KR20060067320A - Liquid crystal display device and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마스크의 형상을 기판에 대응되는 부위별로 달리하여, 1회의 노광으로 다양한 형상 또는 다양한 높이의 스페이서를 제조하여 셀 갭을 안정적으로 유지하고 터치 불량을 개선한 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 액정 표시 장치는 TFT 어레이가 형성되는 제 1 기판과, 상기 제 1 기판의 TFT 어레이에 대향된 면에 단차를 갖는 컬러 필터 어레이가 형성되는 제 2 기판과, 상기 제 2 기판 상의 단차가 낮은 영역에 형성되는 제 1 칼럼 스페이서와, 상기 제 2 기판 상의 단차가 높은 영역에 형성되며, 제 1 기판에 대향되어 라운딩된 상부면을 갖는 제 2 칼럼 스페이서 및 상기 제 1 및 제 2 기판 사이에 충진된 액정층을 포함하여 이루어짐에 그 특징으로 한다.The present invention provides a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same in which the shape of the mask is different for each part corresponding to the substrate, thereby manufacturing spacers having various shapes or various heights in one exposure to maintain cell gaps and improve touch defects. The liquid crystal display device of the present invention relates to a first substrate on which a TFT array is formed, a second substrate on which a color filter array having a step is formed on a surface of the first substrate opposite to the TFT array, and the second substrate. A first column spacer formed in a region having a low step height, a second column spacer formed in a region having a high step height on the second substrate, and having a rounded upper surface facing the first substrate, and the first and second It is characterized by including a liquid crystal layer filled between the substrate.

칼럼 스페이서, 터치 불량, 셀 갭, 마스크, 회절 노광Column Spacers, Bad Touch, Cell Gap, Mask, Diffraction Exposure

Description

액정 표시 장치 및 이의 제조 방법{Liquid Crystal Display Device and Method for Manufacturing the Same}Liquid crystal display device and method for manufacturing the same

도 1은 종래의 액정 표시 장치를 나타낸 평면도1 is a plan view showing a conventional liquid crystal display device

도 2는 도 1의 I~I' 선상의 구조 단면도2 is a structural cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 1.

도 3은 종래의 칼럼 스페이서와 이를 형성하는 마스크를 도시한 단면도3 is a cross-sectional view showing a conventional column spacer and a mask forming the same.

도 4는 도 3의 칼럼 스페이서를 포함한 액정 패널 전면에 걸쳐 고른 압력 인가에 따른 칼럼 스페이서의 변형 정도를 나타낸 그래프FIG. 4 is a graph showing the degree of deformation of the column spacer according to an even pressure applied across the entire liquid crystal panel including the column spacer of FIG.

도 5a 및 도 5b는 종래의 액정 표시 장치의 터치 얼룩이 일어나는 부위의 모습을 나타낸 평면도 및 단면도5A and 5B are a plan view and a cross-sectional view showing a state where a touch unevenness occurs in a conventional liquid crystal display.

도 6은 마스크의 투과부의 크기에 따라 형성되는 칼럼 스페이서를 나타낸 개략 단면도6 is a schematic cross-sectional view showing a column spacer formed according to the size of the permeable portion of the mask.

도 7은 도 6의 마스크를 나타낸 평면도7 is a plan view of the mask of FIG.

도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 컬러 필터 어레이 기판을 나타낸 평면도8 is a plan view illustrating a color filter array substrate of a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 9는 도 8의 Ⅲ~Ⅲ' 선상에 따른 컬러 필터 어레이 기판의 구조 단면도9 is a structural cross-sectional view of the color filter array substrate taken along line III-III ′ of FIG. 8;

도 10은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치에 있어서, 압력에 따른 칼럼 스페이서의 변형 정도 및 컬러 필터 어레이 기판 및 TFT 어레이 기판 대응 정도를 나타낸 그래프FIG. 10 is a graph showing a deformation degree of a column spacer according to pressure, and a correspondence degree of a color filter array substrate and a TFT array substrate in the liquid crystal display according to the first embodiment of the present invention.

도 11은 본 발명의 액정 표시 장치를 횡전계 모드에 적용한 경우를 나타낸 평면도11 is a plan view showing a case where the liquid crystal display of the present invention is applied to the transverse electric field mode;

도 12는 도 11의 Ⅲ~Ⅲ' 선상의 구조 단면도12 is a cross-sectional view taken along line III-III ′ of FIG. 11;

도 13은 본 발명의 액정 표시 장치를 트위스트 네마틱 모드에 적용한 경우를 나타낸 평면도13 is a plan view showing a case where the liquid crystal display of the present invention is applied to the twist nematic mode.

도 14는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 칼럼 스페이서 및 이의 제조 방법을 나타낸 도면14 illustrates a column spacer and a method of manufacturing the same in a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 15는 도 14에 이용되는 마스크를 나타낸 평면도FIG. 15 is a plan view illustrating a mask used in FIG. 14.

도 16은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 압력에 따른 칼럼 스페이서의 변형 정도를 나타낸 그래프16 is a graph illustrating a deformation degree of a column spacer according to pressure of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 17은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 컬러 필터 어레이 기판을 나타낸 평면도 17 is a plan view illustrating a color filter array substrate of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 18은 도 17의 Ⅳ~Ⅳ' 선상의 구조 단면도18 is a cross-sectional view taken along line IV-IV 'of FIG.

*도면의 주요 부분에 대한 부호 설명** Description of symbols on the main parts of the drawings *

100 : 컬러 필터 어레이 기판 101 : 제 1 칼럼 스페이서100 color filter array substrate 101 first column spacer

103 : 제 2 칼럼 스페이서 105 : 제 3 칼럼 스페이서103: second column spacer 105: third column spacer

110 : 제 1 기판110: first substrate

111 : 블랙 매트릭스층 112 : 컬러 필터층111 black matrix layer 112 color filter layer

112a : 제 1 컬러 필름 112b : 제 2 컬러 필름112a: first color film 112b: second color film

112c : 제 3 컬러 필름 113 : 오버코트층/공통 전극 112c: third color film 113: overcoat layer / common electrode

120 : 제 2 기판 121 : 게이트 라인120: second substrate 121: gate line

122 : 데이터 라인 123 : 화소 전극122: data line 123: pixel electrode

127a : 공통 전극 127 : 공통 전극 127a: common electrode 127: common electrode

150 : 마스크 200 : 컬러 필터 어레이 기판150: mask 200: color filter array substrate

201 : 제 1 칼럼 스페이서 202 : 제 2 칼럼 스페이서201: first column spacer 202: second column spacer

210 : 제 1 기판 220 : 제 2 기판210: first substrate 220: second substrate

250 : 마스크 260 : TFT 어레이 기판250: mask 260: TFT array substrate

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로 특히, 마스크의 형상을 기판에 대응되는 부위별로 달리하여, 1회의 노광으로 다양한 형상 또는 다양한 높이의 스페이서를 제조하여 셀 갭을 안정적으로 유지하고 터치 불량을 개선한 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법, 이에 이용되는 마스크에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device. In particular, by varying the shape of a mask for each part corresponding to a substrate, a spacer having various shapes or various heights is manufactured in one exposure to maintain cell gaps and improve touch defects. A liquid crystal display device and a manufacturing method thereof, and a mask used therein.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시 장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, liquid crystal display devices (LCDs), plasma display panels (PDPs), electro luminescent displays (ELD), and vacuum fluorescent (VFD) Various flat panel display devices such as displays have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시 장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비젼 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as the substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for mobile image display device because of its excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption. In addition to the use of the present invention has been developed in various ways such as a television and a computer monitor for receiving and displaying broadcast signals.

이와 같은 액정 표시 장치가 일반적인 화면 표시 장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비 전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.In order to use such a liquid crystal display as a general screen display device in various parts, it is a matter of how high quality images such as high definition, high brightness and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness and low power consumption. Can be.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 액정 표시 장치를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a liquid crystal display according to the related art will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 액정 표시 장치를 나타낸 평면도이며, 도 2는 도 1의 I~I' 선상의 구조 단면도이다.1 is a plan view illustrating a conventional liquid crystal display, and FIG. 2 is a structural cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 2와 같이, 종래의 액정 표시 장치는, 일정 공간을 갖고 합착된 제 1 기판(1) 및 제 2 기판(2)과, 상기 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2) 사이에 주입된 액정층(미도시)으로 구성되어 있다. 이 때, 상기 제 1, 제 2 기판(2) 및 액정층(미도시)을 모두 포함하여 액정 패널이라 한다. As shown in FIGS. 1 and 2, a conventional liquid crystal display device includes a first substrate 1 and a second substrate 2 bonded to each other with a predetermined space, and the first substrate 1 and the second substrate 2. It consists of the liquid crystal layer (not shown) injected in between. In this case, all of the first and second substrates 2 and the liquid crystal layer (not shown) are referred to as a liquid crystal panel.

도시된 종래의 액정 표시 장치에서는 상기 제 1, 제2 기판(1, 2)을 지지하기 위해 칼럼 스페이서(20)가 상기 제 1 기판(1) 상의 배선 영역에 대응되어 형성된다. 일반적인 액정 표시 장치에서는 칼럼 스페이서 대신 볼 스페이서(도 1에서는 미도시)가 제 1, 제 2 기판(1, 2) 사이의 지지 기능을 하고 있다.In the conventional liquid crystal display illustrated in the drawing, a column spacer 20 is formed to correspond to a wiring area on the first substrate 1 to support the first and second substrates 1 and 2. In a typical liquid crystal display device, a ball spacer (not shown in FIG. 1) instead of the column spacer functions to support the first and second substrates 1 and 2.

보다 구체적으로 설명하면, 종래의 액정 표시 장치의 제 1 기판(1) 상의 어레이 영역에는, 화소 영역을 정의하기 위해 게이트 라인(4) 및 데이터 라인(5)이 서로 수직으로 교차하여 배열되고, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차하는 부분에 박막트랜지스터(TFT)가 형성되며, 각 화소 영역에는 화소 전극(6)이 형성된다. More specifically, in the array area on the first substrate 1 of the conventional liquid crystal display device, the gate line 4 and the data line 5 are arranged perpendicularly to each other so as to define the pixel area. A thin film transistor TFT is formed at a portion where each gate line 4 and the data line 5 cross each other, and a pixel electrode 6 is formed in each pixel area.

여기서, 상기 박막 트랜지스터는 게이트 라인(4)으로부터 돌출된 게이트 전극(4a)과, 상기 게이트 전극(4a)을 덮는 형상의 반도체층(17)과, 상기 반도체층(17)의 양측에 대응되어 상기 데이터 라인(5)으로부터 돌출된 소오스 전극(5a)과, 상기 소오스 전극(5a)으로부터 소정 간격 이격된 드레인 전극(5b)을 포함하여 이루어진다.The thin film transistor corresponds to a gate electrode 4a protruding from the gate line 4, a semiconductor layer 17 having a shape covering the gate electrode 4a, and both sides of the semiconductor layer 17. A source electrode 5a protruding from the data line 5 and a drain electrode 5b spaced apart from the source electrode 5a by a predetermined interval are included.

그리고, 상기 제 1 기판(1) 상에는 각 금속 라인간의 절연을 위해 상기 게이트 라인(4)이 형성되고, 상기 게이트 라인(4)을 포함한 기판 전면에 게이트 절연막(15)이 형성되며, 상기 게이트 절연막(15)위에 보호막(16)이 형성된다. 상기 보호막(16) 중 상기 드레인 전극(5b)의 상부의 소정 부위가 제거되어, 상기 화소 전극(16)과 상기 드레인 전극(5b)을 전기적으로 연결시키는 콘택 홀(16a)이 형성된다.The gate line 4 is formed on the first substrate 1 to insulate the metal lines, and a gate insulating film 15 is formed on the entire surface of the substrate including the gate line 4. A protective film 16 is formed on (15). A predetermined portion of the upper portion of the drain electrode 5b of the passivation layer 16 is removed to form a contact hole 16a that electrically connects the pixel electrode 16 and the drain electrode 5b.

상기 제 1 기판(1)과 대향하여 상기 제 2 기판(2)에는, 상기 화소 영역을 제외한 비화소 영역(게이트 라인, 데이터 라인 및 박막 트랜지스터 영역)을 가리기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 상기 블랙 매트릭스층(7)을 포함한 제 2 기판(2) 상에 각 화소 영역별로 차례로 R, G, B 안료가 대응되어 형성된 컬러 필터층(8) 및 상기 컬러 필터층(8)을 포함한 상기 제 2 기판(2) 전면에 형성된 공통 전극(14)이 형성된다. 그리고, 상기 공통 전극(14) 상부의 소정 부위에 셀갭(cell gap)을 유지하기 위한 칼럼 스페이서(20)가 복수개 형성된다.On the second substrate 2 facing the first substrate 1, a black matrix layer 7 for covering non-pixel regions (gate lines, data lines, and thin film transistor regions) other than the pixel region, and The second substrate including the color filter layer 8 and the color filter layer 8 formed on the second substrate 2 including the black matrix layer 7 in correspondence with the R, G, and B pigments in order for each pixel region ( 2) The common electrode 14 formed on the front surface is formed. In addition, a plurality of column spacers 20 for maintaining a cell gap are formed in a predetermined portion above the common electrode 14.

여기서, 상기 칼럼 스페이서(20)는 게이트 라인(4) 상부에 대응되어 형성된다. Here, the column spacer 20 is formed to correspond to the upper portion of the gate line 4.

상기 복수개 형성된 칼럼 스페이서(20)들은 서로 동일 간격 이격되어 형성되며, 합착 후, 상기 제 1, 제 2 기판(1, 2) 사이에서 지지 기능을 한다.The plurality of formed column spacers 20 are equally spaced apart from each other, and after bonding, serve as a support function between the first and second substrates 1 and 2.

도시된 도면에서 상기 제 1 기판(1) 및 상기 제 1 기판(1) 상에 형성되는 TFT 어레이를 포함하여 TFT 어레이 기판(30)이라 하며, 상기 제 2 기판(2) 및 상기 제 2 기판 상에 형성되는 컬러 필터 어레이를 포함하여 컬러 필터 어레이 기판(40)이라 한다.In the illustrated figure, the TFT array substrate 30 including the first substrate 1 and the TFT array formed on the first substrate 1 is referred to as the TFT array substrate 30, and is disposed on the second substrate 2 and the second substrate. It is referred to as a color filter array substrate 40 including a color filter array formed on the substrate.

도 3은 종래의 칼럼 스페이서와 이를 형성하는 마스크를 도시한 단면도이며, 도 4는 도 3의 칼럼 스페이서를 포함한 액정 패널 전면에 걸쳐 고른 압력 인가에 따른 칼럼 스페이서의 변형 정도를 나타낸 그래프이다.3 is a cross-sectional view illustrating a conventional column spacer and a mask forming the same, and FIG. 4 is a graph illustrating a deformation degree of the column spacer according to an even pressure applied over the entire liquid crystal panel including the column spacer of FIG. 3.

종래의 칼럼 스페이서(20)는 다음의 순서로 형성된다.The conventional column spacer 20 is formed in the following order.

먼저, 도 2와 같이, 상기 제 2 기판(2) 상에 블랙 매트릭스층(7), 컬러 필터층(8) 및 공통 전극(14)이 형성된 컬러 필터 어레이 기판(40)을 준비한다.First, as shown in FIG. 2, a color filter array substrate 40 having a black matrix layer 7, a color filter layer 8, and a common electrode 14 formed on the second substrate 2 is prepared.

이어, 상기 컬러 필터 어레이 기판(40) 상에 소정의 높이로 유기 절연막(20과 동일층)을 도포한다. Next, an organic insulating layer 20 and the same layer are coated on the color filter array substrate 40 at a predetermined height.

이어, 상기 유기 절연막(20)을 포함한 전면에 감광막(25와 동일층)을 도포한 다. 여기서, 상기 감광막은 네거티브 감광막으로, 노광된 부위가 현상시 남아있는 성질을 갖는다.Subsequently, a photosensitive film 25 and the same layer are coated on the entire surface including the organic insulating film 20. Here, the photoresist film is a negative photoresist film, and the exposed portion has a property of remaining during development.

이어, 상기 감광막 상에 소정 부위에 개구부(50a)가 정의된 마스크(50)를 정렬시킨다. Subsequently, the mask 50 having the opening 50a defined in a predetermined portion is aligned on the photosensitive film.

이어, 상기 마스크(50)를 이용하여 상기 감광막을 노광한 후, 현상하여 감광막 패턴(25)을 형성한다.Subsequently, the photoresist film is exposed using the mask 50 and then developed to form the photoresist pattern 25.

이어, 상기 감광막 패턴(25)을 이용하여, 상기 유기 절연막(20)을 선택적으로 제거하여 칼럼 스페이서(20)를 형성한다.Next, the organic insulating layer 20 is selectively removed using the photosensitive film pattern 25 to form the column spacer 20.

이 때, 상기 마스크(50)는 상기 감광막 패턴(25)과 소정 간격(A) 이격되어 있어, 그 측면이 소정 각의 테이퍼를 갖는 형상으로 형성되며, 칼럼 스페이서(20)의 형성을 위한 상기 감광막 패턴(25)을 이용한 유기 절연막의 패터닝시에도 상기 테이퍼는 상기 칼럼 스페이서에 적용된다.In this case, the mask 50 is spaced apart from the photosensitive film pattern 25 by a predetermined distance A, and a side surface thereof is formed in a shape having a predetermined taper, and the photosensitive film for forming the column spacer 20 is formed. The taper is applied to the column spacer even when the organic insulating layer is patterned using the pattern 25.

