KR20060057481A - Cleaning method and apparatus of pattern printing mask - Google Patents

Cleaning method and apparatus of pattern printing mask Download PDF

Info

Publication number
KR20060057481A
KR20060057481A KR1020040096633A KR20040096633A KR20060057481A KR 20060057481 A KR20060057481 A KR 20060057481A KR 1020040096633 A KR1020040096633 A KR 1020040096633A KR 20040096633 A KR20040096633 A KR 20040096633A KR 20060057481 A KR20060057481 A KR 20060057481A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cleaning
pattern printing
printing mask
mask
screen mask
Prior art date
Application number
KR1020040096633A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
백종화
김순학
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR1020040096633A priority Critical patent/KR20060057481A/en
Publication of KR20060057481A publication Critical patent/KR20060057481A/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F35/00Cleaning arrangements or devices
    • B41F35/003Cleaning arrangements or devices for screen printers or parts thereof
    • B41F35/005Cleaning arrangements or devices for screen printers or parts thereof for flat screens
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
    • H01J9/22Applying luminescent coatings
    • H01J9/227Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
    • H01J9/2277Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by other processes, e.g. serigraphy, decalcomania
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H01J9/241Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases the vessel being for a flat panel display
    • H01J9/242Spacers between faceplate and backplate

Landscapes

  • Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)

Abstract

본 발명은 세정도를 향상함과 아울러 스크린 마스크의 수명을 향상시킬 수 있는 스크린 마스크의 세정방법 및 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a method and apparatus for cleaning a screen mask that can improve the degree of cleaning and the life of the screen mask.

본 발명에 따른 박막 페이스트를 적어도 1회 기판 상에 인쇄하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법은 상기 패턴 인쇄용 마스크의 전면 및 배면과 세정부가 접촉하여 상기 패턴 인쇄용 마스크에 부착된 이물질을 제거하는 단계를 포함한다.
The cleaning method of a pattern printing mask for printing a thin film paste according to the present invention on a substrate at least once includes removing foreign substances adhered to the pattern printing mask by contacting the front and rear surfaces of the pattern printing mask and the cleaning part. do.

Description

패턴 인쇄용 마스크의 세정방법 및 장치{Cleaning Method And Apparatus Of Pattern Printing Mask } Cleaning method and apparatus for pattern printing mask {Cleaning Method And Apparatus Of Pattern Printing Mask}             

도 1a 및 도 1b는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 또는 격벽의 제조방법을 나타내는 단면도이다.1A and 1B are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an electrode or a partition of a conventional plasma display panel.

도 2는 도 1에 도시된 스크린 마스크의 세정방법을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 2 is a view for explaining a cleaning method of the screen mask shown in FIG. 1.

도 3a는 도 2에 도시된 스크린 마스크의 장력 변화를 나타내는 도면이며, 도 3b는 도 2에 도시된 세정롤러에 의한 스크린 마스크의 측면과 전면에 흡착되는 이물질을 나타내는 도면이다.FIG. 3A is a view showing a change in tension of the screen mask shown in FIG. 2, and FIG. 3B is a view showing foreign matter adsorbed on the side and the front of the screen mask by the cleaning roller shown in FIG. 2.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 스크린 마스크의 세정방법을 설명하기 위한 도면이다.4A and 4B are views for explaining a cleaning method of a screen mask according to the present invention.

도 5는 도 4b에 도시된 지지부재 대신에 이용되는 제2 세정부를 나타내는 도면이다.FIG. 5 is a view showing a second cleaning unit used in place of the support member shown in FIG. 4B.

