KR20060065794A - Substrate storage container - Google Patents

Substrate storage container Download PDF

Info

Publication number
KR20060065794A
KR20060065794A KR1020040104204A KR20040104204A KR20060065794A KR 20060065794 A KR20060065794 A KR 20060065794A KR 1020040104204 A KR1020040104204 A KR 1020040104204A KR 20040104204 A KR20040104204 A KR 20040104204A KR 20060065794 A KR20060065794 A KR 20060065794A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wafer
container
wall
present
substrate storage
Prior art date
Application number
KR1020040104204A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김효중
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020040104204A priority Critical patent/KR20060065794A/en
Publication of KR20060065794A publication Critical patent/KR20060065794A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports

Abstract

본 발명은 웨이퍼들을 수납하는 용기로, 용기는 내측벽으로부터 안쪽으로 돌출되어 웨이퍼를 지지하는 돌출부재들이 형성된 몸체를 가진다. 돌출부재는 상하로 대향되도록 수평하게 형성되며, 몸체의 내측벽으로 연장되고 경사진 상부면을 가지는 주변부와 이로부터 몸체의 안쪽으로 연장되며 수평한 상부면을 가지고, 웨이퍼의 가장자리 일부를 지지하는 지지부를 가진다. 상술한 구조를 가지는 본 발명에 의하면, 용기 내에 웨이퍼가 수납될 때 웨이퍼가 수평으로 놓여지도록 자동으로 정렬된다.The present invention is a container for storing wafers, the container having a body formed with protrusions protruding inward from the inner wall to support the wafer. The protruding member is formed horizontally to face up and down, has a periphery extending to the inner wall of the body and having an inclined top surface therefrom and having a horizontal top surface extending inwardly of the body and supporting a portion of the edge of the wafer. Has According to the present invention having the above-described structure, when the wafer is stored in the container, the wafer is automatically aligned so that the wafer is placed horizontally.

용기, FOUP, 정렬, 돌출부재, 슬롯Container, FOUP, Alignment, Protrusion, Slot

Description

기판 수납 용기{SUBSTRATE STORAGE CONTAINER}Substrate Storage Container {SUBSTRATE STORAGE CONTAINER}

도 1은 일반적인 기판 수납 용기의 내부를 개략적으로 보여주는 단면도;1 is a cross-sectional view schematically showing the interior of a typical substrate storage container;

도 2는 도 1의 용기 사용시 문제점을 보여주는 단면도;2 is a cross-sectional view showing a problem when using the container of FIG.

도 3은 본 발명의 용기의 사시도3 is a perspective view of a container of the present invention

도 4는 도 3의 선 Ⅰ-Ⅰ을 따라 절단한 단면도; 그리고4 is a cross-sectional view taken along the line I-I of FIG. 3; And

도 5는 도 3의 장치에서 잘못 놓여진 웨이퍼의 위치가 보정되는 과정을 보여주는 도면이다.FIG. 5 is a view illustrating a process of correcting a position of a misplaced wafer in the apparatus of FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 용기 100 : 몸체10: container 100: body

122 : 주변부 124 : 지지부122: peripheral portion 124: support portion

120 : 돌출부재 140 : 슬롯120: protrusion member 140: slot

200 : 도어200: door

본 발명은 반도체 소자 제조에 사용되는 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 반도체 기판들을 수납하는 용기에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for use in the manufacture of semiconductor devices, and more particularly to a container for containing semiconductor substrates.                         

반도체 소자는 웨이퍼와 같은 기판 상에 증착공정, 식각공정, 사진공정, 이온주입공정 등과 같은 다양한 공정을 수행함으로써 제조된다. 상술한 공정들을 수행하기 웨이퍼들은 용기에 수납된 상태에서 각 공정을 수행하는 설비로 이송된다. 특히, 최근에 설비의 자동화 및 용기에 수납된 웨이퍼가 청정도가 유지되는 지역에서 대기중의 이물질이나 화학적인 오염으로부터 웨이퍼를 보호하기 위해 밀폐형 웨이퍼 컨테이너가 사용되며, 이러한 밀폐형 웨이퍼 컨테이너의 대표적인 예로 전면 개방 일체식 포드(front open unified pod : 이하 "FOUP")가 있다.The semiconductor device is manufactured by performing various processes such as a deposition process, an etching process, a photo process, an ion implantation process, and the like on a substrate such as a wafer. Performing the above-described processes The wafers are transferred to a facility that performs each process in a state of being stored in a container. In particular, recently closed wafer containers are used to protect wafers from foreign substances or chemical pollution in the air in the automation of facilities and in areas where the wafers stored in the containers are kept clean. A representative example of such sealed wafer containers is the front opening. There is a front open unified pod ("FOUP").

도 1은 일반적으로 사용되고 있는 FOUP(40)의 내부를 개략적으로 보여주는 단면도이다. FOUP(40)은 전면이 개방되고 웨이퍼들의 가장자리가 삽입되는 슬롯들(410)을 제공하기 위해 내측벽으로부터 안쪽으로 돌출된 돌출부재(420)를 가지는 몸체(400)와 이를 개폐하는 도어로 이루어진다. 도 1을 참조하면, 돌출부재(420)는 내측벽으로부터 안쪽으로 돌출된 주변부(422)와 이보다 낮은 높이로 몸체(400) 안쪽을 향해 연장되며 웨이퍼들이 놓여지는 지지부(424)를 가진다. 주변부(422) 및 지지부(424)의 종단면은 각각 대체로 직사각의 형상을 가지고, 주변부(422)와 지지부(424)의 접촉부위는 단차진다. 도 2는 슬롯(410)에 정상적으로 수납된 상태의 웨이퍼와 비정상적으로 수납된 상태의 웨이퍼를 보여준다. 도 2에 도시된 바와 같이 웨이퍼의 가장자리가 돌출부재(420)의 지지부 상부면(424a)에 놓여져야 한다. 그러나 종종 웨이퍼의 가장자리 일부가 돌출부재(420)의 주변부 상부면(422a)에 잘못 놓여진다. 이 경우, FOUP(40)에 수납된 웨이퍼 정보를 측정하는 맵핑(mapping) 동작 수행시, 센서가 웨이퍼를 인지하지 못하여 잘못된 정보가 전달되는 문제 및 이 송로봇이 웨이퍼를 FOUP(40)으로부터 언로딩할 때 웨이퍼가 파손되는 문제가 발생된다. 따라서 웨이퍼가 FOUP(40)에 비정상적으로 수납된 경우, 정렬기계(sorter machine)를 사용하여 웨이퍼의 위치를 보정하여야 한다. 따라서 공정 진행에 낭비되는 시간이 발생하고 매우 번거롭다.1 is a cross-sectional view schematically showing the interior of a FOUP 40 that is generally used. The FOUP 40 consists of a body 400 having a protruding member 420 protruding inwardly from an inner wall to provide slots 410 whose front faces are open and into which edges of wafers are inserted, and a door opening and closing it. Referring to FIG. 1, the protruding member 420 has a peripheral portion 422 protruding inwardly from the inner wall and a support 424 extending toward the inside of the body 400 to a lower height and on which wafers are placed. The longitudinal sections of the peripheral portion 422 and the support portion 424 have a generally rectangular shape, respectively, and the contact portions of the peripheral portion 422 and the support portion 424 are stepped. 2 shows a wafer normally stored in the slot 410 and a wafer abnormally stored. As shown in FIG. 2, the edge of the wafer should be placed on the support upper surface 424a of the protruding member 420. However, sometimes a portion of the edge of the wafer is misplaced on the peripheral upper surface 422a of the protruding member 420. In this case, when a mapping operation of measuring wafer information stored in the FOUP 40 is performed, a problem is that the sensor does not recognize the wafer and incorrect information is transmitted, and the transport robot unloads the wafer from the FOUP 40. The problem occurs when the wafer is broken. Therefore, when the wafer is abnormally stored in the FOUP 40, the position of the wafer should be corrected by using a sorter machine. This results in wasted time and very cumbersome.

본 발명은 웨이퍼가 비정상적으로 수납됨으로써 웨이퍼 파손 등 상술한 문제가 발생되는 것을 방지할 수 있는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a substrate storage container which can prevent the above-mentioned problems such as wafer breakage due to abnormal storage of a wafer.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명인 기판 수납 용기는 기판들이 수납되는 공간을 제공하는 몸체를 가진다. 상기 몸체의 내측벽에는 상기 몸체의 안쪽을 향해 돌출된 돌출부재들이 상하로 대향되도록 수평하게 형성되어, 기판들을 삽입하는 슬롯들을 제공한다. 상기 돌출부재는 상기 내측벽과 접하며 상부면이 상기 몸체의 안쪽으로 갈수록 하향경사진 주변부와 상기 주변부의 끝단으로부터 상기 몸체의 안쪽으로 연장되며 상부면이 평평하게 형성되는 지지부를 가진다. 상기 기판의 가장자리는 상기 지지부에 놓여진다. 또한, 상기 몸체는 전방이 개방되고, 상기 몸체의 전방을 개폐하는 도어가 제공될 수 있다.In order to achieve the above object, the substrate storage container of the present invention has a body that provides a space in which the substrates are stored. The inner wall of the body is horizontally formed so that the protruding members protruding toward the inside of the body are faced up and down to provide slots for inserting substrates. The protruding member is in contact with the inner wall and has a support portion in which the upper surface extends inwardly of the body from the end of the peripheral portion inclined downward toward the inner side of the body and the upper surface is formed flat. The edge of the substrate is placed on the support. In addition, the body may be provided with a door that opens the front, opening and closing the front of the body.

상술한 구조를 가지는 본 발명에 의하면, 용기의 구조적인 특징으로 인해 웨이퍼가 용기 내에 수납될 때 수평으로 놓여지도록 웨이퍼의 위치가 자동정렬된다. According to the present invention having the above-described structure, the position of the wafer is automatically aligned so that the wafer is placed horizontally because of the structural feature of the container.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 3 내지 도 5를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발 명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 3 to 5. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description.

본 실시예에서는 용기(10)에 수납되는 대상물로 반도체 웨이퍼를 예로 들어 설명한다. 그러나 본 발명의 용기(10)에 수납되는 기판은 이에 한정되지 않으며, 유리기판 등과 같이 집적회로 제조를 위해 사용되는 다른 종류의 기판일 수 있다. ,또한, 본 실시예에서 용기(10)는 최근 300mm 웨이퍼 수납을 위해 주로 사용되는 전면 개방 일체용 용기(10)(front open unified pod, FOUP)일 수 있다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않으며, 내부에 웨이퍼들(w)을 수납하는 슬롯(140)이 제공된 모든 종류의 기판 수납 용기(10)에 적용될 수 있다.In this embodiment, a semiconductor wafer is taken as an example to be stored in the container 10. However, the substrate accommodated in the container 10 of the present invention is not limited thereto, and may be another kind of substrate used for manufacturing an integrated circuit, such as a glass substrate. In addition, in this embodiment, the container 10 may be a front open unified pod (FOUP), which is mainly used for 300 mm wafer storage. However, the technical idea of the present invention is not limited thereto, and the present invention may be applied to all kinds of substrate storage containers 10 provided with a slot 140 for accommodating wafers w therein.

도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판 수납 용기(10)의 사시도이다. 도 3을 참조하면, 기판 수납 용기(10)는 몸체(120)와 도어(140)를 가진다. 몸체(120)는 전방이 개방되고, 내부에 웨이퍼들(w)이 수용 가능한 공간을 가진다. 몸체(120)는 대체로 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 몸체(120)의 외측벽에는 이송로봇 또는 작업자에 의한 운반을 위해 제공되는 홀딩부(102)가 제공된다. 도어(140)는 직사각 형상의 평판을 가지며, 도어(140)에는 도어(140)를 몸체(120)로부터 분리하기 위해 설비 전방 엔드 모듈(equipment front end module, EFEM) 등에 제공되는 도어오프너(도시되지 않음)의 래치키 및 레지스트레이션 핀과 대응되는 위치에 래치홀 및 레지스트레이션핀 홀 등이 제공될 수 있다. 3 is a perspective view of a substrate storage container 10 according to a preferred embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, the substrate storage container 10 has a body 120 and a door 140. The body 120 has an open front side and has a space in which the wafers w can be accommodated. Body 120 may be provided in a generally rectangular parallelepiped shape. The outer wall of the body 120 is provided with a holding portion 102 provided for transport by a transport robot or worker. The door 140 has a rectangular flat plate, and the door 140 has a door opener (not shown) provided in an equipment front end module (EFEM) or the like to separate the door 140 from the body 120. A latch hole, a registration pin hole, or the like may be provided at a position corresponding to the latch key and the registration pin.                     

몸체(120) 내에는 웨이퍼들(w)이 삽입되는 슬롯(140)을 형성하기 위한 돌출부재(120)가 제공된다. 돌출부재(120)는 몸체(120)의 서로 대향되는 내측벽(102)에 부분적으로 제공되거나 내측벽(102) 전체에 제공될 수 있다. 돌출부재(120)는 상하방향으로 서로 평행하게 복수개가 제공되어 웨이퍼들(w)은 눕혀진 상태로 몸체(120) 내에 수납될 수 있다. 웨이퍼의 가장자리를 안정적으로 지지할 수 있도록 슬롯(140)은 웨이퍼의 원주와 유사한 곡률을 가지도록 제공된다.A protruding member 120 is formed in the body 120 to form the slot 140 into which the wafers w are inserted. The protruding member 120 may be partially provided on the inner side walls 102 of the body 120 that face each other, or may be provided on the entire inner wall 102. The protruding member 120 may be provided in plurality in parallel to each other in the vertical direction so that the wafers w may be accommodated in the body 120 in a lying down state. The slot 140 is provided to have a curvature similar to the circumference of the wafer so as to stably support the edge of the wafer.

웨이퍼는 용기(10) 내에 수평한 상태로 수납되어야 한다. 웨이퍼가 한쪽으로 기울어진 상태로 용기(10)에 수납되면, 용기(10) 내 웨이퍼의 수납 정보를 인식하기 위한 맵핑 동작시 센서(도시되지 않음)가 웨이퍼를 인식하지 못하고, 용기(10)로부터 언로딩될 때 이송로봇에 안정적으로 안착되지 않아 웨이퍼가 이송로봇으로 떨어져 파손될 수 있다. 본 발명의 용기(10)는 웨이퍼가 비록 한쪽으로 기울어진 상태로 용기(10)에 놓여지더라고 그 위치를 수평으로 자동으로 정렬할 수 있는 구조를 가진다.The wafer should be stored horizontally in the container 10. When the wafer is accommodated in the container 10 in a state inclined to one side, the sensor (not shown) does not recognize the wafer during the mapping operation for recognizing the storing information of the wafer in the container 10, and the wafer 10 is removed from the container 10. When unloaded, the wafer may not be reliably seated on the transfer robot and the wafer may fall into the transfer robot and be broken. The container 10 of the present invention has a structure that can automatically align its position horizontally even if the wafer is placed in the container 10 in an inclined state to one side.

도 4는 도 3의 선 Ⅰ-Ⅰ을 따라 절단한 단면도로, 몸체(120) 내에 제공되는 돌출부재(120)의 형상을 구체적으로 보여준다. 도 4를 참조하면, 돌출부재(120)는 몸체(120)의 내측벽(102)으로부터 몸체(120)의 안쪽을 향해 돌출되는 주변부(122)와 이로부터 연장되며 웨이퍼의 가장자리 일부가 놓여지는 지지부(124)를 가진다. 주변부(122)는 몸체(120)의 내측벽(102)으로부터 멀어질수록 하향 경사진 상부면(122a)을 가진다. 지지부(124)는 주변부(122)의 끝단으로부터 몸체(120)의 안쪽을 향하도록 연장된다. 지지부(124)는 평평한 상부면(124a)을 가지며, 지지부(124)의 상부면은 주변부(122)의 상부면(122a) 끝단과 동일높이로 제공된다. 돌출부재(120)의 하부면(126a)은 평평하게 형성된다. 서로 대향되는 주변부(122)의 끝단 사이의 길이는 웨이퍼의 지름과 동일하거나 미세공차 내에서 이보다 크게 제공된다. 4 is a cross-sectional view taken along the line I-I of FIG. 3, and specifically illustrates the shape of the protruding member 120 provided in the body 120. Referring to FIG. 4, the protruding member 120 extends from the inner side wall 102 of the body 120 toward the inner side of the body 120 and a support portion extending therefrom and having a portion of the edge of the wafer placed thereon. Has 124. The periphery 122 has a top surface 122a that slopes downwards away from the inner wall 102 of the body 120. The support 124 extends from the end of the peripheral portion 122 toward the inner side of the body 120. The support 124 has a flat upper surface 124a, and the upper surface of the support 124 is provided at the same height as the end of the upper surface 122a of the peripheral portion 122. The lower surface 126a of the protruding member 120 is formed flat. The length between the ends of the periphery 122 which are opposed to each other is provided equal to or larger than the diameter of the wafer within the microtolerance.

도 5는 도 4의 용기(10) 사용시 용기(10) 내에서 웨이퍼가 정렬되는 과정을 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 5에서 점선으로 도시된 웨이퍼(W1)는 용기(10) 내에 부적절하게 로딩된 상태의 웨이퍼이고, 실선으로 도시된 웨이퍼(W2)는 정위치로 정렬된 상태의 웨이퍼이다. 도 5에 도시된 바와 같이 처음에 웨이퍼의 일측 가장자리가 주변부(122) 상에 놓여진 경우, 웨이퍼는 경사진 주변부(122)의 상부면(122a)을 따라 아래로 이동된다. 웨이퍼의 가장자리가 지지부(124) 상까지 이동되면 웨이퍼의 이동이 정지되고, 웨이퍼는 수평 상태로 놓여진다.5 is a view schematically illustrating a process of aligning a wafer in the container 10 when using the container 10 of FIG. 4. The wafer W 1 shown in dashed lines in FIG. 5 is a wafer in an improperly loaded state in the container 10, and the wafer W 2 shown in solid lines is a wafer in an aligned state. As shown in FIG. 5, when one side edge of the wafer is initially placed on the periphery 122, the wafer is moved down along the top surface 122a of the inclined periphery 122. When the edge of the wafer is moved onto the support 124, the movement of the wafer is stopped, and the wafer is placed in a horizontal state.

본 발명에 의하면 웨이퍼가 용기 내에 수납될 때 웨이퍼가 수평 상태로 돌출부재 상에 놓여지도록 자동 정렬되므로 웨이퍼의 로딩 불량으로 인해 맵핑(mapping) 오류 및 언로딩시 웨이퍼의 파손 등을 방지할 수 있다.According to the present invention, when the wafer is stored in the container, the wafer is automatically aligned so that the wafer is placed on the protruding member in a horizontal state, thereby preventing mapping errors and breakage of the wafer during unloading due to a poor loading of the wafer.

Claims (2)

반도체 기판들을 수납하는 용기에 있어서,A container for containing semiconductor substrates, 내측벽으로부터 안쪽으로 돌출되며 상하로 대향되도록 돌출된 돌출부재들을 가지는 몸체를 포함하되,A body having protruding members protruding inwardly from the inner wall and facing up and down, 상기 돌출부재는,The protruding member, 상기 내측벽과 접하는, 그리고 상부면이 상기 몸체의 안쪽으로 갈수록 하향경사진 주변부와;A peripheral portion in contact with the inner wall and inclined downward toward an inner side of the body; 상기 주변부의 끝단으로부터 상기 몸체의 안쪽으로 연장되는, 그리고 상부면이 평평하게 형성되며 상기 기판의 가장자리가 놓여지는 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.And a support extending from the end of the periphery into the interior of the body and having a top surface flat and at which the edge of the substrate is placed. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 몸체는 전방이 개방되고,The body is open to the front, 상기 기판 수납 용기는 상기 몸체의 전방을 개폐하는 도어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.The substrate storage container further comprises a door for opening and closing the front of the body.
KR1020040104204A 2004-12-10 2004-12-10 Substrate storage container KR20060065794A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040104204A KR20060065794A (en) 2004-12-10 2004-12-10 Substrate storage container

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040104204A KR20060065794A (en) 2004-12-10 2004-12-10 Substrate storage container

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060065794A true KR20060065794A (en) 2006-06-14

Family

ID=37160820

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040104204A KR20060065794A (en) 2004-12-10 2004-12-10 Substrate storage container

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20060065794A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1601013B1 (en) Precision substrate storage container
KR101008867B1 (en) Substrate storage container
CN112442724B (en) Conveying system and substrate supporting member
US6817822B2 (en) Load port, wafer processing apparatus, and method of replacing atmosphere
JP3917371B2 (en) container
US6874638B2 (en) Wafer cassette
US11842917B2 (en) Process kit ring adaptor
KR20070006213A (en) Apparatus and method for manufacturing semiconductor devices
JP4213078B2 (en) Retainer and substrate storage container
US20210296149A1 (en) Enclosure system shelf
KR100846399B1 (en) System for preventing improper insertion of foup door into foup
TWI767152B (en) Substrate transfer apparatus
TW201617276A (en) Multi-cassette carrying case
KR100896843B1 (en) Pod cramping unit, load port equipped with pod cramping unit and mini-environment system including pod and load port
KR20060065794A (en) Substrate storage container
US7017758B2 (en) Wafer protective cassette
US7994067B2 (en) Semiconductor manufacturing equipment with an open-topped cassette apparatus
KR20070070435A (en) Apparatus for transferring a substrate
KR101762572B1 (en) Transfer unit, facility and method for treating substrate
JP2003124291A (en) Position measuring system, load port equipment and substrate transport method
KR100648279B1 (en) Wafer transfer module and wafer transfer method using the module
KR100829921B1 (en) Method and system for transporting substrate
KR20040077008A (en) Carrier holder used in carrier cleaning process
EP1156515A1 (en) Arrangement for shipping and transporting disc-like objects
KR100686453B1 (en) Semiconductor wafer pod

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination