KR20060112307A - Method for manufacturing a lead frame and press system for the same - Google Patents

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Abstract

A method for fabricating a leadframe is provided to decrease the number of processes and shorten an interval of work time by performing a cavity cutting process and a setting process in a single step. A plurality of leads are formed in a leadframe, separated from each other by a predetermined interval. The plurality of leads and a cavity for interconnecting the front ends of the leads are incorporated in a prepared base material by a patterning process(S12). The leadframe is pressed by using a mold of a predetermined type. A cutting process for cutting the cavity and a setting process for forming a vertical step with respect to a part of the leadframe are simultaneously performed in a leadframe blanking mold process in which the leadframe is disposed between upper and lower molds having mutually corresponding types such that the upper and lower molds are pressed to each other(S16).

Description

리드 프레임의 제조방법 및 이에 적용되는 리드 프레임용 프레스 가공장치{ Method for manufacturing a lead frame and press system for the same}Method for manufacturing a lead frame and a press working apparatus for a lead frame applied thereto {Method for manufacturing a lead frame and press system for the same}

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 리드 프레임의 제조방법을 공정 순서별로 도시한 흐름도,1 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a lead frame according to a preferred embodiment of the present invention according to a process sequence;

도 2는 도 1의 패터닝 공정을 거친 리드 프레임을 도시한 사시도,FIG. 2 is a perspective view illustrating a lead frame subjected to the patterning process of FIG. 1;

도 3은 도 1의 도금층 형성 공정을 거친 리드 프레임을 도시한 평면도,3 is a plan view illustrating a lead frame that has undergone the plating layer forming process of FIG. 1;

도 4는 도 1의 테이프 부착 공정을 거친 리드 프레임을 도시한 평면도,4 is a plan view illustrating a lead frame that has been subjected to the tape attaching process of FIG. 1;

도 5는 본 발명의 리드 프레임용 프레스 가공장치를 도시한 단면도,5 is a cross-sectional view showing a press working apparatus for a lead frame of the present invention;

도 6은 상부 금형 및 하부 금형을 도시한 평면도,6 is a plan view showing the upper mold and the lower mold,

도 7 및 도 8은 도 6에 도시된 상부 금형 및 하부 금형의 일부를 도시한 사시도,7 and 8 are a perspective view showing a part of the upper mold and the lower mold shown in Figure 6,

도 9는 도 1의 리드 프레임 타발 성형 공정을 거친 리드 프레임을 도시한 평면도,9 is a plan view illustrating a lead frame that has undergone the lead frame punching forming process of FIG. 1,

도 10은 도 9에 표시된 A 부분을 보다 상세히 도시한 사시도.10 is a perspective view showing in more detail the portion A shown in FIG.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

110 : 리드 프레임 111 : 캐비티110: lead frame 111: cavity

112 : 윙바 114 : 내부리드112: wing bar 114: inner lead

115 : 리드 116 : 외부리드115: lead 116: external lead

117 : 댐바 118 : 사이드 레일117: Dam Bar 118: Side Rails

141 : 왕복대 142 : 펀치 홀더141: shuttle 142: punch holder

143 : 펀치 143a : 제1 편치143: punch 143a: first bias

143b : 제2 편치 145 : 구동축143b: second deviation 145: drive shaft

146 : 가이드 축 147 : 하부 홀더146: guide shaft 147: lower holder

148 : 베이스 210 : 상부 금형 148: base 210: upper mold

220 : 하부 금형 211 : 제1 펀치홀220: lower mold 211: first punch hole

212 : 제2 펀치홀 214 : 가압 스트립212: second punch hole 214: pressure strip

218,228 : 기저부 221 : 관통홀218,228 base 221 through hole

본 발명은 반도체 칩과 외부 회로를 전기적으로 연결하는 리드 프레임의 제조방법 및 이에 적용되는 리드 프레임용 프레스 가공장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 공정 수가 절감되고, 가공 정밀도가 향상되는 개선된 리드 프레임의 제조방법 및 이에 적용되는 리드 프레임용 프레스 가공장치에 관한 것이다. The present invention relates to a manufacturing method of a lead frame for electrically connecting a semiconductor chip and an external circuit, and a press working apparatus for a lead frame applied thereto, and more particularly, to an improved lead frame in which the number of processes is reduced and the processing precision is improved. It relates to a manufacturing method and a press working apparatus for a lead frame applied thereto.

리드 프레임은 반도체 칩과 함께 반도체 패키지를 구성하는 것으로서, 반도체 칩을 지지하는 동시에 상기 반도체 칩과 외부회로를 전기적으로 연결해 주는 기능을 한다. 통상, 리드 프레임은 골격을 이루는 사이드 레일, 및 상기 사이드 레일 과 일체로 형성된 다수의 리드들을 포함하며, 상기 리드들은 내외측에 대응되게 형성된 내부리드(inner lead) 및 외부리드(outer lead)를 구비한다. 상기 내부리드 및 외부리드 사이에는 각 리드들 사이의 간격을 일정하게 유지하고 이들을 지지하는 댐바가 형성된다. 반도체 패키지의 조립이 완료되면 사이드 레일 및 댐바는 제거된다. 상기 사이드 레일의 일측과 타측에는 윙바(wing bar)가 각각 일체 형성될 수 있는데, 상기 윙바는 다운-셋(down-set) 또는 업-셋(up-set) 가공되어서 사이드 레일 및 리드보다 낮은 레벨 또는 높은 레벨로 형성될 수 있다. 상기 리드 프레임에 반도체 칩이 장착된 후, 리드 프레임의 소정 영역을 EMC(Epoxy Molding Compound) 등의 몰딩 수지로 봉입하는 몰딩 공정이 수행되는데, 여기서, 상기 윙바(wing bar)는 그 상측 및 하측으로 유입되는 몰딩 수지의 유입량을 조절하여서 몰딩이 원활하게 이루어지도록 하는 기능을 수행한다. The lead frame constitutes a semiconductor package together with a semiconductor chip. The lead frame supports a semiconductor chip and electrically connects the semiconductor chip and an external circuit. In general, a lead frame includes a side rail constituting a skeleton and a plurality of leads integrally formed with the side rails, the leads having inner and outer leads formed corresponding to the inner and outer sides. do. Dam bars are formed between the inner leads and the outer leads to maintain a constant gap between the leads and support them. When the assembly of the semiconductor package is completed, the side rails and the dam bar are removed. Wing bars may be integrally formed on one side and the other side of the side rails, and the wing bars may be down-set or up-set to be at a lower level than side rails and leads. Or high levels. After the semiconductor chip is mounted on the lead frame, a molding process of encapsulating a predetermined region of the lead frame with a molding resin such as an EMC (Epoxy Molding Compound) is performed, wherein the wing bars are disposed at upper and lower sides thereof. It performs a function to make the molding smoothly by adjusting the flow rate of the injection molding resin.

종래기술에 의한 리드 프레임의 제조에 있어서는, 우선, 리드 프레임 기저 소재를 준비하고, 상기 리드 프레임을 소정 형상으로 패터닝하여 다수의 리드들을 일체로 형성한다. 다음으로, 리드락 테이프 또는 칩 부착용 테이프를 다수의 리드들에 걸쳐서 부착하는데, 상기 테이프에 의하여 리드들이 상호 지지되며, 이로써, 리드들의 자중에 의한 휨 변형 등이 억제된다. 이러한 테이프는 리드들의 선단을 연결하는 캐비티의 일부와 리드 선단일부에 걸처 부착될 수 있다. 이어서, 캐비티 커팅 공정을 거치는데, 이를 통하여 각 리드들은 서로 개별화되며, 통상, 이 공정에서는 캐비티와 함께, 테이프의 일부도 절단함으로써, 내부 리드의 선단과 테이프의 절단면이 일치되도록 한다. 이어서, 다운-셋(또는 업-셋) 가공을 진행하는데, 다운-셋(또는 업-셋) 가공은 리드 프레임의 소정 부분을 리드들이 형성된 면보다 낮게(또는 높게) 형성하는 가공으로서, 내부리드와 반도체 칩 사이의 와이어링 특성을 향상시키기 위하여 다이패드를 업-셋 가공하거나, 몰딩 수지의 유입량을 제어하기 위하여 윙바를 업-셋 가공하는 과정이다.In manufacturing a lead frame according to the prior art, first, a lead frame base material is prepared, and the lead frame is patterned into a predetermined shape to form a plurality of leads integrally. Next, a lead lock tape or a chip attaching tape is attached over a plurality of leads, and the leads are mutually supported by the tape, thereby suppressing bending deformation due to the weight of the leads and the like. Such a tape may be attached over a portion of the cavity connecting the tip of the leads and a portion of the lead tip. Subsequently, a cavity cutting process is performed, whereby the leads are individually separated from each other, and in this process, a part of the tape is also cut together with the cavity, so that the front end of the inner lead and the cut surface of the tape coincide. Subsequently, the down-set (or up-set) process is performed. The down-set (or up-set) process is a process of forming a predetermined portion of the lead frame lower (or higher) than the surface on which the leads are formed. In order to improve the wiring characteristics between the semiconductor chips, the die pad is up-set processed or the wing bar is up-set processed to control the flow rate of the molding resin.

그런데, 종래기술에 의하면, 상기 캐비티 커팅 공정 및 다운-셋 공정은 모두 금형을 이용하여 절단하거나 단차를 형성하는 공정임에도 불구하고, 개별적으로 진행됨으로써, 공정 수가 증가하게 되는 문제점이 있다. 또한, 이들 공정이 별도의 장비에 의하여 수행됨으로써, 장비와 리드 프레임의 기준정렬이 중복적으로 요구됨은 물론, 그에 따른 정렬불량과 누적 공차로 인하여 제품 불량률이 증가하는 문제점이 있었다. However, according to the related art, although the cavity cutting process and the down-set process are both processes of cutting using a mold or forming a step, there is a problem in that the number of processes is increased by proceeding individually. In addition, since these processes are performed by separate equipment, the standard alignment of the equipment and the lead frame is repeatedly required, and there is a problem in that a product defect rate increases due to misalignment and cumulative tolerances.

본 발명은 상기와 같은 문제점 등을 포함하여 여러 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 공정 수가 감소와 누적공차를 줄임으로 생산성이 향상되고, 제조비용이 절감되는 개선된 리드 프레임의 제조방법 및 이에 적용되는 리드 프레임용 프레스 가공장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. The present invention is to solve a number of problems, including the above problems, improved production method by reducing the number of processes and reducing the accumulated tolerance, manufacturing cost improved manufacturing method of the lead frame and lead applied thereto It is an object of the present invention to provide a frame press working apparatus.

본 발명의 다른 목적은, 전술한 목적을 달성하면서도 가공 정밀도가 향상되는 리드 프레임의 제조방법 및 이에 적용되는 리드 프레임용 프레스 가공장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a lead frame in which machining accuracy is improved while achieving the above object and a press working apparatus for a lead frame applied thereto.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따른 리드 프레 임의 제조방법은,In order to achieve the above object, a method of manufacturing a lead press arbitrary according to an aspect of the present invention,

서로 소정 간격을 사이에 두고 다수의 리드들이 형성된 리드 프레임의 제조방법으로서, A method of manufacturing a lead frame in which a plurality of leads are formed with a predetermined interval therebetween,

준비된 기저 소재에 다수의 리드 및 상기 리드들의 선단을 상호 연결하는 캐비티를 일체 형성하는 패터닝 공정; 및 A patterning process of integrally forming a plurality of leads and a cavity interconnecting the ends of the leads to the prepared base material; And

상기 리드 프레임을 소정 형상을 가진 금형을 이용하여 가압하는 것으로, 상기 캐비티를 절단하는 커팅 가공 및 리드 프레임 일부에 대하여 상하로 단차를 형성하는 셋팅 가공이 동시에 수행되는 리드 프레임 타발 성형 공정;을 포함한다. And a lead frame punching molding step of pressing the lead frame using a mold having a predetermined shape, and simultaneously performing a cutting process of cutting the cavity and a setting process of forming a step up and down with respect to a part of the lead frame. .

본 발명에 있어 바람직하게, 상기 리드 프레임의 타발 성형 공정에서는 상기 리드 프레임을 서로 대응되는 형상을 갖는 상부 금형 및 하부 금형 사이에 배치하고, 서로에 대해 가압한다. 바람직하게, 상기 상부 금형에는 상기 컷팅 가공에 기여하는 제1 펀치가 삽입되는 제1 펀치홀 및 상기 셋팅 가공에 기여하는 제2 편치가 삽입되는 제2 편치홀이 형성되고, 상기 하부 금형에는 상기 제1 펀치홀 및 제2 펀치홀에 각각 대응되게 관통홀 및 셋 블록이 형성된다. In the present invention, preferably, in the punching-molding process of the lead frame, the lead frame is disposed between the upper mold and the lower mold having a shape corresponding to each other, and pressed against each other. Preferably, the upper mold is formed with a first punch hole into which a first punch contributing to the cutting process is inserted, and a second bias hole into which a second bias to contribute to the setting machining is inserted, and the lower mold has the first punch hole. Through-holes and set blocks are formed to correspond to the first punch hole and the second punch hole, respectively.

상기 셋팅 가공에서는 리드 프레임의 일부가 상기 리드들보다 높은 레벨로 업-셋 가공되거나 상기 리드들보다 낮은 레벨로 업-셋 가공될 수 있다.In the setting process, a part of the lead frame may be up-set to a higher level than the leads or up-set to a lower level than the leads.

상기 리드 프레임에는 몰딩 수지의 유입량을 배분하는 윙바가 형성될 수 있는데, 이때, 상기 리드 프레임의 타발 성형 공정에서는 상기 윙바가 셋팅 가공되는 것이 바람직하다. The lead frame may have a wing bar for distributing an inflow amount of the molding resin. In this case, the wing bar may be set in the punching process of the lead frame.

상기 리드 프레임에는 반도체 칩이 안착되는 다이패드가 형성될 수 있는데, 이 때, 상기 리드 프레임의 타발 성형 공정에서는 상기 다이패드가 업-셋 가공되는 것이 바람직하다. A die pad on which the semiconductor chip is mounted may be formed in the lead frame. In this case, it is preferable that the die pad is up-set in the punch molding process of the lead frame.

본 발명에 있어 바람직하게, 상기 리드 프레임의 패터닝 공정 및 리드 프레임의 타발 성형 공정 사이에는 상기 리드들의 선단 일면에 리드락 테이프 또는 칩 부착 테이프를 부착하는 테이프 부착 공정이 더 포함된다. 이때, 상기 리드 프레임 타발 성형 공정에서는 상기 캐비티와 함께 상기 테이프의 일부가 절단되어서, 테이프가 리드들의 선단에 정렬되는 것이 바람직하다. In the present invention, preferably, the tape attaching process may further include attaching a lead lock tape or a chip attaching tape to one end surface of the leads between the patterning process of the lead frame and the punch forming process of the lead frame. In this case, in the lead frame punching molding process, it is preferable that a portion of the tape is cut together with the cavity so that the tape is aligned with the ends of the leads.

상기 리드 프레임 타발 성형 공정은 다수의 리드 프레임이 함께 형성된 릴 형태로 진행되는 것이 바람직하고, 이때, 상기 타발 성형 공정 이후에는 각 리드 프레임을 절단하여 개별화하는 컷-오프 공정이 수행된다. Preferably, the lead frame punching molding process is performed in a reel form in which a plurality of lead frames are formed together. In this case, a cut-off process of cutting and individualizing each lead frame is performed after the punching molding process.

한편, 본 발명의 다른 측면에 따른 리드 프레임용 프레스 가공장치는,  On the other hand, the press working apparatus for a lead frame according to another aspect of the present invention,

상부 금형 및 하부 금형 사이에 안착된 리드 프레임을 가압 성형하는 리드 프레임용 프레스 가공장치로서, A press working apparatus for a lead frame for press molding a lead frame seated between an upper mold and a lower mold,

리드 프레임의 리드들 선단을 연결하는 캐비티를 절단하는 제1 펀치; 및A first punch for cutting a cavity connecting the leads of the lead frame; And

리드 프레임 일부에 단차를 형성하는 제2 펀치;를 구비한다. And a second punch forming a step in a part of the lead frame.

본 발명에 있어 바람직하게, 상기 상부 금형에는 상기 제1 펀치가 삽입되는 제1 펀치홀 및 상기 제2 펀치가 삽입되는 제2 편치홀이 형성되고, 상기 하부 금형에는 상기 제1 펀치홀 및 제2 펀치홀에 각각 대응되게 관통홀 및 셋 블록이 형성된다. In the present invention, preferably, the upper mold is formed with a first punch hole into which the first punch is inserted and a second biasing hole into which the second punch is inserted, and the first and second punch holes are formed in the lower mold. The through holes and the set blocks are formed to correspond to the punch holes, respectively.

이어서, 첨부된 도면들을 참고하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 리드 프레임의 제조방법에 대해 상세히 설명하기로 한다. 도 1에는 본 발명의 실시예에 따른 리드 프레임 제조방법의 공정 순서도가 도시되어 있다. 동 도면에서 볼 수 있듯이, 우선, 리드 프레임용 기저 소재를 준비하는데(S11), 이러한 기저 소재로는, 통상적인 리드 프레임 소재가 모두 사용될 수 있으며, 예를 들어, 구리 및 구리합금 또는 철과 니켈을 주성분으로 하는 합금 박판이 사용될 수 있다. Next, a method of manufacturing a lead frame according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 is a process flowchart of a method for manufacturing a lead frame according to an embodiment of the present invention. As can be seen in the figure, first, to prepare a base material for the lead frame (S11), as such a base material, all conventional lead frame materials can be used, for example, copper and copper alloy or iron and nickel An alloy thin plate containing as a main component may be used.

다음에, 리드 프레임 패터닝 공정(S12)을 거친다. 패터닝 공정에서는 기저 소재에 다수의 내부리드 및 외부리드를 일체로 형성하는데, 이를 통하여, 도 2에 도시된 바와 같은 리드 프레임이 형성된다. 동 도면을 참조하면, 리드 프레임(110)은 골격을 이루는 사이드 레일(118), 상기 사이드 레일(118)과 일체로 형성된 다수의 리드(115)들을 포함한다. 여기서, 상기 리드(115)들은 내외측에 대응되게 형성된 내부리드(inner lead;114) 및 외부리드(outer lead;116)를 구비하며, 상기 내부리드(114) 및 외부리드(116) 사이에는 각 리드(115)들 사이의 간격을 일정하게 유지하고 이들을 지지하는 댐바(117)가 형성된다. 반도체 패키지의 조립이 완료되면 사이드 레일(118) 및 댐바(117)는 제거된다. 상기 내부리드(114)의 선단을 따라서는 내부리드(114)들을 상호 연결하는 캐비티(cavity; 111)가 형성되는데, 이는 내부리드(114)의 선단을 보호하고, 내부리드(114)들이 상호 지지되도록 하는 기능을 한다.Next, the lead frame patterning step (S12) is passed. In the patterning process, a plurality of inner leads and outer leads are integrally formed on the base material, through which a lead frame as shown in FIG. 2 is formed. Referring to the same figure, the lead frame 110 includes a side rail 118 forming a skeleton, and a plurality of leads 115 formed integrally with the side rail 118. Here, the leads 115 have an inner lead 114 and an outer lead 116 formed to correspond to the inner and outer sides, and each lead 115 has an inner lead 114 and an outer lead 116. Dam bars 117 are formed to maintain a constant distance between the leads 115 and support them. When the assembly of the semiconductor package is completed, the side rail 118 and the dam bar 117 are removed. A cavity 111 that interconnects the inner leads 114 is formed along the tip of the inner lead 114, which protects the tip of the inner lead 114, and the inner leads 114 support each other. To function.

상기 사이드 레일(118)의 일측과 타측에는 윙바(wing bar;112)가 각각 일체 형성되는데, 후술하는 리드 프레임 타발 성형 공정에서, 상기 윙바(112)는 다운-셋(down-set) 또는 업-셋(up-set) 가공되어서 리드(115)들이 형성된 면보다 낮은 레 벨(level) 또는 높은 레벨로 형성될 수 있다. 이에 대해서는 후에 상술하기로 한다. 상기 리드 프레임(110)에 반도체 칩이 장착된 후, 리드 프레임의 소정 영역을 EMC(Epoxy Molding Compound) 등의 몰딩 수지로 봉입하는 몰딩 공정이 수행되는데, 여기서, 상기 윙바(wing bar;112)는 그 상측 및 하측으로 유입되는 몰딩 수지의 유입량을 조절하여서 몰딩이 원활하게 이루어지도록 하는 기능을 수행한다.Wing bars 112 are integrally formed on one side and the other side of the side rails 118, respectively. In the lead frame punching molding process described later, the wing bars 112 are down-set or up-set. It may be up-set and formed at a lower level or higher level than the surface on which the leads 115 are formed. This will be described later. After the semiconductor chip is mounted on the lead frame 110, a molding process of enclosing a predetermined region of the lead frame with a molding resin such as an EMC (Epoxy Molding Compound) is performed, wherein the wing bar 112 is It performs a function to make the molding smoothly by adjusting the inflow of the molding resin flowing into the upper side and the lower side.

전술한 패터닝 공정(S12)은, 스탬핑(stamping) 방법이나 에칭(etching) 방법으로 이루어질 수 있다. 상기 스탬핑 방법에 의하면, 순차 이송형 프레스 금형 장치에 의해 순차적으로 기저 소재를 이송시키면서 타발함으로써, 소정의 형상을 형성한다. 상기 에칭 방법에 의하면, 기저 소재 상에 감광층을 형성하고, 소정의 패턴을 갖는 포토 마스크를 통하여 빛을 조사하고, 노광, 현상함으로써, 소정의 형상을 형성한다. 상기 리드 프레임 패터닝 공정(S12) 이후, 필요에 따라, 리드 프레임 내부의 잔류 응력을 제거하기 위한 열처리 공정(S13)이 수행될 수 있다. The patterning process S12 described above may be performed by a stamping method or an etching method. According to the said stamping method, a predetermined shape is formed by punching, while conveying a base material sequentially by the conveyance type press die apparatus. According to the said etching method, a predetermined shape is formed by forming a photosensitive layer on a base material, irradiating light, exposing, and developing through the photomask which has a predetermined pattern. After the lead frame patterning process S12, a heat treatment process S13 may be performed to remove residual stress in the lead frame, if necessary.

이어서, 도금층 형성 공정(S14)이 수행되는데, 여기서는 리드(115)들의 결합 특성을 향상시키기 위하여, 도 3에 도시된 일례에서 볼 수 있듯이, 내부리드(114)의 내측 단부에는 제1 도금층(121)을 형성하고, 외부리드(116) 상에는 제2 도금층(122)을 형성한다. 즉, 도시되지 않은 반도체 칩과 내부리드(114)는 전도성 와이어(미도시)에 의해 상호 전기적으로 결합되는데, 여기서, 내부리드(114)의 선단에 제1 도금층(121)을 형성함으로써, 전도성 와이어가 리드(114) 선단에 견고히 결합될 수 있다. 상기 제1 도금층(121)은 일반적으로 은(Ag) 도금되어서 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 이와 유사한 소정의 특성을 가진 성분으로 도금될 수 있다.Subsequently, a plating layer forming process S14 is performed. In order to improve coupling characteristics of the leads 115, as shown in the example illustrated in FIG. 3, the first plating layer 121 is formed at an inner end of the inner lead 114. ) And the second plating layer 122 is formed on the outer lead 116. That is, the semiconductor chip (not shown) and the inner lead 114 are electrically coupled to each other by a conductive wire (not shown). Here, the conductive wire is formed by forming the first plating layer 121 at the tip of the inner lead 114. Can be firmly coupled to the tip of the lead 114. The first plating layer 121 may be generally formed by silver (Ag) plating, but is not limited thereto, and may be plated with a component having a predetermined similar property.

한편, 반도체 패키지 조립공정이 완료되면, 상기 외부리드(116)는 몰딩 수지의 외부로 노출되어서 내부의 반도체 칩과 외부 회로를 상호 도통시키는 기능을 한다. 이 때, 외부로 노출된 외부리드(116)의 부식을 방지하고, 외부 회로와의 솔더링 특성(솔더 젖음성, solder wettability)을 향상시키기 위하여 외부리드(116) 상에 제2 도금층(122)을 형성한다. 상기 제2 도금층(122)은 주석(Sn) 또는 주석(Sn) 합금을 도금하여 형성될 수 있다. 제2 도금층(122)이 형성된 이후에는 리플로우(reflow) 공정이 추가로 수행될 수 있는데, 이는 제2 도금층(122)으로 주석(Sn)이나 주석(Sn) 합금이 도금된 경우에 수염결정(whisker)의 성장을 억제하기 위한 것이다. 이러한 리플로우 공정은 제2 도금층(122)을 재결정 온도 이상으로 가열하여 열처리하는 공지된 방법에 의해 진행될 수 있다. On the other hand, when the semiconductor package assembly process is completed, the external lead 116 is exposed to the outside of the molding resin to function to connect the internal semiconductor chip and the external circuit. At this time, the second plating layer 122 is formed on the outer lead 116 in order to prevent corrosion of the outer lead 116 exposed to the outside and to improve soldering characteristics (solder wettability, solder wettability) with the external circuit. do. The second plating layer 122 may be formed by plating tin (Sn) or tin (Sn) alloy. After the second plating layer 122 is formed, a reflow process may be additionally performed, which is referred to as a beard crystal when the tin (Sn) or tin (Sn) alloy is plated with the second plating layer 122. whiskers) to inhibit growth. This reflow process may be performed by a known method of heating the second plating layer 122 by heating above the recrystallization temperature.

다음으로, 테이프 부착 공정(S15)이 수행되는데, 보다 구체적으로, 도 4에서 볼 수 있듯이, 내부리드(114)들의 선단을 따라서 그 일면, 예를 들어, 하면에 리드락 테이프 또는 칩부착 테이프(130)를 부착한다. 테이프(130)가 부착됨으로써, 캐비티 (111)가 절단된 이후에도 내부리드(114)들이 상호 지지되어서 자중에 의한 휨 변형이나 흔들림이 방지될 수 있다.Next, a tape attaching process S15 is performed. More specifically, as shown in FIG. 4, a lead lock tape or a chip attaching tape (for example, a lower surface thereof) is formed along the front end of the inner leads 114. 130). Since the tape 130 is attached, the inner leads 114 may be mutually supported even after the cavity 111 is cut, thereby preventing bending deformation or shaking due to its own weight.

다음으로, 리드 프레임 타발 성형 공정(S16)이 진행되는데, 이 공정에서는 캐비티 커팅 가공 및 리드 프레임의 다운-셋(또는 업-셋) 가공이 동시에 수행된다. 이러한 타발 성형 공정(S16)은, 도 5에 도시된 리드 프레임용 프레스 가공장치에 의해 일괄적으로 이루어질 수 있다. 도면에서 볼 수 있듯이, 상기 프레스 가공장치 는 상하방향으로 왕복 이송되는 왕복대(141)를 구비하는데, 상기 왕복대(141)는 구동축(145)을 활주하면서 상하로 이송되고, 한 쌍의 가이드 축(146)에 의해 안내된다. 상기 왕복대(141) 하측에는 펀치 홀더(142)가 지지되고, 펀치 홀더(142)에는 소정 간격으로 이격된 다수의 펀치(143)들이 장착된다. Next, the lead frame punching forming process S16 is performed, in which the cavity cutting process and the down-set (or up-set) process of the lead frame are simultaneously performed. This punching forming process (S16) can be made collectively by the press working apparatus for lead frame shown in FIG. As can be seen in the drawing, the press working apparatus has a carriage 141 reciprocating in the vertical direction, the carriage 141 is moved up and down while sliding the drive shaft 145, a pair of guide shaft Guided by 146. The punch holder 142 is supported below the carriage 141, and a plurality of punches 143 spaced at predetermined intervals are mounted on the punch holder 142.

상기 왕복대(141) 및 하부 홀더(147) 사이에는 상부 금형(210) 및 하부 금형(220)이 대향되게 배치되고, 상부 금형(210) 및 하부 금형(220) 사이에 안착된 리드 프레임(110)은 왕복대(141)의 구동에 따라 상하방향으로 가압되거나 가압 해제된다. 왕복대(141)가 하방으로 구동되어서 리드 프레임(110)이 가압되는 경우에는 왕복대(141)에 지지된 펀치들(143)이 상부 금형(210) 및 하부 금형(220)에 형성된 펀치홀(211) 및 관통홀(221)을 통과하면서 리드 프레임(110)이 가공된다. 왕복대(141)가 상방으로 구동되어서 가압 해제되는 경우에는 상부 금형(210) 및 하부 금형(220) 사이에 개재된 탄성수단(144)에 의해 금형들(210,220)이 서로에 대해 이격된다. 상기 하부 금형(220)은 하부 홀더(147)에 안착되는데, 하부 홀더(147)에는 프레스 성형 작업 후에 발생된 스크랩을 배출하는 배출공(147`)이 펀치(143)에 대응되게 형성되어 있다. 한편, 도면부호 148은 하부 홀더(147)을 지지하는 베이스를 나타낸다. An upper mold 210 and a lower mold 220 are disposed to face each other between the carriage 141 and the lower holder 147, and a lead frame 110 seated between the upper mold 210 and the lower mold 220. ) Is pressed or released in the vertical direction according to the driving of the carriage 141. When the carriage 141 is driven downward so that the lead frame 110 is pressed, the punch holes 143 supported on the carriage 141 are formed in the upper mold 210 and the lower mold 220. The lead frame 110 is processed while passing through the 211 and the through holes 221. When the carriage 141 is driven upward to release the pressure, the molds 210 and 220 are spaced apart from each other by the elastic means 144 interposed between the upper mold 210 and the lower mold 220. The lower mold 220 is seated on the lower holder 147, the discharge hole 147` for discharging the scrap generated after the press molding operation is formed in the lower holder 147 to correspond to the punch 143. Meanwhile, reference numeral 148 denotes a base for supporting the lower holder 147.

도 6에는 서로 대응되게 형성된 상부 금형 및 하부 금형의 대향면이 좌우로 전개되어 도시되어 있는데, 도시된 상부 금형(210) 및 하부 금형(220)에는 매트릭스(matrix) 패턴으로 복수의 성형 툴(210a,220a)이 함께 형성되어 있으므로, 본 실시예에서의 리드 프레임 타발 성형은 다수의 리드 프레임이 함께 형성된 릴(reel- to-reel) 상태로 진행될 수 있다. 여기서, 성형 툴(210a, 220a)은 각각 상부 금형 (210) 및 하부 금형(220)에서 일 단위 리드 프레임의 성형을 담당하는 금형의 일부를 의미한다. In FIG. 6, opposing surfaces of the upper mold and the lower mold formed to correspond to each other are unfolded from side to side. In the illustrated upper mold 210 and the lower mold 220, a plurality of molding tools 210a are formed in a matrix pattern. Since 220a is formed together, the lead frame punching molding may be performed in a reel-to-reel state in which a plurality of lead frames are formed together. Here, the molding tools 210a and 220a mean a part of a mold that is responsible for molding the unit lead frame in the upper mold 210 and the lower mold 220, respectively.

도 7 및 도 8은 각각 상부 금형 및 하부 금형을 도시한 사시도들이다. 여기서는 설명의 편의를 위하여 일 단위의 리드 프레임을 성형하는 금형 부분만이 도시되어 있다. 도 7을 참조하면, 상부 금형(210)의 중앙에는 소정의 단차를 형성하는 상부 돌출부(215)가 형성되고, 상기 돌출부(215)의 대략 중앙에는 제1 펀치(143a)가 삽입된 제1 펀치홀(211)이 형성되어 있다. 상부 돌출부(215) 양측으로는 제2 펀치홀(212)들이 각각 형성되고, 각 제2 펀치홀(212)에는 제2 펀치(143b)가 삽입되어 있다. 상기 제2 펀치홀(212)의 입구단에는 대칭적으로 가압 스트립(214)이 형성되는데, 이들 가압 스트립(214)은 윙바(112)와 연결된 내부리드(114)들을 견고하게 고정하여서, 인접한 윙바(112)의 단차 가공에 의해 내부리드(114)들이 변형되지 않도록 한다. 7 and 8 are perspective views illustrating the upper mold and the lower mold, respectively. Here, only the mold part for molding the lead frame of one unit is shown for convenience of description. Referring to FIG. 7, an upper protrusion 215 is formed at a center of the upper mold 210 to form a predetermined step, and a first punch having a first punch 143a inserted at an approximately center of the protrusion 215. The hole 211 is formed. Second punch holes 212 are formed at both sides of the upper protrusion 215, and second punch holes 143b are inserted into each second punch hole 212. Pressing strips 214 are symmetrically formed at the inlet end of the second punch hole 212. These press strips 214 firmly fix the inner leads 114 connected to the wing bars 112, thereby adjoining the wing bars. The inner lead 114 is not deformed by the step machining of 112.

한편, 도 8에 도시된 하부 금형(220)의 대략 중앙에는 소정 높이로 돌출된 하부 돌출부(225)가 형성되고, 상기 돌출부(225)의 대략 중앙에는 상부 금형(210)의 제1 펀치(143a)가 관통하는 관통홀(221)이 형성된다. 상기 하부 돌출부(225)의 양측으로는 상기 제2 펀치(143b)에 대응하여 소정높이(h)로 돌출된 셋 블록(222)이 대칭적으로 형성된다. 도 7 및 도 8에서 볼 수 있듯이, 상기 상부 금형(210)의 돌출부(215) 및 하부 금형(220)의 돌출부(225)는 서로 대응되게 형성되어서 그 사이에 배치되는 내부리드(114)들을 견고하게 고정한다. 이로써, 후술하는 타발 과정에 도 불구하고 내부리드(114)들의 휨 변형이나 손상이 발생되지 않는다. 또한, 상기 상부 금형(210)의 외곽 및 하부 금형(220)의 외곽에는 평활면을 이루는 기저부(218,228)가 각각 형성되는데, 이들은 가압과정에서 도 4에 도시된 사이드 레일(118) 및 외부리드 (116)들을 그 사이에서 견고하게 지지하는 기능을 하며, 이로써, 가압과정에서 발생될 수 있는 이들의 변형이나 손상을 방지한다. Meanwhile, a lower protrusion 225 protruding to a predetermined height is formed at an approximately center of the lower mold 220 illustrated in FIG. 8, and a first punch 143a of the upper mold 210 is formed at an approximately center of the protrusion 225. The through hole 221 penetrates through is formed. On both sides of the lower protrusion 225, the set block 222 protruding at a predetermined height h corresponding to the second punch 143b is symmetrically formed. As shown in FIG. 7 and FIG. 8, the protrusion 215 of the upper mold 210 and the protrusion 225 of the lower mold 220 are formed to correspond to each other to firmly secure the inner leads 114 disposed therebetween. To be fixed. Thus, in spite of the punching process described below, bending deformation or damage of the inner leads 114 does not occur. In addition, the outer portions of the upper mold 210 and the outer mold 220, the base portion 218, 228 forming a smooth surface are formed, respectively, these are the side rail 118 and the outer lead (shown in Figure 4 during the pressing process) 116) and firmly support them therebetween, thereby preventing their deformation or damage that may occur in the pressing process.

상기 제1 펀치(143a) 및 제2 펀치(143b)는 도 5에 도시된 펀치 홀더(142)에 장착되어서 상하방향으로 왕복 구동된다. 상기 제1 펀치(143a)는 도 4에 도시된 내부리드(114)들의 선단을 가압 타발함으로써, 선단들을 서로 연결하는 캐비티(111)를 제거하여 리드(115)들을 서로 분리, 이들을 개별화하고, 테이프(130)의 일부를 제거하여서 테이프(130)의 단면을 내부리드(114)들의 선단에 정렬시킨다. 한편, 상기 제2 펀치(143b)는 도 4에 도시된 윙바(wing bar;112)를 하부 금형(220)의 셋 블록(222)에 대해 가압함으로써, 이를 다운-셋(down-set) 또는 업-셋(up-set) 가공한다. 프레싱된 윙바(112)는 셋 블록(222)의 높이(h)에 따라 다운-셋 또는 업-셋 가공되며, 리드(115)들과 다른 레벨에 배치된다.  The first punch 143a and the second punch 143b are mounted on the punch holder 142 shown in FIG. 5 and reciprocated in the vertical direction. The first punch 143a presses and punches the ends of the inner leads 114 shown in FIG. 4 to remove the cavity 111 connecting the ends with each other to separate the leads 115 from each other and to separate them. A portion of the 130 is removed to align the cross section of the tape 130 with the tip of the inner leads 114. On the other hand, the second punch 143b by pressing the wing bar (112) shown in Figure 4 against the set block 222 of the lower mold 220, it is down-set or up (up) -Set up-set. The pressed wing bar 112 is down-set or up-set according to the height h of the set block 222 and is placed at a different level than the leads 115.

도 9에는 전술한 타발 성형 공정을 거쳐 성형된 리드 프레임이 도시되어 있는데, 도면에서 볼 수 있듯이, 캐비티가 제거되어서 내부리드(114)들이 상호 분리되어 있으며, 내부리드(114)들의 선단과 테이프(130)의 단면이 정렬되어 있음을 확인할 수 있다. 한편, 도 10에는 도 9에서 'A'로 표시된 부분에 대한 부분 확대 사시도가 도시되어 있는데, 윙바(112)가 다운-셋 가공되어서 사이드 레일(118)이나 내부리드(114)들보다 낮은 레벨에 배치되어 있음을 확인할 수 있다. 9 illustrates a lead frame formed through the above-described punching molding process. As shown in the drawing, the cavity is removed to separate the inner leads 114 from each other, and the front end of the inner leads 114 and the tape ( It can be seen that the cross section of 130) is aligned. On the other hand, Figure 10 shows a partially enlarged perspective view of the portion indicated by 'A' in Figure 9, the wing bar 112 is down-set to a level lower than the side rail 118 or the inner lead 114 You can see that it is arranged.

다음으로, 다수의 리드 프레임이 형성된 릴 상태로부터 일 단위의 리드 프레임으로 분리하는 컷-오프(cut-off) 공정(S17)이 수행된다. 이러한 컷-오프 공정(S17)을 통하여 리드 프레임은 소정의 패키지 단위로 개별화된다. 마지막으로 검사(visual inspection) 및 포장(packing) 공정(S18)을 거쳐서 패키지 업체로 납품된다. Next, a cut-off process (S17) for separating the lead frame of one unit from the reel state in which a plurality of lead frames are formed is performed. Through the cut-off process (S17), the lead frame is individualized in a predetermined package unit. Finally, it is delivered to the package company through visual inspection and packing process (S18).

본 명세서에 첨부된 도면들에서는 반도체 칩이 내부리드의 하측에 위치하도록 조립되는 LOC(Lead-On-Chip)형 리드 프레임이 도시되어 있으나, 본 발명의 실질적인 특징들은 본 명세서에 첨부된 도면들에 도시되어 있는 리드 프레임 구조에 한정되지 않고, 변형 가능한 다른 구조의 리드 프레임에서도 동일하게 적용될 수 있다. 일례를 들어, 반도체 칩이 탑재되는 다이패드가 형성된 리드 프레임의 경우에는 다이패드가 리드보다 낮은 레벨에 배치되는 것이 반도체 칩 및 리드 사이의 와이어링에 보다 유리하므로, 다이패드가 다운-셋 가공되는 것이 바람직하며, 이에 대응하여, 도 7 및 도 8에 도시된 상부 금형 및 하부 금형의 형상은 적절하게 변경될 수 있다. In the drawings attached to this specification, a lead-on-chip (LOC) type lead frame in which a semiconductor chip is assembled to be positioned under an inner lead is shown. However, the substantial features of the present invention are described in the accompanying drawings. The present invention is not limited to the illustrated lead frame structure, and may be similarly applied to lead frames of other deformable structures. For example, in the case of a lead frame having a die pad on which a semiconductor chip is mounted, since the die pad is disposed at a lower level than the lead, it is more advantageous for the wiring between the semiconductor chip and the lead, so that the die pad is down-set. Preferably, the shapes of the upper mold and the lower mold shown in Figs. 7 and 8 can be changed accordingly.

이상과 같은 구조를 갖는 본 발명의 리드 프레임의 제조방법 및 이에 적용되는 리드 프레임용 프레스 가공장치에 의하면, 다음과 같은 효과를 거둘 수 있다. According to the manufacturing method of the lead frame of the present invention having the above structure and the press working apparatus for lead frame applied thereto, the following effects can be obtained.

첫째, 작업시간의 단축을 통해 제품수율이 향상될 수 있다. 본 발명에 따르면, 종래에 별도로 진행되던 캐비티 커팅 가공 및 셋팅 가공이 단일한 공정으로 진행됨으로써, 공정 개수가 감소하게 되고, 이에 따라 작업시간이 단축된다. 특히 별 도의 공정으로 진행되는 경우에는 리드 프레임의 가공 장비에 대한 설치 및 셋팅이 중복적으로 행해지게 되므로, 이에 소요되는 시간 및 수고가 낭비되었으나, 본 발명에서는 일 회의 설치만이 요구되는바, 이러한 작업도가 향상되고, 작업시간이 단축된다. First, product yield can be improved by reducing the working time. According to the present invention, the cavity cutting process and the setting process, which are conventionally performed separately, are performed in a single process, thereby reducing the number of processes, thereby shortening the working time. Particularly, when the process is performed in a separate process, since the installation and setting of the lead frame processing equipment are repeatedly performed, the time and effort required for this process are wasted, but only one installation is required in the present invention. Workability is improved and working time is shortened.

둘째, 리드 프레임의 가공 정밀도가 향상된다. 전술한 바와 같이, 종래기술에 의하면, 리드 프레임의 장비에 대한 설정이 반복적으로 이루어져야 하므로, 이로 인하여 발생되는 가공오차도 누적된다. 본 발명은 일 회의 설정만이 요구되므로, 오차의 누적을 원천적으로 방지할 수 있고, 가공 상의 정밀도가 향상된다. Second, the machining precision of the lead frame is improved. As described above, according to the prior art, since the setting for the equipment of the lead frame has to be made repeatedly, machining errors generated therefrom are also accumulated. In the present invention, since only one setting is required, the accumulation of errors can be prevented at the source and the processing accuracy is improved.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and any person skilled in the art to which the present invention pertains may have various modifications and equivalent other embodiments. Will understand. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

Claims (8)

서로 소정 간격을 사이에 두고 다수의 리드들이 형성된 리드 프레임의 제조방법으로서,A method of manufacturing a lead frame in which a plurality of leads are formed with a predetermined interval therebetween, 준비된 기저 소재에 다수의 리드 및 상기 리드들의 선단을 상호 연결하는 캐비티를 일체 형성하는 패터닝 공정; 및 A patterning process of integrally forming a plurality of leads and a cavity interconnecting the ends of the leads to the prepared base material; And 상기 리드 프레임을 소정 형상을 가진 금형을 이용하여 가압하는 것으로, 상기 캐비티를 절단하는 커팅 가공 및 리드 프레임 일부에 대하여 상하로 단차를 형성하는 셋팅 가공이 동시에 수행되는 리드 프레임 타발 성형 공정;을 포함하는 리드 프레임의 제조방법.A lead frame punching molding step of pressing the lead frame using a mold having a predetermined shape and simultaneously performing a cutting process of cutting the cavity and a setting process of forming a step up and down with respect to a part of the lead frame; Manufacturing method of lead frame. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 리드 프레임의 타발 성형 공정에서는 상기 리드 프레임을 서로 대응되는 형상을 갖는 상부 금형 및 하부 금형 사이에 배치하고, 서로에 대해 가압하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임의 제조방법.In the punching molding step of the lead frame, the lead frame is disposed between an upper mold and a lower mold having shapes corresponding to each other, and pressed against each other. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 상부 금형에는 상기 컷팅 가공에 기여하는 제1 펀치가 삽입되는 제1 펀치홀 및 상기 셋팅 가공에 기여하는 제2 편치가 삽입되는 제2 편치홀이 형성되고, 상기 하부 금형에는 상기 제1 펀치홀 및 제2 펀치홀에 각각 대응되게 관통홀 및 셋 블록이 형성된 것을 특징으로 하는 리드 프레임의 제조방법.The upper mold is formed with a first punch hole into which a first punch contributing to the cutting process is inserted, and a second bias hole into which a second bias to contribute to the setting machining is inserted, and the lower mold has a first punch hole. And a through hole and a set block are formed to correspond to the second punch hole, respectively. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 리드 프레임의 패터닝 공정 및 리드 프레임의 타발 성형 공정 사이에는 상기 리드들의 선단 일면에 적어도 일면에 접착제가 형성된 테이프를 부착하는 리드락 테이프 부착 공정이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 리드 프레임의 제조방법.And a lead lock tape attaching step of attaching a tape having an adhesive formed on at least one surface to one end surface of the leads between the patterning process of the lead frame and the punching molding process of the lead frame. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 리드 프레임 타발 성형 공정에서는 상기 캐비티와 함께 상기 테이프의 일부가 절단되어서, 테이프가 리드들의 선단에 정렬되는 것을 특징으로 하는 리드 프레임의 제조방법.In the lead frame punching forming process, a part of the tape is cut together with the cavity so that the tape is aligned with the ends of the leads. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 리드 프레임 타발 성형 공정은 다수의 리드 프레임이 함께 형성된 릴 형태로 진행되고, 상기 타발 성형 공정 이후에는 각 리드 프레임을 절단하여 개별화하는 컷-오프 공정이 수행되는 것을 특징으로 하는 리드 프레임의 제조방법.The lead frame punching forming process is performed in a reel form in which a plurality of lead frames are formed together, and after the punch forming process, a cut-off process of cutting and individualizing each lead frame is performed. . 상부 금형 및 하부 금형 사이에 안착된 리드 프레임을 가압 성형하는 리드 프레임용 프레스 가공장치로서, A press working apparatus for a lead frame for press molding a lead frame seated between an upper mold and a lower mold, 리드 프레임의 리드들 선단을 연결하는 캐비티를 절단하는 제1 펀치; 및A first punch for cutting a cavity connecting the leads of the lead frame; And 리드 프레임 일부에 단차를 형성하는 제2 펀치;를 구비한 리드 프레임용 프레스 가공장치.And a second punch for forming a step in a part of the lead frame. 제7항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 상부 금형에는 상기 제1 펀치가 삽입되는 제1 펀치홀 및 상기 제2 펀치가 삽입되는 제2 편치홀이 형성되고, 상기 하부 금형에는 상기 제1 펀치홀 및 제2 펀치홀에 각각 대응되게 관통홀 및 셋 블록이 형성된 것을 특징으로 하는 리드 프레임용 프레스 가공장치. The upper mold is formed with a first punch hole into which the first punch is inserted and a second shift hole into which the second punch is inserted, and the lower mold penetrates corresponding to the first punch hole and the second punch hole, respectively. Press processing apparatus for a lead frame, characterized in that the hole and the set block is formed.
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