도 6은 도 4에 도시된 세정방법에 의해 세정된 스크린 마스크를 이용하여 형성된 전극 및 격벽을 가지는 플라즈마 디스플레이 패널을 나타내는 단면도이다.
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a plasma display panel having electrodes and partition walls formed using a screen mask cleaned by the cleaning method illustrated in FIG. 4.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 > <Description of Symbols for Main Parts of Drawings>                 

1,42 : 기판 48,52 : 유전체층1,42 substrate 48,52 dielectric layer

50 : 보호막 54 : 격벽50: shield 54: bulkhead

56 : 형광체층 X : 어드레스전극56 phosphor layer X: address electrode

Y : 스캔전극 Z : 서스테인전극Y: scan electrode Z: sustain electrode

32 : 개구부 34 : 스크린마스크32: opening 34: screen mask

38 : 이물질 40,50 : 세정롤러38: foreign matter 40, 50: cleaning roller

42, 52 : 세정 테이프 46 : 지지부재
42, 52: cleaning tape 46: support member

본 발명은 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법 및 장치에 관한 것으로 특히, 세정도를 향상함과 아울러 패턴 인쇄용 마스크의 수명을 향상시킬 수 있는 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법 및 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for cleaning a mask for pattern printing, and more particularly, to a method and apparatus for cleaning mask for pattern printing which can improve the degree of cleaning and improve the life of the mask for pattern printing.

플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 "PDP"라 함)은 가스방전에 의해 발생되는 자외선이 형광체를 여기시킬 때 형광체로부터 가시광선이 발생되는 것을 이용한 표시장치이다. PDP는 지금까지 표시수단의 주종을 이루어왔던 음극선관(Cathode Ray Tube : CRT)에 비해 두께가 얇고 가벼우며, 고선명 대형화면의 구현이 가능하다는 점등의 장점이 있다. PDP는 매트릭스 형태로 배열된 다수의 방전셀들로 구성되며, 하나의 방전셀은 화면의 한 화소를 이루게 된다. Plasma Display Panel (hereinafter referred to as "PDP") is a display device using visible light generated from a phosphor when ultraviolet light generated by gas discharge excites the phosphor. PDP is thinner and lighter than Cathode Ray Tube (CRT), which has been the mainstay of display means, and has the advantage of being able to realize high definition large screen. PDP is composed of a plurality of discharge cells arranged in a matrix form, one discharge cell constitutes a pixel of the screen.                         

종래의 3전극 교류 면방전형 PDP의 방전셀은 상부기판 상에 형성된 서스테인전극쌍의 스캔전극과 서스테인전극을 포함하는 상판과, 하부기판 상에 서스테인전극쌍과 교차되게 형성되는 어드레스전극을 포함하는 하판과, 상판과 하판 사이의 방전공간을 마련하는 격벽을 구비한다. A discharge cell of a conventional three-electrode AC surface discharge type PDP includes a top plate including scan electrodes and a sustain electrode of a sustain electrode pair formed on an upper substrate, and a bottom plate including an address electrode formed to cross the sustain electrode pair on a lower substrate. And a partition wall that provides a discharge space between the upper plate and the lower plate.

이러한 구조의 PDP는 어드레스전극과 서스테인전극 간의 대향방전에 의해 선택된 후 서스테인전극쌍간의 면방전에 의해 방전을 유지하게 된다. 서스테인 방전시 발생되는 자외선에 의해 형광체가 발광함으로써 가시광이 셀 외부로 방출되게 된다. 이 결과, 방전셀들은 방전이 유지되는 기간을 조절하여 계조를 구현하게 되고, 그 방전셀들이 매트릭스 형태로 배열된 PDP는 화상을 표시하게 된다.The PDP of this structure is selected by opposing discharge between the address electrode and the sustain electrode, and then maintains the discharge by the surface discharge between the pair of sustain electrodes. As the phosphor emits light by ultraviolet rays generated during the sustain discharge, visible light is emitted outside the cell. As a result, the discharge cells adjust the period during which the discharge is maintained to implement gray scale, and the PDP in which the discharge cells are arranged in a matrix form displays an image.

한편, PDP의 어드레스전극, 서스테인전극쌍, 형광체층 및 격벽 중 어느 하나는 도 1a 및 도 1b에 도시된 스크린 프린팅 공정에 의해 형성된다. Meanwhile, any one of an address electrode, a sustain electrode pair, a phosphor layer, and a partition wall of the PDP is formed by the screen printing process shown in FIGS. 1A and 1B.

도 1a에 도시된 바와 같이 기판(1) 상에 개구부(2)를 가지는 스크린 마스크(4)가 정렬된다. 이 스크린 마스크(4) 상에 전극 페이스트, 형광체 페이스트 또는 격벽 페이스트를 올려 놓고 스퀴지로 가압함으로써 도 1b에 도시된 바와 같이 전극 페이스트, 형광체 페이스트 또는 격벽 페이스트는 기판(1) 상에 인쇄된다. 이를 반복함으로써 원하는 높이의 전극, 형광체층 또는 격벽을 포함하는 박막(6)이 형성된다.As shown in FIG. 1A, the screen mask 4 with the opening 2 on the substrate 1 is aligned. By placing an electrode paste, phosphor paste or barrier paste on the screen mask 4 and pressing with a squeegee, the electrode paste, phosphor paste or barrier paste is printed on the substrate 1 as shown in FIG. 1B. By repeating this, the thin film 6 including the electrode, the phosphor layer, or the partition wall of a desired height is formed.

이러한 스크린 프린팅 공정에 이용되는 스크린 마스크(4)는 1회 내지 10회 정도 전극 페이스트, 형광체 페이스트 또는 격벽 페이스트를 인쇄한 후 세정공정을 통해 세정된다. 스크린 마스크(4)는 도 2에 도시된 바와 같이 기판(1)과 대면하는 배면만이 세정 테이프(12)가 감긴 세정롤러(10)에 의해 세정된 후 다시 스크린 프린팅 공정에 투입된다.The screen mask 4 used in such a screen printing process is cleaned through a cleaning process after printing an electrode paste, a phosphor paste or a partition paste about 1 to 10 times. As shown in FIG. 2, only the rear surface of the screen mask 4 that faces the substrate 1 is cleaned by the cleaning roller 10 in which the cleaning tape 12 is wound, and then the screen mask 4 is put into the screen printing process again.

이 경우, 스크린 마스크(4)의 인쇄횟수가 증가할수록 세정 테이프(12)를 이용하여 스크린 마스크(4)를 세정하는 세정도가 저하된다. 또한, 세정시 스크린 마스크(4)가 세정 테이프(12)가 감긴 세정롤러(10)에서의 압력에 의하여 도 3a에 도시된 바와 같이 스크린 마스크(4)의 장력(Tension)이 저하되어 스크린 마스크(4)가 변형되는 문제점이 있다. 뿐만 아니라 스크린 마스크(4)의 배면 세정시 스크린 마스크(4)의 배면에 흡착된 이물질은 도 3b에 도시된 바와 같이 세정 롤러(10)의 압력에 의해 스크린 마스크(4)의 측면과 전면에 일부 흡착된다. 이러한 스크린 마스크(4)가 인쇄공정에 재투입시 그 스크린 마스크(4)에 의해 형성된 박막이 오염되는 문제점이 있다.
In this case, as the number of times the screen mask 4 is printed increases, the degree of cleaning for cleaning the screen mask 4 using the cleaning tape 12 is lowered. In addition, the tension of the screen mask 4 is lowered as shown in FIG. 3A by the pressure in the cleaning roller 10 in which the screen mask 4 is wound around the cleaning tape 12 during cleaning. There is a problem that 4) is deformed. In addition, foreign matter adsorbed on the rear surface of the screen mask 4 when the rear surface of the screen mask 4 is cleaned is partially formed on the side and the front surface of the screen mask 4 by the pressure of the cleaning roller 10 as shown in FIG. 3B. Is adsorbed. When the screen mask 4 is re-inserted into the printing process, there is a problem that the thin film formed by the screen mask 4 is contaminated.

