KR20060051035A - Detecting a defect of an object based on a color image of the object - Google Patents

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Abstract

검사 대상물의 결함 검출처리의 신뢰성을 높인다.The reliability of the defect detection process of the inspection object is improved.

스루홀을 포함하는 검사 대상물을 촬영한, 컬러 화상을 취득한다. 이 컬러 화상 중의 스루홀에 상당하는 특정영역과, 특정영역의 주위의 인접영역을 취득한다. 취득된 인접영역의 색에 따라서, 특정영역을 포함하는 마스크 영역의 크기를 변경한다. 그리고, 이 마스크 영역 이외의 영역에 대해서, 소정의 결함 검출처리를 행한다.The color image which image | photographed the inspection object containing a through-hole is acquired. The specific area corresponding to the through hole in this color image and the adjacent area around the specific area are acquired. The size of the mask area including the specific area is changed in accordance with the acquired color of the adjacent area. Then, predetermined defect detection processing is performed on the regions other than this mask region.

스루홀, 검사 대상물, 특정영역, 인접영역, 마스크, 결함, 검출처리 Through Hole, Inspection Object, Specific Area, Adjacent Area, Mask, Defect, Detection Process

Description

물체의 컬러 화상에 의한 결함검출{DETECTING A DEFECT OF AN OBJECT BASED ON A COLOR IMAGE OF THE OBJECT}Defect detection by color image of object {DETECTING A DEFECT OF AN OBJECT BASED ON A COLOR IMAGE OF THE OBJECT}

도 1은, 본 발명의 일실시예로서의 프린트 기판 검사장치(100)의 구성을 나타내는 설명도이다.1 is an explanatory diagram showing a configuration of a printed circuit board inspection apparatus 100 as an embodiment of the present invention.

도 2는, 프린트 기판(PCB)의 표면 상태를 나타내는 설명도이다.2 is an explanatory diagram showing a surface state of a printed circuit board (PCB).

도 3은, 제1 실시예에서 프린트 기판(PCB)의 결함 검출처리의 순서를 나타내는 플로우 챠트이다.3 is a flowchart showing the procedure of defect detection processing of the printed circuit board PCB in the first embodiment.

도 4는, 인접영역의 취득 모양을 나타내는 설명도이다.4 is an explanatory diagram showing an acquisition form of an adjacent region.

도 5는, 특별(特別) 처리영역의 설정 모양을 나타내는 설명도이다.5 is an explanatory diagram showing a setting form of a special processing region.

도 6은, 특별 처리영역 내에 결함이 없는 프린트 기판에서의 결함 검출처리의 모양을 나타내는 설명도이다.6 is an explanatory diagram showing a state of defect detection processing on a printed circuit board in which there is no defect in the special processing region.

도 7은, 특별 처리영역 내에 결함이 있는 프린트 기판에서의 결함 검출처리의 모양을 나타내는 설명도이다.7 is an explanatory diagram showing a state of defect detection processing on a printed circuit board having a defect in a special processing region.

도 8은, 결함이 없는 프린트 기판(PCB)에 대해서, 결함처리 검출처리를 행한 결과를 나타내는 설명도이다.FIG. 8: is explanatory drawing which shows the result of having performed the defect processing detection process with respect to the printed circuit board (PCB) without a defect.

도 9는, 제2 실시예에서 프린트 기판(PCB)의 결함 검출처리의 순서를 나타내는 플로우 챠트이다.FIG. 9 is a flowchart showing a procedure of defect detection processing of the printed circuit board PCB in the second embodiment.

도 10은, 경계영역을 이용한 인접영역의 설정의 모양을 나타내는 설명도이다.10 is an explanatory diagram showing a state of setting an adjacent region using a boundary region.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명][Description of Symbols for Main Parts of Drawing]

20 광원, 30 촬상부,20 light sources, 30 imaging units,

40 컴퓨터, 50 외부 기억장치40 computers, 50 external storage

100 프린트 기판 검사장치, 210 화상취득부100 printed board inspection system, 210 image acquisition unit

220 구멍영역 취득부, 230 인접영역 취득부220 hole area acquisition unit, 230 adjacent area acquisition unit

240 특별 처리영역 설정부, 250 특별 처리영역 검사부,240 special processing area setting unit, 250 special processing area inspection unit,

260 마스크 이외 영역 검사부, PCB 프린트 기판.260 Non-mask area inspection, PCB printed board.

본 발명은, 컬러 화상을 이용해서 검사 대상물의 결함을 검출하는 기술에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the technique of detecting the defect of a test | inspection object using a color image.

전자회로를 구성하기 위한 프린트 기판에는, 층간(層間)의 도통이나 부품의 삽입을 위한 스루홀이나, 프린트 기판의 절단이나 위치 결정을 위한 기판 구멍(穴)이 설치된다. 이러한 프린트 기판에서는, 스루홀 주변(周邊)의 레지스트의 두께의 변동이 커지고, 프린트 기판을 촬영한 화상 위에서 색이 변화하는 경우가 있다. 그 때문에, 프린트 기판을 화상(畵像) 검사장치에 의해 검사하는 경우, 프린트 기판을 촬영한 화상 중 구멍(穴)과 구멍 주변의 일정 폭의 부분에 상당하는 영역이 검사의 대상으로부터 제외되는 것이 일반적이다(검사의 대상으로부터 제외되는 영역은, 일반적으로,「마스크 영역」이라 불린다).The printed circuit board for constituting the electronic circuit is provided with through holes for conduction between layers and insertion of parts, and substrate holes for cutting and positioning the printed circuit board. In such a printed circuit board, the variation of the thickness of the resist around the through hole increases, and the color may change on an image of the printed board. Therefore, when the printed circuit board is inspected by an image inspection apparatus, the area corresponding to the hole and the portion having a predetermined width around the hole among the images photographing the printed board is excluded from the inspection object. General (the area excluded from the inspection object is generally called a "mask area").

[특허문헌1] 특허 제2500961호 공보[Patent Document 1] Publication No. 2500961

[특허문헌2] 특개평6-288739호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Laid-Open No. 6-288739

[특허문헌3] 특개평11-316193호 공보[Patent Document 3] Publication No. 11-316193

[특허문헌4] 특개2002-259667호 공보[Patent Document 4] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-259667

그러나, 구멍과 구멍의 주변의 일정 폭의 부분에 상당하는 영역을 일률적으로 마스크 영역으로 하면, 스루홀이 아닌 기판 구멍의 주변에 존재하는 결함을 검출할 수 없을 경우가 있다. 한편, 구멍에 상당하는 영역만을 마스크 영역으로 하면, 스루홀 주변의 레지스트 두께의 변동에 의해 허용할 수 있는 색의 변화에 의해, 결함이 없는 프린트 기판이라도 결함이 있는 것으로 오인식될 우려가 있다. 즉, 프린트 기판을 촬상해서 얻어진 컬러 화상을 해석해서 결함검출을 행한 때에, 결함의 유무를 오인식해 버린다는 문제가 있었다.However, if the area corresponding to the hole and the portion having a constant width around the hole is uniformly used as the mask area, there may be a case where a defect existing in the periphery of the substrate hole rather than the through hole may not be detected. On the other hand, if only the area corresponding to the hole is used as the mask area, there is a possibility that even a printed board without a defect may be mistaken as a defect due to a change in color that can be tolerated by variations in resist thickness around the through hole. That is, when defect detection was performed by analyzing the color image obtained by imaging a printed circuit board, there existed a problem of misrecognizing the presence or absence of a defect.

상술의 문제는, 프린트 기판의 화상 검사장치에 의한 검사에 한정하지 않고, 일반적으로, 검사 대상물의 컬러 화상을 이용한 검사에 공통하는 문제였다.The above-mentioned problem was not limited to the inspection by the image inspection apparatus of a printed board, but was generally a problem common to the inspection using the color image of the inspection object.

본 발명은, 상술한 종래의 과제를 해결하기 이루어진 것으로서, 검사 대상물의 결함 검출처리의 신뢰성을 높이는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in order to solve the conventional subject mentioned above, and an object of this invention is to improve the reliability of the defect detection process of a test object.

상기 목적의 적어도 일부를 달성하기 위해, 본 발명의 방법은, 스루홀을 포 함하는 검사 대상물을 촬영한 컬러 화상을 이용하여, 상기 검사 대상물의 결함을 검출하는 방법으로서, (a) 상기 컬러 화상 중의 상기 스루홀에 상당하는 특정영역을 취득하는 공정과, (b) 상기 특정영역의 주위의 인접영역을 취득하는 공정과, (c) 상기 특정영역을 포함하는 마스크 영역을 설정하는 공정과, (d) 상기 컬러 화상 중 상기 마스크 영역 이외의 영역에 대해서, 소정의 결함 검출처리를 행하는 공정을 구비하고, 상기 마스크 영역의 크기는, 상기 인접영역의 색에 따라 변경되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve at least part of the above object, the method of the present invention is a method of detecting a defect of the inspection object by using a color image photographing an inspection object including a through-hole, (a) the color image A process of acquiring a specific region corresponding to the through hole in the process; (b) a process of acquiring an adjacent region around the specific region; (c) a process of setting a mask region including the specific region; and d) performing a predetermined defect detection process on an area other than the mask area in the color image, wherein the size of the mask area is changed according to the color of the adjacent area.

이 구성에 의하면, 인접영역의 색(色)에 따라 마스크 영역의 크기가 변경되므로, 검사 대상물의 결함 검출처리의 신뢰성을 높일 수 있다.According to this configuration, since the size of the mask area is changed according to the color of the adjacent area, the reliability of the defect detection process of the inspection object can be improved.

상기 마스크 영역은, 상기 특정영역과, 상기 특정영역의 주위를 포함하는 특별 처리영역을 갖고, 상기 방법은, (e) 상기 특별 처리영역에 대해서, 상기 소정의 결함 검출처리와는 다른 특별 결함처리를 행하는 공정을 더 구비하는 것으로 하여도 좋다.The mask area has a special processing area including the specific area and the periphery of the specific area, and the method includes (e) a special defect processing for the special processing area that is different from the predetermined defect detection process. It may be further provided with the process of performing the process.

이 구성에 의하면, 마스크 영역 중에 나타나는 결함을 검출할 수 있다.According to this configuration, a defect appearing in the mask region can be detected.

상기 방법은, (f) 소정의 색(色)공간 내에, 상기 특별 처리영역이 취할 수 있는 색의 범위를 나타내는 실재 색범위와, 상기 실재 색범위 이외의 비실재 색범위를 설정하는 공정을 더 구비하고 있고, 상기 공정 (e)은, (e1) 상기 특별 처리영역을 구성하는 각 화소의 색이 상기 실재 색범위와 상기 비실재 색범위의 어느 하나에 속하는가를 판정하는 것에 의해, 상기 특별 처리영역 중의 결함을 검출하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.The method further includes (f) setting a real color range representing a range of colors that the special processing region can take within a predetermined color space, and a non-real color range other than the real color range. The step (e) includes the (e1) the special processing by determining whether the color of each pixel constituting the special processing region belongs to one of the real color range and the non-real color range. It is characterized by including the process of detecting the defect in an area | region.

이 구성에 의하면, 소정의 조건을 충족하는 특별 처리영역의 결함을 검출할 수 있다.According to this structure, the defect of the special process area which satisfy | fills a predetermined condition can be detected.

상기 공정 (f)는, 상기 검사 대상물의 표준적인 컬러 화상인 마스터 화상을 준비하는 공정과, 상기 마스터 화상 중의 상기 특별 처리영역을 구성하는 화소의 색을 포함하는 상기 소정의 색공간의 일부의 범위를 상기 실재 색범위로 설정하는 공정을 포함하는 것으로 하여도 좋다.The step (f) includes a step of preparing a master image which is a standard color image of the inspection object, and a range of a part of the predetermined color space including colors of pixels constituting the special processing region in the master image. May be set to the actual color range.

이 구성에 의하면, 마스터 화상의 특별 처리영역 중의 화소의 색으로부터 실재 색범위를 설정할 수 있으므로, 실재 색범위의 설정이 용이해진다.According to this configuration, since the actual color range can be set from the color of the pixel in the special processing area of the master image, setting of the actual color range becomes easy.

상기 공정 (f)는, 상기 소정의 색공간 내의 임의의 색을 입력으로 하고, 상기 임의의 색이 상기 실재 색범위와 상기 비실재 색범위의 어느 것인가에 속하는가를 나타내는 값을 출력하는 룩업 테이블을 작성하는 공정을 포함하고, 상기 공정(e1)은, 상기 룩업 테이블을 참조해서 상기 각 화소의 색이 상기 실재 색범위와 상기 비실재 색범위의 어느 하나에 속하는가를 판정하는 공정을 포함하는 것으로 하여도 좋다.The step (f) takes an arbitrary color in the predetermined color space as an input, and a lookup table for outputting a value indicating whether the arbitrary color belongs to the real color range or the non-real color range. The process (e1) includes the process of making it, and a process of determining whether the color of each said pixel belongs to one of the said real color range and the said non-real color range with reference to the said lookup table, Also good.

이 구성에 의하면, 특별 처리영역 중의 화소의 색이 실재 색범위에 속하는가 아닌가의 판단이 룩업 테이블을 참조하는 것에 의해 판정할 수 있으므로, 특별 처리영역의 검사를 보다 고속으로 행할 수 있다.According to this configuration, it can be determined by referring to the lookup table whether or not the color of the pixel in the special processing region belongs to the actual color range, so that the inspection of the special processing region can be performed at a higher speed.

상기 공정 (b)는, (b1) 상기 특정영역의 주변의 경계영역을 취득하는 공정과, (b2) 상기 경계영역의 색이 소정의 조건을 충족하는 경우에, 상기 경계영역을 포함해 상기 경계영역보다도 큰 상기 인접영역을 취득하는 공정과, (b3) 상기 경계 영역의 색이 상기 소정의 조건을 충족하지 않는 경우에, 상기 마스크 영역의 크기를 소정의 크기로 설정하는 공정을 포함하는 것으로 하여도 좋다.The step (b) comprises: (b1) acquiring a boundary area around the specific area; and (b2) when the color of the boundary area satisfies a predetermined condition, including the boundary area; And acquiring the adjacent region larger than the region, and (b3) setting the size of the mask region to a predetermined size when the color of the boundary region does not satisfy the predetermined condition. Also good.

이 구성에 의하면, 경계영역의 색이 소정의 조건을 충족하지 않는 경우에 인접영역의 색에 따라 마스크 영역의 크기가 변경되므로, 인접영역의 화상처리량을 저감할 수 있다.According to this configuration, when the color of the border region does not satisfy a predetermined condition, the size of the mask region is changed in accordance with the color of the adjacent region, so that the amount of image processing in the adjacent region can be reduced.

상기 소정의 조건은, 상기 경계영역 중에 소정의 제1의 색범위의 화소가 존재한다는 조건이며, 상기 공정 (c)는, 상기 인접영역 중의 화소의 색이 소정의 제2의 색범위 이외인 경우에, 상기 제2의 색범위인 경우보다도 상기 마스크 영역을 크게 하는 공정을 포함하는 것으로 하여도 좋다.The predetermined condition is a condition that a pixel having a predetermined first color range exists in the boundary region, and the step (c) is performed when the color of the pixel in the adjacent region is other than the predetermined second color range. May include a step of enlarging the mask region rather than the case of the second color range.

이 구성에 의하면, 마스크 영역의 크기를 보다 적절에 설정할 수 있다.According to this configuration, the size of the mask region can be set more appropriately.

상기 검사 대상물은 프린트 기판인 것으로 하여도 좋다.The inspection object may be a printed board.

이 구성에 의하면, 프린트 기판의 결함 검출처리의 신뢰성을 높일 수 있다.According to this structure, the reliability of the defect detection process of a printed board can be improved.

또, 본 발명은, 여러 가지 양태로 실현하는 것이 가능하며, 예컨대, 검사 대상물의 결함 검출방법 및 장치, 그 검출 결과를 이용한 화상 검사방법 및 장치, 그들의 각종 방법 또는 장치의 기능을 실현하기 위한 컴퓨터 프로그램, 그 컴퓨터 프로그램을 기록한 기록 매체, 그 컴퓨터 프로그램을 포함해 반송파 내에 구현화된 데이터 신호 등의 양태로 실현할 수 있다.In addition, the present invention can be realized in various aspects, for example, a defect detection method and apparatus for an inspection object, an image inspection method and apparatus using the detection result, and a computer for realizing the functions of the various methods or apparatuses thereof. A program, a recording medium on which the computer program is recorded, and a data signal embodied in a carrier wave including the computer program can be realized.

다음에, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 실시예에 근거해서 이하의 순서로 설명한다.Next, the best mode for implementing this invention is demonstrated in the following order based on an Example.

A. 제1 실시예:A. First Embodiment

B. 제2 실시예:B. Second Embodiment

C. 변형예:C. Modifications:

A. 제1 실시예:A. First Embodiment

도 1은, 본 발명의 일실시예로서의 프린트 기판 검사장치(100)의 구성을 나타내는 설명도이다. 이 프린트 기판 검사장치(100)는, 프린트 기판(PCB)을 조명하기 위한 광원(20)과, 프린트 기판(PCB)의 화상을 촬영하는 촬상부(30)와, 장치 전체의 제어를 하는 컴퓨터(40)를 구비하고 있다. 컴퓨터(40)에는, 각종 데이터나 컴퓨터 프로그램(computer program)을 저장하는 외부 기억장치(50)가 접속되어 있다.1 is an explanatory diagram showing a configuration of a printed circuit board inspection apparatus 100 as an embodiment of the present invention. The printed circuit board inspection apparatus 100 includes a light source 20 for illuminating a printed circuit board PCB, an imaging unit 30 for photographing an image of the printed circuit board PCB, and a computer for controlling the entire apparatus ( 40). The computer 40 is connected to an external storage device 50 that stores various data and computer programs.

컴퓨터(40)는, 화상취득부(210)와, 구멍영역 취득부(220)와, 인접영역 취득부(230)와, 특별 처리영역 설정부(240)와, 특별 처리영역 검사부(250)와, 마스크 이외영역 검사부(260)의 기능을 갖고 있다. 이들 각부의 기능은, 외부 기억장치(50)에 저장된 컴퓨터 프로그램을 컴퓨터(40)가 실행함으로써 실현된다.The computer 40 includes an image acquisition unit 210, a hole area acquisition unit 220, an adjacent area acquisition unit 230, a special processing area setting unit 240, a special processing area inspection unit 250, And the non-mask area inspection unit 260. The functions of these parts are realized by the computer 40 executing a computer program stored in the external storage device 50.

도 2는, 검사 대상물인 프린트 기판(PCB)의 모양을 나타내는 설명도이다. 이 프린트 기판(PCB)에는, 5개의 스루홀(TH1~TH5)과, 프린트 기판(PCB)의 절단에 이용되는 기판 구멍(HL)이 설치되어 있다. 프린트 기판(PCB)의 표면은, 기판 베이스 위에 백색의 문자가 실크 인쇄된 실크 인쇄영역(RSG)과, 금(金)도금이 실시된 금도금영역(RGP)과, 기판 베이스가 노출하고 있는 기판 베이스 영역(RSB)과, 기판 베이스 위에 레지스트가 도포된 베이스 레지스트 영역(RBR)과, 동(銅)배선의 패턴 위에 레지스트가 도포된 패턴 레지스트 영역(RPR)을 포함하고 있다. 또한, 동배선의 패턴 위에 레지스트가 도포된 영역 중, 스루홀(TH5)의 주위는 레지스트가 얇은 박(薄)레지스트 영역(RTR)으로 되어 있다.FIG. 2: is explanatory drawing which shows the shape of the printed circuit board (PCB) which is an inspection object. Five through-holes TH1 to TH5 and substrate holes HL used for cutting the printed circuit board PCB are provided in the printed circuit board PCB. The surface of the printed circuit board (PCB) includes a silk printing area (RSG) in which white letters are silk-printed on the substrate base, a gold plating area (RGP) in which gold plating is applied, and a substrate base to which the substrate base is exposed. The region RSB, a base resist region RBR coated with a resist on a substrate base, and a pattern resist region RPR coated with a resist on a copper wiring pattern are included. Moreover, in the area | region where the resist was apply | coated on the pattern of the copper wiring, the periphery of the through hole TH5 becomes thin resist area RTR with a thin resist.

