KR20060092735A - Plasma display panel and manufacturing method thereof - Google Patents

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KR20060092735A
KR20060092735A KR1020050013828A KR20050013828A KR20060092735A KR 20060092735 A KR20060092735 A KR 20060092735A KR 1020050013828 A KR1020050013828 A KR 1020050013828A KR 20050013828 A KR20050013828 A KR 20050013828A KR 20060092735 A KR20060092735 A KR 20060092735A
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박승준
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층에 관한 것이다.The present invention relates to a protective layer of a plasma display panel.

이러한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 실(Seal)재로 합착된 전면 패널과 후면 패널을 포함하고, 전면 패널은 스캔 전극 및 서스테인 전극 상에 형성된 유전체층, 유전체층 상부에 형성된 제 1 보호층 및 제 1 보호층 상부에 형성되고, 제 1 보호층으로부터 돌출되어 형성된 돌출부를 포함하는 제 2 보호층을 포함한다.The plasma display panel according to the present invention includes a front panel and a rear panel bonded to a seal material, and the front panel includes a dielectric layer formed on the scan electrode and the sustain electrode, a first protective layer formed on the dielectric layer, and a first protective layer. And a second protective layer formed on the layer and including a protrusion formed to protrude from the first protective layer.

또한, 본 발명에 다른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 (a) 진공 챔버 내에 유전체층이 형성된 전면 패널을 장착하는 단계, (b) 유전체층 상부에 제 1 보호층이 증착하는 단계 및 (c) 제 1 보호층 상부에 소정 패턴의 마스크를 이용하여 제 1 보호층으로부터 돌출되어 형성된 돌출부를 포함하는 제 2 보호층을 증착하는 단계를 포함한다.In addition, another method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention includes (a) mounting a front panel having a dielectric layer formed in a vacuum chamber, (b) depositing a first protective layer over the dielectric layer, and (c) first protective And depositing a second passivation layer on the layer, the second passivation layer including a protrusion formed by protruding from the first passivation layer using a mask having a predetermined pattern.

따라서, 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층을 제 1 보호층을 형성하고 그 위에 돌출부를 포함한 제 2 보호층을 형성함으로써 보호층 전체의 표면적을 넓어져 이차전자방출계수는 높아진다. 이에 따라 플라즈마 디스플레이 패널의 수명 및 휘도를 향상시키는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, the protective layer of the plasma display panel forms the first protective layer and the second protective layer including the protrusions is formed thereon, thereby increasing the surface area of the entire protective layer and increasing the secondary electron emission coefficient. Accordingly, there is an effect of improving the lifetime and brightness of the plasma display panel.

Description

플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법{Plasma Display Panel and Manufacturing Method Thereof}Plasma Display Panel and Manufacturing Method Thereof

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도.1 is a view showing the structure of a typical plasma display panel.

도 2a 및 도 2b는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층을 E-beam법을 이용하여 증착하는 과정을 나타낸 도.2A and 2B illustrate a process of depositing a protective layer of a conventional plasma display panel using an E-beam method.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도.3 is a view showing the structure of a plasma display panel according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층을 나타낸 도.4 illustrates a protective layer of a plasma display panel according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 순차적으로 나타낸 블록도.5 is a block diagram sequentially illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention;

도 6a 내지 6d는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층이 형성되는 과정을 나타낸 도.6A to 6D illustrate a process of forming a protective layer of a plasma display panel according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

300: 전면 패널 301: 전면 글라스300: front panel 301: front glass

302: 스캔 전극 303: 서스테인 전극302: scan electrode 303: sustain electrode

a: 투명전극 b: 버스전극a: transparent electrode b: bus electrode

304: 상부 유전체층 305: 제 1 보호층304: upper dielectric layer 305: first protective layer

306: 제 2 보호층 310: 후면 패널306: second protective layer 310: rear panel

311: 후면 글라스 312: 격벽311 rear glass 312 bulkhead

313: 어드레스 전극 314: 형광체313: address electrode 314: phosphor

315: 하부 유전체층315: lower dielectric layer

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 전면 패널의 보호층을 개선한 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a plasma display panel having an improved protective layer of a front panel and a method of manufacturing the same.

일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 전면 패널과 후면 패널 사이에 형성된 격벽이 하나의 단위 셀을 이루는 것으로, 각 셀 내에는 네온(Ne), 헬륨(He) 또는 네온과 헬륨의 혼합기체(Ne+He)와 같은 주 방전 기체와 소량의 크세논을 함유하는 불활성 가스가 충진되어 있다. 고주파 전압에 의해 방전이 될 때, 불활성 가스는 진공자외선(Vacuum Ultraviolet Rays)을 발생하고 격벽 사이에 형성된 형광체를 발광시켜 화상이 구현된다. 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널은 얇고 가벼운 구성이 가능하므로 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.In general, a plasma display panel is a partition wall formed between a front panel and a rear panel to form one unit cell, and each cell includes neon (Ne), helium (He), or a mixture of neon and helium (Ne + He). An inert gas containing a main discharge gas such as and a small amount of xenon is filled. When discharged by a high frequency voltage, the inert gas generates vacuum ultraviolet rays and emits phosphors formed between the partition walls to realize an image. Such a plasma display panel has a spotlight as a next generation display device because of its thin and light configuration.

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도이다.1 illustrates a structure of a general plasma display panel.

