KR20060064095A - System for managing semiconductor manufacturing equipment - Google Patents

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KR20060064095A
KR20060064095A KR1020040102767A KR20040102767A KR20060064095A KR 20060064095 A KR20060064095 A KR 20060064095A KR 1020040102767 A KR1020040102767 A KR 1020040102767A KR 20040102767 A KR20040102767 A KR 20040102767A KR 20060064095 A KR20060064095 A KR 20060064095A
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신길훈
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 반도체 제조설비 관리시스템에 대하여 개시한다. 그의 시스템은, 소정의 반도체 제조 공정이 진행되는 반도체 제조설비를 관리하는 반도체 제조설비의 관리시스템에 있어서; 소정의 반도체 제조 공정이 수행되도록 상기 반도체 제조설비를 제어하는 설비 컴퓨터; 상기 반도체 제조설비가 공정을 수행하기 위한 각종 데이터를 제공하는 데이터 베이스를 구비하고, 적어도 하나 이상의 반도체 제조공정이 순차적으로 수행되도록 복수의 상기 설비 컴퓨터에 각각의 제어 신호를 출력하는 호스트 컴퓨터; 상기 호스트 컴퓨터와 복수개의 상기 설비 컴퓨터사이에서 온라인으로 연결되어 상기 호스트 컴퓨터에서 제공된 각종 데이터와 제어 신호를 해당 설비 컴퓨터에 전송하고, 상기 설비 컴퓨터에서 출력된 데이터를 상기 호스트 컴퓨터에 전송하는 서버; 및 상기 서버와 온라인으로 연결되어 상기 설비 컴퓨터에서 출력되는 각종 백업 데이터를 저장하는 데이터 백업 컴퓨터를 포함하여 이루어진다.The present invention discloses a semiconductor manufacturing equipment management system that can increase or maximize productivity. The system includes a management system of a semiconductor manufacturing facility that manages a semiconductor manufacturing facility to which a predetermined semiconductor manufacturing process proceeds; A facility computer for controlling the semiconductor manufacturing facility so that a predetermined semiconductor manufacturing process is performed; A host computer having a database for providing various data for the semiconductor manufacturing equipment to perform a process, and outputting respective control signals to a plurality of the equipment computers such that at least one semiconductor manufacturing process is sequentially performed; A server connected online between the host computer and the plurality of facility computers to transmit various data and control signals provided from the host computer to the facility computer, and transmit data output from the facility computer to the host computer; And a data backup computer connected to the server online to store various backup data output from the facility computer.

컴퓨터(computer), 데이터 백업(data back-up), 서버(sever), 호스트(host)Computer, data back-up, server, host

Description

반도체 제조설비의 관리시스템{System for managing semiconductor manufacturing equipment} System for managing semiconductor manufacturing equipment             

도 1은 종래 기술에 따른 반도체 제조설비의 관리시스템을 개략적으로 나타낸 블록도.1 is a block diagram schematically showing a management system of a semiconductor manufacturing facility according to the prior art;

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비의 관리시스템을 개략적으로 도시한 블록도.Figure 2 is a block diagram schematically showing a management system of a semiconductor manufacturing facility according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*    * Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 : 반도체 제조설비 200 : 설비 컴퓨터100 semiconductor manufacturing facility 200 facility computer

300 : 서버 400 : 호스트 컴퓨터300: server 400: host computer

500 : 데이터 백업 컴퓨터
500: data backup computer

본 발명은 반도체 제조설비의 관리시스템에 관한 것으로, 상세하게는 다수의 반도체 제조공정이 수행되는 반도체 제조설비를 제어하는 설비 컴퓨터에 저장된 데 이터를 백업하고 유사 시 활용하여 생산성을 향상시킬 수 있는 반도체 제조설비의 관리시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a management system of a semiconductor manufacturing facility, and more particularly, a semiconductor capable of backing up data stored in a facility computer that controls a semiconductor manufacturing facility in which a plurality of semiconductor manufacturing processes are performed and using the same to improve productivity. A management system of a manufacturing facility.

최근 정보 통신 분야의 급속한 발달과, 컴퓨터와 같은 정보 매체의 대중화에 따라 반도체 장치도 비약적으로 발전하고 있다. 또한, 그 기능적인 면에 있어서 상기 반도체 장치는 고속으로 동작하는 동시에 대용량의 저장 능력을 가질 것이 요구되고 있다. 이에 따라, 상기 반도체 장치의 제조 기술은 집적도, 신뢰도 및, 응답 속도 등을 극대화하는 방향으로 연구 개발되고 있다.Recently, with the rapid development of the information and communication field and the popularization of information media such as computers, semiconductor devices are also rapidly developing. In terms of its functionality, the semiconductor device is required to operate at a high speed and to have a large storage capacity. Accordingly, the manufacturing technology of the semiconductor device has been researched and developed to maximize the degree of integration, reliability, and response speed.

반도체 장치의 제조 기술은 크게 반도체 기판 상에 가공막을 형성하는 증착(deposition)공정과, 상기 증착공정으로 형성된 가공막 상에 피가공막을 형성하여 패터닝 하는 포토리소그래피(photolithography) 공정과, 상기 포토리소그래피 공정에 의해 형성된 상기 피가공막을 마스크로 사용하여 상기 가공막을 식각하는 식각 공정과, 상기 피가공막을 이온주입마스크로 사용하여 불순물이온을 주입하는 이온주입공정과, 각종 열처리 공정을 포함하여 이루어진다. 이때, 이와 같은 다수의 공정은 일련의 정해진 흐름을 따라 정확한 관리 감독이 요구되고, 인체에 유해한 각종 가스로부터 작업자를 보호하기 위해 무인 로봇과 같은 자동장치를 관리하는 자동 시스템이 요구되고 있는 실정이다.The manufacturing technology of the semiconductor device is largely a deposition process for forming a process film on a semiconductor substrate, a photolithography process for forming and patterning a process film on the process film formed by the deposition process, and the photolithography process And a process of etching the processed film using the processed film formed as a mask, an ion implantation process of implanting impurity ions using the processed film as an ion implantation mask, and various heat treatment processes. At this time, such a number of processes require accurate management and supervision along a series of predetermined flows, and an automatic system for managing an automatic device such as an unmanned robot to protect an operator from various gases harmful to a human body is required.

예컨대, 상기 포토리소그래피 공정은 상기 반도체 기판 상에 상기 식각 공정 또는 이온주입공정에 마스크로 사용되는 포토레지스트와 같은 피가공막을 구현하고자 하는 모양으로 형성하는 공정으로, 포토레지스트의 도포공정, 소프트 베이크 공정, 에지 노광공정, 사이드 린스 공정, 하드 베이크 공정, 노광 공정 및 현상 공정 등을 포함하여 이루어진다.For example, the photolithography process is a process of forming a processed film such as a photoresist used as a mask in the etching process or an ion implantation process on the semiconductor substrate. And an edge exposure step, a side rinse step, a hard bake step, an exposure step and a developing step.

또한, 포토리소그래피 공정은 스피너와 노광설비라 일컬어지는 반도체 제조 설비에서 수행되는 되는데, 반도체 제조 공정에서 다수의 임계치수를 결정하는 필수적으로 요구되는 중요한 공정이다. 이때, 상기 스피너는 상기 노광 공정을 제외한 상기 포토리소그래피 공정의 대부분을 수행하는 설비로서, 예를 들어 포토레지스트를 도포하기 위한 스피너의 회전 속도와 시간, 포토레지스트의 베이크 온도와 시간, 사이드 린스 조건 및 현상액의 공급에 관련된 제반 사항등과 같은 다수의 수행 래시피가 저장되어 상기 스피너를 제어하는 설비 컴퓨터에 의해 포토리소그래피 공정이 수행된다. 이와 같은 설비 컴퓨터를 포함하는 반도체 제조설비의 관리시스템은 다음과 같다.In addition, the photolithography process is performed in a semiconductor manufacturing facility called spinner and exposure equipment, which is an essential process that is required to determine a plurality of critical dimensions in the semiconductor manufacturing process. At this time, the spinner is a facility for performing most of the photolithography process except for the exposure process, for example, the rotational speed and time of the spinner for applying the photoresist, the baking temperature and time of the photoresist, the side rinse condition, A number of performance recipes, such as those relating to the supply of developer, are stored and the photolithography process is performed by a facility computer that controls the spinner. The management system of the semiconductor manufacturing equipment including such a computer is as follows.

도 1은 종래 기술에 따른 반도체 제조설비의 관리시스템을 개략적으로 나타낸 블록도이다.1 is a block diagram schematically illustrating a management system of a semiconductor manufacturing apparatus according to the prior art.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 반도체 제조설비의 관리시스템은, 소정의 반도체 제조 공정이 수행되도록 상기 반도체 제조설비(10)를 제어하는 설비 컴퓨터(20)와, 상기 반도체 제조설비(10)가 공정을 수행하기 위한 각종 데이터를 제공하는 데이터 베이스를 구비하고, 적어도 하나 이상의 반도체 제조공정이 순차적으로 수행되도록 복수의 상기 반도체 제조설비(10)에 각각의 제어 신호를 출력하는 호스트 컴퓨터(host computer, 40)와, 상기 호스트 컴퓨터(40)와 복수개의 상기 설비 컴퓨터(20)사이에서 온라인으로 연결되어 상기 호스트 컴퓨터(40)에서 제공된 각종 데이터와 제어 신호를 해당 설비 컴퓨터(20)에 전송하고, 상기 설비 컴퓨터(20)에서 출력된 데이터를 상기 호스트 컴퓨터(40)에 전송하는 서버(sever, 30)를 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 1, a management system for semiconductor manufacturing equipment according to the prior art includes a facility computer 20 for controlling the semiconductor manufacturing equipment 10 so that a predetermined semiconductor manufacturing process is performed, and the semiconductor manufacturing equipment ( The host computer 10 includes a database for providing various data for performing the process, and outputs respective control signals to the plurality of semiconductor manufacturing facilities 10 so that at least one or more semiconductor manufacturing processes are sequentially performed. A host computer 40 is connected online between the host computer 40 and the plurality of facility computers 20 to transmit various data and control signals provided from the host computer 40 to the facility computer 20. And a server 30 for transmitting the data output from the facility computer 20 to the host computer 40.

여기서, 상기 설비 컴퓨터(20)는 관리의 직접적인 대상이면서 상기 반도체 제조 공정이 수행되는 상기 반도체 제조설비(10)에서 수행될 각종 수행 레시피(process recipe)를 포함하는 데이터를 저장하고 있다. 이때, 상기 수행 레시피는 해당 웨이퍼에 따라 다수개의 고유명(number)을 기준으로 상기 고유명에 해당되는 수많은 조건들이 포함되어 있다. Here, the facility computer 20 stores data including various process recipes to be performed in the semiconductor manufacturing facility 10 which is a direct object of management and in which the semiconductor manufacturing process is performed. In this case, the performance recipe includes a number of conditions corresponding to the unique name based on a plurality of unique names according to the corresponding wafer.

그리고, 상기 호스트 컴퓨터(40)는 반도체 제조공정의 전반적인 흐름을 판단 제어하고, 상기 반도체 제조 설비에서 해당 공정이 수행될 웨이퍼의 색인 및 개수, 공정 환경, 공정 순서, 공정 방식등과 같은 공정 진행과 관련된 데이터를 제공한다. In addition, the host computer 40 determines and controls the overall flow of the semiconductor manufacturing process, and processes such as the index and number of wafers to be performed in the semiconductor manufacturing facility, a process environment, a process sequence, a process method, and the like. Provide relevant data.

또한, 상기 데이터 베이스는 각각의 공정에 적합한 기준 레시피(standard recipe)가 저장되어 있다. 이때, 상기 기준 레시피는 상기 반도체 제조 설비의 가동 능력을 기준으로 입력된 값으로 해당 공정에서 기준이 되는 공정 조건을 포함하고 있기 때문에 상기 기준 레시피는 쉽게 가변되지 않는다.The database also stores standard recipes suitable for each process. In this case, the reference recipe is a value input based on the operation capability of the semiconductor manufacturing equipment and includes a process condition which is a reference in the corresponding process, so that the reference recipe is not easily changed.

반면, 상기 수행 레시피는 상기 반도체 제조 설비에서의 매 시간마다 달라지는 요구조건 또는 상황에 따라 상기 반도체 제조설비(10)를 직접적으로 제어하는 상기 설비 컴퓨터(20)에 이러한 제반 사항이 작업자 또는 소정의 프로그램을 통해 용이하게 입력될 수 있다.On the other hand, the performance recipe includes the operator or a predetermined program in the facility computer 20 which directly controls the semiconductor manufacturing facility 10 according to a requirement or situation that changes every hour in the semiconductor manufacturing facility. It can be easily input through.

따라서, 상기 설비 컴퓨터(20)에서 상기 수행 레시피가 입력되면 상기 호스 트 컴퓨터(40)는 수행 레시피와 기준 레시피를 비교하여 상기 반도체 제조 설비에서 해당 공정의 진행 여부를 판단하여 상기 설비 컴퓨터(20)에 제어 신호를 출력한다.Therefore, when the execution recipe is input from the facility computer 20, the host computer 40 compares the execution recipe with a reference recipe to determine whether the corresponding process is performed in the semiconductor manufacturing facility, and thereby the facility computer 20. The control signal is output to.

