KR20060072949A - 스핀코팅용 클램핑 지그 - Google Patents

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KR20060072949A
KR20060072949A KR1020040111748A KR20040111748A KR20060072949A KR 20060072949 A KR20060072949 A KR 20060072949A KR 1020040111748 A KR1020040111748 A KR 1020040111748A KR 20040111748 A KR20040111748 A KR 20040111748A KR 20060072949 A KR20060072949 A KR 20060072949A
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김성봉
이병대
권순영
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오성엘에스티(주)
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Abstract

본 발명은 스핀코팅용 클램핑 지그에 관한 것으로, 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서, 상면에 피코팅부재를 지지하는 상부플레이트와; 상기 상부플레이트의 배면과 맞닿고, 상면에 공기의 흐름을 안내하는 유로가 형성되며, 상기 유로의 일영역에 공기가 배출되도록 배출공이 형성된 하부플레이트와; 상기 상부플레이트의 연부로부터 소정거리 이격공간을 형성하도록 상기 하부플레이트의 가장자리를 따라 돌출된 돌출리브와; 상기 하부플레이트에 형성된 배출공에 설치되어 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브와; 상기 돌출리브의 상면에 마련되며, 상기 상부플레이트의 상면에 대응되는 높이로 설치되는 점착부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 피코팅부재를 원할히 고정시켜 피코팅부재에 기능성 막을 스핀코팅시킬 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그가 제공된다.
필름코팅, 기능성 막, 스핀코팅

Description

스핀코팅용 클램핑 지그 {Clamping Jig for Spin Coating}
도 1은 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 사시도,
도 2는 도 1의 분해사시도,
도 3은 도 1의 단면을 나타낸 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 구성요소인 상부플레이트의 배면을 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 구성요소인 하부플레이트의 배면을 나타낸 사시도,
도 6는 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 체크벨브를 도시한 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 필름이 부착된 상태를 도시한 상태도,
도 8은 도 7의 단면을 나타낸 단면도,
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도,
도 10은 도9의 단면도,
도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 상부플레이 트를 도시한 사시도,
도 12는 본 발명의 제4실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 상부플레이트를 도시한 사시도,
도 13은 본 발명의 제5실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도,
도 14는 본 발명의 제6실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도,
도 15는 본 발명의 제7실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도,
도 16은 본 발명의 제7실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 변형예를 도시한 사시도,
도 17은 본 발명의 제8실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도이다.
♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명♣
1: 상부플레이트 2: 하부베이스
11: 제1함몰부 13: 상부플레이트
14: 관통공 15: 슬릿
16: 점착부재 20: 하부플레이트
21: 유로 22: 배출공
23: 나사홈 24: 제2함몰부
25: 실리콘층 26: 하부플레이트
27: 하부베이스 29: 실링부재
30: 돌출리브 33: 고정부재
37: 고정부재 37a: 결합브래킷
37b: 고정부 40: 체크벨브
38: 점착부재 41: 브래킷
42: 실링부재 43: 나사공
본 발명은 스핀코팅용 클램핑 지그에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 피코팅부재에 기능성막을 스핀코팅하는데 있어서 피코팅부재를 고정시킬 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그에 관한 것이다.
일반적으로 피코팅부재에 기능성 막을 코팅하는 방법으로 여러 가지가 있지만, 대표적으로 롤타입 코팅과 스핀코팅방식이 있다. 여기서, 기능성 막이 코팅되는 피코팅부재로 글래스, 플라스틱 플레이트, 필름 등이 있다.
이하의 설명에서 피코팅부재로서 필름의 경우를 예로 들어 설명한다. 필름의 경우 필름의 일면 또는 양면에 기능성막을 코팅하여 필름에 특정 성질을 부여하여 여러 가지 기능성 필름을 제조한다. 그 예로서는 편광필름이 있다. 편광필름은 일정방향의 빛만 투과시키는 기능을 갖는 것으로서, 근래에는 액정표시장치에 필수적 으로 사용되는 필름이다.
이러한 편광필름은 기존에 롤러코팅방식을 이용하여 제조되었다. 롤러코팅방식은 롤에 말려있는 필름을 풀면서 필름의 일면에 기능성막을 코팅한 후, 규격에 맞게 절단하는 방식으로 편광필름을 제조한다.
하지만, 이러한 롤타입코팅방식에 의한 코팅은 코팅 막의 두께를 원하는 두께로 얇게 할 수 없는 문제점이 있다.
또한, 필름에 기능성막을 여러 겹 코팅할 수 없는 문제점이 있다. 즉, 롤러코팅방식은 하나의 기능성 막을 코팅한 후 다시 다른 기능성 막을 코팅할 수 없는 문제점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 스핀코팅 방식으로 피코팅부재에 기능성 막을 코팅하여 코팅 막의 두께를 원하는 두께로 얇게 코팅할 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 스핀코팅 방식으로 필름 상에 기능성 막을 코팅하여 복수의 기능성 막을 코팅할 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그를 제공함에 있다.
상기 목적은 본 발명에 따라, 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서, 상면에 피코팅부재를 지지하는 상부플레이트와; 상기 상부플레이트의 배면과 맞닿고, 상면에 공기의 흐름을 안내하는 유로가 형성되며, 상기 유로의 일영역에 공기가 배출되도록 배출공이 형성된 하부플레이트와; 상기 상부플레이트의 연부로부터 소정거리 이 격공간을 형성하도록 상기 하부플레이트의 가장자리를 따라 돌출된 돌출리브와; 상기 하부플레이트에 형성된 배출공에 설치되어 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브와; 상기 돌출리브의 상면에 마련되며, 상기 상부플레이트의 상면에 대응되는 높이로 설치되는 점착부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그에 의해 달성된다.
여기서, 상기 점착부재는 실리콘인 것이 필름의 코팅시, 필름의 부착상태를 더욱 잘 유지할 수 있어 바람직하다.
또한, 상기 목적은 본 발명의 다른 특징으로, 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서, 상면에 피코팅부재를 지지하며, 다수의 관통공이 형성된 상부플레이트와; 상기 상부플레이트와 결합하고, 상면에 공기가 유동할 수 있는 유로가 형성되며, 상기 유로의 일영역에 공기가 배출되도록 배출공이 형성된 하부플레이트와; 상기 하부플레이트에 형성된 배출공에 설치되어 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브와를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그에 의해서도 달성된다.
여기서, 상기 관통공은 상기 상부플레이트의 가장자리를 따라 형성되거나, 상기 관통공은 상기 상부플레이트에 상하좌우 상호 동일한 간격으로 형성된 거나, 상기 관통공은 상기 상부플레이트의 가장자리에 슬릿으로 형성될 수도 있다.
한편, 상기 하부플레이트는 배면에 상기 배출공을 중심으로 함몰된 함몰부가 형성되고, 상기 체크벨브는 상기 함몰부에 대응하도록 상기 체크벨브의 외면을 따라 형성된 브래킷을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 것이 체크벨브를 하부플레이트에 보다 원활하게 결합할 수 있어 바람직하다.
또한, 상기 목적은 본 발명의 또 다른 특징으로, 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서, 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 상면에 마련되어 피코팅부재를 부착시키는 점착부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그에 의해서도 달성된다.
여기서, 상기 점착부재는 압축성형된 실리콘으로 마련되거나, 상기 점착부재는 실리콘겔로 마련되거나, 상기 점착부재는 양면테이프로 마련될 수도 있다.
또한, 상기 목적은 본 발명의 또 다른 특징으로, 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서, 피코팅부재를 지지하는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 가장자리 영역에 결합되어 상기 피코팅부재를 고정시키는 고정부재을 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그에 의해서도 달성된다. 여기서, 상기 고정부재는 테이프로 마련되거나, 상기 고정부재는 자성체로 마련될 수도 있다.
또한, 상기 고정부재는 상기 베이스 플레이트에 결합되는 결합브래킷과, 피코팅부재와 맞닿아 피코팅부재를 고정시키도록 상기 결합브래킷의 단부로부터 절곡된 고정부를 포함하여 마련될 수도 있다.
여기서, 상기 고정부는 피코팅부재와 맞닿는 면에 마련된 점착부재를 더 포함하는 것이 피코팅부재를 더욱 견고하게 고정시킬 수 있어 바람직하다. 여기서, 상기 점착부재는 실리콘으로 마련될 수도 있다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 사시도이고, 도 2는 도 1의 분해사시도이며, 도 3은 도 1의 단면을 나타낸 단면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그는 피코팅부재인 필름이 지지되는 상부플레이트(1)와, 상부플레이트(1)가 부착되는 하부베이스(2)로 구성된다.
하부베이스(2)는 상부플레이트(1)의 배면에 맞닿는 하부플레이트(20)와, 하부플레이트(20)의 가장자리로부터 상향으로 돌출한 돌출리브(30)와, 하부플레이트(20)와 결합하여 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브(40)로 구성된다.
도 4는 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 구성요소인 상부플레이트의 배면을 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 상부플레이트(1)는 사각형상의 판형상을 가지며, 상부플레이트(1)의 배면에는 하부플레이트(20)의 체크벨브(40)가 결합되는 위치에 대응하여 함몰된 제1함몰부(11)가 형성되어 있다. 제1함몰부(11)는 후술할 하부플레이트(20)의 유로(21)를 통하여 흐르는 공기가 체크벨브(40)를 통하여 외부로 용이하게 유출될 수 있도록 한다.
하부플레이트(20)는 상부플레이트(1)와 마찬가지로 사각형상으로 마련되며, 상부플레이트(1)와 맞닿는 면에는 상부플레이트(1)와 하부플레이트(20) 사이의 공기의 흐름을 유도하는 유로(21)가 형성되어있다. 유로(21)는 하부플레이트(20)의 상면 가장자리영역을 따라 형성됨과 동시에, 하부플레이트(20)의 네 변으로부터 상호 교차하도록 형성된다. 또한, 유로(21)가 상호 교차하는 영역에는 공기를 외부로 배출할 수 있는 배출공(22)이 관통되어 있다.
한편, 도 5는 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 구성요소인 하부플레이트의 배면을 나타낸 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 하부플레이트(20)의 배면 소정영역에는 필름에 기능성막을 코팅할 때 스핀코팅용 클램핑 지그를 진공흡입장치에 고정시킬 수 있는 나사홈(23)이 형성되어 있다. 또한, 하부플레이트(20)의 배면의 배출공(22) 주위에는 체크벨브(40)의 결합을 원활히 하도록 제2함몰부(24)가 형성되어 있다.
돌출리브(30)는 하부플레이트(20)의 가장자리로부터 돌출되어있다. 돌출리브(30)는 상부플레이트(1)가 하부플레이트(20)에 부착될 때, 상부플레이트(1)의 가장자리와 소정거리 이격공간(도 3의 A)이 형성될 수 있도록 하부플레이트(20)의 가장자리로부터 돌출되어 있다. 돌출리브(30)의 상면에는 코팅하고자하는 필름의 가장자리 영역과 접하는 점착부재인 실리콘층(25)이 형성된다. 실리콘층(25)은 상부플레이트(1)가 하부베이스(2)에 부착될 때, 상부플레이트(1)의 높이와 동일한 높이를 유지할 수 있는 두께를 가진다.
도 6은 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 체크벨브를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 체크벨브(40)는 하부플레이트(20)의 배출공(22)에 설치된다. 체크벨브(40)는 공기의 흐름이 한 방향으로만 형성되도록 한다. 체크벨브(40)의 하단에는 외주면을 따라 브래킷(41)이 마련된다. 브래킷(41)은 상술한 하부플레이트(20) 배면의 제2함몰부(24)에 대응하는 형상으로 마련되며, 체크벨브(40)를 하부플레이트(20)에 보다 견고하게 결합시켜준다. 또한, 브래킷(41)의 상면 에는 환상의 실링부재(42)인 오링(O-ring)이 마련되어 하부플레이트(20)의 제2함몰부(24)와 브래킷(41) 사이로 공기가 유출되는 것을 방지해준다. 또한, 브래킷(41)에는 하부플레이트(20)와 체크벨브(40)를 결합시켜 주는 나사공(43)이 형성되어 있으며, 나사공(43)을 통하여 하부플레이트(20)와 체크벨브(40)는 나사결합된다. 체크벨브는 당업자에게는 공지의 기술이므로 그 내부 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
한편, 체크벨브(40)는 필름의 코팅시 진공흡입장치의 진공흡입구와 결합되며, 진공흡입장치의 진공흡입에 의하여 상부플레이트(1)와 돌출리브(30)사이의 이격공간을 통하여 필름과 상부플레이트(1) 사이의 공기가 흡입되고, 흡입된 공기는 하부플레이트(20)의 상면에 형성된 유로(21)를 따라 하부플레이트(20)의 중앙영역으로 이동하여 체크벨브(40)를 통하여 외부로 배출된다.
상술한 구성에 의한 스핀코팅용 클램핑 지그의 작동에 대하여 설명한다. 도 7은 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 필름이 부탁된 상태를 도시한 상태도이고, 도 8은 도 7의 단면을 도시한 단면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 스핀코팅용 클램핑 지그는 상부플레이트(1)가 하부베이스(2)에 장착되고, 하부베이스(2)에 마련된 체크벨브(40)와 진공흡입장치의 흡입구가 맞닿도록 위치하여 진공흡입장치와 결합된다.
이어, 진공흡입장치에 결합된 스핀코팅용 클램핑 지그의 상면에 필름이 지지된다. 필름의 가장자리는 하부플레이트(20)의 돌출리브(30)의 상면에 마련된 점착부재인 실리콘층(25)에 위치하고 나머지 영역은 상부플레이트(1)에 위치한다.
필름이 지지된 상태에서 진공흡입장치에 의하여 공기가 흡입되면, 상부플레이트(1)와 필름 사이의 공기는 상부플레이트(1)의 가장자리와 돌출리브(30) 사이의 이격공간(A)을 통하여 스핀코팅용 클램핑 지그의 내부로 흡입된다. 내부로 흡입된 공기는 하부플레이트(20)의 상면에 형성된 유로(21)와 체크벨브(40)를 통하여 외부로 배출된다. 이때, 상부플레이트(1)의 배면에 형성된 제1함몰부(11)에 의하여 공기는 원활하게 체크벨브(40) 쪽으로 모이게 되며, 제1함몰부(11)에 모인 공기는 체크벨브(40)를 통하여 진공흡입장치로 유출된다. 공기가 유출됨에 따라, 상부플레이트와 하부플레이트 사이에는 진공이 형성되며, 필름은 상부플레이트에 진공의 힘으로 견고하게 부착될 수 있다.
또한, 돌출리브(30)의 상면에 부착된 점착부재인 실리콘층(25)에 의하여 필름의 가장자리부분이 소정의 점착력에 의하여 스핀코팅용 클램핑 지그에 부착되어 진공흡입의 부착력과 협동하여 필름이 스핀코팅용 클램핑 지그에 보다 견고하게 부착된다. 따라서, 필름이 스핀코팅용 지그에 견고하게 부착된 상태에서 스핀코팅이 진행된다.
한편, 필름에 기능성 막을 코팅할 때, 공정조건에 따라서는 소정온도로 가열된 분위기에서 코팅작업이 이루어질 수가 있으며, 이때, 점착부재인 실리콘층(25)은 이러한 온도조건에 대하여도 점착성을 유지할 수 있어 필름을 원활하게 부착시킬 수 있다. 또한, 필름 코팅액의 점성에 따른 필름의 굽힘(Curl)을 진공흡착력과 실리콘층의 점착력에 의하여 방지할 수도 있다.
상술한 설명에서, 점착부재로서 실리콘층을 사용한 것으로 설명하였으나, 실 리콘 외에 양면테이프등을 사용할 수도 있음은 물론이다. 또한, 하부플레이트에 형성된 유로는 직교하는 형상으로 설명하였으나, 다양한 형상을 가질 수 있음은 물론이다.
다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도이고, 도 10은 도9의 단면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 스핀코팅용 클램핑 지그는 필름이 지지되는 상부플레이트(13)와, 상부플레이트(13)와 결합하는 하부플레이트(26)를 구비한다.
상부플레이트(13)는 사각형상의 판상으로 마련되며 하부플레이트(26)와 나사결합된다. 상부플레이트(13)의 면에는 다수의 관통공(14)이 형성된다. 관통공(14)은 상부플레이트(13)의 가장자리를 따라 다수개 형성된다. 이러한 관통공(14)은 필름의 가장자리 부분에 대응하여 형성되어 필름과 상부플레이트(13) 사이의 공기를 스핀코팅용 클램핑 지그의 내부로 흡입시키는 역할을 한다.
하부플레이트(26)는 본 발명의 제1실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그와 마찬가지로 내부에 공기가 흐를 수 있는 유로(21)가 형성되어 있으며, 중앙영역에는 공기가 외부로 유출되는 배출공(22)이 형성되며, 배출공에는 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브(40)가 마련되어 있다.
한편, 상부플레이트(13)와 하부플레이트(26)는 나사결합되어 있으며, 상부플레이트(13)와 하부플레이트(26)가 결합되는 부분을 통하여 공기의 유출을 막을 수 있도록, 상부플레이트(13)와 하부플레이트(26)가 결합되는 부분은 실링부재(29)로 실링처리되어 있다.
상술한 구성에 의한 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 작동을 설명한다. 먼저 스핀코팅용 클램핑 지그는 상부플레이트(13)가 하부플레이트(26)에 장착되고, 하부플레이트(26)에 마련된 체크벨브(40)와 진공입장치의 흡입구가 맞닿도록 위치하여 진공흡입장치와 결합된다.
이어, 필름을 상부플레이트(13)에 위치시키면, 상부플레이트(13)가 필름을 지지한다. 이때, 필름의 가장자리영역은 상술한 관통공(14)의 위치에 대응하여 위치된다.
필름이 지지된 상태에서 진공흡입장치에 의하여 공기가 흡입되면, 상부플레이트(13)와 필름 사이의 공기는 관통공(14)을 통하여 스핀코팅용 클램핑 지그의 내부로 흡입된다. 내부로 흡입된 공기는 하부플레이트(26)에 형성된 유로(21)와 체크벨브(40)를 통하여 외부로 배출된다. 공기가 유출됨에 따라, 상부플레이트(13)와 하부플레이트(26) 사이에는 진공이 형성되며, 필름은 상부플레이트(13)에 진공의 힘으로 견고하게 부착될 수 있다. 따라서, 필름이 스핀코팅용 지그에 견고하게 부착된 상태에서 스핀코팅이 진행된다.
다음으로, 본 발명의 제3실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다.
도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 상부플레이트를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그는 본 발명의 제2실시예와 다른 구성은 동일하며, 상부플레이트(13)에 형성된 관통공(14)이 상호 일정한 간격으로 좌우로 규칙적으로 배열되어 있다. 따라서, 필름의 가장자리 뿐만 아니라 중앙영역에 대응하는 관통공(14)에 의하여 필름의 전영역이 진공의 흡착력에 의해 스핀코팅용 클램핑 지그에 견고하게 부착될 수 있다.
본 발명의 제4실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다.
도 12는 본 발명의 제4실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 상부플레이트를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그는 본 발명의 제2실시예와 다른 구성은 동일하며, 상부플레이트(13)의 가장자리를 따라 슬릿(15)이 형성되어 있다.
이러한 구성에 의한다면, 상부플레이트(13)의 가장자리를 따라 공기가 보다 빨리 스핀코팅용 클램핑 지그의 내부로 유입되어 진공이 형성될 수 있다.
본 발명의 제5실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다.
도 13은 본 발명의 제5실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이 스핀코팅용 클램핑 지그는 베이스 플레이트(27)와, 베이스 플레이트(27)의 상면에 형성되어 필름을 부착시키는 점착부재(16)를 포함한다. 베이스 플레이트(27)는 코팅하고자 하는 필름의 형상에 대응하여 형성될 수 있다. 점착부재(16)로는 압축성형된 실리콘이나, 실리콘겔 또는 양면테이프로 마련될 수 있다.
점착부재(16)로 사용되는 실리콘은 고압으로 압축성형되어 베이스 플레이트 (27)에 접착된다. 이때 실리콘의 상면은 접착력이 1cm2당 10~15g정도인 것이 바람직하다. 이는 실리콘의 상면에 필름이 부착되어 스핀코팅공정이 끝난 후 필름을 스핀코팅용 클램핑 지그로부터 용이하게 이탈시킬 수 있기 때문이다.
점착부재(16)로 사용되는 실리콘겔은 베이스 플레이트(27)의 상면에 액상의 실리콘을 코팅한 후, 고온에서 실리콘을 경화시켜 형성된다. 이러한 방법으로 베이스 플레이트(27)의 상면에 실리콘 겔이 형성된다. 실리콘 겔의 경우도 상술한 압축성형한 실리콘의 경우와 마찬가지로 점착력이 1cm2당 10~15g정도인 것이 바람직하다.
또한, 점착부재(16)로 사용되는 양면테이프의 경우에는 베이스 플레이트(27)와 접착되는 면의 점착력은 1cm2당 60g이상, 필름이 부착되는 면의 점착력은 1cm2당 10~15g정도인 것이 바람직하다. 스핀코팅 후 필름을 스핀코팅용 클램핑 지그로부터 이탈시킬 때, 양면테이프가 베이스 플레이트로부터 필름과 함께 이탈되는 것을 방지하기 위하여, 양면테이프의 베이스 플레이트에 접착되는 면의 점착력이 더 높게 유지되어야 하기 때문이다.
다음으로, 본 발명의 제6실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다.
도 14는 본 발명의 제6실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 스핀코팅용 클램핑 지그는 베이스 플레이트(27)와, 베이스 플레이트(27)의 가장자리 영역에 결합되어 필름을 고정시키는 고정부재 (33)를 포함한다. 베이스 플레이트(27)는 코팅하고자 하는 필름의 형상에 대응하여 형성될 수 있으며, 필름의 크기보다는 크게 마련된다. 여기서, 고정부재(33)는 테이프로 마련된다. 즉, 베이스 플레이트(27)에 의해 필름이 지지되며, 필름의 가장자리와 베이스플레이트(27)의 가장자리를 동시에 고정시킬 수 있는 테이프(33)를 부착하여 필름을 베이스 플레이트(27)에 고정시킨다. 테이프(27)의 접착력에 의해 필름이 베이스 플레이트(27)에 안정적으로 고정될 수 있으며, 스핀코팅 후 테이프(27)를 제거하면 필름이 베이스 플레이트(27)로부터 용이하게 탈착될 수 있다.
다음으로, 본 발명의 제7실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다.
도 15는 본 발명의 제7실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제7실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그는 본 발명의 제6실시예와 달리, 고정부재(34)로 자성체를 이용한다. 베이스 플레이트(27)와 고정부재(34)는 자성체로 마련되며, 자성체인 고정부재(34)는 베이스 플레이트(27)와 자력에 의하여 결합되며, 고정부재(34)와 베이스 플레이트(27) 사이에 위치하는 필름의 가장자리 영역은 고정부재(34)와 베이스 플레이트(27)의 자력에 의한 결합으로 베이스 플레이트(27)에 부착될 수 있다. 여기서, 고정부재(34)의 단면은 직삼각형의 형상으로 마련되어 스핀코팅시 코팅액의 간섭을 방지할 수 있다. 한편, 자성체인 고정부재는 바(bar)형상을 가질 수도 있으며, 도 16에 도시된 변형예와 같이, 고정부재(34)는 베이스 플레이트(27)의 외곽형상에 대응하는 폐루프 형상으로 마련될 수도 있다. 이런 경우, 보다 견고하게 필름을 베이스 플레 이트(27)에 고정시킬 수 있다.
본 발명의 제8실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다.
도 17은 본 발명의 제8실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도이고, 도면의 원내는 고정부재의 단면을 도시한 것이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제8실시예의 고정부재(37)는 베이스 플레이트(27)의 가장자리와 결합하는 결합브래킷(37a)과, 결합브래킷(37a)의 단부로부터 절곡된 고정부(37b)를 포함한다.
결합브래킷(37a)은 베이스 플레이트(27)와 나사결합으로 고정된다. 고정부(37b)는 결합브래킷(37a)의 상단부로부터 베이스 플레이트(27)의 중앙영역을 향하여 절곡형성된다. 또한, 고정부(37b)의 단면은 스핀코팅시 코팅액의 간섭을 피하기 위하여 삼각형의 형상을 가진다. 따라서, 고정부(37b)의 하면에 필름이 맞닿아 베이스 플레이트(27)에 필름이 고정된다.
여기서, 고정부(37b)의 필름이 맞닿는 면에는 필름을 보다 견고하게 고정시키기 위하여 점착부재(38)가 마련될 수도 있다. 점착부재(38)로서는 상술한 제5실시예와 마찬가지로 실리콘이나 실리콘 겔이 이용될 수 있다.
한편, 고정부재(37)는 베이스 플레이트의 각 변에 대응하여 각각 마련될 수도 있으며, 베이스 플레이트의 외곽형상에 대응하는 폐루프형상으로 마련될 수도 있다.
상술한 여러 실시예에 따라 필름을 스핀코팅용 클램핑 지그에 부착하여 스핀코팅할 수 있게 되며, 필름을 미리 절단하여 코팅하기 때문에, 필름에 기능성 막을 추가로 코팅할 때, 스핀코팅용 클램핑 지그에 부착된 상태로 이후의 코팅공정으로 이송시킬 수 있으므로, 복수의 기능성 막을 원활하게 코팅할 수 있는 장점이 있다.
또한, 스핀코팅용 클램핑 지그에 부착하여 필름을 개별적으로 코팅하므로 스핀코팅방식으로 필름에 기능성 막을 코팅할 수 있어 보다 정밀하고 양질의 코팅을 할 수 있는 장점이 있다.
이상과 같은 다양한 실시예에 의해 필름에 기능성 막을 스핀코팅방식으로 코팅할 수 있게 된다. 상술한 설명에서 피코팅부재로서 필름에 대하여 설명하였으나, 이는 본 발명의 하나의 실시의 형태를 나타낸 것이며, 본 발명이 피코팅부재로 유리나 판상의 플라스틱등 스핀코팅이 가능한 다양한 피코팅부재에 적용될 수도 있음은 물론이다.
또한, 본 발명의 권리범위는 상기 실시예에 한정되는 것은 아니라 첨부된 특허청구범위내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 가능한 다양한 변형 가능한 범위까지 본 발명의 청구 범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 필름에 기능성 막을 코팅할 때, 코팅 막의 두께를 원하는 두께로 얇게 할 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그가 제공된다.
또한, 하나의 필름에 여러 겹의 기능성 막을 코팅할 수 있는 스핀코팅용 클 램핑 지그가 제공된다.
또한, 스핀코팅방식으로 기능성 막을 코팅할 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그가 제공된다.
더욱이, 코팅공정 중에 발생하는 진동, 열, 코팅액의 점성에 의한 굽힘(Curl)등에 대한 영향을 받지 않는 스핀코팅용 클램핑 지그가 제공된다.

Claims (18)

  1. 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서,
    상면에 피코팅부재를 지지하는 상부플레이트와;
    상기 상부플레이트의 배면과 맞닿고, 상면에 공기의 흐름을 안내하는 유로가 형성되며, 상기 유로의 일영역에 공기가 배출되도록 배출공이 형성된 하부플레이트와;
    상기 상부플레이트의 연부로부터 소정거리 이격공간을 형성하도록 상기 하부플레이트의 가장자리를 따라 돌출된 돌출리브와;
    상기 하부플레이트에 형성된 배출공에 설치되어 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브와;
    상기 돌출리브의 상면에 마련되며, 상기 상부플레이트의 상면에 대응되는 높이로 설치되는 점착부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 점착부재는 실리콘층인 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  3. 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서,
    상면에 피코팅부재를 지지하며, 다수의 관통공이 형성된 상부플레이트와;
    상기 상부플레이트와 결합하고, 상면에 공기가 유동할 수 있는 유로가 형성 되며, 상기 유로의 일영역에 공기가 배출되도록 배출공이 형성된 하부플레이트와;
    상기 하부플레이트에 형성된 배출공에 설치되어 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브와를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 관통공은 상기 상부플레이트의 가장자리를 따라 형성된 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 관통공은 상기 상부플레이트에 상하좌우 상호 동일한 간격으로 형성된 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 관통공은 상기 상부플레이트의 가장자리에 슬릿으로 형성된 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하부플레이트는 배면에 상기 배출공을 중심으로 함몰된 함몰부가 형성되고, 상기 체크벨브는 상기 함몰부에 대응하도록 상기 체크벨브의 외면을 따라 형성된 브래킷을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  8. 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서,
    베이스 플레이트와;
    상기 베이스 플레이트의 상면에 마련되어 피코팅부재를 부착시키는 점착부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 점착부재는 압축성형된 실리콘으로 마련된 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 점착부재는 실리콘겔로 마련된 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 점착부재는 양면테이프로 마련된 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  12. 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서,
    피코팅부재를 지지하는 베이스 플레이트와,
    상기 베이스 플레이트의 가장자리 영역에 결합되어 상기 피코팅부재를 고정시키는 고정부재을 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 고정부재는 테이프인것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 고정부재는 자성체로 마련되는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 고정부재는 상기 베이스 플레이트의 외곽형상에 대응하는 폐루프 형상으로 마련된 자성체인 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  16. 제12항에 있어서,
    상기 고정부재는 상기 베이스 플레이트에 결합되는 결합브래킷과, 피코팅부재와 맞닿아 피코팅부재를 고정시키도록 상기 결합브래킷의 단부로부터 절곡된 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 고정부는 피코팅부재와 맞닿는 면에 마련된 점착부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 점착부재는 실리콘인 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.
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WO2022260465A1 (ko) * 2021-06-10 2022-12-15 크루셜텍 주식회사 전사용 지그 구조체

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