도 1에 도시된 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널은 화상이 디스플레이 되는 표시면인 전면 글라스(101)에 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)이 쌍을 이뤄 형성된 복수의 유지전극쌍이 배열된 전면 패널(100) 및 배면을 이루는 후면 글라스(111) 상에 전술한 복수의 유지전극쌍과 교차되도록 복수의 어드레스 전극(113)이 배열된 후면 패널(110)이 일정거리를 사이에 두고 평행하게 결합된다.As shown in FIG. 1, a plasma display panel includes a front panel in which a plurality of sustain electrode pairs formed by pairing a scan electrode 102 and a sustain electrode 103 are arranged on a front glass 101 that is a display surface on which an image is displayed. The rear panel 110 on which the plurality of address electrodes 113 are arranged so as to intersect the plurality of sustain electrode pairs on the back glass 111 forming the back surface 100 and the rear surface is coupled in parallel with a predetermined distance therebetween. .

전면 패널(100)은 하나의 방전셀에서 상호 방전시키고 셀의 발광을 유지하기 위한 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103), 즉 투명한 물질로 형성된 투명전극(a)과 은(Ag)과 같은 금속재질로 제작된 버스전극(b)으로 구비된 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)이 쌍을 이뤄 포함된다. 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)은 방전 전류를 제한하며 전극 쌍 간을 절연시켜주는 상부 유전체층(104)에 의해 덮혀지고, 상부 유전체층(104) 상면에는 방전 조건을 용이하게 하기 위하여 산화마그네슘(MgO)을 증착한 보호층(105)이 형성된다.The front panel 100 includes a scan electrode 102 and a sustain electrode 103 for mutually discharging and maintaining light emission of the cells in one discharge cell, that is, transparent electrodes a and silver Ag formed of a transparent material. The scan electrode 102 and the sustain electrode 103 provided as a bus electrode b made of a metal material are included in pairs. The scan electrode 102 and the sustain electrode 103 are covered by an upper dielectric layer 104 that limits the discharge current and insulates the pair of electrodes, and the upper surface of the upper dielectric layer 104 is magnesium oxide to facilitate the discharge conditions. A protective layer 105 on which (MgO) is deposited is formed.

후면 패널(110)은 복수 개의 방전 공간 즉, 방전셀을 형성시키기 위한 스트라이프 타입의 격벽(112)이 평행을 유지하여 배열된다. 또한, 어드레스 방전을 수행하여 진공자외선을 발생시키는 다수의 어드레스 전극(113)이 격벽(112)에 대해 평행하게 배치된다. 후면 패널(110)의 상측면에는 어드레스 방전 시 화상표시를 위한 가시광선을 방출하는 R, G, B 형광체(114)가 도포된다. 어드레스 전극(113)과 형광체(114) 사이에는 어드레스 전극(113)을 보호하기 위한 하부 유전체층(115)이 형성된다.The rear panel 110 is arranged in such a manner that a plurality of discharge spaces, that is, stripe-type partitions 112 for forming discharge cells are maintained in parallel. In addition, a plurality of address electrodes 113 which perform address discharge to generate vacuum ultraviolet rays are arranged in parallel with the partition wall 112. On the upper side of the rear panel 110, R, G, and B phosphors 114 which emit visible light for image display during address discharge are coated. A lower dielectric layer 115 is formed between the address electrode 113 and the phosphor 114 to protect the address electrode 113.

이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 전면 패널의 보호층은 플라즈마 디스플레이 패널의 방전전압을 낮추기 위한 이차전자를 공급해주며 상부 유전체층이 이온으로부터 받는 손상을 막아주는 역할을 한다.In such a plasma display panel, the protective layer of the front panel supplies secondary electrons for lowering the discharge voltage of the plasma display panel and prevents damage of the upper dielectric layer from ions.

다음 도 2a 및 도 2b는 이러한 역할을 하는 보호층이 E-beam법을 이용하여 증착되는 과정을 보여준다.2A and 2B show a process in which a protective layer having such a role is deposited using an E-beam method.

도 2a 및 도 2b는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층을 E-beam법을 이용하여 증착하는 과정을 나타낸 도이다.2A and 2B illustrate a process of depositing a protective layer of a conventional plasma display panel using an E-beam method.

도 2a에 도시된 바와 같이, 유지전극쌍 상부에 상부 유전체층(204)이 형성된 전면 패널(200)을 보호층(205)을 증착시키기 위해 진공 챔버(210) 내부로 진입시킨다. 이 때, 진공 챔버(210) 내부로 진입한 전면 패널(200)은 유전체층(204) 상부에 보호층(205)을 증착시키는 장치를 통해 보호층(205)이 증착되는데, 이러한 보호층 증착 장치는 전면 패널(200)을 고정하는 패널고정부(230)와 전면 패널(200)이 소정거리로 이격되어 전면 패널(200)에 통상 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지는 보호층(205)을 증착시키는 증기발산부(250)를 포함한다. 여기서, 증기발산부(250)는 허스(Hearth, 250a)내에 산화마그네숨(MgO) 물질(250b)을 담아서 허스(Hearth, 250a)에 형성된 오리피스(Orifice, 250a1)를 통하여 전자빔(E-Beam, 270)건으로 산화마그네슘(MgO) 물질(250b)을 집중 조사하는 장치를 말한다.As shown in FIG. 2A, the front panel 200 having the upper dielectric layer 204 formed on the sustain electrode pair is introduced into the vacuum chamber 210 to deposit the protective layer 205. At this time, the protective layer 205 is deposited on the front panel 200 that enters the vacuum chamber 210 through a device for depositing the protective layer 205 on the dielectric layer 204. The panel fixing part 230 fixing the front panel 200 and the front panel 200 are spaced apart by a predetermined distance, and vapor diffusion for depositing a protective layer 205 made of magnesium oxide (MgO) on the front panel 200. The unit 250 is included. Here, the vapor diverging unit 250 contains a magnesium oxide (MgO) material (250b) in the H (Hearth) 250a through an orifice (250a 1 ) formed in the H (earth) 250a, the electron beam (E-Beam) , 270) refers to a device for intensively irradiating magnesium oxide (MgO) material (250b).

이와 같이 제작된 진공 챔버(210)내의 보호층 증착장치(230, 250)를 이용하여 도 2b에 도시된 바와 같이 증기발산부(250)의 산화마그네슘 물질(250b)을 허스(Hearth, 250a)에 형성된 오리피스(Orifice, 250a1)를 통하여 전자빔(E-Beam, 270)건으로 집중 조사하면 산화마그네슘 물질(250b)은 에너지 대부분이 열로 변하게 되어 기체의 승화상태인 증기가 전면 패널(200)의 유전체층(204) 표면에 달라붙어 보 호층이 형성된다.As shown in FIG. 2B, the magnesium oxide material 250b of the vapor dissipation unit 250 may be transferred to the hearth 250a by using the protective layer deposition apparatuses 230 and 250 in the vacuum chamber 210 manufactured as described above. When concentrated irradiation with an electron beam (E-Beam, 270) through the formed orifice (Orifice, 250a 1 ) Magnesium oxide material (250b) is changed to heat most of the energy is a sublimation of the vapor vapor of the dielectric layer of the front panel 200 ( 204) It is attached to the surface to form a protective layer.

한편, 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지는 보호층은 그 표면적이 증가할수록 방전 시 발생하는 이차전자방출계수가 증가한다.On the other hand, as the surface area of the protective layer made of magnesium oxide (MgO) increases, the secondary electron emission coefficient generated during discharge increases.

그러나 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층은 표면적이 작아 이차전자방출계수가 낮다. 따라서, 플라즈마 디스플레이 패널의 방전전압 및 방전효율이 악화되어 플라즈마 디스플레이 패널의 수명을 단축시키는 문제점이 있다.However, the protective layer of the conventional plasma display panel has a low surface area and a low secondary electron emission coefficient. Therefore, the discharge voltage and the discharge efficiency of the plasma display panel are deteriorated, thereby reducing the lifetime of the plasma display panel.

따라서 본 발명은 전면 패널의 보호층을 개선하여 보호층의 이차전자방출계수를 높여 방전전압을 낮추고 이에 따라 플라즈마 디스플레이 패널의 수명 및 휘도를 향상시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널 및 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a plasma display panel and a manufacturing method which can improve the lifespan and brightness of the plasma display panel by improving the protective layer of the front panel to increase the secondary electron emission coefficient of the protective layer, thereby lowering the discharge voltage. have.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 실(Seal)재로 합착된 전면 패널과 후면 패널을 포함하고, 전면 패널은 스캔 전극 및 서스테인 전극 상에 형성된 유전체층, 유전체층 상부에 형성된 제 1 보호층 및 제 1 보호층 상부에 형성되고, 제 1 보호층으로부터 돌출되어 형성된 돌출부를 포함하는 제 2 보호층을 포함한다.The plasma display panel of the present invention for achieving the above object comprises a front panel and a rear panel bonded with a seal material, the front panel is a dielectric layer formed on the scan electrode and the sustain electrode, the first protection formed on the dielectric layer And a second protective layer formed over the layer and the first protective layer, the second protective layer including a protrusion formed to protrude from the first protective layer.

제 2 보호층의 돌출부는 복수 개로 형성되는 것을 특징으로 한다.A plurality of protrusions of the second protective layer is formed.

복수 개의 돌출부는 메쉬(Mesh)형으로 배열된 것을 특징으로 한다.The plurality of protrusions may be arranged in a mesh shape.

돌출부는 원뿔형, 반원형, 사다리꼴형, 정사각형, 직사각형 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 한다.The protrusion is characterized in that at least one of conical, semi-circular, trapezoidal, square, rectangular.

제 1 보호층은 전자빔법, 스퍼터링법, CVD법 중 어느 하나로 증착되는 것을 특징으로 한다.The first protective layer is deposited by any one of the electron beam method, the sputtering method, and the CVD method.

제 1 보호층의 두께는 2000Å이상 1㎛이하인 것을 특징으로 한다.The thickness of the 1st protective layer is characterized by being 2000 micrometers or more and 1 micrometer or less.

제 2 보호층은 전자빔법, 스퍼터링법, CVD법 중 어느 하나로 증착되는 것을 특징으로 한다.The second protective layer is deposited by any one of the electron beam method, the sputtering method, and the CVD method.

돌출부의 높이는 1000Å이상 1㎛이하인 것을 특징으로 한다.The height of the protruding portion is characterized by being 1000 mW or more and 1 m or less.

또한, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 (a) 진공 챔버 내에 유전체층이 형성된 전면 패널을 장착하는 단계, (b) 유전체층 상부에 제 1 보호층이 증착하는 단계 및 (c) 제 1 보호층 상부에 소정 패턴의 마스크를 이용하여 제 1 보호층으로부터 돌출되어 형성된 돌출부를 포함하는 제 2 보호층을 증착하는 단계를 포함한다.In addition, a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention includes (a) mounting a front panel having a dielectric layer formed in a vacuum chamber, (b) depositing a first protective layer over the dielectric layer, and (c) first protective And depositing a second passivation layer on the layer, the second passivation layer including a protrusion formed by protruding from the first passivation layer using a mask having a predetermined pattern.

제 2 보호층의 돌출부는 복수 개로 형성되는 것을 특징으로 한다.A plurality of protrusions of the second protective layer is formed.

마스크는 돌출부가 메쉬(Mesh)형으로 배열되도록 하는 메쉬(Mesh) 형의 패턴을 갖는 것을 특징으로 한다.The mask is characterized in that it has a mesh-shaped pattern such that the protrusions are arranged in a mesh shape.

돌출부는 원뿔형, 반원형, 사다리꼴형, 정사각형, 직사각형 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 한다.The protrusion is characterized in that at least one of conical, semi-circular, trapezoidal, square, rectangular.

제 1 보호층은 전자빔법, 스퍼터링법, CVD법 중 어느 하나로 증착되는 것을 특징으로 한다.The first protective layer is deposited by any one of the electron beam method, the sputtering method, and the CVD method.

제 1 보호층의 두께는 2000Å이상 1㎛이하인 것을 특징으로 한다.The thickness of the 1st protective layer is characterized by being 2000 micrometers or more and 1 micrometer or less.

제 2 보호층은 전자빔법, 스퍼터링법, CVD법 중 어느 하나로 증착되는 것을 특징으로 한다.The second protective layer is deposited by any one of the electron beam method, the sputtering method, and the CVD method.

돌출부의 높이는 1000Å이상 1㎛이하인 것을 특징으로 한다.The height of the protruding portion is characterized by being 1000 mW or more and 1 m or less.

챔버 내의 전면 패널의 온도는 100℃이상 200℃이하인 것을 특징으로 한다.The temperature of the front panel in the chamber is characterized in that more than 100 200 ℃.

챔버 내의 산소는 10sccm이상 50sccm이하인 것을 특징으로 한다.Oxygen in the chamber is characterized in that more than 10sccm 50sccm.

챔버 내의 MgO 증착율은 2Å/sec이상 10Å/sec이하인 것을 특징으로 한다. MgO deposition rate in the chamber is characterized in that more than 2 Å / sec 10 Å / sec.

챔버 내의 온도는 25℃이상 400℃이하인 것을 특징으로 한다.The temperature in the chamber is characterized in that more than 25 ℃ 400 ℃.

이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도이다.3 is a view showing the structure of a plasma display panel according to the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널은 화상이 디스플레이 되는 표시면인 전면 글라스(301)에 스캔 전극(302) 및 서스테인 전극(303)이 쌍을 이뤄 형성된 복수의 유지전극쌍이 배열된 전면 패널(300) 및 배면을 이루는 후면 글라스(311)상에 전술한 복수의 유지전극쌍과 교차되도록 복수의 어드레스 전극(313)이 배열된 후면 패널(310)이 일정거리를 사이에 두고 평행하게 결합된다.As shown in FIG. 3, a plasma display panel includes a front panel in which a plurality of sustain electrode pairs formed by pairing a scan electrode 302 and a sustain electrode 303 are formed on a front glass 301 that is a display surface on which an image is displayed. A rear panel 310 having a plurality of address electrodes 313 arranged so as to intersect the plurality of sustain electrode pairs on the back glass 311 forming the back surface 300 and the rear surface is coupled in parallel with a predetermined distance therebetween. .

전면 패널(300)은 하나의 방전셀에서 상호 방전시키고 셀의 발광을 유지하기 위한 스캔 전극(302) 및 서스테인 전극(303), 즉 투명한 물질로 형성된 투명전극(a)과 은(Ag)과 같은 금속 재질로 제작된 버스전극(b)으로 구비된 스캔 전극(302) 및 서스테인 전극(303)이 쌍을 이뤄 포함된다. 이러한 스캔 전극(302) 및 서스테인 전극(303)은 방전 전류를 제한하며 전극 쌍 간을 절연시켜주는 상부 유전체층(304) 에 의해 덮혀지고, 상부 유전체층(304) 상면에는 방전 조건을 용이하게 하기 위하여 산화마그네슘(MgO)을 증착한 제 1 보호층(305) 및 제 2 보호층(306)이 형성된다. 이 때, 제 2 보호층(305)은 제 1 보호층(305)으로부터 돌출되어 형성되는데, 이러한 돌출부는 도시된 바와 같이 복수개로 형성되는 바람직하다. 이와 같은 제 1 보호층 및 제 2 보호층에 대한 상세한 설명은 다음 도 4에서 후술하기로 한다.The front panel 300 includes a scan electrode 302 and a sustain electrode 303 for discharging each other in one discharge cell and maintaining light emission of the cells, that is, transparent electrodes a and silver Ag formed of a transparent material. The scan electrode 302 and the sustain electrode 303 provided as the bus electrode b made of a metal material are included in pairs. The scan electrode 302 and the sustain electrode 303 are covered by an upper dielectric layer 304 that limits the discharge current and insulates the electrode pairs, and is oxidized on the upper dielectric layer 304 to facilitate discharge conditions. A first protective layer 305 and a second protective layer 306 on which magnesium (MgO) is deposited are formed. At this time, the second protective layer 305 is formed to protrude from the first protective layer 305, it is preferable that a plurality of such protrusions are formed as shown. A detailed description of the first protective layer and the second protective layer will be described later with reference to FIG. 4.

한편, 후면 패널(310)은 복수 개의 방전 공간 즉, 방전셀을 형성시키기 위한 스트라이프 타입의 격벽(312)에 대해 평행을 유지하여 배열된다. 또한, 어드레스 방전을 수행하여 진공자외선을 발생시키는 다수의 어드레스 전극(313)이 격벽(312)에 대해 평행하게 배치된다. 이러한 후면 패널(310)의 상측면에는 어드레스 방전 시 화상표시를 위한 가시광선을 방출하는 R, G, B 형광체(314)가 도포된다. 또한, 어드레스 전극(313)과 형광체(314)사이에는 어드레스 전극(313)을 보호하기 위한 하부 유전체층(315)이 형성된다.On the other hand, the rear panel 310 is arranged in parallel with the stripe-type partition wall 312 for forming a plurality of discharge spaces, that is, discharge cells. In addition, a plurality of address electrodes 313 that perform address discharge to generate vacuum ultraviolet rays are arranged in parallel with the partition 312. The upper surface of the rear panel 310 is coated with R, G, and B phosphors 314 that emit visible light for image display during address discharge. In addition, a lower dielectric layer 315 is formed between the address electrode 313 and the phosphor 314 to protect the address electrode 313.

이와 같은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 전면 패널의 보호층에 대해 좀 더 살펴보면 다음과 같다.In the plasma display panel according to the present invention, the protective layer of the front panel will be described in more detail as follows.

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층을 나타낸 도이다.4 is a view showing a protective layer of the plasma display panel according to the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층은 도 3에서 전술한 바와 같이 제 1 보호층(305)과 제 2 보호층(306) 즉, 두 층으로 형성된다.As shown in FIG. 4, the protective layer of the plasma display panel according to the present invention is formed of two layers, that is, the first protective layer 305 and the second protective layer 306, as described above with reference to FIG. 3.

먼저 제 1 보호층(305)에 대해 살펴보면, 제 1 보호층(305)은 종래와 같이 전자빔법, 스퍼터링법, CVD법 중 어느 하나로 증착되어 형성된다. 이 때 제 1 보호층(305)의 두께는 2000Å이상 1㎛이하로 형성된다. 만약 제 1 보호층(305)이 2000Å이하의 두께를 가지면 상부 유전체층이 이온으로부터 받는 손상을 막아주는 역할을 하지 못하게 되며, 제 1 보호층(305)의 두께가 1㎛이상인 경우에는 방전전압을 낮추기 위한 이차전자의 공급이 느려지게 된다.First, the first protective layer 305 will be described. The first protective layer 305 is formed by being deposited by any one of the electron beam method, the sputtering method, and the CVD method. At this time, the thickness of the first protective layer 305 is formed to be 2000 μm or more and 1 μm or less. If the first passivation layer 305 has a thickness of 2000 Å or less, the upper dielectric layer does not play a role of preventing damage from ions. When the thickness of the first passivation layer 305 is 1 μm or more, the discharge voltage is lowered. Supply of secondary electrons is slowed.

또한, 제 2 보호층(306)에 대해 살펴보면, 제 2 보호층(306)은 제 1 보호층(305)으로부터 돌출되어 형성된 돌출부를 포함한다. 이와 같이 형성된 돌출부는 복수 개로 형성되는데, 이러한 제 2 보호층(306)의 형성은 메쉬(Mesh)형으로 배열된다. 이러한 제 2 보호층은 제 1 보호층과 같이 전자빔법, 스퍼터링법, CVD법 중 어느 하나로 증착되므로 도 4에서는 제 2 보호층 즉 돌출부가 정사각형으로 도시되어 있지만 증착되는 것에 따라서 돌출부는 원뿔형, 반원형, 사다리꼴형, 직사각형일 수도 있다. 이와 같이 돌출부로 제 2 보호층을 형성하는 이유는 보호층의 표면적을 넓혀 이차전자방출계수를 높이기 위함이다. 이 때, 제 2 보호층 즉 돌출부의 높이는 1000Å이상 1㎛이하로 형성된다. 만약 돌출부의 1000Å이하의 높이를 가지면 본 발명에서 원하는 표면적을 얻을 수 없으며, 돌출부의 높이가 1㎛이상인 경우에는 방전전압을 낮추기 위한 이차전자의 공급이 느려지게 된다.In addition, referring to the second protective layer 306, the second protective layer 306 includes a protrusion formed by protruding from the first protective layer 305. The plurality of protrusions formed as described above is formed, and the second protective layer 306 is formed in a mesh shape. Since the second protective layer is deposited by any one of the electron beam method, the sputtering method, and the CVD method like the first protective layer, in FIG. 4, the second protective layer, that is, the protrusion part, is shown as a square, but the protrusion part is conical, semi-circular, It may be trapezoidal or rectangular. The reason for forming the second protective layer as the protrusion is to increase the secondary electron emission coefficient by increasing the surface area of the protective layer. At this time, the height of the second protective layer, that is, the protrusion, is formed to be 1000 m or more and 1 m or less. If the protrusion has a height of 1000 μs or less, the desired surface area cannot be obtained in the present invention, and when the height of the protrusion is 1 μm or more, the supply of secondary electrons for lowering the discharge voltage becomes slow.

이와 같은 보호층을 포함하는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the manufacturing method of the plasma display panel according to the present invention including such a protective layer as follows.

도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 순차적으로 나타낸 블록도이다.5 is a block diagram sequentially illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention.

도 5에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 도 5의 우측에 나열된 전면 패널 제조과정과 좌측에 나열된 후면 패널 제조과정 및 하측에 나열된 실링 과정 등을 포함한 조립과정을 포함한다.As shown in FIG. 5, the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention includes an assembly process including a front panel manufacturing process listed on the right side of FIG. 5, a rear panel manufacturing process listed on the left side, and a sealing process listed below. .

먼저 도 5의 우측에 나열된 전면 패널은 기재가 되는 전면 글라스를 준비한 후(500) 전면 글라스 상부에 복수의 유지전극쌍이 형성된다(501). 이 후, 유지전극쌍 상부에 상부 유전체층이 형성되고(502), 상부 유전체층 상부에 유지전극쌍을 보호하기 위한 산화마그네슘으로 이루어진 제 1 보호층이 형성된 후(503), 메쉬를 이용하여 제 2 보호층을 형성된다(504).First, the front panel listed on the right side of FIG. 5 prepares a front glass as a substrate (500), and then a plurality of sustain electrode pairs are formed on the front glass (501). Thereafter, an upper dielectric layer is formed over the sustain electrode pair (502), and a first protective layer made of magnesium oxide for protecting the sustain electrode pair is formed over the upper dielectric layer (503), and then a second protection is performed using a mesh. A layer is formed (504).

이어서 도 5의 좌측에 나열된 후면 패널 제조과정을 살펴보면 전면 패널과 마찬가지로 먼저 기재가 되는 후면 글라스를 준비하고(510) 전면 패널에 형성된 유지전극쌍과 교차하여 대향되도록 복수의 어드레스 전극이 후면 글라스에 형성된다(511). 이 후, 어드레스 전극 상면에 하부 유전체층이 형성되고(512), 하부 유전체층 상면에 형광체층이 형성된다(513).Subsequently, referring to the rear panel manufacturing process listed on the left side of FIG. 5, similarly to the front panel, a rear glass which is first described is prepared (510), and a plurality of address electrodes are formed on the rear glass so as to face and cross the sustain electrode pair formed on the front panel. 511. Thereafter, a lower dielectric layer is formed on the upper surface of the address electrode (512), and a phosphor layer is formed on the upper surface of the lower dielectric layer (513).

이와 같이 제조된 전면 패널과 후면 패널은 서로 실링되어(520) 플라즈마 디스플레이 패널을 형성한다(530).The front panel and the rear panel manufactured as described above are sealed to each other (520) to form a plasma display panel (530).

이와 같이 형성되는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에서 전면 패널의 보호층을 형성하는 과정을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the process of forming a protective layer of the front panel in the plasma display panel according to the present invention formed as described above are as follows.

도 6a 내지 6d는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층이 형성되는 과정을 나타낸 도이다.6A through 6D illustrate a process of forming a protective layer of the plasma display panel according to the present invention.

도 6a에 도시된 바와 같이, 유지전극쌍 상부에 유전체층(304)이 형성된 전면 패널(301)을 제 1 보호층(305)을 증착시키기 위해 진공 챔버(610)내부로 진입시킨다. 이 때, 진공 챔버(610) 내부로 진입한 전면 패널(301)은 유전체층(304) 상부에 제 1 보호층(305)을 증착시키는 장치를 통해 제 1 보호층(305)이 증착되는데, 이러한 보호층 증착 장치는 전면 패널(301)을 고정하는 패널 고정부(630)와 전면 패널(301)이 소정거리로 이격되어 전면 패널(301)에 통상 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지는 보호층(305)을 증착시키는 증기 발산부(650)를 포함한다. 여기서, 증기 발산부(650)는 허스(Hearth, 650a)내에 산화마그네슘(MgO) 물질(650b)을 담아서 허스(Hearth, 650a)에 형성된 오리피스(Orifice, 650a1)를 통하여 전자빔(E-Beam,670)건으로 산화마그네슘(MgO) 물질(650b)을 집중 조사하는 장치를 말한다. 또한, 산화마그네슘(MgO)가 증착되기 위한 챔버 내의 온도는 25℃이상 400℃이하이고, 챔버 내에 증착되는 전면 패널의 온도는 100℃이상 200℃이하이며, 챔버 내의 산소는 10sccm이상 50sccm이하의 범위를 가진다.As shown in FIG. 6A, the front panel 301 having the dielectric layer 304 formed on the sustain electrode pair enters the vacuum chamber 610 to deposit the first protective layer 305. At this time, the first protective layer 305 is deposited on the front panel 301 that enters the vacuum chamber 610 through a device for depositing the first protective layer 305 on the dielectric layer 304. In the layer deposition apparatus, the panel fixing part 630 for fixing the front panel 301 and the front panel 301 are separated from each other by a predetermined distance to form a protective layer 305 which is usually made of magnesium oxide (MgO) on the front panel 301. It includes a vapor diverging portion 650 to deposit. Here, the vapor dissipation unit 650 contains a magnesium oxide (MgO) material 650b in the hearth (Hearth, 650a) and through an orifice (650a 1 ) formed in the hearth (Hearth, 650a), the electron beam (E-Beam, 670) refers to a device for intensive irradiation of magnesium oxide (MgO) material (650b). In addition, the temperature in the chamber for the deposition of magnesium oxide (MgO) is 25 ℃ or more and 400 ℃ or less, the temperature of the front panel deposited in the chamber is 100 ℃ or more and 200 ℃ or less, oxygen in the chamber is 10sccm or more and 50sccm or less. Has

이 후, 보호층 증착장치(630, 650)를 이용하여 도 6b에 도시된 바와 같이 증기 발산부(650)의 산화마그네슘 물질(650b)을 허스(Hearth, 650a)에 형성된 오리피스(Orifice, 650a1)를 통하여 전자빔(E-Beam, 670)으로 집중 조사하면 산화마그네슘(650b)은 기체상태로 승화되고, 이러한 산화마그네슘 기체의 승화상태인 증기가 전면 패널(301)의 유전체층(304) 표면에 달라붙어 도 6c에 도시된 바와 같이 제 1 보호층이 형성된다. 이 때 형성되는 제 1 보호층의 두께는 2000Å이상 1㎛이하이다.Thereafter, as shown in FIG. 6B using the protective layer deposition apparatuses 630 and 650, the orifice 650a 1 in which the magnesium oxide material 650b of the vapor diverging part 650 is formed in the hearth 650a. When concentrated irradiation with the electron beam (E-Beam, 670) through the), the magnesium oxide (650b) is sublimated to the gas state, the vapor of the sublimation state of the magnesium oxide gas is different from the surface of the dielectric layer 304 of the front panel 301 The first protective layer is formed as shown in FIG. 6C. The thickness of the 1st protective layer formed at this time is 2000 micrometers or more and 1 micrometer or less.

이 후, 도 6d에 도시된 바와 같이 전면 패널(301)의 유전체층(304) 상부에 형성된 제 1 보호층(305) 상부와 소정거리로 이격된 증기 발산부(650) 사이에는 메쉬(620)가 장착된다. 여기서 메쉬(620)는 금속재질로 형성된 물질에 복수 개의 홀(Hole)이 형성되어 있는 것으로, 예를 들어 그물망의 형태를 가지고 있다. 이와 같은 메쉬(620) 및 보호층 증착장치(630, 650)를 이용하여 증기 발산부(650)의 산화마그네슘 물질(306)을 허스(650a)에 형성된 오리피스(650a1)를 통하여 전자빔(670)으로 집중조사하면 산화마그네슘(306)은 기체 상태로 승화되고, 이러한 산화마그네슘(306) 기체가 메쉬(306)를 통과하여 제 1 보호층(305) 표면에 달라붙어 돌출부를 포함하는 제 2 보호층(306)이 형성된다. 이와 같이 형성되는 돌출부(306)는 메쉬(620)가 복수 개의 홀로 형성되어 있으므로 복수 개의 돌출부가 형성된다. 이 때 형성되는 돌출부(306)의 높이는 1000Å이상 1㎛이하이다. 그러나 이러한 돌출부(306)는 증기가 증착하여 형성되기 때문에 원뿔형, 반원형, 사다리꼴형, 정사각형, 직사각형 등의 여러 가지 형태를 가진다.Thereafter, as illustrated in FIG. 6D, a mesh 620 is disposed between the upper portion of the first protective layer 305 formed on the dielectric layer 304 of the front panel 301 and the vapor diverging portion 650 spaced a predetermined distance apart. Is mounted. Here, the mesh 620 is formed of a plurality of holes (Hole) in a material formed of a metal material, for example, has a form of a net. Using the mesh 620 and the protective layer deposition apparatuses 630 and 650, the electron beam 670 through the orifice 650a 1 formed on the hus 650a of the magnesium oxide material 306 of the vapor diverging part 650. In this case, the magnesium oxide 306 is sublimated into a gaseous state, and the magnesium oxide 306 gas passes through the mesh 306 and adheres to the surface of the first protective layer 305 to include a protrusion. 306 is formed. The protrusion 306 formed as described above has a plurality of holes because the mesh 620 is formed of a plurality of holes. The height of the protrusion 306 formed at this time is 1000 micrometers or more and 1 micrometer or less. However, since the protrusion 306 is formed by vapor deposition, the protrusion 306 may have various shapes such as a cone, a semicircle, a trapezoid, a square, and a rectangle.

한편, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제 1 보호층 및 제 2 보호층 증착방법은 전자빔법을 예로 들어 전술하였지만, 스터퍼링법, CVD법 등을 이용하여 형성될 수도 있다. 또한 챔버 내에서의 산화마그네슘(MgO) 증착율은 2Å/sec이상 10Å/sec이하이다.Meanwhile, the method of depositing the first protective layer and the second protective layer of the plasma display panel according to the present invention has been described above by taking an electron beam method as an example, but may be formed using a stuffing method, a CVD method, or the like. The deposition rate of magnesium oxide (MgO) in the chamber is 2 kPa / sec or more and 10 kPa / sec or less.

이와 같이 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층을 제 1 보호층 및 돌출부를 포함한 제 2 보호층으로 형성함으로써 보호층의 표면적을 넓혀 이차전자방출계수를 높이는 효과가 있다.As described above, the protective layer of the plasma display panel according to the present invention is formed of the second protective layer including the first protective layer and the protrusion, thereby increasing the surface area of the protective layer and increasing the secondary electron emission coefficient.

상술한 바와 같이, 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.As described above, the technical configuration of the present invention can be understood by those skilled in the art that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention.

그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the above-described embodiments are to be understood as illustrative and not restrictive in all respects, and the scope of the present invention is indicated by the appended claims rather than the detailed description, and the meaning and scope of the claims and their All changes or modifications derived from equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention.

이상에서 보는 바와 같이, 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층을 제 1 보호층을 형성하고 그 위에 돌출부를 포함한 제 2 보호층을 형성함으로써 보호층 전체의 표면적을 넓어져 이차전자방출계수는 높아진다. 이에 따라 플라즈마 디스플레이 패널의 수명 및 휘도를 향상시키는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the protective layer of the plasma display panel forms a first protective layer and a second protective layer including protrusions is formed thereon, thereby increasing the surface area of the entire protective layer and increasing the secondary electron emission coefficient. Accordingly, there is an effect of improving the lifetime and brightness of the plasma display panel.

Claims (20)

실(Seal)재로 합착된 전면 패널과 후면 패널을 포함하고,Including a front panel and a rear panel bonded with a seal material, 상기 전면 패널은The front panel 스캔 전극 및 서스테인 전극 상에 형성된 유전체층;A dielectric layer formed on the scan electrode and the sustain electrode; 상기 유전체층 상부에 형성된 제 1 보호층; 및A first protective layer formed on the dielectric layer; And 상기 제 1 보호층 상부에 형성되고, 상기 제 1 보호층으로부터 돌출되어 형성된 돌출부를 포함하는 제 2 보호층;A second protective layer formed on the first protective layer and including a protrusion formed to protrude from the first protective layer; 을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널.Plasma display panel comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 보호층의 돌출부는 복수개로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.And a plurality of protrusions of the second protective layer. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 복수개의 돌출부는 메쉬(Mesh)형으로 배열된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.And the plurality of protrusions are arranged in a mesh shape. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 돌출부는 원뿔형, 반원형, 사다리꼴형, 정사각형, 직사각형 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.And the protrusion is at least one of a cone, a semicircle, a trapezoid, a square, and a rectangle. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 보호층은 전자빔법, 스퍼터링법, CVD법 중 어느 하나로 증착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.And the first protective layer is deposited by any one of an electron beam method, a sputtering method, and a CVD method. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,The method according to claim 1 or 5, 상기 제 1 보호층의 두께는 2000Å이상 1㎛이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.And the thickness of the first protective layer is 2000 m 3 or more and 1 m or less. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 보호층은 전자빔법, 스퍼터링법, CVD법 중 어느 하나로 증착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.And the second protective layer is deposited by any one of an electron beam method, a sputtering method, and a CVD method. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 돌출부의 높이는 1000Å이상 1㎛이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.And a height of the protruding portion is 1000 m or more and 1 m or less. (a) 진공 챔버 내에 유전체층이 형성된 전면 패널을 장착하는 단계;(a) mounting a front panel having a dielectric layer formed in the vacuum chamber; (b) 상기 유전체층 상부에 제 1 보호층을 증착하는 단계; 및(b) depositing a first passivation layer over the dielectric layer; And (c) 상기 제 1 보호층 상부에 소정 패턴의 마스크를 이용하여 상기 제 1 보호층으로부터 돌출되어 형성된 돌출부를 포함하는 제 2 보호층을 증착하는 단계;(c) depositing a second passivation layer on the first passivation layer, the second passivation layer including a protrusion formed by protruding from the first passivation layer using a mask having a predetermined pattern; 를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.Method of manufacturing a plasma display panel comprising a. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제 2 보호층의 돌출부는 복수개로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And a plurality of protrusions of the second protective layer are formed. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 마스크는 상기 돌출부가 메쉬(Mesh)형으로 배열되도록 하는 메쉬(Mesh) 형의 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And wherein the mask has a mesh-shaped pattern in which the protrusions are arranged in a mesh shape. 제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 9 to 11, 상기 돌출부는 원뿔형, 반원형, 사다리꼴형, 정사각형, 직사각형 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.The protrusion may be at least one of a cone, a semicircle, a trapezoid, a square, and a rectangle. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제 1 보호층은 전자빔법, 스퍼터링법, CVD법 중 어느 하나로 증착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And the first protective layer is deposited by any one of an electron beam method, a sputtering method, and a CVD method. 제 9 항 또는 제 13 항에 있어서,The method according to claim 9 or 13, 상기 제 1 보호층의 두께는 2000Å이상 1㎛이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And the thickness of the first protective layer is 2000 m 3 or more and 1 m or less. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제 2 보호층은 전자빔법, 스퍼터링법, CVD법 중 어느 하나로 증착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And said second protective layer is deposited by any one of an electron beam method, a sputtering method, and a CVD method. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 돌출부의 높이는 1000Å이상 1㎛이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And a height of the protruding portion is 1000 m 3 or more and 1 m or less. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 챔버 내의 전면 패널의 온도는 100℃이상 200℃이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And a temperature of the front panel in the chamber is 100 ° C. or more and 200 ° C. or less. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 챔버 내의 산소는 10sccm이상 50sccm이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And oxygen in the chamber is 10 sccm or more and 50 sccm or less. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 챔버 내의 산화마그네슘(MgO) 증착율은 2Å/sec이상 10Å/sec이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And a magnesium oxide (MgO) deposition rate in the chamber is 2 kW / sec or more and 10 kW / sec or less. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 챔버 내의 온도는 25℃이상 400℃이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.And a temperature in the chamber is 25 ° C. or more and 400 ° C. or less.
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