KR20060044212A - Method and apparatus for cleaning of contaminated surface - Google Patents

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KR20060044212A
KR20060044212A KR1020040092054A KR20040092054A KR20060044212A KR 20060044212 A KR20060044212 A KR 20060044212A KR 1020040092054 A KR1020040092054 A KR 1020040092054A KR 20040092054 A KR20040092054 A KR 20040092054A KR 20060044212 A KR20060044212 A KR 20060044212A
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Abstract

본 발명은 오염물을 제거하는 세정방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명은 오염물을 제거하기 위한 세정방법에 있어서, 얼음입자를 형성하는 단계와, 형성된 얼음입자를 상기 오염물에 분사하는 단계와, 분사된 얼음입자에 의해 오염물이 제거되는 단계, 및 제거된 오염물이 얼음입자의 용융에 의해 구속되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 작업자에게 피로를 적게 줄 수 있는 효과를 지니고 있을 뿐 만 아니라 가공물의 변형도 줄일 수 있는 효과를 제공한다.The present invention relates to a cleaning method and apparatus for removing contaminants. The present invention provides a cleaning method for removing contaminants, the method comprising: forming ice particles, spraying the formed ice particles onto the contaminants, removing the contaminants by the sprayed ice particles, and removing the contaminants. It characterized in that it comprises a step of restrained by the melting of the ice particles. Therefore, the present invention not only has an effect of reducing fatigue to the operator but also provides an effect of reducing deformation of the workpiece.

얼음입자, 브라스트, 세정, 페인트, 제거Ice particles, blast, cleaning, paint, removal

Description

오염물을 제거하는 세정방법 및 장치{Method and apparatus for cleaning of contaminated surface} Cleaning method and apparatus for removing contaminants {Method and apparatus for cleaning of contaminated surface}             

도 1은 아르곤고체를 사용하는 종래의 오염물을 제거하는 세정장치를 설명하기 위한 도면,        1 is a view for explaining a conventional cleaning apparatus for removing contaminants using an argon solid;

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 오염물을 제거하는 세정방법을 설명하기 위한 도면, 2 is a view for explaining a cleaning method for removing contaminants according to an embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 과정 중에 발사되는 얼음입자의 조각의 상태도, 3 is a state diagram of a piece of ice particles to be launched during the process of the present invention,

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 오염물을 제거하는 세정장치를 설명하기 위한 도면.Figure 4 is a view for explaining a cleaning device for removing contaminants according to an embodiment of the present invention.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

111 : 기판 112 : 오염물111 substrate 112 contaminants

113 : 얼음입자 120 : 분사노즐113: ice particles 120: injection nozzle

130 : 냉각기 140 : 얼음공급기130: cooler 140: ice feeder

150 : 에어컴프레셔 160 : 모터150: air compressor 160: motor

170 : 얼음공급관 180, 190 : 냉각공기공급관170: ice supply pipe 180, 190: cooling air supply pipe

본 발명은 오염물을 제거하는 세정장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 오염물이 부착된 물체의 표면을 세정할 때 부착된 오염물이나 에칭찌꺼기를 제거 할 수 있는 오염물을 제거하는 세정방법 및 장치에 관한 것이다.       The present invention relates to a cleaning apparatus and method for removing contaminants, and more particularly, to a cleaning method and apparatus for removing contaminants that can remove attached contaminants or etching residues when cleaning surfaces of contaminants.

선박의 용접부의 대표적인 오염물인 페인트는 용접과정에서 발생되는 열에 의해서 변형이 되므로 부식을 방지하는 효과를 발휘하지 못하므로 변형된 페인트 및 용접과정에서 발생된 스케일을 제거한 후 다시 페인트작업을 하는 것이 일반적이다. 이와 같은 페인트 제거과정에서는 일반적으로 연삭기에 숫돌을 달고, 숫돌을 고속으로 회전시켜 불필요한 부위의 페인트를 제거하는 방식이 일반적으로 이용되고 있다. 이와 같은 연마방식으로 작업을 하는 경우, 작업성이 저하되고 작업과정에서 발생되는 진동이 사람의 인체에 전달되어 작업을 힘들게 할 뿐 만 아니라 장기간 작업을 하는 사람들의 관절이 상하게 하여 직업병을 발생시키기도 하여, 직무기피를 하는 요인이 되었고, 전체적인 작업효율을 저하시키는 원인이 되었다.        The paint, which is a representative contaminant of the welding part of the ship, is deformed by the heat generated during the welding process, so it does not exert the effect of preventing corrosion. Therefore, it is common to remove the deformed paint and scale generated during the welding process and then repaint. . In the paint removal process, a grinding wheel is generally attached to a grinder, and the grinding wheel is rotated at a high speed to remove paint in unnecessary areas. When working in such a grinding method, workability is lowered and vibrations generated in the work process are transmitted to the human body, which not only makes the work difficult, but also causes occupational diseases by damaging the joints of long-term working people. In addition, the job avoidance was a factor and the overall work efficiency was reduced.

이와 유사한 형태의 작업은 사고난 차량의 도색 시 페인트를 제거하거나, 도로의 차선 등의 변경 등을 할 때도 발생된다. A similar type of work can also occur when painting an accidental vehicle, removing paint or changing road lanes.

이와 다른 분야로 LSI제조공정에서의 반도체용 웨이퍼의 표면위나 액정(LCD) 또는 태양전지 등의 표면상 미립자(파티클)나 오염은 최종제품의 이익률(원료에 대한 제품의 비율)을 크게 저하시킨다. 이 때문에 상기 웨이퍼 등의 표면세정 이 매우 중요하다.       In another field, fine particles (particles) or contamination on the surface of a semiconductor wafer or on a surface of a liquid crystal (LCD) or a solar cell in an LSI manufacturing process greatly lower the profitability (the ratio of the product to the raw material) of the final product. For this reason, surface cleaning of such a wafer is very important.

또 최근의 환경보호의 입장에서 보더라도 폐액 등을 배출하지 않는 환경에 해롭지 않은 세정방법이 주목되고 있다.       Also, from the standpoint of environmental protection, attention has been paid to a cleaning method that is not harmful to the environment that does not discharge waste liquids or the like.

따라서 종래부터 여러가지의 표면세정방법이 제안되어 있으며, 반도체제조를 예로 든다면 초음파병용 순수(純水)세정, 순수 중에 약액(예를 들면 암모니아 과산화수소액이나 황산과산화수소액)을 가한 용액 중에 피세정물을 침지하여 세정하는 등의 습식세정방식이 사용되고 있다.       Therefore, various surface cleaning methods have conventionally been proposed. In the case of semiconductor manufacturing, for example, pure water cleaning for ultrasonic bottles and cleaning products in a solution in which a chemical solution (for example, ammonia hydrogen peroxide solution or sulfuric acid peroxide solution) are added to the pure water. Wet cleaning methods such as dipping and washing are used.

그러나 이러한 종류의 습식세정방식은 각종 설비의 설치면적이 크고 폐액처리도 필요하다는 문제가 있다.       However, this type of wet cleaning method has a problem in that the installation area of various equipment is large and waste liquid treatment is also required.

한편 액체를 사용하지 않는 건식세정방식으로서 가스를 가하여 화학반응을 이용한 드라이크리닝이 있으나 파티클상(狀)의 오염물을 제거할 수 없다고 하는 문제가 있다.       On the other hand, as a dry cleaning method using no liquid, there is a dry cleaning using a chemical reaction by adding a gas, but there is a problem in that contaminants on a particle cannot be removed.

또한 아르곤고체 등의 미립자를 피세정물 표면에 충돌시켜 파티클을 제거하는 에어 블라스트도 제안되어 있다.        Moreover, the air blast which removes a particle by colliding fine particles, such as argon solid, on the surface of a to-be-cleaned object is also proposed.

아르곤고체를 사용하는 종래의 세정장치에 대해 도 1을 참고하여 설명한다.        A conventional cleaning apparatus using an argon solid will be described with reference to FIG. 1.

도 1에 나타낸 바와 같이 아르곤(Ar)가스의 봄베(20)에서 압력조정밸브(22)를 통하여 공급되는 아르곤가스와 질소(N2)가스의 봄베(24)에서 압력조정밸브(26)를 통하여 공급되는 질소가스를 합류점(30)에서 혼합하고, 그 합류점(30)에서 혼합된 Ar +N2 혼합가스를 배관(32)을 거쳐 필터(34)에서 가스 중의 불순입자를 제거한 후, 배관(36)을 통과시켜 냉각기(또는 열교환기)(38)에서 그 냉각기(38)의 냉각온도가 그 압력에서의 아르곤가스의 액화점 가까이까지 도달하도록 냉각한다. 냉각된 혼합가스는 배관(40)을 통해 에어로졸(aerosol) 분사노즐(42)에 의해 피세정물인 웨이퍼(10) 등이 주사(走査)기구(12)의 이동대(13)상에 놓여져 수용되어 있는 세정실(14)을 구성하는 진공용기 내로 분출된다. 진공용기 내의 압력은 아르곤 에어로졸을 형성하도록 아르곤의 3중점(三重點)압력 이하로 유지된다. 에어로졸 분사노즐(42)의 노즐구멍(43)에서 분출된 혼합가스는 진공용기인 세정실(14) 내에서 급격하게 단열 팽창하여 아르곤의 액체, 고체, 기체 또는 이들의 혼합물로 되는 극(極)미립자의 가스상(狀)현탁물인 에어로졸을 형성한다. 이 다량의 아르곤미립자를 포함하는 에어로졸이 웨이퍼(10) 표면에 분사되고, 분사된 에어로졸의 충격력을 이용하여 웨이퍼(10) 표면이 효율적으로 세정된다.As shown in FIG. 1, the argon gas and the nitrogen (N 2 ) gas supplied through the pressure adjusting valve 22 in the cylinder 20 of argon (Ar) gas are supplied through the pressure adjusting valve 26 in the cylinder 24 of the argon gas. The nitrogen gas supplied is mixed at the confluence point 30, the Ar + N 2 mixed gas mixed at the confluence point 30 is removed from the filter 34 by the filter 34 via the pipe 32, and then the pipe 36 The coolant (or heat exchanger) 38 cools the cooling temperature of the cooler 38 to near the liquefaction point of argon gas at that pressure. The cooled mixed gas is placed on the moving table 13 of the scanning device 12 by the aerosol injection nozzle 42 on the moving table 13 of the scanning device 12 by the aerosol injection nozzle 42. It blows into the vacuum container which comprises the washing chamber 14 which exists. The pressure in the vacuum vessel is maintained below the triple point pressure of argon to form the argon aerosol. The mixed gas ejected from the nozzle hole 43 of the aerosol injection nozzle 42 is rapidly adiabaticly expanded in the cleaning chamber 14, which is a vacuum vessel, to be an electrode of argon liquid, solid, gas, or a mixture thereof. It forms an aerosol which is a gaseous suspension of fine particles. An aerosol containing a large amount of argon fine particles is injected onto the surface of the wafer 10, and the surface of the wafer 10 is efficiently cleaned using the impact force of the injected aerosol.

이러한 경우 세정실안으로 분사된 에어로졸은 피세정물 표면에 도달하는 과정에서 주위의 가스에 그 운동에너지를 빼앗겨 속도가 떨어지기 때문에 충격력이 약해진다. 그 결과 세정력이 약해져 단단하게 부착된 요염물이나 에칭 찌꺼기를 제거하기 어렵다는 문제점을 가지고 있었다. In this case, the aerosol injected into the cleaning chamber has a weak impact force because the kinetic energy is lost to the surrounding gas in the process of reaching the surface of the object to be cleaned. As a result, the cleaning power was weak, and it was difficult to remove the hardly attached contaminants or etching residues.

또 다른 방법으로는 드라이아이스를 이용하여 블라스트하는 경우도 제안되었다. 세척수가 고압의 상태로 분사되게 하는 분사건의 분사관을 상, 하부관으로 양분하여 상부관으로는 드라이아이스의 입자가 하부관으로는 세척수가 각기 공급되게 하여서 세척수의 분사압력에 의해 드라이아이스 입자가 따라서 분사되게 함으로써, 각종 세척 대상물의 이물질 및 찌든 때 그리고 도로 차선 표시를 위한 페인트를 보 다 신속하고 깨끗하게 세척 및 박리 되게 한다. 그러나, 피세정물 표면이 손상을 입을 우려가 있고, 특히 철강이나 석유정제의 폐가스를 원료로 하는 시판품에서는 드라이아이스 자체가 더러워져 있기 때문에 불순물오염의 문제가 있다. 또한, 드라이아이스를 사용하는 경우 이산화탄소의 배출문제로 인해 최근에 관심이 집중되고 있는 지구 온난화에 많은 영향을 끼치므로 현실적으로 사용이 불가능한 상태이다. As another method, blasting using dry ice has also been proposed. Dividing the injection pipe of the spray gun that allows the washing water to be sprayed under high pressure into upper and lower pipes, so that the dry ice particles are supplied to the upper pipe and the washing water is supplied to the lower pipe, respectively, and the dry ice particles Thus, the spraying allows the cleaning and exfoliation of various objects to be cleaned and the cleaning of the dirt and paint for road lane markings more quickly and cleanly. However, there is a possibility that the surface of the object to be cleaned may be damaged, and in particular, commercially available products made from waste gas of steel or petroleum refining have a problem of impurity contamination because the dry ice itself is dirty. In addition, when dry ice is used, it is not practical to use it because it has a lot of influence on global warming, which has recently been attracting attention due to the emission problem of carbon dioxide.

이와 같은 아르곤고체나 드라이아이스 등을 이용하는 블라스트는 전자부품의 세정이나 가공 등을 할 때 전자, 기계, 식품 등 다양한 산업분야에서 사용되었지만 작업을 할 때 수많은 분진들이 발생하게 되어 실외에서 작업을 하는 경우 많은 문제점을 가지고 있었다.Although blasting using argon solids or dry ice is used in various industries such as electronics, machinery, and foods when cleaning or processing electronic parts, a large number of dusts are generated during work, and when working outdoors. I had a lot of problems.

따라서, 본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결할 수 있도록 전술한 문제점을 제거하고 친환경적이며, 생산성을 높이기 위해 얼음입자를 이용하여 오염물을 제거하는 세정방법 및 장치를 제공하고자 한다.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a cleaning method and apparatus for removing contaminants using ice particles in order to solve the above problems and to remove the above problems and to be environmentally friendly and to increase productivity.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 오염물을 제거하는 세정방법은 오염물을 제거하기 위한 세정방법에 있어서, 얼음입자를 형성하는 단계와, 형성된 얼음입자를 상기 오염물에 분사하는 단계와, 분사된 얼음입자에 의해 오염물이 제 거되는 단계, 및 제거된 오염물이 얼음입자의 용융에 의해 구속되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. The cleaning method for removing contaminants of the present invention for achieving the above object comprises the steps of forming ice particles, spraying the formed ice particles on the contaminants, and sprayed ice And removing the contaminants by the particles and constraining the removed contaminants by melting the ice particles.

또한 본 발명에 따르면, 제 1단계의 얼음입자는 그 사이즈가 0.1mm 내지 2mm인 것을 특징으로 한다. In addition, according to the present invention, the ice particles of the first step is characterized in that the size of 0.1mm to 2mm.

또한 본 발명에 따르면, 제 1단계의 얼음입자는 미리 각형의 틀을 만든 후 여기에 물을 넣어 얼린 다음 분리해내어 각형으로 제조하는 것을 특징으로 한다. In addition, according to the present invention, the ice particles of the first step is made in the shape of a square in advance after making a mold of a square, put water therein and then freeze separated.

또한 본 발명의 오염물을 제거하는 세정장치는 오염물을 제거하기 위한 세정장치에 있어서, 얼음입자를 공급하기 위한 얼음공급기와, 얼음공급기로부터 공급되는 얼음입자를 상기 오염물을 향해 분사하기 위한 분사노즐과, 상기 분사노즐의 분사에 필요한 공압을 공급하는 에어컴프레셔와, 얼음공급기와 상기 분사노즐에 냉각공기를 공급하여 일정온도로 유지하기 위한 냉각기와, 에어컴프레셔와 오염물을 이동시키기 위해 적어도 어느 하나이상으로 동력을 전달하는 모터, 및 각 구성을 제어하여 분사노즐의 얼음입자의 분사량을 제어하는 콘트롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the cleaning device for removing contaminants of the present invention, the cleaning device for removing contaminants, the ice supply for supplying the ice particles, the injection nozzle for injecting the ice particles supplied from the ice supply toward the contaminants, An air compressor for supplying the pneumatic pressure required for injection of the injection nozzle, a cooler for supplying cooling air to the ice supply unit and the injection nozzle to maintain a constant temperature, and at least one power for moving the air compressor and contaminants It characterized in that it comprises a motor for transmitting a, and a controller for controlling each component to control the injection amount of the ice particles of the injection nozzle.

또한 본 발명에 따르면, 세정장치는 얼음입자를 제조하는 얼음제조기를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, according to the present invention, the cleaning device is characterized in that it further comprises an ice maker for producing ice particles.

또한 본 발명에 따르면, 얼음입자는 그 사이즈가 0.1mm 내지 2mm인 것을 특징으로 한다. In addition, according to the present invention, the ice particles are characterized in that the size of 0.1mm to 2mm.

이하, 첨부한 도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세 히 기술하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying Figures 2 to 4 will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 오염물을 제거하는 세정방법을 설명하기 위한 도면이다. 2 is a view for explaining a cleaning method for removing contaminants according to an embodiment of the present invention.

도 2a를 참조하면, 기계나 기구물의 기판(111)상에 오염물(112)이 부착되어 있는 상태를 보여준다. 이러한 오염물을 제거하기 위하여 도 2b에 도시된 것처럼 분사노즐(120)을 통해 얼음입자(113)를 오염물(112)쪽으로 분사한다. 여기서 분사노즐(120)은 도 4를 참조하여 하기에서 설명할 세정장치의 일부분만을 도시한 것으로, 얼음입자를 분사하기 위한 것이다. Referring to FIG. 2A, a contaminant 112 is attached to a substrate 111 of a machine or an apparatus. In order to remove such contaminants, ice particles 113 are sprayed toward the contaminants 112 through the spray nozzle 120 as illustrated in FIG. 2B. Here, the injection nozzle 120 shows only a part of the cleaning apparatus to be described below with reference to FIG. 4 and is for injecting ice particles.

얼음입자(112)가 기판(111)위의 오염물(112)을 향해 분사되면, 오염물(112)이 제거된다. 이러한 상태는 도 2c에 도시하였다. When the ice particles 112 are sprayed toward the contaminants 112 on the substrate 111, the contaminants 112 are removed. This state is shown in Figure 2c.

도 2c를 보면, 분사노즐(120)로부터 얼음입자(113)가 분사되어 오염물(112)에 충돌하여 오염물(112)이 식각된다. 이때 오염물(112)이 식각되는 상태는 도 2d에 개시하였다. Referring to FIG. 2C, the ice particles 113 are sprayed from the spray nozzle 120 and collide with the pollutants 112 to etch the pollutants 112. At this time, the state in which the contaminant 112 is etched is disclosed in Figure 2d.

도 2d를 보면, 얼음입자(113)가 오염물(112)에 충돌하면서 오염물입자(114)와 얼음입자(115)가 튕겨나가게 된다. 이때 오염물(112)은 미세한 입자로 쪼개져서 오염물입자(114)의 형태로 분리된다. 그리고 함께 배출되는 얼음입자(115)는 추후에 녹여서 제거시킬 수 있다. 그리고, 이때 오염물입자(114)는 얼음입자(115)가 녹은 물과 서로 엉키므로 작업공정에서 분진의 발생도 최소화할 수 있다. Referring to FIG. 2D, the contaminant particles 114 and the ice particles 115 may bounce off while the ice particles 113 collide with the contaminants 112. At this time, the contaminant 112 is divided into fine particles to be separated in the form of contaminant particles 114. And the ice particles 115 discharged together can be removed by later melting. In this case, since the contaminant particles 114 are entangled with the melted water of the ice particles 115, the generation of dust in the work process may be minimized.

도 3은 본 발명의 과정중에 발사되는 얼음입자의 조각의 상태도이다. 3 is a state diagram of a piece of ice particles that is fired during the process of the present invention.

도 3에 보면 얼음입자는 육각형모양의 a와 십자모양의 b 사각형모양의 c, 및 삼각형모양의 d 등의 다양한 형태로 제조하여 사용할 수 있다. As shown in Figure 3, the ice particles can be manufactured and used in various forms such as hexagonal a, cross-shaped b-square c, and triangular d.

도 3의 얼음 입자는 가공하고자 하는 제품의 사이즈나 가공정도에 따라 달라지지만 0.1mm 내지 2mm 사이의 입자를 사용할 수 있다. 또한, 얼음입자는 분쇄하여 제조할 수도 있으나 균일한 형태의 각형으로 만드는 경우에는 미리 틀을 만들고 그 틀에 물을 부어 얼린 다음에 이를 분리하여 사용할 수 있다. 얼음입자의 제조시 만약 육각형모양인 a의 얼음입자를 만든다면 모형판에 얼음입자의 모양과 같게 파낸 다음 여기에 물을 넣어 얼린 다음 얼음과 모형판을 분리해내어 사용할 수 있다.The ice particles of FIG. 3 vary depending on the size of the product to be processed or the degree of processing, but particles between 0.1 mm and 2 mm may be used. In addition, the ice particles may be prepared by grinding, but in the case of making a square in a uniform shape, the mold may be prepared in advance, water is poured into the mold, frozen, and then separated and used. In the manufacture of ice particles, if you make ice particles of hexagonal shape a, you can dig them into the shape of ice particles, add water to it and freeze them, and then separate the ice and model plates.

또한, 다양한 형태의 얼음제조기를 이용하여 얼음입자를 형성하여 사용할 수 있으므로 본 명세서에 제시한 방법에 제한되지 않는다. In addition, it is possible to form and use ice particles using various types of ice maker, so it is not limited to the method presented herein.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 오염물을 제거하는 세정장치를 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining a cleaning device for removing contaminants according to an embodiment of the present invention.

도 4의 세정장치는 얼음입자(113)를 분사하는 분사노즐(120)과 분사노즐로 얼음입자를 공급하기 위한 얼음공급기(140)와 분사노즐(120)과 얼음공급기(140)로 냉각공기를 공급하기 위한 냉각기(13)를 포함하며, 분사노즐(120)의 분사에 필요한 공압을 공급하기 위한 에어컴프레셔(150)를 포함한다. 그리고, 에어컴프레셔(150)에는 모터(160)가 연결되어 있으며, 모터(16)는 콘트롤러에 의해 제어된다. 모터(16)는 에어컴프레셔(150)를 구동시키거나, 기판(111)이 안착된 이동대를 이동시킬수 있도록 구성한다. 그리고, 얼음공급기(140)와 분사노즐(120)간에는 얼음입자(113)를 이동시키기위한 얼음공급관(170)으로 연결되어 있으며, 냉각기(130)와 얼 음공급기(140) 그리고, 냉각기(130)와 분사노즐(120)간에는 냉각공기공급관(190, 200)으로 각각 연결되어 있다. 그리고, 얼음공급기(140)는 얼음제조기와 연결되어 있어 얼음입자를 공급받는다. 여기서 얼음제조기는 다양한 형태로 변형가능하며 본 실시예에서 한정하지 않는다. 얼음공급기(140)는 공급받은 냉각기(130)로부터 냉각공기를 공급받아 얼음입자의 형태를 그대로 유지하도록 구성한다. 그리고, 얼음공급기(140)는 얼음입자를 분사노즐(120)로 공급하되, 분사노즐(120)에서 분사되는 얼음입자의 양은 얼음공급기(14)에 의해 조절될 수 있다. 또 다른 방법으로는 분사노즐(120)의 공압의 양을 조절하여 에어컴프레셔(150)를 구동하는 모터에 의해 제어할 수 있다. 이는 미도시된 콘트롤러와의 연결에 의해 전자적인 제어도 가능하다. 또한, 분사노즐(120)의 전단에 방아쇠가 달린 분사건(미도시)을 형성하여 분사개폐기를 별도로 설치하는 것도 가능하다. 따라서, 방아쇠를 이용한 분사개폐에 의해 얼음입자의 분사량을 조절할 수 도 있다. 그러므로 본실시예에서 한정하지 않기로 한다. The cleaning apparatus of FIG. 4 has cooling nozzles 120 for spraying ice particles 113 and ice air for supplying the ice particles to the spray nozzles 140, the spray nozzles 120, and the ice feeder 140. It includes a cooler 13 for supplying, and includes an air compressor 150 for supplying the pneumatic pressure required for the injection of the injection nozzle (120). In addition, a motor 160 is connected to the air compressor 150, and the motor 16 is controlled by a controller. The motor 16 drives the air compressor 150 or is configured to move the movable table on which the substrate 111 is seated. And, between the ice supply 140 and the injection nozzle 120 is connected to the ice supply pipe 170 for moving the ice particles 113, the cooler 130 and the ice supply 140, and the cooler 130 And the injection nozzle 120 are connected to the cooling air supply pipe (190, 200), respectively. And, the ice supplier 140 is connected to the ice maker is supplied with ice particles. Here, the ice maker can be modified in various forms and is not limited in this embodiment. Ice supply 140 is configured to receive the cooling air from the supplied cooler 130 to maintain the shape of the ice particles as it is. In addition, the ice supplier 140 supplies the ice particles to the injection nozzle 120, but the amount of the ice particles injected from the injection nozzle 120 may be controlled by the ice supplier 14. As another method, it may be controlled by a motor driving the air compressor 150 by adjusting the amount of air pressure of the injection nozzle 120. It is also possible to control electronically by connecting to a controller not shown. In addition, by forming a spray gun (not shown) with a trigger on the front end of the spray nozzle 120, it is also possible to install the spray switch separately. Therefore, the injection amount of the ice particles may be adjusted by the injection opening and closing using the trigger. Therefore, the present invention is not limited thereto.

이러한 세정장치는 얼음공급기(140)에 의해 공급되는 얼음입자를 분사노즐(120)을 통해 분사하므로서 기판의 오염물(112)을 제거할 수 있도록 한다. Such a cleaning apparatus may remove the contaminants 112 of the substrate by spraying the ice particles supplied by the ice supplier 140 through the spray nozzle 120.

전술한 실시예의 세정장치는 얼음입자를 분사하여 오염물을 세정하기 위한 하나의 실시예에 불과하며 본 발명의 얼음입자를 통해 오염물을 세정할 수 있도록 하는 다양한 세정장치의 변형도 모두 본 발명의 권리범주에 속한다고 할 수 있다. The cleaning device of the above-described embodiment is just one embodiment for cleaning contaminants by spraying ice particles, and all modifications of various cleaning devices for cleaning contaminants through the ice particles of the present invention are all rights categories of the present invention. It can belong to.

전술한 실시예를 이용할 수 있는 세정의 적용분야는 다양하다. There are many applications for cleaning that can utilize the embodiments described above.

먼저, 첫 번째로 선박의 경우, 선박의 제조 시에 용접이 필수적이며, 용접부 의 스케일이나 용접과정에서 발생되는 변형된 페인트를 제거하고 다시 페인트를 칠하여야 바닷물에서 충분한 방식을 얻을 수 있다. 이 때 상기의 방식으로 변형된 페인트나 스케일을 제거하는 것이 가능하다. 배는 유조선과 같이 매우 큰 것도 있으므로 높은 장소에서 작업을 할 수도 있는 데 작업과정에서 얼음입자나 제거되는 페인트가루 등이 비산되는 것을 막기 위해 제거되는 입자를 저장하는 저장실을 별도로 두는 것이 바람직하다. First, in the case of ships, welding is essential in the manufacture of ships, and it is necessary to remove the deformed paint generated during the scale of the weld or the welding process and repaint to obtain a sufficient method in the seawater. At this time it is possible to remove the paint or scale deformed in the above manner. Since ships are very large, such as tankers, it is possible to work in high places. It is advisable to set aside a storage room to store the particles removed to prevent ice particles and paint powders from being removed during the process.

두 번째로 차량의 도색에서, 사고난 차량의 도색이나 차량의 색을 바꿀 때 특정 도색을 제거할 필요가 있다. 이 때 상기의 방식으로 얼음입자를 분사시키면 일반 연마 방식에 비해 차체에 큰 영향을 주지 않고 도색을 제거하는 것이 가능하다.Second, in the painting of a vehicle, it is necessary to remove a specific painting when painting the vehicle in an accident or changing the color of the vehicle. At this time, by spraying the ice particles in the above manner, it is possible to remove the paint without significantly affecting the body compared to the general polishing method.

세번째로 도로의 도색에서, 도로의 차선의 도색을 제거할 때 역시 연마기로 연마하여 제거하는 방식이 일반적인데 이 때 역시 얼음입자를 분사시켜 도색을 제거하면 연마에 비해 탁월한 페인트제거 효과를 얻을 수 있다. Third, in the painting of roads, the removal of the lanes of the roads is also performed by grinding with a grinder. In this case, if the paint is removed by spraying ice particles, it is possible to obtain an excellent paint removal effect compared to the polishing. .

네 번째로 미세가공에서, 세정 외에 기구물의 미세가공에도 적용될 수 있는 데 일반적인 알루미나 가루나 지르코니아 가루를 사용하여 샌드브라스트 하는 경우, 파내는 깊이가 수 백 마이크로미터에 이르는 경우 가공과정에서 많은 열이 발생하게 되어 소재의 변형을 가져올 수 있다. 그렇지만 얼음을 이용하는 경우에는 가공과정에서 냉각효과를 함께 얻을 수 있어 특히 프라스틱과 같이 열변형을 받기 쉬운 물질이나 산화되기 쉬운 금속 등을 가공할 때 효과적이다.Fourth, in micromachining, it can be applied to the micromachining of tools in addition to cleaning. When sandblasting using alumina powder or zirconia powder, which is common, a lot of heat is generated during the process when the digging depth reaches several hundred micrometers. This can lead to deformation of the material. However, in the case of using ice, the cooling effect can be obtained in the process of processing, and it is particularly effective when processing a material which is susceptible to heat deformation such as plastic or a metal that is easily oxidized.

기타의 세정으로, 금형의 불순물 기구물의 녹의 제거, 페인트작업을 하기 전 의 대상물의 표면처리 등 다양한 분야의 세정이나 오염물 제거에 이용될 수 있다.Other cleaning may be used for cleaning or removing contaminants in various fields such as rust removal of impurity devices in molds and surface treatment of objects prior to painting.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 방식을 이용하면 비교적 저가의 얼음입자를 이용할 수 있을 뿐 만 아니라 얼음입자는 물로 녹아 없어지고, 제거과정에서 발생되는 페인트 입자나 오염물 입자들이 물에 엉기게 되므로 분진의 영향이 줄어들게 되어 환경 친화적으로 세정공정을 수행할 수 있다. 또한, 세정 시 분진의 영향을 줄이고, 환경친화적인 세정방법이므로 작업자에게 피로를 적게 줄 수 있는 효과를 지니고 있을 뿐 만 아니라 가공물의 변형도 줄일 수 있는 효과를 제공한다.Therefore, the present invention can not only use relatively inexpensive ice particles by using the above-described method, but also because the ice particles are dissolved in water and the paint particles or contaminant particles generated during the removal process are entangled in water, As the impact is reduced, the cleaning process can be performed environmentally friendly. In addition, since the impact of dust during cleaning and environmentally friendly cleaning method, not only has the effect of reducing fatigue to the operator, but also provides the effect of reducing the deformation of the workpiece.

Claims (6)

오염물을 제거하기 위한 세정방법에 있어서, In the cleaning method for removing contaminants, 얼음입자를 형성하는 단계;Forming ice particles; 상기 형성된 얼음입자를 상기 오염물에 분사하는 단계;Spraying the formed ice particles onto the contaminants; 상기 분사된 얼음입자에 의해 오염물이 제거되는 단계; 및Removing contaminants by the sprayed ice particles; And 상기 제거된 오염물이 얼음입자의 용융에 의해 구속되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 오염물을 제거하는 세정방법.And the contaminant removed is constrained by melting of ice particles. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제 1단계의 얼음입자는 그 사이즈가 0.1mm 내지 2mm인 것을 특징으로 하는 오염물을 제거하는 세정방법. The ice particles of the first step is a cleaning method for removing contaminants, characterized in that the size of 0.1mm to 2mm. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제 1단계의 얼음입자는 미리 각형의 틀을 만든 후 여기에 물을 넣어 얼린 다음 분리해내어 각형으로 제조하는 것을 특징으로 하는 오염물을 제거하는 세정방법.The ice particles of the first step is a cleaning method for removing the contaminants, characterized in that to make a rectangular mold in advance and then put water in it to freeze and then separated to prepare a square. 오염물을 제거하기 위한 세정장치에 있어서,In the cleaning device for removing contaminants, 얼음입자를 공급하기 위한 얼음공급기;An ice feeder for supplying ice particles; 상기 얼음공급기로부터 공급되는 얼음입자를 상기 오염물을 향해 분사하기 위한 분사노즐;A spray nozzle for spraying ice particles supplied from the ice feeder toward the contaminants; 상기 분사노즐의 분사에 필요한 공압을 공급하는 에어컴프레셔;An air compressor for supplying pneumatic pressure required for injection of the injection nozzle; 상기 얼음공급기와 상기 분사노즐에 냉각공기를 공급하여 일정온도로 유지하기 위한 냉각기; A cooler for supplying cooling air to the ice supplier and the injection nozzle to maintain a constant temperature; 상기 에어컴프레셔와 오염물을 이동시키기 위해 적어도 어느 하나이상으로 동력을 전달하는 모터; 및A motor transmitting power to at least one of the air compressor and contaminants; And 상기 각 구성을 제어하여 분사노즐의 얼음입자의 분사량을 제어하는 콘트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 오염물을 제거하기 위한 세정장치.And a controller for controlling the respective components to control the injection amount of the ice particles of the injection nozzle. 제 4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 세정장치는 얼음입자를 제조하는 얼음제조기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오염물을 제거하기 위한 세정장치.The cleaning device further comprises a ice maker for producing ice particles cleaning apparatus for removing contaminants. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, The method according to claim 4 or 5, 상기 얼음입자는 그 사이즈가 0.1mm 내지 2mm인 것을 특징으로 하는 오염물을 제거하기 위한 세정장치. The ice particles are cleaning device for removing contaminants, characterized in that the size of 0.1mm to 2mm.
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KR100843638B1 (en) * 2008-04-23 2008-07-09 클린로드 주식회사 Cleaning method for a street facilities
WO2022055050A1 (en) * 2020-09-11 2022-03-17 주식회사 테라시온 바이오메디칼 Medical powder spraying device with easy adjustment of flow rate of powder being sprayed, and operating method for powder spraying device

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