도 14에 도시된 바와 같이 파우더 유입방지 링(51)에 내부공간을 형성하고 상기 가스 유로 유도링(56)의 상부가 상기 파우더 유입방지 링(51)의 내부공간에 구비 될 수 있다.The gas channel guide ring 56 may have a diameter smaller than the inner diameter of the powder inflow preventing ring 51 when the powder inflow preventing ring 51 is provided in the valve body 10, An inner space may be formed in the powder inflow preventing ring 51 and an upper portion of the gas flow guide ring 56 may be provided in the inner space of the powder inflow preventing ring 51.

상기 가스 유로 유도링(56)은 상기 파우더 유입방지 링(51)의 내경부에 구비되는 경우 상기 가스 유로 유도링(56)의 외주면에 적어도 2개 이상의 지지부를 형성하여 상기 파우더 유입방지 링(51)의 내경부에 지지 고정할 수 있다.When the gas flow guide ring 56 is provided on the inner diameter portion of the powder inflow prevention ring 51, at least two support portions are formed on the outer circumferential surface of the gas flow guide induction ring 56 so that the powder inflow prevention ring 51 In the present embodiment.

또한, 상기 파우더 유입방지 실린더(50)의 하부에 형성된 상기 압축공기 공급부(52)에 압축공기 또는 압축가스를 공급하면 상기 파우더 유입방지 링(51)이 상승 이동하면 파우더 유입방지 링(51)의 상승으로 인하여 형성되는 공간부(55)와 밸브 바디(10)의 내주면에 파우더(70)의 흡착이 용이하게 되는데, 도 11 및 도 12과 같이 밸브 바디(10)의 내부에 가스 유로 유도링(56)을 구성하여 상기 가스 유출부(62)에서 공급되는 파우더 흡착방지 가스를 상기 공간부(55)까지 흐르도록 유도하여 파우더 유입방지 링(51)의 상승으로 인하여 형성되는 공간부(55)와 밸브 바디(10)의 내주면에 파우더(70)의 흡착을 방지하여 파우더 유입방지 링(51)의 오작동을 방지할 수 있게 한다.When compressed air or compressed gas is supplied to the compressed air supply unit 52 formed at the lower part of the powder inflow prevention cylinder 50, when the powder inflow preventing ring 51 moves upward, the powder inflow preventing ring 51 The powder 70 can be easily adsorbed on the inner wall surface of the valve body 10 and the space portion 55 formed due to the upward movement of the valve body 10. In the valve body 10, 56 to induce the powder adsorption preventing gas supplied from the gas outflow portion 62 to flow into the space portion 55 to form a space portion 55 formed by the rise of the powder inflow prevention ring 51 It is possible to prevent the powder 70 from being attracted to the inner peripheral surface of the valve body 10 and to prevent malfunction of the powder inflow preventing ring 51. [

또한, 도 13의 (a) 및 (b)는 본 발명에서 밸브 바디(10)의 내부에 구비된 가스 유로 유도링(56)의 다른 실시예로서, 도 13의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이 파우더 흡착방지 가스가 공급되는 가스 유입부(61)를 상기 밸브 바디(10)의 하부 또는 유체 유출부(13)에 구비하고, 상기 가스 유로 유도링(56)을 상기 가스 유출부가 형성된 부분보다 길게 형성하여 상기 가스 유입부(61)에서 공급되는 파우더 흡착 방지 가스가 상기 가스 유출부(62)로 유출되면 상기 가스 유로 유도링(56)에 막히면서 상승하게 되어 상기 밸브 바디(10)의 내주면과 상기 가스 유로 유도링(56)의 사이의 공간부(55)로 흐르게 되어 상기 공간(55) 또는 틈새 등에 파우더의 적층 또는 흡착을 방지하게 된다.13 (a) and 13 (b) show another embodiment of the gas channel guide ring 56 provided in the valve body 10 according to the present invention, As shown in the figure, a gas inflow portion 61 to which powder adsorption preventing gas is supplied is provided in the lower portion of the valve body 10 or the fluid outlet portion 13, and the gas flow guide ring 56 is connected to the gas outlet portion When the powder adsorption preventive gas supplied from the gas inflow portion 61 flows out to the gas outflow portion 62, the powder adsorption preventing gas is clogged with the gas flow induction ring 56, And flows into the space portion 55 between the inner circumferential surface of the gas passage guide ring 56 and the gas passage guide ring 56 to prevent the powder from being stacked or adsorbed in the space 55 or the gap.