따라서, 본 발명의 목적은 세정도를 향상함과 아울러 패턴 인쇄용 마스크의 수명을 향상시킬 수 있는 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법 및 장치에 관한 것이다.
Accordingly, an object of the present invention relates to a cleaning method and apparatus for a pattern printing mask which can improve the degree of cleaning and also improve the life of the pattern printing mask.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 박막 페이스트를 적어도 1회 기판 상에 인쇄하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법은 상기 패턴 인쇄용 마스크의 전면 및 배면과 세정부가 접촉하여 상기 패턴 인쇄용 마스크에 부착된 이물질을 제 거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the cleaning method of the pattern printing mask for printing the thin film paste according to the present invention on the substrate at least once is attached to the mask for pattern printing in contact with the front and back and the cleaning portion of the pattern printing mask. Characterized in that it comprises the step of removing the foreign matter.

상기 패턴 인쇄용 마스크의 전면 및 배면과 세정부가 접촉하여 상기 패턴 인쇄용 마스크에 부착된 이물질을 제거하는 단계는 상기 패턴 인쇄용 마스크의 배면을 제1 세정부를 통해 세정하는 단계와; 상기 제1 세정부를 통한 세정공정과 동시에 상기 패턴 인쇄용 마스크의 전면을 제2 세정부를 통해 세정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The removing of the foreign matter adhered to the pattern printing mask by contacting the front and rear surfaces of the pattern printing mask and the cleaning part may include cleaning the back surface of the pattern printing mask through a first cleaning part; And cleaning the entire surface of the pattern printing mask through the second cleaning unit simultaneously with the cleaning process through the first cleaning unit.

상기 제1 및 제2 세정부는 각각 동일한 압력을 상기 패턴 인쇄용 마스크에 가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Each of the first and second cleaning parts may include applying the same pressure to the pattern printing mask.

상기 제1 및 제2 세정부 각각은 세정롤러에 세정테이프가 감겨 있는 것을 특징으로 한다.Each of the first and second cleaning units is characterized in that the cleaning tape is wound around the cleaning roller.

상기 제1 및 제2 세정부는 상기 패턴 인쇄용 마스크과 접촉하면서 회전하여 상기 이물질을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The first and second cleaning unit is characterized in that it comprises a step of removing the foreign matter by rotating while contacting the mask for pattern printing.

상기 패턴 인쇄용 마스크는 상기 박막 페이스트가 상기 기판 상에 인쇄되도록 개구부를 가지는 스크린 마스크인 것을 특징으로 한다.The pattern printing mask may be a screen mask having an opening so that the thin film paste is printed on the substrate.

상기 패턴 인쇄용 마스크는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극, 형광체층 및 격벽 중 적어도 어느 하나의 제조시 이용되는 것을 특징으로 한다.The pattern printing mask may be used when manufacturing at least one of an electrode, a phosphor layer, and a partition of the plasma display panel.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 박막 페이스트를 적어도 1회 기판 상에 인쇄하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정장치는 상기 패턴 인쇄용 마스크의 배면과 접촉하여 상기 패턴 인쇄용 마스크를 세정하는 제1 세정부와; 상기 제1 세정부와 동시에 회전하고 상기 패턴 인쇄용 마스크의 전면과 접촉하여 상기 패턴 인 쇄용 마스크를 세정하는 제2 세정부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the cleaning apparatus of the pattern printing mask for printing the thin film paste according to the present invention on the substrate at least once and the first cleaning unit for cleaning the pattern printing mask in contact with the back surface of the pattern printing mask; ; And a second cleaning unit which rotates simultaneously with the first cleaning unit and contacts the entire surface of the pattern printing mask to clean the pattern printing mask.

상기 제1 및 제2 세정부 각각은 세정롤러에 세정테이프가 감겨 있는 것을 특징으로 한다.Each of the first and second cleaning units is characterized in that the cleaning tape is wound around the cleaning roller.

상기 패턴 인쇄용 마스크는 상기 박막 페이스트가 상기 기판 상에 인쇄되도록 개구부를 가지는 스크린 마스크인 것을 특징으로 한다.The pattern printing mask may be a screen mask having an opening so that the thin film paste is printed on the substrate.

상기 패턴 인쇄용 마스크는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극, 형광체층 및 격벽 중 적어도 어느 하나의 제조시 이용되는 것을 특징으로 한다.The pattern printing mask may be used when manufacturing at least one of an electrode, a phosphor layer, and a partition of the plasma display panel.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above objects will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 4a 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 4A to 6.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 스크린 마스크의 세정방법을 나타내는 도면이다.4A and 4B illustrate a method of cleaning a screen mask according to the present invention.

먼저, 전극 페이스트 또는 격벽 페이스트를 기판 상에 적어도 1회 인쇄하면 도 4a에 도시된 바와 같이 스크린 마스크(34)의 배면에 전극 페이스, 형광체 페이스트 또는 격벽 페이스트의 잔여물인 이물질(38)이 흡착된다. 이 이물질(38)을 제거하기 위해 제1 세정 테이프(42)가 감긴 제1 세정롤러(40)가 도 4b에 도시된 바와 같이 스크린마스크(34)의 배면과 접촉하면서 회전하여 스크린마스크(34)의 배면에 부착된 이물질(38)을 제거한다. 이와 동시에 제1 세정롤러(40)의 압력에 의해 스크린 마스크(34)의 배면에서 스크린마스크(34)의 전면과 측면으로 이동/흡착되는 이물질이 제2 세정 테이프(52)가 감긴 제2 세정롤러(50)에 의해 제거된다.First, when the electrode paste or the barrier paste is printed at least once on the substrate, the foreign substance 38, which is the residue of the electrode face, the phosphor paste or the barrier paste, is adsorbed on the rear surface of the screen mask 34 as shown in FIG. 4A. In order to remove the foreign matter 38, the first cleaning roller 40 wound with the first cleaning tape 42 is rotated while being in contact with the back surface of the screen mask 34 as shown in FIG. 4B. Remove the foreign matter 38 attached to the back of the. At the same time, a second cleaning roller having the second cleaning tape 52 wound around the second cleaning tape 52 has foreign substances moved / adsorbed from the back surface of the screen mask 34 to the front and side surfaces of the screen mask 34 by the pressure of the first cleaning roller 40. It is removed by 50.

이러한 제2 세정 테이프(52)가 감긴 제2 세정롤러(50) 대신에 도 5에 도시된 바와 같이 스크린 마스크(34)의 배면에 가해지는 압력과 동일한 압력을 지지부재(46)를 이용하여 스크린마스크(34)의 전면에 가하여 스크린 마스크(34)의 장력변화를 방지한다.Instead of the second cleaning roller 50 on which the second cleaning tape 52 is wound, as shown in FIG. 5, the pressure equal to the pressure applied to the rear surface of the screen mask 34 is supported using the support member 46. It is applied to the front surface of the mask 34 to prevent the tension change of the screen mask 34.

이와 같이, 본 발명에 따른 스크린 마스크의 세정방법은 스크린 마스크의 전면과 배면에 동일한 압력을 가하면서 스크린 마스크에 부착된 이물질을 제거한다. 이에 따라, 스크린 마스크의 장력변화를 방지할 수 있어 스크린 마스크와 세정테이프의 접촉면적이 향상됨으로써 세정도가 향상된다. 이와 아울러 스크린 마스크의 장력 저하를 방지할 수 있어 스크린 마스크의 수명을 향상시킬 수 있다.As such, the cleaning method of the screen mask according to the present invention removes foreign substances adhering to the screen mask while applying the same pressure to the front and rear surfaces of the screen mask. Accordingly, the tension change of the screen mask can be prevented, and the contact area between the screen mask and the cleaning tape is improved, thereby improving the cleaning degree. In addition, it is possible to prevent the tension of the screen mask from being lowered, thereby improving the life of the screen mask.

도 6은 도 4에 도시된 세정방법에 의해 세정된 스크린 마스크를 이용하여 형성된 전극 및 격벽을 가지는 플라즈마 디스플레이 패널을 나타내는 단면도이다.FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a plasma display panel having electrodes and partition walls formed using a screen mask cleaned by the cleaning method illustrated in FIG. 4.

도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 PDP의 방전셀은 상부기판(40) 상에 형성되어진 스캔전극(Y) 및 서스테인전극(Z)과, 하부기판(42) 상에 형성되어진 어드레스전극(X)을 구비한다. Referring to FIG. 6, the discharge cells of the PDP according to the present invention include the scan electrode Y and the sustain electrode Z formed on the upper substrate 40, and the address electrode X formed on the lower substrate 42. ).

스캔전극(Y)과 서스테인전극(Z) 각각은 투명전극(44Y,44Z)과, 투명전극(44Y,44Z)의 선폭보다 작은 선폭을 가지며 투명전극(44Y,44Z)의 일측 가장자리에 형성되는 버스전극(46Y,46Z)을 포함한다. 투명전극(44Y,44Z)은 통상 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide : ITO)로 상부기판(40) 상에 형성된다. 버스전극(46Y,46Z)은 투명전극(44Y,44Z) 상에 도전율이 높은 금속으로 형성되어 저항이 높은 투명전 극(44Y,44Z)에 의한 전압강하를 줄이는 역할을 한다. Each of the scan electrodes Y and the sustain electrodes Z has a line width smaller than that of the transparent electrodes 44Y and 44Z and the transparent electrodes 44Y and 44Z, and is formed at one edge of the transparent electrodes 44Y and 44Z. Electrodes 46Y and 46Z. The transparent electrodes 44Y and 44Z are usually formed on the upper substrate 40 by indium tin oxide (ITO). The bus electrodes 46Y and 46Z are formed of a metal having high conductivity on the transparent electrodes 44Y and 44Z, thereby reducing the voltage drop caused by the transparent electrodes 44Y and 44Z having high resistance.

스캔전극(Y)과 서스테인전극(Z)이 나란하게 형성된 상부기판(40)에는 상부 유전체층(48)과 보호막(50)이 적층된다. 상부 유전체층(48)에는 플라즈마 방전시 발생된 벽전하가 축적된다. 보호막(50)은 플라즈마 방전시 발생된 스퍼터링에 의한 상부 유전체층(48)의 손상을 방지함과 아울러 2차 전자의 방출 효율을 높이게 된다. 보호막(50)으로는 통상 산화마그네슘(MgO)이 이용된다. The upper dielectric layer 48 and the passivation layer 50 are stacked on the upper substrate 40 having the scan electrode Y and the sustain electrode Z side by side. Wall charges generated during plasma discharge are accumulated in the upper dielectric layer 48. The passivation layer 50 prevents damage to the upper dielectric layer 48 due to sputtering generated during plasma discharge and increases emission efficiency of secondary electrons. As the protective film 50, magnesium oxide (MgO) is usually used.