하지만, 종래 기술에 따른 반도체 제조설비(10)의 관리시스템은 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the management system of the semiconductor manufacturing equipment 10 according to the prior art has the following problems.

종래 기술에 따른 반도체 제조설비(10)의 관리시스템은, 스피너와 같은 반도체 제조설비(10)를 제어하는 상기 설비 컴퓨터(20)가 동작불능 상태가 되어 상기 설비 컴퓨터(20)에 저장된 수행 레시피를 포함하는 데이터가 일부 또는 전체가 손실되거나, 상기 설비 컴퓨터(20)에 저장된 데이터가 과도하게 많아 소정의 데이터가 손실될 수 있기 때문에 생산성이 떨어지는 단점이 있었다..
The management system of the semiconductor manufacturing equipment 10 according to the prior art is that the equipment computer 20 that controls the semiconductor manufacturing equipment 10 such as a spinner becomes inoperable and stores the performance recipe stored in the equipment computer 20. Some or all of the included data is lost, or because the data stored in the facility computer 20 is excessively large, predetermined data may be lost.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 목적은, 설비 컴퓨터에 저장된 소정의 데이터가 손실되더라도 상기 데이터를 복원시켜 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 반도체 제조설비의 관리시스템을 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to provide a management system for a semiconductor manufacturing facility that can increase or maximize productivity by restoring the data even if predetermined data stored in the facility computer is lost.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 양태는, 반도체 제조설비의 관리시스템은, 소정의 반도체 제조 공정이 진행되는 반도체 제조설비를 관리하는 반도체 제조설비의 관리시스템에 있어서; 소정의 반도체 제조 공정이 수행되도록 상기 반도체 제조설비를 제어하는 설비 컴퓨터; 상기 반도체 제조설비가 공정을 수행하기 위한 각종 데이터를 제공하는 데이터 베이스를 구비하고, 적어도 하나 이상의 반도체 제조공정이 순차적으로 수행되도록 복수의 상기 설비 컴퓨터에 각각의 제어 신호를 출력하는 호스트 컴퓨터; 상기 호스트 컴퓨터와 복수개의 상기 설비 컴퓨터사이에서 온라인으로 연결되어 상기 호스트 컴퓨터에서 제공된 각종 데이터와 제어 신호를 해당 설비 컴퓨터에 전송하고, 상기 설비 컴퓨터에서 출력된 데이터를 상기 호스트 컴퓨터에 전송하는 서버; 및 상기 서버와 온라인으로 연결되어 상기 설비 컴퓨터에서 출력되는 각종 백업 데이터를 저장하는 데이터 백업 컴퓨터를 포함함을 특징으로 한다.
An aspect of the present invention for achieving the above object is a management system of a semiconductor manufacturing equipment, comprising: a management system of a semiconductor manufacturing equipment for managing a semiconductor manufacturing equipment to which a predetermined semiconductor manufacturing process is advanced; A facility computer for controlling the semiconductor manufacturing facility so that a predetermined semiconductor manufacturing process is performed; A host computer having a database for providing various data for the semiconductor manufacturing equipment to perform a process, and outputting respective control signals to a plurality of the equipment computers such that at least one semiconductor manufacturing process is sequentially performed; A server connected online between the host computer and the plurality of facility computers to transmit various data and control signals provided from the host computer to the facility computer, and transmit data output from the facility computer to the host computer; And a data backup computer connected to the server online to store various backup data output from the facility computer.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비의 관리시스템을 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 실시예는 여러가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다. Hereinafter, a management system of a semiconductor manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비의 관리시스템을 개략적으로 도시한 블록도이다.2 is a block diagram schematically illustrating a management system for semiconductor manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조설비(100)의 관리시스템은, 소정의 반도체 제조 공정이 수행되도록 상기 반도체 제조설비(100)를 제어하는 설비 컴퓨터(200)와, 상기 반도체 제조설비(100)가 공정을 수행하기 위한 각종 데이터를 제공하는 데이터 베이스를 구비하고, 적어도 하나 이상의 반도체 제조공정이 순차적으로 수행되도록 복수의 상기 설비 컴퓨터(200)에 각각의 제어 신호를 출력하는 호스트 컴퓨터(400)와, 상기 호스트 컴퓨터(400)와 복수개의 상기 설비 컴퓨터(200)사이에서 온라인으로 연결되어 상기 호스트 컴퓨터(400)에서 제공된 각종 데이터와 제어 신호를 해당 설비 컴퓨터(200)에 전송하고, 상기 설비 컴퓨터(200)에서 출력된 데이터를 상기 호스트 컴퓨터(400)에 전송하는 서버(300)와, 상기 서버(300)와 온라인으로 연결되어 상기 설비 컴퓨터(200)에서 출력되는 각종 백업 데이터를 저장하는 데이터 백업 컴퓨터(data back-up computer, 500)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 2, the management system of the semiconductor manufacturing equipment 100 according to the present invention includes a facility computer 200 for controlling the semiconductor manufacturing equipment 100 to perform a predetermined semiconductor manufacturing process, and the semiconductor. The host 100 has a database that provides various data for performing the process, and outputs each control signal to the plurality of facility computers 200 such that at least one semiconductor manufacturing process is sequentially performed. Is connected online between the computer 400 and the host computer 400 and the plurality of facility computers 200 to transmit various data and control signals provided from the host computer 400 to the facility computer 200. The server 300 transmits data output from the facility computer 200 to the host computer 400, and is connected to the server 300 online. And a data back-up computer 500 for storing various backup data output from the facility computer 200.

여기서, 상기 설비 컴퓨터(200)와 상기 서버(300)는 전송된 데이터를 인지하고 응답할 수 있도록 상호간의 통신을 규정하는 반도체 장비 표준 통신 규약인 SECS(Semi Equipment Communication Standard) 프로토콜에 의하여 상호 통신하며 데이터를 공유하며, 상기 서버(300)와 호스트 컴퓨터(400)는 일반적으로 널리 알려진 통신 규약인 TCP/IP(Transmission Control Protocol/Internet Protocol)에 의해 통신을 하면서 상호 데이터를 서로 주고받는다. Here, the facility computer 200 and the server 300 communicate with each other by a Semi Equipment Communication Standard (SECS) protocol, which is a semiconductor equipment standard communication protocol that defines communication between each other so as to recognize and respond to the transmitted data. Data is shared, and the server 300 and the host computer 400 exchange data with each other while communicating through a transmission control protocol / internet protocol (TCP / IP), which is a generally known communication protocol.

따라서, 상기 서버(300)는 상기 설비 컴퓨터(200)와 상기 호스트 컴퓨터(400) 사이에서 온라인으로 서로를 연결한다. 예컨대, 상기 호스트 컴퓨터(400)가 해당 설비 컴퓨터(200)에 소정의 제어신호를 출력하면 상기 서버(300)는 해당되는 주소를 갖는 상기 설비 컴퓨터(200)에 상기 제어신호를 출력하고, 다시 상기 설비 컴퓨터(200)에서 소정의 데이터가 출력되면 상기 호스트 컴퓨터(400)로 상기 데이 터를 전송하는 중계기 역할을 수행한다. Thus, the server 300 connects each other online between the facility computer 200 and the host computer 400. For example, when the host computer 400 outputs a predetermined control signal to the facility computer 200, the server 300 outputs the control signal to the facility computer 200 having a corresponding address, and then again. When the predetermined data is output from the facility computer 200 serves as a repeater for transmitting the data to the host computer (400).

상기 설비 컴퓨터(200)는 관리의 직접적인 대상이면서 상기 반도체 제조 공정이 수행되는 상기 반도체 제조설비(100)에서 수행될 각종 수행 레시피(process recipe)를 포함하는 데이터를 저장하고 있다. 이때, 상기 수행 레시피는 해당 공정이 수행될 웨이퍼에 따라 다수개의 고유명(number)을 기준으로 상기 고유명에 해당되는 수많은 조건들이 포함되어 있다. 예컨대, 상기 스피너 설비에서의 수행 레시피는, 포토레지스트를 웨이퍼 상에 코팅하기 위한 스피너의 회전 속도와 시간, 상기 포토레지스트의 베이킹 공정에서의 온도와 시간, 사이드 린스 조건 및 현상액의 공급에 관련된 제반 사항등과 같은 공정 조건을 포함한다. 또한, 이러한 상기 수행 레시피는 상기 스피너 설비와 같은 상기 반도체 제조 설비에서의 매 시간마다 달라지는 요구조건 또는 상황에 따라 상기 반도체 제조설비(100)를 직접적으로 제어하는 상기 설비 컴퓨터(200)에 이러한 제반 사항이 작업자 또는 소정의 프로그램을 통해 가변적으로 입력된다.The facility computer 200 stores data including various process recipes to be performed in the semiconductor manufacturing facility 100 in which the semiconductor manufacturing process is performed while being a direct object of management. At this time, the performance recipe includes a number of conditions corresponding to the unique name based on a plurality of unique names according to the wafer on which the process is to be performed. For example, a recipe to be performed in the spinner installation may include the rotational speed and time of the spinner for coating the photoresist on the wafer, the temperature and time in the baking process of the photoresist, the side rinse conditions, and the supply of the developer. Process conditions such as the like. In addition, the performance recipe may be applied to the facility computer 200 which directly controls the semiconductor manufacturing facility 100 according to a requirement or a situation that changes every hour in the semiconductor manufacturing facility such as the spinner facility. It is input variably through this operator or a predetermined program.

또한, 상기 호스트 컴퓨터(400)는 반도체 제조공정의 전반적인 흐름을 판단 제어하며, 상기 호스트 컴퓨터(400)의 상기 데이터 베이스에는 반도체 생산라인에 배치된 거의 모든 반도체 제조설비(100)들이 최적의 상태로 공정을 진행할 수 있도록 공정에 관한 모든 데이터들, 예컨대, 각 반도체 제조 설비들의 공정 순서, 공정 진행 환경, 공정 조건등과 같은 기준 레시피등이 수록되어 있다. 이때, 상기 기준 레시피는 상기 반도체 제조 설비의 가동 능력을 기준으로 입력된 값으로 해당 공정에서 기준이 되는 공정 조건을 포함하고 있기 때문에 상기 기준 레시피는 쉽게 가 변되지 않는다.In addition, the host computer 400 determines and controls the overall flow of the semiconductor manufacturing process, and in the database of the host computer 400, almost all the semiconductor manufacturing facilities 100 disposed on the semiconductor production line are in an optimal state. In order to proceed with the process, all the data on the process, for example, reference recipes such as the process sequence of each semiconductor manufacturing equipment, process progress environment, process conditions, and the like are included. At this time, the reference recipe is a value input based on the operation capability of the semiconductor manufacturing equipment, and includes a process condition that is a reference in the process, so the reference recipe is not easily changed.

따라서, 상기 설비 컴퓨터(200)에서 상기 소정의 고유명을 갖는 수행 레시피가 출력되면 상기 호스트 컴퓨터(400)는 상기 데이터 베이스에 저장된 해당되는 고유명을 갖는 기준 레시피를 불러오고, 상기 설비 컴퓨터(200)와 상기 서버(300)를 통해 입력된 상기 수행 레시피와 상기 기준 레시피를 비교한다. Therefore, when the execution recipe having the predetermined unique name is output from the facility computer 200, the host computer 400 loads a reference recipe having the corresponding unique name stored in the database, and the facility computer 200 is connected to the facility computer 200. The performance recipe inputted through the server 300 is compared with the reference recipe.

그리고, 상기 수행 레시피와 상기 기준 레시피가 서로 일치할 경우, 상기 호스트 컴퓨터(400)는 상기 설비 컴퓨터(200)에 트랙 인(track in) 신호를 출력하여 상기 반도체 제조설비(100)로 하여금 해당 공정이 수행되도록 제어 신호를 출력한다. 반면, 상기 수행 레시피와 상기 기준 레시피가 서로 일치하지 않을 경우, 트랙 아웃(track out) 신호를 출력하여 상기 반도체 제조설비(100)로 하여금 해당 공정이 수행되지 못하도록 제어 신호를 출력한다..When the execution recipe and the reference recipe coincide with each other, the host computer 400 outputs a track in signal to the facility computer 200 to cause the semiconductor manufacturing facility 100 to perform the corresponding process. It outputs a control signal to be performed. On the other hand, when the execution recipe and the reference recipe do not match each other, a track out signal is output and a control signal is output to prevent the process from being performed by the semiconductor manufacturing apparatus 100.

한편, 상기 설비 컴퓨터(200)에 저장된 수행 레시피는 상기 반도체 제조설비(100)에서 해당 공정이 수행되는 웨이퍼의 종류에 따라 임의적으로 달라질뿐만 아니라, 동일한 공정조건으로 해당 공정이 수행되는 웨이퍼에 대해서도 최적의 공정조건을 찾기 위한 노력이 계속적으로 요구되기 때문에 상기 수행 레시피의 종류 및 사양이 점진적으로 증가되고 있는 추세에 있다. Meanwhile, the execution recipe stored in the facility computer 200 may be arbitrarily changed depending on the type of wafer on which the process is performed in the semiconductor manufacturing facility 100, and is optimal for a wafer on which the process is performed under the same process conditions. Since the efforts to find the process conditions of continually required, the type and specification of the performance recipes are gradually increasing.

따라서, 상기 수행 레시피를 포함하는 각종 데이터를 저장하는 설비 컴퓨터(200)는 상기 데이터를 저장하는 하드 드라이버와 같은 데이터 저장장치의 저장 능력이 계속적으로 개선되어야만 한다.Therefore, the facility computer 200 for storing various data including the performance recipe must continuously improve the storage capability of a data storage device such as a hard driver for storing the data.

그러나, 반도체 제조의 생산성 측면에서 상기 반도체 제조설비(100)의 노후 에 따른 교체 또는 상기 반도체 제조설비(100)의 생산 한계에 따른 전면적인 교체가 이루어지지 않을 경우 상기 설비 컴퓨터(200)의 데이터 저장장치를 교체하는 것은 어려운 실정이다. 왜냐 하면, 상기 설비 컴퓨터(200)의 데이터 저장장치에는 상기 반도체 제조설비(100)의 상태를 인식하고, 제어하는 제어 신호를 생성하는 프로그램을 포함하고 있고, 상기 수행 레시피만을 저장하는 별도의 데이터 저장장치(slave)가 구비되지 않고 있기 때문이다. However, in terms of productivity of semiconductor manufacturing, when the replacement according to the aging of the semiconductor manufacturing equipment 100 or the full replacement according to the production limit of the semiconductor manufacturing equipment 100 is not performed, the data storage of the equipment computer 200 is stored. It is difficult to replace the device. Because, the data storage device of the facility computer 200 includes a program for generating a control signal for recognizing and controlling the state of the semiconductor manufacturing facility 100, the separate data storage for storing only the performance recipe This is because a device is not provided.

따라서, 상기 설비 컴퓨터(200)에서 생성 또는 수정되어 계속적으로 증가되는 상기 수행 레시피를 포함하는 각종 데이터를 상기 서버(300)를 통해 온라인으로 백업받는 상기 데이터 백업 컴퓨터(500)를 이용하여 상기 설비 컴퓨터(200)에서 상기 데이터가 손실되더라도 상기 데이터 백업 컴퓨터(500)에 백업된 상기 데이터를 상기 설비 컴퓨터(200)에서 복원토록 할 수 있다.Therefore, the facility computer using the data backup computer 500 which is backed up online through the server 300, the data including the performance recipe that is generated or modified in the facility computer 200 and continuously increased Even if the data is lost at 200, the data backed up to the data backup computer 500 may be restored at the facility computer 200.

이때, 상기 데이터 백업 컴퓨터(500)는 소정 시간을 단위로 하여 주기적으로 상기 설비 컴퓨터(200)로부터 상기 수행 레시피를 포함하는 각종 데이터를 백업 받을 수 있다. 예컨대, 상기 데이터 백업 컴퓨터(500)는 약 일주일 또는 한달을 주기로 상기 수행 레시피를 포함하는 데이터를 백업 받을 수 있다. 또한, 상기 데이터 백업 컴퓨터(500)는 상기 서버(300)와 SECS(Semi Equipment Communication Standard) 프로토콜에 의하여 상호 통신하며 상기 설비 컴퓨터(200)로부터 제공된 백업 데이터를 입출력할 수 있다.In this case, the data backup computer 500 may periodically back up various data including the execution recipe from the facility computer 200 on a predetermined time basis. For example, the data backup computer 500 may back up data including the performance recipe about once a week or month. In addition, the data backup computer 500 may communicate with the server 300 through a Semi Equipment Communication Standard (SECS) protocol and input / output backup data provided from the facility computer 200.

따라서, 본 발명에 따른 반도체 제조설비(100)의 관리 시스템은 설비 컴퓨터(200)에 저장된 수행 레시피를 포함하는 소정의 데이터를 일정시간을 주기로 백업 시키는 데이터 백업 컴퓨터(500)를 구비하여 설비 컴퓨터(200)에 저장된 상기 데이터가 손실되더라도 상기 데이터 백업 컴퓨터(500)로부터 상기 데이터를 전송받아 설비 컴퓨터(200)의 상기 데이터를 복원시킬 수 있기 때문에 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있다.Therefore, the management system of the semiconductor manufacturing equipment 100 according to the present invention is equipped with a data backup computer 500 for backing up predetermined data including a performance recipe stored in the facility computer 200 at regular intervals. Even if the data stored in the 200 is lost, productivity can be increased or maximized because the data of the facility computer 200 can be restored by receiving the data from the data backup computer 500.

또한, 상기한 실시예의 설명은 본 발명의 더욱 철저한 이해를 제공하기 위하여 도면을 참조로 예를 든 것에 불과하므로, 본 발명을 한정하는 의미로 해석되어서는 안될 것이다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 본 발명의 기본적 원리를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 변경이 가능함은 물론이다. 예컨대, 사안에 따라 반도체 제조설비(100) 관리시스템에 있어서, 일부 구성이 변경되거나, 데이터 백업 컴퓨터(500)의 수가 가감되어도 상기 설비 컴퓨터(200)로부터 수행 레시피를 포함하는 데이터를 백업 받을 수 있음은 명백하다.
In addition, the description of the above embodiment is merely given by way of example with reference to the drawings in order to provide a more thorough understanding of the present invention, it should not be construed as limiting the present invention. In addition, various changes and modifications are possible to those skilled in the art without departing from the basic principles of the present invention. For example, in the semiconductor manufacturing facility 100 management system, depending on the case, even if a part of the configuration is changed or the number of the data backup computer 500 is added or subtracted, data including performance recipes can be backed up from the facility computer 200. Is obvious.

이상 상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 설비 컴퓨터에 저장된 수행 레시피를 포함하는 소정의 데이터를 일정시간을 주기로 백업시키는 데이터 백업 컴퓨터를 구비하여 설비 컴퓨터에 저장된 상기 데이터가 손실되더라도 상기 데이터 백업 컴퓨터로부터 상기 데이터를 전송받아 설비 컴퓨터의 상기 데이터를 복원시킬 수 있기 때문에 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 효과가 있다. As described above, according to the present invention, there is provided a data backup computer for backing up predetermined data including a performance recipe stored in a facility computer at regular intervals from the data backup computer even if the data stored in the facility computer is lost. Since the data of the facility computer can be restored by receiving the data, there is an effect of increasing or maximizing productivity.

Claims (2)

소정의 반도체 제조 공정이 진행되는 반도체 제조설비를 관리하는 반도체 제조설비의 관리시스템에 있어서;A semiconductor manufacturing facility management system for managing a semiconductor manufacturing facility where a predetermined semiconductor manufacturing process is performed; 소정의 반도체 제조 공정이 수행되도록 상기 반도체 제조설비를 제어하는 설비 컴퓨터;A facility computer for controlling the semiconductor manufacturing facility so that a predetermined semiconductor manufacturing process is performed; 상기 반도체 제조설비가 공정을 수행하기 위한 각종 데이터를 제공하는 데이터 베이스를 구비하고, 적어도 하나 이상의 반도체 제조공정이 순차적으로 수행되도록 복수의 상기 설비 컴퓨터에 각각의 제어 신호를 출력하는 호스트 컴퓨터;A host computer having a database for providing various data for the semiconductor manufacturing equipment to perform a process, and outputting respective control signals to a plurality of the equipment computers such that at least one semiconductor manufacturing process is sequentially performed; 상기 호스트 컴퓨터와 복수개의 상기 설비 컴퓨터사이에서 온라인으로 연결되어 상기 호스트 컴퓨터에서 제공된 각종 데이터와 제어 신호를 해당 설비 컴퓨터에 전송하고, 상기 설비 컴퓨터에서 출력된 데이터를 상기 호스트 컴퓨터에 전송하는 서버; 및A server connected online between the host computer and the plurality of facility computers to transmit various data and control signals provided from the host computer to the facility computer, and transmit data output from the facility computer to the host computer; And 상기 서버와 온라인으로 연결되어 상기 설비 컴퓨터에서 출력되는 각종 백업 데이터를 저장하는 데이터 백업 컴퓨터를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 관리시스템.And a data backup computer connected to the server online to store various backup data outputted from the facility computer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 서버와 상기 데이터 백업 컴퓨터는 SECS 프로토콜을 사용하여 서로 통 신함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 관리시스템.And said server and said data backup computer communicate with each other using a SECS protocol.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2010048379A2 (en) * 2008-10-24 2010-04-29 Applied Materials, Inc. Remote access gateway for semiconductor processing equipment

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100923143B1 (en) * 2008-02-26 2009-10-23 주식회사 유비샘 Control system for semiconductor device and establishing method of the same
WO2010048379A2 (en) * 2008-10-24 2010-04-29 Applied Materials, Inc. Remote access gateway for semiconductor processing equipment
WO2010048379A3 (en) * 2008-10-24 2010-07-15 Applied Materials, Inc. Remote access gateway for semiconductor processing equipment
US8255606B2 (en) 2008-10-24 2012-08-28 Applied Materials, Inc. Remote access gateway for semiconductor processing equipment

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