KR20060100537A

KR20060100537A - Mask for manufacturing organic electroluminescent device

Info

Publication number: KR20060100537A
Application number: KR1020050022117A
Authority: KR
Inventors: 탁윤흥; 박종현
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2005-03-17
Filing date: 2005-03-17
Publication date: 2006-09-21

Abstract

마스크의 전체 면에 걸쳐 균일한 장력을 유지하기 하기 위하여 기본 부재에 당김력이 작용할 때 각 그릴부를 구성하는 모든 그릴들이 균일한 변위, 즉 최소한의 변위 차이를 갖고 변형될 수 있는 구조의 마스크를 제공한다. 본 발명에 따른, 기판에 소정의 재료층을 형성하기 위하여 사용되는 마스크는 기판의 소정 영역들에 각각 대응하는 상태로 기본 부재의 절단 예정선 내측 영역에 형성되며, 기본 부재를 관통하는 다수의 그릴로 이루어진 다수의 그릴부; 및 그릴부 중에서 그릴의 폭 방향으로 배치된 최외곽 그릴부와 대응되도록 절단 예정선 외측의 외곽부에 그릴부의 그릴과 동일한 방향으로 형성되며, 다수의 그릴로 각각 이루어진 다수의 더미 그릴부를 포함하되, 각 더미 그릴부의 각 그릴은 길이 방향으로 분리된 다수의 부분들로 이루어진다. To provide a mask having a structure in which all the grills constituting each grill part can be deformed with a uniform displacement, that is, a minimum displacement difference, when a pulling force is applied to the base member to maintain a uniform tension over the entire surface of the mask. do. According to the present invention, a mask used to form a predetermined layer of material on a substrate is formed in the region to be cut inside the base member in a state corresponding to predetermined regions of the substrate, respectively, and includes a plurality of grills penetrating the base member. A plurality of grill portion consisting of; And a plurality of dummy grill parts each formed in the same direction as the grill part of the grill part to correspond to the outermost grill part arranged in the width direction of the grill part among the grill parts in the same direction as the grill part of the grill part, Each grill of each dummy grill part consists of a plurality of parts separated in the longitudinal direction.

유기 전계 발광 소자, 마스크 Organic electroluminescent elements, masks

Description

Mask for manufacturing organic electroluminescent device

도 1은 유기 전계 발광 소자의 평면도.1 is a plan view of an organic electroluminescent device.

도 2는 도 1의 선 A-A를 따라 절취한 상태의 단면도.2 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 3은 유기 전계 발광 소자의 제조 공정에서 사용되는 일반적인 마스크의 평면도.3 is a plan view of a general mask used in the manufacturing process of the organic electroluminescent device.

도 4는 도 3의 "A"부의 상세도.FIG. 4 is a detailed view of part “A” of FIG. 3.

도 5는 어느 한 그립퍼에 의해 가해진 당김력이 작용하는 최외곽 그릴부의 부분 상세도.Fig. 5 is a partial detail view of the outermost grille portion in which a pulling force applied by one gripper acts;

도 6은 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크의 평면도.6 is a plan view of a mask for manufacturing an organic EL device according to the present invention.

도 7은 도 6의 "B"부의 상세도. FIG. 7 is a detail view of the “B” portion of FIG. 6. FIG.

본 발명은 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크에 관한 것으로서, 스트레칭을 위하여 당김력이 작용할 때 각 그릴부를 구성하는 모든 그릴들이 균일한 변위, 즉 최소한의 변위 차이를 갖고 변형될 수 있는 구조로 이루어진 마스크에 관한 것 이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mask for manufacturing an organic electroluminescent device, and to a mask having a structure in which all the grills constituting each grill part can be deformed with a uniform displacement, that is, a minimum displacement difference when a pulling force is applied for stretching. will be.

유기 전계 발광은 유기물(저분자 또는 고분자) 박막에 음극과 양극을 통하여 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 재결합하여 여기자(exciton)를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생하는 현상이다. 이러한 현상을 이용한 유기 전계 발광 소자의 구조 및 제조 단계를 설명하면 다음과 같다. In organic electroluminescence, electrons and holes injected through a cathode and an anode are recombined to form an exciton in an organic (low molecular or polymer) thin film, and light of a specific wavelength is generated by energy from the excitons formed. This is a phenomenon that occurs. Referring to the structure and manufacturing steps of the organic EL device using this phenomenon as follows.

도 1은 유기 전계 발광 소자의 평면도, 도 2는 도 1의 선 A-A를 따라 절취한 상태의 단면도로서, 유기 전계 발광 소자의 구성을 도시하고 있다.1 is a plan view of an organic electroluminescent element, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the organic electroluminescent element taken along the line A-A of FIG.

유기 전계 발광 소자는 투명 기판(1) 상에 배열된 ITO층(2), ITO층(2) 상에 형성된 유기 전계 발광층(3; 이하 "유기 EL 층"이라 칭함), 유기 EL 층(3) 상에 형성된 금속층(4)으로 이루어진다.The organic electroluminescent element includes an ITO layer 2 arranged on the transparent substrate 1, an organic electroluminescent layer 3 formed on the ITO layer 2 (hereinafter referred to as an "organic EL layer"), and an organic EL layer 3 It consists of the metal layer 4 formed on it.

유기 EL 층(3)은 정공 수송층, 발광층 및 전자 수송층이 적층되어 구성되며, 각 금속 전극(4; 유기 EL 층 포함)은 이웃하는 금속 전극과 일정한 간격을 유지한다. 여기서 기판(1) 상에 배열된 ITO층(2)은 애노드 전극의 기능을 수행하며, 각 금속층(4)은 캐소드 전극의 기능을 수행한다. The organic EL layer 3 is formed by stacking a hole transporting layer, a light emitting layer, and an electron transporting layer, and each metal electrode 4 (including the organic EL layer) maintains a constant distance from a neighboring metal electrode. Here, the ITO layer 2 arranged on the substrate 1 performs the function of an anode electrode, and each metal layer 4 performs the function of a cathode electrode.

이상과 같은 구조를 갖는 유기 전계 발광 소자를 제조하는 각 단계를 도면을 통하여 간단히 설명하면 다음과 같다. Each step of manufacturing the organic EL device having the structure as described above will be described briefly with reference to the drawings.

먼저, 글라스 기판(1) 상에 다수의 ITO층(2)을 형성하고, ITO층(2)의 일부(유기 EL층 및 금속층으로 이루어진 발광 영역)을 제외한 전체 영역에 절연막(4a)을 형성한다. 그 후, ITO층(2)을 가로지르는 형태로 다수의 격벽(5)을 형성하며, 이후 격벽(5)을 포함한 전체 구조 상부에 유기 EL층(3)과 금속층(4)을 순차적으로 형성한다.First, a plurality of ITO layers 2 are formed on the glass substrate 1, and the insulating film 4a is formed in the entire region except for a part of the ITO layer 2 (light emitting region composed of an organic EL layer and a metal layer). . Thereafter, a plurality of barrier ribs 5 are formed in the form of crossing the ITO layer 2, and then the organic EL layer 3 and the metal layer 4 are sequentially formed on the entire structure including the barrier ribs 5. .

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같은 구조로 이루어진 다수의 소자 영역(이하, "액티브(active) 영역"이라 칭함)들이 글라스 기판(1) 상에 형성된다. 이후, 각 액티브 영역에서의 각 ITO층(2)과 금속층(4)에 대한 배선 공정, 캡 부착 공정을 거치게 되며, 최종적으로 개별 소자화를 위한 글라스 기판 절단 공정이 진행된다. A plurality of device regions (hereinafter referred to as "active regions") having a structure as shown in FIGS. 1 and 2 are formed on the glass substrate 1. Subsequently, a wiring process and a cap attaching process are performed for each ITO layer 2 and the metal layer 4 in each active region, and a glass substrate cutting process for individual element formation is finally performed.

유기 전계 발광 소자의 제조 공정 중에서, 소정 면적의 글라스 기판 상에 한정된 각 액티브 영역 상에 R(red), G(green), B(blue) 계열의 유기 EL층을 형성하는 공정에서는 마스크(mask)가 이용된다. In the manufacturing process of the organic electroluminescent element, in the process of forming an organic EL layer of red (R), green (G), and blue (B) series on each active region defined on a glass substrate having a predetermined area, a mask is used. Is used.

도 3은 유기 전계 발광 소자의 제조 공정에서 사용되는 일반적인 마스크의 평면도이다.3 is a plan view of a general mask used in the manufacturing process of the organic electroluminescent device.

글라스 기판의 전체 면적과 대응하는 규격의 마스크(10)에는 글라스 기판의 예정된 액티브 영역들과 각각 대응하는 다수의 그릴(grille)부(12)들이 형성되어 있다. 도 4는 도 3의 "A"부의 상세도로서, 어느 한 그릴부(12)의 세부적인 구성을 도시한다. In the mask 10 having a standard corresponding to the total area of the glass substrate, a plurality of grill portions 12 respectively corresponding to predetermined active regions of the glass substrate are formed. FIG. 4 is a detailed view of the portion “A” of FIG. 3, showing a detailed configuration of one grill part 12.

도 4에 도시된 바와 같이, 각 그릴부(12)는 마스크 기본 부재(11)를 관통하여 형성된 다수의 그릴(12A-1 내지 12A-5; 패턴)로 이루어지며, 이 그릴(12A-1 내지 12A-5)은 일정 길이 및 폭을 가지며, 일정한 간격을 두고 서로 평행한 상태로 배치된다. 증착원에서 발생된 R, G, 또는 B 계열의 유기물 증착 재료 증기가 각 그릴(12A-1 내지 12A-5)을 통과하여 기판에 도달한다. As shown in FIG. 4, each grill part 12 is composed of a plurality of grills 12A-1 to 12A-5 (pattern) formed through the mask base member 11, and the grills 12A-1 to 12A-5) have a certain length and width and are arranged parallel to each other at regular intervals. R, G, or B series organic vapor deposition material vapor generated from the vapor deposition source passes through the respective grills 12A-1 to 12A-5 to reach the substrate.

이와 같은 구성을 갖는 마스크(10)를 유기 EL층 형성 공정에 투입하기에 앞서 마스크(10)에 대한 스트레칭(stretching) 공정 및 프레임으로의 부착 공정을 실시한다. Prior to introducing the mask 10 having such a configuration into the organic EL layer forming process, a stretching process for the mask 10 and an attaching process to the frame are performed.

마스크(10)는 얇은 금속 박막(薄膜) 형태로 제조되며, 따라서 마스크(10)는 부분적으로 장력(tension)이 다르게 나타난다. 부분적으로 다른 장력을 갖는 마스크(10)를 이용하여 좁은 폭의 유기 EL층을 글라스 기판의 각 액티브 영역 상의 정확한 위치에 형성하기 어려우며, 따라서 스트레칭 장치(stretcher)를 이용하여 마스크(10)를 잡아당겨 마스크(10)의 전체 면에 걸쳐 균일한 장력을 갖도록 하는 것이 바람직하다. The mask 10 is manufactured in the form of a thin metal thin film, and thus the mask 10 is partially different in tension. It is difficult to form a narrow organic EL layer at the correct position on each active region of the glass substrate using a mask 10 having a partly different tension, and thus the mask 10 is pulled out using a stretcher. It is desirable to have a uniform tension over the entire surface of the mask 10.

이와 같이 그립퍼에 의하여 전체 면에 균일한 장력을 갖는 마스크(10)를 사각 프레임에 (용접) 고정시킨다. 이후 절단 예정선(L)을 따라서 절단 공정을 수행하여 그릴부가 형성되지 않은 기본 부재(11)의 외곽부를 제거하며, 이와 같은 공정에 의하여 구성된 마스크(10)를 이용한 유기 EL층 형성 공정을 진행한다.In this manner, the gripper fixes the mask 10 having a uniform tension on the entire surface to the rectangular frame (welding). Subsequently, a cutting process is performed along the cutting schedule line L to remove the outer portion of the base member 11 on which the grill portion is not formed, and the organic EL layer forming process using the mask 10 constructed by the above process is performed. .

상술한 바와 같은 마스크(10)의 스트레칭 공정에서, 마스크(10)의 각 에지에는 구동 수단에 연결된 다수의 그립퍼(gripper; 도시되지 않음)가 물려지며, 각 그립퍼는 도 3의 각 화살표 방향으로 마스크(10)를 잡아당기게 된다.In the stretching process of the mask 10 as described above, a plurality of grippers (not shown) connected to the driving means are inherited at each edge of the mask 10, and each gripper is masked in the direction of each arrow in FIG. 3. It will pull (10).

그러나, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 마스크(10)의 기본 부재(11)에는 다수의 그릴(12A-1 내지 12A-5)로 이루어진 다수의 그릴부(12)가 형성되어 있으며, 따라서 그립퍼에 의한 마스크(10)의 스트레칭 공정 과정에서 각 그릴부(12)를 구성하는 그릴(12A-1 내지 12A-5)의 변형(찌그러짐)이 필연적으로 발생한다. However, as shown in FIGS. 3 and 4, the base member 11 of the mask 10 is formed with a plurality of grill portions 12 composed of a plurality of grills 12A-1 to 12A-5. Therefore, deformation (deformation) of the grilles 12A-1 to 12A-5 constituting each grill part 12 inevitably occurs during the stretching process of the mask 10 by the gripper.

도 5는 그립퍼에 의하여 가해진 당김력이 작용하는, 도 3의 좌측단에 형성된 그릴부(12)의 부분 상세도로서, 그립퍼에 의한 스트레칭 과정에 있는 마스크(10)의 그릴부(12)의 형상 변화를 도시하고 있다.FIG. 5 is a partial detail view of the grille portion 12 formed at the left end of FIG. 3 in which a pulling force applied by the gripper is applied, and the shape of the grille portion 12 of the mask 10 in the stretching process by the gripper. The change is shown.

마스크(10)의 기본 부재(11)에 형성되어 있는 다수의 그릴부(12)들중 최외곽에 형성된 그릴부에는 그립퍼로부터 힘(당김력)이 직접적으로 작용하게 되며, 따라서 최외곽부에 배치된 그릴부는 스트레칭 과정 중에 그 최초 형상, 즉 다수의 그릴(12A-1 내지 12A-5)이 서로 평행한 상태로 배열되어 있는 형상이 크게 변형된다. Among the grill parts 12 formed on the basic member 11 of the mask 10, a force (pulling force) is applied directly from the gripper to the grill part formed at the outermost part, and thus is disposed at the outermost part. In the stretching process, the initial shape of the grille is greatly deformed, that is, the shape in which the plurality of grills 12A-1 to 12A-5 are arranged in parallel with each other.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 마스크(10)의 기본 부재(11)를 관통하는 형태로 형성된 각 그릴(12A-1 내지 12A-5)의 상단 및 하단(도 5 기준)은 기본 부재(11)에 인접하기 때문에 그릴부에 화살표 방향으로의 당김력이 작용할 경우, 도 5의 점선으로 나타낸 바와 같이 에지를 향하여 각 그릴(12A-1 내지 12A-5)의 중앙부가 상부 및 하부보다 더 많은 변위를 갖고 변형된다. 특히, 그릴(12A-1 내지 12A-5) 중에서 그립퍼에 의한 당김력이 가장 먼저 작용하는 최외곽 그릴(12A-1)은 그 내측에 형성된 그릴(12A-2 내지 12A-5)보다 변위가 더욱 커지게 됨을 도 5를 통하여 알 수 있다.As shown in FIGS. 4 and 5, the upper and lower ends (see FIG. 5) of the respective grills 12A-1 to 12A-5 formed to penetrate the basic member 11 of the mask 10 are the basic members. When the pulling force in the direction of the arrow acts on the grill portion because it is adjacent to (11), the center portion of each grill 12A-1 to 12A-5 toward the edge as shown by the dotted line in FIG. It is deformed with many displacements. In particular, among the grills 12A-1 to 12A-5, the outermost grill 12A-1 in which the pulling force by the gripper first acts is more displaced than the grills 12A-2 to 12A-5 formed therein. It can be seen from FIG.

이와 같은 현상은 기본 부재(11)의 양 측단부에 형성된 모든 최외곽 그릴부에 동일하게 발생한다. This phenomenon occurs equally in all the outermost grills formed on both side ends of the base member 11.

변위가 서로 다른 상태로 그릴들이 변형된 마스크(10)를 이용하여 기판에 미세 폭의 유기EL층을 정확하게 형성할 수 없으며, 따라서 마스크(10)의 스트레칭 과정에서 각 그릴(12A-1 내지 12A-5)의 변위 차이를 최소화시키는 것이 바람직하다. The organic EL layer having a fine width cannot be accurately formed on the substrate by using the mask 10 in which the grills are deformed with different displacements, and thus, each of the grills 12A-1 to 12A- in the stretching process of the mask 10. It is desirable to minimize the difference in displacement of 5).

본 발명은 마스크의 스트레칭 과정에서 발생하는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 당김력이 작용할 때 각 그릴부를 구성하는 모든 그릴이 균일한 변위, 즉 최소한의 변위 차이를 갖고 변형될 수 있는 구조의 마스크를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention is to solve the above-described problems occurring in the stretching process of the mask, the mask of the structure that can be deformed with all the grills constituting each grill portion with a uniform displacement, that is, a minimum displacement difference when the pulling force is applied The purpose is to provide.

본 발명에 따른, 기판에 소정의 재료층을 형성하기 위하여 사용되는 마스크는 기판의 소정 영역들에 각각 대응하는 상태로 기본 부재의 절단 예정선 내측 영역에 형성되며, 기본 부재를 관통하는 다수의 그릴로 이루어진 다수의 그릴부; 및 그릴부 중에서 그릴의 폭 방향으로 배치된 최외곽 그릴부와 대응되도록 절단 예정선 외측의 외곽부에 그릴부의 그릴과 동일한 방향으로 형성되며, 다수의 그릴로 각각 이루어진 다수의 더미 그릴부를 포함하되, 각 더미 그릴부의 각 그릴은 길이 방향으로 분리된 다수의 부분들로 이루어진다. According to the present invention, a mask used to form a predetermined layer of material on a substrate is formed in the region to be cut inside the base member in a state corresponding to predetermined regions of the substrate, respectively, and includes a plurality of grills penetrating the base member. A plurality of grill portion consisting of; And a plurality of dummy grill parts each formed in the same direction as the grill part of the grill part to correspond to the outermost grill part arranged in the width direction of the grill part among the grill parts in the same direction as the grill part of the grill part, Each grill of each dummy grill part consists of a plurality of parts separated in the longitudinal direction.

이하, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크의 구조를 첨부한 도면을 참고하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a structure of a mask for manufacturing an organic EL device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 6은 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크의 평면도로서, 본 발명에 따른 마스크(20) 역시 위에서 설명한 바와 같이 기판의 예정된 액티브 영역들과 각각 대응하는 다수의 그릴부(22; 이하, "그릴부"라 칭함)를 포함하며, 각 그릴부(22)는 마스크(20)의 기본 부재(21)를 관통하여 형성된 다수의 그릴(22A)로 이루어진다. 각 그릴(22A)은 일정 길이 및 폭을 가지며, 인접한 다른 그릴과는 일정한 간격을 두고 서로 평행한 상태로 배치된다(도 4 참조).6 is a plan view of a mask for fabricating an organic EL device according to the present invention, wherein the mask 20 according to the present invention also includes a plurality of grill portions 22 respectively corresponding to predetermined active regions of the substrate as described above. Grill portion ", and each grill portion 22 is composed of a plurality of grills 22A formed through the basic member 21 of the mask 20. Each grill 22A has a certain length and width, and is disposed in parallel with each other at regular intervals from other adjacent grills (see FIG. 4).

본 발명에 따른 마스크(20)의 가장 큰 특징은 기본 부재(21)의 외곽부, 즉 절단 예정선(L)의 외측 영역에 다수의 더미 그릴(dummy grille)부(30)를 형성한 것이다. 각 더미 그릴부(30) 역시 일정 폭 및 길이를 갖고 서로 평행하게 구성된 다수의 그릴(31)로 이루어지며, 이 그릴(31)의 수는 한정되지 않는다.The greatest feature of the mask 20 according to the present invention is the formation of a plurality of dummy grille portions 30 on the outer portion of the base member 21, that is, on the outer region of the cutting line L. Each dummy grill part 30 also has a certain width and length and is composed of a plurality of grills 31 configured in parallel with each other, and the number of the grills 31 is not limited.

또한, 더미 그릴부(30)를 구성하는 그릴(31)의 방향은 기판의 액티브 영역들과 각각 대응하는 각 그릴부(22)의 그릴(22A)의 방향과 동일하다. In addition, the direction of the grill 31 constituting the dummy grill part 30 is the same as the direction of the grill 22A of each grill part 22 respectively corresponding to the active regions of the substrate.

여기서, 더미 그릴부(30)들은 기본 부재(21)의 양측면(도 6 기준) 외곽부에만 형성되어 양측의 최외곽 그릴부(22)들과 각각 대응한다. 도 4에 도시된 일반적인 마스크(10)와 마찬가지로 각 그릴부(22)를 구성하는 그릴(22A)은 폭에 비하여 길이가 매우 길며, 이러한 구조적인 특성에 의하여 마스크(20)에 당김력이 작용할 때 도 5에 도시된 바와 동일하게 각 그릴(22A)은 폭 방향으로의 변형이 크게 발생한다. 따라서 그릴(22A)의 폭 방향으로 배치된 그릴부(22)들 중에서 최외곽의 그릴부과 대응되도록 더미 그릴부(30)를 형성하는 것이 바람직하다.Here, the dummy grill parts 30 are formed only at the outer sides of both sides of the basic member 21 (see FIG. 6) and correspond to the outermost grill parts 22 on both sides. Like the general mask 10 shown in FIG. 4, the grille 22A constituting each grille 22 has a very long length compared to the width, and when the pulling force acts on the mask 20 due to such structural characteristics. As illustrated in FIG. 5, each grill 22A greatly deforms in the width direction. Therefore, it is preferable to form the dummy grill part 30 so as to correspond to the outermost grill part among the grill parts 22 arranged in the width direction of the grill 22A.

도 7은 도 6의 "B" 상세도로서, 더미 그릴부(30)를 구성하는 그릴(31)의 형태를 도시하고 있다. 본 발명에서, 그립퍼의 당김력이 1차적으로 전달되는 더미 그릴부(30)의 각 그릴(31)은 기본 부재(21)를 관통한 상태로 형성되되, 길이 방향으로 2개의 부분(31A, 31B)으로 분리된 상태로 형성되었다.FIG. 7 is a detailed view "B" of FIG. 6 and shows the form of the grill 31 constituting the dummy grill portion 30. In the present invention, each grill 31 of the dummy grill portion 30 to which the pulling force of the gripper is primarily transmitted is formed in the state penetrating the base member 21, two portions 31A, 31B in the longitudinal direction Formed in a separated state.

이상과 같이 기본 부재(21)의 양측면 외곽부에 그 내측에 형성된 그릴부(22)들과 각각 대응하는 다수의 더미 그릴부(30)를 형성할 경우, 도 6의 도시된 화살표 방향, 양 측방향으로 그립퍼에 의한 당김력이 기본 부재(21)에 작용하면, 당김력은 먼저 더미 그릴부(30)들에 가해지게 된다. As described above, in the case where the plurality of dummy grill parts 30 corresponding to the grill parts 22 formed therein are formed on the outer edges of both sides of the base member 21, the arrow direction and the both sides shown in FIG. 6 are formed. When the pulling force by the gripper in the direction acts on the basic member 21, the pulling force is first applied to the dummy grilles 30.

따라서, 각 더미 그릴부(30)의 그릴(31)은 그 폭 방향으로 변형되며, 이후 당김력은 절단 예정선(L) 내측에 형성된 그릴부(22)들에 가해진다. 변형이 이루어진 더미 그릴부(30)의 그릴(31)을 통하여 당김력이 가해지기 때문에 더미 그릴부(30)와 대응하는 그릴부(22)들로 직접적으로 가해지는 당김력은 현저하게 줄어들게 된다. 결과적으로 그릴부(22)들을 제외한 기본 부재(21)에는 당김력이 작용하여 기본 부재(21)는 전체적으로 균일한 장력을 갖게 되지만, 그릴부(22)들, 특히 최외측 그릴부들의 최외측 그릴은 당김력에 의한 변위가 많이 감소된다.Therefore, the grill 31 of each dummy grill part 30 is deformed in the width direction, and the pulling force is applied to the grill parts 22 formed inside the cut line L. Since the pulling force is applied through the grill 31 of the dummy grill part 30 which is deformed, the pulling force directly applied to the dummy grill part 30 and the corresponding grill parts 22 is significantly reduced. As a result, a pulling force is applied to the base member 21 except for the grill portions 22 such that the base member 21 has a uniform tension as a whole. The displacement by the pulling force is greatly reduced.

한편, 당김력이 더미 그릴부(30)에 가해지더라도 더미 그릴부(30)의 각 그릴(31)이 2개의 부분(31A, 31B)으로 분리되어 있기 때문에, 동일한 길이의 일자형 그릴과 비교하여 더미 그릴부(30)를 구성하는 각 그릴(31)의 변형은 균일해짐과 아울러 그 변형량 역시 현저하게 줄어든다. 결과적으로 더밀 그릴부(30)를 통하여 당김력이 전달되는 그릴부(22)의 그릴(22A) 역시 전체적으로 균일하게 변형되며, 변형량 또한 현저하게 줄어들게 된다. On the other hand, even when a pulling force is applied to the dummy grill portion 30, since each grill 31 of the dummy grill portion 30 is separated into two portions 31A and 31B, the dummy grill portion is compared with the straight grille of the same length. Deformation of each grill 31 constituting the grill part 30 becomes uniform, and the amount of deformation thereof is also significantly reduced. As a result, the grille 22A of the grille portion 22 to which the pulling force is transmitted through the miller grille portion 30 is also uniformly deformed as a whole, and the amount of deformation is also significantly reduced.

이와 같이 마스크(20)에 대한 스트레칭이 종료된 상태에서, 마스크(20)를 프레임에 용접, 고정시키고 절단 예정선(L)을 따라 마스크 기본 부재(21)의 외곽부, 즉 더미 그릴부(30)들이 형성된 부분을 절단, 분리한다.In this state in which the stretching to the mask 20 is completed, the mask 20 is welded and fixed to the frame, and the outer portion of the mask base member 21 along the cut line L, that is, the dummy grill part 30. Cut and separate the part where they are formed.

한편, 도 7에서는 더미 그릴부(30)의 각 그릴(31)이 분리된 2개의 부분(31A, 31B)으로 구성되어 있음을 도시하고 설명하였으나, 2개 이상의 부분들로 각 그릴(31)을 형성하는 경우에 동일한 효과를 얻을 수 있음은 물론이다. Meanwhile, although FIG. 7 illustrates and explained that each grill 31 of the dummy grill part 30 is composed of two separate portions 31A and 31B, each grill 31 is divided into two or more portions. Of course, the same effect can be obtained when forming.

이상과 같은 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크는 균일한 장력을 유지하기 위한 스트레칭 공정시 그릴부들을 구성하는 그릴의 변형을 최소화할 수 있어 정확한 위치에 정확한 형상의 유기 EL층 형성할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.Mask for manufacturing an organic EL device according to the present invention as described above can minimize the deformation of the grill constituting the grill portion during the stretching process to maintain a uniform tension can form an organic EL layer of the correct shape in the correct position The effect can be obtained.

위에 설명된 예시적인 실시예는 제한적이기보다는 본 발명의 모든 관점들 내에서 설명적인 것이 되도록 의도되었다. 따라서 본 발명은 본 기술 분야의 숙련된 자들에 의하여 본 명세서 내에 포함된 설명으로부터 얻어질 수 있는 많은 변형과 상세한 실행이 가능하다. 다음의 청구범위에 의하여 한정된 바와 같이 이러한 모든 변형과 변경은 본 발명의 범위 및 사상 내에 있는 것으로 고려되어야 한다. The illustrative embodiments described above are intended to be illustrative within all aspects of the invention rather than limiting. Accordingly, the present invention is capable of many modifications and implementations that can be made by those skilled in the art from the description contained herein. All such modifications and variations are considered to be within the scope and spirit of the invention as defined by the following claims.

Claims

In the mask used to form a predetermined material layer on a substrate,

A plurality of grill units formed in a region to be cut inside the basic member in a state corresponding to predetermined regions of the substrate, the plurality of grill units including a plurality of grills penetrating the basic members; And

Is formed in the same direction as the grill of the grill portion in the outer portion of the outer side of the cutting line to correspond to the outermost grill portion arranged in the width direction of the grill among the grill portion, and includes a plurality of dummy grill portion each consisting of a plurality of grill,

Each grill of each dummy grill part is a mask which consists of several parts separated in the longitudinal direction.

The mask of claim 1, wherein each grill of each dummy grill part is composed of two parts.