또한, 상기 칼럼 스페이서(20)의 테이퍼(taper)는 상기 마스크(50)와 감광성 물질간의 이격 정도를 조절하여 진행할 수 있다. 즉, 상기 마스크(50)와 노광시 감광성 물질과 이격이 크다면, 테이퍼는 보다 완만할 것이고, 마스크(50)와 노광시 감광성 물질과 이격이 적고, 콘택(contact)에 가깝다면 테이퍼는 수직에 가까울 것이다.In addition, the taper of the column spacer 20 may be controlled by adjusting the separation degree between the mask 50 and the photosensitive material. That is, if the mask 50 and the photosensitive material apart from the photosensitive material at the time of exposure are larger, the taper will be more gentle, and if the mask 50 and the photosensitive material are separated from the photosensitive material at the time of exposure, the taper will be perpendicular to the contact. Will be close.

도 2 및 도 3과 같이, 컬러 필터 어레이 기판(40)과 TFT 어레이 기판(30) 사이에 지지를 위해 형성하는 칼럼 스페이서(20)는, 소정 부위에 고정되어 형성되어 상기 칼럼 스페이서가 외부요인에 대하여도 위치 변경을 하지 못하여, 소정의 칼럼 스페이서가 위치한 부위에 압력을 가해졌을 때, 압력에 따른 변형을 하게 된다.As shown in FIGS. 2 and 3, the column spacer 20 formed for support between the color filter array substrate 40 and the TFT array substrate 30 is fixed to a predetermined portion so that the column spacer is formed on an external factor. When the pressure is applied to a portion where a predetermined column spacer is located, the position change is not performed.

합착된 칼럼 스페이서가 형성된 제 1 기판 또는 제 2 기판의 외부 표면을 국부적으로 눌렀을 때, 압력의 세기가 커지면 어느 정도까지는 칼럼 스페이서의 모양의 변형 정도가 선형적으로 비례하여 커지고, 그 이상으로 압력의 세기가 커지게 되면 칼럼 스페이서의 변형 정도는 점차 작아진다. 이와 같이, 칼럼 스페이서의 변형이 어느 정도 한계를 갖는 것은 칼럼 스페이서를 이루는 물질의 탄성력의 한계 또는 고유의 복원력 때문으로 생각된다.When locally pressing the outer surface of the first substrate or the second substrate on which the bonded column spacer is formed, as the intensity of the pressure increases, the degree of deformation of the shape of the column spacer to a certain extent increases linearly proportionately, As the intensity increases, the degree of deformation of the column spacer gradually decreases. Thus, the deformation of the column spacer to some extent is considered to be due to the limit of elastic force or inherent restoring force of the material constituting the column spacer.

한편, 상술한 종래의 칼럼 스페이서를 포함한 액정 표시 장치는 다음과 같이, 터치시 빛샘이 나타나는 불량이 발생한다. On the other hand, in the above-described liquid crystal display including the column spacer, a defect occurs in which light leakage occurs when touched as follows.

이하에서는 터치 얼룩(터치 불량)에 대해 설명한다.Hereinafter, touch unevenness (touch failure) will be described.

도 5a 및 도 5b는 터치 얼룩이 일어나는 부위의 모습을 나타낸 평면도 및 단면도이다.5A and 5B are a plan view and a sectional view showing a state where a touch spot occurs.

도 5a와 같이, 액정 패널(10)면을 손가락 또는 펜 등으로 터치한 상태에서 소정의 방향으로 훑어 지나가게 되면, 도 5b와 같이, 액정 패널(10)의 제 2 기판(2)은 손가락이 지나간 방향으로 소정 간격 쉬프트하게 된다. As shown in FIG. 5A, when the surface of the liquid crystal panel 10 is swung in a predetermined direction while being touched with a finger or a pen, the second substrate 2 of the liquid crystal panel 10 may have a finger as shown in FIG. 5B. The predetermined interval is shifted in the passing direction.

이 때, 원기둥 형상의 칼럼 스페이서(20)가 제 1, 제 2 기판(1, 2)에 닿아있으며, 이 접촉 면적이 커, 칼럼 스페이서(20)와 대향 기판(제 1 기판, 1) 사이에 발생하는 마찰력이 크기 때문에, 터치 방향으로 쉬프팅(shifting)한 후, 상기 제 2 기판(2)은 한참동안 원 상태로 복원되지 못하고 있다. 이 경우, 상기 손가락 또는 펜 등이 지나간 자리의 액정은 흩어지며, 지나간 자리의 주변 영역에 액정이 모이 는 현상이 일어난다. 이 경우, 상기 액정(3)이 모인 부위는, 칼럼 스페이서(20)의 높이로 정의되는 타 부위의 셀 갭(h2)보다 셀 갭(h1)이 높아지며, 손가락 또는 펜 등이 지나간 자리는 액정이 흩어져, 터치 부위 및 터치 주변 영역에는 액정의 과잉 및 부족으로 터치 부위가 얼룩(mura)으로 관찰되는 터치 불량이 발생한다.At this time, the columnar columnar spacer 20 is in contact with the first and second substrates 1 and 2, and the contact area is large, and the column spacer 20 and the opposing substrate (the first substrate, 1) are in contact with each other. Since the generated frictional force is large, after shifting in the touch direction, the second substrate 2 has not been restored to its original state for a long time. In this case, the liquid crystal in the spot where the finger or the pen passes is scattered, and a phenomenon in which the liquid crystal collects in the peripheral region of the passed spot occurs. In this case, the area where the liquid crystals 3 are collected has a higher cell gap h1 than the cell gap h2 of the other area defined by the height of the column spacer 20, and the place where the finger or the pen passes is where the liquid crystal is. Scattered, touch defects in which touch portions are observed as mura due to excessive and insufficient liquid crystal occur in the touch region and the touch peripheral region.

이러한 터치 불량이 칼럼 스페이서가 형성된 액정 표시 장치에서 관찰된 이유는, 칼럼 스페이서는 한쪽 기판에는 고정되고 대향 기판과는 면 형상으로 접촉되어, 구 형상의 볼 스페이서에 비해 기판에 접촉되는 면적이 넓기 때문으로 판단된다. The reason why such a touch defect is observed in the liquid crystal display device in which the column spacer is formed is that the column spacer is fixed to one substrate and is in planar contact with the opposing substrate, so that the area of contact with the substrate is larger than that of the spherical ball spacer. Judging by

한편, 터치 얼룩의 원인을 상술한 바와 같이, 접촉 면적이 크기 때문으로 보는 관점 외에 기판을 터치시 기판과 칼럼 스페이서의 접촉 면 사이에 진공이 잡혀 원상 회복이 느린 것으로 보는 견해도 있다. 볼 스페이서의 경우, 구 형상으로, 대향 기판과 접점의 접촉 부위를 가지며, 사방으로 자유롭게 움직임이 가능하므로, 액정 패널면을 터치하는 조건에도 상하부 두 기판 사이에서 진공 상태가 조성되지 않는다. 이에 반해 칼럼 스페이서는 평탄한 대향 기판과 칼럼 스페이서의 상부면이 만나게 될 경우, 그 접촉 부위에 진공 상태가 조성되기 용이하기 때문이다.On the other hand, as described above, the cause of the touch unevenness, in addition to the viewpoint that the contact area is large, there is a view that the vacuum recovery between the contact surface of the substrate and the column spacer when the substrate is touched, the original recovery is slow. The ball spacer has a spherical shape, has a contact portion between the opposing substrate and the contact point, and can move freely in all directions, so that a vacuum state is not formed between the upper and lower substrates even under the condition of touching the liquid crystal panel surface. On the contrary, when the column spacer encounters a flat counter substrate and the upper surface of the column spacer, a vacuum state is easily formed at the contact portion thereof.

이와 같이, 칼럼 스페이서와 대향 기판과의 접촉 면적이 크기 때문이든, 칼럼 스페이서와 대향 기판 사이에 진공이 조성되기 때문이든 결론적으로, 터치 불량은 칼럼 스페이서가 형성되는 액정 표시 장치에서 주로 관찰되는 문제점이다.As such, whether the contact area between the column spacer and the counter substrate is large or because a vacuum is formed between the column spacer and the counter substrate, the touch failure is a problem mainly observed in the liquid crystal display device in which the column spacer is formed. .

상기와 같은 종래의 액정 표시 장치는 다음과 같은 문제점이 있다. The conventional liquid crystal display as described above has the following problems.                         

첫째, 액정 패널 전체에 걸쳐 동일한 형상 및 동일한 높이의 칼럼 스페이서들을 형성하도록 하여, 칼럼 스페이서 하부에 형성되는 층들이 갖는 단차에 의해 영역별로 불균일한 셀 갭의 차이가 있었다.First, the column spacers having the same shape and the same height are formed over the entire liquid crystal panel, and there is a difference in the cell gaps uneven for each region due to the step difference between the layers formed under the column spacer.

둘째, 동일한 형상 및 동일한 높이의 칼럼 스페이서들과 대향 기판이 닿는 면적이 큼으로 인한 마찰력으로 작용하여 소정의 터치시 원래의 상태로 돌아오려는 복원력이 낮아 얼룩의 원인이 되었다.Secondly, it acts as a frictional force due to the large area where the column spacers of the same shape and the same height and the opposing substrate is in contact with each other, resulting in a low resilience to return to the original state at a predetermined touch, which causes staining.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 마스크의 형상을 기판에 대응되는 부위별로 달리하여, 1회의 노광으로 다양한 형상의 스페이서 또는 다양한 높이의 스페이서를 제조하여 셀 갭을 안정적으로 유지하고 터치 불량을 개선한 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법을 제공하는 데, 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems by varying the shape of the mask for each part corresponding to the substrate, to prepare a spacer of various shapes or spacers of various heights in a single exposure to maintain a stable cell gap SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a liquid crystal display and a method of manufacturing the same, which have improved touch failure.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치는 TFT 어레이가 형성되는 제 1 기판과, 상기 제 1 기판의 TFT 어레이에 대향된 면에 단차를 갖는 컬러 필터 어레이가 형성되는 제 2 기판과, 상기 제 2 기판 상의 단차가 낮은 영역에 형성되는 제 1 칼럼 스페이서와, 상기 제 2 기판 상의 단차가 높은 영역에 형성되며, 제 1 기판에 대향되어 라운딩된 상부면을 갖는 제 2 칼럼 스페이서 및 상기 제 1 및 제 2 기판 사이에 충진된 액정층을 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display device including: a first substrate on which a TFT array is formed; a second substrate on which a color filter array having a step is formed on a surface of the first substrate opposite to the TFT array; And a first column spacer formed in a region having a low step on the second substrate, a second column spacer formed in a region having a high step on the second substrate and having a rounded upper surface facing the first substrate. It is characterized by including a liquid crystal layer filled between the first and second substrates.

상기 제 1 기판 또는 제 2 기판의 표면에 균일한 압력으로 가압시 상기 제 1 칼럼 스페이서에 비해 상기 제 2 칼럼 스페이서가 제 1 기판에 먼저 접촉된다. 그 리고, 상기 제 1 칼럼 스페이서와 상기 제 2 칼럼 스페이서는 각각의 제 2 기판의 표면으로부터 동일 높이로 형성된다.When pressurized at a uniform pressure to the surface of the first substrate or the second substrate, the second column spacer contacts the first substrate first compared to the first column spacer. The first column spacer and the second column spacer are formed at the same height from the surface of each second substrate.

상기 제 1 기판에 대향되는 제 1 칼럼 스페이서의 상부면의 단면적은 상기 제 2 칼럼 스페이서의 상부면의 단면적보다 크다.The cross-sectional area of the top surface of the first column spacer opposite the first substrate is greater than the cross-sectional area of the top surface of the second column spacer.

상기 제 1 칼럼 스페이서와 상기 제 2 칼럼 스페이서가 모두 상기 제 1 기판에 접촉하는 시점(始點)에, 상기 제 1 기판과의 접촉 면적은 상기 제 1 칼럼 스페이서가 상기 제 2 칼럼 스페이서에 비해 크다.At a point in time when both the first column spacer and the second column spacer are in contact with the first substrate, the contact area with the first substrate is larger than that of the second column spacer. .

상기 TFT 어레이는, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하며 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차 영역에 형성된 박막 트랜지스터 및 상기 화소 영역에 형성된 화소 전극을 포함하여 이루어지며, 상기 컬러 필터 어레이는, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인과 박막 트랜지스터를 가리도록 상기 제 2 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스층과, 상기 데이터 라인의 방향으로 상기 블랙 매트릭스층을 포함한 제 2 기판 상에 형성된 컬러 필터층과, 상기 블랙 매트릭스층 및 컬러 필터층을 포함한 상기 제 2 기판 전면에 형성된 공통 전극을 포함하여 이루어진다.The TFT array includes a gate line and a data line crossing each other on the first substrate and defining a pixel region, a thin film transistor formed at an intersection of the gate line and the data line, and a pixel electrode formed at the pixel region. The color filter array may include a black matrix layer formed on the second substrate to cover the gate line, the data line, and the thin film transistor, and on the second substrate including the black matrix layer in the direction of the data line. And a common electrode formed on the entire surface of the second substrate including the black filter layer and the color filter layer.

상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서 하부에는 블랙 매트릭스층, 컬러 필터층 및 오버코트층이 형성된다. 그리고, 상기 컬러 필터층은 R, G, B 컬러 필름을 포함하여 이루어진다. 상기 컬러 필터층은 각 컬러 필름별로 서로 다른 두께를 갖는다. 이 때, 상기 각 컬러 필름이 갖는 최대 단차는 4000Å이하이다.A black matrix layer, a color filter layer, and an overcoat layer are formed under the first and second column spacers. The color filter layer includes R, G, and B color films. The color filter layer has a different thickness for each color film. At this time, the maximum step which each said color film has is 4000 micrometers or less.

상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서는 상기 게이트 라인 또는 데이터 라인에 대응되어 형성된다.The first and second column spacers are formed to correspond to the gate lines or data lines.

또한 상기 TFT 어레이는, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하며 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 평행하게 형성된 공통 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차 영역에 형성된 박막 트랜지스터와, 상기 화소 영역에 서로 교번하여 형성된 화소 전극 및 공통 전극을 포함하여 이루어지며, 상기 컬러 필터 어레이는, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인과 박막 트랜지스터를 가리도록 상기 제 2 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스층과, 상기 데이터 라인의 방향으로 상기 블랙 매트릭스층을 포함한 제 2 기판 상에 형성된 컬러 필터층과, 상기 블랙 매트릭스층 및 컬러 필터층을 포함한 제 2 기판 전면에 형성된 오버코트층을 포함하여 이루어질 수 있다.The TFT array may further include a gate line and a data line crossing each other on the first substrate to define a pixel region, a common line formed in parallel with the gate line, and a thin film formed at an intersection region of the gate line and the data line. And a pixel electrode and a common electrode alternately formed in the pixel region, wherein the color filter array is formed on the second substrate so as to cover the gate line, the data line, and the thin film transistor. And a color filter layer formed on the second substrate including the black matrix layer in the direction of the data line, and an overcoat layer formed on the entire surface of the second substrate including the black matrix layer and the color filter layer.

상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서 하부에는 블랙 매트릭스층, 컬러 필터층 및 오버코트층이 형성된다.A black matrix layer, a color filter layer, and an overcoat layer are formed under the first and second column spacers.

상기 컬러 필터층은 R, G, B 컬러 필름을 포함하여 이루어진다. 상기 컬러 필터층은 각 컬러 필름별로 서로 다른 두께를 갖는다. 상기 각 컬러 필름이 갖는 최대 단차는 4000Å이하이다.The color filter layer comprises an R, G, B color film. The color filter layer has a different thickness for each color film. The maximum step which each said color film has is 4000 micrometers or less.

상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서는 게이트 라인, 데이터 라인 및 공통 라인 중 어느 하나에 형성된다. The first and second column spacers are formed on any one of a gate line, a data line, and a common line.

그리고, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서는 동일한 마스크로 제조된다.The first and second column spacers are made of the same mask.

상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서가 형성된 부분과 다른 단차를 갖는 제 2 기판 상의 소정 부위에 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서와 다른 형상의 제 3 칼럼 스페이서가 더 형성될 수 있다.A third column spacer having a shape different from that of the first and second column spacers may be further formed at a predetermined portion on a second substrate having a step different from that of the portion where the first and second column spacers are formed.

또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법은 제 1 기판 상에 TFT 어레이를 형성하는 단계와, 제 2 기판 상에 단차를 갖는 컬러 필터 어레이를 형성하는 단계와, 상기 컬러 필터 어레이를 포함한 상기 제 2 기판 전면에 광 경화성 수지를 도포하는 단계와, 상기 제 2 기판 상에, 상기 제 2 기판 상의 단차에 따라 다른 크기의 투과부와 개구부가 정의된 마스크를 정렬시키는 단계와, 상기 마스크를 이용하여 1회의 노광 및 현상을 통해 상기 광 경화성 수지를 선택적으로 제거하여, 상기 제 2 기판 상의 단차가 낮은 영역에 대응되어 제 1 칼럼 스페이서와, 상기 제 2 기판 상의 단차가 높은 영역에 대응되어 라운딩된 상부면을 갖는 제 2 칼럼 스페이서를 형성하는 단계와, 상기 제 1 또는 제 2 기판 상에 액정을 적하하는 단계 및 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.In addition, the manufacturing method of the liquid crystal display device of the present invention for achieving the same object comprises the steps of forming a TFT array on the first substrate, forming a color filter array having a step on the second substrate, the color Applying a photocurable resin to the entire surface of the second substrate including the filter array; aligning a mask on the second substrate, the mask having defined transmissive portions and openings having different sizes according to the step on the second substrate; The photocurable resin is selectively removed through one exposure and development using the mask, and the first column spacer and the region having a high level on the second substrate correspond to a region having a low level on the second substrate. Forming a second column spacer having a corresponding rounded top surface, dropping liquid crystal onto the first or second substrate, and It is characterized in that it comprises the step of bonding the first and second substrate.

상기 광 경화성 수지는 네거티브 광 경화성 수지로 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 광 경화성 수지 상에 정렬되는 상기 마스크는 상기 제 2 기판 상의 단차가 낮은 영역에 대응되어 제 1 단면적의 제 1 투과부를 가지며, 상기 제 2 기판 상의 단차가 높은 영역에 대응되어 제 1 단면적보다 작은 제 2 단면적(< 제 1 단면적)의 제 2 투과부를 가지며, 나머지 영역을 차광부를 갖는다.The photocurable resin may be made of a negative photocurable resin. In this case, the mask aligned on the photocurable resin has a first transmission portion having a first cross-sectional area corresponding to a region having a low level on the second substrate, and corresponds to a region having a high level on the second substrate. It has a 2nd transmission part of a 2nd cross-sectional area (<1st cross-sectional area) smaller than a cross-sectional area, and has a light shielding part in the remainder area.

상기 광 경화성 수지는 파지티브 광 경화성 수지로 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 마스크는 상기 제 2 기판 상의 단차가 낮은 영역에 대응되어 제 1 단면적의 제 1 차광부를 가지며, 상기 제 2 기판 상의 단차가 높은 영역에 대응되어 상기 제 1 단면적에 비해 작은 제 2 단면적(< 제 1 단면적)의 제 2 차광부를 가지며, 나머지 영역은 투과부를 갖는다.The photocurable resin may be made of a positive photocurable resin. In this case, the mask has a first light blocking portion having a first cross-sectional area corresponding to a region having a low level on the second substrate, and a second cross-sectional area smaller than the first cross-sectional area due to a region having a high level on the second substrate. (<1st cross-sectional area) has a 2nd light shielding part, and the remainder area has a transmission part.

그리고, 상기 제 1 칼럼 스페이서와 상기 제 2 칼럼 스페이서는 상기 제 2 기판의 각 형성 부위의 표면으로부터 동일 높이로 형성한다.The first column spacer and the second column spacer are formed at the same height from the surface of each forming portion of the second substrate.

상기 컬러 필터 어레이를 형성하는 단계는 상기 제 2 기판의 소정 영역에 블랙 매트릭스층을 형성하는 단계와, 상기 블랙 매트릭스층을 포함한 상기 제 2 기판 상에 컬러 필터층을 형성하는 단계 및 상기 컬러 필터층을 포함한 제 2 기판 전면에 공통 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다. 여기서, 상기 컬러 필터층은 R, G, B 컬러 필름을 포함하여 이루어지며, 각 컬러 필름별로 서로 다른 두께를 갖는다. 이 때, 상기 각 컬러 필름이 갖는 최대 단차는 4000Å이하이다.The forming of the color filter array may include forming a black matrix layer in a predetermined region of the second substrate, forming a color filter layer on the second substrate including the black matrix layer, and including the color filter layer. And forming a common electrode on the entire surface of the second substrate. Here, the color filter layer is formed by including the R, G, B color film, each color film has a different thickness. At this time, the maximum step which each said color film has is 4000 micrometers or less.

또한, 상기 컬러 필터 어레이를 형성하는 단계는 상기 제 2 기판의 소정 영역에 블랙 매트릭스층을 형성하는 단계와, 상기 블랙 매트릭스층을 포함한 상기 제 2 기판 상에 컬러 필터층을 형성하는 단계 및 상기 컬러 필터층을 포함한 제 2 기판 전면에 오버코트층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어질 수도 있다. 이 때, 상기 컬러 필터층은 R, G, B 컬러 필름을 포함하여 이루어지며, 각 컬러 필름별로 서로 다른 두께를 갖는다. 이 경우, 상기 각 컬러 필름이 갖는 최대 단차는 4000Å이하이다.The forming of the color filter array may include forming a black matrix layer on a predetermined region of the second substrate, forming a color filter layer on the second substrate including the black matrix layer, and the color filter layer. It may also comprise the step of forming an overcoat layer on the front of the second substrate including. At this time, the color filter layer is formed by including the R, G, B color film, each color film has a different thickness. In this case, the maximum step which each said color film has is 4000 micrometers or less.

또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법은 제 1 기판 상에 TFT 어레이를 형성하는 단계와, 제 2 기판 상에 컬러 필터 어레 이를 형성하는 단계와, 상기 컬러 필터 어레이를 포함한 제 2 기판 상에 광 경화성 수지를 전면 도포하는 단계와, 상기 광 경화성 수지를 포함한 제 2 기판 상에 투과부, 반투과부 및 차광부가 모두 정의된 마스크를 정렬시키는 단계와, 상기 마스크를 이용하여 1회의 노광 및 현상으로 상기 광 경화성 수지를 선택적으로 제거하여, 상기 제 2 기판 상에 제 1 높이를 갖는 제 1 칼럼 스페이서 및 상기 제 1 높이보다 큰 제 2 높이(>제 1 높이)를 갖는 제 2 칼럼 스페이서를 형성하는 단계와, 상기 제 1 기판 상에 액정 적하하는 단계 및 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어짐에 또 다른 특징이 있다.In addition, the manufacturing method of the liquid crystal display device of the present invention for achieving the same object comprises the steps of forming a TFT array on a first substrate, forming a color filter array on a second substrate, and the color filter array Front coating the photocurable resin on the second substrate including; aligning a mask in which the transmissive portion, the transflective portion, and the light shielding portion are all defined on the second substrate including the photocurable resin; Selectively removing the photocurable resin by the exposure and development in a manner such that a first column spacer having a first height and a second having a second height greater than the first height (> first height) on the second substrate Forming a column spacer; dropping liquid crystal onto the first substrate; and bonding the first and second substrates to each other. There.

상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서가 형성되는 제 2 기판의 각 부위는 단차없는 표면이다.Each portion of the second substrate on which the first and second column spacers are formed is a surface without a step.

상기 광 경화성 수지는 네거티브 광 경화성 수지로 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 마스크는 상기 제 1 칼럼 스페이서의 형성 부위에 반투과부가 정의되며, 상기 제 2 칼럼 스페이서의 형성 부위에 투과부가 정의되며, 나머지 영역이 차광부이다.The photocurable resin may be made of a negative photocurable resin. In this case, the mask has a transflective portion defined at the formation portion of the first column spacer, a transmissive portion is defined at the formation portion of the second column spacer, and the remaining region is a light shielding portion.

상기 광 경화성 수지는 파지티브 광 경화성 수지로 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 마스크는 상기 제 1 칼럼 스페이서의 형성 부위에 반투과부가 정의되며, 상기 제 2 칼럼 스페이서의 형성 부위에 차광부가 정의되며, 나머지 영역이 투과부이다.The photocurable resin may be made of a positive photocurable resin. In this case, the mask has a transflective portion defined at the formation portion of the first column spacer, a light shielding portion is defined at the formation portion of the second column spacer, and the remaining region is a transmissive portion.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법 을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a liquid crystal display and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 6은 마스크의 투과부의 형태에 따른 칼럼 스페이서를 나타낸 도면이며, 도 7은 도 6에 이용되는 마스크를 나타낸 평면도이다.FIG. 6 is a view illustrating a column spacer according to the shape of a transmissive part of a mask, and FIG. 7 is a plan view illustrating a mask used in FIG. 6.

도 6 및 도 7과 같이, 마스크의 투과부의 크기에 비례하여 다양한 형상의 칼럼 스페이서가 패터닝될 수 있다. 6 and 7, column spacers having various shapes may be patterned in proportion to the size of the permeable part of the mask.

여기서 이용되는 마스크(150)에 의해 패터닝되어 칼럼 스페이서들(101, 103, 105)이 되는 물질은 네거티브 광 경화성 수지이며, 이는 노광이 이루어진 부분이 현상 후 남는 성질을 가진 물질이다.The material that is patterned by the mask 150 used to form the column spacers 101, 103, and 105 is a negative photocurable resin, which is a material having a property in which an exposed part remains after development.

도 7과 같이, 마스크(150)의 투과부(150a, 150b, 150c)의 형상은 정사각형 모양일 수도 있으며, 직사각형, 원, 그 외의 다각형 등 다양한 형상이 가능하다. 이러한 투과부(150a, 150b, 150c)에 형상에 상응하여 칼럼 스페이서(101, 103, 105)의 하부 단면(컬러 필터 어레이 기판(100)과의 접촉면)의 형상이 결정되며, 상기 투과부(150a, 150b, 150c)의 크기가 작으면 작을수록 칼럼 스페이서(101, 103, 105)의 상부면은 라운딩된 형상을 갖는다. 또한, 상기 마스크(150)는 제 1 내지 제 3 투과부(150a, 150b, 150c) 외에 다른 크기를 갖는 제 4 내지 그 밖의 투과부(미도시)를 더 구비할 수도 있다. As illustrated in FIG. 7, the transmissive portions 150a, 150b, and 150c of the mask 150 may have a square shape, and various shapes such as rectangles, circles, and other polygons may be possible. The shape of the lower end surface (contact surface with the color filter array substrate 100) of the column spacers 101, 103, 105 is determined to correspond to the shape of the permeable portions 150a, 150b, 150c, and the permeate portions 150a, 150b. , The smaller the size of 150c is, the upper surface of the column spacers 101, 103, 105 has a rounded shape. In addition, the mask 150 may further include fourth to other transmissive portions (not shown) having other sizes in addition to the first to third transmissive portions 150a, 150b and 150c.

이하, 도 6 및 도 7을 참조하여 상기 마스크를 이용한 다양한 형상의 칼럼 스페이서의 제조 방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing column spacers having various shapes using the mask will be described with reference to FIGS. 6 and 7.

먼저, 각각 소정 부위에 차례로 작아지는 크기의 제 1 투과부(150a), 제 2 투과부(150b) 및 제 3 투과부(150c)를 구비한 마스크(150)를 준비한다. 여기서, 상 기 제 1 내지 제 3 투과부(150a, 150b, 150c)를 제외한 영역은 차광부(150d)로 이루어진다.First, a mask 150 having a first transmission portion 150a, a second transmission portion 150b, and a third transmission portion 150c each having a size that is sequentially reduced in a predetermined portion is prepared. Here, the region except for the first through third transmission parts 150a, 150b, and 150c includes the light blocking part 150d.

이어, 컬러 필터 어레이 기판(100) 상에 네거티브 광 경화성 수지를 전면 도포한다.Subsequently, a negative photocurable resin is completely coated on the color filter array substrate 100.

이어, 상기 마스크(150)를 상기 컬러 필터 어레이 기판(100) 상에 대응시킨다.Subsequently, the mask 150 is corresponded on the color filter array substrate 100.

이어, 상기 마스크(150)를 이용하여 상기 네거티브 광 경화성 수지를 노광한 후 현상하면, 제 1 내지 제 3 투과부(150a, 150b, 150c)에 의해 노광이 된 부분은 상기 네거티브 광 경화성 수지가 남아 제 1 내지 제 3 칼럼 스페이서(101, 102, 103)를 형성한다. 이 때, 노광이 된 부분은 노광시의 노광량에 따라 형상의 차이를 보인다. 즉, 제 1 칼럼 스페이서(101)는 넓은 면적의 제 1 투과부(150a)에 대응되어, 수직에 가까운 측면 프로파일(profile)을 갖도록 형성되며, 각각 제 2 투과부(150b)에 대응되는 제 3 칼럼 스페이서(105) 및 제 3 투과부(150c)에 대응되는 제 2 칼럼 스페이서(103)로 갈수록 점점 좁은 면적의 상부면과, 점점 완만해지는 테이퍼를 갖도록 형성된다. Subsequently, when the negative photocurable resin is exposed and developed using the mask 150, the negative photocurable resin remains after the exposed portions are exposed by the first to third transmission parts 150a, 150b, and 150c. First to third column spacers 101, 102, and 103 are formed. At this time, the exposed part shows a difference in shape depending on the exposure amount at the time of exposure. That is, the first column spacer 101 is formed to correspond to the first transmission portion 150a having a large area, and has a side profile close to the vertical, and each of the third column spacers corresponding to the second transmission portion 150b. The second column spacer 103 corresponding to the 105 and the third transmission part 150c is formed to have an upper surface of a narrower area and a taper that gradually becomes smoother.

노광시 실제 각 투과부(150a, 150b, 150c)의 크기보다 좀 더 넓은 면적으로 노광이 이루어지는 이유는, 상기 마스크(150)가 패터닝이 이루어질 네거티브 광 경화성 수지와 소정 간격 이격되며, 각 투과부(150a, 150b, 150c)의 에지에서 회절 현상이 나타나 광이 각 투과부(150a, 150b, 150c)의 외측으로 약간 퍼져 진행하기 때문이다. 이 경우, 상기 각 투과부(150a, 150b, 150c)의 외측으로 진행하는 광은, 투과부들(150a, 150b, 150c)의 중심에서 직진으로 진행하는 광에 비해 광량이 작기 때문에, 상기 투과부들(150a, 150b, 150c)의 에지에 대응되는 칼럼 스페이서(101, 103, 105)의 부위는 노광량이 적어, 일부 노광이 이루어져 현상 후, 각 칼럼 스페이서(101, 103, 105)의 측부는 소정 각의 테이퍼를 갖게 된다. 그리고, 도시된 마스크(150)의 가장 우측에 위치한 제 3 투과부(150c)와 같이, 투과부의 크기가 작으면 작을수록 이에 대응되어 형성되는 제 2 칼럼 스페이서(103)의 테이퍼는 완만하게 되어, 거의 반구 형상에 유사한 형상을 갖도록 형성되게 된다.The reason why the exposure is performed in a larger area than the actual size of each transmission part 150a, 150b, 150c during exposure is that the mask 150 is spaced apart from the negative photocurable resin to be patterned at a predetermined interval, and each transmission part 150a, This is because a diffraction phenomenon occurs at the edges of 150b and 150c, and light propagates slightly to the outside of each transmission portion 150a, 150b and 150c. In this case, the light traveling toward the outside of each of the transmission parts 150a, 150b, and 150c has a smaller amount of light than the light traveling straight from the center of the transmission parts 150a, 150b and 150c, and thus the transmission parts 150a. Portions of the column spacers 101, 103, 105 corresponding to the edges of the edges 150b, 150c have a small exposure amount, and after partial exposure is performed, the sides of the column spacers 101, 103, 105 are tapered at predetermined angles. Will have In addition, as the third transmission portion 150c positioned on the far right side of the mask 150 shown in FIG. 1, the smaller the size of the transmission portion is, the taper of the second column spacer 103 formed correspondingly becomes smoother, and almost It is formed to have a shape similar to the hemispherical shape.

이 경우, 상기 마스크(150)의 제 1 내지 제 3 투과부(150a, 150b, 150c)의 형상은 도시된 바와 같이, 정사각형일 수도 있고, 원일 수도 있고, 그 외에 다각형의 형상일 수도 있다. In this case, the shapes of the first through third transmission parts 150a, 150b, and 150c of the mask 150 may be square, circular, or polygonal as shown in the drawing.

상술한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법은 마스크의 투과부 크기에 따라 칼럼 스페이서의 형상이 다르게 형성된다는 점을 이용한 것이다. As described above, the liquid crystal display and the manufacturing method thereof according to the first exemplary embodiment of the present invention take advantage of the fact that the shape of the column spacer is different according to the size of the permeable part of the mask.

- 제 1 실시예 - First Embodiment

이하에서 설명하는 제 1 실시예에서는 그 상부면이 평평한 제 1 칼럼 스페이서와 라운딩된 제 2 칼럼 스페이서를 포함하는 액정 표시 장치에 관하여 설명한다. 필요에 따라 이와 다른 형상의 칼럼 스페이서를 포함함도 가능할 수 있을 것이다.In the first embodiment described below, a liquid crystal display device including a first column spacer having a flat upper surface and a second column spacer rounded will be described. It may also be possible to include differently shaped column spacers as needed.

도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 컬러 필터 어레이 기판을 나타낸 평면도이며, 도 9는 도 8의 Ⅲ~Ⅲ' 선상의 컬러 필터 어레이 기판의 구조 단면도이다.FIG. 8 is a plan view illustrating a color filter array substrate of a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a cross-sectional view of the color filter array substrate on the line III-III ′ of FIG. 8.

도 8과 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 컬러 필터 어레이 기판(100)은, 제 1 기판(110) 상에 화소 영역을 제외한 영역에 형성된 블랙 매트릭스층(111), 상기 수직한 방향으로 상기 블랙 매트릭스층(111)과 일부 오버랩하며, 스트라이프(strip) 형상으로 형성된 컬러 필터층(112) 및 상기 컬러 필터층(112)을 포함한 기판 전면에 형성된 공통 전극 또는 오버코트층(113)을 포함하여 이루어진다. As shown in FIG. 8, the color filter array substrate 100 of the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention may include a black matrix layer 111 formed on an area excluding the pixel area on the first substrate 110. The common electrode or overcoat layer 113 formed on the entire surface of the substrate including the color filter layer 112 and the color filter layer 112 that is partially overlapped with the black matrix layer 111 in a vertical direction. It is made to include.

이 때, 상기 기판 전면에 형성된 층(113)이 공통 전극인지 오버코트층인지의 여부는 상기 컬러 필터 어레이 기판을 포함한 액정 표시 장치가 TN(Twisted Nematic) 모드인지 IPS(In-Plane Switching) 모드인지에 따라 결정된다. TN 모드일 경우는 공통 전극이며, IPS 모드인 경우는 오버코트층이다.In this case, whether the layer 113 formed on the front surface of the substrate is a common electrode or an overcoat layer is determined whether the liquid crystal display including the color filter array substrate is in twisted nematic (TN) mode or in-plane switching (IPS) mode. Is determined accordingly. In the case of TN mode, it is a common electrode, and in the case of IPS mode, it is an overcoat layer.

여기서, 상기 컬러 필터층(112)은, R, G, B 컬러 필름(112a, 112b, 112c)을 포함하여 이루어지며, 상기 R, G, B 컬러 필름(112a, 112b, 112c)은 각각 단차를 갖는다. 이 경우, 제 1 컬러 필름(112a)은 도시된 바와 같이, R 컬러 필름일 수도 있고, 그 밖의 컬러 필름일 수도 있다. 여기서는, 상기 제 1 컬러 필름(112a)부터 제 3 컬러 필름(112c)까지 차례로 단차가 높아진다고 가정한다. 이러한 단차는 상기 컬러 필름들(112a, 112b, 112c)에 포함되는 안료(color pigment)의 성분 및 재료의 성질에 따라 변경될 수 있으며, 필요에 따라 이러한 단차는 특정 성분을 가감하여 늘림 및 줄임이 가능하다. The color filter layer 112 may include R, G, and B color films 112a, 112b, and 112c, and the R, G, and B color films 112a, 112b, and 112c may each have a step. . In this case, the first color film 112a may be an R color film as shown, or may be another color film. Here, it is assumed that the step is sequentially increased from the first color film 112a to the third color film 112c. This step may be changed according to the properties of the material and material of the pigment (color pigment) included in the color films 112a, 112b, 112c, if necessary, the step is increased or decreased by adding or subtracting a specific component It is possible.

본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치에서는 상기 컬러 필터층(112) 및 공통 전극 또는 오버코트층(113)을 모두 포함한 후의 제 1 기판(110)의 표면으 로부터 칼럼 스페이서(101, 103)가 형성되는 표면인 공통 전극 또는 오버코트층(113) 표면이 상기 컬러 필터층(112)이 갖는 단차가 어느 정도 적용되어 있다. 즉, 상기 공통 전극 또는 오버코트층(113)의 두께는 0.1㎛ 정도로 하여, 컬러 필터층(112)이 갖는 단차의 평탄화가 완전히 이루어지지 않고, 상기 컬러 필터층(112)이 갖는 단차가 완화되어 나타나도록 한다.In the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention, the column spacers 101 and 103 are formed from the surface of the first substrate 110 after including the color filter layer 112 and the common electrode or the overcoat layer 113. To some extent, the step of the color filter layer 112 is applied to the surface of the common electrode or the overcoat layer 113 that is the surface to be formed. That is, the thickness of the common electrode or overcoat layer 113 is about 0.1 μm so that the leveling of the color filter layer 112 is not completely flattened, and the leveling of the color filter layer 112 is alleviated. .

이 경우, 상기 제 1 기판(110)으로부터 상기 공통 전극 또는 오버코트층(113)까지의 높이는 액정 패널의 전 영역에 걸쳐 최대 4000Å 내의 단차를 갖도록 한다. 즉, 제 1 컬러 필름(112a)이 형성된 부위를 컬러 필름의 두께가 가장 작은 부위라고 하고, 제 3 컬러 필름(112c)이 형성된 부위가 컬러 필름의 두께가 가장 큰 부위라고 가정할 때, 상기 제 1 컬러 필름(112a)이 형성된 부위와 제 3 컬러 필름(112c)이 형성된 부위간의 단차가 최대 4000Å 이내로 한다. 이 때, 컬러 필터 어레이 공정을 진행한 후, 컬러 필터 어레이 기판(100) 표면은, 상기 컬러 필름이 갖는 단차가 그대로 적용되어, 상기 제 3 컬러 필름(112c)의 상부(공통 전극 또는 오버코트층) 표면이 상대적으로 제 1 컬러 필름(112a)의 상부 표면에 비해서 높다.In this case, the height from the first substrate 110 to the common electrode or overcoat layer 113 may have a step within a maximum of 4000 kPa over the entire area of the liquid crystal panel. That is, assuming that the portion where the first color film 112a is formed is a portion having the smallest thickness of the color film, and that the portion where the third color film 112c is formed is the portion having the largest thickness of the color film, The step difference between the site | part on which the 1st color film 112a was formed and the site | part on which the 3rd color film 112c was formed is at most 4000 kPa. At this time, after the color filter array process is performed, the step of the color film is applied to the surface of the color filter array substrate 100 as it is, and the upper portion (common electrode or overcoat layer) of the third color film 112c is applied. The surface is relatively high compared to the upper surface of the first color film 112a.

상기 제 1 컬러 필름(112a)의 상부에는 그 상부면이 평평하며 수평단면의 면적이 큰 제 1 칼럼 스페이서(101)를 형성하고, 상기 제 3 컬러 필름(112c)이 형성된 부위는 표면이 라운딩되며, 수평단면의 면적이 상대적으로 작은 제 2 칼럼 스페이서(103)를 형성한다.A first column spacer 101 having a flat top surface and a large horizontal cross section is formed on the first color film 112a, and the surface on which the third color film 112c is formed is rounded. The second column spacer 103 is formed with a relatively small area of the horizontal cross section.

여기서, 상기 제 1 칼럼 스페이서 및 제 2 칼럼 스페이서 자체의 높이(H1, H2)는 동일 또는 거의 유사하여, 각 칼럼 스페이서의 하부에 형성된 컬러 필터의 단차 차이가 상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서가 형성되는 컬러 필터 어레이 기판의 표면에 적용되기 때문에, 실제 칼럼 스페이서들을 형성한 후에는 상기 제 2 칼럼 스페이서가 더 높은 상부면을 갖게 된다. 따라서, 상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서가 형성된 컬러 필터 어레이 기판과 TFT 어레이 기판을 합착 후 일측 기판의 표면을 가압할 경우, 더 높은 상부면을 갖는 제 2 칼럼 스페이서가 제 1 칼럼 스페이서에 비해 TFT 어레이 기판에 빠르게 접촉하게 된다.Here, the heights H1 and H2 of the first column spacer and the second column spacer itself are the same or almost similar, so that the step difference between the color filters formed under each column spacer is formed by the first and second column spacers. As applied to the surface of the color filter array substrate, the second column spacer will have a higher top surface after the actual column spacers are formed. Therefore, when pressing the surface of one substrate after bonding the color filter array substrate and the TFT array substrate on which the first and second column spacers are formed, the second column spacer having a higher top surface is thinner than the first column spacer. Quick contact with the array substrate.

도 10은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치에 있어서, 압력에 따른 칼럼 스페이서의 변형 정도를 나타낸 그래프이다.10 is a graph showing a deformation degree of a column spacer according to pressure in the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention.

도 9와 같이, 컬러 필터 어레이를 형성한 후, 상기 컬러 필터 어레이 기판(100)의 표면에 칼럼 스페이서를 형성한 직후에는 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)에 대응되는 부위가 타 영역에 비해 좀 더 높은 상부면을 갖는다. As shown in FIG. 9, immediately after forming the column spacer on the surface of the color filter array substrate 100 after forming the color filter array, a portion corresponding to the second column spacer 103 is more than that of other regions. Has a high top surface.

따라서, 도 10과 같이, 컬러 필터 어레이 기판(100)의 컬러 필터 어레이와 TFT 어레이 기판(160)의 박막 트랜지스터 어레이를 대향시켜 합착시에, 상기 컬러 필터 어레이 기판(100)의 표면(배면)에 인가되는 초기의 압력에 대해서 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)가 먼저 TFT 어레이 기판(160)과 접촉하게 되며(그래프 우측의 하측 단면도 참조), 제 2 칼럼 스페이서(103) 단독으로 상기 TFT 어레이 기판(160)과 컬러 필터 어레이 기판(100)간의 지지를 하고 있다. Therefore, as shown in FIG. 10, when the color filter array of the color filter array substrate 100 and the thin film transistor array of the TFT array substrate 160 are opposed to each other and bonded to each other, the surface (back) of the color filter array substrate 100 is bonded. With respect to the initial pressure applied, the second column spacer 103 first comes into contact with the TFT array substrate 160 (see the lower cross section on the right side of the graph), and the second column spacer 103 alone is the TFT array substrate ( The support between the 160 and the color filter array substrate 100 is provided.

여기서, 상기 컬러 필터 어레이 기판(100) 표면에 인가되는 압력은 기판 전면에 걸쳐 고르게 인가된다고 가정한다. Here, it is assumed that the pressure applied to the surface of the color filter array substrate 100 is evenly applied over the entire surface of the substrate.

그리고, 실제 컬러 필터 어레이 기판(100) 및 TFT 어레이 기판(160)간의 합 착시의 압력은 상기 그래프에서 P1 미만의 압력이 된다고 가정한다. 따라서, 합착시 두 기판은 지지하고 있는 칼럼 스페이서는 제 2 칼럼 스페이서만이다.In addition, it is assumed that the pressure at the time of the bonding between the actual color filter array substrate 100 and the TFT array substrate 160 becomes a pressure less than P1 in the graph. Therefore, the column spacers supported by the two substrates at the time of bonding are only the second column spacers.

상기 컬러 필터 어레이 기판(100)의 표면에 인가되는 초기의 압력(0부터 P1 미만 사이에서 점점 증가되는 압력)은 컬러 필터 어레이 기판(100)과 TFT 어레이 기판(160)의 합착시 두 기판간이 소정의 셀 갭을 갖고 일측 기판의 외곽에 형성된 씰 패턴(미도시)에 의해 두 기판이 합착 고정되기까지 인가되는 압력이다. 이 때, 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)는 셀 갭 유지용 칼럼 스페이서로 기능하게 된다.The initial pressure (pressure gradually increasing between 0 and less than P1) applied to the surface of the color filter array substrate 100 is predetermined between two substrates when the color filter array substrate 100 and the TFT array substrate 160 are bonded together. It is a pressure applied until the two substrates are fixed to each other by a seal pattern (not shown) formed on the outer side of one substrate having a cell gap of. In this case, the second column spacer 103 may function as a cell gap retention column spacer.

초기 상태에서 압력을 증가(P1 미만으로)시키게 되면, 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)의 상부면(도면상에서 상기 컬러 필터 어레이 기판(100)은 반전되어 있는 상태로, TFT 어레이 기판(160)의 접촉면으로 관찰)은 상기 TFT 어레이 기판의 접촉 후, 가압시의 압력에 비례하여 눌려지고, 그만큼 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)의 높이는 줄어들게 된다. 이는 높이의 감소만큼 상기 제 2 칼럼 스페이서(130)의 형상의 변경이 일어났다는 의미이다.When the pressure is increased (below P1) in the initial state, the upper surface of the second column spacer 103 (the color filter array substrate 100 is inverted in the state of the drawing) of the TFT array substrate 160 (Viewed from the contact surface) is pressed in proportion to the pressure at the time of contact after the contact of the TFT array substrate, and the height of the second column spacer 103 is reduced accordingly. This means that a change in the shape of the second column spacer 130 has occurred by a decrease in height.

점점 압력을 증가시켜 P1 이상의 압력을 상기 컬러 필터 어레이 기판(100)의 표면에 인가하면, 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)와 상기 제 1 칼럼 스페이서(101)가 모두 상기 TFT 어레이 기판(160)에 접촉하게 된다. 이 때, 최초 접촉이 이루어지는 압력은 P1이며, 상기 제 1 칼럼 스페이서(101)의 접촉 이후에는 압력의 증가에 따라 그래프 상에서 칼럼 스페이서의 변형은 눈에 띄게 줄어들게 된다. 이는 상기 제 1 칼럼 스페이서(101)가 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)에 비해 상대적으로 TFT 어레이 기판(160)과의 접촉 면적이 넓고, 면적이 넓은만큼 TFT 어레이 기판을 지지할 수 힘이 크기 때문이다. 또한, 상기 제 1 칼럼 스페이서(101)는 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)에 비해 상대적으로 평평한 상부면을 갖고, 상기 제 1 칼럼 스페이서(101)의 수평 단면은 상기 컬러 필터 어레이 기판(100)의 표면으로부터의 높이에 따라 큰 차이가 없기 때문에, P1 미만의 압력에서 상부면이 라운딩된 형상을 갖는 제 2 칼럼 스페이서(103)만이 단독으로 TFT 어레이 기판(160)에 접촉하였던 바에 비해 칼럼 스페이서의 적은 변형을 기대할 수 있는 것이다. 이 경우, P1 이상의 압력을 인가시 일어나는 상기 칼럼 스페이서의 변형 정도는, 칼럼 스페이서를 이루는 물질이 갖는 탄성력의 한계로 인해 소정 압력 이상에서 일어나는 변형 정도(도 4 참조)에 비해서도 매우 작은 수준이다.When the pressure is gradually increased to apply a pressure of P1 or more to the surface of the color filter array substrate 100, both the second column spacer 103 and the first column spacer 101 are applied to the TFT array substrate 160. Contact. At this time, the pressure at which the initial contact is made is P1. After the contact of the first column spacer 101, the deformation of the column spacer on the graph is remarkably reduced as the pressure increases. This is because the first column spacer 101 has a larger contact area with the TFT array substrate 160 than the second column spacer 103 and has a large force capable of supporting the TFT array substrate with a large area. to be. In addition, the first column spacer 101 has a relatively flat upper surface than the second column spacer 103, and a horizontal cross section of the first column spacer 101 is formed on the color filter array substrate 100. Since there is no significant difference depending on the height from the surface, less column spacers are used than only the second column spacer 103 having a rounded top shape at a pressure less than P1 alone was in contact with the TFT array substrate 160. You can expect variations. In this case, the degree of deformation of the column spacer generated when applying a pressure of P1 or more is very small compared to the degree of deformation occurring above a predetermined pressure (see FIG. 4) due to the limitation of the elastic force of the material forming the column spacer.

이와 같이, 본 발명의 제 1 실시예의 액정 표시 장치는, 소정 압력 이상에서의 칼럼 스페이서의 변형 정도를 살펴보는 실험을 통해, 액정 표시 장치 표면의 특정 부위에 소정의 외력을 인가시 일어나는 도장 얼룩(눌림 불량)을 개선할 수 있음을 알 수 있다. As described above, the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention performs an examination of the degree of deformation of the column spacer at a predetermined pressure or more, and the coating unevenness occurs when a predetermined external force is applied to a specific portion of the surface of the liquid crystal display. It can be seen that the poor poor) can be improved.

종래의 액정 표시 장치에 있어서, 도장 얼룩은 액정 표시 장치의 기판 배면의 소정 부위에 국부적으로 소정 압력 이상이 인가되었을 때 발생하였는데, 일어나는 원인은 인가되는 압력에 비해 해당 부위의 칼럼 스페이서의 지지력이 낮기 때문인 것으로 알려져있다.In the conventional liquid crystal display device, uneven coating occurs when a predetermined pressure or more is locally applied to a predetermined portion of the substrate back surface of the liquid crystal display device. The reason for the occurrence is that the supporting force of the column spacer of the corresponding portion is lower than that of the applied pressure. Because it is known.

본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치는 셀 갭을 유지하는 제 2 칼럼 스페이서(103)에 비해 상대적으로 상부면이 낮고, 평탄한 상부면을 갖는 제 1 칼럼 스페이서(101)를 구비하고 있기 때문에, 소정 압력 이상이 인가되더라도 칼럼 스페이서들이 갖는 두 기판 사이의 지지력을 키운다. 따라서, 국부적인 소정 부위를 누르는 압력에 대해 어느 정도의 저항력이 생겨 칼럼 스페이서들의 형상이 유지되고, 따라서, 도장 얼룩(눌림 불량)의 발생을 최소화할 수 있는 것이다. 이 경우, 소정 압력 이상에서 상기 제 1 칼럼 스페이서는 눌림 불량 방지 스페이서로 기능하게 된다.The liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention includes a first column spacer 101 having a lower upper surface and a flat upper surface than the second column spacer 103 maintaining a cell gap. Therefore, even if a predetermined pressure or more is applied, the support force between the two substrates of the column spacers is increased. Therefore, a certain degree of resistance is generated to the pressure for pressing the local predetermined site, so that the shape of the column spacers is maintained, thus minimizing the occurrence of paint stains. In this case, above the predetermined pressure, the first column spacer functions as a pressing failure preventing spacer.

한편, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치는 터치 불량을 방지할 수 있는 효과도 기대할 수 있다.On the other hand, the liquid crystal display according to the first embodiment of the present invention can also expect the effect that can prevent the touch failure.

합착시 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)만이 컬러 필터 어레이 기판(100)과 TFT 어레이 기판(160) 사이의 지지를 행하고 있다. 컬러 필터 어레이 기판(100) 혹은 TFT 어레이 기판(160)의 표면(배면)을 훑어내리는 터치시 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)의 라운딩된 상부면이 TFT 어레이 기판(160)을 접촉하기 때문에 상기 제 2 칼럼 스페이서와 TFT 어레이 기판(160)간의 접촉 면적이 매우 작고, 이 경우, 접촉 면적에 기인한 마찰력 또한 작기 때문에 터치로 인해 TFT 어레이 기판(160)과 컬러 필터 어레이 기판간의 쉬프트가 일어난 것이 쉽게 회복되어 정상적인 액정의 회복이 빠른 시간내에 일어나 터치 불량은 거의 관찰되지 않게 된다. 여기서, 터치시의 상기 TFT 어레이 기판(160) 또는 컬러 필터 어레이 기판(100)에 인가되는 압력은 합착 압력에 비해 매우 작은 압력 변화로, 터치시의 압력은 합착 압력과 유사한 수준이며, 따라서, 터치시의 칼럼 스페이서의 변형 정도는 그래프 상에서 P1 미만의 압력으로 관찰하면 될 것이다.When bonding, only the second column spacer 103 supports the color filter array substrate 100 and the TFT array substrate 160. The rounded top surface of the second column spacer 103 contacts the TFT array substrate 160 when the touch sweeps down the surface (back) of the color filter array substrate 100 or the TFT array substrate 160. Since the contact area between the two-column spacer and the TFT array substrate 160 is very small, and in this case, the frictional force due to the contact area is also small, it is easy to recover the shift between the TFT array substrate 160 and the color filter array substrate due to the touch. As a result, recovery of normal liquid crystal occurs within a short time, and touch failure is hardly observed. Here, the pressure applied to the TFT array substrate 160 or the color filter array substrate 100 at the time of touch is a very small pressure change compared to the bonding pressure, and the pressure at the touch is similar to the bonding pressure, and therefore, the touch The degree of deformation of the column spacer at the time may be observed at a pressure below P1 on the graph.

한편, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치는 횡전계 모드(In- Plane Switching mode) 또는 트위스트 네마틱 모드(Twisted Nematic mode)에 모두 적용 가능하다.Meanwhile, the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention may be applied to both an in-plane switching mode or a twisted nematic mode.

먼저, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치를 횡전계 모드에 적용한 경우를 살펴본다.First, a case in which the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention is applied to the transverse electric field mode will be described.

도 11은 본 발명의 액정 표시 장치를 횡전계 모드에 적용한 경우를 나타낸 평면도이며, 도 12는 도 11의 Ⅲ~Ⅲ' 선상의 구조 단면도이다.FIG. 11 is a plan view illustrating a case in which the liquid crystal display device of the present invention is applied to a transverse electric field mode, and FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line III-III ′ of FIG. 11.

도 11 및 도 12와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치는 일정 공간을 갖고 합착된 컬러 필터 어레이 기판(100) 및 TFT 어레이 기판(160)과, 상기 컬러 필터 어레이 기판(100)과 TFT 어레이 기판(160) 사이에 형성된 액정층(미도시)으로 구성되어 있다.11 and 12, the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention includes a color filter array substrate 100 and a TFT array substrate 160 bonded to each other with a predetermined space, and the color filter array substrate 100. ) And a liquid crystal layer (not shown) formed between the TFT array substrate 160.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 컬러 필터 어레이 기판(100)은 제 1 기판(110) 상에 화소 영역을 제외한 부분(게이트 라인 및 데이터 라인 영역, 박막 트랜지스터 영역)의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(111)이 형성되고, 상기 각 화소 영역에 대응되어 부분에 색상을 표현하며, 서로 다른 높이의 R, G, B 컬러 필름(112a, 112b, 112c)으로 이루어진 컬러 필터층(112)이 형성되며, 상기 블랙 매트릭스층(111)과 컬러 필터층(112) 상부에 상기 컬러 필터층(112)이 갖는 단차가 그대로 유지될 수 있도록 얇은 두께로 형성된 오버코트층(113)이 전면 형성된다. In more detail, the color filter array substrate 100 may include a black matrix layer on the first substrate 110 to block light of portions (gate lines and data line regions and thin film transistor regions) except for pixel regions. 111, a color filter layer 112 formed of R, G, and B color films 112a, 112b, and 112c having different heights is formed to correspond to each pixel area, and to form a color. On the black matrix layer 111 and the color filter layer 112, an overcoat layer 113 having a thin thickness is formed on the entire surface so that the step of the color filter layer 112 is maintained as it is.

그리고, 서로 다른 높이의 상기 오버코트층(113) 표면에 광 경화성 수지 등과 같은 물질로 이루어지며, 표면이 평평한 제 1 칼럼 스페이서(101) 및 표면이 라운딩된 제 2 칼럼 스페이서(103)가 형성된다. 이 때, 상기 제 1 칼럼 스페이서 (101)는 상기 컬러 필터층(112) 중 단차가 낮은 부분에 대응되어 형성되며, 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)는 단차가 높은 부분에 대응되어 형성된다. 이러한 결과는 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)가 합착시 제 1 칼럼 스페이서(101)에 비해 상대적으로 더 빨리 TFT 어레이 기판과 접촉되는 결과를 낳게 된다.A first column spacer 101 having a flat surface and a second column spacer 103 having a rounded surface are formed on the surfaces of the overcoat layer 113 having different heights. In this case, the first column spacer 101 is formed to correspond to a portion of the color filter layer 112 having a low level, and the second column spacer 103 is formed to correspond to a portion of a high level. This result results in the second column spacer 103 being in contact with the TFT array substrate relatively faster than the first column spacer 101 when bonded.

그리고, 상기 제 1 칼럼 스페이서(101) 및 제 2 칼럼 스페이서(103)는 주로 광에 의해 반응하여 패턴이 형성되는 포토아크릴 등의 광 경화성 수지 또는 저유전율(예를 들어, 유전율 2.0 이하의)의 폴리이미드 등을 포함하여 이루어질 수 있다(도 6 및 도 7의 칼럼 스페이서 제조 방법 참조, 단 도 6에서는 광 경화성 수지로 형성시의 칼럼 스페이서의 제조 방법을 나타냄).The first column spacer 101 and the second column spacer 103 may be formed of a photocurable resin such as photoacryl or a low dielectric constant (for example, having a dielectric constant of 2.0 or less) in which a pattern is formed by mainly reacting with light. Polyimide or the like (see the column spacer manufacturing method of FIGS. 6 and 7, except that FIG. 6 shows a manufacturing method of the column spacer when formed of a photocurable resin).

한편, 상기 컬러 필터 어레이 기판(100)에 대향되는 TFT 어레이 기판(160)은, 제 2 기판(120) 상에 수직으로 교차하여 화소 영역을 정의하는 복수개의 게이트 라인(121) 및 데이터 라인(122)이 형성되고, 상기 각 화소 영역에는 서로 교번하여 횡전계를 이루는 화소 전극(123), 공통 전극(127a)들이 형성되며, 상기 각 게이트 라인(121)과 데이터 라인(122)이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터가 형성된다. 그리고, 상기 게이트 라인(121)과 평행하도록 화소 내에 배치된 공통 라인(127)과, 상기 화소 전극(123)에서 연장 형성되어 공통 라인(127) 상부에 오버랩된 스토리지 전극(123a)이 더 구비된다.On the other hand, the TFT array substrate 160 facing the color filter array substrate 100 crosses vertically on the second substrate 120 to define a plurality of gate lines 121 and data lines 122. ) And pixel electrodes 123 and common electrodes 127a that alternate with each other to form a transverse electric field, are formed in each pixel area, and the gate line 121 and the data line 122 cross each other. Thin film transistors are formed. Further, a common line 127 disposed in the pixel parallel to the gate line 121 and a storage electrode 123a extending from the pixel electrode 123 and overlapping the common line 127 are further provided. .

구체적으로, 상기 공통 라인(127) 및 공통전극(127a)은 일체형으로 형성되며, 상기 게이트 라인(121)과 동시에 형성되는데, 구리(Cu), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 등의 저저항 금속으로 형성한다.Specifically, the common line 127 and the common electrode 127a are integrally formed and simultaneously formed with the gate line 121, and include copper (Cu), aluminum (Al), chromium (Cr), and molybdenum (Mo). ) And low resistance metals such as titanium (Ti).

그리고, 상기 화소전극(123)은 상기 공통전극(127a)과 교번하도록 형성하는데, 상기 데이터 라인(122)과 동시에 형성할 수도 있고 서로 다른층에 형성할 수도 있다(도면에는 서로 다른 층에 형성됨을 도시).The pixel electrode 123 is alternately formed with the common electrode 127a. The pixel electrode 123 may be formed at the same time as the data line 122 or may be formed on different layers (not shown in FIG. city).

이 때, 상기 공통 전극(127a) 및 화소전극(123)은 일직선 형태로 교차 형성되어도 무방하고 또는 도면과 같이, 지그재그(zigzag) 형태로 형성되어도 무방하다.In this case, the common electrode 127a and the pixel electrode 123 may cross each other in a straight line shape or may be formed in a zigzag shape as shown in the figure.

상기 공통전극(127a)과 화소 전극(123)의 두 층 사이에는 절연막이 더 구비되는데, 이는 게이트 절연막(125) 또는 보호막(126)과 같은 절연막이다.An insulating film is further provided between the two layers of the common electrode 127a and the pixel electrode 123, which is an insulating film such as the gate insulating film 125 or the protective film 126.

이하, 횡전계형 모드에 적용된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명한다(도 6 내지 도 12 참조).Hereinafter, the manufacturing method of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention applied to the transverse electric field mode will be described (see FIGS. 6 to 12).

먼저, 컬러 필터 어레이 기판(100)의 제조 방법을 설명한다.First, the manufacturing method of the color filter array substrate 100 is demonstrated.

제 1 기판(110) 상에 화소 영역을 제외한 부분(게이트 라인 및 데이터 라인 영역, 박막 트랜지스터 영역)을 가리는 형상의 위한 블랙 매트릭스층(111)을 형성한다.A black matrix layer 111 is formed on the first substrate 110 to cover a portion except the pixel region (a gate line, a data line region, and a thin film transistor region).

이어, 상기 블랙 매트릭스층(111)과 부분적으로 오버랩되며, 상기 각 화소 영역에 대응되어 부분에 색상을 표현하며, 서로 다른 높이의 R, G, B 컬러 필름(112a, 112b, 112c)으로 이루어진 컬러 필터층(112)을 형성한다. 이 때, 상기 R, G, B 컬러 필름(112a, 112b, 112c)간의 가질 수 있는 최대 단차는 4000Å이내이다.Subsequently, the color is partially overlapped with the black matrix layer 111, and a color is formed in a portion corresponding to each pixel area, and is formed of R, G, and B color films 112a, 112b, and 112c having different heights. The filter layer 112 is formed. At this time, the maximum step that the R, G, B color film (112a, 112b, 112c) can have is within 4000 kPa.

이어, 상기 블랙 매트릭스층(111)과 컬러 필터층(112)을 포함한 제 1 기판(110) 상에 상기 컬러 필터층(112)이 갖는 단차가 그대로 유지될 수 있도록 1000Å 내외의 얇은 두께로 형성된 오버코트층(113)이 전면 형성된다. Subsequently, the overcoat layer formed on the first substrate 110 including the black matrix layer 111 and the color filter layer 112 to have a thin thickness of about 1000 μs so that the level difference of the color filter layer 112 can be maintained. 113 is formed entirely.

이어, 서로 다른 높이의 상기 오버코트층(113) 표면에 소정 두께의 광 경화성 수지 또는 폴리이미드로의 물질층을 전면 도포한다.Subsequently, a material layer of photocurable resin or polyimide having a predetermined thickness is applied to the entire surface of the overcoat layer 113 having different heights.

이어, 단차가 낮은 부분에 대하여는 큰 크기의 투과부(150a)를 갖고, 단차가 높은 부분에 대하여는 작은 크기의 투과부(150c)를 갖는 마스크(150)를 이용하여 상기 물질층을 노광 및 현상하여, 상기 단차가 낮은 부분에 대하여는 표면이 평평한 제 1 칼럼 스페이서(101)를 형성하고, 상기 단차가 높은 부분에 대하여는 표면이 라운딩된 제 2 칼럼 스페이서(103)를 형성한다. 이 때, 상기 마스크(150)를 이용한 노광은 1회 이루어진다.Subsequently, the material layer is exposed and developed by using a mask 150 having a large transmissive portion 150a for a portion having a low level and a transmissive portion 150c having a small size for a portion having a high level. For the portion having a low step, the first column spacer 101 having a flat surface is formed, and for the portion having the high step, the second column spacer 103 with a rounded surface is formed. At this time, the exposure using the mask 150 is performed once.

여기서, 상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서(101, 103)를 이루는 물질이 네거티브 혹은 파지티브의 광 경화성 수지인가 혹은 폴리이미드(polyimide) 등의 저유전율을 갖는 유기 절연막인가 따라 그 형성 방법이 약간의 차이를 갖는다.The method of forming the first and second column spacers 101 and 103 may be a negative or positive photocurable resin or an organic insulating film having a low dielectric constant such as polyimide. Have a difference.

예를 들어, 상기 물질층이 네거티브 광 경화성 수지일 때, 상기 제 1, 제 2칼럼 스페이서의 형성은, 도 6 및 도 7의 마스크에서 제 2 투과부가 생략된 마스크를 준비하여 이루어진다.For example, when the material layer is a negative photocurable resin, the first and second column spacers may be formed by preparing a mask in which the second transmission part is omitted in the masks of FIGS. 6 and 7.

즉, 컬러 필터 어레이 공정이 완료된 컬러 필터 어레이 기판(100) 상부에 소정 두께로 네거티브 광 경화성 수지를 전면 도포한다.That is, the negative photocurable resin is entirely coated on the color filter array substrate 100 on which the color filter array process is completed with a predetermined thickness.

상기 컬러 필터 어레이 기판(100) 상부에 컬러 필터 어레이 기판(100)의 단차가 낮은 영역에 대응되어 제 1 단면적의 제 1 투과부(150a)를 가지며, 상기 제 2 기판 상의 단차가 높은 영역에 대응되어 제 2 단면적(< 제 1 단면적)의 제 2 투과 부(150c)를 가지며, 나머지 영역을 차광부(150d)를 갖는 마스크(150)를 정렬시킨다.The first stepped portion 150a of the first cross-sectional area corresponds to a region where the level difference of the color filter array substrate 100 is low on the color filter array substrate 100, and corresponds to the area where the level difference is high on the second substrate. The mask 150 having the second transmissive portion 150c of the second cross-sectional area (<first cross-sectional area) and having the light shielding portion 150d in the remaining area is aligned.

이어, 상기 마스크(150)를 이용하여 상기 네거티브 광 경화성 수지를 노광 및 현상하여 각각 제 1 투과부(150a)에 대응되는 부위에 제 1 칼럼 스페이서(101)를, 제 2 투과부(150c)에 대응되는 부위에 제 2 칼럼 스페이서(103)를 형성한다.Subsequently, the negative photocurable resin is exposed and developed by using the mask 150 to respectively correspond to the first column spacer 101 at a portion corresponding to the first transmission portion 150a and the second transmission portion 150c. The second column spacer 103 is formed at the site.

상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서(101, 103)를 이루는 물질이 파지티브 광 경화성 수지로 이루어질 경우에는 상기 마스크(150)의 개구부 및 차광부의 패턴을 역상으로 하여, 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서를 형성한다.When the material forming the first and second column spacers 101 and 103 is formed of a positive photocurable resin, the patterns of the openings and the light blocking portions of the mask 150 are reversed, and the first and second column spacers are reversed. To form.

즉, 이 경우의 마스크의 형상은, 상기 컬러 필터 어레이 기판(100) 상의 단차가 낮은 영역에 대응되어 제 1 단면적의 제 1 차광부(150a의 크기에 상응)를 가지며, 상기 제 2 기판 상의 단차가 높은 영역에 대응되어 제 2 단면적(< 제 1 단면적)의 제 2 차광부(150c의 크기에 상응)를 가지며, 나머지 영역은 투과부를 갖는 형태이다.That is, in this case, the shape of the mask corresponds to a region having a low level on the color filter array substrate 100 and has a first light blocking portion 150a of a first cross-sectional area, and has a level on the second substrate. Corresponds to a region having a second light shielding portion (corresponding to the size of 150c) having a second cross-sectional area (<first cross-sectional area), and the remaining region has a transmission portion.

또한, 상기 물질층이 폴리이미드와 같은 유기 절연막일 경우에는 상기 물질층 상부에 감광막을 도포한 후, 상기 감광막을 패터닝한 후, 패터닝된 감광막을 이용하여 물질층을 선택적으로 제거하여 제 1, 제 2 칼럼 스페이서를 형성한다. 이 경우에는 노광 및 현상 공정 외에 물질층의 식각 공정이 더 진행된다.In addition, when the material layer is an organic insulating film such as polyimide, after applying a photoresist film on the material layer, patterning the photoresist film, and selectively removing the material layer by using the patterned photoresist film, Form two column spacers. In this case, the etching of the material layer is further performed in addition to the exposure and development processes.

한편, TFT 어레이 기판(160)의 제조 공정은 다음과 같이 이루어진다.On the other hand, the manufacturing process of the TFT array substrate 160 is performed as follows.

먼저, 제 2 기판(120) 상에 Mo, Al 또는 Cr 등과 같은 금속물질을 스퍼터링 방법으로 전면 증착한 다음 사진 식각 공정으로 상기 금속물질을 패터닝하여 복수 개의 게이트 라인(121) 및 상기 게이트 라인(121)에서 돌출되는 형상으로 게이트 전극(121a)을 형성한다. 동일 공정에서 상기 게이트 라인(121)과 평행하게 공통 라인(127)을 형성하고, 화소 영역에 상기 공통 라인(127)에서 지그 재그 패턴으로 돌출되는 공통 전극(127a)을 함께 형성한다.First, a metal material such as Mo, Al, or Cr is deposited on the second substrate 120 by sputtering, and then the metal material is patterned by a photolithography process to form a plurality of gate lines 121 and the gate lines 121. ) To form a gate electrode 121a. In the same process, the common line 127 is formed in parallel with the gate line 121, and the common electrode 127a protruding in a zigzag pattern from the common line 127 is formed in the pixel area.

이어, 상기 게이트 라인(121) 등을 포함한 제 2 기판(120) 상에 SiNx 등의 절연물질을 전면 증착하여 게이트 절연막(125)을 형성하고, 상기 게이트 절연막(125) 상에 반도체층 물질(비정질 실리콘층, 도핑된 실리콘층)을 증착하고 패터닝하여 상기 게이트 전극(121a) 상측의 게이트 절연막(125) 위에 반도체층(124)을 형성한다. 여기서, 상기 반도체층(124)은 비정질 실리콘(amorphous silicon)층 및 인(P)이 고농도로 도핑된 실리콘층을 연속 증착한 다음 상기 비정질 실리콘층, 도핑된 실리콘층을 동시에 패터닝하여 형성한다.Subsequently, an insulating material such as SiNx is deposited on the second substrate 120 including the gate line 121 to form a gate insulating film 125, and a semiconductor layer material (amorphous) is formed on the gate insulating film 125. The semiconductor layer 124 is formed on the gate insulating layer 125 on the gate electrode 121a by depositing and patterning a silicon layer and a doped silicon layer. The semiconductor layer 124 is formed by continuously depositing an amorphous silicon layer and a silicon layer doped with phosphorus (P) at a high concentration, and then simultaneously patterning the amorphous silicon layer and the doped silicon layer.

그리고, Mo, Al 또는 Cr 등과 같은 금속물질을 스퍼터링 방법으로 전면 증착하고 사진 식각 공정으로 상기 금속 물질을 패터닝하여 상기 게이트 라인(121)에 수직한 방향으로 데이터 라인(122)을 형성함과 동시에 상기 반도체층(124) 양측에 소오스 전극(122a), 드레인 전극(122b)을 형성한다. 여기서, 상기 소오스 전극(122a)은 상기 데이터 라인(122)에서 돌출되어 형성된다. 소오스/드레인 전극 패터닝 공정에서, 상기 소오스 전극(122a)과 드레인 전극(122b) 사이의 도핑된 실리콘층은 제거된다. In addition, a metal material such as Mo, Al, or Cr is deposited on the entire surface by a sputtering method, and the metal material is patterned by a photolithography process to form the data line 122 in a direction perpendicular to the gate line 121. Source electrodes 122a and drain electrodes 122b are formed on both sides of the semiconductor layer 124. The source electrode 122a is formed to protrude from the data line 122. In a source / drain electrode patterning process, the doped silicon layer between the source electrode 122a and the drain electrode 122b is removed.

이어서, 상기 소오스 전극(122a) 및 드레인 전극(122b)을 포함한 기판 전면에 화학 기상 증착(chemical vapor deposition : CVD) 방식을 통해 SiNx 재질의 보 호막(passivation film, 126)을 증착한다. 이러한 보호막(126)의 재료로는 주로 SiNx 등의 무기물질이 적용되었으며, 최근 액정 셀의 개구율을 향상시키기 위하여 BCB(BenzoCycloButene), SOG(Spin On Glass) 또는 Acryl 등의 유전율이 낮은 유기물질이 사용되고 있다.Subsequently, a passivation film 126 made of SiNx is deposited on the entire surface of the substrate including the source electrode 122a and the drain electrode 122b by chemical vapor deposition (CVD). An inorganic material such as SiNx is mainly used as a material of the protective film 126. In order to improve the opening ratio of a liquid crystal cell, an organic material having a low dielectric constant such as BCB (BenzoCycloButene), Spin On Glass (SOG), or Acryl is used. have.

그리고, 상기 드레인 전극(122b) 상의 보호막(126) 일부를 선택적으로 식각하여 드레인 전극(122b)의 일부를 노출시키는 콘택홀을 형성하고, 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극(122b)에 전기적으로 연결되도록 상기 보호막(126)위에 투명 도전막을 스퍼터링하여 증착한 다음, 상기 화소 영역에만 남도록 선택적으로 제거하여 상기 화소 영역에 상기 공통 전극(127)과 교번하는 지그재그 패턴의 화소 전극(123)을 형성한다.A portion of the passivation layer 126 on the drain electrode 122b is selectively etched to form a contact hole exposing a portion of the drain electrode 122b and electrically connected to the drain electrode 122b through the contact hole. The transparent conductive film is sputtered and deposited on the passivation layer 126 to be removed, and then selectively removed to remain only in the pixel region to form a zigzag pattern pixel electrode 123 alternately with the common electrode 127.

이어, 도면에는 도시되지 않았으나, 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서(101, 103)가 형성된 컬러 필터 어레이 기판(100)과 대향되는 TFT 어레이 기판(160)의 표면 전면에 배향막을 형성하고, 러빙(rubbing) 처리한다.Subsequently, although not shown in the drawing, an alignment layer is formed on the entire surface of the TFT array substrate 160 facing the color filter array substrate 100 on which the first and second column spacers 101 and 103 are formed, and rubbing. )

이어, 이와 같이, 배향 공정이 완료된 TFT 어레이 기판(160)과 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서(101, 103)를 포함한 컬러 필터 어레이 기판(100)을 각각 세정한다.Subsequently, the color filter array substrate 100 including the TFT array substrate 160 and the first and second column spacers 101 and 103 on which the alignment process is completed is cleaned.

이어, 상기 TFT 어레이 기판(160)과 컬러 필터 어레이 기판(100) 중 하나의 기판 상의 표시 영역에 액정을 적하한다. 이어, 액정이 적하되지 않은 나머지 기판의 표시 영역의 외곽부에 디스펜싱 장치를 이용하여 실 패턴을 형성한다. 이 때, 상기 두 기판 중 하나의 기판에 액정도 적하하고 실 패턴도 형성할 수도 있다.Subsequently, liquid crystal is dropped into the display area on one of the TFT array substrate 160 and the color filter array substrate 100. Subsequently, a seal pattern is formed on the outer periphery of the display area of the remaining substrate where the liquid crystal is not dropped by using a dispensing device. At this time, the liquid crystal can also be dropped on one of the two substrates, and a seal pattern can also be formed.

이어, 상기 액정이 적하되지 않은 기판을 반전(뒤집어서 마주보게 함)시키고 (도 12에서는 컬러 필터 어레이 기판(100)이 반전됨을 나타낸다), 상기 TFT 어레이 기판과 컬러 필터 어레이 기판을 가압하여 합착하고 상기 실 패턴을 경화시킨다.Subsequently, the substrate on which the liquid crystal is not dropped is inverted (inverted to face each other) (in FIG. 12, the color filter array substrate 100 is inverted), and the TFT array substrate and the color filter array substrate are pressed together and pressed together. The yarn pattern is cured.

이어, 단위 액정 패널별로 상기 합착된 기판을 절단 및 가공한다.Subsequently, the bonded substrate is cut and processed for each liquid crystal panel.

그리고 상기 가공된 단위 액정 패널의 외관 및 전기적 불량 검사를 진행함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다. In addition, the liquid crystal display device is manufactured by inspecting appearance and electrical defects of the processed unit liquid crystal panel.

도 13은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치를 TN 모드로 구현한 액정 표시 장치를 나타낸 평면도이며, 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서가 형성된 게이트 라인상의 단면도는 도 12와 동일하다.FIG. 13 is a plan view illustrating a liquid crystal display device in which a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention is implemented in a TN mode, and a cross-sectional view of a gate line on which first and second column spacers are formed is the same as FIG. 12.

도 12및 도 13과 같이, TN 모드에 따른 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치는 일정 공간을 갖고 합착된 컬러 필터 어레이 기판(100) 및 TFT 어레이 기판(160)과, 상기 컬러 필터 어레이 기판(100)과 TFT 어레이 기판(160) 사이에 형성된 액정층(미도시)으로 구성되어 있다.12 and 13, the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention according to the TN mode includes a color filter array substrate 100 and a TFT array substrate 160 bonded to each other with a predetermined space, and the color filter. It consists of a liquid crystal layer (not shown) formed between the array substrate 100 and the TFT array substrate 160.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 컬러 필터 어레이 기판(100)은 제 1 기판(110) 상에 화소 영역을 제외한 부분(게이트 라인 및 데이터 라인 영역, 박막 트랜지스터 영역)의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(111)이 형성되고, 상기 각 화소 영역에 대응되어 부분에 색상을 표현하며, 서로 다른 높이의 R, G, B 컬러 필름(112a, 112b, 112c)으로 이루어진 컬러 필터층(112)이 형성되며, 상기 블랙 매트릭스층(111)과 컬러 필터층(112) 상부에 상기 컬러 필터층(112)이 갖는 단차가 그대로 유지될 수 있도록 얇은 두께로 형성된 공통 전극(도 12의 113에 해당)이 전면 형성된다. In more detail, the color filter array substrate 100 may include a black matrix layer on the first substrate 110 to block light of portions (gate lines and data line regions and thin film transistor regions) except for pixel regions. 111, a color filter layer 112 formed of R, G, and B color films 112a, 112b, and 112c having different heights is formed to correspond to each pixel area, and to form a color. The common electrode (corresponding to 113 of FIG. 12) formed on a thin thickness is formed on the black matrix layer 111 and the color filter layer 112 so that the step of the color filter layer 112 is maintained.

그리고, 서로 다른 높이의 상기 공통 전극(113) 표면에 광 경화성 수지 등과 같은 물질로 이루어지며, 표면이 평평한 제 1 칼럼 스페이서(101) 및 표면이 라운딩된 제 2 칼럼 스페이서(103)가 형성된다. 이 때, 상기 제 1 칼럼 스페이서(101)는 상기 컬러 필터층(112) 중 단차가 낮은 부분에 대응되어 형성되며, 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)는 단차가 높은 부분에 대응되어 형성된다. 이러한 결과는 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)가 합착시 제 1 칼럼 스페이서(101)에 비해 상대적으로 더 빨리 TFT 어레이 기판과 접촉되는 결과를 낳게 된다.A first column spacer 101 having a flat surface and a second column spacer 103 having a rounded surface are formed on the surfaces of the common electrode 113 having different heights. In this case, the first column spacer 101 is formed to correspond to a portion of the color filter layer 112 having a low level, and the second column spacer 103 is formed to correspond to a portion of a high level. This result results in the second column spacer 103 being in contact with the TFT array substrate relatively faster than the first column spacer 101 when bonded.

그리고, 상기 제 1 칼럼 스페이서(101) 및 제 2 칼럼 스페이서(103)는 주로 광에 의해 반응하여 패턴이 형성되는 포토아크릴 등의 광 경화성 수지 또는 저유전율(예를 들어, 유전율 2.0 이하의)의 폴리이미드 등을 포함하여 이루어질 수 있다(도 6 및 도 7의 칼럼 스페이서 제조 방법 참조, 단 도 6에서는 광 경화성 수지로 형성시의 칼럼 스페이서의 제조 방법을 나타냄). 여기서, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(101, 103) 자체의 높이는 동일하여, 서로 다른 단차에 적용되기 때문에 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(101, 103)의 상부면(TFT 어레이 기판(160)과의 접촉면)의 정점은 다르다. The first column spacer 101 and the second column spacer 103 may be formed of a photocurable resin such as photoacryl or a low dielectric constant (for example, having a dielectric constant of 2.0 or less) in which a pattern is formed by mainly reacting with light. Polyimide or the like (see the column spacer manufacturing method of FIGS. 6 and 7, except that FIG. 6 shows a manufacturing method of the column spacer when formed of a photocurable resin). Here, the heights of the first and second column spacers 101 and 103 themselves are the same, so that the heights of the first and second column spacers 101 and 103 are the same. The vertex of the contact surface with) is different.

따라서, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(101, 103)와 대향되는 TFT 어레이 기판(160)에서는 가압시 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)가 먼저 TFT 어레이 기판(160)과 접촉하게 되며, 상기 제 1 칼럼 스페이서(101)는 가압 압력을 크게 했을 때, 즉, 소정 압력 이상이 되어야 상기 TFT 어레이 기판(160)과 접촉하게 된다.Accordingly, in the TFT array substrate 160 facing the first and second column spacers 101 and 103, the second column spacer 103 first contacts the TFT array substrate 160 when pressed. The one-column spacer 101 is brought into contact with the TFT array substrate 160 only when the pressurization pressure is increased, that is, a predetermined pressure or more.

한편, 상기 컬러 필터 어레이 기판(100)에 대향되는 TFT 어레이 기판(160)은 제 2 기판(120) 상에 수직으로 교차하여 화소 영역을 정의하는 복수개의 게이트 라인(121) 및 데이터 라인(122)이 형성되고, 상기 각 화소 영역에는 화소 전극(123)이 형성되며, 상기 각 게이트 라인(121)과 데이터 라인(122)이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터가 형성된다.On the other hand, the TFT array substrate 160 facing the color filter array substrate 100 vertically intersects the second substrate 120 to define a plurality of gate lines 121 and data lines 122 defining pixel regions. The pixel electrode 123 is formed in each pixel area, and the thin film transistor is formed at a portion where the gate line 121 and the data line 122 cross each other.

이러한 TN 모드의 액정 표시 장치는, 화소 전극(123)이 게이트 라인(121) 및 데이터 라인(122)으로 정의되는 화소 영역에 하나로 형성된다는 점을 제외하고는 그 제조 공정은 횡전계형 모드의 액정 표시 장치와 거의 유사하다.In the liquid crystal display of the TN mode, the manufacturing process is performed in the transverse electric field mode except that the pixel electrode 123 is formed as one in the pixel region defined by the gate line 121 and the data line 122. Almost similar to the device.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a liquid crystal display and a manufacturing method thereof according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 14는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 칼럼 스페이서 및 이의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도이며, 도 15는 도 14에 이용되는 마스크를 나타낸 평면도이다.14 is a cross-sectional view illustrating a column spacer and a method of manufacturing the same according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 15 is a plan view illustrating a mask used in FIG. 14.

도 14 및 도 15와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치는, 컬러 필터 어레이 기판(200)의 동일한 높이의 표면에 서로 다른 높이의 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(201, 202)가 형성된다. As shown in FIGS. 14 and 15, the liquid crystal display according to the second exemplary embodiment may include first and second column spacers 201 and 202 having different heights on surfaces of the same height of the color filter array substrate 200. ) Is formed.

본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치에 있어서는, 서로 다른 높이의 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서(201, 202)를 동시에 형성하기 위해 각각의 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(201, 202)에 대해 각각 반투과부(250a), 투과부(250b)가 대응되는 마스크(250)를 정렬시킨다. 여기서, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(201, 202)를 정의하는 마스크(250)는 반투과부(250a), 투과부(250b) 및 나머지 영역은 차광부(250c)로 정의된다.In the liquid crystal display according to the second embodiment of the present invention, the first and second column spacers 201 and 202 are formed to simultaneously form the first and second column spacers 201 and 202 having different heights. The transflective portion 250a and the transmissive portion 250b respectively align the corresponding mask 250. Here, the mask 250 defining the first and second column spacers 201 and 202 is defined as the transflective portion 250a, the transmissive portion 250b, and the remaining region as the light blocking portion 250c.

여기서, 상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서(201, 202)를 이루는 물질은 네거티브 광 경화성 수지로 가정한다.Here, it is assumed that the material forming the first and second column spacers 201 and 202 is a negative photocurable resin.

상기 마스크(250)의 반투과부(250a)는 미소한 슬릿이 복수개 형성되어, 상기 마스크(250)를 이용한 노광시, 상기 마스크(250)의 반투과부(250a)에 대응되어서는 회절 노광이 일어난다. 이 경우, 상기 마스크(250)의 투과부(250b)에 대응되는 부위에는 일반 노광이 일어난다. 따라서, 상기 마스크(250)의 투과부(250b)에 비하여 상대적으로 노광량이 적다. 결국, 상기 마스크의 반투과부(250a) 및 투과부(250b)에 대응되어 네거티브 광 경화성 수지의 부위별로 각각 그 노광량의 차이를 갖게 되어, 노광량이 적은 부위에 대응되는 부위는 일정 높이의 네거티브 광 경화성 수지가 제거되어 제 1 높이(H3)의 제 1 칼럼 스페이서(201)가 형성되고, 상기 투과부(250b)에는 대응되어서는 노광 및 현상 후, 도포된 두께 그대로 제 2 높이(H4>H3)네거티브 광 경화성 수지가 남아 제 2 칼럼 스페이서(202)가 형성된다. A plurality of minute slits are formed in the semi-transmissive portion 250a of the mask 250, and when exposing using the mask 250, diffraction exposure occurs when the semi-transmissive portion 250a corresponds to the semi-transmissive portion 250a of the mask 250. In this case, general exposure occurs at a portion corresponding to the transmissive portion 250b of the mask 250. Therefore, the exposure amount is relatively low as compared with the transmissive portion 250b of the mask 250. As a result, each of the portions of the negative photocurable resin corresponding to the semi-transmissive portion 250a and the transmissive portion 250b of the mask has a difference in exposure amount, and the portions corresponding to the portions having a small exposure amount have a negative photocurable resin of a certain height. Is removed to form a first column spacer 201 having a first height H3, and after the exposure and development, corresponding to the transmission portion 250b, the second height H4 > Resin remains to form the second column spacer 202.

한편, 도시되어 있는 바와 달리, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서를 이루는 물질이 파지티브 광 경화성 수지로 형성시에는 상기 마스크에 있어서 차광부의 개구부의 패턴을 역상으로 하여 동일 형상의 칼럼 스페이서의 형성이 가능하다.On the other hand, when the material forming the first and second column spacers is formed of positive photocurable resin, the pattern of the opening of the light shielding portion in the mask is reversed to form the column spacers having the same shape. This is possible.

또한, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서를 이루는 물질이 폴리이미드와 같은 유기 절연막일 경우는, 유기 절연막 상부에 감광막을 도포한 후, 상술한 마스크와 동일 형상의 마스크를 이용하여 상기 감광막에 노광 및 현상 공정을 진행하여 감광막 패턴을 형성 후, 상기 감광막 패턴을 이용하여 유기 절연막을 패터닝하여 제 1, 제 2 칼럼 스페이서를 형성할 수 있다.When the material constituting the first and second column spacers is an organic insulating film such as polyimide, the photosensitive film is coated on the organic insulating film, and then exposed to the photosensitive film by using a mask having the same shape as the above-described mask. After the development process is performed to form the photoresist pattern, the organic insulating layer may be patterned using the photoresist pattern to form first and second column spacers.

도 16은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 압력에 따른 칼럼 스페이서의 변형 정도를 나타낸 그래프이다.16 is a graph illustrating a deformation degree of a column spacer according to a pressure of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 16과 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치에 있어서는, 컬러 필터 어레이 기판(200)을 반전시켜 TFT 어레이 기판(260)을 대향시켰을 때, 두 기판간에 가압이 인가되지 않은 초기의 상태에서는 높이가 높은 상기 제 2 칼럼 스페이서(202)만이 상기 TFT 어레이 기판(260)에 접촉하여 있다.As shown in FIG. 16, in the liquid crystal display according to the second embodiment of the present invention, when the color filter array substrate 200 is inverted to face the TFT array substrate 260, an initial pressure is not applied between the two substrates. In the state of, only the second column spacer 202 having a high height is in contact with the TFT array substrate 260.

이 상태에서, 상기 컬러 필터 어레이 기판(200)의 표면에 압력을 점점 증가시켜 인가하게 되면, 상기 제 2 칼럼 스페이서(202)가 눌리게 되고 눌린만큼 상기 제 2 칼럼 스페이서(103)의 높이는 줄어들게 된다. 이는 높이의 감소만큼 상기 제 2 칼럼 스페이서(130)의 형상의 변경이 일어났다는 의미이다. 이 경우, 상기 제 2 칼럼 스페이서(202)의 변형 정도는 상기 컬러 필터 어레이 기판(200)의 표면에 인가되는 압력에 비례되는 수준이다. In this state, when the pressure is gradually applied to the surface of the color filter array substrate 200, the second column spacer 202 is pressed and the height of the second column spacer 103 is reduced by the amount of pressure. . This means that a change in the shape of the second column spacer 130 has occurred by a decrease in height. In this case, the deformation degree of the second column spacer 202 is a level proportional to the pressure applied to the surface of the color filter array substrate 200.

한편, 상기 컬러 필터 어레이 기판(200) 표면에 인가되는 압력은 기판 전면에 걸쳐 고르게 인가된다고 가정한다. On the other hand, it is assumed that the pressure applied to the surface of the color filter array substrate 200 is evenly applied over the entire surface of the substrate.

그리고, 실제 컬러 필터 어레이 기판(200) 및 TFT 어레이 기판(260)간의 합착시의 압력은 상기 그래프에서 P2 미만의 압력이 된다고 가정한다. 따라서, 합착시 두 기판은 지지하고 있는 칼럼 스페이서는 제 2 칼럼 스페이서(202)만이다.In addition, it is assumed that the pressure at the time of bonding between the actual color filter array substrate 200 and the TFT array substrate 260 becomes less than P2 in the graph. Therefore, only the second column spacer 202 supports the two substrates at the time of bonding.

상기 컬러 필터 어레이 기판(200)의 표면에 인가되는 초기의 압력(0부터 P1 미만 사이에서 점점 증가되는 압력)은 컬러 필터 어레이 기판(200)과 TFT 어레이 기판(260)의 합착시 두 기판간이 소정의 셀 갭을 갖고 일측 기판의 외곽에 형성된 씰 패턴(미도시)에 의해 두 기판이 합착 고정되기까지 인가되는 압력이다. 이 때, 상기 제 2 칼럼 스페이서(202)는 셀 갭 유지용 칼럼 스페이서로 기능하게 된다.The initial pressure (pressure gradually increasing between 0 and less than P1) applied to the surface of the color filter array substrate 200 is predetermined between two substrates when the color filter array substrate 200 and the TFT array substrate 260 are bonded together. It is a pressure applied until the two substrates are fixed to each other by a seal pattern (not shown) formed on the outer side of one substrate having a cell gap of. In this case, the second column spacer 202 functions as a cell spacer for maintaining the cell gap.

점점 압력을 증가시켜 P2 이상의 압력을 상기 컬러 필터 어레이 기판(200)의 표면에 인가하면, 상기 제 2 칼럼 스페이서(202)와 상기 제 1 칼럼 스페이서(201)가 모두 상기 TFT 어레이 기판(260)에 접촉하게 된다. 이 때, 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서(201, 202)가 모두 접촉이 일어나는 최초 압력은 P2이며, 상기 제 1 칼럼 스페이서(201)의 접촉 이후에는 압력의 증가에 따라 그래프 상에서 칼럼 스페이서(201, 202)의 변형은 눈에 띄게 줄어들게 된다. 이는 상기 제 1 칼럼 스페이서(201)가 상기 제 2 칼럼 스페이서(202)에 비해 상대적으로 TFT 어레이 기판(260)과의 접촉 면적이 넓고, 면적이 넓은만큼 TFT 어레이 기판을 지지할 수 힘이 크기 때문이다. 이 경우, P2 이상의 압력을 인가시 일어나는 상기 칼럼 스페이서의 변형 정도는, 칼럼 스페이서를 이루는 물질이 갖는 탄성력의 한계로 인해 소정 압력 이상에서 일어나는 변형 정도(도 4 참조)에 비해서도 매우 작은 수준이다.When the pressure is gradually increased to apply a pressure of P2 or more to the surface of the color filter array substrate 200, both the second column spacer 202 and the first column spacer 201 are applied to the TFT array substrate 260. Contact. In this case, an initial pressure at which the first and second column spacers 201 and 202 are in contact is P2, and after contact of the first column spacer 201, the column spacer 201, The deformation of 202 is noticeably reduced. This is because the first column spacer 201 has a larger contact area with the TFT array substrate 260 than the second column spacer 202 and has a large force that can support the TFT array substrate as the area is larger. to be. In this case, the degree of deformation of the column spacer that occurs when a pressure of P2 or more is applied is very small compared to the degree of deformation occurring above a predetermined pressure (see FIG. 4) due to the limitation of the elastic force of the material forming the column spacer.

이와 같이, 본 발명의 제 2 실시예의 액정 표시 장치는, 소정 압력 이상에서의 칼럼 스페이서의 변형 정도를 살펴보는 실험을 통해, 액정 표시 장치 표면의 특정 부위에 소정의 외력을 인가시 일어나는 도장 얼룩(눌림 불량)을 개선할 수 있음을 알 수 있다. As described above, the liquid crystal display device according to the second exemplary embodiment of the present invention performs an examination of the degree of deformation of the column spacer at a predetermined pressure or more, and the coating unevenness generated when a predetermined external force is applied to a specific portion of the surface of the liquid crystal display device It can be seen that the poor poor) can be improved.

종래의 액정 표시 장치에 있어서, 도장 얼룩은 액정 표시 장치의 기판 배면의 소정 부위에 국부적으로 소정 압력 이상이 인가되었을 때 발생하였는데, 일어나 는 원인은 인가되는 압력에 비해 해당 부위의 칼럼 스페이서의 지지력이 낮기 때문인 것으로 알려져있다.In the conventional liquid crystal display device, uneven coating occurs when a predetermined pressure or more is locally applied to a predetermined portion of the substrate back surface of the liquid crystal display device. It is known to be low.

본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치는 셀 갭을 유지하는 제 2 칼럼 스페이서(202)에 비해 상대적으로 높이가 낮은 제 1 칼럼 스페이서(201)를 구비하고 있기 때문에, 소정 압력(P2) 이상 인가시 별도의 제 1 칼럼 스페이서(201)들이 두 기판(200, 260) 사이의 지지력을 키운다. 따라서, 국부적인 소정 부위를 누르는 압력에 대해 어느 정도의 저항력이 생겨 칼럼 스페이서들(201, 202)의 형상이 유지되고, 따라서, 도장 얼룩(눌림 불량)의 발생을 최소화할 수 있는 것이다. 이 경우, 소정 압력 이상에서 상기 제 1 칼럼 스페이서(201)는 눌림 불량 방지 스페이서로 기능하게 된다.Since the liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention includes the first column spacer 201 having a relatively lower height than the second column spacer 202 holding the cell gap, the predetermined pressure P2 is achieved. When the above application, the separate first column spacers 201 increase the holding force between the two substrates 200 and 260. Therefore, a certain resistance is generated to the pressure for pressing the local predetermined site, so that the shape of the column spacers 201 and 202 is maintained, thereby minimizing the occurrence of paint stains. In this case, above the predetermined pressure, the first column spacer 201 functions as a deterioration preventing spacer.

이하, 도면을 참조하여 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법에 대해 살펴본다.Hereinafter, a liquid crystal display and a manufacturing method thereof according to the second embodiment will be described with reference to the drawings.

도 17은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 컬러 필터 어레이 기판을 나타낸 평면도이며, 도 18은 도 17의 Ⅳ~Ⅳ' 선상의 구조 단면도이다.FIG. 17 is a plan view illustrating a color filter array substrate of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 18 is a cross-sectional view taken along line IV to IV ′ of FIG. 17.

도 17 및 도 18과 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 컬러 필터 어레이 기판(200)은, 제 1 기판(210) 상에 화소 영역을 제외한 영역에 형성된 블랙 매트릭스층(211), 상기 수직한 방향으로 상기 블랙 매트릭스층(211)과 일부 오버랩하며, 스트라이프(strip) 형상으로 형성된 컬러 필터층(212) 및 상기 컬러 필터층(212)을 포함한 기판 전면에 형성된 공통 전극 또는 오버코트층(213)을 포함하여 이루어진다. As shown in FIGS. 17 and 18, the color filter array substrate 200 of the liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention is a black matrix layer 211 formed on an area of the first substrate 210 except for the pixel region. And a common electrode or overcoat layer formed on the entire surface of the substrate including the color filter layer 212 and the color filter layer 212 overlapping the black matrix layer 211 in the vertical direction and having a stripe shape. 213).

이 때, 상기 기판 전면에 형성된 층(213)이 공통 전극인지 오버코트층인지의 여부는 상기 컬러 필터 어레이 기판을 포함한 액정 표시 장치가 TN(Twisted Nematic) 모드인지 IPS(In-Plane Switching) 모드인지에 따라 결정된다. TN 모드일 경우는 공통 전극이며, IPS 모드인 경우는 오버코트층이다.In this case, whether the layer 213 formed on the front surface of the substrate is a common electrode or an overcoat layer may be determined whether the liquid crystal display including the color filter array substrate is in twisted nematic (TN) mode or in-plane switching (IPS) mode. Is determined accordingly. In the case of TN mode, it is a common electrode, and in the case of IPS mode, it is an overcoat layer.

여기서, 상기 컬러 필터층(212)은, R, G, B 컬러 필름(212a, 212b, 212c)을 포함하여 이루어지며, 상기 R, G, B 컬러 필름(212a, 212b, 212c)은 각각 단차가 없거나 상기 공통 전극 또는 오버코트층(213) 증착으로 인해 무시할 수 있는 수준으로 가정한다. 여기서, 상기 제 1 컬러 필름(212a)은 도시된 바와 같이, R 컬러 필름일 수도 있고, 그 밖의 컬러 필름일 수도 있다. The color filter layer 212 may include R, G, and B color films 212a, 212b, and 212c, and the R, G, and B color films 212a, 212b, and 212c may each have no step. It is assumed to be negligible due to the deposition of the common electrode or overcoat layer 213. Here, as shown in the drawing, the first color film 212a may be an R color film or another color film.

이러한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법은, 하나의 마스크 내에 투과부와 반투과부가 함께 정의되었다는 점 및 이로 인해 제 1, 제 2 칼럼 스페이서가 서로 다른 높이로 형성되었다는 점을 제외하고는, 마스크를 이용하여 1회의 노광 공정을 통해 제 1, 제 2 칼럼 스페이서가 정의되는 점 및 그 밖의 구조 및 제조 방법은 상술한 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법을 따른다.In the liquid crystal display and the manufacturing method thereof according to the second embodiment of the present invention, the transmissive part and the transflective part are defined together in one mask, and thus, the first and second column spacers are formed at different heights. Except for the above, the first and second column spacers are defined through a single exposure process using a mask, and other structures and manufacturing methods of the liquid crystal display and the manufacturing method thereof according to the first embodiment are described. Follow.

본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치는, 서로 다른 높이로 형성된 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서(201, 202)를 구비하여, 액정 패널에 인가되는 외력에 대하여 단계적으로 지지력을 제어할 수 있으므로, 터치 불량 및 셀 갭을 안정적으로 유지할 수 있다. 즉, 합착 공정의 가압시 또는 터치시에는 전체 칼럼 스페이서에 대해 상기 제 2 칼럼 스페이서(202)만이 TFT 어레이 기판(260)에 접촉되어, 접 촉 면적을 줄일 수 있어, 마찰력을 최소화함으로써 터치 불량을 방지할 수 있고, 또한, 소정 압력 이상이 패널에 인가될 경우에는, 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서(201, 202)에 의해 셀 갭을 유지하는 지지력을 늘려, 외력에 대한 내성을 가져 눌림 불량을 방지할 수 있다. The liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention includes the first and second column spacers 201 and 202 formed at different heights to control the holding force in step with respect to an external force applied to the liquid crystal panel. Therefore, touch failure and cell gap can be maintained stably. That is, when the bonding process is pressed or touched, only the second column spacer 202 is in contact with the TFT array substrate 260 with respect to the entire column spacer, so that the contact area can be reduced, thereby minimizing the frictional force to minimize the touch failure. In addition, when a predetermined pressure or more is applied to the panel, the first and second column spacers 201 and 202 increase the holding force for maintaining the cell gap, thereby resulting in resistance against external force and poor in-press. You can prevent it.

상기와 같은 본 발명의 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.The liquid crystal display of the present invention as described above and a method of manufacturing the same have the following effects.

하나의 마스크를 이용하여 1회의 노광 및 현상 공정을 통해 서로 다른 형상 또는 서로 다른 높이를 갖는 칼럼 스페이서의 형성이 가능하다. It is possible to form column spacers having different shapes or different heights through a single exposure and development process using one mask.

마스크의 각 영역별로 서로 다른 크기를 갖는 것으로, 상부면의 형상이 각각 라운딩된 것과 평평한 것으로 서로 다른 형상의 칼럼 스페이서를 형성할 수 있으며, 각각을 서로 다른 단차에 적용시켜 대향 기판과의 접촉 시점을 달리할 수 있다. 이는 패널의 국부적인 영역을 가압시 일정 압력 이하에서는 접촉 면적을 줄여 터치 불량을 개선하는 효과를 갖게 하고, 또한, 일정 압력을 넘을 경우에는 눌림에 대한 내성을 키워 셀 갭을 패널의 전 영역에 걸쳐 안정적으로 유지할 수 있게 된다.Each area of the mask has a different size, and the top surface is rounded and flat, so that the column spacers having different shapes can be formed. It can be different. This has the effect of reducing the contact area when the local area of the panel is pressed below a certain pressure, thereby improving touch defects, and increasing the resistance to pressing when the pressure is exceeded, so that the cell gap is spread over the entire area of the panel. It can be kept stable.

또한, 마스크의 각 영역별로 서로 다른 패턴을 갖는 것, 즉, 일 영역에는 단순 개구 패턴을, 타 영역에는 복수개의 미소 슬릿을 갖는 패턴을 형성하여, 상기 단순 개구 패턴을 통하여는 일반 노광이 이루어지도록 하고, 상기 복수개의 미소 슬릿을 갖는 패턴을 통하여는 회절 노광이 이루어지도록 할 수 있다. 상기 마스크 를 통해 형성된 높이가 서로 다른 칼럼 스페이서를 이용하여, 패널에 인가되는 외력에 대하여 단계적으로 지지력을 제어할 수 있어, 터치 불량 및 눌림 불량을 모두 개선할 수 있다.In addition, a pattern having a different pattern for each area of the mask, that is, a pattern having a simple opening pattern in one area and a plurality of micro slits in another area is formed so that general exposure is achieved through the simple opening pattern. In addition, diffraction exposure may be performed through the pattern having the plurality of micro slits. By using column spacers having different heights, the support force can be controlled step by step with respect to an external force applied to the panel, thereby improving both touch failure and depression failure.

이와 같이, 서로 다른 형상의 칼럼 스페이서 또는 서로 다른 높이의 칼럼 스페이서를 통해 소정 이상의 압력에 대해 칼럼 스페이서의 변형 정도를 줄임으로써, 셀 갭을 전 패널에 걸쳐 보다 안정적으로 유지할 수 있게 된다.As such, by reducing the degree of deformation of the column spacer to a predetermined pressure or more through column spacers having different shapes or column spacers having different heights, the cell gap can be more stably maintained over the entire panel.

Claims (37)

TFT 어레이가 형성되는 제 1 기판;A first substrate on which a TFT array is formed; 상기 제 1 기판의 TFT 어레이에 대향된 면에 단차를 갖는 컬러 필터 어레이가 형성되는 제 2 기판;A second substrate on which a color filter array having a step is formed on a surface of the first substrate opposite to the TFT array; 상기 제 2 기판 상의 단차가 낮은 영역에 형성되는 제 1 칼럼 스페이서;A first column spacer formed in a region having a low step height on the second substrate; 상기 제 2 기판 상의 단차가 높은 영역에 형성되며, 제 1 기판에 대향되어 라운딩된 상부면을 갖는 제 2 칼럼 스페이서; 및A second column spacer formed in a region having a high level on the second substrate, the second column spacer having an upper surface rounded to face the first substrate; And 상기 제 1 및 제 2 기판 사이에 충진된 액정층을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a liquid crystal layer filled between the first and second substrates. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 기판 또는 제 2 기판의 표면에 균일한 압력으로 가압시 상기 제 1 칼럼 스페이서에 비해 상기 제 2 칼럼 스페이서가 제 1 기판에 먼저 접촉됨을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the second column spacer contacts the first substrate first compared to the first column spacer when the pressure is applied to the surface of the first substrate or the second substrate at a uniform pressure. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 칼럼 스페이서와 상기 제 2 칼럼 스페이서는 각각의 제 2 기판의 표면으로부터 동일 높이로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the first column spacer and the second column spacer are formed at the same height from the surface of each second substrate. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 기판에 대향되는 제 1 칼럼 스페이서의 상부면의 단면적은 상기 제 2 칼럼 스페이서의 상부면의 단면적보다 큰 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치. And a cross-sectional area of an upper surface of the first column spacer facing the first substrate is greater than a cross-sectional area of an upper surface of the second column spacer. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 칼럼 스페이서와 상기 제 2 칼럼 스페이서가 모두 상기 제 1 기판에 접촉하는 시점(始點)에, 상기 제 1 기판과의 접촉 면적은 상기 제 1 칼럼 스페이서가 상기 제 2 칼럼 스페이서에 비해 큰 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.At a point in time when both the first column spacer and the second column spacer are in contact with the first substrate, the contact area with the first substrate is larger than that of the second column spacer. A liquid crystal display device, characterized in that. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 TFT 어레이는, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하며 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차 영역에 형성된 박막 트랜지스터 및 상기 화소 영역에 형성된 화소 전극을 포함하여 이루어지며,The TFT array includes a gate line and a data line crossing each other on the first substrate and defining a pixel region, a thin film transistor formed at an intersection of the gate line and the data line, and a pixel electrode formed at the pixel region. Done, 상기 컬러 필터 어레이는, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인과 박막 트랜지스터를 가리도록 상기 제 2 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스층과, 상기 데이터 라인의 방향으로 상기 블랙 매트릭스층을 포함한 제 2 기판 상에 형성된 컬러 필터층과, 상기 블랙 매트릭스층 및 컬러 필터층을 포함한 상기 제 2 기판 전면에 형성된 공통 전극을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The color filter array may include a black matrix layer formed on the second substrate to cover the gate line, the data line, and the thin film transistor, and a color filter layer formed on the second substrate including the black matrix layer in the direction of the data line. And a common electrode formed on an entire surface of the second substrate including the black matrix layer and the color filter layer. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서 하부에는 블랙 매트릭스층, 컬러 필터층 및 오버코트층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a black matrix layer, a color filter layer, and an overcoat layer are formed under the first and second column spacers. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 컬러 필터층은 R, G, B 컬러 필름을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The color filter layer is a liquid crystal display comprising a R, G, B color film. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 컬러 필터층은 각 컬러 필름별로 서로 다른 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The color filter layer has a different thickness for each color film. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 각 컬러 필름이 갖는 최대 단차는 4000Å이하인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The maximum level | step difference which each said color film has is 4000 micrometers or less, The liquid crystal display device characterized by the above-mentioned. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서는 상기 게이트 라인 또는 데이터 라인에 대응되어 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치. And the first and second column spacers are formed corresponding to the gate line or the data line. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 TFT 어레이는, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하며 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 평행하게 형성된 공통 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차 영역에 형성된 박막 트랜지스터와, 상기 화소 영역에 서로 교번하여 형성된 화소 전극 및 공통 전극을 포함하여 이루어지며,The TFT array may include a thin film transistor formed on a gate line and a data line crossing each other on the first substrate and defining a pixel area, a common line formed in parallel with the gate line, and an intersection area of the gate line and the data line. And a pixel electrode and a common electrode which are alternately formed in the pixel region. 상기 컬러 필터 어레이는, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인과 박막 트랜지스터를 가리도록 상기 제 2 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스층과, 상기 데이터 라인의 방향으로 상기 블랙 매트릭스층을 포함한 제 2 기판 상에 형성된 컬러 필터층과, 상기 블랙 매트릭스층 및 컬러 필터층을 포함한 제 2 기판 전면에 형성된 오버코트층을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The color filter array may include a black matrix layer formed on the second substrate to cover the gate line, the data line, and the thin film transistor, and a color filter layer formed on the second substrate including the black matrix layer in the direction of the data line. And an overcoat layer formed on the entire surface of the second substrate including the black matrix layer and the color filter layer. 제 12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서 하부에는 블랙 매트릭스층, 컬러 필터층 및 오버코트층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a black matrix layer, a color filter layer, and an overcoat layer are formed under the first and second column spacers. 제 12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 컬러 필터층은 R, G, B 컬러 필름을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The color filter layer is a liquid crystal display comprising a R, G, B color film. 제 14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 컬러 필터층은 각 컬러 필름별로 서로 다른 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The color filter layer has a different thickness for each color film. 제 15항에 있어서,The method of claim 15, 상기 각 컬러 필름이 갖는 최대 단차는 4000Å이하인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The maximum level | step difference which each said color film has is 4000 micrometers or less, The liquid crystal display device characterized by the above-mentioned. 제 12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서는 게이트 라인, 데이터 라인 및 공통 라인 중 어느 하나에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the first and second column spacers are formed on any one of a gate line, a data line, and a common line. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서는 동일한 마스크로 제조되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the first and second column spacers are made of the same mask. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서가 형성된 부분과 다른 단차를 갖는 제 2 기판 상의 소정 부위에 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서와 다른 형상의 제 3 칼럼 스페이서가 더 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a third column spacer having a shape different from that of the first and second column spacers is formed at a predetermined portion on the second substrate having a step different from the portion where the first and second column spacers are formed. 제 1 기판 상에 TFT 어레이를 형성하는 단계;Forming a TFT array on the first substrate; 제 2 기판 상에 단차를 갖는 컬러 필터 어레이를 형성하는 단계;Forming a color filter array having a step on a second substrate; 상기 컬러 필터 어레이를 포함한 상기 제 2 기판 전면에 광 경화성 수지를 도포하는 단계;Applying a photocurable resin to the entire surface of the second substrate including the color filter array; 상기 제 2 기판 상에, 상기 제 2 기판 상의 단차에 따라 다른 크기의 투과부와 개구부가 정의된 마스크를 정렬시키는 단계;Aligning, on the second substrate, a mask in which openings and openings of different sizes are defined according to a step on the second substrate; 상기 마스크를 이용하여 1회의 노광 및 현상을 통해 상기 광 경화성 수지를 선택적으로 제거하여, 상기 제 2 기판 상의 단차가 낮은 영역에 대응되어 제 1 칼럼 스페이서와, 상기 제 2 기판 상의 단차가 높은 영역에 대응되어 라운딩된 상부면을 갖는 제 2 칼럼 스페이서를 형성하는 단계;The photocurable resin is selectively removed through one exposure and development using the mask, and the first column spacer and the region having a high level on the second substrate correspond to a region having a low level on the second substrate. Forming a second column spacer having a corresponding rounded top surface; 상기 제 1 또는 제 2 기판 상에 액정을 적하하는 단계; 및Dropping liquid crystal onto the first or second substrate; And 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And bonding the first and second substrates together. 제 20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 광 경화성 수지는 네거티브 광 경화성 수지인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.Said photocurable resin is negative photocurable resin, The manufacturing method of the liquid crystal display device characterized by the above-mentioned. 제 21항에 있어서,The method of claim 21, 상기 마스크는 상기 제 2 기판 상의 단차가 낮은 영역에 대응되어 제 1 단면적의 제 1 투과부를 가지며, 상기 제 2 기판 상의 단차가 높은 영역에 대응되어 제 1 단면적보다 작은 제 2 단면적(< 제 1 단면적)의 제 2 투과부를 가지며, 나머지 영역을 차광부를 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The mask has a first transmissive portion having a first cross-sectional area corresponding to a region having a low level on the second substrate, and a second cross-sectional area smaller than the first cross-sectional area (<first cross-sectional area) corresponding to a region having a high level on the second substrate. And a second light transmitting portion, and the remaining region has a light shielding portion. 제 20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 광 경화성 수지는 파지티브 광 경화성 수지인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.Said photocurable resin is positive photocurable resin, The manufacturing method of the liquid crystal display device characterized by the above-mentioned. 제 23항에 있어서,The method of claim 23, wherein 상기 마스크는 상기 제 2 기판 상의 단차가 낮은 영역에 대응되어 제 1 단면적의 제 1 차광부를 가지며, 상기 제 2 기판 상의 단차가 높은 영역에 대응되어 상기 제 1 단면적에 비해 작은 제 2 단면적(< 제 1 단면적)의 제 2 차광부를 가지며, 나머지 영역은 투과부를 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The mask has a first light blocking portion having a first cross-sectional area corresponding to a region having a low level on the second substrate, and has a second cross-sectional area smaller than the first cross-sectional area corresponding to a region having a high level on the second substrate (< And a second light shielding portion of one cross-sectional area, and the remaining region has a transmissive portion. 제 20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 제 1 칼럼 스페이서와 상기 제 2 칼럼 스페이서는 상기 제 2 기판의 각 형성 부위의 표면으로부터 동일 높이로 형성함을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And the first column spacer and the second column spacer are formed at the same height from the surface of each forming portion of the second substrate. 제 20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 컬러 필터 어레이를 형성하는 단계는Forming the color filter array 상기 제 2 기판의 소정 영역에 블랙 매트릭스층을 형성하는 단계;Forming a black matrix layer on a predetermined region of the second substrate; 상기 블랙 매트릭스층을 포함한 상기 제 2 기판 상에 컬러 필터층을 형성하는 단계; 및 Forming a color filter layer on the second substrate including the black matrix layer; And 상기 컬러 필터층을 포함한 제 2 기판 전면에 공통 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And forming a common electrode on the entire surface of the second substrate including the color filter layer. 제 26항에 있어서,The method of claim 26, 상기 컬러 필터층은 R, G, B 컬러 필름을 포함하여 이루어지며, 각 컬러 필름별로 서로 다른 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The color filter layer includes R, G, and B color films, and has a different thickness for each color film. 제 27항에 있어서,The method of claim 27, 상기 각 컬러 필름이 갖는 최대 단차는 4000Å이하인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The maximum level | step difference which each said color film has is 4000 micrometers or less, The manufacturing method of the liquid crystal display device characterized by the above-mentioned. 제 20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 컬러 필터 어레이를 형성하는 단계는Forming the color filter array 상기 제 2 기판의 소정 영역에 블랙 매트릭스층을 형성하는 단계;Forming a black matrix layer on a predetermined region of the second substrate; 상기 블랙 매트릭스층을 포함한 상기 제 2 기판 상에 컬러 필터층을 형성하는 단계; 및 Forming a color filter layer on the second substrate including the black matrix layer; And 상기 컬러 필터층을 포함한 제 2 기판 전면에 오버코트층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And forming an overcoat layer on the entire surface of the second substrate including the color filter layer. 제 29항에 있어서,The method of claim 29, 상기 컬러 필터층은 R, G, B 컬러 필름을 포함하여 이루어지며, 각 컬러 필름별로 서로 다른 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The color filter layer includes R, G, and B color films, and has a different thickness for each color film. 제 30항에 있어서,The method of claim 30, 상기 각 컬러 필름이 갖는 최대 단차는 4000Å이하인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The maximum level | step difference which each said color film has is 4000 micrometers or less, The manufacturing method of the liquid crystal display device characterized by the above-mentioned. 제 1 기판 상에 TFT 어레이를 형성하는 단계;Forming a TFT array on the first substrate; 제 2 기판 상에 컬러 필터 어레이를 형성하는 단계;Forming an array of color filters on a second substrate; 상기 컬러 필터 어레이를 포함한 제 2 기판 상에 광 경화성 수지를 전면 도포하는 단계;Applying a photocurable resin on the entire surface of the second substrate including the color filter array; 상기 광 경화성 수지를 포함한 제 2 기판 상에 투과부, 반투과부 및 차광부가 모두 정의된 마스크를 정렬시키는 단계;Aligning a mask on which a transmissive part, a transflective part, and a light shielding part are defined on a second substrate including the photocurable resin; 상기 마스크를 이용하여 1회의 노광 및 현상으로 상기 광 경화성 수지를 선 택적으로 제거하여, 상기 제 2 기판 상에 제 1 높이를 갖는 제 1 칼럼 스페이서 및 상기 제 1 높이보다 큰 제 2 높이(>제 1 높이)를 갖는 제 2 칼럼 스페이서를 형성하는 단계; The photocurable resin is selectively removed by one exposure and development using the mask, so that a first column spacer having a first height on the second substrate and a second height greater than the first height Forming a second column spacer having a height); 상기 제 1 기판 상에 액정 적하하는 단계; 및Dropping liquid crystal onto the first substrate; And 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And bonding the first and second substrates together. 제 32항에 있어서,The method of claim 32, 상기 제 1 및 제 2 칼럼 스페이서가 형성되는 제 2 기판의 각 부위는 단차없는 표면인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.Wherein each portion of the second substrate on which the first and second column spacers are formed is a surface without a step. 제 32항에 있어서,The method of claim 32, 상기 광 경화성 수지는 네거티브 광 경화성 수지인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.Said photocurable resin is negative photocurable resin, The manufacturing method of the liquid crystal display device characterized by the above-mentioned. 제 34항에 있어서,The method of claim 34, 상기 마스크는 상기 제 1 칼럼 스페이서의 형성 부위에 반투과부가 정의되며, 상기 제 2 칼럼 스페이서의 형성 부위에 투과부가 정의되며, 나머지 영역이 차광부인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The mask may have a transflective portion defined at a portion formed on the first column spacer, a transmissive portion may be defined at a portion formed at the second column spacer, and the remaining area may be a light blocking portion. 제 32항에 있어서,The method of claim 32, 상기 광 경화성 수지는 파지티브 광 경화성 수지인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.Said photocurable resin is positive photocurable resin, The manufacturing method of the liquid crystal display device characterized by the above-mentioned. 제 36항에 있어서,The method of claim 36, 상기 마스크는 상기 제 1 칼럼 스페이서의 형성 부위에 반투과부가 정의되며, 상기 제 2 칼럼 스페이서의 형성 부위에 차광부가 정의되며, 나머지 영역이 투과부인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The mask may include a semi-transmissive portion defined at a forming portion of the first column spacer, a light blocking portion at a forming portion of the second column spacer, and a remaining portion may be a transmissive portion.
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