도 14의 (a) 및 (b)는 밸브 바디 내부에 구비된 가스 유로 유도링의 또다른 실시예를 도시한 도면으로서, 상기 파우더 유입방지 링(51)이 내부 공간[공간부(55)가 형성됨]을 형성하고 상기 가스 유로 유도링(56)의 상부가 상기 파우더 유입방지 링(51)의 내부공간에 구비되어 상기 가스 유입부(61)에서 공급되는 파우더 흡착 방지 가스가 상기 가스 유로 유도링(56)의 외주면을 따라 올라가다가 공간부(55)를 거쳐 상기 파우더 유입방지링(51)의 내주면과 상기 가스 유로 유도링(56)의 내주면을 따라 흐르게 유도되어 상기 공간부(55) 및 상기 가스 유로 유도링(56) 등에 파우더의 적층 또는 흡착을 방지하게 된다.14 (a) and 14 (b) show another embodiment of the gas channel guide ring provided in the valve body, wherein the powder inflow preventing ring 51 is formed in the inner space (the space portion 55 And the upper part of the gas channel guide ring 56 is provided in the inner space of the powder inflow prevention ring 51 so that the powder adsorption preventing gas supplied from the gas inlet 61 flows into the gas channel guide ring 56. [ Flows upward along the outer circumferential surface of the gas flow guide guide ring 56 and passes through the space portion 55 to flow along the inner circumferential surface of the powder inflow prevention ring 51 and the inner circumferential surface of the gas flow guide induction ring 56, Thereby preventing the powder from being stacked or adsorbed on the gas channel guide ring 56 or the like.

도 15 및 도 16은 각각 도 1 및 도 3의 유체 차단 밸브에서 압축공기 공급부의 위치가 상부로 배치된 실시예를 도시하고 있다. Figures 15 and 16 illustrate an embodiment in which the position of the compressed air supply in the fluid shutoff valve of Figures 1 and 3, respectively, is located at the top.

도 15의 (a)는 도 1의 유체 차단 밸브에서 압축공기 공급부의 위치가 상부로 배치되고 가스 유입부도 상부에 배치된 실시예를 도시하고 있고, 도 15의 (b)는 도 1의 유체 차단 밸브에서 압축공기 공급부(52, 53)의 위치가 상부로 배치되고 가스 유입부(61)가 하부에 배치된 실시예를 도시하고 있다. 도 16의 (a)는 도 3의 유체 차단 밸브에서 압축공기 공급부(52, 53)의 위치가 상부로 배치되고 가스 유입부(61)도 상부에 배치된 실시예를 도시하고 있고, 도 16의 (b)는 도 3의 유체 차단 밸브에서 압축공기 공급부의 위치가 상부로 배치되고 가스 유입부가 하부에 배치된 실시예를 도시하고 있다.FIG. 15 (a) shows an embodiment in which the position of the compressed air supply portion in the fluid shutoff valve of FIG. 1 is disposed at the upper portion and the gas inlet portion is also disposed at the upper portion. FIG. 15 (b) The position of the compressed air supply portions 52 and 53 in the valve is disposed at the upper portion and the gas inlet portion 61 is disposed at the lower portion. 16A shows an embodiment in which the positions of the compressed air supply portions 52 and 53 in the fluid shutoff valve of FIG. 3 are disposed at the upper portion and the gas inlet portion 61 is also disposed at the upper portion. (b) shows an embodiment in which the position of the compressed air supply in the fluid shutoff valve of Fig. 3 is disposed at the top and the gas inlet is at the bottom.

상기와 같이 상기 압축가스 공급부(52, 53)로 공급되는 압축공기에 의하여 작동되는 파우더 유입방지 링(51)은 상기 유체 유입부(11)에 가까운 위치에 설치되거나 상기 유체 유출부(13)에 가까운 위치에 설치할 수 있는 등 어느 곳에서나 설치 가능하도록 되어 있다. 또한, 상기 파우더 유입방지 링(51)을 외부에서 공급되는 압축공기에 의하여 상하로 이동하게 하는 상기 파우더 유입방지 실린더(50)도 상기 유체 유입부(11) 또는 상기 유체 유출부(13)에 가까운 어느 위치에도 설치 가능하다.The powder inflow prevention ring 51 operated by the compressed air supplied to the compressed gas supply units 52 and 53 may be installed at a position near the fluid inflow part 11 or may be installed at the fluid outflow part 13 It can be installed at any place, such as being installed in a close position. The powder inflow preventing cylinder 50 which moves the powder inflow preventing ring 51 up and down by the compressed air supplied from the outside is also close to the fluid inflow portion 11 or the fluid outflow portion 13 It can be installed anywhere.

도 17의 (a) 및 (b)는 각각 도 14의 (a) 및 (b)에서 가스유입부가 상기 유체 유입부(11)에서 가까운 위치에 더 구비된 것을 도시한 도면으로서, 상기 가스 유입부(61)는 상기 유체 유입부(11)에 가까운 위치 및 유체 유출부(13)에 가까운 위치 모두에 구비된 것을 도시하고 있다.Figs. 17A and 17B are diagrams showing that the gas inlet portion is further provided near the fluid inlet portion 11 in Figs. 14A and 14B, (61) is provided at both the position near the fluid inlet (11) and the position near the fluid outlet (13).

즉, 상기 가스 유입부(61)는 도 15의 (a) 및 도 16의 (a)에 도시된 바와 같이 상기 유체 유입부(11)에 가까운 위치에 구비할 수 있고, 도 15의 (b) 및 도 16의 (b)에 도시된 바와 같이 상기 유체 유출부(13)에 가까운 위치에 구비할 수도 있다. 또한, 상기 가스 유입부(61)는 도 17의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이 상기 유체 유입부(11)에 가까운 위치 및 유체 유출부(13)에 가까운 위치 모두에 구비할 수 있다.15 (a) and 16 (a), the gas inlet 61 may be provided at a position near the fluid inlet 11, and as shown in FIG. 15 (b) As shown in FIGS. 16A and 16B and in the vicinity of the fluid outlet 13 as shown in FIG. 16B. 17 (a) and 17 (b), the gas inlet 61 may be provided at both a position near the fluid inlet 11 and a position near the fluid outlet 13 have.

도 18의 (a)는 도 15의 (a) 및 도 16의 (a)의 일실시예 단면도이고, 도 18의 (b)는 도 15의 (b) 및 도 16의 (b)의 일실시예 단면도를 도시한 도면으로서, 도 18의 (a) 및 (b) 모두는 가스 유로 유도링(56)이 설치된 상태의 일실시예 도면이다.
FIG. 18A is a cross-sectional view of one embodiment of FIGS. 15A and 16A, and FIG. 18B is a cross-sectional view of the embodiment shown in FIGS. 15B and 16B. 18 (a) and 18 (b) are diagrams showing one embodiment in a state in which the gas channel guide ring 56 is installed.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 아래의 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. It can be understood that it is possible.

10: 밸브 바디 11: 유체 유입부
13: 유체 유출부 20: 이송체
24, 25, 26: 바퀴 30: 차단판
41: 구동수단 42: 회전축
43: 링크수단 50: 파우더 유입방지 실린더
51: 파우더 유입방지 링 52, 53: 압축공기 공급부
55: 공간부 56: 가스 유로 유도링
61: 가스 유입부 62: 가스 유출부
63: 원형 유로 70: 파우더10: valve body 11: fluid inlet
13: fluid outflow section 20:
24, 25, 26: wheel 30:
41: drive means 42:
43: link means 50: powder inflow preventing cylinder
51: powder inflow prevention ring 52, 53: compressed air supply part
55: space part 56: gas flow guide ring
61: gas inflow part 62: gas outflow part
63: Circular flow path 70: Powder

Claims (7)

유체가 유입되는 유체 유입부와; 상기 유체가 유출되는 유체 유출부와; 상기 유체 유입부와 상기 유체 유출부 사이에 상기 유체가 통과하는 공간이 형성된 유체 통과 공간부;를 포함하여 구성된 밸브 바디와, 상기 밸브 바디를 통과하는 유체를 차단하는 차단판을 포함하는 차단부로 구성된 유체 차단 밸브에 있어서,
상기 밸브 바디의 내부에 외부로부터 파우더 흡착방지 가스를 공급하는 가스 유입부와, 압축공기에 의하여 상하로 이동되어 상기 차단판이 차단위치에 있지 않을 경우 상기 차단판을 수용하는 공간을 차단하는 파우더 유입방지링와, 상기 가스 유입부로부터 공급된 상기 파우더 흡착방지 가스가 상기 파우더 유입방지링의 상승으로 인하여 형성되는 공간부까지 흐르도록 유도하는 원통형 형상의 가스 유로 유도링을 구비하고,
상기 파우더 유입방지링은 내부공간을 형성하고 상기 가스 유로 유도링의 상부가 상기 파우더 유입방지링의 내부공간에 위치하게 하여 상기 가스 유입부에서 공급되는 상기 파우더 흡착 방지 가스가 상기 가스 유로 유도링의 외주면을 따라 올라가다가 상기 파우더 유입방지링의 내주면 및 상기 가스 유로 유도링의 내주면을 따라 흐르도록 유도한 것
을 특징으로 하는 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브.
A fluid inflow portion into which a fluid flows; A fluid outlet through which the fluid flows; And a fluid passage space in which a space through which the fluid passes is formed between the fluid inlet and the fluid outlet, and a blocking portion including a blocking plate for blocking the fluid passing through the valve body In the fluid shut-off valve,
A powder inflow prevention part for blocking a space for accommodating the blocking plate when the blocking plate is not in the blocking position; And a powder gas adsorption preventing gas supplied from the gas inflow portion flows into a space formed by the rise of the powder inflow preventing ring,
Wherein the powder inflow preventing ring forms an inner space and an upper portion of the gas flow guide ring is positioned in the inner space of the powder inflow preventing ring so that the powder adsorption preventing gas supplied from the gas inflow portion Is raised along the outer circumferential surface and guided so as to flow along the inner circumferential surface of the powder inflow preventing ring and the inner circumferential surface of the gas channel induction ring
Wherein the powder adsorption preventive valve comprises:
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 파우더 유입방지 링은 상기 유체 유입부에 가까운 위치에 설치되거나 상기 유체 유출부에 가까운 위치에 설치된 것
을 특징으로 하는 파우더 흡착방지용 유체차단밸브.
The method according to claim 1,
The powder inflow preventing ring may be provided at a position near the fluid inflow portion or at a position close to the fluid outflow portion
Wherein the powder adsorption preventive valve comprises:
제1항에 있어서,
상기 가스 유입부는 상기 유체 유입부 또는 유체 유출부에 가까운 위치에 구비된 것을 특징으로 하는 파우더 흡착방지용 유체차단밸브.
The method according to claim 1,
Wherein the gas inlet is provided at a position close to the fluid inlet or the fluid outlet.
제1항에 있어서,
상기 가스 유입부는 상기 유체 유입부에 가까운 위치 및 유체 유출부에 가까운 위치 모두에 구비된 것
을 특징으로 하는 파우더 흡착방지용 유체차단밸브. The method according to claim 1,
The gas inlet is provided at both a position near the fluid inlet and a position near the fluid outlet
Wherein the powder adsorption preventive valve comprises:
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