어드레스 전극(X)이 형성된 하부기판(42) 상에는 하부 유전체층(52), 격벽(54)이 형성되며, 하부 유전체층(52)과 격벽(54) 표면에는 형광체(56)가 도포된다. 어드레스 전극(X)은 스캔전극(Y) 및 서스테인전극(Z)과 교차되는 방향으로 형성된다. 격벽(54)은 어드레스전극(X)과 나란하게 형성되어 방전에 의해 생성된 자외선 및 가시광이 인접한 방전셀에 누설되는 것을 방지한다. 형광체(56)는 플라즈마 방전시 발생된 자외선에 의해 여기되어 적색, 녹색 또는 청색 중 어느 하나의 가시광선을 발생하게 된다. 상/하부기판(40,42)과 격벽(54) 사이에 마련된 방전공간에는 가스방전을 위한 불활성 가스가 주입된다.
The lower dielectric layer 52 and the partition wall 54 are formed on the lower substrate 42 on which the address electrode X is formed, and the phosphor 56 is coated on the surfaces of the lower dielectric layer 52 and the partition wall 54. The address electrode X is formed in a direction crossing the scan electrode Y and the sustain electrode Z. The partition wall 54 is formed in parallel with the address electrode X to prevent ultraviolet rays and visible light generated by the discharge from leaking to the adjacent discharge cells. The phosphor 56 is excited by ultraviolet rays generated during plasma discharge to generate visible light of any one of red, green, and blue. Inert gas for gas discharge is injected into the discharge space provided between the upper and lower substrates 40 and 42 and the partition wall 54.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 스크린 마스크의 세정방법 및 장치는 스크린 마스크의 전면과 배면에 동일한 압력을 가하면서 스크린 마스크에 부착된 이물질을 제거한다. 이에 따라, 스크린 마스크의 장력변화를 방지할 수 있어 스크린 마스크와 세정테이프의 접촉면적이 향상됨으로써 세정도가 향상된다. 이와 아울러 스크린 마스크의 장력 저하를 방지할 수 있어 스크린 마스크의 수명을 향상시킬 수 있다.As described above, the method and apparatus for cleaning a screen mask according to the present invention removes foreign substances adhering to the screen mask while applying the same pressure to the front and rear surfaces of the screen mask. Accordingly, the tension change of the screen mask can be prevented, and the contact area between the screen mask and the cleaning tape is improved, thereby improving the cleaning degree. In addition, it is possible to prevent the tension of the screen mask from being lowered, thereby improving the life of the screen mask.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (11)

박막 페이스트를 적어도 1회 기판 상에 인쇄하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법에 있어서,In the cleaning method of the pattern printing mask which prints a thin film paste on a board | substrate at least once, 상기 패턴 인쇄용 마스크의 전면 및 배면과 세정부가 접촉하여 상기 패턴 인쇄용 마스크에 부착된 이물질을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법.And removing the foreign matter adhering to the pattern printing mask by contacting the front and rear surfaces of the pattern printing mask and the cleaning part. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패턴 인쇄용 마스크의 전면 및 배면과 세정부가 접촉하여 상기 패턴 인쇄용 마스크에 부착된 이물질을 제거하는 단계는Removing the foreign matter attached to the pattern printing mask by contacting the front and back and the cleaning unit of the pattern printing mask is 상기 패턴 인쇄용 마스크의 배면을 제1 세정부를 통해 세정하는 단계와;Cleaning the back surface of the pattern printing mask through a first cleaning unit; 상기 제1 세정부를 통한 세정공정과 동시에 상기 패턴 인쇄용 마스크의 전면을 제2 세정부를 통해 세정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법.And cleaning the entire surface of the pattern printing mask through the second cleaning unit simultaneously with the cleaning process through the first cleaning unit. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1 및 제2 세정부는 각각 동일한 압력을 상기 패턴 인쇄용 마스크에 가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법.And the first and second cleaning parts each apply the same pressure to the pattern printing mask. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1 및 제2 세정부 각각은 세정롤러에 세정테이프가 감겨 있는 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법.Each of the first and second cleaning parts is a cleaning method for a mask for pattern printing, characterized in that the cleaning tape is wound around the cleaning roller. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1 및 제2 세정부는 상기 패턴 인쇄용 마스크과 접촉하면서 회전하여 상기 이물질을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법.And the first and second cleaning parts rotate to contact the pattern printing mask to remove the foreign matter. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패턴 인쇄용 마스크는 상기 박막 페이스트가 상기 기판 상에 인쇄되도록 개구부를 가지는 스크린 마스크인 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법.And the pattern printing mask is a screen mask having an opening so that the thin film paste is printed on the substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패턴 인쇄용 마스크는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극, 형광체층 및 격벽 중 적어도 어느 하나의 제조시 이용되는 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정방법.The pattern printing mask is a cleaning method for a pattern printing mask, characterized in that used in the production of at least one of the electrode, the phosphor layer and the partition wall of the plasma display panel. 박막 페이스트를 적어도 1회 기판 상에 인쇄하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정 장치에 있어서,In the cleaning apparatus of the pattern printing mask which prints a thin film paste on a board | substrate at least once, 상기 패턴 인쇄용 마스크의 배면과 접촉하여 상기 패턴 인쇄용 마스크를 세정하는 제1 세정부와;A first cleaning unit which contacts the rear surface of the pattern printing mask to clean the pattern printing mask; 상기 제1 세정부와 동시에 회전하고 상기 패턴 인쇄용 마스크의 전면과 접촉하여 상기 패턴 인쇄용 마스크를 세정하는 제2 세정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정장치.And a second cleaning unit rotating at the same time as the first cleaning unit and in contact with the entire surface of the pattern printing mask to clean the mask for pattern printing. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 제1 및 제2 세정부 각각은 세정롤러에 세정테이프가 감겨 있는 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정장치.Each of the first and second cleaning parts is a cleaning device for a pattern printing mask, characterized in that the cleaning tape is wound around the cleaning roller. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 패턴 인쇄용 마스크는 상기 박막 페이스트가 상기 기판 상에 인쇄되도록 개구부를 가지는 스크린 마스크인 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정장치.And the pattern printing mask is a screen mask having an opening so that the thin film paste is printed on the substrate. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 패턴 인쇄용 마스크는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극, 형광체층 및 격벽 중 적어도 어느 하나의 제조시 이용되는 것을 특징으로 하는 패턴 인쇄용 마스크의 세정장치.The pattern printing mask is a cleaning device for a pattern printing mask, characterized in that used in the production of at least one of the electrode, the phosphor layer and the partition wall of the plasma display panel.
KR1020040096633A 2004-11-23 2004-11-23 Cleaning method and apparatus of pattern printing mask KR20060057481A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040096633A KR20060057481A (en) 2004-11-23 2004-11-23 Cleaning method and apparatus of pattern printing mask

