KR20060094711A - 격벽을 구비하는 측면 분사형 선형 증발원 및 그 증발원을구비하는 증착장치 - Google Patents

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Abstract

격벽을 구비하는 측면 분사형 선형 증발원 및 그 증발원을 구비하는 증착장치를 제공한다. 상기 선형 증발원은 측면이 개구된 하우징을 구비한다. 상기 하우징의 내부에 도가니가 위치한다. 상기 도가니는 상기 하우징의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되어 증발재료 저장공간을 구비하는 몸체와 상기 몸체의 바닥면에 연결되고 상기 몸체의 상부면과는 이격되어 상기 저장공간을 다수개로 분할하는 적어도 하나의 격벽을 구비한다. 이로써, 증발재료는 상기 도가니 내에서 어느 한 방향으로 치우치지 않고 균일하게 저장될 수 있으며, 상기 증발재료로부터 증발된 증기의 압력은 상기 도가니의 전체 저장공간들에서 균일하게 분포할 수 있다.
증발원, 증착장치, 도가니, 격벽

Description

격벽을 구비하는 측면 분사형 선형 증발원 및 그 증발원을 구비하는 증착장치 {side effusion type evaporation source and vapor deposion apparatus having the same}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 측면 분사형 선형 증발원을 구비한 유기물 증착 장치를 도시한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 측면 분사형 선형 증발원을 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2에 나타낸 측면 분사형 선형 증발원의 일부 구성요소를 나타낸 분해 사시도이다.
도 4는 도 2의 절단선 I-I'를 따라 취해진 단면도이다.
(도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명)
100 : 증착장치 300 : 측면 분사형 증발원
360 : 도가니 363 : 튐 방지턱
365 : 격벽 367 : 도가니 몸체 상부면
350 : 노즐부 351 : 노즐
370 : 가열부
본 발명은 증발원 및 그를 구비하는 증착장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 측면 분사형 선형 증발원 및 그를 구비하는 증착장치에 관한 것이다.
일반적으로, 증착장치는 증발재료로부터 증발된 증기를 기판 상에 공급하는 증발원(evaporation source)을 구비한다. 상기 공급된 증기는 상기 기판 상에 증착막을 형성한다. 이러한 증발원은 증발재료를 담는 도가니와 상기 도가니를 가열하는 가열수단 및 상기 증발재료로부터 증발된 증기를 분사하는 노즐을 구비한다. 상기 가열수단은 도가니를 가열하고, 가열된 도가니로부터 전달된 열에 의해 증발재료는 증발된다.
이러한 증발원 및 증작장치가 대한민국 공개특허 제 2003-0075461호에 개시되었다. 상기 공개특허에 따르면, 상하 방향의 폭을 갖는 선형 증발원은 도가니 내부에 저장된 증발재료가 아래쪽으로 치우치는 것을 방지하기 위해 상기 증발재료가 저장되는 공간에 블록을 설정한다. 그러나, 이 경우 상기 블록은 상기 도가니의 좌우측벽 및 배면측벽과 부착되어야 상기 증발재료가 아래쪽으로 치우치는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 증발재료가 저장되는 각 공간은 상기 블록에 의해서 고립된다. 그 결과, 상기 증발재료로부터 증발되는 증기의 증기압이 상기 각 공간에 따라 다를 수 있고, 이는 기판 상에 증착되는 증착막의 두께 불균일을 유발할 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 증발재료를 균일하게 저장하면서도 증발재료로부터 증발되는 증기의 압력을 전체 저장공간 내에서 균일하게 할 수 있는 증발원 및 이러한 증발원을 구비하는 증착장치를 제공함에 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은 선형 증발원을 제공한다. 상기 선형 증발원은 측면이 개구된 하우징을 구비한다. 상기 하우징의 내부에 도가니가 위치한다. 상기 도가니는 상기 하우징의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되어 증발재료 저장공간을 구비하는 몸체와 상기 몸체의 바닥면에 연결되고 상기 몸체의 상부면과는 이격되어 상기 저장공간을 다수개로 분할하는 적어도 하나의 격벽을 구비한다. 상기 도가니의 개구된 면에 노즐을 구비하는 노즐부가 연결된다. 상기 노즐부 및/또는 상기 도가니를 가열하는 가열부가 배치된다.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 측면은 증착장치를 제공한다. 상기 증착장치는 챔버를 구비한다. 상기 챔버 내에 기판 고정수단과 선형 증발원이 위치한다. 상기 기판 고정수단은 지면과 70 내지 110도의 각을 가지도록 기판을 고정한다. 상기 선형 증발원은 하우징, 도가니, 노즐부 및 가열부를 구비한다. 상기 하우징은 상기 기판을 향하는 측면이 개구된다. 상기 도가니는 상기 하우징의 내부에 위치하고, 상기 하우징의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되어 증발재료 저장공간을 구비하는 몸체와 상기 몸체의 바닥면에 연결되고 상기 몸체의 상부면과는 이격되어 상기 저장공간을 다수개로 분할하는 적어도 하나의 격벽을 구 비한다. 상기 노즐부는 상기 도가니의 개구된 면에 연결되고, 노즐을 구비한다. 상기 가열부는 상기 노즐부 및/또는 상기 도가니를 가열한다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 측면 분사형 선형 증발원을 구비한 증착장치를 도시한 개략도이다.
도 1을 참조하면, 증착장치(100)는 그의 몸체를 이루는 챔버(200), 기판(S)을 고정시키는 기판 고정수단(500) 및 적어도 하나의 증발원(300)을 구비한다.
상기 기판 고정수단(500)은 상기 챔버(200) 내에 위치하여 상기 기판(S)을 지면에 대해 대략 수직이 되도록 고정한다. 이로써, 중력에 의한 기판 처짐을 방지할 수 있다. 이는 상기 기판(S)이 대형인 경우 더욱 그러하다. 바람직하게는 상기 기판 고정수단(500)은 상기 기판(S)을 지면과 70 내지 110도의 각도를 가지도록 고정한다.
상기 기판(S)의 상기 증발원(300)을 바라보는 면 상에 섀도우 마스크(M)가 설치될 수 있다. 상기 섀도우 마스크(M)는 증착막의 패턴 형상을 결정하는 역할을 한다.
상기 증발원(300)은 증발재료를 저장하고, 상기 저장된 증발재료를 가열하여 증발시킨 후, 증발된 증기를 기판(S) 상으로 분사(effuse)하여 기판(S) 상에 증착 막을 형성하는 기능을 한다. 이 때, 상기 증발원(300)은 상기 증기를 상기 증발원(300)의 일측면을 통해 분사한다.
이러한 증발원(300)은 증발원 이송 장치(400)에 의해 상하 방향으로 이송될 수 있다. 따라서, 상기 증발원(300)은 상하 방향으로 이송되면서 상기 지면에 대해 실질적으로 수직으로 고정된 기판(S) 상에 증기를 분사시킬 수 있다. 상기 증발원 이송 장치(400)는 볼 스크류(401), 상기 볼 스크류(401)를 회전시키는 모터(403) 및 상기 증발원(300)을 상하 방향으로 안내하기 위한 가이드(402)를 구비한다.
한편, 상기 증발원(300)은 상기 기판(S)을 가로지르는 방향으로 긴 폭을 갖는 선형 증발원일 수 있다. 이로써, 상기 기판(도 1의 S) 상에 균일한 증착막을 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 도가니(360)와 상기 하우징(320) 또한 상기 폭(W)에 대응한 긴 폭을 갖는다.
또한, 상기 증착장치(100)는 상기 기판(S) 상에 증착되는 증착막의 두께를 측정할 수 있는 두께 측정 장치(미도시)를 더 구비할 수도 있다.
상기 챔버(200)에 진공펌프(미도시)가 연결된다. 이로써, 상기 챔버(200) 내부는 진공상태를 유지할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 측면 분사형 선형 증발원을 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2에 나타낸 측면 분사형 선형 증발원의 일부 구성요소를 나타낸 분해 사시도이고, 도 4는 도 2의 절단선 I-I'를 따라 취해진 단면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 증발원(300)은 일측면, 자세하게는 기판(도 1의 S)을 향하는 측면이 개구된 하우징(320)을 구비한다. 상기 하우징(320)의 내부에 상기 하우징(320)의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되고, 증발재료 저장공간을 갖는 몸체(368)를 구비하는 도가니(360)가 위치한다. 상기 하우징(320)은 상기 도가니(360)를 감싸는 형태를 갖고, 상기 도가니(360)를 외부 환경으로부터 격리한다.
상기 증발원(300)은 수직으로 배치된 기판(도 1의 S)을 가로지르는 방향으로 긴 폭(W)을 갖는 선형 증발원이다. 이로써, 상기 기판(도 1의 S) 상에 균일한 증착막을 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 도가니(360)와 상기 하우징(320) 또한 상기 폭(W)에 대응한 긴 폭을 갖는다.
상기 긴 폭을 갖는 도가니(360)는 상기 증발재료 저장공간을 다수개의 부분으로 분할하는 격벽(partition wall; 365)을 구비한다. 이러한 격벽(365)으로 인해 상기 증발원(300)이 좌우 수평을 유지하지 못하더라도 상기 증발재료(D)는 상기 도가니(360) 내에서 어느 한 방향으로 치우치지 않고 균일하게 저장될 수 있다.
상기 격벽(365)은 상기 도가니 몸체(368)의 바닥면에 연결되고 상기 몸체(368)의 상부면(367)과는 이격된다. 그 결과, 상기 증발재료(D)로부터 증발된 증기는 상기 격벽(365)과 상기 몸체 상부면(367) 사이의 공간을 통해 분할된 저장공간들 사이를 자유롭게 이동할 수 있다. 따라서, 상기 증발재료(D)로부터 증발된 증기의 압력을 상기 도가니(360)의 전체 저장공간들에서 균일하게 분포하도록 할 수 있다. 결과적으로 기판(도 1의 S) 상에 두께의 분포가 균일한 증착막을 형성할 수 있다. 이를 위해, 상기 격벽(365)은 그의 상부의 적어도 일부분에 단차(365a)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 단차(365a)로 인해 상기 격벽(365)은 일부분의 높이가 낮아지고, 상기 격벽(365)의 높이가 낮아진 부분을 통해 상기 증발된 증기는 압력의 분포에 따라 더 자유롭게 이동할 수 있다.
상기 도가니(360)는 튐 방지턱(spitting preventing protrusion; 363)을 구비한다. 상기 튐 방지턱(363)은 상기 도가니(360)가 가열되어 상기 증발재료(D)가 증발될 때, 상기 증발재료(D)가 튀어(spit) 상기 증발원(300) 바깥으로 나가는 것을 방지하는 역할을 한다. 이를 위해, 상기 튐 방지턱(363)의 높이(HS)는 상기 도가니 몸체(368)의 바닥면으로부터 노즐(351)까지의 높이(HN) 보다 큰 것이 바람직하다. 이러한, 튐 현상은 증발 초기단계 또는 상기 증발재료(D)에 밀도의 변화 등이 발생하였을 때 발생하기 쉬우며, 이러한 튐 현상으로 인해 상기 노즐(351)이 막힐 수 있고, 상기 기판(도 1의 S)이 오염되거나 예기치 않은 증착을 유발할 수 있다. 이는 증착막의 질을 저하시키는 요인이 되기도 한다.
상기 튐 방지턱(363)은 상기 도가니 몸체(368)의 개구된 면에 인접하여 위치하며, 상기 도가니 몸체(368)와 일체형일 수 있다. 자세하게는 상기 튐 방지턱(363)은 상기 도가니 몸체(368)의 바닥면에 일체형으로 연결될 수 있다. 이로써, 상기 튐 방지턱(363)과 상기 도가니 몸체(368)의 바닥면 사이에 틈이 없다. 따라서, 상기 증발재료(D)가 상기 튐 방지턱(363)과 상기 도가니 몸체(368)의 바닥면 사이의 틈으로 새어나가는 것을 방지할 수 있다. 특히 상기 증발재료(D)가 열에 의해 액화될 수 있는 경우 더욱 그러하다.
나아가, 상기 격벽(365)과 상기 도가니 몸체(368); 및 상기 격벽(365)과 상 기 튐 방지턱(363)은 일체형으로 연결되는 것이 바람직하다. 이로써, 상기 격벽(365)과 상기 도가니 몸체(368)의 바닥면 사이의 틈 또는 상기 튐 방지턱(363)과 상기 격벽(365) 사이의 틈으로 상기 증발재료(D)가 이동하는 것을 방지할 수 있다. 이는 상기 증발재료(D)가 열에 의해 액화되는 경우 더욱 그러하다.
나아가, 상기 도가니 몸체(368)의 상부면(367)은 상기 도가니 몸체(368)의 다른 부분(361)에 대해 탈착가능한 것이 바람직하다. 따라서, 상기 저장공간에 증발재료(D)를 용이하게 적재할 수 있다.
바람직하게는 상기 도가니(360)는 열전도도가 우수한 물질로 형성된다. 구체적으로 상기 도가니(360)은 흑연(graphite)으로 형성될 수 있다. 상기 흑연은 육방정계(hexagonal system)의 다공성 물질로써 단열효율이 매우 우수하다. 따라서 이러한 흑연 도가니는 도가니(360) 내부의 온도를 안정적으로 유지할 수 있다.
상기 도가니(360) 내에 저장되는 증발재료(D)는 유기물일 수 있다. 상기 유기물은 전계발광성 유기물, 정공주입성 유기물, 정공수송성 유기물, 전자수송성 유기물 또는 전자주입성 유기물일 수 있다.
상기 도가니(360)의 개구된 측면에 노즐부(350)가 연결된다. 이러한 노즐부(350)는 상기 노즐부(350)를 이루는 몸체(353)와 상기 몸체(353)를 관통하는 노즐(351)을 구비한다. 이 때, 상기 노즐 몸체(353)의 일측은 상기 도가니(360)의 개구된 측면 내에 끼워져 상기 도가니(360)의 개구된 측면을 밀폐하며, 상기 노즐 몸체(353)의 타측은 상기 도가니(360)의 개구된 면의 외측으로 소정길이 연장되어 돌출된다.
상기 노즐(351)은 상기 증발재료(D)로부터 증발된 기체를 상기 기판(도 1의 S) 상으로 분사하는 역할을 한다. 상기 증발원(300)이 상술한 선형 증발원인 경우, 상기 노즐부(350)는 다수개의 노즐(351)을 구비한다. 이 경우, 상기 노즐들(351)은 상기 노즐부(350)의 중앙부보다 상기 노즐부(350)의 가장자리부에서 더 조밀하게 분포할 수 있다. 이로써, 상기 증발원(300)의 중앙부와 가장자리부에서 분사되는 증기의 량을 균일하게 할 수 있고, 그 결과 상기 기판(도 1의 S) 상에 증착되는 증착막을 균일하게 형성할 수 있다.
상기 하우징(320) 내에 상기 노즐부(350) 및/또는 상기 도가니(360)를 가열하는 가열부(370)가 배치된다. 상기 가열부(370)로부터 전달된 열에 의해 상기 도가니(360) 내에 저장된 증발재료(D)는 증발되어 상기 노즐(351)을 통해 상기 기판(도 1의 S) 상으로 분사된다. 바람직하게는 상기 가열부(370)는 상기 노즐부(350)가 상기 도가니(360)의 개구된 면으로부터 돌출된 부분에 인접하여 상기 노즐부(350)의 돌출된 부분을 가열한다. 이와 동시에, 상기 가열부(370)는 상기 도가니(360)의 개구된 면과 인접한 부분을 부분 가열할 수 있다. 이로써, 상기 도가니(360)의 개구면과 인접한 부분의 온도가 상기 도가니(360)의 개구면과 먼 부분의 온도보다 높은 분포를 가질 수 있게 한다. 결과적으로, 상기 노즐부(350) 근처에서 증기의 응축을 방지할 수 있다.
한편, 상기 가열부(370)는 열원인 열선(373)과 열선 지지체(375)를 구비할 수 있다. 상기 열선 지지체(375)는 상기 열선(373)의 처짐을 방지하는 역할을 한다. 나아가, 가열부(370)의 구조는 상기 노즐부(350)를 감싸는 형태의 히터 터널 (heater tunnel) 구조일 수 있다.
상기 가열부(370)와 상기 하우징(320) 사이에 열 반사판(330)이 개재될 수 있다. 상기 열 반사판(330)은 상기 도가니(360)의 상부면 및 하부면을 따라 연장될 수 있다. 상기 열 반사판(330)은 상기 가열부(370)에서 발생되는 열을 반사할 수 있고, 상기 가열부(370)에서 발생되는 열을 전달받은 상기 노즐부(350)와 상기 도가니(360)로부터 복사되는 열을 반사할 수 있다. 그 결과 열효율을 높일 수 있다.
또한, 상기 노즐부(350)의 상기 기판(도 1의 S) 방향의 외부면에 열 차단판(340)이 부착될 수 있다. 상기 열 차단판(340)은 노즐부(350)를 통하여 열이 방출되어 상기 기판(도 1의 S) 또는 상기 섀도우 마스크(도 1의 M)에 영향을 미치는 것을 최소화할 수 있다.
상기 하우징(320)의 외벽에 단열부재(310)가 설치될 수 있다. 상기 단열부재(310)는 상기 가열부(370)에서 발생된 열 및 상기 노즐부(350)와 상기 도가니(360)로부터 복사된 열이 외부로 방출되는 것을 방지한다.
이하, 상술한 증발원을 구비하는 증착장치를 사용하여 기판 상에 증착막을 형성하는 방법을 도 1 내지 도 4를 다시 참조하여 설명한다.
먼저, 증발원(300)의 도가니(360) 내에 증발재료(D)를 적재한다. 자세하게는 도가니 몸체(368)의 상부면(367)을 분리한 후, 증발재료(D)를 적재한다. 이어서, 상기 도가니(360), 노즐부(350), 가열부(370), 열 차단판(340), 열 반사판(330), 하우징(320) 및 단열부재(310)를 조립하여 증발원(300)을 형성하고, 형성된 증발원(300)을 증착장치(100)의 챔버(200) 내에 장착한다.
이어서, 증착장치(100)의 챔버(200) 내에 위치하는 기판 고정수단(500) 상에 기판(S)을 장착한다. 상기 기판(S)은 화소전극이 형성된 유기전계발광소자기판 일 수 있다.
이어서, 상기 노즐부(350) 및 상기 도가니(360)를 상기 가열부(370)를 사용하여 가열한다. 이 때, 상기 도가니(360) 내에 저장된 증발재료(D)는 가열에 의해 증발되어 증기가 되고, 이러한 증기는 노즐(351)을 통해 상기 기판(S) 상으로 분사된다. 이 때, 상기 증발재료(D)로부터 증발된 증기는 격벽(365)과 상기 몸체 상부면(367) 사이의 공간을 통해 분할된 저장공간들 사이를 자유롭게 이동하여, 상기 증발재료(D)로부터 증발된 증기의 압력을 상기 도가니(360)의 전체 저장공간들에서 균일하게 분포하도록 할 수 있다. 결과적으로 기판(도 1의 S) 상에 두께의 분포가 균일한 증착막을 형성할 수 있다. 상기 격벽(365)이 그의 상부의 적어도 일부분에 단차(365a)를 구비하는 경우, 증기의 압력은 상기 도가니(360)의 전체 저장공간들에서 더 균일하게 분포할 수 있다.
상기 노즐(351)을 통해 상기 기판(S) 상으로 분사된 증기는 상기 기판(S) 상에 증착되어 증착막을 형성한다. 이 때, 상기 기판(S) 상에 섀도우 마스크(M)를 장착한 경우, 상기 분사된 증기는 상기 섀도우 마스크(M)의 개구부를 통해서 상기 기판(S) 상에 증착되므로 패턴을 갖는 증착막을 형성할 수 있다.
이 과정에서 상기 증발원 이송 장치(400)를 사용하여 상기 증발원(300)을 상하방향으로 이송시킴으로써, 상기 기판(S) 상에 균일한 증착막을 형성할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 도가니는 증발재료 저장공간을 다수개로 분할하는 격벽을 구비함으로써, 증발재료는 상기 도가니 내에서 어느 한 방향으로 치우치지 않고 균일하게 저장될 수 있다. 나아가, 상기 격벽은 상기 도가니 몸체의 바닥면에 연결되고 상부면에는 이격됨으로써, 상기 증발재료로부터 증발된 증기의 압력을 상기 도가니의 전체 저장공간들에서 균일하게 분포하도록 할 수 있다. 결과적으로 기판 상에 두께의 분포가 균일한 증착막을 형성할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (22)

  1. 측면이 개구된 하우징;
    상기 하우징의 내부에 위치하고, 상기 하우징의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되어 증발재료 저장공간을 구비하는 몸체와 상기 몸체의 바닥면에 연결되고 상기 몸체의 상부면과는 이격되어 상기 저장공간을 다수개로 분할하는 적어도 하나의 격벽을 구비하는 도가니;
    상기 도가니의 개구된 면에 연결되고, 노즐을 구비하는 노즐부; 및
    상기 노즐부 및/또는 상기 도가니를 가열하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 격벽은 그의 상부에 단차를 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 격벽은 상기 도가니 몸체와 일체형인 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 도가니는 상기 몸체의 개구된 면에 인접하는 튐 방지턱(spitting preventing protrusion)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 튐 방지턱은 상기 도가니 몸체와 일체형인 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 도가니 몸체의 상부면은 탈착가능한 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 도가니 내에 저장되는 증발재료는 유기물인 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐부는 상기 도가니의 개구된 면으로부터 돌출되고, 상기 가열부는 상기 노즐부의 돌출된 부분을 가열하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 도가니는 흑연 도가니인 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 가열부와 상기 하우징 사이에 개재되고, 상기 도가니의 상부면 및 하부면을 따라 연장된 열 반사판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐부의 기판 방향 외부면에 부착되는 열 차단판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  12. 챔버;
    상기 챔버 내에 위치하여 지면과 70 내지 110도의 각을 가지도록 기판을 고정하는 기판 고정수단; 및
    상기 기판을 향하는 측면이 개구된 하우징; 상기 하우징의 내부에 위치하고, 상기 하우징의 개구된 면과 같은 방향의 면이 개구되어 증발재료 저장공간을 구비하는 몸체와 상기 몸체의 바닥면에 연결되고 상기 몸체의 상부면과는 이격되어 상기 저장공간을 다수개로 분할하는 적어도 하나의 격벽을 구비하는 도가니; 상기 도가니의 개구된 면에 연결되고, 노즐을 구비하는 노즐부; 및 상기 노즐부 및/또는 상기 도가니를 가열하는 가열부를 구비하는 선형 증발원을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 선형 증발원을 상하방향으로 이동시키는 증발원 이송장치를 더 포함하 는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 격벽은 그의 상부에 단차를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 격벽은 상기 도가니 몸체와 일체형인 것을 특징으로 하는 증착장치.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 도가니는 상기 몸체의 개구된 면에 인접하는 튐 방지턱(spitting preventing protrusion)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 튐 방지턱은 상기 도가니 몸체와 일체형인 것을 특징으로 하는 증착장치.
  18. 제 12 항에 있어서,
    상기 도가니 몸체의 상부면은 탈착가능한 것을 특징으로 하는 증착장치.
  19. 제 12 항에 있어서,
    상기 도가니 내에 저장되는 증발재료는 유기물인 것을 특징으로 하는 증착장치.
  20. 제 12 항에 있어서,
    상기 노즐부는 상기 도가니의 개구된 면으로부터 돌출되고, 상기 가열부는 상기 노즐부의 돌출된 부분을 가열하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  21. 제 12 항에 있어서,
    상기 선형 증발원은 상기 가열부와 상기 하우징 사이에 개재되고, 상기 도가니의 상부면 및 하부면을 따라 연장된 열 반사판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  22. 제 12 항에 있어서,
    상기 선형 증발원은 상기 노즐부의 기판 방향 외부면에 부착되는 열 차단판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009134041A3 (en) * 2008-04-29 2010-02-04 Sunic System. Ltd. Evaporator and vacuum deposition apparatus having the same
CN102102176A (zh) * 2009-12-22 2011-06-22 三星移动显示器株式会社 蒸发源和具有该蒸发源的沉积设备
CN102102175A (zh) * 2009-12-17 2011-06-22 三星移动显示器株式会社 线性蒸发源及具有该线性蒸发源的沉积设备
KR20170032782A (ko) * 2015-09-15 2017-03-23 주식회사 원익아이피에스 리니어소스 및 그를 가지는 기판처리장치
CN107002223A (zh) * 2014-12-05 2017-08-01 应用材料公司 材料沉积系统和用于在材料沉积系统中沉积材料的方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150145466A (ko) 2014-06-19 2015-12-30 최현범 선형증발원

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10085115T1 (de) * 1999-10-22 2002-11-07 Kurt J Lesker Company Clairton Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats im Vakuum
JP4139186B2 (ja) 2002-10-21 2008-08-27 東北パイオニア株式会社 真空蒸着装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009134041A3 (en) * 2008-04-29 2010-02-04 Sunic System. Ltd. Evaporator and vacuum deposition apparatus having the same
CN102102175A (zh) * 2009-12-17 2011-06-22 三星移动显示器株式会社 线性蒸发源及具有该线性蒸发源的沉积设备
US8845807B2 (en) 2009-12-17 2014-09-30 Samsung Display Co., Ltd. Linear evaporation source and deposition apparatus having the same
US10081867B2 (en) 2009-12-17 2018-09-25 Samsung Display Co., Ltd. Linear evaporation source and deposition apparatus having the same
US10364488B2 (en) 2009-12-17 2019-07-30 Samsung Display Co., Ltd. Linear evaporation source and deposition apparatus having the same
US10907245B2 (en) 2009-12-17 2021-02-02 Samsung Display Co., Ltd. Linear evaporation source and deposition apparatus having the same
DE102010062937B4 (de) 2009-12-17 2021-07-15 Samsung Display Co., Ltd. Lineare Verdampfungsquelle und Beschichtungsvorrichtung mit linearer Verdampfungsquelle
CN102102176A (zh) * 2009-12-22 2011-06-22 三星移动显示器株式会社 蒸发源和具有该蒸发源的沉积设备
CN107002223A (zh) * 2014-12-05 2017-08-01 应用材料公司 材料沉积系统和用于在材料沉积系统中沉积材料的方法
CN107002223B (zh) * 2014-12-05 2019-11-05 应用材料公司 材料沉积系统和用于在材料沉积系统中沉积材料的方法
KR20170032782A (ko) * 2015-09-15 2017-03-23 주식회사 원익아이피에스 리니어소스 및 그를 가지는 기판처리장치

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