일반적으로, 프린트 기판(PCB)에서는, 레지스트의 도포공정에 따라서는, 스루홀의 주변에서 레지스트의 두께가 불안정해져, 스루홀마다 주변의 레지스트의 두께가 다른 경우가 있다. 그 때문에, 결함이 없는 프린트 기판(PCB)이라도, 도 2에 나타내는 바와 같이 스루홀의 주변에 레지스트가 얇은 영역이 발생할 수 있다. 그래서, 스루홀 주변의 레지스트의 두께의 허용 범위는, 레지스트가 도포된 다른 영역보다도 넓게 설정되어, 박(薄)레지스트 영역(RTR)과 같은 레지스트가 얇은 영역의 존재도 허용된다. 또, 박 레지스트 영역(RTR)은, 결함이 없는 프린트 기판이라도 레지스트의 두께 변동에 의해 후술하는 바와 같이 색이 다르다. 즉, 스루홀에 인접하는 박 레지스트 영역(RTR)은, 색의 허용 범위가 다른 영역보다도 넓은 영역이다.In general, in a printed circuit board (PCB), depending on the resist coating step, the thickness of the resist becomes unstable around the through hole, and the thickness of the surrounding resist may be different for each through hole. Therefore, even in a printed circuit board (PCB) without a defect, as shown in FIG. 2, a region where the resist is thin may occur around the through hole. Therefore, the allowable range of the thickness of the resist around the through hole is set wider than that of the other region to which the resist is applied, and the presence of a region where the resist is thin, such as the thin resist region RTR, is allowed. The thin resist region RTR is different in color, as will be described later due to variations in the thickness of the resist even in a printed substrate without a defect. That is, the thin resist region RTR adjacent to the through hole is a region wider than the region where the allowable range of color is different.

도 3은, 제1 실시예에서 프린트 기판(PCB)의 결함을 검출하는 순서를 나타내는 플로우 챠트이다. 스텝 S100에서는, 화상취득부(210)(도 1)가, 프린트 기판(PCB)의 컬러 화상을 촬상부(30)로부터 취득한다.3 is a flowchart showing a procedure of detecting a defect of a printed circuit board (PCB) in the first embodiment. In step S100, the image acquisition unit 210 (FIG. 1) acquires a color image of the printed circuit board PCB from the imaging unit 30.

또, 스텝 SlOO에서는, 취득된 컬러 화상에 대해서, 화상취득부(210)가, 필요에 따라서 평활화 처리(바림 처리)를 실행한다. 평활화 처리에서는, 메디안 필터나, 가우스 필터, 이동 평균 등 여러 가지의 평활화 필터를 이용할 수 있다. 이 평활화 처리를 행하는 것에 의해, 화상 데이터 내에 존재하는 특이한 화소를 제거할 수 있으므로, 쓰레기(잡음 성분)가 적은 화상 데이터를 얻을 수 있다. 또한, 미리 취득된 화상에 관해서 스텝 S200 이후의 처리를 실행하는 경우에는, 스텝 SlOO에 있어서, 외부 기억장치(50)(도 1)로부터 화상 데이터가 판독된다.In step S100, the image acquisition unit 210 executes a smoothing process (varying process) on the acquired color image as necessary. In the smoothing process, various smoothing filters, such as a median filter, a Gaussian filter, and a moving average, can be used. By performing this smoothing process, since the peculiar pixel which exists in image data can be removed, image data with few waste (noise component) can be obtained. In addition, when the process after step S200 is performed with respect to the image acquired previously, image data is read from the external memory | storage device 50 (FIG. 1) in step S100.

도 4의 (a)는, 프린트 기판(PCB)(도 2)을 촬영한 컬러 화상(IM)의 모양을 나타내는 설명도이다. 이 컬러 화상(IM)은, 흑색영역(BK)과, 백색영역(WH)과, 금색영역(GL)과, 갈색영역(BR)과, 암녹색영역(GD)과, 명녹색영역(GB)을 포함하고 있다. 또, 본 명세서에 있어서는, 이들의 화상영역 BK, WH, GL, BR, GD, GB을 총칭해서 「색영역(色領域)」이라 부른다.FIG. 4A is an explanatory diagram showing the shape of the color image IM photographing the printed circuit board PCB (FIG. 2). The color image IM includes a black area BK, a white area WH, a gold area GL, a brown area BR, a dark green area GD, and a light green area GB. It is included. In addition, in this specification, these image areas BK, WH, GL, BR, GD, GB are collectively called "color area."

컬러 화상(IM) 위에서는, 스루홀(TH1~TH5)과, 기판 구멍(HL)은, 기판에 구멍이 열려져 있으므로, 흑색영역(BK)으로 표현된다. 실크 인쇄영역(RSG)과, 금도금영역(RGP)과, 기판 베이스 영역(RSB)은, 각각 표면재질의 색에 따라서, 백색영역(WH)과, 금색영역(GL)과, 갈색영역(BR)으로 표현된다. 베이스 레지스트 영역(RBR)은, 갈색의 기판 베이스에 녹색의 레지스트가 도포되어 있으므로 암녹색영역(GD)으로 표현되며, 패턴 레지스트 영역(RPR)은, 레지스트 아래가 동색(銅色)의 동배선 패턴으로 되어 있으므로 베이스 레지스트 영역(RBR)보다도 휘도가 높은 명녹색영역(GB)으로 표현된다. 그리고, 패턴 위의 레지스트가 얇은 박 레지스트 영역(RTR)은, 동배선의 색이 나타나므로 금색영역(GL)으로 표현된다.On the color image IM, the through holes TH1 to TH5 and the substrate hole HL are represented by the black region BK since the hole is opened in the substrate. The silk printing region RSG, the gold plating region RGP, and the substrate base region RSB each have a white region WH, a gold region GL, and a brown region BR depending on the color of the surface material. It is expressed as The base resist region RBR is represented by the dark green region GD because green resist is applied to the brown substrate base, and the pattern resist region RRP has the same copper wiring pattern under the resist. As a result, it is represented by the light green region GB having a higher luminance than the base resist region RBR. The thin resist region RTR with a thin resist on the pattern is represented by the gold region GL because the color of the copper wiring appears.

또, 실제의 프린트 기판(PCB)을 촬영한 컬러 화상에서는, 박 레지스트 영역(RTR)에 대응하는 금색영역(GL)과, 그 주위의 패턴 레지스트 영역(RPR)에 대응하는 명녹색영역(GB)과의 경계는 명확하게는 나누어져 있지 않지만, 도 4의 (a)에서는, 도시의 편의상, 이들의 금색영역(GL)과 명녹색영역(GB)이 다른 색영역으로서 분리 된 것으로서 묘사되어 있다In addition, in the color image photographing the actual printed circuit board PCB, the gold region GL corresponding to the thin resist region RTR and the light green region GB corresponding to the pattern resist region RRP around it The boundaries between and are not clearly divided, but in Fig. 4A, for convenience of illustration, these gold regions GL and light green regions GB are depicted as being separated as different color regions.

도 3의 스텝 S200에서는, 구멍영역 취득부(220)가, 컬러 화상(IM) 중의 흑색영역(BK)을 추출하는 것에 의해, 프린트 기판(PCB)에 설치된 구멍을 표현하는 구멍영역을 취득한다. 흑색영역(BK)은, 컬러 화상(IM)을 구성하는 각 화소의 휘도값이 소정의 휘도 문턱치 이하의 영역으로서 추출할 수 있다. 이 흑색영역(BK)의 추출에 이용하는 소정의 휘도 문턱치는, 예컨대, 휘도값에 관한 히스토그램 해석에 의해 설정할 수 있다.In step S200 of FIG. 3, the hole area acquisition part 220 acquires the hole area | region which represents the hole provided in the printed circuit board PCB by extracting the black area | region BK in the color image IM. The black region BK can be extracted as an area whose luminance value of each pixel constituting the color image IM is equal to or less than a predetermined luminance threshold. The predetermined luminance threshold used for the extraction of the black region BK can be set, for example, by histogram analysis on the luminance value.

또, 본 실시예에서는, 흑색영역(BK)의 추출을 각 화소의 휘도값에 근거해서 행하고 있지만, 흑색영역(BK)의 추출을 다른 방법에 의해 행하는 것도 가능하다. 흑색영역(BK)의 추출은, 흑색을 포함하는 미리 정해진 복수의 대표색의 영역에 컬러 화상(IM)을 영역 분할하고, 분할된 영역의 중의 대표색이 흑색인 영역을 추출 하는 것에 의해서도 행할 수 있다. 컬러 화상(IM)의 영역분할은, 예컨대, 컬러 화상(IM)의 각 화소의 색과 복수의 대표색과의 소정의 색공간에서의 거리를 표현하는 거리지표값을 구하고, 거리지표값이 최소가 되는 대표색의 영역에 각 화소를 분류하는 것에 의해 행할 수 있다. 이 거리지표값으로서는, 예컨대, RGB 색공간을 3차원 유클리드 공간과 보았을 때의 유클리드 거리나, L*a*b*공간에서의 색차이 △E를 이용할 수 있다. 또, 컬러 화상(IM)의 영역 분할방법은, 복수의 대표색에 각 화소를 분류하는 영역 분할방법이라면 좋고, 예컨대, 상술한 특허문헌3이나 특허문헌4에 개시된 방법에 의해서도 행할 수 있다.In the present embodiment, the black region BK is extracted based on the luminance value of each pixel, but the black region BK can be extracted by another method. Extraction of the black region BK can also be performed by region-dividing the color image IM into a plurality of predetermined representative color regions including black, and extracting a region in which the representative color of the divided regions is black. have. The area division of the color image IM obtains, for example, a distance index value representing a distance in a predetermined color space between the color of each pixel of the color image IM and a plurality of representative colors, and the distance index value is minimum. Each pixel can be classified into an area of the representative color to be used. As the distance index value, for example, the Euclidean distance when the RGB color space is viewed from the three-dimensional Euclidean space and the color difference ΔE in the L * a * b * space can be used. The area dividing method of the color image IM may be any area dividing method for classifying each pixel into a plurality of representative colors. For example, the area dividing method of the color image IM can also be performed by the method disclosed in the above-described patent document 3 and patent document 4.

또한, 본 실시예에서는, 구멍영역을 컬러 화상(IM) 중의 흑색영역(BK)을 추 출하는 것에 의해 취득하고 있지만, 다른 방법에 의해 프린트 기판(PCB)에 설치된 구멍에 대응하는 화상영역을 취득해도 좋다. 예컨대, 스루홀이나 기판 구멍을 형성하기 위해서 이용되는 설계 데이터(CAD 데이터)에 포함되는 구멍의 위치와 크기로부터 구멍영역을 취득하는 것도 가능하다. 또한, 촬상부(30)의 반대인 면(面)으로부터 조명된 프린트 기판(PCB)을 촬영하고, 촬영된 화상의 휘도가 높은 영역을 구멍영역으로 설정하는 것도 가능하다.In this embodiment, the hole area is obtained by extracting the black area BK in the color image IM, but the image area corresponding to the hole provided in the printed board PCB is obtained by another method. You may also For example, it is also possible to acquire the hole area from the position and size of the hole included in the design data (CAD data) used for forming the through hole or the substrate hole. In addition, it is also possible to photograph the printed board (PCB) illuminated from the surface opposite to the imaging unit 30, and to set the region of high brightness of the photographed image as the hole region.

도 4의 (b)는, 스텝 S200에서 취득된, 구멍영역의 배치를 나타내는 설명도이다. 도 4의 (b)에 나타내는 바와 같이, 컬러 화상(IM)으로부터 흑색영역(BK)을 추출하는 것에 의해, 스루홀(TH1~TH5)에 대응한 화상영역(SR1~SR5)과, 기판 구멍(HL)에 대응한 화상영역(SR6)이 취득된다. 이렇게 취득된 화상영역(SR1~SR6)의 각각이, 구멍영역이 된다.FIG.4 (b) is explanatory drawing which shows the arrangement | positioning of a hole area | region acquired in step S200. As shown in FIG. 4B, by extracting the black region BK from the color image IM, the image regions SR1 to SR5 corresponding to the through holes TH1 to TH5 and the substrate hole ( Image area SR6 corresponding to HL is obtained. Each of the image areas SR1 to SR6 thus obtained becomes a hole area.

도 3의 스텝 S300에서는, 인접영역 취득부(230)가, 구멍영역(SR1~SR6)에 인접하는 인접영역을 취득한다. 인접영역 취득부(230)는, 스텝 S200에서 취득한 구멍영역(SR1~SR6)을 소정의 확대 폭(예컨대, 5 화소)으로 확대하는 확대처리를 행한다. 그리고, 확대처리에 의해 확대한 영역이, 인접영역이 된다. 이 확대 폭으로서는, 미리 결정된 설정 값의 이외에, 유저에 의해 입력된 지정 값이나, CAD 데이터에 근거해서 산출된 설정 값 등을 이용할 수 있다. 또한, 구멍영역마다, 개별로 확대 폭을 설정하는 것으로 하여도 좋다.In step S300 of FIG. 3, the adjacent area acquisition unit 230 acquires an adjacent area adjacent to the hole areas SR1 to SR6. The adjacent area acquisition unit 230 performs an enlargement process for enlarging the hole areas SR1 to SR6 acquired in step S200 to a predetermined enlargement width (for example, 5 pixels). The area enlarged by the enlargement process becomes an adjacent area. As the enlargement width, in addition to the predetermined setting value, a designated value input by the user, a setting value calculated based on CAD data, or the like can be used. It is also possible to set the enlargement width individually for each hole area.

또, 구멍영역의 확대처리로서는, 확대처리에 의해 생성되는 영역이 구멍영역을 포함하고, 생성되는 영역을 구멍영역보다도 크게 할 수 있는 처리라면, 임의의 처리가 적용 가능하다. 이러한 처리로서는, 예컨대, 각 화소의 8 근방의 어느 것인가가 구멍영역에 속하는 경우에 그 화소를 구멍영역에 속하도록 설정하는 팽창처리나, 이 팽창 처리를 n(n은, 1 이상의 정수)회 실행하는 n단(段)의 팽창처리를 이용할 수 있다. 또한, 구멍영역의 윤곽을 취득하고, 그 윤곽을 확대하는 처리를 이용하는 것도 가능하다.In addition, as an enlargement process of a hole area | region, arbitrary processes are applicable as long as the area | region produced | generated by the enlargement process contains a hole area | region and can produce a larger area | region than a hole area | region. As such a process, for example, when any one of eight neighborhoods of each pixel belongs to the hole area, an expansion process for setting the pixel to belong to the hole area or n (n is an integer of 1 or more) is executed. An n stage expansion treatment can be used. It is also possible to use the process of acquiring the outline of the hole area and enlarging the outline.

도 4의 (c)는, 인접영역의 취득 모양을 나타내는 설명도이다. 인접영역 취득부(230)가 구멍영역(SR1)에 확대처리를 행하는 것에 의해, 영역(ER1)이 생성된다. 이 확대처리에 의한 확대한 영역(영역ER1-영역SR1)이, 구멍영역(SR1)의 인접영역(NR1)이 된다. 마찬가지로, 구멍영역(SR2~SR6)의 확대처리에 의해 생성된 영역(ER2~ER6)으로부터 구멍영역(SR2~SR6)을 제외한 영역(NR2~NR6), 즉, 확대처리에 의해 확대한 영역(NR2~NR6)이, 구멍영역(SR2~SR6)의 인접영역이 된다.FIG. 4C is an explanatory diagram showing how the adjacent regions are acquired. The area ER1 is generated by the adjacent area acquisition unit 230 performing an enlargement process on the hole area SR1. The enlarged region (region ER1-region SR1) by this enlargement process becomes the adjacent region NR1 of the hole region SR1. Similarly, the regions NR2 to NR6 excluding the hole regions SR2 to SR6 from the regions ER2 to ER6 generated by the enlargement process of the hole regions SR2 to SR6, that is, the region NR2 enlarged by the enlargement process. NR6 is an adjacent region of the hole regions SR2 to SR6.

도 3의 스텝 S400에서는, 특별 처리영역 설정부(240)가, 각 인접영역에 포함되는 화소의 색에 따라서, 특별한 결함 검출처리를 행하기 위한 특별 처리영역을 설정할 것인가 아닌가를 결정한다. 구체적으로는, 어떤 구멍영역의 인접영역에 소정의 색(본 실시예에서는, 금색)의 화소가 존재하는 경우, 그 구멍영역의 주위에 특별 처리영역이 설정된다.In step S400 of FIG. 3, the special processing region setting unit 240 determines whether to set a special processing region for performing a special defect detection process according to the color of the pixel included in each adjacent region. Specifically, when a pixel of a predetermined color (gold in this embodiment) is present in an adjacent area of a hole area, a special processing area is set around the hole area.

도 5는, 특별 처리영역의 설정 모양을 나타내는 설명도이다. 도 5의 (a)는, 프린트 기판(PCB)(도 2)을 촬영한 컬러 화상(IM)을 나타내고 있다. 또, 도 5의 (a)와 도 4의 (a)는 동일하다. 도 5의 (b)는, 인접영역(NR1~NR6)의 배치와, 이들의 영역(NR1~NR6)이 속하는 색영역을 나타내고 있다. 또한, 도 5의 (c)는, 스텝 S400에 서 설정된 특별 처리영역(PR2, PR3, PR5)의 배치를 나타내고 있다. 또, 도 5의 (b)와 도 5의 (c)에 묘사된 파선은, 도 5의 (a)에 나타내는 색영역의 경계를 나타내고 있다.5 is an explanatory diagram showing a setting form of a special processing region. FIG. 5A shows a color image IM photographing a printed board PCB (FIG. 2). 5A and 4A are the same. FIG. 5B shows the arrangement of the adjacent regions NR1 to NR6 and the color region to which these regions NR1 to NR6 belong. 5C shows the arrangement of the special processing areas PR2, PR3, PR5 set in step S400. 5B and 5C show the boundary of the color gamut shown in FIG. 5A.

도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 구멍영역(SR1)의 인접영역(NR1)은 암녹색영역(GD)에 포함되므로, 인접영역(NR1)에는 금색의 화소가 존재하지 않는다. 그 때문에, 구멍영역(SR1)에는 특별 처리영역이 설정되지 않는다. 한편, 구멍영역(SR2)의 인접영역(NR2)은 금색영역(GL)에 포함된다. 그 때문에, 인접영역(NR2)에는 금색의 화소가 존재하고, 구멍영역(SR2)에는 특별 처리영역(PR2)이 설정된다(도 5의 (c)). 마찬가지로, 인접영역(NR3, NR5)에는 금색의 화소가 존재하는 구멍영역(SR3, SR5)에는, 특별 처리영역(PR3, PR5)이 설정된다. 한편, 인접영역(NR4, SR6)에는 금색의 화소가 존재하지 않기 때문에, 구멍영역(SR4, SR6)에는 특별 처리영역이 설정되지 않는다.As shown in FIG. 5B, since the adjacent region NR1 of the hole region SR1 is included in the dark green region GD, no golden pixel exists in the adjacent region NR1. Therefore, no special processing area is set in the hole area SR1. Meanwhile, the adjacent region NR2 of the hole region SR2 is included in the gold region GL. Therefore, gold pixels exist in the adjacent region NR2, and the special processing region PR2 is set in the hole region SR2 (Fig. 5 (c)). Similarly, special processing regions PR3 and PR5 are set in the hole regions SR3 and SR5 in which gold pixels exist in the adjacent regions NR3 and NR5. On the other hand, since no golden pixel exists in the adjacent areas NR4 and SR6, no special processing area is set in the hole areas SR4 and SR6.

특별 처리영역은, 인접영역과 같이, 구멍영역의 확대처리에 의해 설정된다. 도 5의 (c)의 예에서는, 특별 처리영역 설정부(240)가, 구멍영역(SR2)의 확대처리를 행한다. 그리고, 확대처리에 의해 확대한 영역(PR2)이, 구멍영역(SR2)에 대응하는 특별 처리영역으로 설정된다. 다른 구멍영역(SR3, SR5)에 대해서도 같다.The special processing area is set by the enlargement process of the hole area like the adjacent area. In the example of FIG. 5C, the special processing region setting unit 240 performs the enlargement process of the hole region SR2. Then, the area PR2 enlarged by the enlargement process is set as a special processing area corresponding to the hole area SR2. The same applies to the other hole regions SR3 and SR5.

또, 도 5의 (c)에서는, 특별 처리영역(PR2, PR3, PR5)이 인접영역(NR2, NR3, NR5)보다도 크게 묘사되어 있지만, 특별 처리영역과 인접영역의 대소(大小)관계는 임의로 설정할 수 있다.In addition, in Fig. 5C, the special processing areas PR2, PR3, PR5 are depicted larger than the adjacent areas NR2, NR3, NR5. However, the relationship between the special processing area and the adjacent area is arbitrarily small. Can be set.

도 3의 스텝 S500에서는, 특별 처리영역 검사부(250)가, 각 특별 처리영역 중의 결함을 검출한다. 구체적으로는, 특별 처리영역 중의 화소의 색이 색의 허용 범위에 포함될 것인가 아닌가를 판단한다. 그리고, 특별 처리영역 중의 모든 화소의 색이 허용범위 내(內)인 경우에는 그 특별 처리영역에는 결함이 없는 것으로 판단되고, 특별 처리영역 중에 허용범위 외(外)의 색의 화소가 있는 경우에는 그 특별 처리영역에 결함이 있는 것으로 판단된다.In step S500 of FIG. 3, the special processing area inspecting unit 250 detects a defect in each special processing area. Specifically, it is judged whether or not the color of the pixel in the special processing region is included in the allowable range of the color. If the colors of all the pixels in the special processing area are within the allowable range, it is determined that the special processing area is free of defects. If there are pixels of a color outside the allowable range in the special processing area, It is determined that the special processing area is defective.

도 6은, 특별 처리영역 내에 결함이 없는 프린트 기판(PCB)에서의 결함 검출처리의 모양을 나타내는 설명도이다. 도 6의 (a)는, 프린트 기판(PCB)의 특별 처리영역의 모양을 나타내고 있다. 또한, 도 6의 (b)는, 프린트 기판(PCB)의 특별 처리영역(PR5) 중의 각 화소의 색분포를 나타내고 있다. 또, 도 6의 (b)에서는 도시의 편의상, R성분과 B성분의 2개의 색성분으로 구성되는 2차원 색공간(이하,「RB 색공간」이라고도 부른다)에서의 각 화소의 색을 표현하는 점이 흑색 원으로 묘사되어 있다.6 is an explanatory diagram showing a state of defect detection processing in a printed circuit board (PCB) without a defect in a special processing region. Fig. 6A shows the shape of the special processing region of the printed circuit board PCB. 6B shows the color distribution of each pixel in the special processing area PR5 of the printed circuit board PCB. In addition, in FIG. 6B, for convenience of illustration, a point of expressing the color of each pixel in a two-dimensional color space (hereinafter also referred to as an "RB color space") composed of two color components, an R component and a B component, is represented. Depicted by a black circle.

도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 프린트 기판(PCB)에서는, 2개의 구멍영역(SR2, SR3)에 대응하는 2개의 특별 처리영역(PR2, PR3)은, 어느 것이나 금색영역(GL)에 포함된다. 한편, 구멍영역(SR5)에 대응하는 특별 처리영역(PR5)은, 금색영역(GL)과 명녹색영역(GB)의 2개의 색영역에 걸치고 있다. 상술한 바와 같이, 이들 2개의 색영역(GL, GB)의 경계는, 실제 프린트 기판(PCB)을 촬영한 컬러 화상에서는 명확하지 않으므로, 특별 처리영역(PR5) 중의 화소의 색은, 금색으로부터 명녹색까지 연속적으로 변화된다. 그 때문에, 특별 처리영역(PR5) 중의 화소의 색을 나타내는 점은, 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 녹색을 표현하는 범위와 금색을 표현 하는 범위에 걸친 RB 색공간 내의 일부분의 범위(XR)(이하,「실재 색범위(XR)」이라고도 부른다)에 분포된다.As shown in FIG. 6A, in the printed circuit board PCB, both of the two special processing regions PR2 and PR3 corresponding to the two hole regions SR2 and SR3 are located in the gold region GL. Included. On the other hand, the special processing area PR5 corresponding to the hole area SR5 spans two color gamuts, the gold area GL and the light green area GB. As described above, since the boundary between these two color gamuts GL and GB is not clear from the color image photographing the actual printed circuit board PCB, the color of the pixel in the special processing area PR5 is bright from gold. It changes continuously until green. Therefore, as for the point which shows the color of the pixel in the special process area | region PR5, as shown to FIG. 6 (b), the range of a part in the RB color space which covers the range which expresses green and the range which expresses gold ( XR) (hereinafter also referred to as "real color range XR").

도 6에 나타내는 바와 같이, 특별 처리영역(PR5) 중의 모든 화소의 색이 실재 색범위(XR)에 속하는 경우, 특별 처리영역 검사부(250)는, 특별 처리영역(PR5)에는 결함이 없는 것으로 판단한다. 다른 특별 처리영역(PR2, PR3)에 대해서도, 특별 처리영역 중의 화소의 색이, 특별 처리영역마다 설정된 실재 색범위에 포함되는가 아닌가에 의해 결함의 유무가 판단된다.As shown in FIG. 6, when the colors of all the pixels in the special processing region PR5 belong to the actual color range XR, the special processing region inspection unit 250 determines that the special processing region PR5 is free of defects. do. In other special processing areas PR2 and PR3, the presence or absence of a defect is determined by whether or not the color of the pixel in the special processing area is included in the actual color range set for each special processing area.

또, 본 실시예에 있어서는, 특별 처리영역(PR5) 중의 각 화소의 색이 실재 색범위(XR)에 속하는가 아닌가는, 개개의 기판의 검사에 앞서 미리 생성되어, 외부 기억장치(50)에 보존된 룩업 테이블(LUT)을 참조하는 것에 의해 판단된다. 여기에서, 룩업 테이블(LUT)이란, RGB 색공간 내의 개별색을 나타내는 RGB 값(「입력점 」이라고도 부른다)을 입력했을 때에, 개별색이 실재 색범위(XR)에 속하는가 아닌가를 나타내는 값(예컨대, 실재 색범위(XR)에 속하는 경우는 1, 속하지 않는 경우는 0)을 출력하는 테이블이다.In addition, in this embodiment, whether or not the color of each pixel in the special processing area PR5 belongs to the actual color range XR is generated in advance before the inspection of the individual substrates and stored in the external storage device 50. It is determined by referring to a lookup table (LUT). Here, the lookup table (LUT) is a value indicating whether or not an individual color belongs to the actual color range (XR) when an RGB value (also called an "input point") indicating an individual color in the RGB color space is input (for example, Is 1 if it belongs to the actual color range (XR), and 0 if it does not belong.

룩업 테이블(LUT)은, 결함이 없는 프린트 기판을 촬영한 컬러 화상인 마스터 화상을 이용하고, 마스터 화상의 특별 처리영역 중의 각 화소의 색(이하,「실재색」이라고도 부른다)에 근거해서 생성된다. 구체적으로는, 룩업 테이블(LUT)은, 모든 입력점에 대해서 0을 출력하는 룩업 테이블을 생성하고, 그 마스터 화상의 특별 처리영역의 각 화소의 색에 대응하는 출력값을 1로 변경하는 것에 의해 생성된다. 이렇게, 룩업 테이블의 출력값을 재기록하는 것에 의해, 출력값이 1인 색의 범위가 실재 색범위(XR)가 된다. 또, 룩업 테이블(LUT)의 생성의 후, 룩업 테이블(LUT)의 각 입력점에 대해서, 입력점의 8근방의 출력값의 어느 것인가가 1인 경우에 입력 점에 대응하는 출력값을 1로 변경하는 팽창처리를 행하는 것이 바람직하다. 이 팽창처리를 행하는 것에 의해, 결함이 없는 프린트 기판(PCB)에 존재할 수 있는 색으로서, 마스터 화상의 특별 처리영역에는 출현하고 있지 않는 색을 실재 색범위(XR)에 포함시키는 것이 가능해진다.The lookup table LUT is generated based on the color (hereinafter, also referred to as "real color") of each pixel in the special processing area of the master image, using a master image which is a color image photographing a printed board without defects. . Specifically, the lookup table LUT is generated by generating a lookup table that outputs 0 for all input points and changing the output value corresponding to the color of each pixel of the special processing region of the master image to 1. do. In this way, by rewriting the output value of the lookup table, the color range having the output value of 1 becomes the actual color range XR. After generating the lookup table (LUT), for each input point of the lookup table (LUT), the output value corresponding to the input point is changed to 1 when one of the output values near 8 of the input point is 1. It is preferable to perform an expansion treatment. By performing this expansion process, it is possible to include in the actual color range XR a color which may exist in a defect-free printed circuit board (PCB), which does not appear in a special processing region of the master image.

또, 본 실시예에서의 룩업 테이블(LUT)은, 개별색이 실재 색범위로 속하는가 아닌가를 나타내는 값(실재색 플래그)을 출력하고 있지만, 룩업 테이블의 출력값은, 개별색이 실재 색범위에 속하는가 아닌가가 판정 가능한 값이라면 좋다. 예컨대, 개별색이 색공간 중의 어느 색을 표현하는 영역에 속하는가를 나타내는 값(색번호)과, 실재색 플래그로부터 생성되는 값을 룩업 테이블의 출력값으로 하는 것도 가능하다.The lookup table LUT in this embodiment outputs a value (real color flag) indicating whether or not the individual color belongs to the real color range. However, the output value of the lookup table indicates whether the individual color belongs to the real color range. It may be any value that can be determined. For example, a value (color number) indicating which color in the color space belongs to an area representing a color space and a value generated from an actual color flag can be used as output values of a lookup table.

또한, 본 실시예에서는, 특별 처리영역 중의 화소의 색이 허용할 수 있는 색의 범위에 포함되는가 아닌가를 룩업 테이블(LUT)을 참조하는 것에 의해 판단하고 있지만, 다른 방법을 이용하는 것도 가능하다. 예컨대, RGB 각 성분마다 상한값과 하한값을 설정하고, 특별 처리영역 중의 화소의 RGB 각 성분값이, 각각 상한값과 하한값의 사이에 있는 경우에 그 화소의 색이 허용할 수 있는 색의 범위인 것으로 판단하는 것으로 하여도 좋다.In the present embodiment, it is determined by referring to the lookup table (LUT) whether or not the color of the pixel in the special processing region is within the allowable color range, but other methods may be used. For example, if the upper limit value and the lower limit value are set for each RGB component, and each RGB component value of the pixel in the special processing region is between the upper limit value and the lower limit value, it is determined that the color of the pixel is an acceptable color range. You may do it.

도 7은, 특별 처리영역 내에 결함이 있는 프린트 기판(PCB)에서의 결함 검출처리의 모양을 나타내는 설명도이다. 도 6과 마찬가지로, 도 7의 (a)는, 프린트 기 판(PCB)의 특별 처리영역의 모양을 나타내고, 도 7의 (b)는, 프린트 기판(PCB)의 특별 처리영역(PR5) 중의 각 화소의 색분포를 나타내고 있다.7 is an explanatory diagram showing a state of defect detection processing in a printed circuit board (PCB) having a defect in a special processing region. As shown in FIG. 6, FIG. 7A shows the shape of the special processing region of the printed circuit board PCB, and FIG. 7B shows each of the special processing regions PR5 of the printed circuit board PCB. The color distribution of the pixel is shown.

도 7의 (a)에 나타내는 예에서는, 특별 처리영역(PR5) 중에 2개의 결함을 나타내는 2개의 화상영역(DF1, DF2)(「결함 화상영역」이라고도 부른다)이 존재한다. 이들 결함 화상영역(DF1, DF2)은, 각각 도 7의 (b)의 흑삼각과 흑사각으로 표현되는 바와 같이, 결함이 없는 프린트 기판(PCB)의 특별 처리영역(PR5)에 나타나는 색과는 다른색을 갖고 있다. 이렇게, 특별 처리영역 내에 결함이 있는 프린트 기판(PCB)에서는, 특별 처리영역(PR5)이, 흑색 원으로 표현되는 실재색 범위(XR)에 속하는 색의 화소의 이외에, 흑삼각 및 흑사각으로 표현되는 실재색 범위(XR)에 속하지 않는 색의 화소를 갖고 있다. 그 때문에, 특별 처리영역 검사부(250)는, 특별 처리영역(PR5)에 결함이 있는 것으로 판단한다.In the example shown in FIG. 7A, two image areas DF1 and DF2 (also referred to as "defective image areas") exist in the special processing area PR5 indicating two defects. These defective image areas DF1 and DF2 are different from the colors appearing in the special processing area PR5 of the defect-free printed circuit board PCB, as represented by the black triangle and the black square in FIG. It has a different color. In this way, in the printed circuit board PCB having a defect in the special processing region, the special processing region PR5 is represented by a black triangle and a black square in addition to the pixels of the color belonging to the actual color range XR represented by the black circle. It has the pixel of the color which does not belong to the actual color range XR. Therefore, the special processing area inspection unit 250 determines that the special processing area PR5 is defective.

도 3의 스텝 S600에서는, 마스크 이외 영역 검사부(260)가, 컬러 화상(IM)으로부터 특별 처리영역과 구멍영역(이들 영역을 병용해서,「마스크 영역」이라고 부른다)을 제외한 화상영역(마스크 이외의 영역) 중의 결함을 검출한다. 구체적으로는, 예컨대, 마스크 이외 영역을 영역 분할하고, 그 영역분할 결과상에서의 대표색영역의 위치나 형상에 근거해서 프린트 기판(PCB)의 결함의 유무를 판단한다. 마스크 이외 영역은, 컬러 화상(IM)으로부터 색의 허용 범위가 넓은 특별 처리영역이 제외되어 있으므로, 영역분할에 의해 신뢰성의 높은 결함검출을 행할 수 있다.In step S600 of FIG. 3, the non-mask area inspection unit 260 removes the special processing area and the hole area (these areas are referred to as "mask areas") from the color image IM (other than the mask). Defect in the area) is detected. Specifically, for example, regions other than the mask are divided into regions, and the presence or absence of a defect in the printed circuit board (PCB) is determined based on the position and the shape of the representative color region on the region division result. In the area other than the mask, since the special processing area having a wide allowable range of colors is excluded from the color image IM, highly reliable defect detection can be performed by area division.

도 8은, 결함이 없는 프린트 기판(PCB)에 대해서, 결함처리 검출처리를 행한 결과를 나타내는 설명도이다. 특별 처리영역을 설정하지 않는 비교예에서는, 도 8 의 (a)에 나타내는 바와 같이, 영역분할에 의해 박 레지스트 영역(RTR)의 색이 금색영역(GL)이 된다. 그 때문에, 본래 녹색이 되는 레지스트가 도포된 영역이 금색으로 되어 있는 것으로 판단되어, 박 레지스트 영역(RTR)이 결함으로서 검출된다.한편, 본 실시예에서는, 박 레지스트 영역(RTR)에 대해서는 특별 결함 검출처리가 행하여지고 있기 때문에, 박 레지스트 영역(RTR)은 결함으로서 검출되지 않는다.FIG. 8: is explanatory drawing which shows the result of having performed the defect processing detection process with respect to the printed circuit board (PCB) without a defect. In a comparative example in which no special processing region is set, as shown in FIG. 8A, the color of the thin resist region RTR becomes the gold region GL by region division. Therefore, it is judged that the area | region to which the resist which became originally green was apply | coated is gold, and the thin resist area | region RTR is detected as a defect. On the other hand, in this embodiment, a special defect with respect to the thin resist area | region RTR is Since the detection process is performed, the thin resist region RTR is not detected as a defect.

이렇게, 본 실시예에서는, 구멍영역의 주위에 인접영역을 설치하고, 인접영역에 특정한 색이 포함되어 있는 경우에 구멍영역을 포함하는 마스크 영역을 확대하고 있으므로, 구멍영역에 인접하는 박 레지스트 영역(RTR)을 결함으로서 오인식하는 가능성을 저감할 수 있다. 또한, 구멍영역의 주위에 특별 처리영역을 설치하고, 특별 처리영역의 결함을 검출하고 있으므로, 구멍영역의 주위에 존재하는 결함의 검출이 가능해진다.Thus, in this embodiment, since the adjacent area is provided around the hole area, and the mask area including the hole area is enlarged when the adjacent area contains a specific color, the thin resist area adjacent to the hole area ( The possibility of misrecognizing RTR) as a defect can be reduced. In addition, since a special processing area is provided around the hole area and a defect of the special processing area is detected, a defect existing around the hole area can be detected.

B. 제2 실시예:B. Second Embodiment

도 9는, 제2 실시예에서의 프린트 기판(PCB)의 결함을 검출하는 순서를 나타내는 플로우 챠트이다. 도 9의 플로우 챠트는, 스텝 S200, S300의 사이에 2개의 스텝 S310, S320이 추가되어 있는 점에서, 도 3에 나타내는 플로우 챠트와 다르다. 그 이외는, 도 3과 같다.9 is a flowchart showing a procedure of detecting a defect of a printed circuit board (PCB) in the second embodiment. The flowchart of FIG. 9 differs from the flowchart shown in FIG. 3 in that two steps S310 and S320 are added between steps S200 and S300. Other than that is the same as FIG.

스텝 S310에서는, 인접영역 취득부(230)(도 1)가, 구멍영역의 확대처리에 의해 경계영역을 취득한다. 그리고, 스텝 S320에 있어서, 경계영역의 색에 따라서, 인접영역을 이용한 특별 처리영역의 설정 판정의 필요와 불필요가 결정된다.In step S310, the adjacent region acquisition unit 230 (FIG. 1) acquires the boundary region by the enlargement process of the hole region. In step S320, the necessity and necessity of determining the setting of the special processing region using the adjacent region is determined according to the color of the boundary region.

도 10은, 경계영역을 이용한 인접영역의 설정의 모양을 나타내는 설명도이 다. 도 10의 (a)는, 2개의 구멍영역(SR1, SR3)의 부근에서 색영역의 배치를 나타내고 있다. 인접영역 취득부(230)(도 1)는, 구멍영역(SR1, SR3)의 확대처리에 의해 경계영역(TR1, TR3)을 취득한다. 그리고, 경계영역(TR1, TR3) 중에 소정의 색(예컨대, 금색)의 화소가 존재하는 경우, 특별 처리영역의 설정이 필요하다고 판단되어, 구멍영역(SR1, SR3)의 주위에 인접영역이 설정된다. 또한, 다른 구멍영역에 대해서도, 같은 처리가 행하여진다.Fig. 10 is an explanatory diagram showing the setting of the setting of the adjacent region using the boundary region. Fig. 10A shows the arrangement of the color gamut in the vicinity of two hole areas SR1 and SR3. The adjacent area acquisition unit 230 (Fig. 1) acquires the boundary areas TR1 and TR3 by the enlargement process of the hole areas SR1 and SR3. When a pixel of a predetermined color (for example, gold color) exists in the boundary regions TR1 and TR3, it is determined that a special processing region needs to be set, and an adjacent region is set around the hole regions SR1 and SR3. do. The same processing is also performed for the other hole regions.

도 10의 (b)는, 경계영역(TR1, TR3)을 이용해서 설정된 인접영역의 배치를 나타내고 있다. 도 10의 예에서는, 경계영역(TR1)(암녹색영역(GD)에 포함된다)에는 금색의 화소가 존재하지 않으므로, 구멍영역(SR1)에는 인접영역이 설정되지 않는다. 한편, 경계영역(TR3)(금색영역(GL)에 포함된다)에는 금색의 화소가 존재하므로, 구멍영역(SR3)에는 인접영역(NR3)이 설정된다. 또, 도 10의 (b)에 나타내는 바와 같이, 인접영역(NR3)은, 경계영역(TR3)보다도 커지도록 설정된다.FIG. 10B shows the arrangement of the adjacent areas set using the boundary areas TR1 and TR3. In the example of FIG. 10, since no golden pixel exists in the boundary region TR1 (included in the dark green region GD), no adjacent region is set in the hole region SR1. On the other hand, since the golden pixel exists in the boundary region TR3 (included in the gold region GL), the adjacent region NR3 is set in the hole region SR3. As shown in FIG. 10B, the adjacent region NR3 is set to be larger than the boundary region TR3.

이렇게, 제2 실시예에서는, 특별 처리영역의 설정 판정의 필요와 불필요를 경계영역의 색에 따라 결정하고, 특별 처리영역의 설정 판정이 필요한 구멍영역에 대해서만 인접영역을 이용한 특별 처리영역의 설정의 유무를 결정하는 것에 의해, 인접영역의 화상처리량을 저감할 수 있다.Thus, in the second embodiment, the necessity and necessity of the determination of the setting of the special processing area are determined according to the color of the boundary area, and the setting of the special processing area using the adjacent area is made only for the hole area for which the setting determination of the special processing area is required. By determining the presence or absence, the image processing amount of the adjacent area can be reduced.

C. 변형예:C. Modifications:

또, 본 발명은 상기 실시예나 실시형태에 한정되나 것은 아니고, 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지 양태로 실시하는 것이 가능하며, 예컨대 다음과 같은 변형도 가능하다.In addition, this invention is not limited to the said Example and embodiment, It can implement in various aspects in the range which does not deviate from the summary, For example, the following modification is also possible.

C1. 변형예1:C1. Modification 1:

상기 각 실시예에서는, 특별 처리영역을 구멍영역의 주위에 설정하고 있지만, 구멍영역 이외의 특정영역을 추출하고, 그 주위에 특별 처리영역을 설정할 수도 있다. 이 경우, 특정영역은, 컬러 화상(IM)의 영역분할에 의해 생성된 특정한 색의 영역의 추출이나, CAD 데이터로의 특정한 영역의 위치나 형상의 취득 등에 의해 취득할 수 있다. 또, 특정영역으로서는, 컬러 화상 중에서 소정의 색(예컨대, 흑색)을 갖는 영역을 선택하는 것이 바람직하다.In each of the above embodiments, the special processing area is set around the hole area, but a specific area other than the hole area can be extracted and a special processing area can be set around the hole area. In this case, the specific area can be obtained by extraction of the area of the specific color generated by area division of the color image IM, acquisition of the position or shape of the specific area in the CAD data. In addition, it is preferable to select a region having a predetermined color (for example, black) from the color image as the specific region.

C2. 변형예2:C2. Modification 2:

상기 각 실시예에서는, 인접영역에 특정한 색의 화소가 포함되는가 아닌가에 의해 특별 처리영역의 필요와 불필요를 결정하고 있지만, 일반적으로는, 인접영역의 색에 따라 특별 처리영역의 필요와 불필요를 결정할 수 있다. 구체적으로는, 소정의 색공간 내에서 인접영역 중의 각 화소의 색이 소정의 색분포 범위 이외의 경우에, 특별 처리영역을 설정하는 것도 가능하다. 또한, 인접영역이 소정의 복수의 대표색 영역의 중 2개 이상의 대표색 영역에 걸치는 경우에, 특별 처리영역을 설정하는 것으로 하여도 좋다. 여기서「대표색 영역」이란, 복수의 대표색을 이용한 영역분할에 의해 컬러 화상으로부터 생성되는 개개의 대표색에 대응하는 화상 상의 영역이다. 이 경우, 인접영역이 2개 이상의 대표색 영역에 걸치는가 아닌가는, 미리 컬러 화상의 영역분할을 행하고, 인접영역에 포함되는 대표색 영역의 수가 2 이상인가 아닌가로 판단할 수 있다.In each of the above embodiments, the necessity and unnecessaryness of the special processing region are determined by whether or not pixels of a specific color are included in the adjacent region. In general, the necessity and need of the special processing region is determined according to the color of the adjacent region. Can be. Specifically, in the case where the color of each pixel in the adjacent region is outside the predetermined color distribution range within the predetermined color space, it is also possible to set a special processing region. It is also possible to set a special processing area when the adjacent area extends over two or more representative color areas of the predetermined plurality of representative color areas. Here, the "representative color area" is an area on the image corresponding to each representative color generated from the color image by area division using a plurality of representative colors. In this case, whether or not the adjacent area spans two or more representative color areas can be pre-divided into a color image, and it can be determined whether the number of representative color areas included in the adjacent area is two or more.

C3. 변형예3:C3. Modification 3:

상기 각 실시예에서는, 도 3의 스텝 S500에 있어서, 특별 처리영역 검사부(250)(도 1)가, 특별 처리영역 중의 결함 검출처리를 행하고 있지만, 특별 처리영역 중의 결함 검출처리를 생략해도 좋다. 즉, 특별 처리영역과 구멍영역을 병용한마스크 영역은 결함 검출처리되지 않고, 마스크 영역 이외의 영역은 결함 검출처리된다.In each of the above embodiments, in step S500 of FIG. 3, the special processing region inspection unit 250 (FIG. 1) performs the defect detection processing in the special processing region. However, the defect detection processing in the special processing region may be omitted. That is, the mask area which uses the special processing area and the hole area together is not subjected to defect detection processing, and the area other than the mask area is subjected to defect detection processing.

C4. 변형예4:C4. Modification 4:

상기 각 실시예에서는, 각 구멍영역마다 결정되는 특별 처리영역의 필요와 불필요에 따라 마스크 영역(=구멍영역+특별 처리영역)을 설정하고 있지만, 일반적으로는, 인접영역의 색에 따라 마스크 영역의 크기를 바꿀 수 있으면 좋다. 이 경우, 마스크 영역은, 인접영역에 특정한 색의 화소가 포함되는 경우에 크게 설정되고, 인접영역에 특정한 색의 화소가 포함되지 않는 경우에는 작게 설정되는 것이 바람직하다.In each of the above embodiments, the mask area (= hole area + special processing area) is set according to the necessity and unnecessaryness of the special processing area determined for each hole area. You can change the size. In this case, the mask area is preferably set large when the pixels of a specific color are included in the adjacent area, and set small when the pixels of a particular color are not included in the adjacent area.

C5. 변형예5:C5. Variation 5:

상기 각 실시예에서는, 구멍영역을 이용해서 특별 처리영역을 설정하고 있지만, 구멍영역과는 관계없이, 소정의 조건을 충족하는 영역을 특별 처리영역으로 설정하는 것으로 하여도 좋다. 소정의 조건을 충족하는 영역으로서는, 예컨대, 프린트 기판(PCB)의 금도금영역(RGP)과 같이, 미리 정해진 위치나 형상의 영역이나, 구멍영역의 주위의 소정의 색을 갖는 영역으로 할 수 있다.In each of the above embodiments, the special processing area is set using the hole area. However, the area satisfying the predetermined condition may be set as the special processing area regardless of the hole area. The region satisfying the predetermined condition may be, for example, a region having a predetermined position or shape, or a region having a predetermined color around the hole region, such as the gold-plated region RGP of the printed circuit board PCB.

C6. 변형예6:C6. Variation 6:

본 발명에 의한 특별 처리영역의 설정과, 특별 처리영역 중의 결함의 검출 은, 프린트 기판에 한정하지 않고, 검사 대상물을 촬영한 컬러 화상 상에서의 색의 허용범위가 서로 다른 화상영역을 갖는 임의의 물체의 결함검출에 대해서 적용할 수 있다. 예컨대, 패턴 형성된 반도체 웨이퍼나, 복잡한 형상을 갖는 기계부품 등의 검사 대상물을 촬영한 컬러 화상을 이용한 이들 검사 대상물의 결함검출에도 적용할 수 있다.The setting of the special processing area according to the present invention and the detection of defects in the special processing area are not limited to a printed board, but any object having an image area having different allowable ranges of colors on the color image photographing the inspection object. It is applicable to the defect detection of. For example, the present invention can also be applied to defect detection of these inspection objects using color images obtained by photographing inspection objects such as patterned semiconductor wafers and machine parts having complex shapes.

상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면 인접영역의 색(色)에 따라 마스크 영역의 크기가 변경되므로, 검사 대상물의 결함 검출처리의 신뢰성을 높일 수 있다는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, since the size of the mask area is changed according to the color of the adjacent area, there is an effect that the reliability of the defect detection process of the inspection object can be improved.

또한, 본 발명에 의하면, 마스크 영역 중에 나타나는 결함을 검출할 수 있다는 효과가 있다.Moreover, according to this invention, there exists an effect that the defect shown in the mask area can be detected.

또, 본 발명에 의하면, 소정의 조건을 충족하는 특별 처리영역의 결함을 검출할 수 있다는 효과도 있다.Moreover, according to this invention, there also exists an effect that the defect of the special process area which satisfy | fills a predetermined condition can be detected.

또한, 본 발명에 의하면, 마스터 화상의 특별 처리영역 중의 화소의 색으로부터 실재 색범위를 설정할 수 있으므로, 실재 색범위의 설정이 용이해진다는 효과도 있다.Further, according to the present invention, since the actual color range can be set from the color of the pixel in the special processing area of the master image, there is an effect that the setting of the actual color range becomes easy.

또, 본 발명에 의하면, 특별 처리영역 중의 화소의 색이 실재 색범위에 속하는가 아닌가의 판단이 룩업 테이블을 참조하는 것에 의해 판정할 수 있으므로, 특별 처리영역의 검사를 보다 고속으로 행할 수 있다는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, since it is possible to determine whether or not the color of the pixel in the special processing region belongs to the actual color range by referring to the lookup table, the effect of inspecting the special processing region can be performed at a higher speed. have.

또한, 본 발명에 의하면, 경계영역의 색이 소정의 조건을 충족하지 않는 경 우에 인접영역의 색에 따라 마스크 영역의 크기가 변경되므로, 인접영역의 화상처리량을 저감할 수 있다는 효과도 있다.Further, according to the present invention, when the color of the border region does not satisfy a predetermined condition, the size of the mask region is changed according to the color of the neighbor region, so that the amount of image processing of the neighbor region can be reduced.

그리고, 본 발명에 의하면, 마스크 영역의 크기를 보다 적절에 설정할 수 있다는 효과가 있다.And according to this invention, there exists an effect that the size of a mask area | region can be set more appropriately.

게다가, 본 발명에 의하면, 프린트 기판의 결함 검출처리의 신뢰성을 높일 수 있다는 효과도 있다.Moreover, according to this invention, there also exists an effect that the reliability of the defect detection process of a printed board can be improved.

Claims (13)

스루홀을 포함하는 검사 대상물을 촬영한 컬러 화상을 이용하여, 상기 검사 대상물의 결함을 검출하는 방법으로서,As a method of detecting a defect of an inspection object by using a color image photographing an inspection object including a through hole, (a) 상기 컬러 화상 중의 상기 스루홀에 상당하는 특정(特定)영역을 취득하는 공정과, (a) obtaining a specific area corresponding to the through hole in the color image; (b) 상기 특정영역의 주위의 인접(隣接)영역을 취득하는 공정과,(b) acquiring adjacent regions around the specific region; (c) 상기 특정영역을 포함하는 마스크 영역을 설정하는 공정과,(c) setting a mask region including the specific region; (d) 상기 컬러 화상 중 상기 마스크 영역 이외의 영역에 대해서, 소정의 결함 검출처리를 행하는 공정을 구비하고,(d) a step of performing a predetermined defect detection process on an area other than the mask area in the color image, 상기 마스크 영역의 크기는, 상기 인접영역의 색(色)에 따라 변경되는 검사 대상물의 결함을 검출하는 방법.And a size of the mask region is changed according to a color of the adjacent region. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 마스크 영역은, 상기 특정영역과, 상기 특정영역의 주위를 포함하는 특별 처리영역을 갖고,The mask area has the specific area and a special processing area including the periphery of the specific area, 상기 방법은,The method, (e) 상기 특별 처리영역에 대해서, 상기 소정의 결함 검출처리와는 다른 특별 결함처리를 행하는 공정을 더 구비하는 검사 대상물의 결함을 검출하는 방법.(e) A method for detecting a defect of an inspection object further comprising a step of performing a special defect processing different from the predetermined defect detection process in the special processing region. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, (f) 소정의 색(色)공간 내에, 상기 특별 처리영역이 취할 수 있는 색의 범위를 나타내는 실재(實在) 색범위와, 상기 실재 색범위 이외의 비실재 색범위를 설정하는 공정을 더 구비하고 있고,(f) further comprising a step of setting a real color range representing a range of colors that the special processing region can take within a predetermined color space and a non-real color range other than the real color range. Doing 상기 공정 (e)는,The step (e), (e1) 상기 특별 처리영역을 구성하는 각 화소의 색이 상기 실재 색범위와 상기 비실재 색범위의 어느 하나에 속하는가를 판정하는 것에 의해, 상기 특별 처리영역 중의 결함을 검출하는 공정을 포함하는 검사 대상물의 결함을 검출하는 방법.(e1) An inspection comprising detecting a defect in the special processing region by determining whether the color of each pixel constituting the special processing region belongs to one of the real color range and the non-real color range. Method of detecting defects of an object. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 공정 (f)는,The step (f), 상기 검사 대상물의 표준적인 컬러 화상인 마스터 화상을 준비하는 공정과,Preparing a master image which is a standard color image of the inspection object; 상기 마스터 화상 중의 상기 특별 처리영역을 구성하는 화소의 색을 포함하는 상기 소정의 색공간의 일부의 범위를 상기 실재 색범위로 설정하는 공정을 포함하는 검사 대상물의 결함을 검출하는 방법.And a step of setting a range of a part of the predetermined color space including the color of the pixels constituting the special processing area in the master image as the actual color range. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 공정 (f)는, 상기 소정의 색공간 내의 임의의 색을 입력으로 하고, 상기 임의의 색이 상기 실재 색범위와 상기 비실재 색범위의 어느 것인가에 속하는가를 나타내는 값을 출력하는 룩업 테이블을 작성하는 공정을 포함하고,The step (f) takes an arbitrary color in the predetermined color space as an input, and a lookup table for outputting a value indicating whether the arbitrary color belongs to the real color range or the non-real color range. Including the process of creating, 상기 공정 (e1)은, 상기 룩업 테이블을 참조해서 상기 각 화소의 색이 상기 실재 색범위와 상기 비실재 색범위의 어느 하나에 속하는가를 판정하는 공정을 포함하는 검사 대상물의 결함을 검출하는 방법.The step (e1) includes a step of determining whether a color of each pixel belongs to one of the real color range and the non-real color range with reference to the lookup table. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 공정 (f)는,The step (f), 상기 검사 대상물의 표준적인 컬러 화상인 마스터 화상을 준비하는 공정과,Preparing a master image which is a standard color image of the inspection object; 상기 마스터 화상 중의 상기 특별 처리영역을 구성하는 화소의 색을 포함하는 상기 소정의 색공간의 일부의 범위를 상기 실재 색범위로 설정하는 공정을 포함하는 검사 대상물의 결함을 검출하는 방법.And a step of setting a range of a part of the predetermined color space including the color of the pixels constituting the special processing area in the master image as the actual color range. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 6, 상기 공정 (b)는,The step (b), (b1) 상기 특정영역의 주변의 경계(境界)영역을 취득하는 공정과,(b1) obtaining a boundary area around the specific area; (b2) 상기 경계영역의 색이 소정의 조건을 충족하는 경우에, 상기 경계영역을 포함해 상기 경계영역보다도 큰 상기 인접영역을 취득하는 공정과,(b2) when the color of the boundary region satisfies a predetermined condition, acquiring the adjacent region including the boundary region and larger than the boundary region; (b3) 상기 경계영역의 색이 상기 소정의 조건을 충족하지 않는 경우에, 상기 마스크 영역의 크기를 소정의 크기로 설정하는 공정을 포함하는 검사 대상물의 결함을 검출하는 방법.and (b3) if the color of the border region does not satisfy the predetermined condition, setting a size of the mask region to a predetermined size. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 소정의 조건은, 상기 경계영역 중에 소정의 제1의 색범위의 화소가 존재한다는 조건이며,The predetermined condition is a condition that a pixel having a predetermined first color range exists in the boundary region. 상기 공정 (c)는, 상기 인접영역 중의 화소의 색이 소정의 제2의 색범위 이외인 경우에, 상기 제2의 색범위인 경우보다도 상기 마스크 영역을 크게 하는 공정을 포함하는 검사 대상물의 결함을 검출하는 방법.The step (c) includes a step of making the mask area larger than the case of the second color range when the color of the pixel in the adjacent region is outside the second predetermined color range. How to detect. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 6, 상기 검사 대상물은 프린트 기판인 검사 대상물의 결함을 검출하는 방법.And said defect to be inspected is a printed circuit board. 스루홀을 포함하는 검사 대상물을 촬영한 컬러 화상을 이용하여, 상기 검사 대상물의 결함을 검출하는 장치로서,An apparatus for detecting a defect of an inspection object by using a color image photographing an inspection object including a through hole, 상기 컬러 화상 중의 상기 스루홀에 상당하는 특정영역을 취득하는 특정영역 취득부와,A specific area acquisition unit for acquiring a specific area corresponding to the through hole in the color image; 상기 특정영역의 주위의 인접영역을 취득하는 인접영역 취득부와,An adjacent area acquisition unit for acquiring adjacent areas around the specific area; 상기 특정영역을 포함하는 마스크 영역을 설정하는 마스크 영역 설정부와,A mask region setting unit for setting a mask region including the specific region; 상기 컬러 화상 중 상기 마스크 영역 이외의 영역에 대해서, 소정의 결함 검출처리를 행하는 마스크 영역 이외 검사부를 구비하고,An inspection part other than the mask area for performing a predetermined defect detection process on an area other than the mask area in the color image, 상기 마스크 영역의 크기는, 상기 인접영역의 색에 따라 변경되는 검사 대상물의 결함을 검출하는 장치.And an apparatus for detecting a defect of an inspection object whose size of the mask region is changed according to the color of the adjacent region. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 마스크 영역은, 상기 특정영역과, 상기 특정영역의 주위를 포함하는 특별 처리영역을 갖고,The mask area has the specific area and a special processing area including the periphery of the specific area, 상기 장치는, The device, 상기 특별 처리영역에 대해서, 상기 소정의 결함 검출처리와는 다른 특별 결함처리를 행하는 특별 처리영역 검사부를 더 구비하는 검사 대상물의 결함을 검출하는 장치.An apparatus for detecting a defect of an inspection object further comprising a special processing region inspection unit that performs a special defect processing different from the predetermined defect detection process in the special processing region. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 소정의 색공간 내에, 상기 특별 처리영역이 취할 수 있는 색의 범위를 나타내는 실재 색범위와, 상기 실재 색범위 이외의 비실재 색범위를 설정하는 실재 색범위 설정부를 더 구비하고 있고,And a real color range setting section for setting a real color range representing a range of colors that the special processing region can take and a non-real color range other than the real color range in a predetermined color space. 상기 특별 처리영역 검사부는, 상기 특별 처리영역을 구성하는 각 화소의 색이 상기 실재 색범위와 상기 비실재 색범위의 어느 하나에 속하는가를 판정하는 것에 의해, 상기 특별 처리영역 중의 결함을 검출하는 특별 처리영역 색판정부를 갖는 검사 대상물의 결함을 검출하는 장치.The special processing region inspecting unit detects a defect in the special processing region by determining whether the color of each pixel constituting the special processing region belongs to one of the real color range and the non-real color range. An apparatus for detecting a defect of an inspection object having a processing area color plate unit. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 실재 색범위 설정부는, 상기 소정의 색공간 내의 임의의 색을 입력으로 하고, 상기 임의의 색이 상기 실재 색범위와 상기 비실재 색범위의 어느 것인가에 속하는가를 나타내는 값을 출력하는 룩업 테이블을 작성하는 룩업 테이블 작성부를 구비하고,The real color range setting unit inputs an arbitrary color in the predetermined color space, and outputs a lookup table that outputs a value indicating whether the arbitrary color belongs to the real color range or the non-real color range. It has lookup table creation part to make, 상기 특별 처리영역 색판정부는, 상기 룩업 테이블을 참조해서 상기 각 화소의 색이 상기 실재 색범위와 상기 비실재 색범위의 어느 하나에 속하는가를 판정하는 룩업 테이블 참조부를 구비하는 검사 대상물의 결함을 검출하는 장치.The special processing region color judgment unit detects a defect of an inspection object having a lookup table reference section for determining whether the color of each pixel belongs to one of the real color range and the non-real color range with reference to the lookup table. Device.
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