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040096633A KR20060057481A (en) 2004-11-23 2004-11-23 Cleaning method and apparatus of pattern printing mask

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060057481A true KR20060057481A (en) 2006-05-26

Family

ID=37152903

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040096633A KR20060057481A (en) 2004-11-23 2004-11-23 Cleaning method and apparatus of pattern printing mask

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20060057481A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100692095B1 (en) Rib of Plasma Display Panel, Plasma Display Panel and Manufacturing Method Thereof
KR20060057481A (en) Cleaning method and apparatus of pattern printing mask
KR100555311B1 (en) Plasma display panel
KR100679101B1 (en) Plasma Display Panel
KR100588017B1 (en) Method of Fabricating Plasma Display Panel Using The Same
KR100412089B1 (en) Plasma display panel and the fabrication method thereof
KR100499036B1 (en) Method of forming barrier rib in plasma display
KR100730069B1 (en) Method Of Fabricating Plasma Display Panel
KR100667129B1 (en) Method for Manufacturing Plasma Display Panel
KR20070024772A (en) Method of fabricating plasma display panel
US20060138955A1 (en) Plasma display panel and manufacturing method thereof
KR19990074747A (en) Plasma display panel
JP2003331731A (en) Plasma display device
KR100844838B1 (en) Plasma Display Panel and Method of Fabricating a pair of Sustain Electrodes Thereof
KR100730210B1 (en) Plasma display panel with barrier ribs arrangement for preventing error discharge and nosie
JP2010140849A (en) Plasma display panel and its manufacturing method
KR20060028509A (en) Printing device in plazma display pannel
KR20060042428A (en) Barrier rib and plasma display panel having the same
KR20050106692A (en) Method of fabricating plasma display panel
JP2006164526A (en) Plasma display panel and its manufacturing method
KR20080048371A (en) Display filter, method of manufacturing the same, and plasma display apparatus using the same
KR20060082747A (en) Plasma display panel and fabricating method thereof
KR20060122646A (en) Method of fabricating electrode in plasma display panel
KR20050103523A (en) Electrode of plasma display panel and fabricating method threrof
JP2010262880A (en) Method of manufacturing plasma display panel

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination