KR20090023154A - 에지 센서 및 결함검사장치 - Google Patents
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Abstract
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- 복수의 수광 셀을 소정의 간격으로 배열한 라인 센서; 이 라인 센서를 향해서 단색 평행광을 투광하는 광원; 및 상기 라인 센서의 출력을 해석해서 상기 단색 평행광의 광로에 위치부여된 물체의 에지를 검출하는 연산부를 구비한 에지 센서에 있어서,상기 연산부는, 투명 또는 반투명한 물체의 에지에 있어서 생긴 광량 분포 패턴을 그 일단부로부터 타단부를 향해서 탐색했을 때의 광량이 자유 공간에서의 광량을 기준으로 해서 정해지는 제1광량 역치까지 저하한 위치를 상기 물체의 제1검출위치로서 구하는 제1위치검출수단과, 검출한 제1검출위치부터 더욱 광량이 저하한 후에, 상기 자유 공간에서의 광량을 기준으로 해서 정해지는 제2광량 역치까지 증가한 위치를 상기 물체의 제2검출위치로서 구하는 제2위치검출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 에지 센서.
- 제1항에 있어서, 상기 연산부는 상기 라인 센서의 출력을 자유 공간 쪽에서부터 탐색해서 상기 라인 센서 상에서의 광량 분포 패턴을 해석하는 것인 에지 센서.
- 제1항에 기재된 에지 센서;상기 에지 센서에 있어서의 상기 라인 센서를 상기 투명 또는 반투명한 물체 의 에지를 따라서 이동시키는 주사 수단; 및상기 라인 센서의 주사에 따라서 상기 에지 센서에 있어서의 상기 제1 및 제2위치검출수단에서 각각 구해진 제1 및 제2검출위치의 변화를 감시하고, 제1 또는 제2검출위치의 변화량이 미리 설정한 역치를 초과할 때에 경고를 발하는 결함검출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 결함검사장치.
- 제1항에 기재된 에지 센서;상기 에지 센서에 있어서의 상기 제1 및 제2위치검출수단에서 각각 검출되는 제1 및 제2검출위치의 차이를 차광폭으로서 구하는 차광폭 검출수단;상기 에지 센서에 있어서의 상기 라인 센서를 상기 투명 또는 반투명한 물체의 에지를 따라서 이동시키는 주사 수단; 및상기 라인 센서의 주사에 따라서 상기 차광폭 검출수단에 의해 구해진 차광폭을 감시하고, 상기 차광폭이 미리 설정한 역치를 초과할 때에 경고를 발하는 결함검출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 결함검사장치.
- 제1항에 기재된 에지 센서;상기 투명 또는 반투명한 물체를 상기 에지 센서에 있어서의 라인 센서와 교차하는 방향으로 이동시키는 주사 수단; 및상기 물체의 주사에 따라서 상기 에지 센서에 있어서의 상기 제1 및 제2위치검출수단에서 각각 구해지는 제1 및 제2검출위치의 변화를 감시하고, 제1 또는 제2 검출위치의 변화량이 미리 설정한 역치를 초과할 때에 경고를 발하는 결함검출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 결함검사장치.
- 제1항에 기재된 에지 센서;상기 에지 센서에 있어서의 상기 제1 및 제2위치검출수단에서 각각 검출되는 제1 및 제2검출위치의 차이를 차광폭으로서 구하는 차광폭 검출수단;상기 투명 또는 반투명한 물체를 상기 에지 센서에 있어서의 라인 센서와 교차하는 방향으로 이동시키는 주사 수단; 및상기 물체의 주사에 따라서 상기 차광폭 검출수단에 의해 구해진 차광폭을 감시하고, 상기 차광폭이 미리 설정한 역치를 초과할 때에 경고를 발하는 결함검출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 결함검사장치.
- 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 투명 또는 반투명한 물체는 유리판이며, 상기 결함검출수단은 상기 유리판의 에지에 있어서의 결함 또는 균열을 검출하는 것인 결함검사장치.
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