KR20060074322A - Organic electro luminescence display and method for fabricating the same - Google Patents

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KR20060074322A KR1020040113037A KR20040113037A KR20060074322A KR 20060074322 A KR20060074322 A KR 20060074322A KR 1020040113037 A KR1020040113037 A KR 1020040113037A KR 20040113037 A KR20040113037 A KR 20040113037A KR 20060074322 A KR20060074322 A KR 20060074322A
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Abstract

상부 기판에 투명 흡습제가 증착 또는 코팅된 유기 전계 발광 표시장치가 제공된다. 유기 전계 발광 표시장치는 박막 트랜지스터, 캐소드 전극, 유기 전계 발광층 및 애노드 전극을 포함하는 유기 전계 발광 구조물이 형성된 하부 기판 및 일면의 적어도 일부에 투명 흡습제층이 코팅 또는 증착되고 하부 기판과 봉지되는 상부 기판을 포함한다. 또한, 상부 기판에 투명 흡습제가 증착 또는 코팅된 유기 전계 발광 표시장치 제조 방법이 제공된다.An organic light emitting display device in which a transparent moisture absorbent is deposited or coated on an upper substrate is provided. The organic light emitting display device includes a lower substrate on which an organic electroluminescent structure including a thin film transistor, a cathode electrode, an organic electroluminescent layer, and an anode electrode is formed, and an upper substrate on which at least a portion of a transparent absorbent layer is coated or deposited and encapsulated with a lower substrate. It includes. Also, a method of manufacturing an organic light emitting display device in which a transparent moisture absorbent is deposited or coated on an upper substrate is provided.

유기 전계 발광 표시장치, 흡습제, 코팅, 증착, 봉지Organic electroluminescent display, moisture absorbent, coating, deposition, encapsulation

Description

유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법{Organic electro luminescence display and method for fabricating the same}Organic electroluminescent display and manufacturing method thereof {Organic electro luminescence display and method for fabricating the same}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치의 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치의 제조 공정의 순서도이다. 2 is a flowchart illustrating a manufacturing process of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 유기 전계 발광 구조물을 형성하는 단계를 나타낸 공정 단면도들이다. 3 is a cross-sectional view illustrating a process of forming the organic electroluminescent structure of FIG. 2.

도 4는 도 2의 상부 기판 형성 및 부착 단계를 나타낸 공정 단면도들이다. 4 is a cross-sectional view illustrating a process of forming and attaching the upper substrate of FIG. 2.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

10: 하부 기판 40: 유기 전계 발광 구조물10: lower substrate 40: organic electroluminescent structure

50: 상부 기판 60: 흡습제층50: upper substrate 60: moisture absorbent layer

70: 접착제 70: adhesive

본 발명은 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 상부 기판에 투명 흡습제가 증착 또는 코팅된 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent display and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an organic electroluminescent display and a method of manufacturing the same, in which a transparent absorbent is deposited or coated on an upper substrate.

일반적으로 평판 표시 장치(flat pannel display) 중에서 유기 전계 발광 표시장치(Organic Electro Luminescent Display: OELD)는 다른 평판 표시 장치보다 사용 온도 범위가 넓고, 충격이나 진동에 강하며, 시야각이 넓고, 응답 속도가 빨라 깨끗한 동화상을 제공할 수 있어서 향후 차세대 평판 표시 장치로 주목받고 있다. In general, the organic electroluminescent display (OELD) among flat pannel displays has a wider operating temperature range than other flat panel displays, is more resistant to shock and vibration, has a wider viewing angle, and a higher response speed. It is rapidly attracting attention as a next-generation flat panel display because it can provide a clean moving image quickly.

이와 같은 유기 전계 발광 표시장치는, 유기 물질로 이루어진 층 내에서 전자와 정공이 전자-정공 쌍을 만들거나 캐리어(carrier)들이 좀 더 높은 에너지 상태로 여기된 후 다시 안정화 상태인 바닥 상태로 떨어지는 과정을 통해 발광하게 되는 현상을 이용한다.Such an organic light emitting display device is a process in which electrons and holes form an electron-hole pair in a layer made of an organic material, or carriers are excited to a higher energy state and then fall back to a stabilized ground state. It utilizes the phenomenon of emitting light through.

이러한 유기 전계 발광 표시장치는 상기 현상에 의해서 발생된 광(光)이 기판의 아래쪽 방향으로 향하는 배면 발광형(bottom emission type)과 기판의 위쪽 방향으로 향하는 전면 발광형(top emission type)으로 구분할 수 있다. Such an organic light emitting display device may be classified into a bottom emission type in which light generated by the above phenomenon is directed downward and a top emission type in which the light generated upward is directed upward. have.

한편, 유기 전계 발광 표시장치는 크게 박막 트랜지스터 형성 공정, 유기 전계 발광층 형성 공정, 봉지 공정(encapsulation process) 및 모듈 조립 공정으로 나누어 볼 수 있다. On the other hand, the organic light emitting display device can be roughly divided into a thin film transistor forming process, an organic electroluminescent layer forming process, an encapsulation process and a module assembly process.

특히, 전면 발광형 유기 전계 발광 표시장치의 봉지 공정은 투명 글래스를 식각하고 그 식각된 부분에 흡습제로 사용되는 투명 게터(getter)를 첨가하여 봉지하는 기술이 널리 사용되고 있다. In particular, in the encapsulation process of the top emission type organic light emitting display, a technique of etching transparent glass and adding a transparent getter used as a hygroscopic agent to the etched portion is widely used.

그런데 투명 게터를 이용하는 봉지 기술은, 발광면에 부착되는 글래스를 식 각해야 할 필요가 있고, 또 투명 게터가 발광면에 부착되기 때문에 그 부착 위치 및 면적 등에 제한을 받는다는 문제점이 있다. By the way, the encapsulation technique using the transparent getter needs to etch the glass attached to the light emitting surface, and since the transparent getter is attached to the light emitting surface, there is a problem in that it is limited in its attachment position and area.

따라서 전면 발광 구조의 유기 전계 발광 표시장치에서, 발광면에 부착되는 글래스를 식각할 필요가 없고 투명 게터를 장착하지 않아도 되는 봉지 공정이 요구된다. Therefore, in the organic light emitting display device having a top emission structure, an encapsulation process that does not require etching the glass attached to the light emitting surface and does not require the mounting of a transparent getter is required.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상부 기판에 흡습제를 코팅 또는 증착하여 내부에 있는 유기 전계 발광 구조물을 수분으로부터 보호할 수 있는 유기 전계 발광 표시장치를 제공하는데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An aspect of the present invention is to provide an organic electroluminescent display device that can protect an organic electroluminescent structure from moisture by coating or depositing a moisture absorbent on an upper substrate.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상부 기판에 흡습제를 코팅 또는 증착하여 내부에 있는 유기 전계 발광 구조물을 수분으로부터 보호할 수 있는 유기 전계 발광 표시장치 제조 방법을 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing an organic light emitting display device which can protect an organic electroluminescent structure from moisture by coating or depositing a moisture absorbent on an upper substrate.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치는 박막 트랜지스터, 캐소드 전극, 유기 전계 발광층 및 애노드 전극을 포함하는 유기 전계 발광 구조물이 형성된 하부 기판 및 일면의 적어도 일부에 투명 흡습제층이 코팅 또는 증착되고 하부 기판과 봉지되는 상부 기판을 포함한다. According to an embodiment of the present invention, an organic light emitting display device includes a thin film transistor, a cathode electrode, an organic electroluminescent layer, and an anode electrode formed on a lower substrate and at least part of one surface thereof. The transparent moisture absorbent layer comprises an upper substrate coated or deposited and encapsulated with a lower substrate.                     

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치 제조 방법은 하부 기판 상에 박막 트랜지스터, 캐소드 전극, 유기 전계 발광층 및 애노드 전극을 포함하는 유기 전계 발광 구조물을 형성하여 하부 기판을 마련하는 단계와, 일면의 적어도 일부에 투명 흡습제층을 코팅 또는 증착하여 상부 기판을 마련하는 단계 및 상부 기판과 하부 기판을 봉지하는 단계를 포함한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display device, by forming an organic light emitting structure including a thin film transistor, a cathode, an organic light emitting layer, and an anode on a lower substrate. Providing a lower substrate, coating or depositing a transparent moisture absorbent layer on at least a portion of the one surface to provide an upper substrate, and encapsulating the upper substrate and the lower substrate.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하 도 1을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 전면 발광형 유기 전계 발광 표시장치에 대해 알아보기로 한다. Hereinafter, a top emission type organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1.

먼서 도 1에서와 같이, 유기 전계 발광 표시 장치(1)는 하부 기판(10), 유기 전계 발광 구조물(40), 상부 기판(50), 흡습제층(60) 및 접착제(70) 등을 포함한다. As shown in FIG. 1, the organic light emitting display device 1 includes a lower substrate 10, an organic electroluminescent structure 40, an upper substrate 50, a moisture absorbent layer 60, an adhesive 70, and the like. .                     

하부 기판(10)은 유기 전계 발광 표시 장치(1)에서 발광을 위한 소정의 구조물이 형성되는 부분이다. 하부 기판(10)으로는 일반적으로 투명한 절연 기판, 가령 유리 기판 또는 고분자 물질로 이루어진 필름이 사용된다. The lower substrate 10 is a portion where a predetermined structure for emitting light is formed in the organic light emitting display device 1. As the lower substrate 10, a transparent insulating substrate such as a glass substrate or a film made of a polymer material is generally used.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치(1)는 전면 발광형이므로 하부 기판(10)이 반드시 투명한 기판일 필요는 없으며, 절연성이 있다면 다른 물질의 기판도 사용가능할 것이다. Meanwhile, since the organic light emitting display device 1 according to the exemplary embodiment of the present invention is a top emission type, the lower substrate 10 does not necessarily need to be a transparent substrate, and if it is insulating, a substrate of another material may be used.

유기 전계 발광 구조물(40)은 하부 기판(10) 상에 형성되며, 외부로부터의 전압을 인가받아 발광하는 부분이다. 발광을 위해 유기 전계 발광 구조물(40)은 박막 트랜지스터, 캐소드 전극로서의 하부 전극, 유기 전계 발광층 및 애노드로서 상부 전극을 포함한다. The organic electroluminescent structure 40 is formed on the lower substrate 10 and is a portion that emits light by applying a voltage from the outside. For emitting light, the organic electroluminescent structure 40 includes a thin film transistor, a lower electrode as a cathode electrode, an organic electroluminescent layer and an upper electrode as an anode.

박막 트랜지스터는 여러가지 색상을 구현하는 픽셀 단위로 형성된 스위칭 소자로서의 역할을 한다. 특히 RGB 서브 픽셀의 풀칼라 구조의 유기 전계 발광 소자에서는 서브 픽셀 단위로 형성된다. The thin film transistor serves as a switching element formed in pixel units for implementing various colors. In particular, in the organic EL device having a full color structure of the RGB sub-pixels, they are formed in sub-pixel units.

캐소드 전극로서의 하부 전극은 외부에서 인가되는 전원으로부터 전자가 존재하는 곳으로서, 이후 하부 전극 상에 형성될 유기 전계 발광층에 전자를 제공하는 역할을 수행한다. 이러한 하부 전극은 금속 물질로 형성되는 것이 바람직하며, 이러한 물질로는 Mg, Ag, MgAg-Li, LiAl, LiF-Al 등이 주로 사용된다. The lower electrode as the cathode is where electrons are present from a power source applied from the outside, and serves to provide electrons to the organic EL layer to be formed on the lower electrode. The lower electrode is preferably formed of a metal material, and Mg, Ag, MgAg-Li, LiAl, LiF-Al, and the like are mainly used as the material.

유기 전계 발광층은 외부로부터 공급되는 정공 및 전자가 결합된 엑시톤(exiton)이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발생되는 에너지가 광 에너지로 발산되는 층이다. 일반적으로 유기 전계 발광층은 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층 등이 순차적으로 성막되어 형성된다. The organic electroluminescent layer is a layer in which energy generated when excitons, which combine holes and electrons supplied from the outside, falls from an excited state to a ground state, is emitted as light energy. In general, the organic electroluminescent layer is formed by sequentially depositing a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and the like.

애노드로서의 상부 전극은 외부에서 인가되는 전원으로부터 공급된 정공이 존재하는 곳으로서, 유기 전계 발광층에 정공을 제공하는 역할을 수행한다. 이러한 상부 전극은 양극 전극인 애노드 전극으로서의 역할을 하며 유기 전계 발광층에서 발광된 광이 투과될 수 있는 투명 물질로 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 물질로는 주로 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide: ITO) 또는 인듐 아연 산화물(Indum Zinc Oxide: IZO)이 사용된다. The upper electrode as an anode is a place where holes supplied from a power source applied from the outside exist, and serve to provide holes to the organic EL layer. The upper electrode preferably serves as an anode electrode, which is an anode electrode, and is formed of a transparent material through which light emitted from the organic electroluminescent layer can pass. As such a material, indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) is mainly used.

상부 기판(50)은 하부 기판(10)을 그 내부에 형성된 유기 전계 발광 구조물을 보호하기 위해 사용된다. 여기서 상부 기판(50)은 유기 전계 발광층에서 발광된 광이 나가는 부분이므로 투명한 절연 기판, 가령 유리 기판 또는 고분자 물질로 이루어진 필름이 사용되어야 한다. The upper substrate 50 is used to protect the organic electroluminescent structure formed inside the lower substrate 10. In this case, since the upper substrate 50 emits light emitted from the organic EL layer, a transparent insulating substrate such as a glass substrate or a film made of a polymer material should be used.

흡습제층(60)은 상부 기판(50)과 하부 기판(10)의 봉지 시, 그 내부에 형성되며, 습기를 제거하여 유기 전계 발광 구조물을 습기로부터 보호하는 역할을 한다. 이러한 흡습제층(60)은 양면 중 일부 또는 전부에 코팅 또는 증착되어 형성되며, 약 100nm 내지 1,000nm의 두께로 형성되는 것이 바람직하다. 또, 흡습제층(60)은 상부 기판(50)이 하부 기판(10)과 봉지될 때, 하부 기판(10)과 대향되는 상부 기판의 일면에 형성되며, 상부 기판(50)과 마찬가지로 투명 물질로 증착 또는 코팅되어야 한다. 따라서, 흡습제층(60)은 투명성을 확보하고 흡습제로서의 기능을 할 수 있는 SiO2, BaO, MgO, TiO2, 폴리에틸렌(polyethylene) 등의 물질로 이루어진 층 또는 그들의 조합으로 이루어진 층과 같이 투명한 층이 사용될 수 있다. The moisture absorbent layer 60 is formed inside the upper substrate 50 and the lower substrate 10 when the encapsulation is encapsulated, and serves to remove moisture to protect the organic EL structure from moisture. The moisture absorbent layer 60 is formed by coating or depositing on some or all of both surfaces, and is preferably formed to a thickness of about 100 nm to 1,000 nm. In addition, the moisture absorbent layer 60 is formed on one surface of the upper substrate facing the lower substrate 10 when the upper substrate 50 is encapsulated with the lower substrate 10, and is formed of a transparent material similar to the upper substrate 50. It must be deposited or coated. Accordingly, the moisture absorbent layer 60 is a transparent layer such as a layer made of a material such as SiO 2 , BaO, MgO, TiO 2 , polyethylene, or the like, which ensures transparency and functions as a moisture absorbent. Can be used.

접착제(70)는 마주한 상부 기판(50) 및 하부 기판(10)을 접착시켜 봉지하기 위해 사용된다. 일반적으로 UV 경화제가 사용되며, 두 기판(10, 50)이 결합된 후에는 접착제 부분만 UV 광이 조사되도록 하여 경화된다. The adhesive 70 is used to bond and seal the upper substrate 50 and the lower substrate 10 that face each other. Generally, a UV curing agent is used, and after the two substrates 10 and 50 are bonded, only the adhesive part is cured by irradiating UV light.

이하, 도 2 내지 도 4를 참조하여 하부 기판 상에 유기 전계 발광 표시장치를 제조하는 과정에 대해 살펴보기로 한다. Hereinafter, a process of manufacturing the organic light emitting display device on the lower substrate will be described with reference to FIGS. 2 to 4.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시장치의 제조 공정의 순서도이고, 도 3은 도 2의 유기 전계 발광 구조물을 형성하는 단계에 따른 단면도들이며, 도 4는 도 2의 상부 기판을 형성 및 부착하는 단계에 따른 단면도들이다.2 is a flowchart illustrating a manufacturing process of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a process of forming an organic electroluminescent structure of FIG. 2, and FIG. 4 is an upper substrate of FIG. 2. Cross-sectional views according to the step of forming and attaching.

먼저, 하부 기판(10) 상에 유기 전계 발광 구조물(도 3h의 40 참고)을 형성한다(S100). First, an organic EL structure (see 40 of FIG. 3H) is formed on the lower substrate 10 (S100).

이를 위해, 도 3a에서와 같이, 하부 기판(10) 상에 버퍼층(Buffer layer: 12)을 형성한다. 그리고 버퍼층(12)이 형성된 하부 기판(10) 전면에 폴리 실리콘막을 증착한 후 패터닝하여 반도체층(14)을 형성한다. To this end, as shown in FIG. 3A, a buffer layer 12 is formed on the lower substrate 10. The semiconductor layer 14 is formed by depositing and patterning a polysilicon layer on the entire lower substrate 10 on which the buffer layer 12 is formed.

여기서 하부 기판(10)은 가령 유리 기판이 또는 합성 수지와 같은 절연 기판이 바람직하며, 버퍼층(12)으로는 가령 산화막 같은 물질을 이용한다. Here, the lower substrate 10 is preferably a glass substrate or an insulating substrate such as a synthetic resin, and the buffer layer 12 uses a material such as an oxide film.

다음으로, 도 3b에서와 같이, 반도체층(14)을 포함한 버퍼층(12) 상에 게이트 절연막(16)을 형성한다. 그런 다음, 게이트 절연막(16) 상에 게이트 금속 물질을 증착하고, 반도체층(14) 상부의 게이트 절연막(16) 상에 게이트(18)가 형성되도록 패터닝한다. 이어서, 반도체층(14)에서 게이트(18)와 오버랩되는 부분을 외의 영역에 n형 또는 p형 불순물 중 하나를 이온 주입하여 고농도 소오스 영역/드레인 영역(15a, 15b)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 3B, the gate insulating layer 16 is formed on the buffer layer 12 including the semiconductor layer 14. Thereafter, a gate metal material is deposited on the gate insulating layer 16 and patterned so that the gate 18 is formed on the gate insulating layer 16 on the semiconductor layer 14. Subsequently, one of the n-type and p-type impurities is ion-implanted into a portion of the semiconductor layer 14 overlapping with the gate 18 to form the high concentration source region / drain regions 15a and 15b.

다음으로, 도 3c에서와 같이, 소오스 영역/드레인 영역(15a, 15b)이 형성된 하부 기판(10) 상에 하부 층간 절연막(20)을 형성하기 위한 물질, 가령 산화물을 증착한다. 그런 다음, 후속 공정에서 형성될 소오스 전극/드레인 영역(15a, 15b)을 소오스 전극/드레인 전극(도 3d의 21a, 21b 참고)에 연결하기 위한 콘택홀(19a, 19b)이 형성된 하부 층간 절연막(20)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 3C, a material such as an oxide for forming the lower interlayer insulating film 20 is deposited on the lower substrate 10 on which the source regions / drain regions 15a and 15b are formed. Then, a lower interlayer insulating film having contact holes 19a and 19b for connecting the source electrode / drain regions 15a and 15b to be formed in a subsequent process to the source electrode / drain electrodes (see 21a and 21b in FIG. 3D). 20).

이때, 콘택홀(19a, 19b)은 사진 공정 및 식각 공정을 수행하는 포토리소그라피 공정을 이용하여 형성될 수 있으며, 소오스 영역/드레인 영역(15a, 15b)이 노출될 때까지 하부 층간 절연막(20)을 식각하여 형성한다. In this case, the contact holes 19a and 19b may be formed using a photolithography process that performs a photolithography process and an etching process, and the lower interlayer insulating layer 20 until the source / drain regions 15a and 15b are exposed. It is formed by etching.

다음으로, 도 3d에서와 같이, 콘택홀(19a, 19b)을 포함한 하부 층간 절연막(20) 상에 금속 물질을 증착한 다음 패터닝하여 콘택홀(19a, 19b)을 통해 소오스 영역/드레인 영역(15a, 15b)과 각각 콘택되는 소오스 전극/드레인 전극(21a, 21b)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 3D, a metal material is deposited on the lower interlayer insulating film 20 including the contact holes 19a and 19b, and then patterned to form a source region / drain region 15a through the contact holes 19a and 19b. , Source electrode / drain electrodes 21a and 21b respectively contacting 15b are formed.

다음으로, 도 3e에서와 같이, 소오스 전극/드레인 전극(21a, 21b)이 형성된 하부 기판(10) 상에 산화막으로 이루어지는 상부 층간 절연막(22)을 형성한다. 이어서, 후속 공정에서 형성될 하부 전극(도 3f의 24 참고)을 연결하기 위하여 소오스 전극(21a) 또는 드레인 전극(21b) 중의 어느 하나, 예를 들어, 소오스 전극(21a)의 일부가 개방되도록 상부 층간 절연막(22)에 콘택홀(23)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 3E, an upper interlayer insulating film 22 made of an oxide film is formed on the lower substrate 10 on which the source and drain electrodes 21a and 21b are formed. Subsequently, one of the source electrode 21a or the drain electrode 21b, for example, a portion of the source electrode 21a is opened to connect the lower electrode to be formed in a subsequent process (see 24 in FIG. 3F). The contact hole 23 is formed in the interlayer insulating film 22.

다음으로, 도 3f에서와 같이, 콘택홀(23)을 포함한 상부 층간 절연막(22) 상 에 불투명 도전 물질로 도전막을 증착한다. 이어서, 사진 공정 및 식각 공정을 수행하는 포토리소그래피(photolithography)로 패터닝 하여 콘택홀(23)을 통해 소오스 전극(21a)과 연결되는 하부 전극(24)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 3F, a conductive film is deposited on the upper interlayer insulating film 22 including the contact hole 23 with an opaque conductive material. Subsequently, the lower electrode 24, which is connected to the source electrode 21a through the contact hole 23, is patterned by photolithography, which performs a photo process and an etching process.

여기서, 하부 전극(24)은 캐소드 전극(cathode electrode)으로 작용하며, 전면 발광 구조의 반사막으로 작용하도록 반사율이 높은 도전성 물질로 형성한다. 그리고 하부 전극(24)을 형성할 때 상부 층간 절연막(22)의 평탄 영역까지 연장되도록 형성한다. Here, the lower electrode 24 serves as a cathode electrode and is formed of a conductive material having high reflectance so as to serve as a reflective film of a top emission structure. In addition, the lower electrode 24 is formed to extend to the flat region of the upper interlayer insulating layer 22.

다음으로, 도 3g에서와 같이, 하부 전극(24)이 형성된 하부 기판(10) 상에 평탄화막으로 하부 보호막(26)을 형성한 다음 하부 전극(24)의 평탄 부위가 노출되도록 개구부(27)를 형성한다. Next, as shown in FIG. 3G, the lower passivation layer 26 is formed on the lower substrate 10 on which the lower electrode 24 is formed as the planarization layer, and then the opening 27 is exposed to expose the flat portion of the lower electrode 24. To form.

개구부(27)를 하부 전극(24)의 평탄 부위에 형성하는 이유는 반사막으로 작용하는 하부전극(24)의 표면에 굴곡이 형성되면, 하부 전극(24)이 후속 공정에 의해서 하부 전극(24) 상에 형성될 유기 전계 발광층에서 발생된 광을 난반사시켜 반사막의 기능을 효과적으로 수행할 수 없기 때문이다. 또한, 후속 공정에 의해서 하부 전극(24) 상에 유기 전계 발광층으로 기능하는 유기물을 용이하게 증착할 수 없기 때문이다. The reason why the opening 27 is formed in the flat portion of the lower electrode 24 is that when the bend is formed on the surface of the lower electrode 24 serving as the reflective film, the lower electrode 24 is subjected to the lower electrode 24 by a subsequent process. This is because the reflection of light generated in the organic electroluminescent layer to be formed on the surface cannot be effectively performed. In addition, it is because an organic substance which functions as an organic electroluminescent layer cannot be easily deposited on the lower electrode 24 by a subsequent process.

다음으로, 도 3h에서와 같이, 개구부(27)가 형성된 하부 기판(10) 상에 마스크를 위치시키고 증착 공정을 통해 Alq3, BeBq2, 쿠마린(coumarin) 등의 유기물을 개구부(27) 상에 증착시켜 하부 전극(24)과 연결된 유기 전계 발광층(28)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 3H, a mask is placed on the lower substrate 10 having the openings 27 formed thereon, and organic materials such as Alq3, BeBq2, and coumarin are deposited on the openings 27 through the deposition process. An organic electroluminescent layer 28 connected to the lower electrode 24 is formed.                     

이에 따라 유기 전계 발광층(28)은 전류의 흐름에 의해서 적색, 녹색, 청색의 광을 자체적으로 발광하게 되며, 발광된 광은 상부로 발광하게 된다. 한편, 하부로 향하는 광은 개구부(27)에 의해서 개방된 하부 전극(24)의 소정 영역에 의해서 반사되어 상부로 반사된다.Accordingly, the organic electroluminescent layer 28 emits red, green, and blue light by itself through the flow of current, and the emitted light emits light upward. On the other hand, the light directed downward is reflected by the predetermined region of the lower electrode 24 opened by the opening 27 and reflected upward.

유기 전계 발광층(28)이 형성되고 나면, 유기 전계 발광층(28)이 형성된 하부 기판(10) 상에 도전성 물질을 증착 후 패터닝하여 애노드 전극(anode electrode)으로 기능하는 상부 전극(30)을 형성한다. 한편, 상부 전극(30) 상부에 하부 보호막 이외의 다른 상부 보호막을 더 형성할 수 있다.After the organic electroluminescent layer 28 is formed, a conductive material is deposited and patterned on the lower substrate 10 on which the organic electroluminescent layer 28 is formed to form an upper electrode 30 functioning as an anode electrode. . Meanwhile, an upper passivation layer other than the lower passivation layer may be further formed on the upper electrode 30.

이로써, 박막 트랜지스터, 캐소드로서의 하부 전극, 유기 전계 발광층, 애노드로서의 상부 전극, 등을 포함하는 유기 전계 발광 구조물(40)이 완성된다. This completes the organic electroluminescent structure 40 including the thin film transistor, the lower electrode as the cathode, the organic electroluminescent layer, the upper electrode as the anode, and the like.

이상과 같이, 하부 기판(10) 상에 유기 전계 발광 구조물(40)이 형성되고 나면, 도 4a에서와 같이, 별도로 마련된 상부 기판(50) 상에 투명 흡습제를 코팅 또는 증착하여 투명 흡습제층(60)을 형성한다 (S102). As described above, after the organic electroluminescent structure 40 is formed on the lower substrate 10, as illustrated in FIG. 4A, the transparent absorbent layer 60 is coated or deposited on the separately provided upper substrate 50 to form the transparent absorbent layer 60. ) Is formed (S102).

여기서 상부 기판(50)은 발광면으로 사용되므로 투명 유리 기판 또는 투명한 고분자 필름인 것이 바람직하다. 또, 투명 흡습제층(60)은 SiO2, BaO, MgO, TiO2, 폴리에틸렌(polyethylene) 등으로 이루어진 층 또는 이들의 조합으로 이루어진 층인 것이 바람직하며, 100nm 내지 1,000nm의 두께로 형성한다. Since the upper substrate 50 is used as the light emitting surface, it is preferable that the upper substrate 50 is a transparent glass substrate or a transparent polymer film. In addition, the transparent moisture absorbent layer 60 is preferably a layer made of SiO 2 , BaO, MgO, TiO 2 , polyethylene, or a combination thereof, and has a thickness of 100 nm to 1,000 nm.

다음으로, 도 4b에서와 같이, 투명 흡습제층(50)이 형성된 상부 기판(50) 상에 스크린 프린팅 기술을 이용하여 접착제(70)를 드로잉(drawing)한다(S104). Next, as shown in FIG. 4B, the adhesive 70 is drawn on the upper substrate 50 on which the transparent moisture absorbent layer 50 is formed by using a screen printing technique (S104).                     

여기서 접착제는 글래스와 글래스 사이에 접착 강도가 우수한 UV 경화제를 사용하는 것이 바람직하다. It is preferable to use the UV hardening | curing agent which is excellent in adhesive strength between glass and glass here.

이와 같이, 접착제(70)를 드로잉하고 나면, 도 4c에서와 같이, 유기 전계 발광 구조물(40)이 형성되어 있는 하부 기판(10)을 흡습제층(60) 및 접착제가 드로잉된 상부 기판(50)으로 덮어 봉지한다(S106). As described above, after the adhesive 70 is drawn, the lower substrate 10 having the organic electroluminescent structure 40 is formed on the lower substrate 10 as shown in FIG. 4C, and the upper substrate 50 on which the adhesive is drawn. Cover and seal with (S106).

이때, 마스크를 이용하여 접착제(70) 부분을 UV 광으로 조사하고 경화시켜 봉지 공정을 마무리 한다. 이상과 같은 공정을 거치면 도 1에 도시된 바와 같이, 흡습제가 상부 기판에 코팅 또는 증착된 유기 전계 발광 표시장치가 완성된다. At this time, the portion of the adhesive 70 is irradiated with UV light and cured using a mask to finish the sealing process. Through the above process, as shown in FIG. 1, an organic light emitting display device in which a moisture absorbent is coated or deposited on an upper substrate is completed.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 당업자에 의해 다양하게 변형 실시될 수 있다.Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to the above embodiments and can be variously modified and implemented by those skilled in the art without departing from the technical scope of the present invention.

가령 본 발명의 일 실시에에 따른 유기 전계 발광 표시장치를 설명함에 있어서, 전면 발광형 유기 전계 발광 표시장치를 중심으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 배면 발광형 유기 전계 발광 표시장치나 그외 다양한 유형의 표시장치에도 유용하게 사용될 수 있을 것이다. For example, in the description of the organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention, the organic light emitting display device has been described with reference to a top emission organic light emitting display device, but is not limited thereto. It can be usefully used for the display device.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 상부 기판에 흡습제를 코팅 또는 증착하여 내부에 있는 유기 전계 발광 구조물을 봉지하기 때문에, 흡습용 게터(geter)를 부착하기 위해 상부 기판을 식각할 필요가 없으며 증착 또는 코팅되는 흡습제가 투명한 물질로 되어 있기 때문에 배면 발광형 유기 전계 발광 표시장치뿐만 아니라 전면 발광형 유기 전계 발광 표시장치에도 유용하다. As described above, according to the present invention, since the organic electroluminescent structure is encapsulated by coating or depositing a moisture absorbent on the upper substrate, the upper substrate does not need to be etched in order to attach a moisture absorber getter, and the deposition or Since the absorbent to be coated is made of a transparent material, it is useful not only for a bottom emission type organic light emitting display but also for a top emission type organic light emitting display.

Claims (8)

박막 트랜지스터, 캐소드 전극, 유기 전계 발광층 및 애노드 전극을 포함하는 유기 전계 발광 구조물이 형성된 하부 기판; 및A lower substrate having an organic electroluminescent structure including a thin film transistor, a cathode electrode, an organic electroluminescent layer, and an anode electrode; And 일면의 적어도 일부에 투명 흡습제층이 코팅 또는 증착되고 상기 하부 기판과 봉지되는 상부 기판을 포함하는 유기 전계 발광 표시장치. An organic light emitting display device comprising: an upper substrate on which at least a portion of a transparent moisture absorbent layer is coated or deposited and is encapsulated with the lower substrate. 제1 항에 있어서, According to claim 1, 상기 상부 기판은 접착제에 의해 상기 하부 기판과 봉지된 유기 전계 발광 표시장치.And the upper substrate is encapsulated with the lower substrate by an adhesive. 제1 항에 있어서, According to claim 1, 상기 상부 기판 및/또는 상기 하부 기판은 투명 유리 또는 무기물로 이루어진 투명 필름인 유기 전계 발광 표시장치.And the upper substrate and / or the lower substrate is a transparent film made of transparent glass or an inorganic material. 제1 항에 있어서, According to claim 1, 상기 투명 흡습제층은 SiO2, BaO, MgO, TiO2, 폴리에틸렌 층 또는 이들의 적층 구조인 유기 전계 발광 표시장치. The transparent moisture absorbent layer is an SiO 2 , BaO, MgO, TiO 2 , polyethylene layer or a stacked structure thereof. 하부 기판 상에 박막 트랜지스터, 캐소드 전극, 유기 전계 발광층 및 애노드 전극을 포함하는 유기 전계 발광 구조물을 형성하여 하부 기판을 마련하는 단계;Preparing an lower substrate by forming an organic EL structure including a thin film transistor, a cathode electrode, an organic EL layer, and an anode on the lower substrate; 일면의 적어도 일부에 투명 흡습제층을 코팅 또는 증착하여 상부 기판을 마련하는 단계; 및Coating or depositing a transparent moisture absorbent layer on at least a portion of one surface to prepare an upper substrate; And 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 봉지하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 방법. And encapsulating the upper substrate and the lower substrate. 제5 항에 있어서, 상기 봉지 단계는, The method of claim 5, wherein the encapsulation step, 접착제를 상기 상부 기판에 드로잉(drawing)하는 단계;Drawing an adhesive to the upper substrate; 상기 접착제가 드로잉된 상부 기판을 상기 유기 전계 발광 구조물이 형성된 하부 기판에 부착하는 단계; 및Attaching an upper substrate on which the adhesive is drawn to a lower substrate on which the organic electroluminescent structure is formed; And 상기 접착제가 드로잉된 부분을 UV 광으로 조사하여 경화시키는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 표시장치 제조 방법. And irradiating and curing the portion on which the adhesive is drawn with UV light to cure the organic light emitting display device. 제5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 상부 기판 및/또는 상기 투명 하부 기판은 투명 유리 또는 투명 무기물로 이루어진 필름인 유기 전계 발광 표시장치 제조 방법.And the upper substrate and / or the transparent lower substrate are films made of transparent glass or transparent inorganic material. 제5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 투명 흡습제층은 SiO2, BaO, MgO, TiO2, 폴리에틸렌 층 또는 이들의 적층 구조인 유기 전계 발광 표시장치 제조 방법. The transparent moisture absorbent layer is a SiO 2 , BaO, MgO, TiO 2 , polyethylene layer or a stacked structure thereof organic light emitting display device manufacturing method.
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