KR20060104185A - 광센서를 이용한 표면 검사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 광센서를 이용한 표면 검사 장치에 관한 것이다. 상기 표면 검사 장치는, 다수 개의 발광 소자로 이루어지는 투광부와, 다수 개의 광감지센서로 이루어지며, 각 광감지센서로부터 감지된 감지 신호를 출력하는 수광부와, 상기 투광부와 상기 수광부의 동작 제어 신호를 전송하고, 상기 수광부로부터 감지 신호를 입력받고, 입력된 검사 신호를 이용하여 검사 대상물의 표면 상태를 판단하고, 판단 결과 정보를 출력하는 제어부와, 적어도 두 개이상의 전계 발광 소자로 이루어지는 상기 제어부의 제어에 따라 상기 제어부의 상기 판단 결과 정보를 출력하는 표시부와, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 감지 신호 또는 판단 결과 정보를 외부로 전송하거나, 외부로부터 소정의 신호를 전송받는 인터페이스부를 구비한다.

본 발명에 의하여, 유리의 표면에 형성된 파손유무를 자동으로 확인할 수 있으며, 1투광 다수광 방식을 이용하여 유리 표면의 파손 유무의 감지가 가능한 최소 검출 영역을 더욱 작게 한 표면 검사 장치를 제공하게 된다.

표면, 파손, 유리, 수광부, 투광부

Description

광센서를 이용한 표면 검사 장치{SURFACE INSPECTION APPARATUS USING OPTICAL SENSORS}

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면 검사 장치를 전체적으로 도시한 구성도.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면 검사 장치의 내부 구성을 개략적으로 도시한 블록도.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면 검사 장치에 의하여 검사 대상물의 표면의 파손 상태를 검사하는 과정을 순차적으로 도시한 흐름도.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면 검사 장치의 수광부와 투광부의 안정성 여부를 검사하는 과정을 순차적으로 도시한 흐름도.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표면 검사 장치를 도시한 사시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 투광부

110 : 수광부

120 : 표시부

150 : 제어부

160 : 인터페이스부

140 : 컴퓨터

170 : 검사 대상물

본 발명은 광센서를 이용한 표면 검사 장치에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 수광부와 투광부를 이용하여 검사 대상물의 표면의 상태, 파손 상태 등을 감지할 수 있는 표면 검사 장치에 관한 것이다.

LCD 패널을 제조하기 위하여 유리(Glass)가 기판으로 사용되는데, 이러한 기판이 파손되었는지 여부를 파악하지 못한 채 그 위에 패널 제조를 위한 공정을 수행하여 패널을 제작하게 되면, 전체 수율이 급격하게 저하되고 불량률도 증가하게 된다. 따라서, 초기 단계에 기판으로 사용되는 유리의 파손 여부를 검출하는 과정이 필요하게 된다.

현재, 산업계에서는 여러 종류의 검사 대상물에 대한 다양한 표면 검사 방법들이 제안되고 있다. 특허 출원 번호 제10-1998-0048930호는 "표면 검사 장치"에 관한 것으로서, 인체의 피부 등과 같은 피사체의 표면을 육안으로 검사 및 관찰할 수 있도록 검사 대상면을 확대하여 모니터에 디스플레이하며, 특히 명암도가 높은 선명한 화상을 얻을 수 있는 표면 검사 장치를 제안하고 있다. 본 출원에 따른 표면 검사 장치는 렌즈 조립체, CCD 카메라, 모니터등을 포함하여, 피사체에 대한 화상을 통하여 육안으로 검사하게 된다. 본 출원에 따른 표면 검사 장치는 정지된 피 사체에 대한 검사에는 용이하나, 움직이거나 컨베이어를 통해 이동하는 물체의 표면을 실시간으로 검사하는 경우에 적용하기에는 많은 어려움이 있다.

특허 출원 번호 제10-1998-0031410호는 "표면 패턴 불균일 검출방법 및 장치"에 관한 것으로서, 검사 대상물인 표면에 패턴이 형성된 기판으로 빛을 조사하고, 라인센서 카메라를 사용하여 패턴의 에지부로부터의 산란광을 관찰함으로써, 기판위에 형성된 패턴의 불균일을 검사하는 방법 및 장치를 제안하고 있다. 본 출원에서 제안된 장치는 CCD 라인 센서를 구비한 센서 카메라 수단을 이용하여 레지스트 패턴의 에지부에 의한 산란광만을 화상으로서 파악하여 에지부의 변화를 검출하게 된다. 그런데, 산란광은 직접 반사광에 비교하여 매우 약하므로, 라인센서는 고감도의 시간 적분형 센서를 사용하여야 된다. 따라서, 본 출원에 따른 장치는 패턴의 불균일 여부를 정밀하게 파악하기 위하여 고가의 센서들을 사용함으로써, 전체적인 제조 비용이 증가하게 되는 문제점이 있다.

또한, 특허 출원 번호 제10-2000-0081503호는 "칼라CCD 카메라와 다파장 광을 이용한 강판의 표면 결함 검출 장치 및 그 방법"에 관한 것으로서, 고속을 주행하는 강판의 표면에 10㎲ 이하의 노출시간으로 각각의 파장대역을 갖는 빛을 조사하는 조명부와, 상기의 조사된 빛잉 상기의 강판에서 반사 혹은 투과된 후 그 반사 또는 투과된 빛이 입력되어 영상을 획득하는 카메라부와, 상기의 카메라부에서 획득된 영상이 입력되어 신호가 처리되고 그 영상이 분석되는 영상처리부로 구성되어, 고속으로 주행하는 강판의 표면 결함, 예컨대 흠과 홀(구멍)을 검출하는 장치를 제안하고 있다. 본 출원에 따른 표면 결함 검출 장치는 서로 다른 파장대의 빛 을 발산하는 복수 개의 광원을 구비하여야 되며, 각 조명의 특정 파장에 따라 특정 신호를 얻고 이를 다시 영상 처리부의 분석을 수행하여야 되므로, 매우 복잡한 과정을 거쳐야 될 뿐만 아니라, 장치의 제작 비용도 증가하게 되는 문제점이 있다.

전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 수광부와 투광부를 이용하여 검사 대상물인 유리의 파손 유무를 검출할 수 있는 표면 검사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 수광부와 투광부를 하나의 하우징안에 조립하여 간편하게 검사 대상물의 표면을 검사할 수 있도록 하는 표면 검사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 투광부와 수광부를 구성하는 발광 소자 및 광감지 센서의 갯수를 증가시키지 않으면서도 파손 감지 영역을 최소화시킬 수 있는 표면 검사 장치를 제공하는 것이다.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 특성은 광센서를 이용한 표면 검사 장치에 관한 것으로서,

다수 개의 발광 소자로 이루어지는 투광부와,

다수 개의 광감지센서로 이루어지며, 각 광감지센서로부터 감지된 감지 신호를 출력하는 수광부와,

상기 투광부와 상기 수광부의 동작 제어 신호를 전송하고, 상기 수광부로부 터 감지 신호를 입력받고, 입력된 검사 신호를 이용하여 검사 대상물의 표면 상태를 판단하고, 판단 결과 정보를 출력하는 제어부와,

적어도 두 개이상의 전계 발광 소자로 이루어지는 상기 제어부의 제어에 따라 상기 제어부의 상기 판단 결과 정보를 출력하는 표시부와,

상기 제어부의 제어에 따라 상기 감지 신호 또는 판단 결과 정보를 외부로 전송하거나, 외부로부터 소정의 신호를 전송받는 인터페이스부와,

상기 투광부의 정면에 장착된 편광 필터를 구비하고,

상기 제어부는 상기 투광부에 배치된 일련의 발광 소자들을 순차적으로 일정 시간동안 턴온시키고, 상기 수광부를 통해 감지되는 감지 신호를 분석하여 검사 대상물의 표면 상태를 검사한다.

이하 첨부되는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광센서를 이용한 표면 검사 장치의 구성 및 동작에 대하여 구체적으로 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면 검사 장치(200)를 전체적으로 도시한 시스템 구성도이며, 도 2는 상기 표면 검사 장치(200)의 내부 구성을 개략적으로 도시한 블록도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면 검사 장치(200)는 투광부(100), 수광부(110), 제어부(150), 표시부(120), 인터페이스부(160)를 포함하며, 상기 표면 검사 장치는 상기 인터페이스부(160)를 통해 외부의 관리 컴퓨터(140)와 연결될 수 있다. 본 발명에 따른 표면 검사 장치(200), 도 1에 도시된 바와 같이, 컨베이어를 이용하여 이동되는 유리(170)의 표면 상태를 스캐닝 방식으로 검사하여 유리의 표면에 형성된 파손 상태를 확인 하게 된다. 이하, 전술한 각 구성 요소들에 대하여 구체적으로 설명한다.

먼저, 상기 투광부(100)는 다수 개의 발광 소자들(101, 102,103,...)로 이루어지며, 상기 수광부(110)는 다수 개의 광감지센서들(111, 112, 113,...)로 이루어진다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 투광부와 수광부는 각각 112개의 발광소자들과 광감지 센서들을 구비하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 발광소자들은 연속하여 배치되고, 광감지 센서들은 상기 발광 소자에 대응되는 위치에 연속하여 배치된다. 이때, 상기 투광부와 수광부를 구성하는 발광 소자들과 광감지센서들의 갯수는 검사 대상물의 크기 또는 검사 대상물의 종류, 또는 검사의 정밀도 등에 따라 달라질 수 있음은 당연하다.

여기서, 상기 투광부(100)는 상기 투광부를 이루는 발광 소자들의 정면에 편광 필터를 더 구비하여 상기 발광 소자로부터 발산되는 광을 편광시켜 줌으로써, 상기 수광부쪽으로 발광 영역을 한정시켜 수광부에서의 검출 영역을 축소시킬 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

상기 제어부(150)는 본 발명에 따른 표면 검사 장치의 전체 동작을 제어하는 것으로서, 상기 투광부와 상기 수광부로 동작 제어 신호를 전송하고, 상기 수광부로부터 감지 신호를 입력받고, 수광부로부터 입력된 감지 신호를 이용하여 검사 대상물의 표면 상태를 판단하고, 판단 결과 정보를 표시부 또는 인터페이스부로 출력하게 된다. 상기 제어부의 구체적인 동작은 후술한다.

상기 표시부(120)는 상기 제어부의 제어에 따라 동작하되, 상기 제어부의 상기 판단 결과 정보를 출력하게 된다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표시부는 서로 다른 색상의 두 개 이상의 전계 발광 소자(LED)로 이루어지며, 상기 제어부로부터의 판단 결과 정보에 따라 해당 전계 발광 소자들을 온/오프 또는 일정시간동안 반복적으로 점멸시킴으로써, 판단 결과 정보를 디스플레이시킬 수 있게 된다.

예를 들면, 상기 표시부는 적색 LED 및 녹색 LED로 이루어지며, 전원이 입력된 상태는 적색 LED를 온시키고, 검사대상물이 진입된 상태는 녹색 LED를 온시키며, 검사대상물의 표면이 파손된 경우에는 적색 LED를 일정시간동안 반복적으로 점멸시키며, 수광부 및 투광부의 안정성(stability)에 오류가 있는 경우에는 녹색 LED를 일정시간동안 반복적으로 점멸시키게 된다. 상기 표시부의 다른 실시 형태는 전계 발광 소자를 다수 개 더 구비하여, 검사 대상물의 파손 위치에 따라 전계 발광 소자의 온/오프를 제어할 수도 있다.

상기 표시부의 또 다른 실시 형태는 진입 확인 표시등(122), 시료 파손 표시등(124), 안정성 검사 표시등(126)을 구비하고, 상기 진입 확인 표시등은 검사 대상물이 장치내로 진입된 것이 확인되면 온(On)시키고, 상기 시료 파손 표시등은 검사 대상물이 파손되었음이 확인되면 온시키고, 상기 안정성 검사 표시등은 장치의 수광부로부터의 출력이 일정 레벨 이하로 감소하면 온시키므로서, 해당 사항을 운영자에게 알려줄수 있게 된다.

상기 표시부의 또 다른 실시 형태는 LCD나 유기 EL과 같은 표시 소자를 사용함으로써, 상기 제어부의 판단 결과 정보를 다양한 형태로 보다 상세하게 디스플레이시킬 수도 있다.

상기 인터페이스부(160)는 소정의 신호 케이블(130)을 이용하여 외부의 관 리 컴퓨터(140)와 연결되며, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 감지 신호 또는 판단 결과 정보를 외부로 전송하거나, 외부로부터 소정의 신호를 전송받게 된다. 이때, 상기 인터페이스부 z RS-232C와 같은 직렬 통신 인터페이스를 사용하거나, USB(Universial Serial Bus)와 같은 통신 인터페이스를 사용할 수도 있다.

한편, 상기 관리 컴퓨터(140)는 상기 표면 검사 장치로부터 전송된 정보들을 데이터베이스에 저장시킨 후, 상기 정보들을 이용하여 실시간으로 검사 대상물의 표면 상태 등을 화면에 디스플레이시키거나, 파손이 감지된 영역의 누적 파손 감지 횟수, 파손이 감지된 영역의 위치 및 크기, 표면 검사 장치의 안정성 상태 등을 확인할 수 있으며, 상기 표면 검사 장치의 유지 관리를 쉽게 수행할 수 있게 된다. 또한, 상기 관리 컴퓨터는 상기 데이터베이스에 저장된 정보들을 이용 및 분석하여 다양한 형태의 보고서를 작성하여 출력시킬 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따라 전술한 구성을 갖는 표면 검사 장치(200)는 일정한 넓이를 갖는 유리(Glass)의 표면의 파손 상태를 검사하기 위하여 사용될 수 있다. 상기 표면 검사 장치는 그 상부로 컨베이어에 의해 이동되는 유리(170)의 표면 상태를 검사하게 되는데, 다수개의 발광 소자들로 이루어지는 투광부와 수광부는 스캐닝 방식으로 동작되어 상기 발광 소자들이 순차적으로 일정시간 동안 온(On)되고, 상기 투광부로부터의 신호를 수광부에 의해 감지함으로써, 유리의 표면 상태를 정밀하게 검사한다. 이하, 도 3을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면 검사 장치의 제어부가 검사 대상물의 표면 파손여부를 검사하기 위하여 수행하는 과정을 구체적으로 설명한다.

먼저, 수광부로부터 1 스캔 주기에 대한 감지 신호들을 입력받는다(단계 300). 여기서, 1 스캔 주기는 투광부를 구성하는 112개의 발광 소자들이 첫번째 발광 소자부터 마지막 발광 소자까지 순차적으로 연속하여 일정시간 동안 발광하여 112의 광축이 형성되고, 상기 수광부를 구성하는 광감지 센서들이 상기 투광부로부터의 광축을 감지하는 주기를 말한다. 만약, 상기 1 스캔 주기에 대한 감지 신호로부터 30개 이상의 광축이 연속하여 감지되었음이 확인되는 경우(단계 310), 검사 대상물인 유리가 상기 표면 검사 장치내로 진입하였다고 판단하고(단계 312), 표시부의 진입 확인 표시등에 해당하는 녹색 LED를 온(ON)시켜 검사 대상물이 진입하였음을 표시한다(단계 314). 만약, 그렇지 않은 경우, 단계 300으로 되돌아가서 반복 수행한다.

다음, 다시 수광부로부터 연속되는 3회의 스캔 주기에 대한 감지 신호들을 입력받는다(단계 320). 만약, 입력된 3회의 스캔 주기에 대한 감지 신호들로부터 상기 3회의 스캔 주기동안 계속하여 특정 광축이 차광 상태임이 확인되는 경우(단계 330), 상기 광축에 해당하는 영역의 검사 대상물의 표면이 파손되었다고 판단하고(단계 332), 표시부의 시료 파손 표시등에 해당하는 적색 LED를 일정시간동안 반복적으로 점멸시켜 검사 대상물의 표면이 파손되었음을 표시한다(단계 334). 이때, 시료 파손 표시등을 다수개를 설치되어 있는 경우에는 파손된 영역에 따라 서로 다른 시료 파손 표시등을 점멸시킴으로써, 검사 대상물의 파손 상태 뿐만 아니라 파손 영역도 동시에 표시할 수 있게 된다.

다음, 상기 스캔 주기에 대한 감지 신호들을 분석하고, 만약 상기 스캔 주기 에 대한 감지 신호들로부터 연속된 30개 이하의 광축으로부터의 감지 신호만이 확인되는 경우(단계 340), 상기 표면 검사 장치로부터 검사 대상물이 빠져나갔다고 판단하고(단계 342), 표시부의 진입 확인 표시등을 오프(OFF)시켜 검사 대상물의 진입이 해제되었음을 표시한 후(단계 344), 종료한다. 만약, 그렇지 아니한 경우에는 단계 320으로 되돌아가서 검사 대상물의 표면 검사 과정을 반복적으로 수행한다.

이하, 도 4를 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면 검사 장치의 제어부가 수광부 및 투광부를 구성하는 발광소자와 광감지센서에 대한 안정성(stability)을 검사하는 과정을 구체적으로 설명한다.

먼저, 수광부로부터 5회 이상의 연속된 스캔 주기에 대한 감지 신호들을 입력받는다(단계 400). 다음, 감지 신호들로부터 각 광축에 대응하는 감지 신호의 신호 레벨을 판독한다(단계 410). 만약, 상기 5회 이상의 연속된 스캔 주기 동안, 특정 광축에 대한 신호 레벨이 동작 레벨보다는 크고 안정성 검사 레벨보다 작은 경우(단계 420), 상기 광축에 해당하는 수광부의 광감지센서와 투광부의 발광 소자의 안정성이 좋지 않다고 판단하고(단계 422), 표시부의 안정성 검사 표시등을 일정시간동안 반복적으로 점멸시키거나 온(ON)시켜 수광부와 투광부의 출력 신호 레벨에 대한 안정성에 문제가 발생하였음을 표시한다(단계 424).

여기서, 상기 동작 레벨은 수광부로부터 감지 신호를 수신했는지 여부를 확인하는 신호 레벨로서, 만약 감지 신호가 기설정된 동작 레벨보다 작은 경우에는 투광부로부터 신호가 수신되지 않았다고 판단하며, 만약 감지 신호가 기설정된 동 작 레벨보다 큰 경우에는 투광부로부터 신호가 수신되었다고 판단하게 된다. 그리고, 상기 안정성 검사 레벨은 수광부로부터의 출력이 안정되었는지 여부를 확인하는 신호 레벨로서, 보통 동작 레벨의 약 2배 정보의 크기로 설정되며, 만약 수광부로부터의 감지 신호가 동작 레벨보다 크면 투광부와 수광부 모두 출력이 안정한 것으로 판단하며, 만약 수광부로부터의 감지 신호가 연속하여 동작 레벨보다 작은 경우는 수광부와 투광부의 출력에 문제가 있거나 투광부로부터의 출력이 없다고 판단하게 된다. 따라서, 수광부로부터의 감지 신호가 안정성 검사 레벨보다 작고 동작 레벨보다 큰 경우에는 수광부 및 투광부의 출력 레벨에 어떤 문제가 발생하였음을 나타내는 것이다.

상기 표면 검사 장치는 전술한 안정성 검사 과정을 수행함으로써, 수광부로부터의 출력 레벨을 확인하고, 수광부의 출력레벨이 연속하여 안정성 검사 레벨보다 떨어지는 경우 수광부의 표면에 먼지 등이 오염되었거나 광감지 센서 자체에 문제가 있는 것으로 판단하게 된다. 그리고, 운영자에게 수광부의 상태를 인식시킴으로써, 표면 검사 장치의 유지 보수를 할 수 있도록 하고, 검사 결과에 오류가 발생하지 않도록 도모할 수 있게 된다.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표면 검사 장치는, 도 5에 도시된 바와 같이, 수광부의 정면과 투광부의 정면이 일정한 내각을 가지도록 배치하여, 투광부로부터 발산된 광의 확산 영역을 줄여 주므로써, 수광부에서의 신호 감지를 정확히 수행할 수 있으며, 유리 표면의 파손을 감지할 수 있는 최소 검출 영역을 더욱 작게 할 수 있게 된다.

이상에서 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나, 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에서, 투광부를 구성하는 발광 소자의 갯수, 수광부를 구성하는 광감지센서의 갯수, 장치내로의 검사 대상물의 진입과 진출 판단 방법, 표시부의 구성 등은 표면 검사 장치의 검사 효율 및 성능을 향상시키기 위하여 다양하게 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고, 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

본 발명에 따른 광센서를 이용한 표면 검사 장치는 수광부와 투광부를 나란히 배치시키고, 그 위로 검사 대상물이 통과될 수 있도록 함으로써, 상기 표면 검사 장치의 설치 및 작동이 용이하며, 유리 등의 표면의 파손 상태도 편리하게 검사할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에 따른 표면 검사 장치는, 스캐닝 방식을 취하면서, 투광부의 1개의 발광 소자로부터의 발광에 대하여 수광부의 다수 개의 광 감지 센서가 감지할 수 있도록 함으로써, 동일한 갯수의 발광 소자와 광 감지 센서들을 사용하더라도, 유리 표면의 파손 여부를 감지할 수 있는 최소 검출 영역을 더욱 작게 할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에 따른 표면 검사 장치는 투광부의 정면에 편광 필터를 사용함으로써, 광 확산 영역을 감소시켜 유리의 파손 감지 영역을 최소화시킬 수 있게 된다.

또한, 본 발명에 따른 표면 검사 장치는 수광부와 투광부의 렌즈면을 서로 경사지게 배치함으로써, 광의 확산 영역을 더욱 감소시킬 수 있게 된다.

Claims (11)

1. 다수 개의 발광 소자로 이루어지는 투광부;

   다수 개의 광감지센서로 이루어지며, 각 광감지센서로부터 감지된 감지 신호를 출력하는 수광부;

   상기 투광부와 상기 수광부의 동작 제어 신호를 전송하고, 상기 수광부로부터 감지 신호를 입력받고, 입력된 감지 신호를 이용하여 검사 대상물의 표면 상태를 판단하고, 판단 결과 정보를 출력하는 제어부

   를 포함하여, 상기 제어부는 상기 투광부에 배치된 일련의 발광 소자들을 순차적으로 일정 시간동안 턴온시키고, 상기 수광부를 통해 감지되는 감지 신호를 분석하여 검사 대상물의 표면 상태를 검사하는 것을 특징으로 하는 광센서를 이용한 표면 검사 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 투광부의 모든 발광 소자들이 1회씩 순차적으로 일정시간동안 턴온되는 데 소요되는 시간인 1 스캔 주기를 설정하고, 상기 1 스캔 주기에 따라 발광 소자들을 턴온시키는 시간을 결정하는 것을 특징으로 하는 광센서를 이용한 표면 검사 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 수광부로부터 입력되는 감지 신호를 분석하고, 만약 일정 갯수 이상의 연속되는 광감지 센서들로부터 전송된 감지 신호가 확인되고, 상기 감지 신호들이 일정 레벨 이상인 경우, 검사 대상물이 상기 표면 검사 장치내로 진입되었다고 판단하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 수광부로부터 입력되는 감지 신호를 분석하고, 만약 일정 갯수 이상의 연속되는 광감지 센서들로부터 감지 신호가 입력되지 않는 경우, 검사 대상물이 상기 표면 검사 장치내로부터 진출되었다고 판단하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 수광부로부터 입력되는 감지 신호를 분석하고, 만약 검사 대상물이 상기 표면 검사 장치내로 진입된 것이 확인된 상태에서 특정 위치의 광감지 센서로부터 감지 신호가 일정 횟수 이상 연속하여 입력되지 않는 경우, 검사 대상물의 해당 위치의 표면이 파손되었다고 판단하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 수광부의 모든 광감지센서들로부터 입력되는 감지신호들의 신호 레벨을 분석하고, 만약 특정 광감지 센서의 신호 레벨이 동작 레벨보다 높고 안정성 검사 레벨보다 낮은 경우, 수광부에 오류가 있다고 판단하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 표면 검사 장치는 상기 제 어부의 제어에 따라 상기 제어부의 상기 판단 결과 정보를 출력하는 표시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 표시부는 적어도 두 개 이상의 전계 발광 소자를 구비하며, 상기 판단 결과 정보에 따라 상기 전계 발광 소자의 온/오프 또는 점멸 동작시키는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치.
9. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 표면 검사 장치는 상기 제어부의 제어에 따라 상기 감지 신호 또는 판단 결과 정보를 외부로 전송하거나, 외부로부터 소정의 신호를 전송받는 인터페이스부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치.
10. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 표면 검사 장치는 상기 투광부의 정면에 편광 필터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치.
11. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수광부와 상기 투광부는 하나의 하우징안에 장착되며, 상기 수광부의 정면과 상기 투광부의 정면은 소정의 각도를 형성하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치.

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