KR20060111409A - Multi-layered rubber sheet for thermocompression bonding - Google Patents

Multi-layered rubber sheet for thermocompression bonding Download PDF

Info

Publication number
KR20060111409A
KR20060111409A KR1020060036268A KR20060036268A KR20060111409A KR 20060111409 A KR20060111409 A KR 20060111409A KR 1020060036268 A KR1020060036268 A KR 1020060036268A KR 20060036268 A KR20060036268 A KR 20060036268A KR 20060111409 A KR20060111409 A KR 20060111409A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mass
fluorine
rubber layer
component
thermocompression bonding
Prior art date
Application number
KR1020060036268A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101190940B1 (en
Inventor
마사또시 아라이
다께시 하시모또
다까시 마쓰다
이꾸오 사꾸라이
Original Assignee
신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 filed Critical 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Publication of KR20060111409A publication Critical patent/KR20060111409A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101190940B1 publication Critical patent/KR101190940B1/en

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B25/00Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber
    • B32B25/04Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber comprising rubber as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B25/042Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber comprising rubber as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of natural rubber or synthetic rubber
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B25/00Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber
    • B32B25/02Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber with fibres or particles being present as additives in the layer
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B25/00Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber
    • B32B25/20Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber comprising silicone rubber
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/30Properties of the layers or laminate having particular thermal properties
    • B32B2307/302Conductive

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

A multi-layered rubber sheet for thermo-compression bonding is provided to reduce degradation even in repeatedly using the rubber sheet and to secure good durability by stacking a fluorine rubber layer on silicon rubber. The multi-layered rubber sheet for thermo-compression bonding has multiple rubber layers provided with a fluorine rubber layer and formed on at least one surface of a silicon rubber layer. The silicon rubber layer is formed by molding and hardening a silicon rubber composition. The silicon rubber composition consists of organopolysiloxane with average polymerization over 200 about 100wt.%, carbon black and/or granule silica fillers of 0~150wt.%, metal, at least one of metal oxide, metal nitride, and metal carbide except for granule silica, about 0~1,600wt.%, and a hardening agent.

Description

열 압착용 복층 고무 시트 {Multi-layered Rubber Sheet for Thermocompression Bonding}Multi-layered Rubber Sheet for Thermocompression Bonding}

<특허 문헌 1> 일본 특허 공개 (평)8-174765호 공보<Patent Document 1> Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-174765

<특허 문헌 2> 일본 특허 공개 제2001-18330호 공보<Patent Document 2> Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-18330

<특허 문헌 3> 일본 특허 공개 (평)7-214728호 공보<Patent Document 3> Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-214728

<특허 문헌 4> 일본 특허 공개 제2004-273669호 공보<Patent Document 4> Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-273669

본 발명은 열을 전달함과 동시에 균일하게 압력을 가할 목적으로 사용되는 열 압착용 복층 고무 시트에 관한 것이고, 특히 표면 이형성이 우수하며, 주위 장치 부품이나 피압착물에 접합되지 않는 열 압착용 시트로서 사용되는 열 압착용 복층 고무 시트, 구체적으로는 적층판이나 플렉시블 인쇄 기판의 성형시, 또는 액정 패널 등에 접속된 전극과 플렉시블 인쇄 기판의 리드 전극을, 이방 도전성 접착제를 통해 전기적 및 기계적으로 접속할 때 등에 사용되는 열 압착용 복층 고무 시트에 관한 것이다. The present invention relates to a thermocompression multi-layer rubber sheet used for the purpose of uniformly applying pressure while transferring heat, and in particular, a thermocompression sheet which is excellent in surface releasability and is not bonded to a peripheral device component or a to-be-adhered object. A multilayer rubber sheet for thermocompression bonding, specifically for forming a laminate or a flexible printed circuit board, or when the electrode connected to a liquid crystal panel or the like and the lead electrode of the flexible printed circuit board are electrically and mechanically connected through an anisotropic conductive adhesive, or the like. It relates to a multilayer rubber sheet for thermocompression bonding.

최근 휴대 전화, 휴대용 컴퓨터, 컴퓨터용 모니터, 비디오 카메라, 디지탈 카메라, 내비게이션 시스템, 휴대 텔레비전, 박형 텔레비전 등의 디스플레이로서, 액정 패널의 사용이 증가하고 있다. 이 액정 패널의 제조에 있어서는, 액정을 구동시키기 위해서 액정 패널의 투명 리드 전극과 구동용 LSI가 탑재된 플렉시블 인쇄 기판의 리드 전극을, 에폭시계 이방 도전성 접착제를 개재하여 열 압착하고, 전기적 및 기계적으로 접속하는 것이 행해지고 있다. In recent years, the use of liquid crystal panels is increasing as a display for mobile phones, portable computers, computer monitors, video cameras, digital cameras, navigation systems, portable televisions, and thin televisions. In manufacture of this liquid crystal panel, in order to drive a liquid crystal, the transparent lead electrode of a liquid crystal panel and the lead electrode of the flexible printed circuit board on which the LSI for a drive was mounted are thermally crimped | bonded through an epoxy-type anisotropic conductive adhesive, and electrically and mechanically The connection is performed.

이 경우, 가압ㆍ가열 툴과 플렉시블 인쇄 기판 사이에 끼워 가압ㆍ가열 툴로부터 이방 도전성 접착제에 열을 전달함과 동시에 균일한 압력을 가할 목적으로 열 압착용 시트가 사용되고 있다. 이 열 압착용 시트로서는, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 등의 불소 수지 필름을 사용하는 경우도 있지만, 더욱 압력을 균일하게 가하기 위해서, 저탄성이며 유연성이 있음과 동시에 열전도성이 양호한 실리콘 고무 시트를 사용하는 것이 일반적이다. In this case, the sheet for thermocompression bonding is used for the purpose of sandwiching between a pressurizing / heating tool and a flexible printed circuit board, transferring heat from a pressurizing / heating tool to an anisotropic conductive adhesive, and applying uniform pressure. As this thermocompression bonding sheet, a fluororesin film such as polytetrafluoroethylene (PTFE) may be used, but in order to apply pressure evenly, a silicone rubber sheet having low elasticity, flexibility and good thermal conductivity It is common to use.

그러나, 실리콘 고무 시트는 불소 수지 필름에 비해 이방 도전성 접착제에 포함되는 성분이 시트 내로 이행(移行)되기 쉽기 때문에 열화되기 쉽고, 그 결과, 이방 도전성 접착제와의 박리가 많아지며, 최종적으로는 접착ㆍ파단을 일으키기 때문에 압착용 시트로서의 내구성에 문제가 있었다. However, the silicone rubber sheet tends to deteriorate because components contained in the anisotropic conductive adhesive tend to migrate into the sheet as compared with the fluororesin film, and as a result, the peeling with the anisotropic conductive adhesive increases, resulting in adhesion and finally. In order to cause breakage, there was a problem in durability as the crimping sheet.

특히, 최근 출현한 라디칼 중합에 의해 경화하는 유형의 수지를 사용한 이방 도전성 접착제에 사용한 경우, 시트 내로 이행한 성분의 영향으로 시트의 열화가 조기에 진행되어, 시트의 수명이 극단적으로 짧아진다는 문제가 있었다. In particular, when used in an anisotropic conductive adhesive using a resin of the type cured by radical polymerization recently appeared, the sheet deteriorates early due to the effect of the components transferred into the sheet, the life of the sheet is extremely shortened There was.

이러한 문제에 대하여, 실리콘 고무 시트와 불소 수지 필름을 따로따로 준비하여, 이들 2종류의 시트를 겹쳐 사용하는 것도 행해지고 있지만, 이 방법에서는 2 종류의 시트를 필요로 하기 때문에 비용이 높아지고, 2종류의 시트를 공급하는 설비가 필요하기 때문에 제조 장치의 비용 상승으로도 연결된다. In response to such a problem, a silicone rubber sheet and a fluororesin film are separately prepared, and these two kinds of sheets are superimposed and used. However, in this method, two kinds of sheets are required, resulting in high cost and two kinds of sheets. The need for equipment for feeding sheets also leads to an increase in the cost of the manufacturing apparatus.

실리콘 고무 시트와 불소 수지 필름 등의 내열성 수지 필름을 적층ㆍ복합화하는 열 압착용 시트가 제안되어 있다(일본 특허 공개 (평)8-174765호 공보, 일본 특허 공개 제2001-18330호 공보, 일본 특허 공개 (평)7-214728호 공보: 특허 문헌 1 내지 3). 그러나, 이들 시트를 사용한 경우, 실리콘 고무가 내열성 수지 필름과 접착하고 있기 때문에, 고무 단체보다 유연성이 없어진다. 따라서, 가압시에 균일한 압력이 가해지기 어려워져, 가압력을 크게 할 필요가 있지만, 피압착체의 강도에 한계가 있어 문제가 되는 경우가 있을 뿐 아니라, 내열성 수지 필름이 고가이기 때문에, 비용 상승으로 연결된다는 결점이 있었다. A thermocompression bonding sheet for laminating and compounding heat resistant resin films such as a silicone rubber sheet and a fluororesin film has been proposed (Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-174765, Japanese Patent Laid-Open No. 2001-18330, and Japanese Patent). Publication No. 7-214728: Patent Documents 1 to 3). However, when these sheets are used, since silicone rubber adheres to the heat resistant resin film, the flexibility is less than that of rubber alone. Therefore, uniform pressure is hardly applied at the time of pressurization, and it is necessary to increase the pressing force, but there is a limit in the strength of the to-be-adhered body, which may not be a problem, and because the heat-resistant resin film is expensive, the cost is increased. There was a flaw in the connection.

실리콘 고무 시트 상의 이방 도전성 접착제와 접촉하는 면에, 다른 조성의 얇은 실리콘 이형층을 적층시켜 이방 도전성 접착제와의 박리성을 향상시킨 열 압착용 시트가 제안되어 있다(일본 특허 공개 제2004-273669호 공보: 특허 문헌 4). 그러나, 이 시트를 라디칼 중합에 의해 경화하는 이방 도전성 접착제에 적용한 경우, 이형층 부분에 라디칼 중합에 의해 경화하는 이방 도전성 접착제의 성분이 이행하여 열화가 급속히 진행되며, 기대된 이형 내구성이 얻어지지 않았다. On the surface which contacts anisotropically conductive adhesive on a silicone rubber sheet, the thermocompression sheet which laminated | stacked the thin silicone mold release layer of a different composition and improved peelability with anisotropically conductive adhesive is proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 2004-273669). Publication: Patent Document 4). However, when this sheet is applied to an anisotropic conductive adhesive that is cured by radical polymerization, the component of the anisotropic conductive adhesive that is cured by radical polymerization transfers to the release layer portion, and deterioration progresses rapidly, and the expected release durability is not obtained. .

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 라디칼 반응계의 수지를 사용한 이방 도전성 접착제에의 내구성이 우수한 열 압착용 복층 고무 시트를 제공하는 것을 목적으로 한다. This invention is made | formed in view of the said situation, and an object of this invention is to provide the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding excellent in the durability to the anisotropic conductive adhesive which used the resin of a radical reaction system.

본 발명자는 상기 목적을 달성하기 위해서 예의 검토를 거듭한 결과, 실리콘 고무층의 적어도 한쪽 면에, 불소계 고무층이 설치된 복층의 고무층을 포함하는 열 압착용 복층 고무 시트, 이 경우, 바람직하게는 상기 실리콘 고무층이, (A) 평균 중합도가 200 이상인 오르가노폴리실록산: 100 질량부, (B) 카본 블랙 및(또는) 미분말 실리카계 충전재: 0 내지 150 질량부, (C) 금속, 상기 (B) 성분 중의 미분말 실리카 이외의 금속 산화물, 금속 질화물 및 금속 탄화물로부터 선택되는 1종 이상: 0 내지 1,600 질량부(단, (B) 성분과 (C) 성분의 합계는 10 내지 1,600 질량부임), 및 (D) 경화제를 함유하여 이루어지는 실리콘 고무 조성물을 성형ㆍ경화한 층이고, 상기 불소계 고무층이, 퍼플루오로폴리에테르를 주성분으로 하는 퍼플루오로폴리에테르계 고무 조성물을 성형ㆍ경화한 층인 열 압착용 복층 고무 시트가, 표면 이형성이 우수하고, 주위 장치 부품이나 피압착물에 접합되지 않으며, 라디칼 반응계의 수지를 사용한 이방 도전성 접착제에의 내구성이 우수한 것으로 될 수 있는 것을 발견하였다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly examining in order to achieve the said objective, the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding which consists of a multilayer rubber layer provided with the fluorine-type rubber layer in at least one surface of a silicone rubber layer, In this case, Preferably the said silicone rubber layer Organopolysiloxane having an average degree of polymerization (A) of 200 or more: 100 parts by mass, (B) carbon black and / or fine powder silica filler: 0 to 150 parts by mass, (C) metal, fine powder in component (B) At least one member selected from metal oxides, metal nitrides and metal carbides other than silica: 0 to 1,600 parts by mass (the total of (B) component and (C) component is 10 to 1,600 parts by mass), and (D) curing agent A layer formed by molding and curing a silicone rubber composition containing a fluorine-containing rubber, and the fluorine-based rubber layer forms and hardens a perfluoropolyether-based rubber composition containing perfluoropolyether as a main component. The multi-layered rubber sheet for a layer, thermocompression bonding, the surface releasing property is excellent, it is not bonded to the surrounding device components or blood squeezed water, and found that the durability of the anisotropically conductive adhesive using resin of a radical reaction system can be made excellent.

즉, 열 압착용 복층 고무 시트의 이방 도전성 접착제에 포함되는 성분이 이행하기 어려운 불소계 고무층을 이방 도전성 접착제와 접촉하는 면에 배치함으로써, 라디칼 반응계의 수지를 사용한 이방 도전성 접착제에 포함되는 성분이 시트 내로 이행하는 것을 방지할 수 있고, 그 결과, 라디칼 경화형 이방 도전성 접착제에 의한 열화가 매우 적으며, 반복 사용에 의한 내구성이 우수한 것이 되는 것을 발견하고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다. That is, the component contained in an anisotropic conductive adhesive using a resin of a radical reaction system is placed into the sheet by disposing a fluorine-based rubber layer that is hard to shift in the component contained in the anisotropic conductive adhesive of the multilayer rubber sheet for thermal compression bonding in contact with the anisotropic conductive adhesive. Transition can be prevented, and as a result, the degradation by the radical hardening type anisotropic conductive adhesive is very small, and it discovered that it became excellent in durability by repeated use, and came to complete this invention.

따라서, 본 발명은 하기에 나타내는 열 압착용 복층 고무 시트를 제공한다. Therefore, this invention provides the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding shown below.

〔1〕 실리콘 고무층의 적어도 한쪽 면에, 불소계 고무층이 설치된 복층의 고무층을 포함하는 열 압착용 복층 고무 시트. [1] A multilayer rubber sheet for thermocompression bonding, comprising at least one surface of a silicone rubber layer, a multilayer rubber layer provided with a fluorine-based rubber layer.

〔2〕 실리콘 고무층이, (A) 평균 중합도가 200 이상인 오르가노폴리실록산: 100 질량부, (B) 카본 블랙 및(또는) 미분말 실리카계 충전재: 0 내지 150 질량부, (C) 금속, 상기 (B) 성분 중의 미분말 실리카 이외의 금속 산화물, 금속 질화물 및 금속 탄화물로부터 선택되는 1종 이상: 0 내지 1,600 질량부(단, (B) 성분과 (C) 성분의 합계는 10 내지 1,600 질량부임), 및 (D) 경화제를 함유하여 이루어지는 실리콘 고무 조성물을 성형ㆍ경화한 층인 〔1〕의 열 압착용 복층 고무 시트. [2] The silicone rubber layer is (A) organopolysiloxane having an average degree of polymerization of 200 or more: 100 parts by mass, (B) carbon black and / or fine powder silica-based filler: 0 to 150 parts by mass, (C) metal, the above ( At least one selected from metal oxides, metal nitrides and metal carbides other than fine powder silica in component B): 0 to 1,600 parts by mass (the total of component (B) and component (C) is 10 to 1,600 parts by mass), And (D) The multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of [1], which is a layer formed by molding and curing a silicone rubber composition containing a curing agent.

〔3〕 불소계 고무층이 퍼플루오로폴리에테르를 주성분으로 하는 퍼플루오로폴리에테르계 고무 조성물을 성형ㆍ경화한 층인 〔1〕또는〔2〕의 열 압착용 복층 고무 시트. [3] The multilayer rubber sheet for thermocompression bonding [1] or [2], wherein the fluorine-based rubber layer is a layer formed by molding and curing a perfluoropolyether-based rubber composition containing perfluoropolyether as a main component.

〔4〕 퍼플루오로폴리에테르계 고무 조성물이, (E) 1 분자 중에 2개 이상의 알케닐기를 가지며, 주쇄 중에 퍼플루오로폴리에테르 구조를 갖는 직쇄상 플루오로폴리에테르 화합물, (F) 1 분자 중에 규소 원자에 결합한 수소 원자를 2개 이상 갖는 유기 규소 화합물, 및 (G) 히드로실릴화 반응 촉매를 함유하여 이루어지는 것인 〔3〕의 열 압착용 복층 고무 시트. [4] The perfluoropolyether-based rubber composition is a linear fluoropolyether compound having two or more alkenyl groups in one molecule of (E) and a perfluoropolyether structure in the main chain, and one molecule of (F). The multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of [3], which comprises an organosilicon compound having two or more hydrogen atoms bonded to a silicon atom in the compound, and (G) a hydrosilylation reaction catalyst.

<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>Best Mode for Carrying Out the Invention

본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트는, 실리콘 고무층의 적어도 한쪽 면에 불소계 고무층이 설치된 복수개의 고무층을 포함하는 것이다. The multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention includes a plurality of rubber layers provided with a fluorine-based rubber layer on at least one side of the silicone rubber layer.

본 발명에 있어서의 실리콘 고무층은, 하기 (A) 내지 (D) 성분을 함유하는 실리콘 고무 조성물의 경화물을 포함하는 것이 바람직하다. It is preferable that the silicone rubber layer in this invention contains the hardened | cured material of the silicone rubber composition containing the following (A)-(D) component.

(A) 평균 중합도가 200 이상인 오르가노폴리실록산, (A) organopolysiloxane having an average degree of polymerization of 200 or more,

(B) 카본 블랙 및(또는) 미분말 실리카계 충전재, (B) carbon black and / or fine powder silica based filler,

(C) 금속, 상기 (B) 성분 중의 미분말 실리카 이외의 금속 산화물, 금속 질화물 및 금속 탄화물로부터 선택되는 1종 이상, At least one selected from metal (C), metal oxides other than fine powder silica in component (B), metal nitrides and metal carbides,

(D) 경화제. (D) hardener.

상기 (A) 성분인 평균 중합도 200 이상의 오르가노폴리실록산은, 하기 평균 조성식 (1)로 표시되는 것이 바람직하다. It is preferable that organopolysiloxane more than average polymerization degree 200 which is the said (A) component is represented by the following average composition formula (1).

R1 aSiO(4-a)/2 (1)R 1 a SiO (4-a) / 2 (1)

(식 중, R1은 비치환 또는 치환 1가 탄화수소기이고, a는 1.95 내지 2.05의 양수이다.)(Wherein R 1 is an unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group, and a is a positive number of 1.95 to 2.05.)

상기 식 중의 R1은 비치환 또는 치환 1가 탄화수소기이고, 1가 탄화수소기의 구체예로서는, 메틸기, 에틸기, 프로필기 등의 알킬기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기 등의 시클로알킬기, 비닐기, 알릴기 등의 알케닐기, 페닐기, 톨릴기 등의 아릴기, 또는 이들 수소 원자가 부분적으로 염소 원자, 불소 원자 등으로 치환된 할로겐화 탄화수소기 등을 들 수 있다. 본 발명에 있어서는, R1의 0.001 내지 5 몰%, 특히 0.01 내지 1 몰%가 알케닐기인 것이 바람직하다. R 1 in the above formula is an unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group, and specific examples of the monovalent hydrocarbon group include an alkyl group such as methyl group, ethyl group and propyl group, cycloalkyl group such as cyclopentyl group and cyclohexyl group, vinyl group and allyl And aryl groups such as alkenyl groups such as groups, phenyl groups and tolyl groups, or halogenated hydrocarbon groups in which these hydrogen atoms are partially substituted with chlorine atoms, fluorine atoms and the like. In this invention, it is preferable that 0.001-5 mol%, especially 0.01-1 mol% of R <1> is an alkenyl group.

상기 오르가노폴리실록산으로서는, 주쇄가 디메틸실록산 단위를 포함하는 것, 또는 이 오르가노폴리실록산의 주쇄에 비닐기, 페닐기 등을 도입한 것이 바람직하다. 또한, 분자쇄 말단이 트리오르가노실릴기 또는 수산기로 봉쇄된 것일 수 있고, 이 트리오르가노실릴기로서는, 트리메틸실릴기, 디메틸비닐실릴기, 트리비닐실릴기 등이 예시된다. As said organopolysiloxane, it is preferable that a principal chain contains a dimethylsiloxane unit, or the vinyl group, the phenyl group, etc. were introduce | transduced into the principal chain of this organopolysiloxane. In addition, the terminal of the molecular chain may be sealed with a triorganosilyl group or a hydroxyl group. Examples of the triorganosilyl group include trimethylsilyl group, dimethylvinylsilyl group, trivinylsilyl group and the like.

또한, 상기 오르가노폴리실록산의 평균 중합도는 200 이상이고, 3,000 내지 20,000인 것이 바람직하다. 평균 중합도가 200 미만이면, 경화 후의 기계적 강도가 열악해지고, 취약해지는 경우가 있다. 또한, (A) 성분의 B 형 회전 점도계에 의해 측정한 25 ℃에 있어서의 점도는 10 Paㆍs 이상, 특히 50 내지 10,000 Paㆍs 인 것이 바람직하다. In addition, the average degree of polymerization of the organopolysiloxane is 200 or more, preferably 3,000 to 20,000. If the average degree of polymerization is less than 200, the mechanical strength after curing is poor and may be weak. Moreover, it is preferable that the viscosity in 25 degreeC measured with the B-type rotational viscometer of (A) component is 10 Pa.s or more, especially 50-10,000 Pa.s.

(B) 성분인 카본 블랙은, 바람직하게는 수분을 제외한 휘발분이 0.5 질량% 이하인 것이며, 실리콘 고무층의 내열성 및 열전도성을 향상시킬 뿐만 아니라, 기계적 강도를 향상시킴과 동시에 실리콘 고무 시트를 도전화하여 대전 방지성을 부여하는 것이다. 일반적으로, 실리콘 고무의 내열성은 조성물 중의 pH, 수분 또는 불순물의 영향을 받기 때문에, 첨가제의 선정에는 충분히 주의할 필요가 있다. 카본 블랙은 실리콘 고무의 내열성을 향상시킬 수 있지만, 그의 불순물 및 휘발분을 고려할 필요가 있다. 카본 블랙의 휘발분은 표면에 화학적으로 흡착되어 있는 산소 화합물(카르복실, 퀴논, 락톤, 히드록실 등의 산성 성분)의 질량에 해당되지만, 가열함으로써 이 산소 화합물이 표면으로부터 기화되기 때문에, 실리콘 고무의 내열성에 악영향을 제공한다. 따라서, 휘발분이 0.5 질량% 이하, 특히 0.2 질량% 이하인 카본 블랙을 사용함으로써, 300 ℃ 이상의 고온하에서도 사용 가능한 내열성을 실현할 수 있다. Carbon black, which is component (B), preferably has a volatile content of 0.5% by mass or less, except for moisture, and not only improves the heat resistance and thermal conductivity of the silicone rubber layer, but also improves mechanical strength and conducts the silicone rubber sheet to be conductive. It provides antistatic property. Generally, since the heat resistance of silicone rubber is influenced by pH, moisture, or impurities in the composition, it is necessary to pay careful attention to the selection of the additive. Although carbon black can improve the heat resistance of silicone rubber, it is necessary to consider its impurities and volatile matter. Volatiles of carbon black correspond to the mass of oxygen compounds (acidic components such as carboxyl, quinone, lactone, hydroxyl, etc.) chemically adsorbed on the surface, but since the oxygen compounds vaporize from the surface by heating, Provides adverse effects on heat resistance. Therefore, by using the carbon black whose volatile matter is 0.5 mass% or less, especially 0.2 mass% or less, the heat resistance which can be used even at high temperature 300 degreeC or more can be implement | achieved.

여기서, 본 발명에 있어서의 휘발분의 측정 방법은 JIS K 6221의 "고무용 카본 블랙 시험 방법"에 기재되어 있는 방법을 사용한다. 구체적으로는, 도가니 속에 카본 블랙을 규정량 넣고, 950 ℃에서 7 분간 가열한 후의 휘발 감량을 측정하는 것이다. Here, the measuring method of the volatile matter in this invention uses the method described in "the carbon black test method for rubber | gum" of JISK6122. Specifically, the carbon black is charged in a crucible, and the volatile loss after heating for 7 minutes at 950 ° C is measured.

카본 블랙은 그의 제조 방법에 의해 퍼니스 블랙, 채널 블랙, 써멀 블랙, 아세틸렌 블랙 등으로 분류되지만, 휘발분이 0.5 질량% 이하인 카본 블랙으로서는, 아세틸렌 블랙이나 도전성 카본 블랙 등이 바람직하다(예를 들면 일본 특허 공개 (평)1-272667호 공보의 제3 페이지, 제36 내지 40행째). Although carbon black is classified into furnace black, channel black, thermal black, acetylene black, etc. by the manufacturing method, acetylene black, conductive carbon black, etc. are preferable as carbon black whose volatile matter is 0.5 mass% or less (for example, a Japanese patent) 3rd page 36, line 40 of publication (Pac.) 1-272667).

비표면적이 큰 카본 블랙일수록 내열성을 향상시키고, 고온시의 기계적 강도의 저하를 억제하는 효과가 크기 때문에, 본 발명에 있어서는, BET 비표면적이 30 m2/g 이상인 카본 블랙을 사용하는 것이 바람직하고, 50 m2/g 이상인 것이 특히 바람직하며, 100 m2/g 이상인 것이 더욱 바람직하다. 또한, BET 비표면적의 상한은 800 m2/g 이하, 특히 500 m2/g 이하인 것이 바람직하다. In the present invention, it is preferable to use carbon black having a BET specific surface area of 30 m 2 / g or more because carbon black having a large specific surface area has a greater effect of improving heat resistance and suppressing a decrease in mechanical strength at high temperatures. It is especially preferable that it is 50 m <2> / g or more, and it is more preferable that it is 100 m <2> / g or more. Moreover, it is preferable that the upper limit of BET specific surface area is 800 m <2> / g or less, especially 500 m <2> / g or less.

또한, 미분말 실리카는, 바람직하게는 BET 비표면적이 50 m2/g 이상이고, 실리콘 고무의 보강 성분으로서 사용되는 것이다. 이 미분말 실리카는, 친수성의 것일 수도 소수성의 것일 수도 있지만, 보강성의 면에서는 BET 비표면적이 50 내지 800 m2/g인 것이 바람직하고, 100 내지 500 m2/g인 것이 특히 바람직하다. BET 비표면적이 50 m2/g 미만이면, 보강 효과가 충분히 얻어지지 않을 우려가 있다. The fine powder silica is preferably one having a BET specific surface area of 50 m 2 / g or more and used as a reinforcing component of silicone rubber. The fine powder silica may be hydrophilic or hydrophobic, but in terms of reinforcement, the BET specific surface area is preferably 50 to 800 m 2 / g, and particularly preferably 100 to 500 m 2 / g. If the BET specific surface area is less than 50 m 2 / g, the reinforcing effect may not be sufficiently obtained.

(B) 성분인 카본 블랙 및 미분말 실리카는 모두 실리콘 고무를 보강하는 역할을 갖는다. 수분을 제외한 휘발분이 0.5 질량% 이하인 카본 블랙의 경우가, BET 비표면적이 50 m2/g 이상인 미분말 실리카보다, 내열성 향상에 대한 기여는 보다 크지만, 실온에서의 강도에 대한 기여는 보다 작다. 이들 2종류의 보강 성분은, 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트의 사용 온도에 따라서 조정하여 사용할 수 있다. Both carbon black and fine powder silica which are (B) component have a role which reinforces silicone rubber. In the case of carbon black having a volatilization content of 0.5% by mass or less excluding moisture, the contribution to improving heat resistance is greater than that of fine powder silica having a BET specific surface area of 50 m 2 / g or more, but the contribution to strength at room temperature is smaller. These two types of reinforcement components can be adjusted and used according to the use temperature of the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention.

(B) 성분의 배합량은, (A) 성분 100 질량부에 대하여 0 내지 150 질량부인 것이 바람직하고, 특히 10 내지 120 질량부인 것이 바람직하며, 20 내지 100 질량부의 범위에서 사용하는 것이 가장 바람직하다. 150 질량부보다 많으면 배합이 곤란해질 뿐 아니라, 성형 가공성이 나빠지는 경우가 있다. It is preferable that the compounding quantity of (B) component is 0-150 mass parts with respect to 100 mass parts of (A) component, It is especially preferable that it is 10-120 mass parts, It is most preferable to use in the range of 20-100 mass parts. When more than 150 mass parts, not only compounding becomes difficult but molding workability may worsen.

(C) 성분은 금속, (B) 성분 이외의 금속 산화물, 금속 질화물 및 금속 탄화물로부터 선택되는 1종 이상이고, 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트에 열전도성을 부여하는 것이다. 이들의 구체예로서는, 금속으로서는 은 분말, 구리 분말, 철 분말, 니켈 분말, 알루미늄 분말 등, 금속 산화물로서는 아연, 마그네슘, 알루미늄, 규소, 철 등의 산화물, 금속 질화물로서는 붕소, 알루미늄, 규소 등의 질화물, 금속 탄화물로서는 규소, 붕소 등의 탄화물 등이 예시된다. (C) component is 1 or more types chosen from metal, metal oxides other than (B) component, metal nitride, and a metal carbide, and provides thermal conductivity to the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention. Specific examples thereof include silver powder, copper powder, iron powder, nickel powder and aluminum powder as metals, oxides such as zinc, magnesium, aluminum, silicon and iron as metal oxides and nitrides such as boron, aluminum and silicon as metal nitrides. Examples of the metal carbides include carbides such as silicon and boron.

(C) 성분의 배합량은, (A) 성분 100 질량부에 대하여 0 내지 1,600 질량부이 지만, 특히 10 내지 1,000 질량부의 범위에서 사용하는 것이 바람직하다. 1,600 질량부보다 많으면 배합이 곤란해질 뿐 아니라, 성형 가공성이 나빠지는 경우가 있다. Although the compounding quantity of (C) component is 0-1,600 mass parts with respect to 100 mass parts of (A) component, It is preferable to use especially in the range of 10-1,000 mass parts. When more than 1,600 mass parts, not only compounding becomes difficult but molding workability may worsen.

또한, 본 발명에 있어서의 (B) 성분과 (C) 성분의 합계 배합량은, (A) 성분 100 질량부에 대하여 10 내지 1,600 질량부인 것이 바람직하지만, 20 내지 1,200 질량부인 것이 보다 바람직하고, 30 내지 1,000 질량부의 범위에서 사용하는 것이 더욱 바람직하다. Moreover, although it is preferable that the total compounding quantity of (B) component and (C) component in this invention is 10-1,600 mass parts with respect to 100 mass parts of (A) component, It is more preferable that it is 20-1,200 mass parts, 30 It is more preferable to use in the range of -1,000 mass parts.

또한, 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트의 고무 강도나 내열성을 중시하는 경우에는, (B) 성분인 카본 블랙이나 미분말 실리카의 배합량을 (C) 성분에 대하여 상대적으로 많게 하는 것이 바람직하다. 열전도성을 중시하는 경우에는, (C) 성분인 열전도 부여재의 배합량을 (B) 성분에 대하여 상대적으로 많게 하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, (A) 성분 100 질량부에 대하여 (B) 성분의 배합량이 10 내지 50 질량부, (C) 성분이 50 내지 1,000 질량부로 하는 것이 바람직하다. In the case where the rubber strength and heat resistance of the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention are emphasized, it is preferable to increase the blending amount of carbon black or fine powder silica, which is the component (B), relative to the component (C). In the case where importance is placed on thermal conductivity, it is preferable to increase the compounding amount of the heat conduction imparting material which is the component (C) relative to the component (B). Specifically, it is preferable that the compounding quantity of (B) component is 10-50 mass parts and (C) component is 50-1,000 mass parts with respect to 100 mass parts of (A) component.

(D) 성분으로서의 경화제는, 통상 실리콘 고무의 경화에 사용되는 공지된 경화제 중에서 적절하게 선택할 수 있다. 이들 경화제의 예로서는, 라디칼 반응에 사용되는 디-t-부틸퍼옥시드, 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥산, 디쿠밀퍼옥시드 등의 유기 과산화물, (A) 성분인 오르가노폴리실록산이 1 분자 중에 알케닐기를 2개 이상 갖는 경우에 대해서는, 부가 반응 경화제로서, 규소 원자에 결합한 수소 원자를 1 분자 중에 2개 이상 함유하는 오르가노하이드로젠폴리실록산 및 백금계 촉매, (A) 성분인 오르가노폴리실록산이 1 분자 중에 실라놀기를 2개 이상 함유하 는 경우에 대해서는, 축합 반응 경화제로서, 알콕시기, 아세톡시기, 케토옥심기, 프로페녹시기 등의 가수분해성기를 1 분자 중에 2개 이상 갖는 유기 규소 화합물 등을 들 수 있다. 본 발명에 있어서는, 라디칼 반응 및(또는) 부가 반응으로 경화시키는 것이 바람직하다. The hardening | curing agent as (D) component can be suitably selected from the well-known hardening | curing agents normally used for hardening of a silicone rubber. Examples of these curing agents include organic peroxides such as di-t-butylperoxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexane and dicumylperoxide used for radical reaction, (A) In the case where the organopolysiloxane as a component has two or more alkenyl groups in one molecule, an organohydrogenpolysiloxane and a platinum-based catalyst containing two or more hydrogen atoms bonded to a silicon atom in one molecule as an addition reaction curing agent, When organopolysiloxane (A) component contains 2 or more silanol groups in 1 molecule, it is a condensation reaction hardening | curing agent, Comprising: Hydrolysable groups, such as an alkoxy group, an acetoxy group, a ketooxime group, a propenoxy group, are 1 The organosilicon compound etc. which have two or more in a molecule | numerator are mentioned. In this invention, it is preferable to harden | cure by radical reaction and / or addition reaction.

이들 경화제의 첨가량은, 통상의 실리콘 고무의 경우와 동일하게 할 수 있지만, 라디칼 반응의 경우에는, 유기 과산화물을 (A) 성분 100 질량부에 대하여 0.1 내지 10 질량부, 부가 반응의 경우에는, 오르가노하이드로젠폴리실록산의 SiH기가 (A) 성분의 알케닐기에 대하여 0.5 내지 5 몰이 되는 양, 및 백금계 촉매가 1 내지 2,000 ppm이 되는 양으로 사용하는 것이 바람직하다. Although the addition amount of these hardening | curing agents can be made to be the same as the case of normal silicone rubber, in the case of radical reaction, organic peroxide is 0.1-10 mass parts with respect to 100 mass parts of (A) component, In the case of addition reaction, It is preferable to use in the amount which the SiH group of the organohydrogenpolysiloxane becomes 0.5-5 mol with respect to the alkenyl group of (A) component, and the amount which a platinum-type catalyst becomes 1-2,000 ppm.

본 발명의 실리콘 고무층을 형성하는 실리콘 고무 조성물에는, 본 발명의 목적을 손상시키지 않는 범위에서, 필요에 따라서 비반응성 오르가노폴리실록산, 말단이 히드록시실릴디메틸기로 봉쇄된 저점도 오르가노폴리실록산 등의 점도 및 경도를 조절하기 위한 희석제, 점토, 탄산칼슘, 규조토 등의 충전제, 코발트 블루 등의 무기 안료, 유기 염료 등의 착색제, 탄산아연, 탄산망간, 적산화철 등의 내열성, 난연성 향상제, 백금족 금속계 촉매 등의 난연성 향상제, 저분자 실록산에스테르, 실라놀 등의 분산제, 실란 커플링제, 티탄 커플링제 등의 접착 부여제, 고무 컴파운드의 그린 강도를 올리는 테트라플루오로폴리에틸렌 입자 등을 기타 성분으로서 첨가할 수도 있다. In the silicone rubber composition which forms the silicone rubber layer of the present invention, the viscosity of the non-reactive organopolysiloxane and the low-viscosity organopolysiloxane whose terminal is sealed with a hydroxysilyldimethyl group, if necessary, within a range that does not impair the object of the present invention. And diluents for controlling hardness, fillers such as clay, calcium carbonate and diatomaceous earth, inorganic pigments such as cobalt blue, colorants such as organic dyes, heat resistance such as zinc carbonate, manganese carbonate, iron red oxide, platinum group metal catalysts, and the like. Can also be added as other components, such as a flame retardant improver, a low molecular siloxane ester, a dispersing agent such as silanol, a silane coupling agent, an adhesion imparting agent such as a titanium coupling agent, and tetrafluoropolyethylene particles which raise the green strength of the rubber compound.

또한, 상기 실리콘 고무 조성물의 제조는, 상기 각 성분을 플라네터리 믹서, 혼련기, 2축 롤, 3축 롤, 벤버리 믹서 등의 혼합기를 사용하여 혼련할 수 있지만, 경화제는 사용하기 직전에 첨가하는 것이 바람직하다. In the production of the silicone rubber composition, each of the components may be kneaded using a mixer such as a planetary mixer, a kneader, a biaxial roll, a triaxial roll, a Benbury mixer, etc. It is preferable to add.

여기서, 상기 실리콘 고무 조성물을 경화시킬 때의 경화 조건은 적절하게 선정되지만, 가열 경화 조건으로서는, 60 내지 200 ℃, 특히 80 내지 150 ℃에서 30 초 내지 60 분간, 특히 1 분 내지 30 분간으로 하는 것이 바람직하다. Here, although the curing conditions at the time of hardening the said silicone rubber composition are selected suitably, as heat-hardening conditions, it is made into 30 second-60 minutes, especially 1 minute-30 minutes at 60-200 degreeC, especially 80-150 degreeC. desirable.

또한, 상기 실리콘 고무 조성물의 경화물의 JIS K 6253 듀로미터 경도 시험 유형 A 경도는 20 이상인 것이 바람직하고, 특히 20 내지 100인 것이 바람직하다. 경도가 너무 낮으면 압착시에 가열 히터 등에 밀착되어 박리되지 않게 되는 경우가 있다. In addition, the JIS K 6253 durometer hardness test type A hardness of the cured product of the silicone rubber composition is preferably 20 or more, particularly preferably 20 to 100. When hardness is too low, it may adhere to a heating heater etc. at the time of crimping, and it may not peel.

본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트 중, 불소계 고무층은 본 발명의 핵심적인 부분이고, 특히 라디칼 반응계의 수지를 사용한 이방 도전성 접착제 성분의 이행을 방지하기 위해서 설치된다. 이 불소계 고무층은 이형층으로서도 기능하기 때문에, 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트는 우수한 이형 내구성을 유지하는 것이 가능해진다. In the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention, the fluorine-based rubber layer is an essential part of the present invention, and is particularly provided to prevent migration of an anisotropic conductive adhesive component using a resin of a radical reaction system. Since this fluorine-type rubber layer also functions as a mold release layer, the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention can maintain the outstanding mold release durability.

이 불소계 고무층은 불소계 고무 조성물의 경화물이고, 불소계 고무 조성물로서는, 퍼플루오로폴리에테르를 주성분으로 하는 퍼플루오로폴리에테르계 고무 조성물 등이 예시된다. 여기서, 퍼플루오로폴리에테르계 고무 조성물로서, 구체적으로는, (E) 1 분자 중에 2개 이상의 알케닐기를 가지며 주쇄 중에 퍼플루오로폴리에테르 구조를 갖는 직쇄상 플루오로폴리에테르 화합물, (F) 1 분자 중에 규소 원자에 결합한 수소 원자를 2개 이상 갖는 유기 규소 화합물, 및 (G) 히드로실릴화 반응 촉매를 함유하는 것을 들 수 있다. The fluorine-based rubber layer is a cured product of the fluorine-based rubber composition, and examples of the fluorine-based rubber composition include a perfluoropolyether-based rubber composition containing perfluoropolyether as a main component. Here, as the perfluoropolyether rubber composition, specifically, (E) a linear fluoropolyether compound having two or more alkenyl groups in one molecule and having a perfluoropolyether structure in the main chain, (F) The thing containing the organosilicon compound which has two or more hydrogen atoms couple | bonded with the silicon atom in 1 molecule, and (G) hydrosilylation reaction catalyst is mentioned.

상기 (E) 성분인 직쇄상 플루오로폴리에테르 화합물은 1 분자 중에 2개 이상의 알케닐기를 가지며 주쇄 중에 퍼플루오로폴리에테르 구조를 갖는 직쇄상 플루오로폴리에테르 화합물이다. The linear fluoropolyether compound as the component (E) is a linear fluoropolyether compound having two or more alkenyl groups in one molecule and a perfluoropolyether structure in the main chain.

이 직쇄상 플루오로폴리에테르 화합물에 있어서의 알케닐기로서는, 탄소수 2 내지 8의 것이 바람직하고, 예를 들면 비닐기, 알릴기, 프로페닐기, 이소프로페닐기, 부테닐기, 헥세닐기 등의 말단에 CH2=CH-구조를 갖는 기, 특히 비닐기, 알릴기 등이 바람직하다. 이 알케닐기는 직쇄상 플루오로폴리에테르 화합물 주쇄의 양쪽 말단부에 직접 결합되어 있을 수도 있고, 2가의 연결기, 예를 들면 -CH2-, -CH2O- 또는 -Y-NR2-CO-(단, Y는 -CH2- 또는 하기 구조식 (Z)As an alkenyl group in this linear fluoropolyether compound, a C2-C8 thing is preferable, For example, at the terminal, such as a vinyl group, an allyl group, a propenyl group, an isopropenyl group, butenyl group, a hexenyl group, etc. Groups having a CH 2 = CH- structure, in particular vinyl groups, allyl groups and the like are preferred. This alkenyl group may be directly bonded to both terminal portions of the linear fluoropolyether compound main chain, and is a divalent linking group such as -CH 2- , -CH 2 O- or -Y-NR 2 -CO- ( Provided that Y represents -CH 2 -or the following structural formula (Z)

Figure 112006028034490-PAT00001
Figure 112006028034490-PAT00001

로 표시되는 o, m 또는 p-디메틸실릴페닐렌기이며, R2는 수소 원자, 메틸기, 페닐기 또는 알릴기임) 등을 통해 결합되어 있을 수도 있다. 또한, (E) 성분은, 1 분자 중에 알케닐기를 2개 이상 갖는 것이 바람직하다. Or o, m or p-dimethylsilylphenylene group, R 2 is a hydrogen atom, a methyl group, a phenyl group or an allyl group). Moreover, it is preferable that (E) component has 2 or more alkenyl groups in 1 molecule.

또한, (E) 성분은 주쇄 중에 퍼플루오로폴리에테르 구조를 갖는 것이지만, 퍼플루오로폴리에테르 구조에 대해서는 하기에 설명한다. The component (E) has a perfluoropolyether structure in the main chain, but the perfluoropolyether structure will be described below.

(E) 성분으로서는, 하기 화학식 (2)로 표시되는 분지를 갖는 폴리플루오로디알케닐 화합물을 들 수 있다. As (E) component, the polyfluorodialkenyl compound which has the branch represented by following General formula (2) is mentioned.

CH2=CH-(X)b-Rf-(X')b-CH=CH2 (2)CH 2 = CH- (X) b -Rf- (X ') b -CH = CH 2 (2)

[식 중, X는 -CH2-, -CH2O-, -CH2OCH2- 또는 -Y-NR2-CO-(Y는 -CH2- 또는 하기 구조식(Z)[Wherein X is -CH 2- , -CH 2 O-, -CH 2 OCH 2 -or -Y-NR 2 -CO- (Y is -CH 2 -or the following structural formula (Z)

Figure 112006028034490-PAT00002
Figure 112006028034490-PAT00002

로 표시되는 o, m 또는 p-디메틸실릴페닐렌기이고, R2는 수소 원자, 메틸기, 페닐기 또는 알릴기임)로 표시되는 기, X'는 -CH2-, -OCH2-, -CH2OCH2- 또는 -CO-NR2-Y'-(Y'는 -CH2- 또는 하기 구조식(Z')Is an o, m or p-dimethylsilylphenylene group, R 2 is a hydrogen atom, a methyl group, a phenyl group or an allyl group), X 'is -CH 2- , -OCH 2- , -CH 2 OCH 2 -or -CO-NR 2 -Y '-(Y' is -CH 2 -or the following structural formula (Z ')

Figure 112006028034490-PAT00003
Figure 112006028034490-PAT00003

로 표시되는 o, m 또는 p-디메틸실릴페닐렌기, R2는 상기와 동일함)로 표시되는 기이고, Rf는 2가의 퍼플루오로폴리에테르기이고, b는 독립적으로 0 또는 1이다.]O, m or p-dimethylsilylphenylene group, R 2 is the same as above), Rf is a divalent perfluoropolyether group, b is independently 0 or 1.]

여기서, 상기 화학식 (2)의 Rf는 2가의 퍼플루오로폴리에테르 구조이고, 하기 화학식 (i), (ii)로 표시되는 화합물이 바람직하다. Here, Rf of the formula (2) is a divalent perfluoropolyether structure, and the compounds represented by the following formulas (i) and (ii) are preferable.

Figure 112006028034490-PAT00004
Figure 112006028034490-PAT00004

(식 중, p 및 q는 1 내지 150의 정수이며, 또한 p와 q의 합의 평균은 2 내지 200이다. 또한, r은 0 내지 6의 정수, t는 2 또는 3이다.)(In formula, p and q are integers of 1-150, and the average of the sum of p and q is 2-200. Moreover, r is an integer of 0-6, t is 2 or 3.)

Figure 112006028034490-PAT00005
Figure 112006028034490-PAT00005

(식 중, u는 1 내지 200의 정수, v는 1 내지 50의 정수, t는 상기와 동일하다.)(Wherein u is an integer from 1 to 200, v is an integer from 1 to 50, and t is the same as above).

상기 화학식 (2)로 표시되는 폴리플루오로디알케닐 화합물의 바람직한 예로서, 하기 화학식 (3)으로 표시되는 화합물을 들 수 있다. As a preferable example of the polyfluorodialkenyl compound represented by the said General formula (2), the compound represented by following General formula (3) is mentioned.

Figure 112006028034490-PAT00006
Figure 112006028034490-PAT00006

[식 중, X는 -CH2-, -CH2O-, -CH2OCH2- 또는 -Y-NR2-CO-(Y는 -CH2- 또는 하기 구조식(Z)[Wherein X is -CH 2- , -CH 2 O-, -CH 2 OCH 2 -or -Y-NR 2 -CO- (Y is -CH 2 -or the following structural formula (Z)

Figure 112006028034490-PAT00007
Figure 112006028034490-PAT00007

로 표시되는 o, m 또는 p-디메틸실릴페닐렌기이고, R2는 수소 원자, 메틸기, 페닐기 또는 알릴기임)로 표시되는 기, X'는 -CH2-, -OCH2-, -CH2OCH2- 또는 -CO-NR2-Y'-(Y'은 -CH2- 또는 하기 구조식(Z')Is an o, m or p-dimethylsilylphenylene group, R 2 is a hydrogen atom, a methyl group, a phenyl group or an allyl group), X 'is -CH 2- , -OCH 2- , -CH 2 OCH 2 -or -CO-NR 2 -Y '-(Y' is -CH 2 -or the following structural formula (Z ')

Figure 112006028034490-PAT00008
Figure 112006028034490-PAT00008

로 표시되는 o, m 또는 p-디메틸실릴페닐렌기, R2는 상기와 동일함)로 표시되는 기이다. b는 독립적으로 0 또는 1, e는 2 내지 6의 정수, c 및 d는 각각 0 내지 200의 정수이다.]O, m or p-dimethylsilylphenylene group, R 2 is the same as described above). b is independently 0 or 1, e is an integer of 2-6, c and d are each an integer of 0-200.]

본 발명의 (F) 성분은 1 분자 중에 규소 원자에 결합한 수소 원자를 2개 이상 갖는 유기 규소 화합물이다. (F) 성분은 (E) 성분의 가교제 내지 쇄 길이 연장제로서 기능하는 것이고, (E) 성분과의 상용성, 분산성, 경화 후의 균일성의 관점에서, 1 분자 중에 1개 이상의 불소 함유기를 갖는 것이 바람직하다. (F) component of this invention is an organosilicon compound which has 2 or more of hydrogen atoms couple | bonded with the silicon atom in 1 molecule. The component (F) functions as a crosslinking agent to a chain length extender of the component (E), and has one or more fluorine-containing groups in one molecule in view of compatibility with the component (E), dispersibility, and uniformity after curing. It is preferable.

이 불소 함유기로서는, 예를 들면 하기 화학식으로 표시되는 것 등을 들 수 있다. As this fluorine-containing group, what is represented, for example by the following formula is mentioned.

CgF2g +1-C g F 2g + 1-

(식 중, g는 1 내지 20, 바람직하게는 2 내지 10의 정수이다.)(Wherein g is an integer of 1 to 20, preferably 2 to 10).

-CgF2g--C g F 2g-

(식 중, g는 1 내지 20, 바람직하게는 2 내지 10의 정수이다.)(Wherein g is an integer of 1 to 20, preferably 2 to 10).

Figure 112006028034490-PAT00009
Figure 112006028034490-PAT00009

(식 중, f는 2 내지 200, 바람직하게는 2 내지 100의 정수, h는 1 내지 3의 정수이다.)(In formula, f is 2-200, Preferably it is an integer of 2-100, h is an integer of 1-3.)

Figure 112006028034490-PAT00010
Figure 112006028034490-PAT00010

(식 중, j 및 k는 1 이상의 정수, j+k의 평균은 2 내지 200, 바람직하게는 2 내지 100이다.)(Wherein j and k are integers of 1 or more, and the average of j + k is 2 to 200, preferably 2 to 100.)

이러한 불소 함유기를 갖는 (F) 성분으로서는, 예를 들면 하기 화합물을 들 수 있다. 이들 화합물은 1종 단독일 수도 있고 2종 이상을 혼합하여 사용할 수도 있다. 또한, 하기 화학식에 있어서, Me는 메틸기, Ph는 페닐기를 나타낸다. As (F) component which has such a fluorine-containing group, the following compound is mentioned, for example. These compounds may be used alone or in combination of two or more kinds thereof. In the following chemical formulae, Me represents a methyl group and Ph represents a phenyl group.

Figure 112006028034490-PAT00011
Figure 112006028034490-PAT00011

Figure 112006028034490-PAT00012
Figure 112006028034490-PAT00012

Figure 112006028034490-PAT00013
Figure 112006028034490-PAT00013

Figure 112006028034490-PAT00014
Figure 112006028034490-PAT00014

Figure 112006028034490-PAT00015
Figure 112006028034490-PAT00015

Figure 112006028034490-PAT00016
Figure 112006028034490-PAT00016

Figure 112006028034490-PAT00017
Figure 112006028034490-PAT00017

Figure 112006028034490-PAT00018
Figure 112006028034490-PAT00018

Figure 112006028034490-PAT00019
Figure 112006028034490-PAT00019

Figure 112006028034490-PAT00020
Figure 112006028034490-PAT00020

Figure 112006028034490-PAT00021
Figure 112006028034490-PAT00021

Figure 112006028034490-PAT00022
Figure 112006028034490-PAT00022

상기 (F) 성분의 배합량은, 통상 (E) 성분 중에 포함되는 비닐기, 알릴기, 시클로알케닐기 등의 알케닐기 1 몰에 대하여, (F) 성분의 히드로실릴기, 즉 Si-H 기를 바람직하게는 0.5 내지 5 몰, 보다 바람직하게는 1 내지 2 몰 공급할 수 있는 양이다. 0.5 몰 미만이면, 가교 정도가 불충분해지는 경우가 있고, 5 몰을 초과하면, 쇄길이 연장이 우선하고, 경화가 불충분해지거나 발포되거나 내열성, 압축 영구 왜곡 특성 등이 악화되는 경우가 있다. As for the compounding quantity of the said (F) component, the hydrosilyl group of (F) component, ie, Si-H group, is preferable with respect to 1 mol of alkenyl groups, such as a vinyl group, an allyl group, and a cycloalkenyl group normally contained in (E) component. Preferably it is 0.5-5 mol, More preferably, it is the quantity which can supply 1-2 mol. If it is less than 0.5 mole, the degree of crosslinking may be insufficient, and if it exceeds 5 moles, the chain length extension may take precedence, and curing may be insufficient, foaming, heat resistance, compression set, and distortion may deteriorate.

본 발명의 (G) 성분은 히드로실릴화 반응 촉매이다. 히드로실릴화 반응 촉매는 (E) 성분 중의 알케닐기와 (F) 성분 중의 히드로실릴기와의 부가 반응을 촉진시키는 촉매이다. 이 히드로실릴화 반응 촉매는 일반적으로 귀금속 화합물이고, 고가이기 때문에 비교적 입수하기 쉬운 백금 또는 백금 화합물이 자주 사용된다. Component (G) of the present invention is a hydrosilylation reaction catalyst. The hydrosilylation reaction catalyst is a catalyst for promoting the addition reaction of the alkenyl group in the component (E) and the hydrosilyl group in the component (F). This hydrosilylation reaction catalyst is generally a noble metal compound, and a platinum or platinum compound which is relatively easy to obtain because of its high price is often used.

백금 화합물로서는, 예를 들면 염화백금산 또는 염화백금산과 에틸렌 등의 올레핀과의 착체, 알코올이나 비닐실록산과의 착체, 실리카, 알루미나, 카본 등을 담지한 금속 백금 등을 들 수 있다. 백금 화합물 이외의 백금족 금속 촉매로서, 로듐, 루테늄, 이리듐, 팔라듐계 화합물도 알려져 있고, 예를 들면 RhCl(PPh3)3, RhCl(CO)(PPh3)2, Ru3(CO)12, IrCl(CO)(PPh3)2, Pd(PPh3)4 등을 예시할 수 있다. Examples of the platinum compound include complexes of chloroplatinic acid or chloroplatinic acid with olefins such as ethylene, complexes of alcohols and vinylsiloxanes, metal platinum carrying silica, alumina, carbon and the like. As platinum group metal catalysts other than the platinum compound, rhodium, ruthenium, iridium and palladium-based compounds are also known. For example, RhCl (PPh 3 ) 3 , RhCl (CO) (PPh 3 ) 2 , Ru 3 (CO) 12 , IrCl (CO) (PPh 3 ) 2 , Pd (PPh 3 ) 4 and the like can be exemplified.

히드로실릴화 반응 촉매의 배합량은 촉매량으로 할 수 있지만, 통상 (E), (F) 성분의 합계량에 대하여 0.1 내지 100 ppm(백금 환산)의 질량 비율로 배합하는 것이 바람직하다. Although the compounding quantity of a hydrosilylation reaction catalyst can be made into a catalytic amount, it is preferable to mix | blend in the mass ratio of 0.1-100 ppm (platinum conversion) with respect to the total amount of (E) and (F) component normally.

본 발명의 불소계 고무 조성물에 있어서는, 상기 (E) 내지 (G) 성분 이외에 도, 기계적 강도를 향상시켜 이형 내구성을 향상시키고, 열전도성을 부여할 목적으로 각종 충전제를 첨가할 수도 있다. In the fluorine-based rubber composition of the present invention, in addition to the components (E) to (G), various fillers may be added for the purpose of improving mechanical strength, improving mold release durability, and imparting thermal conductivity.

충전제로서는, 발연 실리카, 습식 실리카, 분쇄 실리카, 탄산칼슘, 규조토, 플라스틱 구상 충전제, 실리콘 파우더, 카본 블랙, 각종 금속 및 금속 산화물 등을 들 수 있고, 이들을 각종 표면 처리제로 처리한 것일 수도 있다. 이 중에서, 이형 내구성 향상의 점에서 특히 발연 실리카가 바람직하고, 또한 분산성 향상의 점에서, 발연 실리카를 실란계 표면 처리제로 처리한 것이 바람직하다. Examples of the filler include fumed silica, wet silica, pulverized silica, calcium carbonate, diatomaceous earth, plastic spherical fillers, silicon powder, carbon black, various metals and metal oxides, and these may be treated with various surface treatment agents. Among them, fumed silica is particularly preferable from the viewpoint of release durability improvement, and from the viewpoint of dispersibility improvement, it is preferable that the fumed silica is treated with a silane-based surface treatment agent.

충전제의 첨가량으로서는, (E) 성분 100 질량부에 대하여 5 내지 200 질량부가 바람직하다. 특히, 이형 특성 안정의 점에서 10 내지 60 질량부가 바람직하다. As addition amount of a filler, 5-200 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of (E) component. In particular, 10-60 mass parts is preferable at the point of stability of mold release characteristics.

또한, 본 발명의 불소계 고무 조성물은, 필요에 따라서 적당한 안료, 염료 등을 배합할 수도 있다. 또한, 본 발명의 목적을 손상시키지 않는 범위에서 각종 배합제를 첨가할 수 있다. 이러한 임의 성분으로서는, 예를 들면 1-에티닐-1-히드록시시클로헥산, 3-메틸-1-부틴-3-올, 3,5-디메틸-1-헥신-3-올, 3-메틸-1-펜텐-3-올, 페닐부테놀 등의 아세틸렌알코올이나, 3-메틸-3-펜텐-1-인, 3,5-디메틸-3-헥센-1-인 등 또는 폴리메틸비닐실록산 환식 화합물, 유기 인 화합물 등의 히드로실릴화 반응 촉매의 제어제를 들 수 있고, 이에 의해서 경화 반응성과 보존 안정성을 적절하게 유지할 수 있다. Moreover, the fluorine-type rubber composition of this invention can also mix | blend a suitable pigment, dye, etc. as needed. Moreover, various compounding agents can be added in the range which does not impair the objective of this invention. As such optional components, for example, 1-ethynyl-1-hydroxycyclohexane, 3-methyl-1-butyn-3-ol, 3,5-dimethyl-1-hexyn-3-ol, 3-methyl- Acetylene alcohols such as 1-penten-3-ol and phenylbutenol, 3-methyl-3-pentene-1-yne, 3,5-dimethyl-3-hexene-1-yne, or polymethylvinylsiloxane cyclic compounds And control agents for hydrosilylation reaction catalysts such as organophosphorus compounds, whereby curing reactivity and storage stability can be appropriately maintained.

본 발명의 불소계 고무 조성물의 제조는 특별히 제한되지 않고, 상기 각 성분을 서로 혼합함으로써 제조할 수 있다. 또한, 2 조성물로 하여, 사용시에 혼합하도록 할 수도 있다. The production of the fluorine-based rubber composition of the present invention is not particularly limited and can be produced by mixing the above components with each other. Moreover, it can also be made into 2 compositions and to mix at the time of use.

여기서, 상기 불소계 고무 조성물을 경화시킬 때의 경화 조건은 적절하게 선정되지만, 가열 경화 조건으로서는, 통상 100 내지 180 ℃, 특히 120 내지 150 ℃의 온도에서 10 초 내지 30 분 정도, 특히 1 내지 5 분 정도로 하는 것이 바람직하다.  Here, the curing conditions at the time of curing the fluorine-based rubber composition is appropriately selected, but as the heat curing conditions, usually 10 to 30 minutes at a temperature of 100 to 180 ℃, especially 120 to 150 ℃, especially 1 to 5 minutes It is preferable to make it to an extent.

또한, 상기 불소계 고무 조성물의 경화물의 JIS K 6253 듀로미터 경도 시험 유형 A 경도는 20 이상인 것이 바람직하고, 특히 30 내지 95인 것이 바람직하다. 경도가 20 미만이면, 압착시에 각 피압착 부재에 밀착되기 쉬워질 우려가 있다. In addition, the JIS K 6253 durometer hardness test type A hardness of the cured product of the fluorine-based rubber composition is preferably 20 or more, particularly preferably 30 to 95. When hardness is less than 20, there exists a possibility that it may become easy to adhere to each to-be-pressed member at the time of crimping | compression-bonding.

본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트의 제조 방법은, 상기 불소계 고무 조성물을 상기 (A) 내지 (D) 성분을 함유하는 실리콘 고무 조성물의 경화물을 포함하는 실리콘 고무층 위에, 직접 또는 프라이머를 도포한 후에 코팅한 후, 경화를 행하는 등의 종래 공지된 방법에 의해 행해진다. The manufacturing method of the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention applied the said fluorine-type rubber composition directly or on the silicone rubber layer containing the hardened | cured material of the silicone rubber composition containing the said (A)-(D) component, or apply | coating a primer directly. After coating, it is performed by a conventionally well-known method, such as hardening.

여기서, 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트를 제조하는 방법으로서는, 이하와 같은 방법이 있지만, 이것으로 한정되는 것은 아니다. Here, although the following method is mentioned as a method of manufacturing the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention, it is not limited to this.

(1) 실리콘 고무 조성물을, 엠보싱 가공된 캐리어 필름 상에 캘린더 성형 또는 압출 성형ㆍ가열 경화시킨 후, 그 위에 불소계 고무 조성물을 불소계 용제에 용해시켜 액상화한 재료를, 나이프 코팅, 코마 코팅, 바 코팅, 딥 코팅 등의 방법으로 코팅 성형하고, 그대로 대기 중에서 용제 제거ㆍ가열 경화하는 방법. 이 경우, 불소계 고무 조성물의 점도가 낮은 경우에는, 불소계 용제에 용해시키지 않고서 그대로 코팅 성형할 수도 있다. (1) Knife coating, coma coating, and bar coating of a silicone rubber composition on a embossed carrier film after calender molding, extrusion molding or heat curing, followed by dissolving the fluorine-based rubber composition in a fluorine-based solvent and liquefying it. Coating molding by methods such as dip coating and dip coating, and removing the solvent and heating and curing in the air as it is. In this case, when the viscosity of a fluorine-type rubber composition is low, it can also coat shape as it is, without melt | dissolving in a fluorine-type solvent.

(2) 실리콘 고무 조성물을 톨루엔 등의 용제에 용해시켜 액상화하고, 엠보싱 가공된 캐리어 필름 상에 코팅 성형ㆍ용제 제거ㆍ가열 경화시킨 후, 그 위에 불소계 고무 조성물을 불소계 용제에 용해시켜 액상화한 재료를, 나이프 코팅, 코마 코팅, 바 코팅, 딥 코팅 등의 방법으로 코팅 성형하고, 그대로 대기 중에서 용제 제거ㆍ가열 경화하는 방법. 이 경우, 불소계 고무 조성물의 점도가 낮은 경우에는, 불소계 용제에 용해시키지 않고서 그대로 코팅 성형할 수도 있다. (2) After dissolving the silicone rubber composition in a solvent such as toluene and liquefying, coating molding, solvent removal, and heat curing on the embossed carrier film, the fluorinated rubber composition is dissolved in the fluorine solvent to liquefy the material. A method of coating molding by knife coating, coma coating, bar coating, dip coating or the like, and then removing the solvent and heating and curing in the air as it is. In this case, when the viscosity of a fluorine-type rubber composition is low, it can also coat shape as it is, without melt | dissolving in a fluorine-type solvent.

(3) 실리콘 고무 조성물을 톨루엔 등의 용제에 용해시켜 액상화하여 엠보싱 가공된 캐리어 필름 상에 코팅 성형하고, 용제분을 제거하여 미경화인 상태로 두며, 그 위에 불소계 고무 조성물을 불소계 용제에 용해시켜 액상화한 재료를, 나이프 코팅, 코마 코팅, 바 코팅, 딥 코팅 등의 방법으로 더 코팅 성형하고, 그대로 대기 중에서 용제 제거한 후, 상기 두 층을 가열 경화하는 방법. 이 경우, 불소계 고무 조성물의 점도가 낮은 경우에는, 불소계 용제에 용해시키지 않고서 그대로 코팅 성형할 수도 있다. (3) The silicone rubber composition is dissolved in a solvent such as toluene and liquefied to form a coating on an embossed carrier film. The solvent powder is removed and left uncured, and the fluorine-based rubber composition is dissolved in a fluorine-based solvent to liquefy. A method of further coating molding one material by a method such as knife coating, coma coating, bar coating, dip coating, and the like and removing the solvent in the air as it is, followed by heat curing of the two layers. In this case, when the viscosity of a fluorine-type rubber composition is low, it can also coat shape as it is, without melt | dissolving in a fluorine-type solvent.

본 발명에 있어서는, 실리콘 고무층과 불소계 고무층 사이의 접착을 견고하게 하기 위해서, 적절하게 프라이머 처리 등의 방법을 사용할 수도 있다. 또한, 실리콘 고무층의 양면에 불소계 고무층을 설치하여 3층 구조로 할 수도 있지만, 이 경우, 2층인 불소계 고무층의 재질은 다른 것일 수도, 동일한 것일 수도 있다. In the present invention, a method such as primer treatment may be appropriately used in order to secure the adhesion between the silicone rubber layer and the fluorine rubber layer. In addition, although the fluorine-type rubber layer may be provided in both surfaces of a silicone rubber layer, and it can be set as a three-layer structure, in this case, the material of two layers of the fluorine-type rubber layer may be different, or may be the same.

본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트는, 유리 전이 온도가 200 ℃ 이상인 수지를 포함하는 크로스 또는 유리 크로스를 포함하는 보강재에 의해 보강할 수도 있다. The multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention can also be reinforced by the reinforcement containing the cross or glass cross containing resin with glass transition temperature of 200 degreeC or more.

본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트는, 상기 불소계 고무층의 두께가 1 내 지 50 ㎛이고, 실리콘 고무층과 불소계 고무층을 합한 복층 고무 시트 전체의 두께가 0.1 내지 10 mm인 것이 바람직하며, 특히 불소계 고무층의 두께가 2 내지 30 ㎛이고, 상기 실리콘 고무층과 불소계 고무층을 합한 복층 고무 시트 전체의 두께가 0.2 내지 10 mm인 것이 바람직하다. 불소계 고무층의 두께가 1 ㎛ 미만이면 충분한 이형성이 발현되지 않는 경우가 있고, 50 ㎛를 초과하면 열전도성이 나빠지는 경우가 있다. 또한, 실리콘 고무층과 불소계 고무층을 합한 복층 고무 시트 전체의 두께가 0.1 mm 미만이면, 피압착체에 충분히 추종할 수 없기 때문에 압력이 가해지는 방향이 불균일해지는 경우가 있고, 10 mm를 초과하면 열전도성이 나빠지는 경우가 있다. In the multilayer rubber sheet for thermal compression of the present invention, the thickness of the fluorine-based rubber layer is 1 to 50 µm, and the thickness of the entire multilayer rubber sheet in which the silicon rubber layer and the fluorine-based rubber layer are combined is preferably 0.1 to 10 mm, particularly the fluorine-based rubber layer. It is preferable that the thickness of is 2-30 micrometers, and the thickness of the whole multilayer rubber sheet which combined the said silicone rubber layer and the fluorine-type rubber layer is 0.2-10 mm. If the thickness of the fluorine-based rubber layer is less than 1 µm, sufficient releasability may not be expressed. If it exceeds 50 µm, the thermal conductivity may deteriorate. In addition, when the thickness of the whole multilayer rubber sheet which combined the silicone rubber layer and the fluorine-based rubber layer is less than 0.1 mm, since it cannot fully follow a to-be-adhered body, the direction in which pressure is applied may become nonuniform, and when it exceeds 10 mm, thermal conductivity This may deteriorate.

본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트는, 150 ℃에서 3 시간 가열하였을 때의 휘발분이 0.2 질량% 이하, 또한 0.1 질량% 이하인 것이 바람직하다. 휘발분이 0.2 질량%를 초과하면 휘발분의 주성분인 환상 폴리실록산이 주위의 전자 기기를 오염시키는 경우가 있다. 이를 위해서는, 고온에서 복층 고무 시트를 열 처리하는 것이 바람직하고, 건조기나 연속 가열로 중에서 150 ℃ 이상의 온도로 열 처리하는 것이 바람직하다. It is preferable that the volatile matter at the time of heating at 150 degreeC for the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention is 0.2 mass% or less, and also 0.1 mass% or less. When volatile matter exceeds 0.2 mass%, the cyclic polysiloxane which is a main component of volatile matter may contaminate surrounding electronic equipment. For this purpose, it is preferable to heat-process a multilayer rubber sheet at high temperature, and to heat-process at temperature 150 degreeC or more in a dryer or a continuous heating furnace.

<실시예><Example>

이하, 실시예 및 비교예를 나타내어 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 하기 실시예로 제한되지 않는다. 또한, 하기 예에 있어서, 점도는 JIS K 7117에 의해 측정한 25 ℃에 있어서의 값을 나타내고, 평균 입경은 파티클 분석기에 의해 측정한 값을 나타내며, 휘발분은 JIS K 6221의 "고무용 카본 블랙 시험 방 법"에 준하여 측정한 값을 나타낸다. Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this invention is demonstrated concretely, this invention is not limited to a following example. In addition, in the following example, a viscosity shows the value in 25 degreeC measured by JIS K 7117, an average particle diameter shows the value measured by the particle analyzer, and a volatile matter shows the "rubber carbon black test of JIS K 6221. Method according to the method ".

[실시예 1]Example 1

디메틸실록산 단위 99.85 몰% 및 메틸비닐실록산 단위 0.15 몰%를 포함하는 , 평균 중합도가 8,000인 메틸비닐폴리실록산 100 질량부, 양호한 열전도성 충전제로서 산화알루미늄 분말 알루미나 AL-45(쇼와 덴꼬(주) 제조) 400 질량부, BET 비표면적이 200 m2/g인 실리카 미분말 아에로질 200(닛본 아에로질(주) 제조) 30 질량부, 및 하기 화학식 (4)로 표시되는 α,ω-디히드록시메틸폴리실록산 5 질량부를 혼련기를 사용하여 균일하게 혼련하고, 150 ℃에서 2 시간 열 처리하였다. Aluminum oxide powder Alumina AL-45 (manufactured by Showa Denko Co., Ltd.) as a good thermally conductive filler, 100 parts by mass of methylvinylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 8,000, containing 99.85 mol% of dimethylsiloxane units and 0.15 mol% of methylvinylsiloxane units. ) 400 parts by mass, 30 parts by mass of fine silica aerosil 200 (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.) having a BET specific surface area of 200 m 2 / g, and α, ω- represented by the following general formula (4): 5 mass parts of dihydroxymethyl polysiloxane was knead | mixed uniformly using the kneading machine, and it heat-processed at 150 degreeC for 2 hours.

Figure 112006028034490-PAT00023
Figure 112006028034490-PAT00023

냉각 후, 이 실리콘 고무 컴파운드 100 질량부에, BET 비표면적이 140 m2/g인 산화세륨 분말 0.5 질량부와 경화제로서 유기 과산화물 C-23(신에츠 가가꾸 고교(주) 제조) 1.5 질량부를, 2축 롤을 사용하여 첨가 혼합하고, 캘린더 성형기를 사용하여 두께가 0.30 mm이 되도록 분출(分出)하고 나서, 중심선 표면 조도 Ra가 0.7 ㎛인 한쪽 면 엠보싱 가공된 두께 125 ㎛의 PET 필름 상에 전사하고, 160 ℃의 가열로 내를 5 분간 통과시켜 경화시키며, 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트의 실리콘 고무층을 제조하였다. After cooling, 0.5 parts by mass of cerium oxide powder having a BET specific surface area of 140 m 2 / g and 1.5 parts by mass of organic peroxide C-23 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as 100 parts by mass of this silicone rubber compound, The mixture was added and mixed using a biaxial roll, spouted to a thickness of 0.30 mm using a calender molding machine, and then placed on a 125 µm thick PET film embossed on one side with a centerline surface roughness Ra of 0.7 µm. The silicone rubber layer of the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention was manufactured by hardening | curing by passing through the inside of a 160 degreeC heating furnace for 5 minutes.

이어서, 하기 화학식 (5)로 표시되는 중합체(점도 8,500 cs, 평균 분자량 22,000, 비닐기량 0.009 몰/100 g) 100 질량부에, 디메틸실록시기로 처리된 BET 비 표면적 200 m2/g의 연무질 실리카 15 질량부를 첨가하여 혼합하고, 열 처리하여 3축 롤 밀 상에서 혼합한 후, 직쇄상의 디메틸폴리오르가노실록산을 가교시킨 구조인 평균 입경 5 ㎛의 실리콘 고무 파우더를 20 질량부와 BET 비표면적이 140 m2/g인 산화세륨 분말 0.5 질량부를 첨가하여 실온에서 1 시간 혼합하고, 3축 롤로 더욱 혼합하였다. 또한, 하기 화학식 (6)으로 표시되는 불소 함유 유기 규소 화합물 2.74 질량부, 염화백금산을 하기 화학식 (7)로 표시되는 화합물로 변성시킨 촉매의 톨루엔 용액(백금 농도 1.0 질량%) 0.2 질량부 및 불소 변성시킨 아세틸렌알코올 0.4 질량부를 첨가하고, 혼합하여 불소계 고무 조성물을 제조하였다. Subsequently, fumed silica having a BET specific surface area of 200 m 2 / g treated with a dimethylsiloxy group in 100 parts by mass of a polymer represented by the following general formula (5) (viscosity 8,500 cs, average molecular weight 22,000, vinyl group amount 0.009 mol / 100 g) After adding 15 parts by mass, mixing, heat treatment and mixing on a triaxial roll mill, 20 parts by mass of a silicone rubber powder having an average particle diameter of 5 μm having a structure of crosslinking linear dimethylpolyorganosiloxane and 20 parts by mass of a BET specific surface area 0.5 mass part of cerium oxide powders which are 140 m <2> / g were added, it mixed at room temperature for 1 hour, and further mixed with the triaxial roll. Also, 2.74 parts by mass of a fluorine-containing organosilicon compound represented by the following formula (6), 0.2 parts by mass of a toluene solution (platinum concentration 1.0 mass%) and fluorine of a catalyst obtained by modifying chloroplatinic acid with a compound represented by the following formula (7) 0.4 mass part of modified acetylene alcohol was added, and it mixed and manufactured the fluorine-type rubber composition.

Figure 112006028034490-PAT00024
Figure 112006028034490-PAT00024

이 조성물을 감압하에서 탈포하고, 2 mm 두께의 장방형 프레임에 넣어 다시 탈기하며, 100 kgf/cm2, 150 ℃에서 5 분간 압착 경화하였다. 시험편을 경화된 시료로부터 잘라내고, JIS K 6253에 준하여 측정한 듀로미터 경도 시험에 의한 유형 A 경도는 38이었다. The composition was defoamed under reduced pressure, placed in a rectangular frame having a thickness of 2 mm, degassed again, and press cured for 5 minutes at 100 kgf / cm 2 and 150 ° C. The test piece was cut out from the hardened sample, and the type A hardness by the durometer hardness test measured in accordance with JIS K 6253 was 38.

상기 불소계 고무 조성물의 미경화 조성물을 FR 신나(신에츠 가가꾸 고교(주) 제조 불소계 용제)에 용해시켜, 40 질량%가 되도록 조정하고, 실리콘 고무층 상에 나이프 코터에 의해 두께 15 ㎛가 되도록 코팅 성형한 후, 그대로 50 ℃의 가열로 내를 5 분간 통과시켜 FR 신나를 제거하며, 이어서 150 ℃의 가열로 내를 5 분간 통과시켜 가교ㆍ경화시켰다. 이어서, 2층 구조의 복층 고무 시트를 PET 필름으로부터 박리하고, 200 ℃에서 4 시간 포스트 경화하여, 불소계 고무층의 두께가 15 ㎛이며 실리콘 고무층과 불소계 고무층을 합하여 복층 고무 시트 전체의 두께가 0.315 mm인 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트를 제조하였다. The uncured composition of the fluorine-based rubber composition was dissolved in FR thinner (a fluorine-based solvent manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), adjusted to 40 mass%, and coated and molded to a thickness of 15 μm by a knife coater on the silicone rubber layer. Thereafter, the inside of the furnace at 50 ° C. was passed through for 5 minutes to remove the FR thinner, and then the inside of the furnace at 150 ° C. was passed through for 5 minutes for crosslinking and curing. Subsequently, the multilayer rubber sheet having a two-layer structure was peeled from the PET film and post-cured at 200 ° C. for 4 hours. The fluorine-based rubber layer had a thickness of 15 μm, and the silicon rubber layer and the fluorine-based rubber layer were combined to have a thickness of 0.315 mm. The multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention was manufactured.

[실시예 2]Example 2

디메틸실록산 단위 99.85 몰% 및 메틸비닐실록산 단위 0.15 몰%를 포함하는, 평균 중합도가 8,000인 메틸비닐폴리실록산 100 질량부, 양호한 열전도성 충전제로서 산화알루미늄 분말 알루미나 AL-45(쇼와 덴꼬(주) 제조) 400 질량부, BET 비표면적이 200 m2/g인 실리카 미분말 아에로질 200(닛본 아에로질(주) 제조) 30 질량부, 및 하기 화학식 (4)로 표시되는 α,ω-디히드록시메틸폴리실록산 5 질량부를 혼련기를 사용하여 균일하게 혼련하고, 150 ℃에서 2 시간 열처리하였다. Aluminum oxide powder Alumina AL-45 (manufactured by Showa Denko Co., Ltd.) as a good thermally conductive filler, 100 parts by mass of methylvinylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 8,000, containing 99.85 mol% of dimethylsiloxane units and 0.15 mol% of methylvinylsiloxane units. ) 400 parts by mass, 30 parts by mass of fine silica aerosil 200 (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.) having a BET specific surface area of 200 m 2 / g, and α, ω- represented by the following general formula (4): 5 mass parts of dihydroxymethyl polysiloxane was knead | mixed uniformly using the kneading machine, and it heat-processed at 150 degreeC for 2 hours.

냉각 후, 이 실리콘 고무 컴파운드 100 질량부에, BET 비표면적이 140 m2/g인 산화세륨 분말 0.5 질량부와 경화제로서 유기 과산화물 C-23(신에츠 가가꾸 고교(주) 제조) 1.5 질량부를, 2축 롤을 사용하여 첨가 혼합하고, 캘린더 성형기를 사용하여 두께가 0.30 mm가 되도록 분출하고 나서, 중심선 표면 조도 Ra가 0.7 ㎛ 인 한쪽 면 엠보싱 가공된 두께 125 ㎛의 PET 필름 상에 전사하고, 160 ℃의 가열로 내를 5 분간 통과시켜 경화시키며, 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트의 실리콘 고무층을 제조하였다. After cooling, 0.5 parts by mass of cerium oxide powder having a BET specific surface area of 140 m 2 / g and 1.5 parts by mass of organic peroxide C-23 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as 100 parts by mass of this silicone rubber compound, Add and mix using a biaxial roll, blow off using a calender molding machine to a thickness of 0.30 mm, transfer to a PET film having a thickness of 125 μm on one side embossed with a centerline surface roughness Ra of 0.7 μm, 160 The inside of the furnace at 5 ° C. was allowed to pass through for 5 minutes to cure, thereby producing a silicone rubber layer of the multilayer rubber sheet for thermal compression of the present invention.

이어서, 실시예 1의 화학식 (6) 대신에 하기 화학식 (8)로 표시되는 불소 함유 유기 규소 화합물 4.39 질량부를 사용하는 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 불소 고무 조성물을 제조하였다. Subsequently, the fluorine rubber composition was manufactured like Example 1 except having used 4.39 mass parts of fluorine-containing organosilicon compounds represented by following General formula (8) instead of General formula (6) of Example 1.

Figure 112006028034490-PAT00025
Figure 112006028034490-PAT00025

이 조성물을 감압하에서 탈포하고, 2 mm 두께의 장방형 프레임에 넣어 다시 탈기하며, 100 kgf/cm2, 150 ℃에서 5 분간 압착 경화하였다. 시험편을 경화된 시료로부터 잘라내고, JIS K 6253에 준하여 측정한 듀로미터 경도 시험에 의한 유형 A 경도는 33이었다. The composition was defoamed under reduced pressure, placed in a rectangular frame having a thickness of 2 mm, degassed again, and press cured for 5 minutes at 100 kgf / cm 2 and 150 ° C. The test piece was cut out from the hardened sample, and the type A hardness by the durometer hardness test measured in accordance with JIS K 6253 was 33.

상기 불소계 고무 조성물의 미경화 조성물을 FR 신나(신에츠 가가꾸 고교(주) 제조 불소계 용제)에 용해시켜 40 질량%가 되도록 조정하고, 실리콘 고무층 상에 나이프 코터에 의해 두께 15 ㎛가 되도록 코팅 성형한 후, 그대로 50 ℃의 가열로 내를 5 분간 통과시켜 FR 신나를 제거하며, 이어서 150 ℃의 가열로 내를 5 분간 통과시켜 가교ㆍ경화시켰다. 이어서, 2층 구조의 복층 고무 시트를 PET 필름 으로부터 박리하고, 200 ℃에서 4 시간 포스트 경화하여, 불소계 고무층의 두께가 15 ㎛이며 실리콘 고무층과 불소계 고무층을 합하여 복층 고무 시트 전체의 두께가 0.315 mm인 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트를 제조하였다. The uncured composition of the fluorine-based rubber composition was dissolved in FR thinner (a fluorine-based solvent manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), adjusted to 40 mass%, and coated and molded to a thickness of 15 μm by a knife coater on the silicone rubber layer. Thereafter, the inside of the furnace at 50 ° C. was passed through for 5 minutes to remove the FR thinner. Then, the inside of the furnace at 150 ° C. was passed through for 5 minutes for crosslinking and curing. Subsequently, the multilayer rubber sheet having a two-layer structure was peeled from the PET film and post-cured at 200 ° C. for 4 hours. The thickness of the fluorine-based rubber layer was 15 μm, and the total thickness of the multilayer rubber sheet was 0.315 mm by combining the silicone rubber layer and the fluorine-based rubber layer. The multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention was manufactured.

[실시예 3]Example 3

디메틸실록산 단위 99.85 몰% 및 메틸비닐실록산 단위 0.15 몰%를 포함하는, 평균 중합도가 8,000인 메틸비닐폴리실록산 100 질량부에, 평균 입경 23 nm, 휘발분 0.10 질량%이며 BET 비표면적이 130 m2/g인 아세틸렌 블랙 50 질량부 및 BET 비표면적이 120 m2/g인 소수성 실리카(아에로질 R-972: 상품명, 데구사사 제조) 5 질량부 및 BET 비표면적이 140 m2/g인 산화세륨 분말 0.5 질량부를 2축 롤로 배합하고, 혼련하여 균일화하였다. To 100 parts by mass of methylvinylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 8,000 containing 99.85 mol% of dimethylsiloxane units and 0.15 mol% of methylvinylsiloxane units, the average particle diameter is 23 nm, the volatile content is 0.10 mass%, and the BET specific surface area is 130 m 2 / g. the acetylene black of 50 parts by weight and a BET specific surface area of 120 m 2 / g of hydrophobic silica (H be in the R-972: trade name, manufactured by Degussa Co., Ltd.) 5 parts by weight, and a BET specific oxidizing a surface area of 140 m 2 / g 0.5 mass part of cerium powder was mix | blended with the biaxial roll, it knead | mixed, and it was uniformized.

이 실리콘 고무 컴파운드 100 질량부에, 염화백금산의 이소프로필알코올 용액(백금량 2 질량%) 0.1 질량부, 반응 억제제인 에티닐시클로헥산올 0.1 질량부, 및 하기 화학식 (9)0.1 mass part of isopropyl alcohol solution (platinum 2 mass%) of a chloroplatinic acid, 0.1 mass part of ethynylcyclohexanol which are reaction inhibitors, and 100 mass parts of this silicone rubber compound, and following General formula (9)

Figure 112006028034490-PAT00026
Figure 112006028034490-PAT00026

로 표시되는 메틸하이드로젠폴리실록산 1.2 질량부를 첨가하고, 2축 롤로 잘 혼련하여 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트의 실리콘 고무층이 되는 경화성 실리콘 고무 컴파운드를 제조하였다. 1.2 mass parts of methylhydrogen polysiloxanes represented by were added, and it knead | mixed well by the biaxial roll, and the curable silicone rubber compound which turns into the silicone rubber layer of the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention was manufactured.

이 실리콘 고무 컴파운드를 캘린더 성형기를 사용하여 두께 0.25 mm로 분출하고 나서, 중심선 표면 조도 Ra가 0.7 ㎛인 한쪽 면 엠보싱 가공된 두께 125 ㎛의 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름 상에 전사한 후, 160 ℃의 가열로 내를 5 분간 통과시켜 경화시키며, 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트의 실리콘 고무층을 제조하였다. The silicone rubber compound was ejected to a thickness of 0.25 mm using a calender molding machine, and then transferred onto a 125 μm-thick polyethylene terephthalate (PET) film having a single-side embossed surface having a centerline surface roughness Ra of 0.7 μm, followed by 160 ° C. The inside of the furnace was cured by passing through the inside for 5 minutes to prepare a silicone rubber layer of the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention.

불소계 고무 조성물의 조성 및 성형 방법은 실시예 1과 동일하게 행하여, 불소계 고무층의 두께를 15 ㎛, 실리콘 고무층과 불소계 고무층을 합하여 복층 고무 시트 전체의 두께를 0.265 mm로 하고, 실시예 1과 동일하게 포스트 경화하여 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트를 제조하였다. The composition and molding method of the fluorine-based rubber composition were carried out in the same manner as in Example 1, and the thickness of the entire multilayer rubber sheet was 0.265 mm, with the thickness of the fluorine-based rubber layer being 15 µm, the silicon rubber layer, and the fluorine-based rubber layer being the same, as in Example 1. It post-cured and manufactured the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention.

[실시예 4] Example 4

실시예 3과 동일하게 하여 실리콘 고무층을 제조하고, 실시예 2와 동일하게 하여 불소계 고무층을 제조하여 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트를 제조하였다. A silicone rubber layer was prepared in the same manner as in Example 3, a fluorine-based rubber layer was prepared in the same manner as in Example 2, and the multilayer rubber sheet for thermal compression of the present invention was manufactured.

[비교예 1]Comparative Example 1

실시예 1과 동일하게 하여 두께 0.2 mm의 제1 실리콘 고무층을 제조하였다. In the same manner as in Example 1, a first silicone rubber layer having a thickness of 0.2 mm was prepared.

또한, 분자쇄 양쪽 말단이 비닐디메틸실릴기로 봉쇄된, 평균 중합도가 180인 디메틸폴리실록산 85 질량부, 분자쇄 양쪽 말단이 비닐디메틸실릴기로 봉쇄된, 평균 중합도가 510인 디메틸폴리실록산 10 질량부 및 디메틸실록산 단위 90.25 몰% 및 메틸비닐실록산 단위 9.75 몰%를 포함하는, 평균 중합도가 8,000인 메틸비닐폴 리실록산 5 질량부에, BET 비표면적이 약 300 m2/g인 친수성 실리카(아에로질 300: 닛본 아에로질(주) 제조 상품명) 5 질량부를 첨가하고, 헥사메틸디실라잔 1 질량부와 물 0.5 질량부를 더 첨가한 것을 플라네터리 믹서 내에서 1 시간, 실온에서 혼합한 후, 160 ℃, 4 시간 가열 처리하여 상온까지 온도를 내렸다. Further, 85 parts by mass of dimethylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 180 parts by which both ends of the molecular chain are blocked with vinyldimethylsilyl group, 10 parts by mass of dimethylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 510, which is enclosed by vinyldimethylsilyl groups by both ends of the molecular chain, and dimethylsiloxane Hydrophilic silica (Aerosil 300) having a BET specific surface area of about 300 m 2 / g in 5 parts by mass of methylvinylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 8,000 comprising 90.25 mole percent units and 9.75 mole percent methylvinylsiloxane units. : After adding 5 mass parts of Nippon Aerosil Co., Ltd. brand names, and adding 1 mass part of hexamethyldisilazane and 0.5 mass part of water in a planetary mixer for 1 hour, after mixing at room temperature, It heat-processed 160 degreeC for 4 hours, and lowered temperature to normal temperature.

이어서, 직쇄상의 디메틸폴리오르가노실록산을 가교시킨 구조인 평균 입경 5 ㎛의 실리콘 고무 파우더를 30 질량부와 BET 비표면적이 140 m2/g인 산화세륨 분말 0.5 질량부를 첨가하고, 실온에서 1 시간 혼합한 후, 3축 롤로 더욱 혼합하였다. Then, dimethyl polyorganosiloxane having structure having an average particle size of the silicone rubber powder to 30 parts by weight and the BET specific surface area of 5 ㎛ crosslinking of straight chain is 140 m 2 / g is added cerium powder, 0.5 parts by weight of oxide, and 1 at room temperature After time mixing, the mixture was further mixed with a triaxial roll.

또한, 실리콘 파우더 이외의 디메틸폴리실록산에 대하여 염화백금산을 백금 질량으로 50 ppm, 반응 억제제인 에티닐시클로헥산올을 실리콘 파우더 이외의 디메틸폴리실록산 100 질량부에 대하여 0.2 질량부, 마지막으로 하기 화학식 (10)In addition, 50 parts by mass of chloroplatinic acid as platinum mass and ethanol cyclohexanol as a reaction inhibitor with respect to dimethylpolysiloxanes other than silicone powder were 0.2 parts by mass based on 100 parts by mass of dimethylpolysiloxane other than silicon powder.

Figure 112006028034490-PAT00027
Figure 112006028034490-PAT00027

으로 표시되는 메틸하이드로젠폴리실록산 8 질량부를 차례로 혼합하면서 첨가하고, 균일 조성의 제2 실리콘 고무층이 되는 조성물을 제조하였다. 이 조성물을 150 ℃에서 5 분간 가열ㆍ경화하고, 또한 200 ℃에서 4 시간 포스트 경화한 후의 JIS K 6253 듀로미터 경도 시험에 의한 유형 A 경도는 40이었다. 8 mass parts of methylhydrogenpolysiloxanes represented by are added while mixing, and the composition used as the 2nd silicone rubber layer of a uniform composition was manufactured. The type A hardness by JISK6225 durometer hardness test after heating and hardening this composition at 150 degreeC for 5 minutes, and post-curing at 200 degreeC for 4 hours was 40.

상기 제2 실리콘 고무층의 미경화 조성물을 톨루엔 중에 용해시켜 40 질량%가 되도록 조정하고, 제1 실리콘 고무층 상에, 나이프 코터에 의해 두께 15 ㎛가 되도록 코팅 성형한 후, 그대로 50 ℃의 가열로 내를 5 분간 통과시켜 톨루엔을 제 거하며, 이어서 150 ℃의 가열로 내를 5 분간 통과시켜 가교ㆍ경화시켰다. 이어서 2층 구조의 실리콘 고무 시트를 PET 필름으로부터 박리하고, 200 ℃에서 4 시간 포스트 경화하여, 제2 실리콘 고무층의 두께가 15 ㎛이며 제1 실리콘 고무층과 제2 실리콘 고무층을 합하여 실리콘 고무 시트 전체의 두께가 0.315 mm인 열 압착용 실리콘 고무 시트를 제조하였다. The uncured composition of the second silicone rubber layer was dissolved in toluene, adjusted to 40 mass%, coated on a first silicone rubber layer by a knife coater to a thickness of 15 μm, and then in a 50 ° C. heating furnace as it was. Was passed through for 5 minutes to remove toluene, and then passed through a 150 ° C heating furnace for 5 minutes to crosslink and harden. Subsequently, the silicone rubber sheet having a two-layer structure was peeled from the PET film and post-cured at 200 ° C. for 4 hours. The thickness of the second silicone rubber layer was 15 μm, and the first silicone rubber layer and the second silicone rubber layer were combined to form the entire silicone rubber sheet. A thermocompression silicone rubber sheet having a thickness of 0.315 mm was prepared.

(압착 시험 평가)(Compression test evaluation)

열 압착용 시트는 열 압착시에 이방 도전성 접착제에 직접 접촉되는 부분이 있다. 따라서, 이 이방 도전성 접착제에 대한 접착성을 보기 위해서, 실시예 1 내지 4 및 비교예 1에서 제조한 본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트 및 열 압착용 실리콘 고무 시트의 아래에, 이방 도전성 접착제를 포함하는 이방성 도전막을 직접 배치하고, 그 아래에 100 ㎛ 두께의 폴리이미드 필름을 사이에 끼우도록 압착기에 설치하며, 320 ℃로 가열한 가압 툴을 사용하여 4 MPa의 가압력으로 20 초간 압착하였다. 피평가물인 열 압착용 고무 시트는, 가압 툴측에는, 실시예 1 내지 4의 경우 실리콘 고무층이, 비교예 1의 경우 제1 실리콘 고무층이, 이방성 도전막측에는 실시예 1 내지 4의 경우 불소계 고무층이, 비교예 1의 경우 제2 실리콘 고무층이 배치되도록 셋팅하였다. 1회의 압착 종료 후, 이방성 도전막을 새로운 물질로 대체하고, 열 압착용 고무 시트는 그대로 동일한 물건을 사용하여 이 압착을 반복하고, 이방 도전성 접착제가 열 압착용 고무 시트에 접착하기까지의 횟수를 측정하였다. The sheet for thermocompression bonding has a part directly contacting the anisotropic conductive adhesive at the time of thermocompression bonding. Therefore, in order to show the adhesiveness to this anisotropically conductive adhesive agent, the anisotropically conductive adhesive agent is used under the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of this invention manufactured by Examples 1-4 and Comparative Example 1, and the silicone rubber sheet for thermocompression bonding. The anisotropic conductive film to be included was placed directly, and a pressurizer was placed therebetween so as to sandwich a 100 μm-thick polyimide film therebetween, and the film was pressed for 20 seconds using a pressing tool heated to 320 ° C. The rubber sheet for thermocompression being an object to be evaluated has a silicone rubber layer in the case of Examples 1 to 4 on the pressing tool side, a first silicone rubber layer in the case of Comparative Example 1, and a fluorine-based rubber layer in the case of Examples 1 to 4 on the anisotropic conductive film side. In the case of Comparative Example 1, the second silicon rubber layer was set to be disposed. After the completion of one crimping, the anisotropic conductive film is replaced with a new material, and the rubber sheet for thermocompression bonding is repeated using the same object as it is, and the number of times until the anisotropic conductive adhesive adheres to the rubber sheet for thermocompression bonding is measured. It was.

본 평가에서는, 종래부터 널리 사용되어 온 에폭시계 이방성 도전막 아니소 름 AC-2052(히타치 가세이 제조 상품명)과, 최근 사용되어 온 라디칼 중합형 이방성 도전막인 아니소름 AC-9051(히타치 가세이 제조 상품명)을 사용하였다. In this evaluation, the epoxy-based anisotropic conductive film Ani-Sorme AC-2052 (trade name manufactured by Hitachi Kasei), which has been widely used in the past, and Aniso AC-9051 (Hitachi Kasei manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) ) Was used.

표 1에 결과를 통합하였다. 본 발명에 따른 실시예 1 내지 4의 열 압착용 복층 고무 시트는, 라디칼 경화형 이방 도전성 접착제에 의한 열화가 매우 적고, 반복 사용에 의한 내구성이 양호한 것을 알았다. The results are summarized in Table 1. The multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of Examples 1 to 4 according to the present invention was found to have very little deterioration due to a radically curable anisotropic conductive adhesive, and to have good durability due to repeated use.

Figure 112006028034490-PAT00028
Figure 112006028034490-PAT00028

본 발명의 열 압착용 복층 고무 시트는, 열전도성이 우수한 실리콘 고무 상에 불소계 고무층이 적층되어 있기 때문에, 실리콘 고무 단독으로는 이방 도전성 접착제에 포함되는 성분이 시트 내로 이행하여 급속히 열화되는 것에 대하여, 반복 사용하더라도 매우 열화가 적고, 열 압착용 시트로서 우수한 내구성을 나타낸다. In the multilayer rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention, since the fluorine-based rubber layer is laminated on the silicone rubber excellent in thermal conductivity, the silicone rubber alone causes components contained in the anisotropic conductive adhesive to move into the sheet and rapidly deteriorate. Even if it is used repeatedly, the deterioration is very low and shows excellent durability as a sheet for thermocompression bonding.

Claims (4)

실리콘 고무층의 적어도 한쪽 면에, 불소계 고무층이 설치된 복층의 고무층을 포함하는 열 압착용 복층 고무 시트. The multilayer rubber sheet for thermocompression bonding containing the multilayer rubber layer in which the fluorine-type rubber layer was provided in at least one surface of a silicone rubber layer. 제1항에 있어서, 실리콘 고무층이, (A) 평균 중합도가 200 이상인 오르가노폴리실록산: 100 질량부, (B) 카본 블랙 및(또는) 미분말 실리카계 충전재: 0 내지 150 질량부, (C) 금속, 상기 (B) 성분 중의 미분말 실리카 이외의 금속 산화물, 금속 질화물 및 금속 탄화물로부터 선택되는 1종 이상: 0 내지 1,600 질량부(단, (B) 성분과 (C) 성분의 합계는 10 내지 1,600 질량부임), 및 (D) 경화제를 함유하여 이루어지는 실리콘 고무 조성물을 성형ㆍ경화한 층인 열 압착용 복층 고무 시트. The organopolysiloxane according to claim 1, wherein the silicone rubber layer (A) has an average degree of polymerization of 200 or more: 100 parts by mass, (B) carbon black and / or fine powder silica filler: 0 to 150 parts by mass, (C) metal 1 or more types chosen from metal oxides, metal nitrides, and metal carbides other than fine powder silica in the said (B) component: (The sum total of (B) component and (C) component is 10-1,600 mass) And (D) a multilayer rubber sheet for thermocompression bonding, which is a layer formed by molding and curing a silicone rubber composition containing a curing agent. 제1항 또는 제2항에 있어서, 불소계 고무층이, 퍼플루오로폴리에테르를 주성분으로 하는 퍼플루오로폴리에테르계 고무 조성물을 성형ㆍ경화한 층인 열 압착용 복층 고무 시트. The multilayer rubber sheet for thermocompression bonding according to claim 1 or 2, wherein the fluorine-based rubber layer is a layer formed by molding and curing a perfluoropolyether-based rubber composition containing perfluoropolyether as a main component. 제3항에 있어서, 퍼플루오로폴리에테르계 고무 조성물이, (E) 1 분자 중에 2개 이상의 알케닐기를 가지며 주쇄 중에 퍼플루오로폴리에테르 구조를 갖는 직쇄상 플루오로폴리에테르 화합물, (F) 1 분자 중에 규소 원자에 결합한 수소 원자를 2개 이상 갖는 유기 규소 화합물, 및 (G) 히드로실릴화 반응 촉매를 함유하여 이루어지 는 것인 열 압착용 복층 고무 시트.The linear fluoropolyether compound according to claim 3, wherein the perfluoropolyether rubber composition has (E) at least two alkenyl groups in one molecule and a perfluoropolyether structure in the main chain, (F) The multilayer rubber sheet for thermocompression bonding comprising an organosilicon compound having two or more hydrogen atoms bonded to silicon atoms in one molecule, and (G) a hydrosilylation reaction catalyst.
KR1020060036268A 2005-04-22 2006-04-21 Multi-layered Rubber Sheet for Thermocompression Bonding KR101190940B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2005-00125011 2005-04-22
JP2005125011A JP4561989B2 (en) 2005-04-22 2005-04-22 Multi-layer rubber sheet for thermocompression bonding

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060111409A true KR20060111409A (en) 2006-10-27
KR101190940B1 KR101190940B1 (en) 2012-10-12

Family

ID=37132010

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060036268A KR101190940B1 (en) 2005-04-22 2006-04-21 Multi-layered Rubber Sheet for Thermocompression Bonding

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4561989B2 (en)
KR (1) KR101190940B1 (en)
CN (1) CN1850503B (en)
TW (1) TW200640666A (en)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4803350B2 (en) * 2005-06-03 2011-10-26 信越化学工業株式会社 Crimpable anisotropic conductive resin composition and method for connecting fine electrodes
JP5449700B2 (en) * 2008-05-13 2014-03-19 本多産業株式会社 Silicone rubber sheet, silicone rubber multilayer sheet and methods for producing them
JP5471868B2 (en) * 2009-06-29 2014-04-16 信越化学工業株式会社 Thermally conductive silicone rubber composite sheet
JP5168510B2 (en) * 2009-08-20 2013-03-21 信越化学工業株式会社 Nanoimprint material, curved surface printing pad material or offset printing blanket material
WO2011048895A1 (en) * 2009-10-21 2011-04-28 信越化学工業株式会社 Transparent multilayer film for protecting surface of solar cell module, and solar cell module
JP5549554B2 (en) * 2010-11-15 2014-07-16 信越化学工業株式会社 Thermosetting fluoropolyether adhesive composition and bonding method thereof
CN103237863B (en) * 2010-12-20 2015-07-08 施敏打硬株式会社 Electroconductive adhesive
JP6136952B2 (en) * 2013-02-28 2017-05-31 信越化学工業株式会社 Thermally conductive composite silicone rubber sheet
JP5684360B2 (en) * 2013-11-01 2015-03-11 本多産業株式会社 Silicone rubber multilayer sheet
CN104527171B (en) * 2015-01-16 2016-08-17 南京禄浦材料科技有限公司 A kind of fluosilicic rubber slab and preparation method thereof
JP6815132B2 (en) * 2016-08-31 2021-01-20 日東電工株式会社 Sheet for heat bonding and sheet for heat bonding with dicing tape
US11072706B2 (en) * 2018-02-15 2021-07-27 Honeywell International Inc. Gel-type thermal interface material
JP7215349B2 (en) * 2019-06-18 2023-01-31 信越化学工業株式会社 Method for manufacturing rubber articles and rubber products

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3068005B2 (en) * 1996-06-03 2000-07-24 キヤノン株式会社 Interlayer bonding method and method of manufacturing elastic roller using the bonding method
US6114041A (en) * 1997-10-31 2000-09-05 Eastman Kodak Company Fuser member with surface treated Al2 O3 and functionalized release fluids
JP3662815B2 (en) * 1999-05-28 2005-06-22 信越化学工業株式会社 Silicone rubber roll for heat fixing
JP4301468B2 (en) * 1999-07-07 2009-07-22 信越化学工業株式会社 Heat-resistant and heat-conductive silicone rubber composite sheet and method for producing the same
JP3666575B2 (en) * 2000-06-29 2005-06-29 信越化学工業株式会社 Curable fluoropolyether rubber composition
JP3807355B2 (en) * 2001-12-11 2006-08-09 東海ゴム工業株式会社 Thermally conductive rubber member for crimp bonding of electronic and electrical equipment parts
JP3902558B2 (en) * 2003-03-07 2007-04-11 信越化学工業株式会社 Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
JP2004331896A (en) * 2003-05-12 2004-11-25 Shin Etsu Chem Co Ltd Curable fluoropolyether rubber composition and rubber product

Also Published As

Publication number Publication date
TW200640666A (en) 2006-12-01
CN1850503B (en) 2010-05-26
JP2006297820A (en) 2006-11-02
TWI377128B (en) 2012-11-21
CN1850503A (en) 2006-10-25
KR101190940B1 (en) 2012-10-12
JP4561989B2 (en) 2010-10-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101190940B1 (en) Multi-layered Rubber Sheet for Thermocompression Bonding
KR100561160B1 (en) Heat-Resistant, Thermal-Conductive Silicone Rubber Composite Sheets and Process for Preparing the Same
KR101010765B1 (en) Silicone Rubber Sheets for Thermocompression
CN102300932B (en) Curable silicone rubber composition
KR101277337B1 (en) Compression-bonding anisotropic conductive resin compositions and elastic anisotropic conductive elements
JP5117713B2 (en) Silicone pressure-sensitive adhesive composition and adhesive tape
JP2005297234A (en) Silicone rubber sheet for thermocompression bonding and method for manufacturing the same
JP3912525B2 (en) Addition-curing silicone rubber composition and adhesive rubber sheet
JP4525914B2 (en) Addition-curing silicone rubber composition and adhesive rubber sheet
WO2016038836A1 (en) Curable silicone composition, cured object obtained therefrom, and optical semiconductor device
JP2006281670A (en) Sheet for thermo-compression bonding
KR102264482B1 (en) Heat-conductive fluorinated adhesive composition and electric/electronic part
JP4086222B2 (en) Heat resistant and heat conductive silicone rubber sheet for thermocompression bonding
JP2017117861A (en) Wiring board, electronic device, and method of manufacturing wiring board
JP5419265B2 (en) Silicone rubber sheet for thermocompression bonding and manufacturing method thereof
JP3041213B2 (en) Heat resistant heat conductive silicone rubber composite sheet
JP5363401B2 (en) Silicone rubber laminated sheet for thermocompression bonding and method for producing the same
JP4353451B2 (en) Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
TWI614839B (en) Method for producing electrode pattern made of conductive silicone rubber and electrostatic chuck made of all-oxygen rubber and manufacturing method thereof
JP4627071B2 (en) Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
JP4645802B2 (en) Fluorine resin-coated fixing belt
WO2023286648A1 (en) Thermally conductive sheet product and method for producing same
WO2024075661A1 (en) Curable organopolysiloxane composition for transducers, cured product of same, and transducer and others each provided with said cured product
TW202102608A (en) Curable silicone composition, its cured body and manufacturing process thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150917

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee