KR20060092015A - E-paper panel and manufacturing method thereof - Google Patents

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KR20060092015A KR1020050013306A KR20050013306A KR20060092015A KR 20060092015 A KR20060092015 A KR 20060092015A KR 1020050013306 A KR1020050013306 A KR 1020050013306A KR 20050013306 A KR20050013306 A KR 20050013306A KR 20060092015 A KR20060092015 A KR 20060092015A
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최호성
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Abstract

본 발명은 이-페이퍼 패널 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 종래 패널 형성시 폴리머나 세라믹층을 샌드 블라스팅 공법으로 패터닝하여 격벽을 제조하는 경우 샌드 블라스팅 공법을 적용할 수 있을 정도의 높은 경도를 가진 재료를 사용해야 하므로 재료 선정에 제한이 발생하며 패널의 유연성이 낮아져 물리적 충격에 취약해지는 문제점이 있었다. 또한, 포토 레지스트를 격벽으로 이용하는 경우 광중합에 의해 격벽을 경화시키는 것이므로 화학적으로 취약한 문제점이 있었다. 상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 유연성을 가지며 화학적으로 안정한 완전중합 폴리머를 재료로 하는 격벽시트에 마스크 패턴을 형성한 후 상기 구조물에 정의된 셀 영역을 이방성 습식 식각하여 제조한 격벽을 상판 및 하판 사이에 적용함으로써 용이한 격벽 형성 공정을 통해 패널의 유연성과 화학적 안정성을 모두 개선할 수 있도록 한 효과가 있다.The present invention relates to a two-paper panel and a method for manufacturing the same. In the case of forming a partition wall by patterning a polymer or ceramic layer by a sand blasting method in forming a conventional panel, a material having a high hardness enough to be applied to the sand blasting method Since the use of the material is limited in selection of the material, the flexibility of the panel is low, there is a problem that is vulnerable to physical impact. In addition, when the photoresist is used as the barrier rib, the barrier rib is cured by photopolymerization. In view of the above problems, the present invention forms a mask pattern on a barrier sheet made of a flexible and chemically stable fully polymerized polymer, and then forms an upper plate and a bottom plate by anisotropic wet etching a cell region defined in the structure. By applying in between, it is possible to improve both the flexibility and chemical stability of the panel through an easy partitioning process.

Description

이-페이퍼 패널 및 그 제조 방법{E-PAPER PANEL AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}E-PAPER PANEL AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

도 1은 종래 이-페이퍼 패널 구조를 보인 단면도.1 is a cross-sectional view showing a conventional two-paper panel structure.

도 2a 내지 도 2f는 종래 이-페이퍼 패널 제조 과정을 보인 수순 단면도.Figure 2a to 2f is a cross-sectional view showing a conventional process for manufacturing a two-paper panel.

도 3a 내지 도 3d는 본 발명 일 실시예의 제조 과정을 보인 수순 단면도.Figure 3a to 3d is a cross-sectional view showing a manufacturing process of an embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4d는 본 발명 다른 실시예의 제조 과정을 보인 수순 단면도.Figures 4a to 4d is a cross-sectional view showing a manufacturing process of another embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명 일 실시예의 폴리머 습식 식각시 사용되는 식각 메커니즘을 보인 개념도.5 is a conceptual diagram showing an etching mechanism used in the wet etching polymer of an embodiment of the present invention.

도 6a 내지 도 6b는 본 발명에 따른 격벽을 이용한 이-페이퍼 패널의 제조 예들을 보인 단면도.6A to 6B are cross-sectional views illustrating examples of manufacturing a two-paper panel using partition walls according to the present invention.

***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명****** Explanation of symbols for main parts of drawing ***

10: 하부 기판 20: 하부 전극10: lower substrate 20: lower electrode

30: 하부 절연층 40: 격벽30: lower insulating layer 40: partition wall

50: 토너 입자 60: 상부 기판50: toner particles 60: upper substrate

70: 상부 전극 80: 상부 절연층70: upper electrode 80: upper insulating layer

100, 120: 폴리머 격벽 110: 포토 레지스트100, 120: polymer partition 110: photoresist

본 발명은 이-페이퍼 패널 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 충돌 대전형 이-페이퍼 패널의 격벽을 완전중합된 폴리머 시트를 습식 식각으로 패터닝하여 사용하도록 하여 유연성과 화학적 안정성 모두를 만족시키는 격벽을 제공하도록 한 이-페이퍼 패널 및 그 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a two-paper panel and a method of manufacturing the same. Particularly, the partition wall of the collision-charged two-paper panel is used by patterning a fully polymerized polymer sheet by wet etching, thereby satisfying both flexibility and chemical stability. The present invention relates to a two-paper panel provided and a method of manufacturing the same.

다양한 표시 장치들의 필요성이 대두되고 있는 가운데, 보다 작은 구동 전력으로 보다 오랫동안 선명한 화질을 제공해 줄 수 있는 이-페이퍼(E-paper) 기술이 개발되었다.With the necessity of various display devices, E-paper technology has been developed that can provide a clear image quality for a long time with smaller driving power.

이-페이퍼 기술은 전기장에 의한 마이크로 입자의 빠른 이동을 이용하여 일정한 공간 내에 부유하는 대전된 입자를 정전기적으로 이동시켜 색을 표시하는 기술로서, 어떠한 극에서든 이동이 일어난 후에는 메모리 효과로 인해 전압을 제거해도 입자들의 위치변화가 없기 때문에 이미지가 사라지지 않아 마치 종이에 잉크로 인쇄된 것과 같은 효과를 얻을 수 있다. 즉, 자체적인 발광은 하지 않지만 시각 피로도가 대단히 낮아 실제 책을 보는 것과 같은 편안한 감상이 가능하며 패널의 유연성이 뛰어나 구부릴 수 있는 정도가 높으며 그 두께 역시 대단히 얇게 형성할 수 있어 미래형 평판 표시 기술로 큰 기대를 모으고 있다. 또한, 언급한 바와 같이 한번 표시된 이미지가 패널을 리셋하지 않는한 오랜시간 유지되기 때문에 소비전력이 극히 낮아 휴대용 표시 장치로서의 활용성이 뛰어나다. 특히, 간단한 공정 및 저가 재료에 의한 낮은 가격은 이-페이퍼 패널의 대중화에 기여할 것으로 예상되고 있 다.E-paper technology uses the rapid movement of microparticles by an electric field to electrostatically move charged particles suspended in a certain space to display colors. Removing the particles does not change the position of the particles, so that the image does not disappear, as if printed on paper with ink. In other words, it does not emit light by itself, but the visual fatigue is very low, so it is possible to enjoy comfortable viewing like a real book, and the panel's flexibility is high enough to bend and the thickness can be formed very thin. Expecting. In addition, as mentioned above, since the image displayed once is maintained for a long time unless the panel is reset, the power consumption is extremely low, and thus the utility as a portable display device is excellent. In particular, low prices due to simple processes and low cost materials are expected to contribute to the popularization of e-paper panels.

도 1은 건식 입자를 이용하는 종래의 충돌 대전형 이-페이퍼 패널의 단면을 보인 것으로, 그 구조는 절연층(30, 80)으로 코팅된 투명 전극(ITO)들(20, 70)이 형성된 상하부 기판들(10, 60) 사이에 격벽(40)이 형성되며, 상기 격벽(40)에 의해 확보된 공간에 정대전된 토너 입자들과 부대전된 토너 입자들(50)이 존재하는 비교적 간단한 구조이다. 1 is a cross-sectional view of a conventional collision-charged two-paper panel using dry particles, the structure of which is the upper and lower substrates formed with transparent electrodes (ITO) 20, 70 coated with an insulating layer (30, 80) The partition walls 40 are formed between the fields 10 and 60, and the toner particles charged and the toner particles 50 charged in the space secured by the partition walls 40 are relatively simple. .

상기 하부 기판(10)과 상부 기판(60)의 두께는 제약이 없으나, 정전기력으로 토너 입자들(50)을 움직여야 하므로 실제 격벽(40)의 두께(수십~수백㎛)나 토너 입자들(50)의 크기는 대단히 미소하다는데 주의한다. 그리고, 상기 상하부 기판들(10, 20)의 두께에 비해서 투명한 상하부 전극들(20, 70)의 두께는 표현된 것 보다 훨씬 얇고, 상기 전극들(20, 70)과 토너 입자들(50)의 접촉에 의한 전자 이동을 방지하도록 상기 전극들(20, 70)에 코팅된 절연층(30)의 두께 또한 얇다는데 주의한다. The thickness of the lower substrate 10 and the upper substrate 60 is not limited, but since the toner particles 50 must be moved by the electrostatic force, the thickness of the actual partition wall 40 (tens of tens to hundreds of micrometers) or the toner particles 50 is not limited. Note that the size of is very small. In addition, the thickness of the transparent upper and lower electrodes 20 and 70 is much thinner than that of the upper and lower substrates 10 and 20, and the thicknesses of the electrodes 20 and 70 and the toner particles 50 may be reduced. Note that the thickness of the insulating layer 30 coated on the electrodes 20 and 70 is also thin so as to prevent electron movement by contact.

상기와 같은 구조로 이루어진 이-페이퍼의 동작 원리를 알아보면, 먼저 상기 흑색 토너 입자가 정대전되고, 백색 토너 입자가 부대전되었다고 가정(반대로 대전될 수도 있음)한다. 먼저, 상부 전극(70)에 -전압을 인가하고, 하부 전극(20)에 +전압을 인가하면 쿨롱력에 의해 정대전된 백색 입자는 상부 기판(60)쪽으로 이동하고, 부대전된 흑색 입자는 하부 기판(10)쪽으로 이동한다. 상부 기판(60)쪽에 백색 토너 입자(50)가 위치하고 있으므로, 외부에서 관찰할 경우 백색으로 보이게 된다. 반대로, 상부 전극(70)에 +전압을 인가하고, 하부 전극(20)에 -전압을 인가하면 부 대전된 흑색 입자는 상부 기판(60)쪽으로 이동하고, 정대전된 백색 입자는 하부 기판(10)쪽으로 이동하여 흑색으로 표시되게 된다. 따라서, 처음에 모든 셀이 백색으로 보이도록 전압을 가한 후, 원하는 셀만 반대 전압을 가해 흑색으로 보이도록 하는 것으로 그림이나 문자등을 표현할 수 있게 되는 것이다.Referring to the principle of operation of the two-paper structured as described above, it is first assumed that the black toner particles are positively charged, and that the white toner particles are negatively charged (which may be oppositely charged). First, when a negative voltage is applied to the upper electrode 70 and a positive voltage is applied to the lower electrode 20, white particles positively charged by the coulomb force move toward the upper substrate 60, and the negatively charged black particles Move toward the lower substrate 10. Since the white toner particles 50 are located on the upper substrate 60 side, they appear white when viewed from the outside. On the contrary, when + voltage is applied to the upper electrode 70 and-voltage is applied to the lower electrode 20, the negatively charged black particles move toward the upper substrate 60, and the positively charged white particles move to the lower substrate 10. It will move to) and display in black. Therefore, after applying a voltage so that all the cells appear white at first, only the desired cell is applied with the opposite voltage so that the cells appear black.

도 2는 도 1에 도시한 종래 건식 이-페이퍼 패널을 제조하는 과정을 보인 수순 단면도이다. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a process of manufacturing a conventional dry two-paper panel shown in FIG. 1.

먼저, 도 2a에 도시한 바와 같이 하부 기판(10) 상부에 투명한 하부 전극(20)과 절연층(30)을 차례로 형성한다. 상기 이-페이퍼 패널의 기본 전극 구조는 매트릭스 구조이므로 상기 하부 전극(20)은 우측에 도시한 사시도와 같은 형태를 가진다. 상기 투명 전극은 ITO인 것이 바람직하며, 그 상부에 적용되는 절연층(30)은 생략되어도 구동에는 문제가 없으나, 대전된 토너 입자들이 전극에 밀착되면서 전자 이동이 발생하게 되면 메모리 효과가 감소되어 새로운 전원 인가 없이 영상을 오랫동안 보존하기 어려울 수 있으므로 적용되는 것이 바람직하다.First, as illustrated in FIG. 2A, a transparent lower electrode 20 and an insulating layer 30 are sequentially formed on the lower substrate 10. Since the basic electrode structure of the e-paper panel is a matrix structure, the lower electrode 20 has a shape similar to the perspective view shown on the right side. It is preferable that the transparent electrode is ITO, and there is no problem in driving even if the insulating layer 30 applied thereon is omitted. However, when the toner particles are in close contact with the electrode and electron movement occurs, the memory effect is reduced. It may be difficult to preserve an image for a long time without applying power, so it is desirable to apply it.

그리고, 도 2b에 도시한 바와 같이 상기 기판 상부에 격벽(40)을 형성한다. 상기 격벽(40)은 단순히 셀 단위를 구분하기 위한 용도로 사용되는 것이므로 그 재료는 폴리머, 무기질 소재 등 다양할 수 있는데, 일반적으로 격벽(40)을 구성하기 위한 방법으로는 경도가 큰 폴리머나 세라믹 소재의 패널을 샌드 블라스트(sand blast)를 통해 패터닝하거나 포토 레지스트를 도포한 후 노광 및 선택적 현상하여 레지스트층 자체를 격벽으로 이용할 수 있다. 또한, 미리 만들어진 재료를 잘라서 사용하는 라미네이팅 방법등이 사용될 수 있으며, 접착의 경우 자외선 접착제와 자 외선 조사등의 방식으로 기 형성된 하판 상에 적용될 수 있다. 일반적인 격벽(40)은 우측의 사시도와 같은 격자 구조를 가지게 된다.As shown in FIG. 2B, a partition wall 40 is formed on the substrate. Since the partition 40 is simply used to distinguish cell units, the material may be a polymer, an inorganic material, or the like. Generally, a method of constituting the partition 40 includes a polymer or a ceramic having a high hardness. The panel of material may be patterned through a sand blast or coated with photoresist, followed by exposure and selective development to use the resist layer itself as a partition. In addition, a laminating method such as cutting and using a pre-made material may be used, and in the case of adhesion, it may be applied on a preformed lower plate by a method such as UV adhesive and ultraviolet irradiation. The general partition 40 has a lattice structure as shown in the right perspective view.

그리고, 도 2c에 도시한 바와 같이 코로나 방전등을 이용하여 음으로 대전시킨 토너 입자들(50)을 노즐로 분사하여 상기 격벽(40)으로 구분된 공간 상에 주입한다. 이때, 하부 전극(20)에 양전압을 인가하거나 기판(10) 하부에 양전계를 가할 수 있는 수단을 부가하여 분사되는 토너 입자들(50)이 격벽(40) 내부에 쉽게 도달할 수 있도록 한다. 상기 토너 입자들(50)은 내부적으로 대전 특성을 조절할 수 있는 첨가물질을 가지고 있으며, 토너 입자들(50)끼리 충돌하게 되면 대전 특성이 나타나게 되므로 주입을 위해 음으로 대전한다 하더라도 패널 완성후 전극에 교류를 인가하게 되면 자신의 대전 특성을 찾을 수 있게 된다. As shown in FIG. 2C, negatively charged toner particles 50 using a corona discharge lamp are injected into a nozzle and injected into a space separated by the partition wall 40. At this time, by applying a positive voltage to the lower electrode 20 or a means for applying a positive electric field to the lower portion of the substrate 10 so that the toner particles 50 injected can easily reach the inside of the partition 40. . The toner particles 50 have an additive material for controlling charging characteristics internally, and when the toner particles 50 collide with each other, the charging characteristics appear. When you apply AC, you will be able to find your match characteristics.

그리고, 도 2d에 도시한 바와 같이 상기 격벽(40) 상부에 위치한 토너 입자들(50a)을 다양한 방법으로 제거한다. 가장 일반적인 방법은 접착제를 바른 롤러등으로 격벽(40) 상부의 토너 입자들(50a)을 흡착시켜 제거하는 방법이 있으며, 별도의 마스크를 격벽(40) 상부에 배치한 상태로 토너 분사를 마친후 해당 마스크를 제거하는 방법 등도 사용할 수 있다.As shown in FIG. 2D, the toner particles 50a disposed on the partition 40 are removed by various methods. The most common method is to adsorb and remove toner particles 50a on the top of the partition wall 40 using an adhesive roller or the like, and after the toner jet is finished with a separate mask disposed on the top of the wall 40. The method of removing the mask can also be used.

그리고, 도 2e에 도시한 바와 같이 상판으로 사용하기 위해 하판과 동일한 공정으로 투명 상부 기판(60)에 차례로 투명 상부 전극(70) 및 상부 절연층(80)을 형성한다. 이때의 상부 전극(70) 역시 도 2a에 도시한 바와 같은 구조를 가질 수 있으나 방향은 하부 전극과 수직 방향을 가지도록 한다.As shown in FIG. 2E, the transparent upper electrode 70 and the upper insulating layer 80 are sequentially formed on the transparent upper substrate 60 in the same process as the lower plate for use as the upper plate. In this case, the upper electrode 70 may also have a structure as shown in FIG. 2A, but has a direction perpendicular to the lower electrode.

그리고, 도 2f에 도시한 바와 같이 상기 형성한 상판(60, 70, 80)을 기 형성 된 하판(10, 20, 30) 및 격벽(40) 상부에 배치하여 접합한다. 이후, 필요하다면 각 전극에 반대 전압을 교번하여 반복 인가하는 것으로 토너들(50)을 움직여 서로 출돌시켜 각각 음 혹은 양으로 대전되도록 한다.As shown in FIG. 2F, the formed upper plates 60, 70, and 80 are disposed on and bonded to the lower plates 10, 20, 30, and the partition 40, which are previously formed. Then, if necessary, by repeatedly applying the opposite voltage to each electrode, the toners 50 are moved and run to each other so as to be negatively or positively charged, respectively.

이러한 건식 이-페이퍼 패널은 응답속도 및 공정 용이성 면에서 기존의 액상형보다 뛰어나지만, 아직까지 체계적인 제조 방법이 정립되어 있지 못하다. 특히, 패널의 격벽 형성시 폴리머나 세라믹층을 샌드 블라스팅으로 패터닝하는 경우 샌드 블라스팅 공법을 적용할 수 있을 정도의 높은 경도를 가진 재료를 사용해야 하므로 재료 선정에 제한이 발생하며 패널의 유연성이 낮아져 물리적 충격에 취약해지는 문제점이 있었다. 또한, 포토 레지스트를 이용하는 경우 광중합(photo-polymerization)에 의해 격벽을 경화시키는 것이므로 화학적으로 취약한 문제점이 발생하게 된다. The dry two-paper panel is superior to the conventional liquid phase in terms of response speed and ease of processing, but a systematic manufacturing method has not yet been established. Particularly, when the polymer or ceramic layer is patterned by sand blasting when forming the barrier ribs of the panel, a material having a high hardness enough to be applied to the sand blasting method must be used. There was a problem of becoming vulnerable. In addition, when the photoresist is used to harden the partition wall by photo-polymerization, a chemically weak problem occurs.

상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 유연성을 가지며 화학적으로 안정한 완전중합 폴리머를 재료로 하는 격벽 시트에 마스크 패턴을 형성한 후 상기 구조물에 정의된 셀 영역을 이방성 습식 식각하여 제조한 격벽을 상판 및 하판 사이에 적용함으로써 유연성과 화학적 안정성을 모두 만족하도록 한 이-페이퍼 패널 및 그 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention for solving the above problems is formed by forming a mask pattern on a partition sheet of a flexible and chemically stable fully polymerized polymer material and then anisotropic wet etching the cell region defined in the structure. It is an object of the present invention to provide a two-paper panel and a method of manufacturing the same that is applied between the upper and lower plates to satisfy both flexibility and chemical stability.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 하부 전극이 형성된 하부 기판과; 상부 전극이 형성된 상부 기판과; 셀 구성을 위한 이방성 습식 식각 패턴 을 가지며 상기 상부 기판과 하부 기판 사이에 위치하는 완전중합 폴리머 소재의 격벽과; 상기 격벽의 패턴으로 정의된 셀 영역에 주입된 건식 토너 입자들을 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the present invention includes a lower substrate formed with a lower electrode; An upper substrate on which the upper electrode is formed; Barrier ribs of a fully polymerized polymer material having an anisotropic wet etching pattern for cell configuration and positioned between the upper substrate and the lower substrate; And dry toner particles injected into the cell region defined by the pattern of the barrier rib.

또한, 본 발명은 전극을 형성한 상판 및 하판을 준비하는 단계와; 완전중합 폴리머를 재료로한 격벽용 폴리머 시트의 적어도 한면에 셀 형성을 위한 마스크 패턴을 형성하는 단계와; 상기 완전중합 폴리머를 이방성 식각할 수 있는 습식 식각액을 상기 구조물에 적용하여 마스크 패턴으로 정의된 셀 영역의 폴리머 시트를 식각 제거하는 단계와; 상기 격벽용 폴리머 시트에서 마스크 패턴을 제거하여 격벽을 완성하는 단계와; 상기 격벽을 상기 하판에 적용하고 토너 입자를 분사한 후 그 상부에 상판을 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the present invention comprises the steps of preparing an upper plate and a lower plate formed electrode; Forming a mask pattern for cell formation on at least one side of the barrier polymer sheet made of a fully polymerized polymer; Applying a wet etchant capable of anisotropically etching the fully polymerized polymer to the structure to etch away the polymer sheet of the cell region defined by the mask pattern; Removing the mask pattern from the polymer sheet for partition walls to complete the partition walls; Applying the partition to the lower plate and spraying toner particles, and bonding the upper plate to the upper plate.

상기한 바와같은 본 발명을 일 실시예를 통해 상세히 설명하면 다음과 같다. The present invention as described above will be described in detail through one embodiment as follows.

도 3a 내지 도 3d는 본 발명 일 실시예를 통한 격벽 제조 과정을 보인 수순 단면도로서, 도시한 바와 같이 격벽 재료로 사용된 격벽 패널(100)의 양면에 마스크 패턴(110)을 형성한 후 습식 식각하여 셀 영역을 정의하는 과정으로 이루어진다.3A to 3D are cross-sectional views illustrating a process of fabricating a partition wall according to an exemplary embodiment of the present invention. As illustrated, wet etching is performed after forming a mask pattern 110 on both sides of a partition panel 100 used as a partition material. Is to define the cell area.

본 발명은 유연성과 화학적으로 안정한 격벽을 제조하는 것을 목적으로 하므로 도시된 공정에서 사용되는 격벽 물질은 유연성을 가지며 화학적으로 안정한 완전중합된 폴리머이다. Since the present invention aims to produce flexible and chemically stable partition walls, the partition material used in the illustrated process is a flexible and chemically stable fully polymerized polymer.

위와 같은 폴리머 물질을 이용한 격벽 형성 과정을 보면, 도 3a와 같이 폴리머 격벽(100)용 시트 상부 및 하부에 포토 레지스트(110)를 도포한다. Referring to the process of forming the partition wall using the polymer material as described above, the photoresist 110 is applied to the upper and lower sheets of the polymer partition wall 100 as shown in FIG. 3A.

그리고, 도 3b와 같이 셀을 형성할 부분의 폴리머 격벽(100)용 시트가 노출되도록 포토 레지스트(110)를 제거하도록 자외선을 조사한 후 현상하여 도시된 바와 같은 포토 레지스트 패턴을 형성한다. 이 경우 상기 포토 레지스트 패턴은 상기 폴리머 시트의 상하부에서 동일한 패턴을 가지도록 한다.As shown in FIG. 3B, ultraviolet rays are irradiated to remove the photoresist 110 so that the sheet for the polymer barrier 100 of the portion to form the cell is exposed, and then developed to form a photoresist pattern as shown. In this case, the photoresist pattern is to have the same pattern on the upper and lower parts of the polymer sheet.

그리고, 도 3c와 같이 상기 포토 레지스트 패턴(110)에 의해 노출된 폴리머 격벽(100) 시트의 양면에 식각액을 도포 혹은 분사하거나 상기 구조물을 식각 용액에 디핑하여 식각을 실시한다. 상기 폴리머 격벽(100)의 식각은 이방성 식각 특성을 보이므로 모래시계 형상으로 식각이 이루어진다. 3C, an etching solution is applied or sprayed on both surfaces of the polymer barrier 100 sheet exposed by the photoresist pattern 110, or the structure is dipped in the etching solution to perform etching. Since the etching of the polymer barrier 100 exhibits anisotropic etching characteristics, etching is performed in the form of an hourglass.

그리고, 도 3d와 같이 폴리머 격벽(100)의 상하부에 잔류하는 포토 레지스트 패턴(110)을 제거하여 폴리머 격벽(100)을 완성한다. 3D, the polymer barrier wall 100 is completed by removing the photoresist pattern 110 remaining in the upper and lower portions of the polymer barrier wall 100.

도 4a 내지 도 4d는 상기 도 3a내지 도 3d에 도시한 공정 수순 단면도와 유사한 공정 과정을 보인 수순 단면도로서, 폴리머 격벽(120)을 제조하기 위한 시트의 일면에만 마스크를 형성한 후 해당 면에만 식각액을 적용하여 웅덩이 모양의 식각 단면을 이루도록 셀 패턴을 형성한 것이다. 4A to 4D are process cross-sectional views showing a similar process to those shown in FIGS. 3A to 3D. The mask is formed only on one surface of the sheet for manufacturing the polymer partition wall 120, and then the etching liquid is formed only on the corresponding surface. Cell pattern is formed to form a puddle-shaped etch cross section by applying.

먼저, 도 4a에 도시한 바와 같이 폴리머 격벽(120) 시트의 상부에 포토 레지스트(110)를 도포하고, 도 4b에 도시한 바와 같이 셀이 위치할 폴리머 격벽(120) 시트 부분이 노출되도록 상기 포토 레지스트(110)를 패터닝한 후, 도 4c에 도시한 바와 같이 식각액을 상기 포토 레지스트(110) 패턴이 적용된 면의 폴리머 격벽(120) 시트에 도포 및 분사등의 방법으로 적용하여 식각을 실시한다. 이러한 식각 과정을 통해 상기 폴리머 격벽(120)은 이방성 식각에 의한 웅덩이 형태의 식각 단 면을 가진 셀 패턴을 가지게 된다.First, as shown in FIG. 4A, a photoresist 110 is applied to an upper portion of the polymer barrier 120 sheet, and as shown in FIG. 4B, a portion of the polymer barrier 120 sheet where the cell is to be exposed is exposed. After the resist 110 is patterned, the etchant is applied to the polymer barrier wall 120 sheet on the surface to which the photoresist 110 pattern is applied by etching or spraying, as shown in FIG. 4C. Through the etching process, the polymer barrier wall 120 has a cell pattern having an etch-shaped cross section formed by an anisotropic etching.

그리고, 도 4d에 도시한 바와 같이 상기 폴리머 격벽(120) 시트 상부의 포토 레지스트 패턴(110)을 제거하여 웅덩이 모양의 셀이 정의된 폴리머 격벽(120)을 완성한다.As shown in FIG. 4D, the photoresist pattern 110 on the sheet of the polymer barrier wall 120 is removed to complete the polymer barrier wall in which the puddle-shaped cell is defined.

전술한 폴리머 격벽 제조 방법들에 적용되는 식각액은 사용되는 폴리머 격벽의 재료에 따라 상이한 종류의 것을 사용할 수 있다. 예를 들어 본 실시예에서 사용되는 폴리머 격벽의 재료로 유연성과 화학적 안성정을 가지는 완전중합 폴리머인 폴리이미드(polyimid)를 사용한다면, 이를 식각 하기 위한 식각액으로 토레이 엔지니어링(Toray Engineering) 사에서 시판하는 TPE3000을 이용할 수 있다. 상기 TPE3000은 20 wt%의 KOH 용액에 20~40 wt%의 알리파틱 아민(Aliphatic Aamine, C2H7NO) 화합물로 구성되어 폴리이미드와 폴리에스터를 가수분해하기 위한 용도로 사용된다. 도 5는 상기 TPE3000의 식각 메커니즘을 보인 개념도이다.The etchant applied to the above-described methods for producing the polymer partition wall may use a different kind according to the material of the polymer partition wall used. For example, if a polyimide, a fully polymerized polymer having flexibility and chemical stability, is used as the material of the polymer partition wall used in this embodiment, TPE3000 sold by Toray Engineering as an etchant for etching it Can be used. The TPE3000 is composed of 20 to 40 wt% of an aliphatic amine (C 2 H 7 NO) compound in a 20 wt% KOH solution, and is used for hydrolyzing polyimide and polyester. 5 is a conceptual view illustrating an etching mechanism of the TPE3000.

도 6a 내지 도 6b는 전술한 방식으로 제조한 격벽들을 적용한 이-페이퍼 패널의 단면도를 보인 것으로, 도시한 바와 같이 쿨롱력에 의해 토너 입자들이 운동하게 되는 충돌 대전형 이-페이퍼 패널에서 격벽의 구체적인 형상은 동작에 영향을 미치지 않음을 알 수 있다. 6A to 6B show cross-sectional views of an E-paper panel applying the partitions manufactured in the above-described manner, and as shown in FIG. It can be seen that the shape does not affect the operation.

따라서, 도 6a와 같이 웅덩이 형태로 셀 단면이 형성된 격벽(100)을 적용하더라도 실제 동작 특성의 변화는 없으며, 상기 격벽(100)의 특성에 의해 유연성 및 화학적 안정성이 높아진 이-페이퍼 패널을 구현할 수 있게 된다. Therefore, even when the partition wall 100 having a cell cross-section is formed in a puddle form as shown in FIG. 6A, there is no change in actual operating characteristics, and a two-paper panel having high flexibility and chemical stability may be realized by the characteristics of the partition wall 100. Will be.

도 6b는 모래시계 형태의 셀 단면을 가지도록 형성된 격벽(120)을 적용한 경우로서, 이러한 경우라도 실제 토너 입자들의 운동은 방해되지 않으며, 격벽(120)의 상하부면에서 동시에 식각을 실시하여 형성하기 때문에 격벽 제조 시간이 줄어들게 되며 디핑을 통해서도 식각 공정을 실시할 수 있으므로 공정이 용이해진다. 또한, 패널에 적용된 격벽(120)의 특성에 의해 패널 전체의 유연성 및 화학적 안정성이 높아지게 된다.FIG. 6B illustrates a case in which the partition wall 120 formed to have an hourglass-shaped cell cross section is applied. In this case, the movement of the actual toner particles is not disturbed, and the etching is simultaneously performed on the upper and lower surfaces of the partition wall 120. As a result, the manufacturing time of the barrier ribs is reduced, and the etching process can be performed through dipping, thereby facilitating the process. In addition, the flexibility and chemical stability of the entire panel is increased by the characteristics of the partition wall 120 applied to the panel.

상술한 바와 같이 본 발명 이-페이퍼 패널 및 그 제조 방법은 유연성을 가지며 화학적으로 안정한 완전중합 폴리머를 재료로 하는 격벽시트에 마스크 패턴을 형성한 후 상기 구조물에 정의된 셀 영역을 이방성 습식 식각하여 제조한 격벽을 상판 및 하판 사이에 적용함으로써 용이한 격벽 형성 공정을 통해 패널의 유연성과 화학적 안정성을 모두 개선할 수 있도록 한 효과가 있다.As described above, the two-paper panel of the present invention and a method of manufacturing the same are manufactured by forming a mask pattern on a partition sheet made of flexible and chemically stable fully polymerized polymer and then anisotropically wet etching the cell region defined in the structure. By applying a partition between the upper plate and the lower plate, it is possible to improve both the flexibility and the chemical stability of the panel through an easy partition forming process.

Claims (6)

하부 전극이 형성된 하부 기판과; A lower substrate on which a lower electrode is formed; 상부 전극이 형성된 상부 기판과; An upper substrate on which the upper electrode is formed; 셀 구성을 위한 이방성 습식 식각 패턴을 가지며 상기 상부 기판과 하부 기판 사이에 위치하는 완전중합 폴리머 소재의 격벽과; Barrier ribs of a fully polymerized polymer material having an anisotropic wet etching pattern for cell configuration and positioned between the upper substrate and the lower substrate; 상기 격벽의 패턴으로 정의된 셀 영역에 주입된 건식 토너 입자들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이-페이퍼 패널.E-paper panel comprising dry toner particles injected into the cell region defined by the pattern of the partition wall. 제 1항에 있어서, 상기 격벽의 셀 패턴 단면은 한방향에서 이방성 습식 식각이 진행된 경우 나타나는 웅덩이 형태를 가지거나, 양방향에서 이방성 습식 식각이 진행된 경우 나타나는 모래시계 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 이-페이퍼 패널.According to claim 1, wherein the cell pattern cross-section of the partition wall has a puddle form when the anisotropic wet etching proceeds in one direction, or an e-paper panel characterized in that it has an hourglass form appears when the anisotropic wet etching proceeds in both directions. . 제 1항에 있어서, 상기 격벽은 폴리이미드를 포함하는 유연성을 가진 완전중합 폴리머로 이루어진 것을 특징으로 하는 이-페이퍼 패널.The two-paper panel of claim 1, wherein the partition wall is made of a flexible polymer fully flexible including polyimide. 전극을 형성한 상판 및 하판을 준비하는 단계와; Preparing an upper plate and a lower plate on which electrodes are formed; 완전중합 폴리머를 재료로한 격벽용 폴리머 시트의 적어도 한면에 셀 형성을 위한 마스크 패턴을 형성하는 단계와; Forming a mask pattern for cell formation on at least one side of the barrier polymer sheet made of a fully polymerized polymer; 상기 완전중합 폴리머를 이방성 식각할 수 있는 습식 식각액을 상기 구조물에 적용하여 마스크 패턴으로 정의된 셀 영역의 폴리머 시트를 식각 제거하는 단계와; Applying a wet etchant capable of anisotropically etching the fully polymerized polymer to the structure to etch away the polymer sheet of the cell region defined by the mask pattern; 상기 격벽용 폴리머 시트에서 마스크 패턴을 제거하여 격벽을 완성하는 단계와; Removing the mask pattern from the polymer sheet for partition walls to complete the partition walls; 상기 격벽을 상기 하판에 적용하고 토너 입자를 분사한 후 그 상부에 상판을 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이-페이퍼 패널 제조 방법.Applying the partition wall to the lower plate and spraying toner particles, and then bonding the upper plate to the upper plate. 제 4항에 있어서, 상기 습식 식각액은 격벽용 폴리머 시트의 재료로 사용된 완전중합 폴리머를 가수분해하여 웅덩이 모양의 이방성 식각 단면을 형성하도록 하는 화합물인 것을 특징으로 하는 이-페이퍼 패널 제조 방법.The method of claim 4, wherein the wet etchant is a compound for hydrolyzing the fully polymerized polymer used as the material of the polymer sheet for partition walls to form a puddle-shaped anisotropic etching cross section. 제 4항에 있어서, 상기 마스크 패턴을 격벽용 폴리머 시트의 양면에 형성한 경우, 상기 습식 식각액을 상기 폴리머 시트의 양면에 도포 혹은 분사하거나 습식 식각액에 마스크 패턴이 형성된 상기 폴리머 시트를 디핑하여 모래시계 모양의 식각 단면이 형성되도록 식각을 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이-페이퍼 패널 제조 방법.5. The hourglass of claim 4, wherein when the mask pattern is formed on both sides of the barrier polymer sheet, the wet etchant is applied or sprayed on both sides of the polymer sheet, or the polymer sheet having the mask pattern formed on the wet etchant is dipped. And etching to form an etch cross section of the shape.
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KR101011681B1 (en) * 2008-07-23 2011-01-31 한국전기연구원 Manufacturing Method of Photonic Crystal Passive Device using Wet Etching

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