KR20060032754A - 맵핑을 위한 레이저 장치 - Google Patents

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동부아남반도체 주식회사
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Abstract

이 발명은 맵핑 캘리브레이션시 적외선 레이저 빛 대신에 가시광선이 분사되도록 하여 육안으로 식별이 가능하도록 함으로써 빠른 시간내에 맵핑 캘리브레이션 작업을 수행하여 작업시간 및 인력을 줄여서 생산성을 향상시킬 수 있는, 맵핑을 위한 레이저 장치에 관한 것으로서,
전원이 인가되는 경우에 적외선의 레이저 빛을 발생하기 위한 적외선 레이저 다이오드가 내부에 장착되어 있으며 레이저 빛을 외부로 방사하기 위한 레이저 출력단이 일단에 설치되어 있는 적외선 레이저 장치와, 상기한 적외선 레이저 장치로부터 방사된 레이저 빛이 통과되도록 하기 위한 수광부와 일정한 간격으로 가지고 다수개 통공형성되어 있는 맵핑 타워와, 상기한 맵핑 타워의 수광부와 대응되는 위치마다 수광센서가 일정한 간격으로 다수개 설치되어 상기한 맵핑타워를 통하여 입사되는 레이저 빛을 감지하는 경우에 이를 전기적인 신호로 변환하여 출력하는 맵핑 보드를 포함하여 이루어지는 레이저 장치에 있어서,
상기한 적외선 레이저 장치의 레이저 출력단에 착탈가능하도록 되어 있으며 전원이 인가되는 경우에 가시광선의 레이저 빛을 발생하기 위한 가시광선 레이저 다이오드가 내부에 장착되어 있어서 적외선 레이저 빛 대신에 가시광선 레이저 빛이 출력되도록 하는 가시광선 레이저 장치를 더 포함하여 이루어진다.
적외선, 레이저, 가시광선, 맵핑타워, 맵핑보드, 수광부, 수광센서

Description

맵핑을 위한 레이저 장치{Laser apparatus for mapping}
도 1은 종래의 맵핑을 위한 레이저 장치의 구성도이다.
도 2는 이 발명의 일실시예에 따른 맵핑을 위한 레이저 장치의 구성도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 적외선 레이저 장치 2 : 맵핑 타워
3 : 맵핑 보드 4 : 가시광선 레이저 장치
이 발명은 반도체 제조장비 분야에 관한 것으로서, 좀더 세부적으로 말하자면 맵핑 캘리브레이션시 적외선 레이저 빛 대신에 가시광선이 분사되도록 하여 육안으로 식별이 가능하도록 함으로써 빠른 시간내에 맵핑 캘리브레이션 작업을 수행하여 작업시간 및 인력을 줄여서 생산성을 향상시킬 수 있는, 맵핑을 위한 레이저 장치에 관한 것이다.
일반적으로 퓨젼 스트립(Fusion Strip) 장비에서는 도 1에 도시되어 있는 바와 같은 맵핑을 위한 레이저 장치를 이용하여 맵핑을 하게 된다.
도 1에 도시되어 있는 바와 같이 종래의 맵핑을 위한 레이저 장치는, 전원이 인가되는 경우에 레이저빛을 발생하기 위한 적외선 다이오드가 내부에 장착되어 있으며 레이저 빛을 외부로 방사하기 위한 레이저 출력단(11)이 일단에 설치되어 있는 적외선 레이저 장치(1)와, 상기한 적외선 레이저 장치(1)로부터 방사된 레이저 빛이 통과되도록 하기 위한 수광부(21)과 일정한 간격으로 가지고 다수개 통공형성되어 있는 맵핑 타워(2)와, 상기한 맵핑 타워(2)의 수광부(21)와 대응되는 위치마다 수광센서(31)가 일정한 간격으로 다수개 설치되어 상기한 맵핑타워(2)를 통하여 입사되는 레이저 빛을 감지하는 경우에 이를 전기적인 신호로 변환하여 출력하는 맵핑 보드(3)를 포함하여 이루어진다.
상기한 구성에 의한 종래의 맵핑을 위한 레이저 장치의 작용은 다음과 같이 이루어진다.
맵핑을 하는 경우에, 적외선 레이저 장치(1)와 맵핑 타워(2)의 사이에 웨이퍼(도시되지 않음)가 있을 때는 적외선 레이저 장치(1)의 레이저 출력단(11)으로부터 분사된 빛이 웨이퍼에 의해 차단되어 맵핑 타워(2)의 수광부(21)를 통하여 맵핑보드(3)의 내부에 장착되어진 수광센서(31)로 입력되지 못하게 되고, 적외선 레이저 장치(1)와 맵핑 타워(2)의 사이에 웨이퍼(도시되지 않음)가 없을 때는 적외선 레이저 장치(1)의 레이저 출력단(11)으로부터 분사된 빛이 맵핑 타워(2)의 수광부(21)를 통하여 맵핑보드(3)의 내부에 장착되어진 수광센서(31)로 입력됨으로써 제어부(도시되지 않음)에서는 맵핑보드(3)의 수광센서(31)로 입력되는 빛의 유무를 이용하여 웨이퍼의 유무를 판단할 수가 있게 된다.
상기한 적외선 레이저 장치(1)는 레이저 출력단(11)으로부터 분사된 빛이 맵핑 타워(2)의 수광부(21)의 홀 센터 부분에 정확하게 입력되도록 조정을 하는 맵핑 캘리브레이션을 필요로 하게 되는데, 로보트에 장착되어진 적외선 레이저 장치(1)의 적외선 다이오드로부터 발생된 적외선 빛이 레이저 출력단(11)을 통하여 분사되도록 하여 맵핑 보드(3)내에 장착되어진 수광센서(31)로 적외선 빛이 입력되도록 하여 적외선 빛의 입력 및 불입력을 판단하여 맵핑 캘리브레이션 기능을 수행하고 있다. 즉, 맵핑 캘리브레이션시, 로보트는 웨이퍼(도시되지 않음)가 장착된 카세트(도시되지 않음)의 방향으로 이동하여 고정된 위치에서 로보트에 장착되어져 있는 적외선 레이저 장치(1)로부터 발생된 빛을 레이저 출력단(11)을 이용하여 분사시키고, 웨이퍼가 장착되어져 있는 카세트의 뒤부분에 설치되어진 맵핑 타워(2)의 수광부(21)를 통하여 맵핑 타워(2)의 뒤에 있는 맵핑보드(3)의 내부에 장착되어진 수광센서(31)로 빛이 입력되도록 하여 빛의 입력 및 불입력을 판단함으로써 맵핑 캘리브레이션 기능을 수행하고 있다.
그러나, 이와 같은 종래의 적외선 레이저 장치(1)는, 레이저 빛이 적외선이므로 육안으로 식별이 불가능하고, 레이저 빛이 입사되는 맵핑타워(2)의 수광부(21)의 홀 크기도 작아서, 레이저 빛이 맵핑타워(2)의 수광부(21)의 홀 센터 부분에 정확하게 입력되도록 캘리브레이션하는데 많은 시간과 인력을 필요로 하는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 적외선 레이저 장치(1)는, 수광센서(31)가 장착되어진 맵핑보드(3)의 위치를 위아래로 이동하여 레이저 빛이 통과되는 맵핑타워(2)의 수광부(21)의 홀과 맵핑보드(3)의 수광센서(31)가 일치하도록 맵핑보드(3)의 위치 를 선정해야 하는 번거로움이 있다.
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 맵핑 캘리브레이션시 적외선 레이저 빛 대신에 가시광선이 분사되도록 하여 육안으로 식별이 가능하도록 함으로써 빠른 시간내에 맵핑 캘리브레이션 작업을 수행하여 작업시간 및 인력을 줄여서 생산성을 향상시킬 수 있는, 맵핑을 위한 레이저 장치를 제공하는 데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 수단으로서 이 발명의 구성은, 전원이 인가되는 경우에 적외선의 레이저 빛을 발생하기 위한 적외선 레이저 다이오드가 내부에 장착되어 있으며 레이저 빛을 외부로 방사하기 위한 레이저 출력단이 일단에 설치되어 있는 적외선 레이저 장치와, 상기한 적외선 레이저 장치로부터 방사된 레이저 빛이 통과되도록 하기 위한 수광부와 일정한 간격으로 가지고 다수개 통공형성되어 있는 맵핑 타워와, 상기한 맵핑 타워의 수광부와 대응되는 위치마다 수광센서가 일정한 간격으로 다수개 설치되어 상기한 맵핑타워를 통하여 입사되는 레이저 빛을 감지하는 경우에 이를 전기적인 신호로 변환하여 출력하는 맵핑 보드를 포함하여 이루어지는 레이저 장치에 있어서, 상기한 적외선 레이저 장치의 레이저 출력단에 착탈가능하도록 되어 있으며 전원이 인가되는 경우에 가시광선의 레이저 빛을 발생하기 위한 가시광선 레이저 다이오드가 내부에 장착되어 있어서 적외선 레이저 빛 대신에 가시광선 레이저 빛이 출력되도록 하는 가시광선 레이저 장치를 더 포함하 여 이루어진다.
이 발명의 구성은, 상기한 가시광선 레이저 다이오드의 레이저 빛의 크기가 상기한 맵핑타워의 수광부의 홀 크기의 약 1/3이 되도록 하면 바람직하다.
이하, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 이 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명하기로 한다. 이 발명의 목적, 작용, 효과를 포함하여 기타 다른 목적들, 특징점들, 그리고 동작상의 이점들이 바람직한 실시예의 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.
참고로, 여기에서 개시되는 실시예는 여러가지 실시가능한 예중에서 당업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 실시예를 선정하여 제시한 것일 뿐, 이 발명의 기술적 사상이 반드시 이 실시예에만 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변화와 부가 및 변경이 가능함은 물론, 균등한 타의 실시예가 가능함을 밝혀 둔다.
도 2는 이 발명의 일실시예에 따른 맵핑을 위한 레이저 장치의 구성도이다. 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 이 발명의 일실시예에 따른 맵핑을 위한 레이저 장치의 구성은, 전원이 인가되는 경우에 적외선의 레이저 빛을 발생하기 위한 적외선 레이저 다이오드가 내부에 장착되어 있으며 레이저 빛을 외부로 방사하기 위한 레이저 출력단(11)이 일단에 설치되어 있는 적외선 레이저 장치(1)와, 상기한 적외선 레이저 장치(1)로부터 방사된 레이저 빛이 통과되도록 하기 위한 수광부(21)과 일정한 간격으로 가지고 다수개 통공형성되어 있는 맵핑 타워(2)와, 상기한 맵핑 타워(2)의 수광부(21)와 대응되는 위치마다 수광센서(31)가 일정한 간격으로 다수개 설치되어 상기한 맵핑타워(2)를 통하여 입사되는 레이저 빛을 감지하는 경우에 이를 전기적인 신호로 변환하여 출력하는 맵핑 보드(3)를 포함하여 이루어지는 레이저 장치에 있어서, 상기한 적외선 레이저 장치(1)의 레이저 출력단(11)에 착탈가능하도록 되어 있으며 전원이 인가되는 경우에 가시광선의 레이저 빛을 발생하기 위한 가시광선 레이저 다이오드가 내부에 장착되어 있어서 적외선 레이저 빛 대신에 가시광선 레이저 빛이 출력되도록 하는 가시광선 레이저 장치(4)를 더 포함하여 이루어진다.
상기한 구성에 의한, 이 발명의 일실시예에 따른 맵핑을 위한 레이저 장치의 작용은 다음과 같다.
맵핑을 하는 경우에, 적외선 레이저 장치(1)의 레이저 출력단(11)에는 가시광선 레이저 장치(4)가 장착되지 않는다.
이 상태에서, 전원이 인가되는 경우에 적외선 레이저 장치(1)의 내부에 장착되어 있는 적외선 레이저 다이오드로부터 적외선의 레이저 빛이 발생되어 레이저 출력단(11)을 통하여 외부로 분사된다.
적외선 레이저 장치(1)와 맵핑 타워(2)의 사이에 웨이퍼(도시되지 않음)가 있을 때는 적외선 레이저 장치(1)의 레이저 출력단(11)으로부터 분사된 빛이 웨이퍼에 의해 차단되어 맵핑 타워(2)의 수광부(21)를 통하여 맵핑보드(3)의 내부에 장착되어진 수광센서(31)로 입력되지 못하게 되고, 적외선 레이저 장치(1)와 맵핑 타워(2)의 사이에 웨이퍼(도시되지 않음)가 없을 때는 적외선 레이저 장치(1)의 레이 저 출력단(11)으로부터 분사된 빛이 맵핑 타워(2)의 수광부(21)를 통하여 맵핑보드(3)의 내부에 장착되어진 수광센서(31)로 입력됨으로써 제어부(도시되지 않음)에서는 맵핑보드(3)의 수광센서(31)로 입력되는 빛의 유무를 이용하여 웨이퍼의 유무를 판단할 수가 있게 된다.
맵핑 캘리브레이션을 하는 경우에, 적외선 레이저 장치(1)의 레이저 출력단(11)에는 가시광선 레이저 장치(4)가 장착된다.
이와 같이 가시광선 레이저 장치(4)가 장착되어 있는 상태에서, 전원이 인가되는 경우에 가시광선 레이저 장치(4)의 내부에 장착되어 있는 가시광선 레이저 다이오드로부터 가시광선의 레이저 빛이 발생되어 적외선 레이저 빛 대신에 외부로 분사된다.
가시광선 레이저 장치(4)로부터 분사된 레이저 빛은 맵핑 보드(3)내에 장착되어진 수광센서(31)로 입력되도록 하여 레이저 빛의 입력 및 불입력을 판단함으로써 맵핑 캘리브레이션 기능을 수행하게 된다.
다시말하면, 맵핑 캘리브레이션시, 로보트에 장착되어 있는 적외선 레이저 장치(1)의 레이저 출력단(11)에 육안으로 레이저 빛이 식별가능한 가시광선 레이저 장치(4)를 장착하여 로보트에서 분사되는 레이저빛이 맵핑 타워(2)의 수광부(21)를 통하여 맵핑보드(3)의 홀에 정확하게 입력이 되는지 육안으로 식별이 가능하여 맵핑 캘리프레이션이 작원인원이 두명이 아니 혼자서도 쉽고 빠른 시간내에 정확하게 맴핑 캘리브레이션을 수행할 수 있다.
상기한 가시광선 레이저 장치(4)의 내부에 설치되어 있는 가시광선 레이저 다이오드는 구동 정격전압 12V용을 사용하여 만들었으며, 가시광선 레이저 다이오드의 레이저 빛의 크기는 0.5mm용을 사용하여 맵핑타워(2)의 수광부(21)의 홀 크기의 약 1/3이 되도록 하면 바람직하다.
또한, 상기한 가시광선 레이저 장치(4)의 커버의 크기는 종래에 사용하고 있는 커버의 크기와 동일하게 설계하는 것이 바람직하며, 맵핑 캘리브레이션시 툴이 움직이지 않도록 하기 위해서 U모양의 클립을 이용하여 종래의 커버에 끼워서 고정시키는 구조로 이루어진다.
이상의 실시예에서 살펴 본 바와 같이 이 발명은, 맵핑 캘리브레이션시 적외선 레이저 빛 대신에 가시광선이 분사되도록 하여 육안으로 식별이 가능하도록 함으로써 빠른 시간내에 맵핑 캘리브레이션 작업을 수행하여 작업시간 및 인력을 줄여서 생산성을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다.

Claims (2)

  1. 전원이 인가되는 경우에 적외선의 레이저 빛을 발생하기 위한 적외선 레이저 다이오드가 내부에 장착되어 있으며 레이저 빛을 외부로 방사하기 위한 레이저 출력단이 일단에 설치되어 있는 적외선 레이저 장치와, 상기한 적외선 레이저 장치로부터 방사된 레이저 빛이 통과되도록 하기 위한 수광부와 일정한 간격으로 가지고 다수개 통공형성되어 있는 맵핑 타워와, 상기한 맵핑 타워의 수광부와 대응되는 위치마다 수광센서가 일정한 간격으로 다수개 설치되어 상기한 맵핑타워를 통하여 입사되는 레이저 빛을 감지하는 경우에 이를 전기적인 신호로 변환하여 출력하는 맵핑 보드를 포함하여 이루어지는 레이저 장치에 있어서,
    상기한 적외선 레이저 장치의 레이저 출력단에 착탈가능하도록 되어 있으며 전원이 인가되는 경우에 가시광선의 레이저 빛을 발생하기 위한 가시광선 레이저 다이오드가 내부에 장착되어 있어서 적외선 레이저 빛 대신에 가시광선 레이저 빛이 출력되도록 하는 가시광선 레이저 장치를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 맵핑을 위한 레이저 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기한 가시광선 레이저 다이오드의 레이저 빛의 크기는 상기한 맵핑타워의 수광부의 홀 크기의 약 1/3이 되는 것을 특징으로 하는 맵핑을 위한 레이저 장치.
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